JPH07235714A

JPH07235714A - 固体レーザ装置

Info

Publication number: JPH07235714A
Application number: JP2560094A
Authority: JP
Inventors: Nobutaka Morohashi; 信孝諸橋; Kuniaki Iwaki; 邦明岩城; Akira Usui; 明臼井; Haruo Nishigaki; 晴夫西垣
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1994-02-23
Filing date: 1994-02-23
Publication date: 1995-09-05

Abstract

(57)【要約】【目的】高出力のレーザビームを効率良く安定に得
る。【構成】固体素子とこれを保持するホルダー、集光
器、冷却水循環水路、共振器より構成される固体レーザ
装置において集光器の反射率向上、集光器の洩れ光低
減、共振器への励起光の遮光構造を実施した。【効果】励起効率向上に伴う出力の増大、励起光の遮
光による安定性の向上及び装置調整の改善が得られた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、品質の良いレーザビ
ームを発生する光励起固体レーザ装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】図８は、従来の固体レーザ装置の側面図
であり、図９，１０，１１は固体素子励起部の断面構成
図である。図８において１は基台であり、２は固体素子
５を励起するレーザ媒質励起部であり、基台１上に設置
された冷却水循環水路の一部を構成する冷却水ブロック
６ａ，６ｂ上に設置されている。３は出力ミラー７を保
持する出力ミラー保持部である。４はレンズ８及び全反
射ミラー９より構成される基台１上に設置された像転写
光学系である。

【０００３】レーザ媒質励起部２の構造を図９，１０，
１１に基づいて説明を加える。図９において固体素子５
は、１０ａ，１０ｂのホルダーを１０ｃ，１０ｄのナッ
トで締め付けたとき１０ｅ，１０ｆのＯリングが締り固
定される。また、ホルダー１０ａ，１０ｂは２３ａ，２
３ｂで示されるＯリングを介して１１の集光器保持部に
保持される。

【０００４】１２の光源は固体素子５と平行に配設され
集光器保持部１１で支持されると同時に集光器保持部１
１の外部より給電される構造（図中省略）をとる。

【０００５】１４ａの集光器及び１４ｂ，１４ｃで示さ
れる集光器側板は集光器保持部１１に組み込まれており
図１０にて示されるような楕円形状の断面を持つ空洞を
固体素子５及び光源１２の周囲に構成する。

【０００６】また、固体素子５及び光源１２は１３ａ，
１３ｂにて示されるフローチューブがそれぞれ同軸上に
配設され固体素子５及び光源１２とフローチューブ１３
ａ，１３ｂ間に流路を構成する。フローチューブ１３
ａ，１３ｂは集光器側板１４ｂ，１４ｃに保持される。

【０００７】図９において１７ａで示される冷却水は断
面Ｃ−Ｃで示される図において集光器保持部１１の穴よ
り集光器保持部１１と蓋１５及び集光器側板１４ｂで構
成される空洞部に入りホルダー１０ａと集光器側板１４
ｂ間に形成される流路、フローチューブ１３ａと固体素
子５間に形成される流路を通り１７ｂとして集光器保持
部１１より流出して冷却水ブロック６ｂに流入して冷却
水ブロック内に設けられた流路を通り断面Ｂ−Ｂで示さ
れる図において１７ｃとして再び集光器保持部１１、集
光器側板１４ｃと蓋１５で構成される空洞に流入する。
次に光源１２と集光器側板１４ｃで構成される流路を通
りフローチューブ１３ｂと光源１２で構成される流路を
経て１７ｄとして集光器保持部１１の穴より外部に排出
される流路及び集光器側板１４ｃに設けられた穴よりの
集光器１４ａ内部の空洞部を通り集光器側板１４ｂに設
けられた穴を経て１７ｄとして集光器保持部１１の穴よ
り外部に排出される流路に分流される。

【０００８】次に共振器部について説明する。図８にお
いて出力ミラー７は出力ミラー保持部３で保持され基台
１上に固定されている。レンズ８は３０のレンズ保持部
で保持され３３のベース上に固定されている。全反射ミ
ラー９は３１の全反射ミラー保持部で保持され３２のリ
ニアガイド上に固定されており、リニアガイド３２は３
３のベース上に固定されている。ベース３３は基台１上
に固定されている。また、出力ミラー７、レンズ８及び
全反射ミラー９は固体素子５と同軸上に調整配設されて
いる。

