JPH07236808A - 真空配管用濾過装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空配管内における水、油、溶剤等の液体を
含む異物を除去する。 【構成】 装置本体１０には真空吸入部に接続される吸
引ポート１５と真空発生部に接続される真空源ポート１
６と両ポートを連通させる分離室１３とが形成され、吸
引ポート１５から流入した空気中の液滴等の異物を除去
するフィルタエレメント１７が装置本体１０内に装着さ
れ、排出口３１を有するとともに貯液室２７が設けられ
た貯液容器２８が装置本体１０の下部に設けられてい
る。装置本体１０と貯液容器２８とを区画する底壁部１
１に設けられた連通孔３７は、開閉手段により分離室１
３内の液体を貯液容器２８内に案内する際に開放され、
貯液容器２８内の液体を外部に排出する際に閉じられ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は真空を案内する真空配管
を流れる空気中に含まれる水、油、溶剤等の液体、およ
び固形粒子等の異物を除去する真空配管用濾過装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】部品の組立ラインや自動制御装置等にあ
っては、大気圧以下の圧力の負圧空気つまり真空を作動
流体として使用することがある。例えば、半導体の製造
ラインにあっては、部品を真空を利用して吸着するため
にバキュームパッドが用いられることがあり、このパキ
ュームパッドと真空ポンプやエジェクター等の真空源と
の間を真空配管で接続し、この真空配管に真空の流れを
切り換え制御する電磁弁等が取り付けられるようになっ
ている。

【０００３】このような場合には、バキュームパッド内
には空気以外に、部品洗浄用の洗浄水、溶剤などが塵埃
等の異物とともに流入することがあり、流入した液体等
が電磁弁等の流体制御機器に入り込むと、これらの機器
に悪影響を与えることになる。また、液体等が真空発生
用の真空ポンプに入り込むと、真空ポンプ内に封入され
た潤滑油が劣化して、真空度を低下させたり、真空ポン
プ自体を損傷させたり破壊させることになる。

【０００４】真空配管ではなく、圧縮空気を作動流体と
する空気圧配管における液体の除去を行なうために、従
来では、例えば、油空圧便覧（株式会社オーム社、1989
年２月25日発行）の第510 頁〜第511 頁に記載されるよ
うな構造のフィルタが使用されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
フィルタでは一次側から流入した圧縮空気をルーバーや
デフレクタによってフィルタ内で旋回させることによ
り、遠心力を利用して水分等の液体を分離するようにし
ており、流量の変化により遠心力が変化することにより
分離率も変化する。また、微細な水滴を確実に除去する
ことができなかった。さらに、固形物を除去するため
に、焼結金属や焼結樹脂により形成された多孔質のフィ
ルタエレメントを使用しているが、焼結材料をフィルタ
エレメントとして用いた場合には、濾過精度は５μｍ程
度であり、微細な固形粒子を捕捉除去することができな
かった。

【０００６】さらに、圧縮空気を作動流体とする空気圧
配管用のフィルタをそのまま真空圧配管用に使用する
と、次のような問題点がある。つまり、フィルタの容器
内に液体が所定量貯留した場合には、容器に設けられた
排出口を開放して、液体を外部に排出することになる
が、真空圧配管に真空が流れている状態のとき、つまり
真空ポンプが作動している状態のときに排出口を開放し
ても、その排出口から外気が流入してしまい、排出を行
なうことができないだけでなく、真空状態が破壊され
て、装置や機器が作動しなくなるので、真空状態を保持
したままで液体を外部に排出することは困難である。

【０００７】そのために、装置や機器の作動を停止させ
て液体を排出口から排出させる必要があり、多量の水分
が真空配管内に流入した場合には、装置や機器を停止さ
せる必要があり、部品の製造組立ラインの円滑な作動を
妨げることになる。本発明の目的は、真空吸入部と真空
発生源とを結ぶ真空配管内に真空吸入部から流入する
水、油、溶剤等の液体、および固形粒子等の異物を除去
し得るようにすることである。

