JPH07232915A - 廃水中のフッ素回収方法 - Google Patents
廃水中のフッ素回収方法Info
- Publication number
- JPH07232915A JPH07232915A JP4194327A JP19432792A JPH07232915A JP H07232915 A JPH07232915 A JP H07232915A JP 4194327 A JP4194327 A JP 4194327A JP 19432792 A JP19432792 A JP 19432792A JP H07232915 A JPH07232915 A JP H07232915A
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- Japan
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- fluorine
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 廃水中のフッ素イオンを、高濃度の再利用可
能な形態で回収することのできる廃水中のフッ素回収方
法を提供することを目的とする。 【構成】 フッ素イオンを含む廃水を弱塩基性イオン交
換樹脂塔に通水して該廃液中のフッ素イオンを該弱塩基
性イオン交換樹脂塔内の弱塩基性イオン交換樹脂に実質
的に飽和吸着させる工程と、前記弱塩基性イオン交換樹
脂塔に水酸化アンモニウムを含む溶離液を通液させて、
前記弱塩基性イオン交換樹脂に吸着されたフッ素イオン
を該溶離液中に濃縮回収する工程とを含むことを特徴と
する廃水中のフッ素回収方法
能な形態で回収することのできる廃水中のフッ素回収方
法を提供することを目的とする。 【構成】 フッ素イオンを含む廃水を弱塩基性イオン交
換樹脂塔に通水して該廃液中のフッ素イオンを該弱塩基
性イオン交換樹脂塔内の弱塩基性イオン交換樹脂に実質
的に飽和吸着させる工程と、前記弱塩基性イオン交換樹
脂塔に水酸化アンモニウムを含む溶離液を通液させて、
前記弱塩基性イオン交換樹脂に吸着されたフッ素イオン
を該溶離液中に濃縮回収する工程とを含むことを特徴と
する廃水中のフッ素回収方法
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フッ酸を含む廃水中か
らフッ素を再利用可能な形態で濃縮して回収する方法に
関するものである。
らフッ素を再利用可能な形態で濃縮して回収する方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から半導体製造工程においてはエッ
チング液としてフッ酸が多量に用いられており、このた
め半導体製造工場のエッチング工程から出る廃水中には
少量のフッ酸が含まれている。このような廃水はフッ酸
を含んだまま排出させることができないため、従来から
フッ酸を除去した後に放出することが行われている。従
来、廃水中に含まれるフッ酸を除去する方法としては、
廃水中に水酸化カルシウムを添加してフッ素イオンを難
溶性のＣａＦ2 として沈殿させ汚泥として処理する方法
や、イオン交換樹脂にフッ素イオンを吸着させ、水酸化
ナトリウム水溶液で溶離して回収する方法が採られてい
た。
チング液としてフッ酸が多量に用いられており、このた
め半導体製造工場のエッチング工程から出る廃水中には
少量のフッ酸が含まれている。このような廃水はフッ酸
を含んだまま排出させることができないため、従来から
フッ酸を除去した後に放出することが行われている。従
来、廃水中に含まれるフッ酸を除去する方法としては、
廃水中に水酸化カルシウムを添加してフッ素イオンを難
溶性のＣａＦ2 として沈殿させ汚泥として処理する方法
や、イオン交換樹脂にフッ素イオンを吸着させ、水酸化
ナトリウム水溶液で溶離して回収する方法が採られてい
た。
【０００３】しかしながら、水酸化カルシウムを用いる
方法では回収したＣａＦ2 は産業廃棄物として廃棄され
るため廃棄処理に制限を受け、再利用するためには再度
高温で電気分解しなければならないため再生コストが非
常に高くなってしまうという問題がある。
方法では回収したＣａＦ2 は産業廃棄物として廃棄され
るため廃棄処理に制限を受け、再利用するためには再度
