JPH07230013A

JPH07230013A - 交差導波路構造及びこれを用いた光スイッチ

Info

Publication number: JPH07230013A
Application number: JP2236494A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Okayama; 秀彰岡山; Masato Kawahara; 正人川原
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1994-02-21
Filing date: 1994-02-21
Publication date: 1995-08-29

Abstract

(57)【要約】【目的】交差角が１〜３°であってもクロストーク特
性が実用的な交差導波路構造を提供すること。【構成】光を交差させるための交差導波路構造１１
を、多モード導波路１５であって該導波路１５中にＸ字
状の領域１５ａでかつ該領域の屈折率が該導波路中の他
の領域１５ｂより高くされたＸ字状の領域１５ａを有し
た多モード導波路１５で、構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、導波路中を伝搬する
光の進行方向を設定する光導波路構造とこれを用いた光
スイッチとに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ある導波路を伝搬してきた光を別の導波
路を交差するように伝搬させるための導波路構造（これ
を交差導波路構造ということにする。）の従来例とし
て、例えば文献Ｉ（エレクトロニクスレターズ（Elec
tronics Letters ）Vol.23,pp.72-73(1987.1.16)）に開
示されたものがある。文献Ｉに開示のこの交差導波路構
造は、基板（ここではLiNbO₃基板）と、該基板に互いが
Ｘ字型に交差するように形成された２本の導波路（ここ
ではTi導波路）とで構成されたものであった。この交差
導波路構造では２本の導波路のうちの一方の導波路の入
力端から入力した光は該一方の導波路の出力端から出力
される。この際、一方の導波路の入力端から入力した光
が他方の導波路の出力端に漏れてしまう程度いわゆるク
ロストークは少ない程、好ましい。文献Ｉの特にＦｉ
ｇ．２には、この交差導波路構造における２本の導波路
がなす角（以下、交差角°）をパラメータとした場合
の、上記クロストーク特性の変化具合が示されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、２本の
導波路を単に交差させた構造の交差導波路構造では、文
献ＩのＦｉｇ．２からも理解出来るように、交差角を小
さくするに従いクロストーク特性が悪化する。したがっ
て、交差角をあまり小さくできないという問題点があっ
た。交差角を小さく出来ると、例えば交差導波路構造と
光ファイバとの間に曲線導波路を設ける必要がなくなる
のでその分導波路構造全体の小型化が図れる等の利点が
得られる。また、例えば光スイッチや光スイッチ網の小
型化に寄与でき、また、これらの設計自由度を高めるこ
とができる等の利点が得られる。したがって、上記問題
点の解決が望まれる。また、交差角が１°以下である交
差導波路構造を構成する場合非対称Ｘ分岐を用いること
によりクロストークを小さく出来ることが知られている
が、この場合交差部の長さが長くなるため小型化が図れ
ない。ロスが小さくかつ小型化可能でしかも交差角が１
〜３°の領域でクロストークの低減が可能な構造は知ら
れていなかった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】そこで、この出願の第一
発明では、交差導波路構造を、多モード導波路であって
該導波路中にＸ字状の領域でかつ該領域の屈折率が該導
波路中の他の領域より高くされたＸ字状の領域を有した
多モード導波路で、構成する。

【０００５】

【作用】この第一発明の構成によれば、多モード導波路
自体がそもそも導波路であるので、伝搬光は先ずこの多
モード導波路内にとじこめられる。また、多モード導波
路中のＸ字状の領域は該多モード導波路中の他の領域よ
り高屈折率な領域とされているので、多モード導波路に
入力された光は該Ｘ字状の領域を主に伝搬する。ただ
し、この第一発明の構成の場合、導波路中に導波路（Ｘ
字状の領域）が存在する二重導波路構造といえるので、
多モード導波路中の、Ｘ字状の領域の屈折率と、そうで
ない領域の屈折率との差をそれ程大きくしなくとも、光
はＸ字状の領域を優位に伝搬する。Ｘ字状の領域の屈折
率と、そうでない領域（Ｘ字部分に接する領域）の屈折
率との差が小さくできるので、その分、クロストークが
低減される（詳細は後述する）。

【０００６】

【実施例】以下、図面を参照してこの出願の第一〜第三
発明の実施例についてそれぞれ説明する。なお、説明に
用いる各図はこの発明を理解出来る程度に各構成成分の
寸法、形状及び配置関係を概略的に示してあるにすぎな
い。また、各図において同様な構成成分には同一の番号
を付して示し、その重複説明を省略する場合もある。