【０００９】次に動作について説明する。図１１におい
て光源１２より発生した光の一部は、透明なフローチュ
ーブ１３ａ，１３ｂを透過して直接固体素子５を励起す
る。

【００１０】また、光源１２より発生した光の内、集光
器１４ａ及び集光器側板１４ｂ，１４ｃに当たった光の
大部分は反射して固体素子５を励起させる。この時一部
の光は、集光器１４ａにて吸収されて熱に変わる。従来
の技術では、集光器１４ａや集光器側板１４ｂ，１４ｃ
として、セラミックを利用していたので約１０％の照射
光が熱ロスとして失われた。

【００１１】図８においてレーザ光は例えばＹＡＧのよ
うな固体素子と同軸上に配設された共振器を構成する出
力ミラー７、レンズ８、全反射ミラー９間を往復する間
にレーザビームとして形成され出力ミラー７より外部に
取り出される。また、励起された固体素子５は中心部と
表面部の温度勾配に伴う屈折率の変化でレンズ作用を生
ずる。光源の発光エネルギー量変化に伴う固体素子５の
レンズの焦点距離の変化を前述のレンズ８と全反射ミラ
ー９間の距離を変化させて補正する。この時、固体素子
５と出力ミラー７、レンズ８、全反射ミラー９の同軸度
は精度良く保たなければならない。ここで、光源１２よ
り発生した光の一部は集光器の穴部より外部に放出され
出力ミラー保持部３や像転写光学系４に熱影響を与え
る。このため前述の共振器の配設位置をくるわせてレー
ザ出力やビーム品質に悪影響を与えていた。

【００１２】また、図１１において光源１２より発生し
た光の一部はホルダー１０ａ，１０ｂやナット１０ｃ，
１０ｄを照射して熱に変わり、前述のホルダーやナット
を熱変形させて固体素子５の歪を引き起こしビーム品質
に悪影響を与えていた。

【００１３】光源１２に入力されたエネルギーのうちレ
ーザビームとして取り出されるエネルギーは数％で残り
は大部分熱となり除去する必要がある。集光器１４ａ、
集光器側板１４ｂ，１４ｃや固体素子５で発生する熱を
冷却水１７を循環させて冷却を行うが光源１２の交換時
等に冷却水路を大気開放するので、これに伴い冷却水路
に空気が混入してしまう。冷却水路に混入した気泡が例
えば光源に付着し光源を損傷する不具合等が生じること
があった。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】従来の固体レーザ装置
は、例えば集光器１４ａ、集光器側板１４ｂ，１４ｃに
セラミックスを使用していたので有効波長である８００
ｎｍ、７４０ｎｍ付近の励起光の反射率が約９０％と低
く固体素子を効率良く励起できない問題があった。

【００１５】また、光源より発生した光の一部が集光器
１４ａを透過する場合、まぶしく調整作業が困難であ
り、また透過光は損失となるので固体素子５の励起効率
を悪化させ、また集光器保持部１１やシール材を劣化さ
せる等の問題がある。

【００１６】また、冷却水が循環する時、集光器保持部
１１に空気溜まりが生じて、これが集光器１４ａ内に混
入して集光器１４ａや光源１２を損傷する等の問題点が
あった。

【００１７】また、光源１２より発生した励起光が固体
素子ホルダー１０ａ，１０ｂに吸収され熱影響により固
体素子ホルダーを歪ませたり、励起効率の低下やレーザ
ビーム品質の劣化をもたらす等の問題点があった。

【００１８】また、集光器１４ａ、集光器側板１４ｂ、
１４ｃで形成される空洞内に閉じこめた光源１２より発
せられた励起光が前記の空洞の穴である固体素子ホルダ
ー端面より洩れ出して励起効率の低下をもたらす問題点
があった。

【００１９】また、集光器１４内に閉じ込めた光源より
発生された励起光が集光器１４ａ、集光器側板１４ｂ、
１４ｃで形成される空洞内の穴である固体素子ホルダー
や光源１２と集光器側板１４ｂ，１４ｃとで形成される
穴より洩れ出して、共振器に熱影響を与えて歪ませる等
の問題点があった。