【０００８】また、本発明の他の目的は、容器内に貯留
された液体を外部に排出する際に、真空配管内を真空状
態に保持し得るようにすることである。

【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１１】すなわち、装置本体には真空吸入部に接続
される吸引ポートと真空発生部に接続される真空源ポー
トと両ポートを連通させる分離室とが形成され、装置本
体内には、吸引ポートから流入した空気中の固形粒子や
液滴等の異物を除去するフィルタエレメントが装着さ
れ、排出口を有するとともに貯液室を有する貯液容器が
装置本体の下部に取り付けられている。そして、装置本
体と貯液容器とを区画する隔壁部に設けられた連通孔
を、この連通孔を介して分離室内の液体を貯液容器内に
案内する際に開放するとともに貯液容器内の液体を外部
に排出する際に閉じる開閉手段を有している。

【００１２】さらに、開閉手段は、貯液室を外部に連通
させる空気供給孔を分離室内の液体を貯液容器内に案内
する際に閉塞し、貯液容器内の液体を外部に排出する際
に空気供給孔を開放するようになっている。

【００１３】また、フィルタエレメントは、外面と中空
孔の内面とを連通させる多数の細孔が形成されそれぞれ
前記中空孔の開口部が前記真空源ポートに臨ませて配置
される多数本の多孔質中空糸濾過膜を有している。

【００１４】そして、真空吸入部に接続される吸引ポー
トと真空発生部に接続される真空源ポートと両ポートを
連通させる分離室とが形成された装置本体と、装置本体
内に装着され前記吸引ポートから流入した空気中の固形
粒子や液滴等の異物を除去するフィルタエレメントとを
有し、フィルタエレメントは、外面と中空孔の内面とを
連通させる多数の細孔が形成されそれぞれ中空孔の開口
部が前記真空源ポートに臨ませて配置される多数本の多
孔質中空糸濾過膜を有する。

【００１５】

【作用】真空吸引ポートから真空発生部に流れる空気の
中の水滴、油滴等の液体、および固形粒子等の異物は、
分離室内に設けられたフィルタエレメントにより分離さ
れる。分離された液体は固形粒子等の異物とともに、貯
液室内に入り込み、所定の量の液体が溜まった後に排気
口を開放すると、液体等が外部に排出される。これと同
時に、分離室と貯液室とを連通させる連通孔が閉塞され
ることから、分離室内を流れる空気の圧力は変動するこ
となく、真空配管を所定の真空度に保った状態で、液体
等を外部に排出することができる。

【００１６】液体等を外部に排出する際には、貯液容器
は外部に連通状態となり、ここから外気あるいは圧縮空
気を貯液容器内に供給することにより、迅速に液体等を
外部に排出することができる。

【００１７】フィルタエレメントは多孔質中空糸濾過膜
を有するので、微細な固形粒子を確実に除去することが
できるとともに、水滴等の液体を確実に除去することが
できる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【００１９】（実施例１）図１は本発明の一実施例であ
る真空配管用濾過装置を示す断面図であり、図２はこの
濾過装置が組み込まれた真空配管つまり真空ラインを示
す概略図である。図２に示す真空配管は、バキュームパ
ッド１と真空ポンプやエジェクター等により構成される
真空源２とを接続する真空案内用の流路３を有し、この
流路３にこの中の真空の流れを制御する制御機器４と濾
過装置５とが設けられている。

【００２０】図１に示すように、この濾過装置５は底壁
部１１と円筒形状の側壁部１２とからなるフィルタ容器
１０ａを有しており、このフィルタ容器１０ａの内部に
は分離室１３が形成されている。フィルタ容器１０ａの
上端部にはキャップ部１０ｂがねじ結合されるようにな
っており、フィルタ容器１０ａとキャップ部１０ｂとに
より装置本体１０が構成されている。このキャップ部１
０ｂには図２に示す真空吸入部としてのバキュームパッ
ド１が接続される吸引ポート１５と、これの反対側に位
置させて設けられ、図２に示す真空発生部側つまり真空
源２側に接続される真空源ポート１６とが設けられてい
る。これらの両ポート１５，１６は分離室１３にそれぞ
れ連通されている。

