JPH0722702A - 半導体レーザ装置、その駆動方法とそれを用いた光通信方式 - Google Patents

半導体レーザ装置、その駆動方法とそれを用いた光通信方式

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JPH0722702A
JPH0722702A JP18723993A JP18723993A JPH0722702A JP H0722702 A JPH0722702 A JP H0722702A JP 18723993 A JP18723993 A JP 18723993A JP 18723993 A JP18723993 A JP 18723993A JP H0722702 A JPH0722702 A JP H0722702A
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semiconductor laser
light
laser device
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Sotomitsu Ikeda
外充 池田
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 わずかな電気信号の変化で、高い光出力ON
/OFF比を持ち、チャーピングの殆どないデジタル強
度変調を可能とし、検出誤り率の小さなる波長多重(W
DM)光伝送を実現できる半導体レーザ(LD)装置、
その駆動方法、及びそれを用いた光強度変調(ASK)
による波長多重光伝送方式などの光通信方式である。 【構成】 回折格子g内蔵型半導体レーザ装置におい
て、共振器方向に電気信号を印加するための電極8が複
数設けられている。回折格子gのストップバンドの内側
(両端を含む)の2波長光λi,λjが発振可能である。
複数の領域(I)、(II)、(III)へ印加する信
号を制御することで波長光λi,λjをスイッチングす
る。波長光λiまたはλjのどちらかの信号を送信する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体レーザ(L
D)装置、その駆動方法、及びそれを用いた光強度変調
(ASK)による波長多重(WDM)光伝送方式などの
光通信方式に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、WDM光伝送において、LDの直
接変調によるASKではチャーピングにより信号光の波
長が変動してしまい、受信側の波長フィルタリングが難
しく、また波長多重度が上げられないという問題があっ
た。
【0003】このため、以下の解決法があった。 (1)連続発振させたLDから出射した光を外部変調器
を通すことによりON/OFFし(間接変調)、チャー
ピングを防止する。 (2)チャーピングにより信号光の波長が多少変動して
も支障がない様に、受信側の波長フィルタの透過波長幅
を拡大する。 (3)光周波数変調(FSK)等の伝送方式にする。
【0004】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記(1)の解決法では、LD以外に外部変調器を用いる
必要があり、変調器挿入による光損失の増大、デバイス
作製上の歩留まり低下等の問題がある。
【0005】(2)の解決法では、波長フィルタの透過
波長幅を広く設定するために、WDMのためのチャンネ
ル間波長間隔が広くなり、波長多重度を大きくしにくい
という問題がある。
【0006】(3)の解決法では、LDの周波数変調効
率(周波数変化量/電流変化量)をDCから変調周波数
までの広い領域にわたって平坦にする必要があると共に
該変調効率を向上する必要があり、また、受信側の波長
フィルタの波長安定性の向上及び波長トラッキング技術
等が必要となるという問題点がある。
【0007】従って、本発明の目的は、上記の課題に鑑
みて、半導体レーザ(LD)装置、その駆動方法、及び
それを用いた光強度変調(ASK)による波長多重(W
DM)光伝送方式などの光通信方式を提供する事にあ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、光強度