【００２０】

【課題を解決するための手段】この発明に係る固体レー
ザ装置は、励起光を発する光源、励起光を照射されて光
りポンピングを受ける活性固体媒質を含む固体素子、前
記固体素子と光源を囲むように配置され、内面に励起光
を受けて反射する光反射面を有する集光器、前記固体素
子と集光器と光源とを冷却する冷却手段、及び励起され
た固体素子からレーザ光を発振させる光共振器からなる
固体レーザ装置において、集光器に高反射率を示す合成
樹脂の多孔質体を使用したものである。

【００２１】また、前記集光器に合成樹脂の多孔質体と
して、ポリテトラフルオロエチレン（以下ＰＴＦＥと省
略する）の多孔質体を使用したものである。

【００２２】また、前記集光器の外側に、励起光を反射
する反射部を前記集光器に被覆して設け、集光器の光を
透過した光を反射して光を集光器に閉じこめるものであ
る。

【００２３】また、励起光を発する光源、励起光を照射
されて光りポンピングを受ける活性固体媒質を含む固体
素子、前記固体素子と光源を囲むように配置され、内面
に励起光を受けて反射する光反射面を有する集光器、前
記固体素子と集光器と光源とを循環水により冷却する冷
却手段、及び励起された固体素子からレーザ光を発振さ
せる光共振器からなる固体レーザ装置において、前記循
環水が循環する水路に選択性透過膜を設け、循環水に混
入している気泡を透過することを特徴とする固体レーザ
装置。

【００２４】また、励起光を発する光源、励起光を照射
されて光りポンピングを受ける活性固体媒質を含む固体
素子、この固体素子を保持する固体素子ホルダー、前記
固体素子と光源を囲むように配置され、内面に励起光を
受けて反射する光反射面を有する集光器、前記固体素子
と集光器と光源とを冷却する冷却手段、及び励起された
固体素子からレーザ光を発振させる光共振器からなる固
体レーザ装置において、前記固体素子ホルダーに励起光
を反射する反射部を設け、固体素子ホルダーへの励起光
による発熱を防止するものである。

【００２５】また、励起光を発する光源、励起光を照射
されて光りポンピングを受ける活性固体媒質を含む固体
素子、前記固体素子と光源を囲むように配置され、内面
に励起光を受けて反射する光反射面を有する集光器、前
記固体素子と集光器と光源とを冷却する冷却手段、及び
励起された固体素子からレーザ光を発振させる光共振器
からなる固体レーザ装置において、前記固体素子の端面
にレーザビームは透過し、励起光に対しては反射する特
定波長光反射膜を設けたものである。

【００２６】また、励起光を発する光源、励起光を照射
されて光りポンピングを受ける活性固体媒質を含む固体
素子、前記固体素子と光源を囲むように配置され、内面
に励起光を受けて反射する光反射面を有する集光器、前
記固体素子と集光器と光源とを冷却する冷却手段、及び
励起された固体素子からレーザ光を発振させる光共振器
からなる固体レーザ装置において、前記集光器から漏洩
する励起光を前記光共振器に対して遮断する遮光手段を
設けたものである。

【００２７】

【作用】この発明における固体レーザ装置は、集光器に
光に対して高反射率を示す合成樹脂の多孔質体を使用し
たので、集光器の反射率が増大し、光源から発生された
光が集光器内で連結された固体素子により効率良く吸収
させる。これにより、固体素子は効率的にレーザ媒質と
なり、このレーザ媒質から発生された光は、レーザ共振
器を介してレーザビーム出力の向上となって現れる。

【００２８】また、合成樹脂の多孔質体としての多孔質
体を採用すると反射率が更に増大する。

【００２９】また、集光器の外側を覆った高反射板で集
光器を透過した光を反射して集光器の光の閉じ込め効率
を向上させることにより固体素子により効率良く吸収さ
れレーザ出力の向上をもたらし、集光器透過光を遮光す
ることにより発振器調整が容易になり、また集光器保持
部部材の劣化を防止できる。