【０００７】１．第一発明（交差導波路構造）の実施例
の説明１−１．第１実施例図１は第一発明の交差導波路構造１１の一実施例を示し
た平面図である。この実施例の交差導波路構造１１は、
基板１３と、該基板１３に設けられた所定の多モード導
波路１５（詳細は後述する）と、入出力ポート１７ａ〜
１７ｄとを具える。

【０００８】ここで、多モード導波路１５は、該導波路
１５中にＸ字状の領域１５ａでかつ該領域１５ａの屈折
率が該導波路１５中の他の領域１５ｂより高くされたＸ
字状の領域１５ａを有した多モード導波路１５としてあ
る。したがってこの実施例の交差導波路構造では、基板
１３と、多モード導波路１５中のＸ字状の領域１５ａ
と、Ｘ字状の領域１５ａ以外の領域１５ｂとにおける屈
折率の大小関係は、Ｘ字状の領域１５ａ＞Ｘ字状の領域
以外の領域１５ｂ＞基板１３となる。もしここで、Ｘ字
状の領域１５ａ以外の領域１５ｂの屈折率を基板１３の
屈折率と同じとすると、文献Ｉなどに開示されている従
来の交差導波路構造の構成になってしまうことを付記す
る。なお、Ｘ字状の領域１５ａの屈折率とそれ以外の領
域１５ｂの屈折率との差（以下、Δｎ_X という）をどの
程度にするかは設計に応じ決定する。またこのとき、基
板１３の屈折率と多モード導波路１５におけるＸ字状の
領域１５ａ以外の領域１５ｂの屈折率との差（以下、Δ
ｎ_M ）、及び、Δｎ_X ／Δｎ_M をそれぞれどの程度にす
るかも重要なパラメータと考えられるが、これらΔｎ_X
及びΔｎ_X ／Δｎについての説明の一例を後に示してあ
る。

【０００９】また、この実施例では、多モード導波路１
５の平面形状を長方形としてある。さらにこの実施例で
は、長方形状の多モード導波路１５及びＸ字状の領域１
５ａは、Ｘ字状の導波路１５ａの４つの端部１５ａａ、
１５ａｂ、１５ａｃ及び１５ａｄが、長方形の導波路１
５の４つの角部分に位置するように、それぞれ配置して
ある。また、Ｘ字の領域１５ａを構成している２本導波
路の幅Ｗ₁ 、Ｗ₂ はこの実施例では同じとしている。ま
た、入出力ポート１７ａ〜１７ｄは、Ｘ字状の領域１５
ａの各端部１５ａａ〜１５ａｄ各々に重複なく接するよ
うに配置してある。

【００１０】もちろん、多モード導波路１５の平面形
状、Ｘ字状の領域１５ａを構成している２本の導波路の
幅Ｗ₁ 、Ｗ₂ などは設計に応じ変更出来る。また、Ｘ字
状の領域１５ａに関し、図１の例では、Ｘ字を構成する
２本の導波路が直線である例を示したがこれに限られず
概略的にＸ字状の場合も含む。例えば図２に示したよう
な、途中で交差角が小さい導波路１５ｃを接続して構成
した略Ｘ字状の領域であっても良い。この図２の構成の
場合、交差角を大きくする或は、Ｘ字状の領域１５ａ，
１５ｃとそうでない領域１５ｂとの間の屈折率差を大き
くした場合にも、図１の場合に比べ、入力端からＸ字状
の領域に光がスムーズに入射できる。

【００１１】上述のような多モード導波路１５、Ｘ字状
の領域１５ａ及び入出力ポート１７ａ〜１７ｄは従来公
知の導波路作製技術で形成出来る。例えば基板１３とし
てＬｉＮｂＯ₃ を用いる場合なら、多モード導波路１
５、Ｘ字状の領域１５ａ及び入出力ポート１７ａ〜１７
ｄは、例えば基板にＴｉを拡散させることで形成出来
る。また、基板として化合物半導体基板を用いる場合な
ら、多モード導波路１５、Ｘ字状の領域１５ａ及び入出
力ポート１７ａ〜１７ｄは例えば高さを適性に制御した
リッジ状の導波路で構成出来る。また、Ｘ字状の領域１
５ａは上記したような導波路作製技術で予め固定的に作
製されたものに限られない。予め導波路として作製して
おかずに外的手段（例えば電気光学効果を有する基板に
電圧を印加する等）によって後発的にＸ字状の領域１５
ａが形成されるような場合もこの第一発明に含まれる。