高温で電気分解しなければならないため再生コストが非
常に高くなってしまうという問題がある。
【０００４】また、イオン交換樹脂にフッ素イオンを吸
着させ水酸化ナトリウム水溶液で溶離させる方法では、
フッ素イオンはＮａＦとして回収されるがＮａＦの溶解
度は4.15ｇ／100 ｇ水（25℃）と非常に低く、これ以上
ＮａＦの濃度を高くするとイオン交換樹脂塔内で沈殿が
析出してイオン交換容量を下げたり、通水時の圧損を大
きくするという問題があり高濃度での回収は不可能であ
る。また、水酸化カリウム水溶液を溶離液として用いれ
ば水酸化ナトリウムの場合よりも濃度の高い回収液を得
ることが可能であるが、水酸化カリウムは比重が大きい
ため溶離液の濃度を高くするとイオン交換樹脂が溶離液
中で浮遊してしまうという操業上の問題があり、結果的
に溶離液の濃度を低くしなければならないため、濃度の
低い状態でしか回収できないという問題がある。
着させ水酸化ナトリウム水溶液で溶離させる方法では、
フッ素イオンはＮａＦとして回収されるがＮａＦの溶解
度は4.15ｇ／100 ｇ水（25℃）と非常に低く、これ以上
ＮａＦの濃度を高くするとイオン交換樹脂塔内で沈殿が
析出してイオン交換容量を下げたり、通水時の圧損を大
きくするという問題があり高濃度での回収は不可能であ
る。また、水酸化カリウム水溶液を溶離液として用いれ
ば水酸化ナトリウムの場合よりも濃度の高い回収液を得
ることが可能であるが、水酸化カリウムは比重が大きい
ため溶離液の濃度を高くするとイオン交換樹脂が溶離液
中で浮遊してしまうという操業上の問題があり、結果的
に溶離液の濃度を低くしなければならないため、濃度の
低い状態でしか回収できないという問題がある。
【０００５】また、フッ酸のアルカリ塩の用途は限られ
ているため、再利用の範囲を広げるためにはフッ素を分
離するための別工程を必要とし、再生コストが非常に高
くなってしまうという問題があった。
ているため、再利用の範囲を広げるためにはフッ素を分
離するための別工程を必要とし、再生コストが非常に高
くなってしまうという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題を
解決するためになされたもので、廃水中のフッ素イオン
を、高濃度の再利用可能な形態で回収することのできる
廃水中のフッ素回収方法を提供することを目的とする。
解決するためになされたもので、廃水中のフッ素イオン
を、高濃度の再利用可能な形態で回収することのできる
廃水中のフッ素回収方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、かかる従
来の問題を解消すべく研究をすすめたところ、弱塩基性
イオン交換樹脂塔を用いる方法において、溶離液として
水酸化アンモニウム溶液を用いた場合に、水酸化アンモ
ニウム水溶液の密度は他のアルカリ水溶液より小さく、
吸着イオンを溶離する際にもイオン交換樹脂の浮遊の問
題が生じるようなことがなく、また、フッ化アンモニウ
ムの溶解度は84.8ｇ／100 ｇ水（25℃）で、高濃度溶液
として回収することができ、しかもこのような高濃度の
フッ化アンモニウム水溶液はセメント製造業界等でその
まま利用可能であることを発見した。
来の問題を解消すべく研究をすすめたところ、弱塩基性
イオン交換樹脂塔を用いる方法において、溶離液として
水酸化アンモニウム溶液を用いた場合に、水酸化アンモ
ニウム水溶液の密度は他のアルカリ水溶液より小さく、
吸着イオンを溶離する際にもイオン交換樹脂の浮遊の問
題が生じるようなことがなく、また、フッ化アンモニウ
ムの溶解度は84.8ｇ／100 ｇ水（25℃）で、高濃度溶液
として回収することができ、しかもこのような高濃度の
フッ化アンモニウム水溶液はセメント製造業界等でその
まま利用可能であることを発見した。
【０００８】本発明は、かかる知見に基づいてなされた
もので、フッ素イオンを含む廃水を弱塩基性イオン交換
樹脂塔に通水して該廃液中のフッ素イオンを該弱塩基性
イオン交換樹脂塔内の弱塩基性イオン交換樹脂に実質的
に飽和吸着させる工程と、前記弱塩基性イオン交換樹脂
塔に水酸化アンモニウムを含む溶離液を通液させて、前
記弱塩基性イオン交換樹脂に吸着されたフッ素イオンを
該溶離液中に濃縮回収する工程とを含むことを特徴とす