【００３０】また、冷却水循環水路の一部に選択性透過
膜を設けたので、冷却水循環水路に混入している空気を
水路より除去できる。このため集光器内の気泡の混入を
阻止して集光器の焼損や光源のダメージを防止できる。

【００３１】また、固体素子ホルダーに光に対する高反
射膜を施しているので、ホルダーへの照射光を反射して
ホルダーへの入熱を低減させる。従ってホルダーの加熱
変形に伴う固体素子の歪を防止しビーム品質を保持す
る。

【００３２】また、固体素子端面に励起に有効な波長の
光に対して反射しレーザビームに対する無反射膜を設け
たので光源から発生された光が集光器内で連結された固
体素子により効率良く吸収させる。これにより、固体素
子はレーザ媒質となり、このレーザ媒質から発生された
光は、レーザ共振器を介してレーザビーム出力の向上と
なって現れる。

【００３３】また、集光器の穴より集光器保持部を通過
して洩れ出す光を遮光板で遮断して共振器部に届かない
ようにしたので共振器ミラー保持部の加熱による共振器
の歪を防止し出力の安定化、ビーム品質の向上をもたら
す。

【００３４】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１はこの発明の実施例１による固体レーザ装置
を示す側面図であり、図２，３，４は前記固体レーザ装
置の断面図である。また、図７は図１における矢視Ｅ，
Ｆ図である。図１において１は基台であり、２は活性固
体物質を含む固体素子５を励起するレーザ媒質励起部で
あり、基台１上に設置された冷却水循環水路の一部を構
成する冷却水ブロック６ａ，６ｂ上に設置されている。

【００３５】レーザ媒質励起部２の構造を図２，３，
４，５，６に基づいて説明する。図６において両端面に
はレーザビームに対しては無反射であり励起光を反射す
る３４で示される特定波長反射コーティングが施されて
いる固体素子５はホルダー１０ａ，１０ｂをナット１０
ｃ，１０ｄで締め付けたときＯリング１０ｅ，１０ｆが
締り固定される。この時ホルダー１０ａ，１０ｂ及びナ
ット１０ｃ，１０ｄには３５で示される高反射膜が施さ
れている。ホルダー１０ａ，１０ｂはＯリング２３ａ，
２３ｂを介して集光器保持部１１に保持される。

【００３６】光源１２は固体素子５と平行に配設され集
光器保持部１１で支持されると同時に集光器保持部１１
の外部より給電される構造（図中省略）をとる。

【００３７】集光器１４ａ及び集光器側板１４ｂ，１４
ｃは集光器保持部１１に組み込まれており図３にて示さ
れるような楕円形状の断面を持つ空洞を固体素子５及び
光源１２の周囲に構成する。

【００３８】また、固体素子５及び光源１２はフローチ
ューブ１３ａ，１３ｂがそれぞれ同軸上に配設され固体
素子５及び光源１２とフローチューブ１３ａ，１３ｂ間
に流路を構成する。フローチューブ１３ａ，１３ｂは集
光器側板１４ｂ，１４ｃに保持される。

【００３９】集光器１４ａ及び集光器側板１４ｂ，１４
ｃの外周は２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，
２１ｆで示される反射板が設置されている。

【００４０】図２，３，４において冷却水１７ａは断面
Ｃ−Ｃで示される図において集光器保持部１１の穴より
集光器保持部１１と選択性透過膜２０ａ及び反射板２１
ｂで構成される空洞部に入り、ホルダー１０ａと反射板
２１ｂ及び集光器側板１４ｂ間に形成される流路、フロ
ーチューブ１３ａと固体素子５間に形成される流路を通
り１７ｂとして集光器保持部１１より流出して冷却水ブ
ロック６ｂに流入して冷却水ブロック６ｂ内に設けられ
た流路を通り、断面Ｂ−Ｂで示される図において１７ｃ
として再び集光器保持部１１、選択性透過膜２０ｄと反
射板２１ｃより構成される空洞に流入する。次に光源１
２と反射板２１ｃ及び集光器側板１４ｃで構成される流
路を経てフローチューブ１３ｂと光源１２で構成される
流路より１７ｄとして集光器保持部１１の穴より外部に
排出される流路及び反射板２１ｃの集光器側板１４ｃに
設けられた穴よりの集光器１４ａ内部の空洞部を経て集
光器側板１４ｂと反射板２１ｂに設けられた穴を経て１
７ｄとして集光器保持部１１の穴より外部に排出される
流路に分流される。