変調(ASK)による波長多重(WDM)光伝送方式に
おいて、波長可変分布帰還型(DFB)LDの共振波長
の位相調整を行って、λiとλjの波長スイッチングを行
わすことで、信号光λi(またはλj)のON/OFF光
出力比を大きくする事が可能となり、λi(またはλj
の波長チャーピングを低減することが可能となる。特
に、位相調整領域を持つDFB−LDのストップバンド
の両端の波長λ1とλ2は、共振器内部でのキャリア分
布、光子分布、しきい利得が同じために、位相調整領域
へのわずかな電気信号でλ1とλ2の波長をスイッチング
することが可能である。
【0009】本発明の波長スイッチング制御方式による
ASK方式では、2波長光λiとλjのうち信号光以外に
非信号光も発振することになる。このような2波長光の
信号を用いてWDM光伝送を行う場合、次の2通りが考
えられる。
【0010】(i)λiとλjの両方を送信し、λiまた
はλjの一方のみを信号光(例えばλi)として波長フィ
ルタリングして受信する。この際、非信号光の波長(例
えばλj)はWDMのための波長帯域の範囲に無い方が
望ましい。
【0011】(ii)λiとλjの一方のみを信号光(例
えばλi)として送信し、受信側は波長フィルタリング
して受信する。このためには、LDから出射した2波長
光のうち、信号光(例えばλi)に対しては透過率が高
く、非信号光(例えばλj)に対しては透過率が低い波
長フィルタを通過させて出射光として用いる。
【0012】詳細には、共振器方向に電気信号を印加す
るための電極が複数設けられている本発明の回折格子内
蔵型半導体レーザ装置では、該回折格子のストップバン
ドの内側(両端を含む)の2波長光λi,λjが発振可能
であり、該複数の領域へ印加する信号を制御することで
波長光λi,λjをスイッチングすることが可能な様に構
成されたことを特徴とする。
【0013】また、本発明の半導体レーザ装置の駆動方
法では、共振器方向に電気信号を印加するための電極が
複数設けられている回折格子内蔵型半導体レーザ装置で
あって、該回折格子のストップバンドの内側(両端を含
む)の2波長光λi,λjが発振可能である半導体レーザ
装置において、該複数の領域へ印加する信号を制御する
ことで波長光λi,λjをスイッチングすることにより、
波長光λiまたはλjのどちらかの信号を送信することを
特徴とする。
【0014】また、本発明の光送信装置または方式で
は、上記半導体レーザから出射される異なる2つの波長
の光について、信号光については透過率が高く、非信号
光については透過率が小さい波長フィルターを通過させ
て信号光の波長の光出力のみを送信することを特徴とす
る。
【0015】また、本発明の光送信方式では、上記半導
体レーザ装置を信号の送信器とし、複数の該半導体レー
ザ装置から送信された異なる複数の波長の信号光から、
受信器側で波長可変フィルターにより所望の波長の光を
選別することにより所望の信号光を受信することを特徴
とする。
【0016】より具体的には、共振器内に位相調整領域
が設けられており、該位相調整領域へ印加する電気信号
を制御して該位相調整領域の等価屈折率を制御すること
によって、波長光λiとλjをスイッチングできたり、前
記回折格子のストップバンドの内側の2波長光が、スト
ップバンドの両端の2つの波長λi,λiであったり、前
記位相調整領域へ電流を注入することで、該位相調整領
域の等価屈折率を制御したり、前記位相調整領域へ電圧
を印加することで、該位相調整領域の等価屈折率を制御
したりする。
【0017】
【実施例1】以下、本発明の第1の実施例を説明する。
先ずその原理を説明した後、その構造を述べる。
【0018】図1は、電流注入により屈折率を変化でき
る位相調整領域をもつDFB構造LDの共振方向断面図
を示す。
【0019】位相調整領域(I)は活性領域(II)、
(III)に囲まれて形成されており、各領域の長さ、
ブラッグ波長λBに対する実効屈折率は、それぞれ、
p、La1、La2、Np、Na、Naである。電流注入のた
めの電極8は3分割されており、領域(I)、(I
I)、(III)への注入電流密度はJp、Ja、Ja
あり、領域(I)への注入電流IpがIpsを中心にΔI
psだけ変調することで、波長スイッチングが行われる。
この詳細を説明する。