【００２１】分離室１３内にはフィルタエレメント１７
が装着されている。このフィルタエレメント１７は、キ
ャップ部１０ｂに形成されたねじ孔１８にねじ結合され
る雄ねじ部１９を上端部に有するホルダ部２１と、この
ホルダ部２１に嵌め込まれた筒体２２と、この筒体２２
の中に収容された多数本の多孔質中空糸濾過膜２３とに
より構成されている。

【００２２】それぞれの多孔質中空糸濾過膜２３は、図
３（Ａ），（Ｂ）に示すように、中空孔２４を有し、こ
の中空孔２４の内面２４ａと外面２３ａとを連通させる
多数の細孔２５が形成されており、Ｕ字状に折り曲げら
れている。それぞれの多孔質中空糸濾過膜２３は、両端
の開口部２６を真空源ポート１６側に臨ませて筒体２２
内に配置されている。

【００２３】多孔質中空糸膜つまり多孔質中空糸濾過膜
２３を用いてフィルタエレメントを形成すると、このタ
イプのフィルタエレメントの多孔質中空糸濾過膜２３の
外面２３ａと内面２４ａとを連通させる細孔２５の平均
孔径を0.１μｍ程度に設定することができるので、従来
のエアフィルタよりも径の小さい固形粒子を除去するこ
とができる。

【００２４】また、多孔質中空糸濾過膜２３は疎水性を
有する材質により形成されており、疎水性多孔質中空糸
濾過膜２３の外面に水滴が付着した場合には、水滴との
接触角が大きくなり、水滴は表面張力で半球状、あるい
は球状になる。つまり、疎水性多孔質中空糸濾過膜２３
は、その素材の持つ臨界表面張力が水の表面張力に対し
て小さく、水の分子間引力により表面積が最小となるよ
うに凝集して丸くなる。したがって、水滴は疎水性多孔
質中空糸濾過膜２３の細孔２５内に入り込むことなく、
流体である空気のみが細孔２５内に流入し、水滴がほぼ
１００％分離されることになる。なお、疎水性多孔質中
空糸濾過膜２３は疎水性の材料を用いることなく、外面
に疎水処理を施すようにしても良い。

【００２５】それぞれの多孔質中空糸濾過膜２３は、例
えば外径が0.３８ｍｍ程度であり、Ｕ字形状に曲げたも
のを用いることなく、真っ直ぐなものを用いて、その一
端部を閉塞し他端部を開口部としてその開口部を真空源
ポート１６に臨ませるようにしても良い。

【００２６】このように、フィルタエレメント１７とし
て、多孔質中空糸濾過膜２３を束ねたものを用いること
により、固形粒子やゴミ以外に水滴等が細孔２５の中に
入り込むことを防止することができ、ルーバーやデフレ
クタ等を用いて空気を容器内で旋回させることにより遠
心力で液体を除去する場合に比して、微細な液滴をも確
実に除去つまり分離することができる。特に、多孔質中
空糸濾過膜２３の疎水性や撥水性を高めることにより、
油滴をも確実に除去することができる。

【００２７】装置本体１０の下端部には内部に貯液室２
７が形成された貯液容器２８が嵌め込まれるようになっ
ており、装置本体１０の下端部に形成されたねじ孔２９
にねじ結合されるカバー３０によって貯液容器２８が覆
われて保護されている。

【００２８】貯液容器２８の下端部には排出口３１が形
成され、貯液容器２８の下端部に取り付けられたプラグ
３２には排出口３１を開閉するドレンコック３３が開閉
自在に組み込まれている。このドレンコック３３には排
出口３１を開閉するゴム製の弁体３４が設けられ、この
弁体３４に対して排出口３１を閉塞する方向の弾発力つ
まりばね力を付勢するためのコイルばね３５がドレンコ
ック３３の外側に設けられている。

【００２９】装置本体１０内の分離室１３と貯液容器２
８内の貯液室２７とを区画する隔壁部としての底壁部１
１には、貯液室２７と分離室１３とを連通させる連通孔
３７が形成されている。この底壁部１１の下面には弁ケ
ース部４１が設けられ、この弁ケース４１内には連通孔
３７を開閉するための弁体４０を有する弁軸４２が上下
方向に移動自在にリテーナ部３８に設けられている。こ
のリテーナ部３８は弁ケース部４１に対してねじ結合さ
れており、弁軸４２には連通孔３７を閉塞する方向の弾
発力つまりばね力がコイルばね４３により付勢されてい
る。