【００４１】次に共振器部について説明する。出力ミラ
ー７は出力ミラー保持部３で保持され基台１上に固定さ
れている。レンズ８はレンズ保持部３０で保持されベー
ス３３上に固定されている。全反射ミラー９は全反射ミ
ラー保持部３１で保持されリニアガイド３２上に固定さ
れており、リニアガイド３２はベース３３上に固定され
ている。ベース３３は基台１上に固定されている。ま
た、出力ミラー７、レンズ８及び全反射ミラー９は固体
素子５と同軸上に調整配設されている。

【００４２】２２ａと２２ｂは遮光板でありレーザビー
ムが通過する穴が板に設けられており前述の穴の回りに
冷却水路が設けられている。遮光板２２ａ，２２ｂはそ
れぞれレーザ媒質励起部２と出力ミラー保持部３及び像
転写光学系４の間に設置されている。

【００４３】次に動作について説明する。光源１２より
発生した光の一部は、透明なフローチューブ１３ａ，１
３ｂを透過して直接固体素子５を励起する。

【００４４】または光源１２より発生した光の内、集光
器１４ａ及び集光器側板１４ｂ，１４ｃに当たった光の
大部分は反射して固体素子５を励起する。この時一部の
光は、集光器にて吸収されて熱に変わるか集光器を透過
して外部に洩れ出す。

【００４５】この発明において集光器１４ａや集光器側
板１４ｂ，１４ｃの材料にＰＴＦＥの多孔質体を使用し
たので図１０で示すように有効波長である８００ｎｍ、
７４０ｎｍ付近の励起光の反射率が９６％以上であり、
従来のセラミックに対して反射率が５％以上向上したの
で従来よりも強力に固体素子５を励起できるようにな
り、出力の向上が得られた。また、ＰＴＦＥに換えて、
ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッカビニリデ
ン、及びプロピレン、エチレンのようなオレフィン系の
モノマーとテトラフルオロエチレンの共重合体等の合成
樹脂の多孔質体を用いてもよい。

【００４６】また、集光器１４ａや集光器側板１４ｂ，
１４ｃの外面を覆うように設置された反射板２１ａ，２
１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆは集光器を透過
した光を反射して固体素子５をより強力に励起すること
に寄与し、同時に遮光の役目を果たす。反射板は金メッ
キを施して集光器を被覆するが、アルミ板等の高反射板
を設けることでもよい。

【００４７】光源１２より発生した光の一部は集光器の
穴部より外部に放出されるが、前述の穴部の一部を構成
する固体素子５の端面に例えば波長１０６０ｎｍのレー
ザビームに対して無反射であり、かつ例えば波長８００
ｎｍ，７４０ｎｍ付近の励起光に対してだけ反射する特
定波長反射コーティング３４を施したので外部に放出さ
れる励起光を減少させ励起効率を高めることが可能とな
った。但し、レーザビームに対して無反射であるのでレ
ーザビームにはなんら影響を与えない。

【００４８】光源１２より発生した光でホルダー１０
ａ，１０ｂ、ナット１０ｃ，１０ｄを照射する光は前述
のホルダーやナットに例えば金メッキが施された高反射
膜３５により反射して固体素子５の励起に寄与して出力
向上をもたらすと同時に前述のホルダーやナットの熱変
形に伴う固体素子５の歪を妨げレーザビームの品質向上
も実現する。

【００４９】光源１２に入力されたエネルギーのうちレ
ーザビームとして取り出されるエネルギーは数％で残り
は大部分は熱となり除去する必要がある。集光器１４
ａ、集光器側板１４ｂ，１４ｃや固体素子５で発生する
熱を冷却水１７を循環させて冷却を行うが光源１２の交
換時等に冷却水路に空気が混入してしまう。冷却水路に
混入した気泡は冷却水循環水路の一部を構成する集光器
保持部１１の蓋に設けられた、例えば多孔質膜のＰＴＦ
Ｅ等の選択性透過膜２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄに
より冷却水に混入している気泡を除去することができ、
気泡付着による集光器の熱損傷を防止できる。