【0020】ここで、共振器内の回折格子gのピッチΛ
とブラッグ波長λBの関係は、 λB=2NaΛ である。
【0021】位相調整領域(I)によるブラッグ波長λ
Bの位相シフト量Ωは、 Ω=4π(Na−Np)Lp/λB と表せ、Npは注入キャリア密度nにより以下の関係で
制御できる。 ΔNp/Np=−e2n/(2mcω2ε) ここで、eは単位電荷、mcは有効電子質量、ωは光の
角周波数、εは誘電率である。
【0022】位相シフト量Ωが2πの整数倍であるとき
の本LD素子の反射スペクトルを図2に示す。ブラッグ
波長λBにおいて反射率は低くストップバンドを形成し
ているが、その両端の波長λ1、λ2においては反射率の
高いピークが生じる。
【0023】本発明では、このλ1とλ2の波長間でスイ
ッチングすることで、どちらかの波長の光に着目したと
き、そのON/OFF光出力比を大きくし、しかも、動
的波長変動を抑えることができる。
【0024】1.3μm帯、1.55μm帯では、│λ
1−λ2│は約20Åであり、0.8μm帯では、約5Å
である。
【0025】図3(a)、(b)には、位相調整領域
(I)への電流注入量Ipを変化させた場合の、数値解
析により求めた発振波長としきい利得の変化を示す。該
注入電流の増加につれて、位相シフト量Ωは増加して、
発振波長はλ2からλ1へほぼ直線的に変化し、これにつ
れてしきい利得は一端減少しその後増加する。発振波長
がλ1になると(位相シフト量Ωが2πの整数倍である
とき)、λ1でのしきい利得とλ2でのしきい利得が等し
くなり、急にλ2が発振を始めて逆にλ1が発振を停止
し、波長スイッチングが生じる。このことにより、位相
調整領域(I)への注入電流密度を、λ1とλ2が波長ス
イッチングを起こす値Jpsにおいて、わずかにΔJps
け変化させることで、λ1とλ2の波長スイッチングを制
御することができる。
【0026】次に、図1に示した本実施例のDFB−L
Dの構造について説明する。
【0027】図1中、1はn−InP基板、2はn−I
nGaAsP光導波層(このエネルギバンドギャップ相
当波長:λg=1.35μm)、3はi−InGaAs
P活性層(λg=1.55μm)、4と6はp−InP
クラッド層、5と7はp−InGaAsPキャップ層
(λg=1.2μm)、8はp型電極、9はn型電極、
10はSiNx無反射コーティングである。回折格子g
は、n−InP基板1上に形成されており、共振方向に
均一に形成されている。また、前述した様に、各領域の
構造は、共振方向において、活性領域(II)、位相調
整領域(I)、活性領域(III)に分かれており、そ
れに対応してキャップ層5、7と、電極8は分離形成さ
れている。
【0028】第1の実施例では、活性領域(II)、
(III)には、等しい電流密度Jaで電流注入が可能
なようになっているが、これは本発明の本質ではなく、
異なる電流密度で電流注入が可能であってもよい。
【0029】次に、図1のDFB−LDの作製方法につ
いて説明する。
【0030】最初に、n−InP基板1上に、通常の方
法の2光束干渉露光及び化学エッチングにより周期22
50Åの回折格子gを均一に形成する。この基板1上
に、層2、3、4、5を順次結晶成長する。つぎに、位
相シフト領域(II)の層3、4、5を通常のフォトリ
ソグラフィ及びエッチング工程により除去し、p−In
Pクラッド層6、p−InGaAsPキャップ層7を再
成長する。その後、共振器方向に電流と光を閉じ込める
構造を形成するためにメサ加工し、InPを埋め込み再
成長する(不図示)。最後に、電極8、9を順次蒸着
し、各領域(I)、(II)、(III)形成のための
電極分離後、端面に無反射コーティング10を施す。
【0031】本DFB−LDの駆動方法は既に述べた
が、その詳細は次の様になる。領域(I)への注入電流
p=Oで、領域(I)、(III)への注入電流Ia
増加させていくと、Ia=Iathにおいてλ1またはλ2
おいて発振する。発振直前の発光スペクトルは図2の反
射スペクトルと同様である。IaをIathを超える値に固
定して、領域(I)への注入電流Ipを増加させていく
と、図3に示すように、DFB−LDのストップバンド
の両端の波長のうち、長波長側の波長λ2が短波長側へ
移動して、また、しきい利得が低下するために、光出力