る廃水中のフッ素回収方法である。
もので、フッ素イオンを含む廃水を弱塩基性イオン交換
樹脂塔に通水して該廃液中のフッ素イオンを該弱塩基性
イオン交換樹脂塔内の弱塩基性イオン交換樹脂に実質的
に飽和吸着させる工程と、前記弱塩基性イオン交換樹脂
塔に水酸化アンモニウムを含む溶離液を通液させて、前
記弱塩基性イオン交換樹脂に吸着されたフッ素イオンを
該溶離液中に濃縮回収する工程とを含むことを特徴とす
る廃水中のフッ素回収方法である。
【０００９】本発明によればフッ素イオン濃度が100 ｐ
ｐｍから 5％程度までの廃水からフッ素を回収する方法
として利用することが可能である。
ｐｍから 5％程度までの廃水からフッ素を回収する方法
として利用することが可能である。
【００１０】また、廃水中にフッ素イオンが中性塩の形
で溶解している場合には、中性塩は弱塩基性イオン交換
樹脂塔では捕集できないので、この廃水を、一旦強酸性
カチオン交換樹脂塔に通水して中性塩をフッ酸にした
後、弱塩基性イオン交換樹脂塔に通水することにより会
収率を高めることが可能である。
で溶解している場合には、中性塩は弱塩基性イオン交換
樹脂塔では捕集できないので、この廃水を、一旦強酸性
カチオン交換樹脂塔に通水して中性塩をフッ酸にした
後、弱塩基性イオン交換樹脂塔に通水することにより会
収率を高めることが可能である。
【００１１】本発明における弱塩基性イオン交換樹脂塔
は、１段で用いてもよいが、回収率を高くするため２段
直列させて使用することが好ましい。このように、弱塩
基性イオン交換樹脂塔を２段直列に使用した場合には、
１段目がフッ素イオンにより飽和吸着される前にフッ素
イオンの一部が漏出するようなことがあっても２段目の
弱塩基性イオン交換樹脂塔により捕集することができ、
かつ、１段目が飽和吸着したときは、廃液の通水を２段
目に切り替えて、２段目で吸着を行いながら１段目に溶
離液を通液して吸着フッ素イオンを回収することができ
るので、回収率が向上するとともに、連続処理が可能と
なる。
は、１段で用いてもよいが、回収率を高くするため２段
直列させて使用することが好ましい。このように、弱塩
基性イオン交換樹脂塔を２段直列に使用した場合には、
１段目がフッ素イオンにより飽和吸着される前にフッ素
イオンの一部が漏出するようなことがあっても２段目の
弱塩基性イオン交換樹脂塔により捕集することができ、
かつ、１段目が飽和吸着したときは、廃液の通水を２段
目に切り替えて、２段目で吸着を行いながら１段目に溶
離液を通液して吸着フッ素イオンを回収することができ
るので、回収率が向上するとともに、連続処理が可能と
なる。
【００１２】さらに、高濃度のフッ化アンモニウム溶液
として回収するためには、水酸化アンモニウムを含む溶
離液を弱塩基性イオン交換樹脂塔に通液したとき、フッ
素イオン濃度の低い初期溶離液はフッ素イオンを含む配
送を収容する廃水槽へ還流させ、フッ素イオン濃度があ
る程度高くなった後のフッ素イオン濃度の高い溶離液を
回収液槽に回収するようにし、イオン交換樹脂に吸着さ
れたフッ素イオンの溶離が進んで溶離液中のフッ素イオ
ン濃度が再び低くなったときには、その後の後期溶離液
は水酸化アンモニウムを含む溶離液を収容する溶離液槽
へ還流させるようにすることが望ましい。
として回収するためには、水酸化アンモニウムを含む溶
離液を弱塩基性イオン交換樹脂塔に通液したとき、フッ
素イオン濃度の低い初期溶離液はフッ素イオンを含む配
送を収容する廃水槽へ還流させ、フッ素イオン濃度があ
る程度高くなった後のフッ素イオン濃度の高い溶離液を
回収液槽に回収するようにし、イオン交換樹脂に吸着さ
れたフッ素イオンの溶離が進んで溶離液中のフッ素イオ
ン濃度が再び低くなったときには、その後の後期溶離液
は水酸化アンモニウムを含む溶離液を収容する溶離液槽
へ還流させるようにすることが望ましい。
【００１３】回収される捕集液の最低フッ素イオン濃度
は、再利用される用途によっても異なるが通常フッ素イ
オン濃度が 3％以上、好ましくは 5％以上の溶離液のみ
を回収することが望ましい。
は、再利用される用途によっても異なるが通常フッ素イ
オン濃度が 3％以上、好ましくは 5％以上の溶離液のみ
を回収することが望ましい。
【００１４】本発明に使用される溶離液の水酸化アンモ
ニウム濃度は、高いほど高濃度の回収液が得られるが、
