JPH0722607B2 - プラズマ反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法および装置 - Google Patents
プラズマ反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法および装置Info
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- JPH0722607B2 JPH0722607B2 JP1227084A JP22708489A JPH0722607B2 JP H0722607 B2 JPH0722607 B2 JP H0722607B2 JP 1227084 A JP1227084 A JP 1227084A JP 22708489 A JP22708489 A JP 22708489A JP H0722607 B2 JPH0722607 B2 JP H0722607B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、フロンガス，トリクロロエチレン等の有機化
合物中にフッ素，塩素，臭素を含む有機ハロゲン化合物
を効率良く分解することができるプラズマ反応法による
有機ハロゲン化合物の分解方法に関する。
合物中にフッ素，塩素，臭素を含む有機ハロゲン化合物
を効率良く分解することができるプラズマ反応法による
有機ハロゲン化合物の分解方法に関する。
（従来の技術） フロンガス，トリクロロエチレン等の有機化合物中にフ
ッ素，塩素，臭素を含む有機ハロゲン化合物は、溶剤，
冷媒，消火剤等に幅広くかつ大量に使用されており、産
業における重要性が高い。しかしながら、これらの化合
物は、揮発性が高く、産業で使用されるものの多くが大
気，水，土壌等の環境中へ放出され、その結果、オゾン
層の破壊，発がん性物質の生成，変異原生物質の生成
等、環境に対し、深刻な影響を与えることが指摘されて
いる。
ッ素，塩素，臭素を含む有機ハロゲン化合物は、溶剤，
冷媒，消火剤等に幅広くかつ大量に使用されており、産
業における重要性が高い。しかしながら、これらの化合
物は、揮発性が高く、産業で使用されるものの多くが大
気，水，土壌等の環境中へ放出され、その結果、オゾン
層の破壊，発がん性物質の生成，変異原生物質の生成
等、環境に対し、深刻な影響を与えることが指摘されて
いる。
（発明が解決しようとする課題） 使用済みの有機ハロゲン化合物を廃棄処理する場合に
は、その反応性が極端に低いため、適切な分解処理方法
がないのが現状である。
は、その反応性が極端に低いため、適切な分解処理方法
がないのが現状である。
分解処理方法として従来より報告されているものは、主
に高温での燃焼技術である。しかしながら、この方法で
は、大量の炭化水素等の燃料と共に有機ハロゲン化合物
を燃焼させるため、エネルギー効率が極端に低く、又、
燃料タンクや燃焼炉が大型のため、装置全体を小形化す
ることができない。更に、燃焼に伴って発生する遊離ハ
ロゲンが高温の炉壁と接触し、特に、有機フッ素化合物
を燃焼させた場合には、炉の腐蝕が甚だしい。
に高温での燃焼技術である。しかしながら、この方法で
は、大量の炭化水素等の燃料と共に有機ハロゲン化合物
を燃焼させるため、エネルギー効率が極端に低く、又、
燃料タンクや燃焼炉が大型のため、装置全体を小形化す
ることができない。更に、燃焼に伴って発生する遊離ハ
ロゲンが高温の炉壁と接触し、特に、有機フッ素化合物
を燃焼させた場合には、炉の腐蝕が甚だしい。
本発明者は、有機ハロゲ化合物を容易に分解できる方法
について鋭意研究した結果、高周波，マイクロ波による
誘導加熱方式あるいは直流加熱方式等によって生成され
たプラブマを用いた分解方法を見出した。これは、プラ
ズマ状態下では、物質が非常に反応性に富む現象を利用
したもので、有機ハロゲン化合物のような難分解性化学
物質を短時間で分解できることに基づくものである。す
なわち、10000℃以上に達する高温プラスマ中では、ほ
とんど全ての分子は解離して原子状態に分解が行われる
ものと思われる。
について鋭意研究した結果、高周波，マイクロ波による
誘導加熱方式あるいは直流加熱方式等によって生成され
たプラブマを用いた分解方法を見出した。これは、プラ
ズマ状態下では、物質が非常に反応性に富む現象を利用
したもので、有機ハロゲン化合物のような難分解性化学
物質を短時間で分解できることに基づくものである。す
なわち、10000℃以上に達する高温プラスマ中では、ほ
とんど全ての分子は解離して原子状態に分解が行われる