【００５０】レーザ光は固体素子５と同軸上に配設され
た共振器を構成する出力ミラー７、レンズ８、全反射ミ
ラー９間を往復する間にレーザビームとして形成された
出力ミラー７より外部に取り出される。また、励起され
た固体素子５は中心部と表面部の温度勾配に伴う屈折率
の変化でレンズ作用を生ずる。光源の発光エネルギー量
変化に伴う固体素子５のレンズの焦点距離の変化を前述
のレンズ８と全反射ミラー９間の距離を変化させて補正
する。この時、固体素子５と出力ミラー７、レンズ８、
全反射ミラー９の同軸度は精度良く保たなければならな
い。この時、光源１２より発生した光のうち集光器の穴
部より外部に放出され光は遮光板２２ａ，２２ｂで吸収
され出力ミラー保持部３や像転写光学系４に対する熱影
響を排除して安定したビーム品質を保つことができる。

【００５１】この時、前述の遮光板２２ａ，２２ｂは励
起光により加熱され続ける内に温度が上昇して大気の揺
らぎが発生して遮光板の穴を通過するビームを揺らせて
ビーム品質に悪影響を与える場合があるが、遮光板を冷
却しているので前述の遮光板の温度上昇を抑えることに
よる大気の揺らぎを防止して安定したビーム品質を得る
ことができる。

【００５２】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば集光器
に多孔質な合成樹脂であり、励起光に対する高反射材料
を使用することにより集光器の反射率を向上させたので
光源より発生した光は、より強力に固体素子を照射して
固体素子の励起効率を高めたのでレーザ出力の増大が得
られた。

【００５３】また、高反射材料である合成樹脂としてＰ
ＴＦＥの多孔質体を使用したので集光器の反射率を更に
向上することができる。

【００５４】また、集光器の外側を高反射板で覆ったの
で集光器を透過する洩れ光が反射され励起効率の向上を
もたらし、また、まぶしさを低減してレーザ装置調整時
の作業効率向上をもたらす。

【００５５】また、冷却水循環水路の一部に空気を通し
水を通さない選択性透過膜を設けたので、循環冷却水に
含まれる気泡を除去できるので集光器や光源に気泡が付
着した時の冷却不足による集光器や光源の破損が防止で
きる。

【００５６】また、ホルダーの外面に励起光に対して高
反射膜を施したので光源からの光によるホルダーの加熱
変形に伴う固体素子の歪を防止できるので固体素子歪に
伴うレーザビーム品質の劣化を防止できると共に固体素
子の励起効率を高めレーザ出力の増大が得られる。

【００５７】また、集光器最大の穴である固体素子端面
を励起光に対して反射膜を設けたので固体素子端面から
の励起光の洩れ出しを防止して固体素子の励起効率を高
めたのでレーザ出力の増大が得られた。また、この反射
膜はレーザビームの波長に対しては、無反射膜となりレ
ーザビームに何等影響を与えない。

【００５８】また、固体素子部と光源部の集光器の穴よ
り洩れ出す光に対して共振器部に対する遮光板を設けた
ので洩れ光による共振器部の加熱を防止できる。従っ
て、共振器は熱歪を生ずることなく出力の変動やビーム
モードの崩れを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例による固体レーザ装置を示
す側面図である。