【００１２】この第一発明の交差導波路構造１１では、
例えば入出力ポート１７ａより入射された光はＸ字状の
領域１５ａの一方の導波路の入力端１５ａａを通りＸ字
状の領域１５ａに導かれ、そして該一方の導波路の出力
端１５ａｄ、入出力ポート１７ｄを通り出力される。交
差導波路構造において入出力ポート１７ａより入射され
た光の入出力ポート１７ｃ方向への漏れを小さくするた
め（つまり、クロストーク特性を良好なものとするた
め）には、Ｘ字状の領域１５ａ（特に交差点部分）の屈
折率とＸ字状の領域周囲の部分１５ｂの屈折率との差が
小さい方が良いことが知られている。例えば、Ｘ字状の
領域１５ａの交差角θを３°、該領域の１５ａの屈折率
を３．５、伝搬光の波長を１．３μｍの場合及び１．５
５μｍの場合とそれぞれ仮定し、Ｘ字状の領域１５ａの
屈折率とその周囲領域１５ｂの屈折率との差Δｎ_X が５
×１０^-3の場合、２×１０^-3の場合それぞれのクロスト
ークを、公知のＢＰＭ（Beam Propagation Method ）に
よってシミュレーションすると、前者のクロストークは
−１０ｄＢであるのに対し、後者は−１５ｄＢ以下まで
改善されることが分かった。ただし、このシミュレーシ
ョンに際し、多モード導波路１５の長さＬ、幅Ｗ（図１
参照）をＬ≒１ｍｍ、Ｗ＝２０〜３０μｍとし、Ｘ字状
の領域を構成する各導波路の幅Ｗ₁ 、Ｗ₂ をそれぞれ１
０μｍとしている。さらに、基板１３の屈折率と多モー
ド導波路１５におけるＸ字状の領域１５ａ以外の領域１
５ｂの屈折率との差Δｎ_M 及び、Ｘ字状の領域１５ａの
屈折率とＸ字状の領域１５ａ以外の領域１５ｂの屈折率
との差Δｎ_X で示されるΔｎ_X ／Δｎ_M を１／３〜１／
６の範囲と仮定している。

【００１３】基板に単に２本の導波路をこれらが交差す
るように設ける構成の交差導波路構造すなわち従来の交
差導波路構造では、導波路構造を確保する意味から（光
閉じ込めを確保する意味から）、基板の屈折率とこれら
２本の導波路の屈折率との差を小さくするにも限界があ
った。これに対し、この第一発明の構造では、多モード
導波路１５自体で導波路構造がまず確保され、その中に
Ｘ字状の領域１５ａが存在しているので、多モード導波
路１５の、Ｘ字状の領域１５ａとそうでない領域１５ｂ
との屈折率差Δｎ_X を、従来構造での基板と導波路との
間の屈折率差に比べ小さく出来る。このため、交差角を
小さくした状態でも、満足の行くクロストーク特性を有
する交差導波路構造が実現できるのである。また、この
第一発明の交差導波路構造は、交差角を小さくできる分
その全長を短縮できる。実施例でいえば全長１ｍｍ以下
のものも作製可能となる。

【００１４】また、この第一発明の交差導波路構造で
は、入力端１５ａａから多モード導波路１５に入った光
は、ｎ₁ ｃｏｓＱ＝ｎ₂ で与えられる角度Ｑ（交差角θ
／２）で多モード導波路１５を伝搬する。ここで、ｎ₁
はＸ字状の領域１５ａの屈折率であり、ｎ₂ はＸ字状の
領域以外の領域１５ｂの屈折率である。ここで、ｎ₁ と
ｎ₂ との屈折率差Δｎ_X を用いると上記角度Ｑは次式で
近似的に与えられる。

【００１５】Ｑ＝（２Δｎ_X ／ｎ₁ ）^1/2 またここでＱは、Ｑ≒Ｗ／Ｌであるので、Ｑ＝（２Δｎ_X ／ｎ₁ ）^1/2 ＝Ｗ／Ｌ・・・（ａ）が成立する。この（ａ）式からＬはλの関数でない（波
長依存性がないまた偏光依存性がない）ことが分かるか
ら、この第一発明の交差導波路構造は広い波長範囲で動
作可能なものであることが分かる。ただし、Ｌが波長依
存性がないとは、等価屈折率の弱い波長依存性を除いて
の意味である。