【００３０】さらに、底壁部１１には水平方向を向いて
収容孔４４が形成され、この収容孔４４内には軸方向に
摺動自在に開閉ピン４５が取り付けられている。この開
閉ピン４５には、これを左側に移動させると図１に示す
ように、弁体４０を後退移動させて連通孔３７を開放す
る位置と、右側に移動させると上昇移動させて連通孔３
７を閉塞する位置とに弁軸４２を移動させるカム部４６
が形成されている。

【００３１】装置本体１０の底壁部１１には収容孔４４
に連通する空気供給孔４７ａが形成され、底壁部１１に
は収容孔４４と連通する空気供給孔４７ｂが形成され、
これらの空気供給孔４７ａ，４７ｂは相互に収容孔４４
を介して連通され、貯液室２７が外部に連通されるよう
になっている。これらの給気供給孔４７ａ，４７ｂの連
通は、開閉ピン４５が図１において左側に位置している
と開閉ピン４５により閉塞され、右側に移動すると開放
される。

【００３２】つまり、開閉ピン４５が、図１に示される
ように、分離室１３と貯液室２７とを連通させる際には
空気供給孔４７ａ，４７ｂを閉塞する。一方、連通孔３
７を閉塞状態とし、排出口３１を開放して貯液室２７内
に溜まった液体を外部に排出する際には空気供給孔４７
ａ，４７ｂは開放状態となる。

【００３３】したがって、貯液室２７内に所定の量の液
体が溜まったときに、その液体を外部に排出する際に
は、連通孔３７が閉じられて分離室１３が閉塞された状
態のもとで、貯液室２７内に大気を供給したり、加圧空
気を供給することにより、迅速に貯液室２７内の液体を
外部に排出することができるとともに、分離室１３内を
流れる真空の圧力に影響を与えることが防止される。

【００３４】図４（Ａ），（Ｂ）は、図１に示した開閉
ピン４５の部分を示す図であり、この図を参照しつつ真
空配管用濾過装置の操作手順について説明する。

【００３５】図１は開閉ピン４５を左側に移動させて連
通孔３７を開放した状態を示す図であり、この状態のも
とで、真空源２を作動させバキュームパッド１から外気
が流入すると、この流入空気の中に水滴や油滴等の液滴
が含まれていても、多孔質中空糸濾過膜２３の細孔２５
内には入り込むことなく、分離室１３の底部に落下する
ことになる。落下した液滴は、連通孔３７を介して貯液
室２７内に入り込む。

【００３６】流体中に水滴が含有している場合には、流
体が多孔質中空糸濾過膜２３を通過するときに水滴が疎
水性多孔質中空糸濾過膜２３に接触しても、この疎水性
多孔質中空糸濾過膜２３は疎水性材料により形成されて
いるので、水滴との接触角が大きくなり、水滴は表面張
力で半球状、あるいは球状になる。つまり、疎水性の疎
水性多孔質中空糸濾過膜２３は、その素材の持つ臨界表
面張力が水の表面張力に対して小さく、水の分子間引力
により表面積が最小となるように凝集して丸くなる。し
たがって、水滴は疎水性多孔質中空糸濾過膜２３の細孔
２５内に入り込むことなく、流体である空気のみが細孔
２５内に流入し、水滴はほぼ１００％分離されることに
なる。

【００３７】また、疎水性多孔質中空糸濾過膜２３の外
面２３ａに小径の異物が付着したとしても、その外面２
３ａに衝突した水滴が疎水性の疎水性多孔質中空糸濾過
膜２３の表面からはじかれることにより、はじかれた水
滴と一緒に固形物は疎水性中空糸透過膜２３から除去さ
れることになる。これにより疎水性多孔質中空糸濾過膜
２３の細孔２５が塞がれるという目詰まりの発生が防止
される。

【００３８】また、疎水性中空糸透過膜２３の外面２３
ａに対する処理を、水滴のみならず、油分をもはじく程
度に強い疎水性つまり撥水性を有する程度まで高めれ
ば、水のみならず油分をも分離することができる。