ものと思われる。
このようなプラブマを用いた分解方法で考慮すべき点
は、液状の有機ハロゲン化合物の場合、これをプラズマ
フレーム中に効率良く導く点である。すなわち、液状の
有機ハロゲン化合物を直接プラズマフレーム中に導入し
ても、液状の有機ハロゲン化合物は、プラズマフレーム
中を単に通過してしまい、分解されるに至らない。ま
た、液体を直接プラブマフレーム中に導入すると、プラ
ズマの状態が不安定となり、極端な場合には、プラズマ
が消滅してしまう。
は、液状の有機ハロゲン化合物の場合、これをプラズマ
フレーム中に効率良く導く点である。すなわち、液状の
有機ハロゲン化合物を直接プラズマフレーム中に導入し
ても、液状の有機ハロゲン化合物は、プラズマフレーム
中を単に通過してしまい、分解されるに至らない。ま
た、液体を直接プラブマフレーム中に導入すると、プラ
ズマの状態が不安定となり、極端な場合には、プラズマ
が消滅してしまう。
本発明はこのような点に鑑みてなされたもので、その目
的は、フロン，トリクレン等の有機ハロゲン化合物を高
濃度であっても高効率で分解することができるプラズマ
反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法および装置
を実現することにあり、また、プラズマ中に液状の有機
ハロゲン化合物を効率良く供給して分解することができ
る分解装置を実現するにある。
的は、フロン，トリクレン等の有機ハロゲン化合物を高
濃度であっても高効率で分解することができるプラズマ
反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法および装置
を実現することにあり、また、プラズマ中に液状の有機
ハロゲン化合物を効率良く供給して分解することができ
る分解装置を実現するにある。
（課題を解決するための手段） 請求項１の発明に基づくプラズマ反応法による有機ハロ
ゲン化合物の分解方法は、ガス状の有機ハロゲン化合物
と水蒸気とを反応容器内に導入し、反応容器の周囲に巻
回されたRFコイルにより、これらを同時に誘導プラズマ
化することを特徴としている。
ゲン化合物の分解方法は、ガス状の有機ハロゲン化合物
と水蒸気とを反応容器内に導入し、反応容器の周囲に巻
回されたRFコイルにより、これらを同時に誘導プラズマ
化することを特徴としている。
請求項２の発明に基づくプラズマ反応法による有機ハロ
ゲン化合物の分解装置は、円筒状の管、この管内にガス
を供給するガス供給ノズルおよび前記管の周囲に巻回さ
れたRFコイルより成る誘導プラズマトーチと、キャリア
ガス源と、このキャリアガス源からのキャリアガスが導
入され、内部に液状の有機ハロゲン化合物が入れられた
第１の容器と、前記キャリアガス源からのキャリアガス
が導入され、内部に水が入れられた第２の容器と、第１
の容器からの有機ハロゲン化合物を含んだキャリアガス
と、第２の容器からの水を含んだキャリアガスとを混合
して前記ガス供給ノズルに導くキャリアガス流路とを備
えたことを特徴としている。
ゲン化合物の分解装置は、円筒状の管、この管内にガス
を供給するガス供給ノズルおよび前記管の周囲に巻回さ
れたRFコイルより成る誘導プラズマトーチと、キャリア
ガス源と、このキャリアガス源からのキャリアガスが導
入され、内部に液状の有機ハロゲン化合物が入れられた
第１の容器と、前記キャリアガス源からのキャリアガス
が導入され、内部に水が入れられた第２の容器と、第１
の容器からの有機ハロゲン化合物を含んだキャリアガス
と、第２の容器からの水を含んだキャリアガスとを混合
して前記ガス供給ノズルに導くキャリアガス流路とを備
えたことを特徴としている。
（作用） 請求項１および２の発明では、まずガス状の有機ハロゲ
ン化合物と水蒸気とを反応容器内に導入する。そして、
反応容器の周囲に巻回されたRFコイルにより、これらを
同時に誘導プラズマ化する。また、有機ハロゲン化合物
が液状の場合、プラズマ中に有機ハロゲン化合物と水と
を効率良く導入するために、請求項２の発明では、アル
ゴンガスの如きキャリアガスを液状の有機ハロゲン化合
物内に導入し、バブリングさせることによってキャリア
ガス中に有機ハロゲン化合物を含ませると共に、キャリ
アガスを水の中に導入し、バブリングさせることよって
キャリアガス中に水を含ませ、有機ハロゲン化合物と水
を含んだ２種のキャリアガスを混合して、反応容器であ
る誘導プラズマトーチ内の管に導入する。
ン化合物と水蒸気とを反応容器内に導入する。そして、
反応容器の周囲に巻回されたRFコイルにより、これらを
同時に誘導プラズマ化する。また、有機ハロゲン化合物