【００１６】２．第二発明の実施例の説明次に、第一発明の交差導波路構造に所定の屈折率制御用
電極を設けることで構成される第二発明の光スイッチの
いくつかの実施例について説明する。ただし、以下の各
実施例では基板１３は電気光学効果を有した化合物半導
体基板を仮定している。

【００１７】２−１．第二発明の第１実施例図３は第二発明の第１実施例の説明に供する平面図であ
る。Ｘ字状の領域１５ａを構成する一方の導波路の入力
端１５ａａと他方の導波路の出力端１５ａｃとの間（入
力端１５ａｂと出力端１５ａｃとの間において同じ。）
に存在する該Ｘ字状の領域より屈折率が低くされている
領域に光伝搬経路を生じさせるための屈折率制御用電極
を、この第１実施例では以下のように構成している。す
なわち、図３に示したように、Ｘ字状の領域１５ａを構
成する一方の導波路の入力端１５ａａ（１５ａｂ）と他
方の導波路の出力端１５ａｃ（１５ａｄ）との間に存在
するＸ字状の領域１５ａより屈折率が低くされている領
域１５ｂ上に、電極１９ａ（１９ｂ）を設けてある。た
だし、これら電極１９ａ、１９ｂと対となる電極は基板
１３の裏面に設けてある（図示せず）。また、多モード
導波路１５の中央領域（Ｘ字状の領域１５ａの交差点部
分を含む）上には電極は設けていない。この構成である
と、電極１９ａ及び１９ｂの双方または一方を電極１９
ａ下の部分の屈折率がそれ以外の部分の屈折率より高く
なるように駆動した場合入力端１５ａａと出力端１５ａ
ｃとの間にＸ字状部分１５ａをバイパスするような光伝
搬経路が構成でき、その逆の屈折率関係が生じるように
電極を駆動した場合入力端１５ａｂと出力端１５ａｄと
の間にＸ字状部分１５ａをバイパスするような光伝搬経
路が構成できる。この結果、バー状態のスイッチングが
おこなえる。また、電極を駆動しない場合はクロス状態
のスイッチングが行なえる。この実施例の理解を深める
ため、図３の構成の光スイッチにおいて入力端１５ａａ
（１５ａｂ）から出力端１５ａｄ（１５ａｃ）に伝搬し
ていた光を出力端１５ａｃ（１５ａｄ）に偏向させるた
め電極１９ａ下の部分と電極１９ｂ下の部分との間で必
要な屈折率差を、公知のＢＰＭによってシミュレーショ
ンする。このシミュレーションの際の条件として、多モ
ード導波路１５の長さＬを８００μｍ、幅Ｗを２３μ
ｍ、Ｘ字状の領域を構成する２本の導波路の幅Ｗ₁ 、Ｗ
₂ をそれぞれ５μｍ、Ｘ字状の領域１５ａの屈折率と周
囲領域（図１の１５ｂ）の屈折率との差を１×１０^-3と
それぞれ仮定する。この条件では、上記必要な屈折率差
は２×１０^-3であることが分かった。

【００１８】２−２．第二発明の第２実施例図４は第二発明の第２実施例の説明に供する平面図であ
る。主に、屈折率制御用電極の他の例の説明に供する図
である。

【００１９】上記第二発明の第１実施例では、多モード
導波路１５の中央領域（Ｘ字状の領域１５ａの交差点部
分を含む）上には電極を設けない例を示したが、この第
２実施例では上記中央領域にも屈折率制御用電極１９ｃ
を設けている。ただし、この電極１９ｃは、この電極下
の部分の屈折率を他の部分より低めるように駆動される
ものである。

【００２０】この第二発明の第２実施例の構成では、入
力端１５ａａと出力端１５ａｃとを接続する場合若しく
は入力端１５ａｂと出力端１５ａｄとを接続する場合
は、例えば電極１９ｃ下の部分の屈折率が他の部分の屈
折率より所定量以上低くなるように電極１９ａ〜１９ｃ
の１または複数を駆動する。また、入力端１５ａａと出
力端１５ａｄとを接続する場合若しくは入力端１５ａｂ
と出力端１５ａｃとを接続する場合は、電極１９ｃ下の
部分の屈折率が上がるようかつ電極１９ａ下の部分及び
１９ｂ下の部分の屈折率を下がるよう、しかも、電極１
９ｃ下の部分の屈折率が電極１９ａ下の部分及び１９ｂ
下の部分の屈折率より所定量以上高くなるように電極１
９ａ〜１９ｃの１または複数を駆動する。

