JPH0722543A - 電子部品の製造方法 - Google Patents
電子部品の製造方法Info
- Publication number
- JPH0722543A JPH0722543A JP5189228A JP18922893A JPH0722543A JP H0722543 A JPH0722543 A JP H0722543A JP 5189228 A JP5189228 A JP 5189228A JP 18922893 A JP18922893 A JP 18922893A JP H0722543 A JPH0722543 A JP H0722543A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- rod
- resin sealing
- chuck
- sealing structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 71
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 71
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 9
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電子部品を製造するにおいて、電子部品の変
形やかけ等の外観不良品の発生率を低減させて歩留まり
を向上し、作業性や保全性が良い、電子部品の製造方法
を提供することを目的とする。 【構成】 本発明は、内部に半導体素子を搭載した所定
の形状の樹脂封止体と該樹脂封止体の外面に接続された
任意の形状の棒状体とからなる形成体を形成する形成工
程と、水平方向および垂直方向に可動する移動手段が前
記棒状体を前記移動手段に接続された保持手段で保持し
て前記形成体を所定の位置まで搬送させる搬送工程と、
前記形成体における前記樹脂封止体と前記棒状体とを分
離させる分離工程とを具備する電子部品の製造方法であ
る。
形やかけ等の外観不良品の発生率を低減させて歩留まり
を向上し、作業性や保全性が良い、電子部品の製造方法
を提供することを目的とする。 【構成】 本発明は、内部に半導体素子を搭載した所定
の形状の樹脂封止体と該樹脂封止体の外面に接続された
任意の形状の棒状体とからなる形成体を形成する形成工
程と、水平方向および垂直方向に可動する移動手段が前
記棒状体を前記移動手段に接続された保持手段で保持し
て前記形成体を所定の位置まで搬送させる搬送工程と、
前記形成体における前記樹脂封止体と前記棒状体とを分
離させる分離工程とを具備する電子部品の製造方法であ
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばIC、コンデン
サ、トランジスタ、ダイオード等の電子部品の製造方法
に関する。
サ、トランジスタ、ダイオード等の電子部品の製造方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に電子部品の製造は、例えばICを
例にとって説明すると、次のようである。
例にとって説明すると、次のようである。
【0003】まず、複数の半導体素子が搭載された帯状
のリードフレームをモールド工程において、溶融樹脂を
金型ゲート部を介して金型キャビティー内へ注入して所
定の形状にそれぞれ樹脂封止し、次いで、該樹脂封止し
たリードフレームをプレス工程において打ち抜き加工に
より分離して個別のICを得ている。
のリードフレームをモールド工程において、溶融樹脂を
金型ゲート部を介して金型キャビティー内へ注入して所
定の形状にそれぞれ樹脂封止し、次いで、該樹脂封止し
たリードフレームをプレス工程において打ち抜き加工に
より分離して個別のICを得ている。
【0004】次いで、個別に分離されたICは、帯状の
溝を有するシュータ上に順次整列された状態で所定位置
に移動された後に、コンプレッサーのような空圧式手段
により作られた真空状態を利用して吸引作用を生じさせ
た吸着コレットの吸着面をICの樹脂封止体上面に当接
させてICを吸引保持し、モータの回転にともなって水
平方向と垂直方向とに移動自在のスライド手段に接続さ
れたこの吸着コレットを移動させてICを順次検査工程
へ搬送させる。
溝を有するシュータ上に順次整列された状態で所定位置
に移動された後に、コンプレッサーのような空圧式手段
により作られた真空状態を利用して吸引作用を生じさせ
た吸着コレットの吸着面をICの樹脂封止体上面に当接
させてICを吸引保持し、モータの回転にともなって水
平方向と垂直方向とに移動自在のスライド手段に接続さ
れたこの吸着コレットを移動させてICを順次検査工程
へ搬送させる。
【0005】この空圧式手段におけるエアー配管途中に
は、空圧式センサー等が設置されており、ICの吸着状
態とICの移動終了確認とを認識している。
は、空圧式センサー等が設置されており、ICの吸着状
態とICの移動終了確認とを認識している。