【図２】図１の固体レーザ装置を示す断面図である。

【図３】図２の固体レーザ装置のＣ−Ｃ断面図である。

【図４】図２の固体レーザ装置のＢ−Ｂ断面図である。

【図５】図２の固体レーザ装置のＡ−Ａ断面図である。

【図６】図５の固体レーザ装置のＤ−Ｄ断面図である。

【図７】図１の固体レーザ装置の矢視Ｅ、矢視Ｆ−Ｆ図
である。

【図８】従来の固体レーザ装置を示す側面図である。

【図９】図８の固体レーザ装置を示す断面図である。

【図１０】図９の固体レーザ装置のＡ−Ａ断面図であ
る。

【図１１】図１０の固体レーザ装置のＤ−Ｄ断面図であ
る。

【図１２】この発明と従来の各種材料の反射率比較デー
タを示す図である。

【符号の説明】

１基台２レーザ媒質励起部３出力ミラー保持部４像転写光学系５固体素子６ａ，６ｂ冷却水ブロック７出力ミラー８レンズ９全反射ミラー１０ａ，１０ｂホルダー（固体素子ホルダー）１０ｃ，１０ｄナット１０ｅ，１０ｆＯリング１１集光器保持部１２光源１３ａ，１３ｂフローチューブ１４ａ集光器１４ｂ，１４ｃ集光器側板１５蓋１６Ｏリング１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ冷却水２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ選択性透過膜２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ反
射板２２ａ，２２ｂ遮光板２３ａ，２３ｂＯリング３０レンズ保持部３１全反射ミラー保持部３２リニアガイド３３ベース３４特定波長反射コーティング３５高反射膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者西垣晴夫名古屋市東区矢田南五丁目１番14号三菱電機株式会社名古屋製作所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】励起光を発する光源、励起光を照射され
て光りポンピングを受ける活性固体媒質を含む固体素
子、前記固体素子と光源を囲むように配置され、内面に
励起光を受けて反射する光反射面を有する集光器、前記
固体素子と集光器と光源とを冷却する冷却手段、及び励
起された固体素子からレーザ光を発振させる光共振器か
らなる固体レーザ装置において、集光器に高反射率を示
す合成樹脂の多孔質体を使用したことを特徴とする固体
レーザ装置。
【請求項２】前記集光器に合成樹脂の多孔質体とし
て、ポリテトラフルオロエチレンの多孔質体を使用した
ことを特徴とする請求項１に記載の固体レーザ装置。
【請求項３】前記集光器の外側に、励起光を反射する
反射部を前記集光器に被覆して設け、集光器の光を透過
した光を反射して光を集光器に閉じこめることを特徴と
する請求項１に記載の固体レーザ装置。
【請求項４】励起光を発する光源、励起光を照射され
て光りポンピングを受ける活性固体媒質を含む固体素
子、前記固体素子と光源を囲むように配置され、内面に
励起光を受けて反射する光反射面を有する集光器、前記
固体素子と集光器と光源とを循環水により冷却する冷却
手段、及び励起された固体素子からレーザ光を発振させ
る光共振器からなる固体レーザ装置において、前記循環
水が循環する水路に選択性透過膜を設け、循環水に混入
している気泡を透過することを特徴とする固体レーザ装
置。
【請求項５】励起光を発する光源、励起光を照射され
て光りポンピングを受ける活性固体媒質を含む固体素
子、この固体素子を保持する固体素子ホルダー、前記固
体素子と光源を囲むように配置され、内面に励起光を受
けて反射する光反射面を有する集光器、前記固体素子と
集光器と光源とを冷却する冷却手段、及び励起された固
体素子からレーザ光を発振させる光共振器からなる固体
レーザ装置において、前記固体素子ホルダーに励起光を
反射する反射部を設け、固体素子ホルダーへの励起光に
よる発熱を防止することを特徴とする固体レーザ装置。
【請求項６】励起光を発する光源、励起光を照射され
て光りポンピングを受ける活性固体媒質を含む固体素
子、前記固体素子と光源を囲むように配置され、内面に
励起光を受けて反射する光反射面を有する集光器、前記
固体素子と集光器と光源とを冷却する冷却手段、及び励
起された固体素子からレーザ光を発振させる光共振器か
らなる固体レーザ装置において、前記固体素子の端面に
レーザビームは透過し、励起光に対しては反射する特定
波長光反射膜を設けたことを特徴とする固体レーザ装
置。
【請求項７】励起光を発する光源、励起光を照射され
て光りポンピングを受ける活性固体媒質を含む固体素
子、前記固体素子と光源を囲むように配置され、内面に
励起光を受けて反射する光反射面を有する集光器、前記
固体素子と集光器と光源とを冷却する冷却手段、及び励
起された固体素子からレーザ光を発振させる光共振器か
らなる固体レーザ装置において、前記集光器から漏洩す
る励起光を前記光共振器に対して遮断する遮光手段を設
けたことを特徴とする固体レーザ装置。