通常 4規定程度のものが使用される。
ニウム濃度は、高いほど高濃度の回収液が得られるが、
通常 4規定程度のものが使用される。
【００１５】
【作用】本発明によれば、フッ素イオンを含む廃水は、
弱塩基性イオン交換樹脂塔に通水され、溶存しているフ
ッ素イオンが弱塩基性イオン交換樹脂に吸着される。そ
して、この後、水酸化アンモニウムを含む溶離液を通液
することにより、イオン交換樹脂に吸着されていたフッ
素イオンは溶離液中に高濃度で濃縮回収される。 この
ようにして回収された高濃度のフッ化アンモニウム水溶
液は、そのままセメント業界その他の用途に再利用可能
である。
弱塩基性イオン交換樹脂塔に通水され、溶存しているフ
ッ素イオンが弱塩基性イオン交換樹脂に吸着される。そ
して、この後、水酸化アンモニウムを含む溶離液を通液
することにより、イオン交換樹脂に吸着されていたフッ
素イオンは溶離液中に高濃度で濃縮回収される。 この
ようにして回収された高濃度のフッ化アンモニウム水溶
液は、そのままセメント業界その他の用途に再利用可能
である。
【００１６】
【実施例】次に、本発明の実施例を、図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
【００１７】図１は、本発明の一実施例のフローであ
る。
る。
【００１８】この実施例の装置は、希フッ酸を含む廃水
を収容する希フッ酸廃水貯槽１、活性炭塔２、強酸性カ
チオン交換樹脂塔３、第１弱塩基性イオン交換樹脂塔
４、第２弱塩基性イオン交換樹脂塔５および処理水槽６
が直列に配置されている。また、強酸性カチオン交換樹
脂塔３には35％塩酸水溶液からなる再生液が供給される
ようになっており、第１弱塩基性イオン交換樹脂塔４お
よび第２弱塩基性イオン交換樹脂塔５には14％水酸化ア
ンモニウム水溶液からなる溶離液が供給され、溶離され
たフッ化アンモニウム水溶液はフッ化アンモニウム水溶
液貯槽７に送られるようになっている（溶離系は第１弱
塩基性イオン交換樹脂塔４についてだけ図示）。そし
て、処理水槽６中の処理水は、それぞれ再生用の処理水
として活性炭塔２、強酸性カチオン交換樹脂塔３、第１
弱塩基性イオン交換樹脂塔４、第２弱塩基性イオン交換
樹脂塔５に供給可能とされ、その再生廃液は再生廃液槽
８に送られるようになっている。
を収容する希フッ酸廃水貯槽１、活性炭塔２、強酸性カ
チオン交換樹脂塔３、第１弱塩基性イオン交換樹脂塔
４、第２弱塩基性イオン交換樹脂塔５および処理水槽６
が直列に配置されている。また、強酸性カチオン交換樹
脂塔３には35％塩酸水溶液からなる再生液が供給される
ようになっており、第１弱塩基性イオン交換樹脂塔４お
よび第２弱塩基性イオン交換樹脂塔５には14％水酸化ア
ンモニウム水溶液からなる溶離液が供給され、溶離され
たフッ化アンモニウム水溶液はフッ化アンモニウム水溶
液貯槽７に送られるようになっている（溶離系は第１弱
塩基性イオン交換樹脂塔４についてだけ図示）。そし
て、処理水槽６中の処理水は、それぞれ再生用の処理水
として活性炭塔２、強酸性カチオン交換樹脂塔３、第１
弱塩基性イオン交換樹脂塔４、第２弱塩基性イオン交換
樹脂塔５に供給可能とされ、その再生廃液は再生廃液槽
８に送られるようになっている。
【００１９】この実施例においては、まず、希フッ酸廃
水貯槽１に貯留された0.1 ％のフッ素イオンを含む廃液
が、活性炭塔２に送られ、ここで各種の不純物が除去さ
れる。次に、不純物の除去されたフッ酸を含む廃水は、
強酸性カチオン交換樹脂塔３に送られ溶存するフッ酸の
中性塩がイオン交換されてフッ酸にされる。そして、フ
ッ酸を含む廃水は、第１弱塩基性イオン交換樹脂塔４、
第２弱塩基性イオン交換樹脂塔５を通過する過程で溶存
するフッ素イオンが弱塩基性イオン交換樹脂に吸着さ
れ、フッ素イオンを含まない処理水が処理水槽６に貯留
され、この処理水は純水装置等へ供給されて使用され
る。
水貯槽１に貯留された0.1 ％のフッ素イオンを含む廃液
が、活性炭塔２に送られ、ここで各種の不純物が除去さ
れる。次に、不純物の除去されたフッ酸を含む廃水は、
強酸性カチオン交換樹脂塔３に送られ溶存するフッ酸の
中性塩がイオン交換されてフッ酸にされる。そして、フ
ッ酸を含む廃水は、第１弱塩基性イオン交換樹脂塔４、
第２弱塩基性イオン交換樹脂塔５を通過する過程で溶存