は増加してくる。発振波長がブラッグ波長λBになる
と、しきい利得は最低となるので、光出力は最大とな
る。さらに領域(I)への注入電流Ipを増加すると、
発振波長はさらに短波長化してλ1に近づいていくが、
しきい利得は増加に転じる。発振波長がλ1になるとλ2
とのしきい利得が等しくなるために、λ2への波長スイ
ッチングが生じ易くなる。こうして、位相調整領域
(I)への注入電流密度を、λ1とλ2が波長スイッチン
グを起こす値Jpsにおいて、わずかにΔJpsだけ変化さ
せることで、λ1とλ2の波長スイッチングを制御する。
【0032】図4に、本発明の波長スイッチングによる
光変調方式について示す。
【0033】領域(I)、(III)への注入電流Ia
を上記Iathを超える値に設定し、領域(I)への注入
電流IpをIpsにおいてΔIpsだけ変調する場合のIp
時間変化を図4(a)に示す。
【0034】本実施例では、この状態で領域(I)への
注入電流IpをIpsを中心としてΔIpsだけ変調するこ
とで、λ1とλ2を波長スイッチングすることが特徴であ
る。波長λ1の光出力については、図4(b)に示すよ
うに、位相調整領域(I)への注入電流が(Ips−ΔI
ps/2)のときにはON状態、(Ips+ΔIps/2)の
ときにはOFF状態となり、その光出力比は大きく、ま
た動的波長変動は殆どない状態である。一方、波長λ2
の光出力については、図4(c)に示すように、位相調
整領域(I)への注入電流が(Ips−ΔIps/2)のと
きにはOFF状態、(Ips+ΔIps/2)のときにはO
N状態となり、その光出力比は大きく、また動的波長変
動は殆どない状態である。さらに、本実施例の特徴は、
変調にもかかわらず、λ2とλ1の光出力については変化
しないことである。これは、λ1とλ2の発振時の共振器
内でのキャリア密度分布、光子密度分布が同じであるこ
とによる。
【0035】以上のように、本実施例のDFB−LDの
駆動法を用いると、λ1の光出力に着目すると、高いO
N/OFF光出力比で、チャーピングのない光パルスが
得られる。以下では、λ1を信号光とみなした場合の通
信方法について説明するが、λ2を信号光とみなした場
合でも同様であることは言うまでもない。λ1の光パル
スを有効にWDM光通信に用いるためには、以下の2通
りがある。
【0036】(1)λ2がWDM波長にかからないよう
に設定し、λ1だけを信号光として用いる。このために
は、λ2をWDM波長帯域の外に設定する方法(図5
(a))と、λ2をWDM波長の間隔内に設定する方法
(図5(b))がある。 (2)λ1に対して高い透過率で、λ2に対して低い透過
率の波長フィルタを通過させて送信させ、λ1の光だけ
を通信媒体中を伝送する(図5(c))。
【0037】(2)の手段によれば、WDM波長設定に
自由度が増すために、WDM波長多重度の拡大のために
は適している。
【0038】本発明のDFB−LD駆動法を用いた複数
の送信装置と、複数の受信装置とからなるWDM光通信
システムにおいて、各送信装置から送信される信号光の
波長設定は通常の通信システムと同様である。
【0039】
【他の実施例】本発明の第2の実施例として、位相調整
領域(I)に電圧を印加することで屈折率を変化させる
場合について説明する。構造は図1とほぼ同様である。
位相調整領域(I)がバルク構造の場合には、ポッケル
ス効果により、量子井戸構造の場合には、QCSE効果
(量子閉じ込めシュタルク効果)により、屈折率が変化
することを利用する。印加電圧量Vpについては、λ1
λ2がスイッチングする値Vpsを中心にΔVps変化させ
ることで実現可能である。その他は、第1の実施例と同
様なので説明は省略する。
【0040】以上、上記実施例では、回折格子内蔵型L
Dの回折格子による共振器のストップバンドの両端の波
長をスイッチングする場合について説明した。
【0041】しかし、本発明の本質は、2つの波長λi
とλjについて波長スイッチングを行うことで、いずれ
かの波長を信号光として送信し、該信号光の消光比を高
め、チャーピングを減少させることである。例えば、図
3において位相調整領域(I)への注入電流JpがOか
らJpsまで変化すると、発振波長はλ2からλ1まで連続
に変化するが、この範囲において2つの波長λiとλj