【００３９】この状態で、開閉ピン４５を右側に移動さ
せると、図４（Ａ）に示すように、カム部４６の作用に
よって弁体４０が連通孔３７を閉塞する。これにより、
分離室１３と貯液室２７は隔離される。さらに、開閉ピ
ン４５を移動させると、図４（Ｂ）に示すように、弁軸
４２はカム部４６から離れた状態となり、ばね４３の弾
発力により弁体４０は連通孔３７を閉塞した状態を維持
しつつ、貯液室２７は空気供給孔４７ａ，４７ｂを介し
て外部に連通されることになる。

【００４０】このようにして、連通孔３７が確実に閉塞
された状態のもとで、ドレンコック３３をばね３５の弾
発力に抗して図１において下方に引くと、弁体３４が排
出口３１を開放する。したがって、貯液室２７内に溜ま
った液体等は排出口３１から外部に排出されることにな
るが、このときに、空気供給孔４７ａ，４７ｂから圧縮
空気を供給するようにしても良い。

【００４１】図５（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ図１に示し
た濾過装置におけるフィルタエレメント１７の変形例を
示す図である。図５（Ａ）に示す場合には、ホルダ部２
１に対して、底部５１と円筒部５２とを有し焼結金属ま
たは焼結樹脂により形成された多孔質体からなる底付き
の筒状フィルタ５３を取り付け、この中に多孔質中空糸
濾過膜２３を収容するようにしている。

【００４２】また、図５（Ｂ）は円筒部５４をホルダ部
２１に取り付けるようにするとともに、円筒部５４の下
端に焼結金属または焼結樹脂により形成された底壁部５
５を固定するようにしている。その場合には、円筒部５
４の一部を焼結金属や焼結樹脂としても良い。

【００４３】これらの場合には、筒状フィルタ５３や円
筒部５４として濾過精度が５μｍ程度の焼結体を使用す
ることができ、多孔質中空糸濾過膜２３が金属片等の異
物により欠損することが防止され、早期に多孔質中空糸
濾過膜２３が目詰まりすることを防止することができ
る。さらに、長期の連続使用つまり長寿命化が可能とな
り信頼性をより向上させることができる。

【００４４】図６（Ａ）はフィルタエレメント１７のさ
らに他の変形例を示す図であり、この場合にはホルダ部
２１に焼結金属または焼結樹脂により形成された濾過精
度が５μｍ程度の多孔質体の円筒体５６を取り付けるよ
うにしている。この円筒体５６の上端部にはルーバー５
７が環状に設けられており、吸引ポート１５から流入し
た負圧空気は分離室１３内で旋回し、その遠心力で負圧
空気内の液滴が下方に落下するようにしている。

【００４５】図６（Ｂ）はフイルタエレメント１７のさ
らに他の変形例を示す図であり、この場合には、図５
（Ａ）に示した筒状フィルタ５３を、それぞれ多孔質の
焼結金属または焼結樹脂により形成された多孔質焼結体
からなる内側の筒状フィルタ５３ａと外側の筒状フィル
タ５３ｂとにより形成している。内側の筒状フィルタ５
３ａの通気孔の内径つまり濾過精度は、例えば５μｍ程
度となっており、外側の筒状フィルタ５３ｂの通気孔の
それは、例えば４０μｍ程度となっている。

【００４６】（実施例２）図７は本発明の他の実施例で
ある真空配管用濾過装置を示す図であり、前述した実施
例における部材と共通する部材には同一の符号が付され
ている。

【００４７】この実施例におけるホルダ部２１は内側筒
部６１と外側筒部６２とこれらを連結する径方向の連結
部６３とを有しており、連結部６３には円周方向に所定
の間隔毎に複数の貫通孔６４が形成されている。外側筒
部６２の上端部に形成された雄ねじ部１９をねじ孔１８
に結合することにより、ホルダ部２１はキャップ部１０
ｂに固定される。また、装置本体１０の下部には、貯液
容器２８がねじ結合されている。