するフッ素イオンが弱塩基性イオン交換樹脂に吸着さ
れ、フッ素イオンを含まない処理水が処理水槽６に貯留
され、この処理水は純水装置等へ供給されて使用され
る。
【００２０】そして、第１の弱塩基性イオン交換樹脂塔
４がフッ素イオンを飽和吸着すると、配管系が切り替え
られて活性炭塔３からの給水は第２の弱塩基性イオン交
換樹脂塔に直接送られるようになり、一方、第１の弱塩
基性イオン交換樹脂塔４には14％水酸化アンモニウム水
溶液からなる溶離液が供給されて吸着されたフッ素イオ
ンがフッ化アンモニウムとして溶離され、フッ化アンモ
ニウム水溶液貯槽７に送られる。
４がフッ素イオンを飽和吸着すると、配管系が切り替え
られて活性炭塔３からの給水は第２の弱塩基性イオン交
換樹脂塔に直接送られるようになり、一方、第１の弱塩
基性イオン交換樹脂塔４には14％水酸化アンモニウム水
溶液からなる溶離液が供給されて吸着されたフッ素イオ
ンがフッ化アンモニウムとして溶離され、フッ化アンモ
ニウム水溶液貯槽７に送られる。
【００２１】このとき水第１の弱塩基性イオン交換樹脂
塔４から放出される処理液中のフッ素イオンとアンモニ
ウムイオンの濃度は図２のように変化するので（図中
Ｂ．Ｖは樹脂容量あたりの通液寮）、フッ素イオン濃
度、アンモニウムイオン濃度の低い初期溶離液は希フッ
酸廃水貯槽１へ還流させ、フッ素イオン濃度が 3％以上
に高くなった後の溶離液をフッ化アンモニウム貯槽７に
回収するようにする。そして、イオン交換樹脂に吸着さ
れたフッ素イオンの溶離が進んで溶離液のフッ素イオン
濃度が再び 3％より低くなったときには、その後の後期
溶離液は溶離液貯槽へ還流させるようにする。
塔４から放出される処理液中のフッ素イオンとアンモニ
ウムイオンの濃度は図２のように変化するので（図中
Ｂ．Ｖは樹脂容量あたりの通液寮）、フッ素イオン濃
度、アンモニウムイオン濃度の低い初期溶離液は希フッ
酸廃水貯槽１へ還流させ、フッ素イオン濃度が 3％以上
に高くなった後の溶離液をフッ化アンモニウム貯槽７に
回収するようにする。そして、イオン交換樹脂に吸着さ
れたフッ素イオンの溶離が進んで溶離液のフッ素イオン
濃度が再び 3％より低くなったときには、その後の後期
溶離液は溶離液貯槽へ還流させるようにする。
【００２２】このようにして第１弱塩基性イオン交換樹
脂塔４からフッ化イオンを溶離した後、第１弱塩基性イ
オン交換樹脂塔４を処理水で洗浄した後、第１の弱塩基
性イオン交換樹脂塔４が第２の弱塩基性イオン交換樹脂
塔５の後段となり第１の弱塩基性イオン交換樹脂塔４か
ら処理水槽６に処理水が送られるように配管系を切り替
えて処理を続行する。この後、第１弱塩基性イオン交換
樹脂塔４で行ったと同様の方法により、第２弱塩基性イ
オン交換樹脂塔５についても配管系の切り替えを繰り返
し、連続的に処理を行う。
脂塔４からフッ化イオンを溶離した後、第１弱塩基性イ
オン交換樹脂塔４を処理水で洗浄した後、第１の弱塩基
性イオン交換樹脂塔４が第２の弱塩基性イオン交換樹脂
塔５の後段となり第１の弱塩基性イオン交換樹脂塔４か
ら処理水槽６に処理水が送られるように配管系を切り替
えて処理を続行する。この後、第１弱塩基性イオン交換
樹脂塔４で行ったと同様の方法により、第２弱塩基性イ
オン交換樹脂塔５についても配管系の切り替えを繰り返
し、連続的に処理を行う。
【００２３】このようにして、得られたフッ化アンモニ
ウム水溶液は、精製された後、所望の用途で再利用され
る。
ウム水溶液は、精製された後、所望の用途で再利用され
る。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
廃水中のフッ素イオンを、高濃度の再利用可能な形態で
回収することができる。
廃水中のフッ素イオンを、高濃度の再利用可能な形態で
回収することができる。
【図１】本発明の一実施例のフロー図。
【図２】本発明の一実施例における水酸化アンモニウム
を含む溶離液の流量とフッ素イオン濃度、アンモニウム
イオン濃度の関係を示すグラフ。 １……希フッ酸廃水貯槽、２……活性炭塔、３……強酸
性カチオン交換樹脂塔、４……第１弱塩基性イオン交換
樹脂塔、５……第２弱塩基性イオン交換樹脂塔、６……
処理水槽、７……水溶液貯槽、８……再生廃液槽。
を含む溶離液の流量とフッ素イオン濃度、アンモニウム