設定され、該2波長光を波長スイッチング変調しても本
発明が適応できることはいうまでもない。
【0042】また、波長スイッチングを制御する構造に
ついては、共振器内のいずれの領域に電気信号を印加し
てもよく、安定に2波長λiとλjが波長スイッチングす
ればよい。
【0043】LD構造については、共振器構造中に回折
格子が内蔵されており、これにより動的に単一な縦モー
ドが選択的に発振するような構造であればよく、位相調
整領域における利得、損失の有無、回折格子の有無、ま
たその領域の共振器内における位置は光出力特性、波長
スイッチング特性、変調特性等に強く影響するが、スト
ップバンドの内側(両端を含む)の波長がスイッチング
できるように最適化されていればよい。LDの断面構造
は、埋め込み構造に限らず、リッジ導波路構造、横方向
注入構造等通常のLD構造であればよい。共振方向の構
造については、利得のない回折格子内蔵導波路領域、回
折格子のない活性領域等、通常設けられる各種の領域が
形成されていてもよい。
【0044】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の位相調整領域を持つ回折格子内蔵型LDの駆動法によ
れば、わずかな電気信号の変化で、高い光出力ON/O
FF比を持ち、チャーピングの殆どないデジタル強度変
調が可能となり、検出誤り率の小さなWDM光伝送を実
現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例である電流注入による位
相調整領域を持つDFB−LD構造の共振方向断面図。
【図2】位相調整領域での位相シフト量Ωが2πの整数
倍であるときの本LD素子の反射スペクトルを示す図。
【図3】位相調整領域への電流注入量を変化させた場合
の、本LD素子の発振波長の変化(a)と、しきい利得
の変化(b)を示す図。
【図4】本発明のLD駆動を行った場合の各波長の光出
力を模式的に表す図で、(a)位相調整領域への注入電
流波形、(b)λ1の光出力波形、(c)λ2の光出力波
形、(d)全光出力の時間変化を示す。
【図5】本発明のWDM光通信における波長設定に関
し、λ1だけを信号光として用いた場合の、(a)λ2
WDM波長帯域の外に設定する方法、(b)λ2をWD
M波長の間隔内に設定する方法、(c)λ1に対して高
い透過率で、λ2に対して低い透過率の波長フィルタを
通過させて送信させて、λ1の光だけを通信媒体中を伝
送する場合の波長設定方法を示す。
【符号の説明】
1 n−Inp基板 2 n−InGaAsP光導波層(λg=1.35
μm) 3 i−InGaAsP活性層(λg=1.55μ
m) 4、6 p−Inpクラッド層 5、7 p−InGaAsPキャップ層(λg
1.2μm) 8 p型電極 9 n型電極 10 SiNx無反射コーティング g グレーティング (I) 位相調整領域 (II)、(III) 活性領域 Lp 位相調整領域(I)の長さ La1、La2 活性領域(II)、(III)の長
さ Np 位相調整領域における等価屈折率 Np 活性領域における等価屈折率 Jp 位相調整領域への注入電流密度 Ja 活性領域への注入電流密度

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 共振器方向に電気信号を印加するための
    電極が複数設けられている回折格子内蔵型半導体レーザ
    装置において、該回折格子のストップバンドの内側(両
    端を含む)の2波長光λi,λjが発振可能であり、該複
    数の領域へ印加する信号を制御することで波長光λi
    λjをスイッチングすることが可能な様に構成されたこ
    とを特徴とする半導体レーザ装置。
  2. 【請求項2】 共振器内に位相調整領域が設けられてお
    り、該位相調整領域へ印加する電気信号を制御して該位
    相調整領域の等価屈折率を制御することによって、波長
    光λiとλjをスイッチングできることを特徴とする請求
    項1記載の半導体レーザ装置。
  3. 【請求項3】 前記回折格子のストップバンドの内側の
    2波長光が、ストップバンドの両端の2つの波長λi
    λiであることを特徴とする請求項1記載の半導体レー
    ザ装置。