が液状の場合、プラズマ中に有機ハロゲン化合物と水と
を効率良く導入するために、請求項２の発明では、アル
ゴンガスの如きキャリアガスを液状の有機ハロゲン化合
物内に導入し、バブリングさせることによってキャリア
ガス中に有機ハロゲン化合物を含ませると共に、キャリ
アガスを水の中に導入し、バブリングさせることよって
キャリアガス中に水を含ませ、有機ハロゲン化合物と水
を含んだ２種のキャリアガスを混合して、反応容器であ
る誘導プラズマトーチ内の管に導入する。
（実施例） 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明す
る。第１図は本発明方法を実現するための分解装置の一
例（本発明装置の一実施例）を示しており、誘導プラズ
マトーチ１は、石英等の絶縁性物質で形成された円筒状
の管２（本発明においては、有機ハロゲン化合物を加水
分解する際の反応容器でもある）ガス供給ノズル３およ
び管２の周囲に巻回されたRFコイル４等によって構成さ
れている。ガス供給ノズル３には、リング状の溝５が穿
たれており、その溝５の外側にはリング状のプレート６
が溶接される。リング状のプレート６には、多数の微小
孔７が穿たれており、又、溝５は、ノズル３内部に穿た
れた孔８の一端が接続されている。孔８の他端は、ノズ
ル３の上部において、管９に接続されている。
る。第１図は本発明方法を実現するための分解装置の一
例（本発明装置の一実施例）を示しており、誘導プラズ
マトーチ１は、石英等の絶縁性物質で形成された円筒状
の管２（本発明においては、有機ハロゲン化合物を加水
分解する際の反応容器でもある）ガス供給ノズル３およ
び管２の周囲に巻回されたRFコイル４等によって構成さ
れている。ガス供給ノズル３には、リング状の溝５が穿
たれており、その溝５の外側にはリング状のプレート６
が溶接される。リング状のプレート６には、多数の微小
孔７が穿たれており、又、溝５は、ノズル３内部に穿た
れた孔８の一端が接続されている。孔８の他端は、ノズ
ル３の上部において、管９に接続されている。
管９は、途中で分岐しており、一方は第１の容器10内部
に、他方は、第２の容器11内部に導入されている。第１
の容器10内には、分解されるべきフロン113の如き液状
の有機ハロゲン化合物12が入れられている。第１の容器
10内の有機ハロゲン化合物の中には、キャリアガス供給
管13の一端が挿入されている。キャリアガス供給管13の
他端は、フローコントローラ14を介して、アルゴンガス
源15に接続されている。第２の容器11内には、水16が入
れられており、この水16の中には、キャリアガス供給管
17の一端が挿入されている。キャリアガス供給管17の他
端は、フローコントローラ18を介してアルゴンガス源15
に接続されている。
に、他方は、第２の容器11内部に導入されている。第１
の容器10内には、分解されるべきフロン113の如き液状
の有機ハロゲン化合物12が入れられている。第１の容器
10内の有機ハロゲン化合物の中には、キャリアガス供給
管13の一端が挿入されている。キャリアガス供給管13の
他端は、フローコントローラ14を介して、アルゴンガス
源15に接続されている。第２の容器11内には、水16が入
れられており、この水16の中には、キャリアガス供給管
17の一端が挿入されている。キャリアガス供給管17の他
端は、フローコントローラ18を介してアルゴンガス源15
に接続されている。
管９の途中には、切換バルブ19が設けられている。切換
バルブ19は、第１の容器10と第２の容器11からのガス
と、アルゴンガス源20からのガスとを切換えてノズル３
に穿たれた孔８に導くようにしている。アルゴンガス源
20からのガス流量は、フローコントローラ21によって制
御される。
バルブ19は、第１の容器10と第２の容器11からのガス
と、アルゴンガス源20からのガスとを切換えてノズル３
に穿たれた孔８に導くようにしている。アルゴンガス源
20からのガス流量は、フローコントローラ21によって制
御される。
プラズマトーチ１を構成する円筒状の管２の下部には開
口22が設けられており、この開口22には排気管23が接続
されている。排気管23は、排気されるガスの中に含まれ
ている粉末物質をトラップするサイクロン24に接続され
ている。サイクロン24を通過した排気ガスは、管25に導
かれるが、管25は、内部にアルカリ性水溶液、例えば、
水酸化カリウム（KOH）水溶液26が入れられた容器27内
に導入されている。容器27の上部には、内部気体の排出
管28が設けられており、この排出管28は、内部にアルカ
リ性固体、例えば、酸化カルシウム（CaO）29が入れら