【0006】検査工程において、測定ソケットのような
検査装置に搬送された個々のICの品質検査を行って不
良品を除去し、良品のみを次工程へ搬送している。
検査装置に搬送された個々のICの品質検査を行って不
良品を除去し、良品のみを次工程へ搬送している。
【0007】しかし、このようなエアー吸引式吸着コレ
ットを用いた搬送においては、樹脂封止時に発生する樹
脂バリがプレス工程でICの樹脂封止体上面に圧着した
り、ICがシュータ上で移動される途中にシュータ溝か
らずれて載置状態が吸着面に対して平行でない状態で所
定の位置に移動されたりして吸着コレットに吸引された
樹脂封止体上面と吸着コレットの吸着面との間に隙間が
生じてエアーがリークし、ICの未吸着による搬送不良
が発生していた。
ットを用いた搬送においては、樹脂封止時に発生する樹
脂バリがプレス工程でICの樹脂封止体上面に圧着した
り、ICがシュータ上で移動される途中にシュータ溝か
らずれて載置状態が吸着面に対して平行でない状態で所
定の位置に移動されたりして吸着コレットに吸引された
樹脂封止体上面と吸着コレットの吸着面との間に隙間が
生じてエアーがリークし、ICの未吸着による搬送不良
が発生していた。
【0008】さらに、吸着によるICの保持状態はその
水平方向に対する保持が強制されておらず、吸着搬送す
る途中に、吸着面に対してICが回転もしくはスベリを
起こし搬送位置に対し位置ズレが生じ、搬送不良が発生
していた。
水平方向に対する保持が強制されておらず、吸着搬送す
る途中に、吸着面に対してICが回転もしくはスベリを
起こし搬送位置に対し位置ズレが生じ、搬送不良が発生
していた。
【0009】また、ICは吸着搬送した後にその吸着保
持状態を解除されるが、時として吸着保持状態が残留し
吸着コレットの移動に応動して搬送位置に対し位置ズレ
が生じるといった搬送不良が発生し、このような搬送不
良は前述した空圧式センサーでは認識することができ
ず、そのまま装置が停止せず可動してしまう。
持状態を解除されるが、時として吸着保持状態が残留し
吸着コレットの移動に応動して搬送位置に対し位置ズレ
が生じるといった搬送不良が発生し、このような搬送不
良は前述した空圧式センサーでは認識することができ
ず、そのまま装置が停止せず可動してしまう。
【0010】このような状況下で、エアー吸引式吸着コ
レットを用いた搬送に代わって、エアーシリンダのよう
な空圧に応じて開閉作動するチャックによりICの樹脂
封止体自体を直接把持して搬送するチャック式搬送が用
いられている。
レットを用いた搬送に代わって、エアーシリンダのよう
な空圧に応じて開閉作動するチャックによりICの樹脂
封止体自体を直接把持して搬送するチャック式搬送が用
いられている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなチャックがICの樹脂封止体自体を把持して次工程
へ移動させるICの搬送方法においては、次のような問
題が生じていた。
うなチャックがICの樹脂封止体自体を把持して次工程
へ移動させるICの搬送方法においては、次のような問
題が生じていた。
【0012】プレス工程において樹脂封止時に発生する
樹脂バリや塵埃がICの樹脂封止体下面に付着残留して
しまうので、ICをシュータ上の所定位置に搬送する場
合、これらの付着物によりシュータ面に対してICが傾
斜し、この傾斜したICをチャックで直接把持するため
ICの樹脂封止体の一部に欠けや変形等が発生し、IC
のリードの曲がりや切断が生じたりして、外観不良が発
生し、歩留まりが非常に低減する。
樹脂バリや塵埃がICの樹脂封止体下面に付着残留して
しまうので、ICをシュータ上の所定位置に搬送する場
合、これらの付着物によりシュータ面に対してICが傾
斜し、この傾斜したICをチャックで直接把持するため
ICの樹脂封止体の一部に欠けや変形等が発生し、IC
のリードの曲がりや切断が生じたりして、外観不良が発
生し、歩留まりが非常に低減する。
【0013】また、ICの樹脂封止体をチャックで直接
把持するので、チャックの形状は樹脂封止体の外面形状
にならう複雑な形状にする必要があり、その加工が難し
い。
把持するので、チャックの形状は樹脂封止体の外面形状
にならう複雑な形状にする必要があり、その加工が難し
い。
【0014】さらに、ICの樹脂封止体の外面形状はI
Cの種類毎に異なり、それぞれの種類に応じた専用のチ
ャックが必要となるので、同一装置上で異種のICを製
造する際に、チャックを交換せねばならず、装置に取着
されないチャックは保管する必要があり作業性が非常に
悪かった。
Cの種類毎に異なり、それぞれの種類に応じた専用のチ
ャックが必要となるので、同一装置上で異種のICを製
造する際に、チャックを交換せねばならず、装置に取着
されないチャックは保管する必要があり作業性が非常に
悪かった。
【0015】本発明は以上のような状況のもとで考え出
されたもので、電子部品の製造に際して、電子部品の変
形やかけ等の外観不良の発生を低減させて歩留まりを向