【００２１】この第二発明によれば、第一発明の交差導
波路構造に所定の屈折率制御用電極を設けたので、交差
角の小さな光スイッチが実現出来る。交差角が小さいと
全反射角が小さくなるので少しの屈折率変化でもスイッ
チング動作する。このため比較的低電圧で駆動する光ス
イッチが実現出来る。

【００２２】なお、上述の第二発明の第１及び第２実施
例の屈折率制御電極の構成それぞれは、図２に示した交
差導波路構造に対してももちろん適用出来る。その一例
として、図２に示した交差導波路構造に第二発明の第１
実施例の屈折率制御用電極１９ａ，１９ｂを設けた例
を、図５に示した。

【００２３】また、この第二発明でいう屈折率制御用電
極の形状及び配置は上述の各実施例のものに限られず任
意好適な形状、配置とできる。例えば、多モード導波路
１５の中央領域に電極１９ｃのみを設けるような場合で
も良いと考える。

【００２４】３．第三発明の実施例の説明次に、第一発明の交差導波路構造と４個のＹ分岐型の光
スイッチとを用いた第三発明に係る光スイッチについて
説明する。図６はその説明に供する平面図である。

【００２５】この第三発明の光スイッチは、第一発明の
交差導波路構造１１と第１〜第４の４個のＹ分岐型の光
スイッチ２１〜２７とを具える。ただし、第一発明の交
差導波路構造１１におけるＸ字状の領域１５ａの４つの
端部１５ａａ〜１５ａｄそれぞれに、第１〜第４のＹ分
岐型の光スイッチ２１，２３，２５，２４における分岐
側の２本の導波路のうちの一方の導波路２１ａ，２３
ａ，２５ａ，２７ａを重複なく接続してある。さらに、
第１〜第４のＹ分岐型の光スイッチ２１〜２７における
分岐側の２本の導波路のうちのＸ字状の領域１５ａに接
続していない導波路２１ｂ，２３ｂ，２５ｂ，２７ｂに
ついては、Ｘ字状の領域１５ａを構成する一方の導波路
の入力端１５ａａに接続されているＹ分岐型の光スイッ
チ２１及びＸ字状の領域１５ａを構成する他方の導波路
の出力端１５ａｃに接続されているＹ分岐型の光スイッ
チ２５の当該導波路２１ｂ，２５ｂ同士を接続してあ
る。同様に、Ｘ字状の領域１５ａを構成する一方の導波
路の入力端１５ａｃに接続されているＹ分岐型の光スイ
ッチ２３及びＸ字状の領域１５ａを構成する他方の導波
路の出力端１５ａｄに接続されているＹ分岐型の光スイ
ッチ２７の当該導波路２３ｂ，２７ｂ同士を接続してあ
る。なお、図６中、２９は各Ｙ分岐型の光スイッチ２１
〜２７の分岐での光の伝搬方向を制御するための屈折率
制御用電極である。

【００２６】この第三発明の光スイッチでは、入力側の
Ｙ分岐型の光スイッチ（ここでは光スイッチ２１や２３
とする。）でのクロストーク光は、出力側のＹ分岐型の
光スイッチ（ここでは光スイッチ２５や２７とする。）
で排除できるので、Ｙ分岐型の光スイッチを用いたこと
によるクロストーク特性の劣化は生じない。また、Ｙ分
岐型の光スイッチ自体も波長依存性及び偏光依存性が小
さい。これらのことから、第一発明の交差導波路の特徴
を生かした光スイッチ、すなわち、クロストーク特性が
よく、かつ、波長依存性及び偏光依存性が小さい光スイ
ッチが実現される。また、この第三発明の場合は交差導
波路構造１１自体に電極を設ける必要がなくなるという
利点もある。また、交差導波路構造１１自体は既に説明
したように全長１ｍｍ以下と小型であるので、４つのＹ
分岐型の光スイッチを公知の非対称Ｘ分岐で交差させる
場合に比べ１／２程度の長さで２×２の光スイッチが構
成出来る。