れた容器30の下部につながれている。容器30の上部に
は、内部の酸化カルシウム29の間を通過した気体の排出
管31が設けられている。
口22が設けられており、この開口22には排気管23が接続
されている。排気管23は、排気されるガスの中に含まれ
ている粉末物質をトラップするサイクロン24に接続され
ている。サイクロン24を通過した排気ガスは、管25に導
かれるが、管25は、内部にアルカリ性水溶液、例えば、
水酸化カリウム（KOH）水溶液26が入れられた容器27内
に導入されている。容器27の上部には、内部気体の排出
管28が設けられており、この排出管28は、内部にアルカ
リ性固体、例えば、酸化カルシウム（CaO）29が入れら
れた容器30の下部につながれている。容器30の上部に
は、内部の酸化カルシウム29の間を通過した気体の排出
管31が設けられている。
このように構成された装置の動作を説明すれば以下の通
りである。装置の初期状態においては、管９の途中に設
けられた切換バルブ19を操作し、アルゴンガス源20から
のアルゴンガスがノズル３の孔８を介して溝５内に供給
されるようにする。溝５へのアルゴンガスの供給によ
り、アルゴンガスは、プレート６に設けられた多数の微
小孔７から円筒状の管２内部に噴出される。この状態
で、RFコイル４に高周波を供給し図示外の点火機構によ
り、プラズマＰを着火する。
りである。装置の初期状態においては、管９の途中に設
けられた切換バルブ19を操作し、アルゴンガス源20から
のアルゴンガスがノズル３の孔８を介して溝５内に供給
されるようにする。溝５へのアルゴンガスの供給によ
り、アルゴンガスは、プレート６に設けられた多数の微
小孔７から円筒状の管２内部に噴出される。この状態
で、RFコイル４に高周波を供給し図示外の点火機構によ
り、プラズマＰを着火する。
その後、切換パルバ19を切換え、アルゴンガス源20から
のアルゴンガスに代え、第１の容器10と第２の容器11か
らのガスがノズル３の孔８を介して溝５内に供給される
ようにする。第１の容器10においては、内部の有機ハロ
ゲン化合物12中に、アルゴンガス源15に接続されている
キャリアガス供給管13が挿入されており、有機ハロゲン
化合物12内に開放された管13の端部から、フローコント
ローラ14によって適宜な流量にされたアルゴンガスが噴
出される。この結果、有機ハロゲン化合物は、アルゴン
ガスのバブリングにより、蒸気となってガスの中に含ま
され、第１の容器10内から管９の中に排出される。ま
た、第２の容器11においては、内部の水16の中にアルゴ
ンガス源15に接続されているキャリアガス供給管17が挿
入されており、水16の中に開放された管17の端部から、
フローコントローラ18によって適宜な流量にされたアル
ゴンガスが噴出される。この結果、水は、アルゴンガス
のバブリングにより、蒸気となってガスの中に含まさ
れ、第１の容器11内から管９の中に排出される。
のアルゴンガスに代え、第１の容器10と第２の容器11か
らのガスがノズル３の孔８を介して溝５内に供給される
ようにする。第１の容器10においては、内部の有機ハロ
ゲン化合物12中に、アルゴンガス源15に接続されている
キャリアガス供給管13が挿入されており、有機ハロゲン
化合物12内に開放された管13の端部から、フローコント
ローラ14によって適宜な流量にされたアルゴンガスが噴
出される。この結果、有機ハロゲン化合物は、アルゴン
ガスのバブリングにより、蒸気となってガスの中に含ま
され、第１の容器10内から管９の中に排出される。ま
た、第２の容器11においては、内部の水16の中にアルゴ
ンガス源15に接続されているキャリアガス供給管17が挿
入されており、水16の中に開放された管17の端部から、
フローコントローラ18によって適宜な流量にされたアル
ゴンガスが噴出される。この結果、水は、アルゴンガス
のバブリングにより、蒸気となってガスの中に含まさ
れ、第１の容器11内から管９の中に排出される。
管９の途中の分岐部Ｊで有機ハロゲン化合物の蒸気を含
んだアルゴンガスと、水蒸気を含んだアルゴンガスは混
合され、混合ガスは、ノズル３の孔８を介して溝５中に
導入される。混合ガスは、溝５から、プレート６に設け
られた多数の微小孔７を通って管２内に噴き出され、プ
ラズマフレームＦ中に導入される。このとき、プラズマ
の温度は１万度〜１万５千度になっており、プラズマフ
レームＦ中に導入された有機ハロゲン化合物及び水は、
高温により高い効率で分解して下記に示す化学反応をす
る。
んだアルゴンガスと、水蒸気を含んだアルゴンガスは混