  4. 【請求項4】 前記位相調整領域へ電流を注入すること
    で、該位相調整領域の等価屈折率を制御することを特徴
    とする請求項2記載の半導体レーザ装置。
  5. 【請求項5】 前記位相調整領域へ電圧を印加すること
    で、該位相調整領域の等価屈折率を制御することを特徴
    とする請求項2記載の半導体レーザ装置。
  6. 【請求項6】 共振器方向に電気信号を印加するための
    電極が複数設けられている回折格子内蔵型半導体レーザ
    装置であって、該回折格子のストップバンドの内側(両
    端を含む)の2波長光λi,λjが発振可能である半導体
    レーザ装置において、該複数の領域へ印加する信号を制
    御することで波長光λi,λjをスイッチングすることに
    より、波長光λiまたはλjのどちらかの信号を送信する
    ことを特徴とする半導体レーザ装置の駆動方法。
  7. 【請求項7】 共振器内に位相調整領域が設けられてお
    り、該位相調整領域へ印加する電気信号を制御して該位
    相調整領域の等価屈折率を制御することによって、波長
    光λiとλjをスイッチングし、波長光λiまたはλjのど
    ちらかの信号を送信することを特徴とする請求項6記載
    の半導体レーザ装置の駆動方法。
  8. 【請求項8】 前記回折格子のストップバンドの内側の
    2波長光が、ストップバンドの両端の2つの波長λi
    λiであることを特徴とする請求項6記載の半導体レー
    ザ装置の駆動方法。
  9. 【請求項9】 前記位相調整領域へ電流を注入すること
    で、該位相調整領域の等価屈折率を制御することを特徴
    とする請求項6記載の半導体レーザ装置の駆動方法。
  10. 【請求項10】 前記位相調整領域へ電圧を印加するこ
    とで、該位相調整領域の等価屈折率を制御することを特
    徴とする請求項6記載の半導体レーザ装置の駆動方法。
  11. 【請求項11】 請求項1記載の半導体レーザから出射
    される異なる2つの波長の光について、信号光について
    は透過率が高く、非信号光については透過率が小さい波
    長フィルターを通過させて信号光の波長の光出力のみを
    送信することを特徴とする光送信装置。
  12. 【請求項12】 請求項1記載の半導体レーザから出射
    される異なる2つの波長の光について、信号光について
    は透過率が高く、非信号光については透過率が小さい波
    長フィルターを通過させて信号光の波長の光出力のみを
    送信することを特徴とする光通信方式。
  13. 【請求項13】 請求項1記載の半導体レーザ装置を信
    号の送信器とし、複数の該半導体レーザ装置から送信さ
    れた異なる複数の波長の信号光から、受信器側で波長可
    変フィルターにより所望の波長の光を選別することによ
    り所望の信号光を受信することを特徴とする光通信方
    式。
JP18723993A 1993-06-30 1993-06-30 半導体レーザ装置、その駆動方法とそれを用いた光通信方式 Pending JPH0722702A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004343089A (ja) * 2003-04-22 2004-12-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光源装置の駆動方法および駆動回路
JP2008085214A (ja) * 2006-09-28 2008-04-10 Fujitsu Ltd 波長可変レーザ
US7580183B2 (en) 2002-03-01 2009-08-25 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Light generator, optical amplifier, and optical communication system
WO2024105764A1 (ja) * 2022-11-15 2024-05-23 日本電信電話株式会社 光デバイス

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