上し、作業性の良い、電子部品の製造方法を提供するこ
とを課題とする。
されたもので、電子部品の製造に際して、電子部品の変
形やかけ等の外観不良の発生を低減させて歩留まりを向
上し、作業性の良い、電子部品の製造方法を提供するこ
とを課題とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、内部に半導体素子を搭載した所定の形状の
樹脂封止体と該樹脂封止体の外面に接続された所定の形
状の棒状体とからなる形成体を形成する形成工程と、前
記棒状体を水平方向および垂直方向に可動する移動手段
に装着された保持手段により保持することにより前記形
成体を所定位置まで搬送させる搬送工程と、前記保持手
段により前記形成体の前記樹脂封止体と前記棒状体とを
分離させる分離工程とを具備する電子部品の製造方法を
提供するものである。
に本発明は、内部に半導体素子を搭載した所定の形状の
樹脂封止体と該樹脂封止体の外面に接続された所定の形
状の棒状体とからなる形成体を形成する形成工程と、前
記棒状体を水平方向および垂直方向に可動する移動手段
に装着された保持手段により保持することにより前記形
成体を所定位置まで搬送させる搬送工程と、前記保持手
段により前記形成体の前記樹脂封止体と前記棒状体とを
分離させる分離工程とを具備する電子部品の製造方法を
提供するものである。
【0017】
【作用】樹脂封止体の外面に接続された棒状体を保持手
段で保持し、所定位置へ搬送させて、所要の検査および
回路装置への装着後に樹脂封止体から前記棒状体を切離
し、所定の電子部品を得る。
段で保持し、所定位置へ搬送させて、所要の検査および
回路装置への装着後に樹脂封止体から前記棒状体を切離
し、所定の電子部品を得る。
【0018】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図面を参照しつ
つ説明する。
つ説明する。
【0019】図1は本発明の電子部品の製造方法におけ
る搬送工程の実施例の斜視図を示す。
る搬送工程の実施例の斜視図を示す。
【0020】この形成体1は、樹脂封止体2と樹脂棒3
とからなる。樹脂封止体2は、モールド工程において、
図示しない金型キャビティーの上型の略中央に連結され
た金型ゲート部を介して溶融された樹脂を金型キャビテ
ィー内に注入し、図示しない帯状のリードフレームの長
手方向に一定間隔で配置した半導体素子を内部に封止す
るように所定形状に形成される。樹脂棒3は、金型ゲー
ト部で形成される樹脂ゲートから形成される。プレス工
程において、複数の形成体1が樹脂封止された帯状リー
ドフレームより、各形成体1をプレス加工により分離し
て個別の形成体1が得られる。この樹脂棒3の形状は、
樹脂封止体2と樹脂棒3との連結部2bから任意の長さ
までが円錐形の円柱形状棒に形成する。
とからなる。樹脂封止体2は、モールド工程において、
図示しない金型キャビティーの上型の略中央に連結され
た金型ゲート部を介して溶融された樹脂を金型キャビテ
ィー内に注入し、図示しない帯状のリードフレームの長
手方向に一定間隔で配置した半導体素子を内部に封止す
るように所定形状に形成される。樹脂棒3は、金型ゲー
ト部で形成される樹脂ゲートから形成される。プレス工
程において、複数の形成体1が樹脂封止された帯状リー
ドフレームより、各形成体1をプレス加工により分離し
て個別の形成体1が得られる。この樹脂棒3の形状は、
樹脂封止体2と樹脂棒3との連結部2bから任意の長さ
までが円錐形の円柱形状棒に形成する。
【0021】樹脂棒3の形状はチャック5が安定した状
態で把持できる例えば図4に示すような段差付きの四角
柱形状であってもよい。
態で把持できる例えば図4に示すような段差付きの四角
柱形状であってもよい。
【0022】以上のように形成した形成体1は、図1に
示す通り、例えばプレス工程と検査工程との工程間の搬
送工程で、形成体1を所定の位置へ移動させる場合、次
のように移動される。
示す通り、例えばプレス工程と検査工程との工程間の搬
送工程で、形成体1を所定の位置へ移動させる場合、次
のように移動される。
【0023】まず、図2に示すようにエアーシリンダの
ような空圧式駆動4の動作に応じて開閉作動するチャッ
ク5が閉じて樹脂棒3を把持することにより形成体1を
保持する。チャック5に把持された形成体1は、モータ
のような駆動源に接続されたスライド機構を介して水平
方向および垂直方向に所要の経路を移動し測定ソケット
6上へ装着される。
ような空圧式駆動4の動作に応じて開閉作動するチャッ
ク5が閉じて樹脂棒3を把持することにより形成体1を
保持する。チャック5に把持された形成体1は、モータ
のような駆動源に接続されたスライド機構を介して水平
方向および垂直方向に所要の経路を移動し測定ソケット
6上へ装着される。
【0024】そして、測定ソケット6に接続された図示
しない検査装置により、形成体1の品質検査が行われ
る。
しない検査装置により、形成体1の品質検査が行われ
る。
【0025】検査終了後の形成体1は、再びチャック5