合され、混合ガスは、ノズル３の孔８を介して溝５中に
導入される。混合ガスは、溝５から、プレート６に設け
られた多数の微小孔７を通って管２内に噴き出され、プ
ラズマフレームＦ中に導入される。このとき、プラズマ
の温度は１万度〜１万５千度になっており、プラズマフ
レームＦ中に導入された有機ハロゲン化合物及び水は、
高温により高い効率で分解して下記に示す化学反応をす
る。
有機ハロゲン化合物としてトリクロロフルオロメタン
（フロン−11…COl3F）をプラズマ中で分解させた場
合、水との間で、次の反応が生じる。
（フロン−11…COl3F）をプラズマ中で分解させた場
合、水との間で、次の反応が生じる。
CCl3F＋2H2O＝CO2＋3HCl＋HF 分解された分子を含む排出ガスは、管２の底部の開口22
から排出管23を通って、サイクロン24内に導かれる。こ
のとき、フロン−11に比べて水が少ないと過剰の炭素を
生じるが、このサイクロン24内で、排出ガス中に含まれ
ている炭素等の微粉末はトラップされる。サイクロン24
を通ったガスは、管25から容器27の内部の水酸化カリウ
ム水溶液26中に導入される。この水酸化カリウム水溶液
26中に排出ガスを通すことによって、HCl,HF等の酸を含
む排出ガスは中和される。中和されたガスは、容器27の
底部から排出管28を通って、容器30内部に導入され、容
器30内部の酸化カルシウム29によって脱水される。脱水
されたガスは、安定な、環境に影響をほとんど与えない
化合物であり、適宜大気中に放出される。
から排出管23を通って、サイクロン24内に導かれる。こ
のとき、フロン−11に比べて水が少ないと過剰の炭素を
生じるが、このサイクロン24内で、排出ガス中に含まれ
ている炭素等の微粉末はトラップされる。サイクロン24
を通ったガスは、管25から容器27の内部の水酸化カリウ
ム水溶液26中に導入される。この水酸化カリウム水溶液
26中に排出ガスを通すことによって、HCl,HF等の酸を含
む排出ガスは中和される。中和されたガスは、容器27の
底部から排出管28を通って、容器30内部に導入され、容
器30内部の酸化カルシウム29によって脱水される。脱水
されたガスは、安定な、環境に影響をほとんど与えない
化合物であり、適宜大気中に放出される。
第２図は本発明の他の実施例を示しており、第１図の実
施例と同一部分は同一番号を付してある。この実施例
で、トーチ１のノズル３には、溝５につながった孔８以
外に、中心部に孔50が穿たれている。中心部の孔50に
は、有機ハロゲン化合物のバブリングを行う第１の容器
10と水のバブリングを行う第２の容器からのキャリアガ
スの通路となる管９が接続されている。また、孔８に
は、アルゴンガス源20にフローコントローラ51を介して
接続されている管52が接続されている。
施例と同一部分は同一番号を付してある。この実施例
で、トーチ１のノズル３には、溝５につながった孔８以
外に、中心部に孔50が穿たれている。中心部の孔50に
は、有機ハロゲン化合物のバブリングを行う第１の容器
10と水のバブリングを行う第２の容器からのキャリアガ
スの通路となる管９が接続されている。また、孔８に
は、アルゴンガス源20にフローコントローラ51を介して
接続されている管52が接続されている。
この実施例で、装置の初期状態においては、管９の途中
に設けられた切換バルブ19を操作し、アルゴンガス源20
からのアルゴンガスがノズル３の孔50に供給されるよう
にする。また、孔８を介して溝５には、アルゴンガス源
20からのアルゴンガスが、フローコントローラ51によっ
て適宜な流量とされて供給される。従って、管２の内部
には、プレート６の微小孔７からと、孔50からの２カ所
からアルゴンガスが噴出される。この状態で、RFコイル
４に高周波を供給すると、プラズマＰが着火する。
に設けられた切換バルブ19を操作し、アルゴンガス源20
からのアルゴンガスがノズル３の孔50に供給されるよう
にする。また、孔８を介して溝５には、アルゴンガス源
20からのアルゴンガスが、フローコントローラ51によっ
て適宜な流量とされて供給される。従って、管２の内部
には、プレート６の微小孔７からと、孔50からの２カ所
からアルゴンガスが噴出される。この状態で、RFコイル
４に高周波を供給すると、プラズマＰが着火する。
その後、切換バルブ19を切換え、アルゴンガス源20から
のアルゴンガスに代え、第１の容器10と第２の容器11か
らのガスがノズル３の孔50を介して管２内部に噴出され
るようにする。この結果、第１図に示した実施例と同様
に、１万度〜１万５千度に加熱されたプラズマフレーム
Ｆ中に導入された有機ハロゲン化合物は、高温による振