【００２７】４．光スイッチ網への応用例の説明図７（Ａ）及び（Ｂ）は第一発明の交差導波路構造を利
用した光スイッチ網のいくつかの例を示した平面図であ
る。図７（Ａ）及び（Ｂ）それぞれにおいて３１は入出
力導波路、３３は光スイッチである。光スイッチ３３の
構造は特に限定されない。光スイッチ３３として種々の
もの或は第二発明または第三発明に係る光スイッチを用
いても良い。ただし、図７（Ａ）には、光スイッチ３３
として多モード導波路を用いかつ多モード導波路の一方
の縁部に屈折率制御用電極３３ａを具えた構成の光スイ
ッチを用いた例を示している。また、図７（Ｂ）には、
光スイッチ３３として多モード導波路を用いかつ多モー
ド導波路の中央に屈折率制御用電極３３ｂを具えた構成
の光スイッチを用いた例を示している。

【００２８】

【発明の効果】上述した説明からも明らかなように、こ
の出願の第一発明によれば、多モード導波路であって該
導波路中にＸ字状の領域でかつ該領域の屈折率が該導波
路中の他の領域より高くされたＸ字状の領域を有した多
モード導波路で、交差導波路構造を構成する。このた
め、交差角１〜３°であっても実用的なクロストーク特
性が得られる交差導波路構造が実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第一発明の実施例の説明図（その１）である。

【図２】第一発明の実施例の説明図（その２）であり、
Ｘ字状の領域の他の例の説明図である。

【図３】第二発明の第１実施例の光スイッチの説明図で
ある。

【図４】第二発明の第２実施例の光スイッチの説明図で
ある。

【図５】第二発明の他の例の説明図であり、図２に示し
た交差導波路構造に所定の屈折率制御用電極を設けて構
成した光スイッチの例を示した図である。

【図６】第三発明の実施例の説明図である。

【図７】（Ａ）及び（Ｂ）は、交差導波路構造の光スイ
ッチ網への応用例を示した図である。

【符号の説明】

１１：実施例の交差導波路構造１３：基板１５：多モード導波路１５ａ：屈折率が高いＸ字状の領域１５ｂ：Ｘ字状の領域以外の領域１５ａａ〜１５ａｄ：Ｘ字状の領域を構成する導波路の
入力端、出力端（Ｘ字状の領域の４つの端部ともい
う。）１５ｃ：交差角θ₁ の導波路部分１７ａ〜１７ｄ：入出力ポート１９ａ〜１９ｃ：屈折率制御用電極２１〜２７：第１〜第４のＹ分岐型の光スイッチ２１ａ〜２７ａ：分岐側の一方の導波路２１ｂ〜２７ｂ：分岐側の他方の導波路２９：各Ｙ分岐型の光スイッチの屈折率制御用電極

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光を交差させるための交差導波路構造
を、多モード導波路であって該導波路中にＸ字状の領域
でかつ該領域の屈折率が該導波路中の他の領域より高く
されたＸ字状の領域を有した多モード導波路で、構成し
たことを特徴とする交差導波路構造。
【請求項２】請求項１に記載の交差導波路構造に、該
構造におけるＸ字状の領域を構成する一方の導波路の入
力端と他方の導波路の出力端との間に存在する該Ｘ字状
の領域より屈折率が低くされている領域に光伝搬経路を
生じさせるための屈折率制御用電極を、設けて成ること
を特徴とする光スイッチ。
【請求項３】請求項１に記載の交差導波路構造と、第１〜第４の４つのＹ分岐型の光スイッチとを具え、か
つ、該交差導波路構造におけるＸ字状の領域の４つの端部そ
れぞれに、該第１〜第４のＹ分岐型の光スイッチにおけ
る分岐側の２本の導波路のうちの一方の導波路を重複な
く接続してあり、これら第１〜第４のＹ分岐型の光スイッチにおける分岐
側の２本の導波路のうちの前記Ｘ字状の領域に接続して
いない導波路については、前記Ｘ字状の領域を構成する
一方の導波路の入力端に接続されているＹ分岐型の光ス
イッチ及び前記前記Ｘ字状の領域を構成する他方の導波
路の出力端に接続されているＹ分岐型の光スイッチの当
該導波路同士を接続してあることを特徴とする光スイッ
チ。