により樹脂棒3が把持された状態で上昇移動により測定
ソケット6から接離され、図3に示すように搬送台7へ
移動される。そして、搬送台7上に移動された形成体1
は、図示しない固定手段により固定しつつ、チャック5
により樹脂棒3を把持した状態で連結部2bを支点に樹
脂棒3を揺動し、樹脂封止体2に対して樹脂棒3を折り
曲げることにより樹脂封止体2から樹脂棒3を分離す
る。
により樹脂棒3が把持された状態で上昇移動により測定
ソケット6から接離され、図3に示すように搬送台7へ
移動される。そして、搬送台7上に移動された形成体1
は、図示しない固定手段により固定しつつ、チャック5
により樹脂棒3を把持した状態で連結部2bを支点に樹
脂棒3を揺動し、樹脂封止体2に対して樹脂棒3を折り
曲げることにより樹脂封止体2から樹脂棒3を分離す
る。
【0026】また、切離された樹脂棒3は、チャック5
に把持された状態で図示しない排出箱上まで搬送され、
チャック5を開放することにより樹脂棒3を落下させて
排出箱へ収納する。
に把持された状態で図示しない排出箱上まで搬送され、
チャック5を開放することにより樹脂棒3を落下させて
排出箱へ収納する。
【0027】このような製造工程においては、チャック
5が形成体1の樹脂封止体2自体を直接把持しないの
で、チャック5が樹脂封止体2にカケ等の損傷を負わせ
たり、変形を発生させたりすることがほとんどなく、樹
脂封止体2の外観不良が著しく低減される。
5が形成体1の樹脂封止体2自体を直接把持しないの
で、チャック5が樹脂封止体2にカケ等の損傷を負わせ
たり、変形を発生させたりすることがほとんどなく、樹
脂封止体2の外観不良が著しく低減される。
【0028】また、この樹脂棒3は電子部品の種類に関
係なく同一形状に形成することができるので、電子部品
の種類毎にチャック5を交換する作業が不必要となって
作業性が非常に向上する。
係なく同一形状に形成することができるので、電子部品
の種類毎にチャック5を交換する作業が不必要となって
作業性が非常に向上する。
【0029】さらに、形成体1の搬送チャックミスや形
成体1の搬送途中での落下等の搬送ミスが非常に低減す
る外、搬送箇所が検査用測定ソケットのように高精度の
搬送位置が要求される場合でも、チャック5により正確
に樹脂棒3を把持できるので、把持ズレに起因する測定
ソケット6への装着不良が解消できる。
成体1の搬送途中での落下等の搬送ミスが非常に低減す
る外、搬送箇所が検査用測定ソケットのように高精度の
搬送位置が要求される場合でも、チャック5により正確
に樹脂棒3を把持できるので、把持ズレに起因する測定
ソケット6への装着不良が解消できる。
【0030】加えて、形成体1の搬送位置上で図示しな
い高密度に装置部品が配置される場合でも、チャック5
は装置部品に干渉しないので高密度に装置部品を配置で
きるので回路装置の小型化を図れる。
い高密度に装置部品が配置される場合でも、チャック5
は装置部品に干渉しないので高密度に装置部品を配置で
きるので回路装置の小型化を図れる。
【0031】また、形成体1の搬送経路途中には適宜高
さ毎に設置した例えば光学式透過センサー8のような認
識センサーを設けて、光学式透過センサー8が搬送され
る形成体1の樹脂棒3の保持状態を容易に検知し、その
検知データを搬送駆動制御コントローラ9へ伝達して、
形成体1を所定の搬送位置とは別の搬送位置に搬送して
例えば形成体1の測定ソケット6への装着不良を未然に
防止して測定ソケット6や形成体1の圧壊を防ぐことが
できる。
さ毎に設置した例えば光学式透過センサー8のような認
識センサーを設けて、光学式透過センサー8が搬送され
る形成体1の樹脂棒3の保持状態を容易に検知し、その
検知データを搬送駆動制御コントローラ9へ伝達して、
形成体1を所定の搬送位置とは別の搬送位置に搬送して
例えば形成体1の測定ソケット6への装着不良を未然に
防止して測定ソケット6や形成体1の圧壊を防ぐことが
できる。
【0032】この形成体1の形状は、樹脂棒3の先端部
である連結部2bから任意の長さまでが先細形状であれ
ばよく、樹脂棒3の長さは、例えばICおよびチップ抵
抗器やコンデンサ等の形成体の種類やICの所有ピン数
等に応じて適宜任意の長さに設定することができる。
である連結部2bから任意の長さまでが先細形状であれ
ばよく、樹脂棒3の長さは、例えばICおよびチップ抵
抗器やコンデンサ等の形成体の種類やICの所有ピン数
等に応じて適宜任意の長さに設定することができる。
【0033】樹脂棒3は、モールド工程における樹脂ゲ
ートを用いたものに限らず、金型キャビティー内で樹脂
封止体2と樹脂棒3が同時に形成されるものでもよく、
また、モールドされた樹脂封止体2に樹脂棒3を連結し
ても良い。
ートを用いたものに限らず、金型キャビティー内で樹脂
封止体2と樹脂棒3が同時に形成されるものでもよく、
また、モールドされた樹脂封止体2に樹脂棒3を連結し
ても良い。
【0034】樹脂封止体2と樹脂棒3との連結部2bの
位置については、図5に示すように上面部2aの端部に
設けてもよく、任意の位置に適宜設ければよい。