動やプラズマ中の高エネルギーの電子との衝突により分
子間結合が切られ、高い効率で分解する。
のアルゴンガスに代え、第１の容器10と第２の容器11か
らのガスがノズル３の孔50を介して管２内部に噴出され
るようにする。この結果、第１図に示した実施例と同様
に、１万度〜１万５千度に加熱されたプラズマフレーム
Ｆ中に導入された有機ハロゲン化合物は、高温による振
動やプラズマ中の高エネルギーの電子との衝突により分
子間結合が切られ、高い効率で分解する。
以上本発明の実施例を詳説したが、本発明はこれらの実
施例に限定されない。例えば、第１の実施例では、トー
チのノズルに溝を一つ設け、この溝にアルゴンガスとバ
ブリングによって有機ハロゲン化合物の蒸気を含んだキ
ャリアガスとを切換えて供給するようにしたが、ノズル
に溝を二つ設け、一方にはアルゴンガスとバブリングに
よって有機ハロゲン化合物の蒸気を含んだキャリアガス
とを切換えて供給するようにし、他方には、継続的にア
ルゴンガスを供給するように構成しても良い。
施例に限定されない。例えば、第１の実施例では、トー
チのノズルに溝を一つ設け、この溝にアルゴンガスとバ
ブリングによって有機ハロゲン化合物の蒸気を含んだキ
ャリアガスとを切換えて供給するようにしたが、ノズル
に溝を二つ設け、一方にはアルゴンガスとバブリングに
よって有機ハロゲン化合物の蒸気を含んだキャリアガス
とを切換えて供給するようにし、他方には、継続的にア
ルゴンガスを供給するように構成しても良い。
また、上述の実施例では有機ハロゲン化合物12と反応す
る溶液として水を用いた場合を例にとって説明したが、
本発明はこれに限るものではなく、有機ハロゲン化合物
と反応して該有機ハロゲン化合物を分解させるようなも
のであればどのようなものであってもよい。
る溶液として水を用いた場合を例にとって説明したが、
本発明はこれに限るものではなく、有機ハロゲン化合物
と反応して該有機ハロゲン化合物を分解させるようなも
のであればどのようなものであってもよい。
更に、有機ハロゲン化合物と水が入れられた容器の内部
の夫々に加熱ヒータと温度計とを設け、常に有機ハロゲ
ン化合物と水とを30℃〜40℃程度の温度に維持すればよ
り蒸発を促進することができる。
の夫々に加熱ヒータと温度計とを設け、常に有機ハロゲ
ン化合物と水とを30℃〜40℃程度の温度に維持すればよ
り蒸発を促進することができる。
（発明の効果） 以上説明したように、請求項１の発明によれば、ガス状
の有機ハロゲン化合物と水蒸気とを反応容器内に導入
し、反応容器の周囲に巻回されたRFコイルにより、これ
らを同時に誘導プラズマ化し加水分解を起こさせている
ので、プラズマフレームの温度は高く、高い効率で加水
分解がなされる。また、請求項２の発明によれば、アル
ゴンガスの如くキャリアガスを液状の有機ハロゲン化合
物内に導入してバブリングさせることにより、キャリア
ガス中にガス状の有機ハロゲン化合物を含ませると共
に、キャリアガスを水の中に導入しバブリングさせるこ
とにより、キャリアガス中に水蒸気を含ませ、これによ
り得られたガス状の有機ハロゲン化合物を含んだキャリ
アガスと水蒸気を含んだキャリアガスを混合して反応容
器内に導入し、反応容器の周囲に巻回されたRFコイルに
より、これらを同時に誘導プラズマ化し加水分解を起こ
させているので、有機ハロゲン化合物が液状であって
も、反応容器内にはガス状になって導入されるため、プ
ラズマの状態が安定し、また、基本的には請求項１の発
明と同様な構成を有しているので、プラズマフレームの
温度は高く、高い効率で加水分解がなされる。
の有機ハロゲン化合物と水蒸気とを反応容器内に導入
し、反応容器の周囲に巻回されたRFコイルにより、これ
らを同時に誘導プラズマ化し加水分解を起こさせている
ので、プラズマフレームの温度は高く、高い効率で加水
分解がなされる。また、請求項２の発明によれば、アル
ゴンガスの如くキャリアガスを液状の有機ハロゲン化合
物内に導入してバブリングさせることにより、キャリア
ガス中にガス状の有機ハロゲン化合物を含ませると共
に、キャリアガスを水の中に導入しバブリングさせるこ
とにより、キャリアガス中に水蒸気を含ませ、これによ
り得られたガス状の有機ハロゲン化合物を含んだキャリ
アガスと水蒸気を含んだキャリアガスを混合して反応容
器内に導入し、反応容器の周囲に巻回されたRFコイルに
より、これらを同時に誘導プラズマ化し加水分解を起こ
させているので、有機ハロゲン化合物が液状であって
も、反応容器内にはガス状になって導入されるため、プ
ラズマの状態が安定し、また、基本的には請求項１の発