イオン濃度の関係を示すグラフ。 １……希フッ酸廃水貯槽、２……活性炭塔、３……強酸
性カチオン交換樹脂塔、４……第１弱塩基性イオン交換
樹脂塔、５……第２弱塩基性イオン交換樹脂塔、６……
処理水槽、７……水溶液貯槽、８……再生廃液槽。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０２Ｆ 1/42 ＣＤＧ Ｅ ＺＡＢ // Ｂ０８Ｂ 3/14 2119−3Ｂ (72)発明者 立野 稔夫 大阪府大阪市中央区高麗橋２丁目６番10号 森田化学工業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 フッ素イオンを含む廃水を弱塩基性イオ
ン交換樹脂塔に通水して該廃液中のフッ素イオンを該弱
塩基性イオン交換樹脂塔内の弱塩基性イオン交換樹脂に
実質的に飽和吸着させる工程と、前記弱塩基性イオン交
換樹脂塔に水酸化アンモニウムを含む溶離液を通液させ
て、前記弱塩基性イオン交換樹脂に吸着されたフッ素イ
オンを該溶離液中に濃縮回収する工程とを含むことを特
徴とする廃水中のフッ素回収方法。 - 【請求項２】 前記弱塩基性イオン交換樹脂塔から放出
されるフッ素イオン濃度の低い初期溶離液をフッ素イオ
ンを含む廃水を収容する廃水槽へ還流させ、フッ素イオ
ン濃度の低い後期溶離液は水酸化アンモニウムを含む溶
離液を収容する溶離液槽へ還流させ、フッ素イオン濃度
の高い中期溶離液のみを回収する請求項１記載の廃水中
のフッ素回収方法。 - 【請求項３】 前記フッ素イオンを含む廃水は、中性塩
のフッ素イオンを含む廃液を強酸性カチオン交換樹脂塔
に通水して前記中性塩をフッ酸としてなる廃液である請
求項１または２記載の廃水中のフッ素回収方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4194327A JPH07232915A (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | 廃水中のフッ素回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4194327A JPH07232915A (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | 廃水中のフッ素回収方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07232915A true JPH07232915A (ja) | 1995-09-05 |
Family
ID=16322750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4194327A Withdrawn JPH07232915A (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | 廃水中のフッ素回収方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07232915A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6190637B1 (en) | 1998-04-08 | 2001-02-20 | Nihon Medi-Physics Co., Ltd. | Method for preparing [F-18-]fluoride ion |
| EP1713567A4 (en) * | 2004-01-16 | 2007-03-28 | Boc Group Inc | REMOVAL OF FLUOR BY ION EXCHANGE |
| JP2009184913A (ja) * | 2009-02-20 | 2009-08-20 | Shibaura Institute Of Technology | ガラス材料の回収方法 |
| CN102965114A (zh) * | 2011-08-29 | 2013-03-13 | 日本爱纳克株式会社 | 含氢氟酸处理液的再生方法和再生装置 |
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