位置については、図5に示すように上面部2aの端部に
設けてもよく、任意の位置に適宜設ければよい。
【0035】また、本実施例では樹脂棒3を使用してい
るが、棒状体であれば例えば鉄やアルミニウムのような
金属材を使用することもできる。
るが、棒状体であれば例えば鉄やアルミニウムのような
金属材を使用することもできる。
【0036】また、樹脂棒3の除去は、チャック等の把
持手段により除去するものに限らず、カッター等で人為
的に除去してもよい。
持手段により除去するものに限らず、カッター等で人為
的に除去してもよい。
【0037】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように、形成体
を製造するにおいて、電子部品の樹脂封止体を直接保持
しないで棒状体を保持して電子部品を搬送することがで
きるので、以下のような効果を奏する。
を製造するにおいて、電子部品の樹脂封止体を直接保持
しないで棒状体を保持して電子部品を搬送することがで
きるので、以下のような効果を奏する。
【0038】(a)電子部品の樹脂封止体におけるカケや
変形等の外観不良が減少し、歩留まりが非常に向上す
る。
変形等の外観不良が減少し、歩留まりが非常に向上す
る。
【0039】(b)異種の電子部品においても棒状体の形
状を同一にすることにより、電子部品の種類に応じて保
持手段を交換したり、この保持手段を保管したりする作
業が不必要となり、作業性や保全性が著しく向上する。
状を同一にすることにより、電子部品の種類に応じて保
持手段を交換したり、この保持手段を保管したりする作
業が不必要となり、作業性や保全性が著しく向上する。
【0040】(c)棒状体の形状を簡単化することにより
保持手段の形状を加工性の良い簡単な形状にできる。
保持手段の形状を加工性の良い簡単な形状にできる。
【図1】本発明に係る電子部品の製造方法における搬送
工程の実施例を示す斜視図である。
工程の実施例を示す斜視図である。
【図2】本発明に係る保持手段の作用を示す平面図であ
る。
る。
【図3】本発明に係る保持手段により樹脂棒を除去させ
る実施例を示す側面図である。
る実施例を示す側面図である。
【図4】本発明に係る電子部品の製造方法における製造
工程途上の電子部品を示す斜視図である。
工程途上の電子部品を示す斜視図である。
【図5】本発明に係る電子部品の製造方法における製造
工程途上の電子部品を示す斜視図である。
工程途上の電子部品を示す斜視図である。
1 形成体 2 樹脂封止体 2a 形成体上面部 2b 連結部 3 樹脂棒 4 空圧式駆動 5 チャック 6 測定ソケット 7 搬送台 8 光学式透過センサー 9 搬送駆動制御コントローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H05K 13/04 Z 8509−4E
Claims (1)
- 【請求項1】 内部に半導体素子を搭載した所定の形状
の樹脂封止体と該樹脂封止体の外面に接続された所定の
形状の棒状体とからなる形成体を形成する形成工程と、
前記棒状体を水平方向および垂直方向に可動する移動手
段に装着された保持手段により保持することにより前記
形成体を所定位置まで搬送させる搬送工程と、前記保持
手段により前記形成体の前記樹脂封止体と前記棒状体と
を分離させる分離工程とを具備する電子部品の製造方
法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5189228A JPH0722543A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 電子部品の製造方法 |
| US08/260,047 US5670429A (en) | 1993-06-30 | 1994-06-16 | Process of conveying an encapsulated electronic component by engaging an integral resin projection |
| EP94110096A EP0632496B1 (en) | 1993-06-30 | 1994-06-29 | Method of packaging electronic circuit components and packaged circuit arrangement |
| DE69414476T DE69414476T2 (de) | 1993-06-30 | 1994-06-29 | Verfahren zum Verpacken elektronischer Schaltkreiskomponenten und verpackte Schaltkreisanordnung |
| US08/693,522 US5760481A (en) | 1993-06-30 | 1996-08-08 | Encapsulated electronic component containing a holding member |