明と同様な構成を有しているので、プラズマフレームの
温度は高く、高い効率で加水分解がなされる。
第１図は本発明方法を実現するための分解装置の一実施
例（本発明装置の一実施例）を示す図、第２図は本発明
方法を実現するための分解装置の他の実施例（本発明装
置の他の実施例）を示す図である。 １……トーチ、２……管（反応容器） ３……ガス供給ノズル、４……RFコイル ５……溝、６……プレート ７……微小孔、8,50……孔 9,13,17,25,28,52……管 10……第１の容器、11……第２の容器 12……有機ハロゲン化合物 14,18,21,51……フローコントローラ 15……アルゴンガス源、16……水 19……切換バルブ、20……アルゴンガス源 22……開口、23……排気管 24……サイクロン 26……水酸化カリウム水溶液 27,30……容器、29……酸化カルシウム 31……排出管
例（本発明装置の一実施例）を示す図、第２図は本発明
方法を実現するための分解装置の他の実施例（本発明装
置の他の実施例）を示す図である。 １……トーチ、２……管（反応容器） ３……ガス供給ノズル、４……RFコイル ５……溝、６……プレート ７……微小孔、8,50……孔 9,13,17,25,28,52……管 10……第１の容器、11……第２の容器 12……有機ハロゲン化合物 14,18,21,51……フローコントローラ 15……アルゴンガス源、16……水 19……切換バルブ、20……アルゴンガス源 22……開口、23……排気管 24……サイクロン 26……水酸化カリウム水溶液 27,30……容器、29……酸化カルシウム 31……排出管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 特許法第30条第１項適用申請有り 省力と自動化 1989 年７月号（平成１年７月１日） オーム社発行 第18〜 19頁に発表 (72)発明者 肥沼 豊 茨城県つくば市小野川16番３ 工業技術院 公害資源研究所内 (72)発明者 相澤 玲司 茨城県つくば市小野川16番３ 工業技術院 公害資源研究所内 (72)発明者 櫛山 暁 茨城県つくば市小野川16番３ 工業技術院 公害資源研究所内 (72)発明者 小林 悟 茨城県つくば市小野川16番３ 工業技術院 公害資源研究所内 (72)発明者 大内 日出夫 茨城県つくば市小野川16番３ 工業技術院 公害資源研究所内 (72)発明者 天野 高伸 東京都昭島市武蔵野３丁目１番２号 日本 電子株式会社内 (72)発明者 小牧 久 東京都昭島市武蔵野３丁目１番２号 日本 電子株式会社内 (72)発明者 平川 祥治 東京都昭島市武蔵野３丁目１番２号 日本 電子株式会社内 審査官 山口 由木 (56)参考文献 特開 平２−107387（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】プラズマを用いて有機ハロゲン化合物の分
解を行うようにしたプラズマ反応法による有機ハロゲン
化合物の分解方法において、 ガス状の有機ハロゲン化合物と水蒸気とを反応容器内に
導入し、反応容器の周囲に巻回されたRFコイルにより、
これらを同時に誘導プラズマ化することを特徴とするプ
ラズマ反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法。 - 【請求項２】円筒状の管、この管内にガスを供給するガ
ス供給ノズルおよび前記管の周面に巻回されたRFコイル
より成る誘導プラズマトーチと、キャリアガス源と、こ
のキャリアガス源からのキャリアガスが導入され、内部
に液状の有機ハロゲン化合物が入れられた第１の容器
と、前記キャリアガス源からのキャリアガスが導入さ
れ、内部に水が入れられた第２の容器と、第１の容器か
らの有機ハロゲン化合物を含んだキャリアガスと、第２
の容器からの水を含んだキャリアガスとを混合して前記
ガス供給ノズルに導くキャリアガス流路とを備えたプラ
ズマ反応法による有機ハロゲン化合物の分解装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1227084A JPH0722607B2 (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | プラズマ反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法および装置 |
| US07/433,361 US5026464A (en) | 1988-08-31 | 1989-11-07 | Method and apparatus for decomposing halogenated organic compound |