| US08/707,666 US5739054A (en) | 1993-06-30 | 1996-09-04 | Process for forming an encapsulated electronic component having an integral resin projection |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5189228A JPH0722543A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 電子部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0722543A true JPH0722543A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=16237736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5189228A Pending JPH0722543A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722543A (ja) |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP5189228A patent/JPH0722543A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5894218A (en) | Method and apparatus for automatically positioning electronic dice within component packages | |
| US5739054A (en) | Process for forming an encapsulated electronic component having an integral resin projection | |
| KR20190040175A (ko) | 웨이퍼 레벨 패키징을 수행하는 자동화 시스템 | |
| KR20170130792A (ko) | 웨이퍼 레벨 패키징을 수행하는 자동화 시스템 | |
| KR102696493B1 (ko) | 반도체 스트립 정렬 방법 및 반도체 스트립 절단 방법 | |
| WO2022270057A1 (ja) | 樹脂成形装置、及び樹脂成形品の製造方法 | |
| CN115041423B (zh) | 一种dip封装电子元器件的全自动检测分选装置 | |
| US20070262276A1 (en) | Cassette conveyance method and cassette conveyance apparatus | |
| JP2000068296A (ja) | ダイボンダ | |
| CN100366414C (zh) | 树脂封止成形装置 | |
| JPH0722543A (ja) | 電子部品の製造方法 | |
| JP2008028189A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| US5164335A (en) | Semiconductor manufacturing apparatus and method of manufacturing semiconductor device | |
| JP3194518B2 (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
| JP3126854B2 (ja) | 実装回路の実装方法および実装回路 | |
| KR100362364B1 (ko) | 반도체 제조공정에 있어서의 마킹작업과 볼 마운팅 작업을하기 위한 인-라인 시스템 | |
| KR200219149Y1 (ko) | 다이본더의 웨이퍼 로더 | |
| US20090148258A1 (en) | Pick and place apparatus incorporating debris removal device | |
| EP1465241A2 (en) | Apparatus and method for cleaning an electronic device | |
| JPH04343077A (ja) | 半導体製品の成形・仕分け収納方法およびその収納装置 | |
| JPH06244245A (ja) | 半導体素子接合装置 | |
| KR100247383B1 (ko) | Bga 반도체패키지용 검사시스템의 공급장치 | |
| JPH10335360A (ja) | 半導体素子の樹脂封止装置 | |
| KR0178993B1 (ko) | 반도체 칩의 패킹장치 | |
| KR0145126B1 (ko) | 반도체 장비의 대형칩용 플렌지 업 스테이지 |