| CA002002616A CA2002616C (en) | 1988-11-10 | 1989-11-09 | Method and apparatus for decomposing halogenated organic compound |
| US07/684,006 US5187344A (en) | 1988-11-10 | 1991-04-11 | Apparatus for decomposing halogenated organic compound |
| US08/182,539 US5354962A (en) | 1988-11-10 | 1994-01-14 | Apparatus for decomposing halogenated organic compound |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1227084A JPH0722607B2 (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | プラズマ反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0390172A JPH0390172A (ja) | 1991-04-16 |
| JPH0722607B2 true JPH0722607B2 (ja) | 1995-03-15 |
Family
ID=16855256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1227084A Expired - Lifetime JPH0722607B2 (ja) | 1988-08-31 | 1989-09-01 | プラズマ反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722607B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2732472B2 (ja) * | 1992-05-26 | 1998-03-30 | 工業技術院長 | 高周波誘導プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法及びその装置 |
| JPH0857078A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-03-05 | Tokyo Metropolis | ハロゲン化エチレンの無害化処理方法および装置 |
| WO2009055750A1 (en) | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for smart abatement using an improved fuel circuit |
| JP5187367B2 (ja) * | 2010-09-02 | 2013-04-24 | パナソニック株式会社 | プラズマ処理装置及び方法 |
| JP5182340B2 (ja) * | 2010-09-02 | 2013-04-17 | パナソニック株式会社 | プラズマ処理装置及び方法 |
| CA2753043A1 (en) * | 2011-03-18 | 2012-09-18 | Pyrogenesis Canada Inc. | Steam plasma arc hydrolysis of ozone depleting substances |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT402338B (de) * | 1988-08-11 | 1997-04-25 | Grimma Masch Anlagen Gmbh | Verfahren zur vernichtung toxischer abprodukte sowie plasmatischer reaktor zur durchführung des verfahrens |
-
1989
- 1989-09-01 JP JP1227084A patent/JPH0722607B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0390172A (ja) | 1991-04-16 |
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