【００４８】ホルダ部２１の下部には内側筒部６１と外
側筒部６２との間に位置させて多孔質中空糸濾過膜２３
が多数本束ねられて組み付けられている。したがって、
吸引ポート１５から流入した負圧空気は、その中に含ま
れる固形粒子や液体が多孔質中空糸濾過膜２３により除
去された後に、貫通孔６４を通って真空源ポート１６に
流出することになる。

【００４９】キャップ部１０ｂには中空の支持部材６５
が組付けられ、この支持部材６５には開閉軸６６が軸方
向に摺動自在に装着されている。そして、この開閉軸６
６には開閉軸６６を下方に移動させると、図示するよう
に、連通孔３７を閉塞する弁体６７が取り付けられてお
り、この弁体６７には連通孔３７を閉塞する方向の弾発
力がばね６８により付勢されている。一方、開閉軸６６
の下端部には、開閉軸６６を上方に移動させると、排出
口３１を閉塞する弁体７０が取り付けられており、この
弁体７０には排出口３１を閉塞する方向の弾発力がばね
７１により付勢されている。

【００５０】支持部材６５内には、押しボタン７２が軸
方向に摺動自在に設けられ、この押しボタン７２は開閉
軸６６に連結されている。そして、この押しボタン７２
には、図示しないばねにより上方に向かう弾発力が付勢
されており、図７はその弾発力に抗して押しボタン７２
が押し下げられた状態を示し、再度押しボタン７２を押
し下げると、内蔵されたばねにより押しボタン７２は上
昇移動する。これにより、弁体６７は連通孔３７を開放
し、弁体７０は排出口３１を閉塞することになる。この
ように、押しボタン７２は１度押し下げると、下降移動
した位置で停止し、再度押し下げると上昇位置となるよ
うに構成されており、いわゆる公知のプッシュプッシュ
式の押しボタンとなっている。

【００５１】さらに、開閉軸６６には開閉ディスク７３
が設けられ、この開閉ディスク７３には貯液室２７を上
下に連通させる複数の連通孔７４が形成され、図１に示
すように、下方に移動した場合には、開閉ディスク７３
は貯液容器２８に形成された空気供給孔４７を開き、上
方に移動した場合には空気供給孔４７を閉塞するように
なっている。なお、符号７５，７６はそれぞれシール用
のＯリングを示す。

【００５２】したがって、図７に示す濾過装置にあって
は、押しボタン７２を一度操作して開閉軸６６を図示す
る位置よりも上方に位置させて開閉ディスク７３により
空気供給孔４７を閉塞した状態とし、連通孔３７を開放
状態とするとともに排出口３１を閉塞した状態として、
真空源２を作動させると、吸引ポート１５から真空源ポ
ート１６に負圧空気が流れ、この中に含まれる異物が除
去されるとともに、水滴等の液体が除去されて、連通孔
３７から液体等が貯液室２７内に流入する。

【００５３】貯液室２７内に所定の量の液体が貯留され
たならば、手動操作によって押しボタン７２を押し下げ
ると、連通孔３７が弁体６７により閉塞される一方、排
出口３１が開放され、同時に空気供給孔４７が開放され
る。これにより、負圧空気の流れに影響を与えることな
く、貯液室２７内の液体が外部に排出される。

【００５４】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００５５】また、それぞれの実施例にあっては、開閉
手段としての開閉ピン４５および開閉軸６６をそれぞれ
手動により作動させるようにしているが、貯液容器２８
内の液体の液位をセンサで検出するようにして、排水口
３１、連通孔３７および空気供給孔４７，４７ａ，４７
ｂの開閉を自動的に行なうようにしても良い。

【００５６】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００５７】(1).真空配管内を流れる水、油、溶剤等の
液体を他の異物等とともに除去することができる。

【００５８】(2).したがって、真空ポンプ等の真空源の
劣化や真空機器に対する悪影響を防止することができ
る。

【００５９】(3).真空配管を作動状態としてもこの真空
配管内の圧力を変化させることなく、貯液室内に溜まっ
た液体等を外部に排出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である真空配管用濾過装置を
示す断面図である。

【図２】図１に示す真空配管用濾過装置が設けられた真
空配管を示す概略図である。

【図３】（Ａ）は多孔質中空糸濾過膜を示す一部省略拡
大図であり、（Ｂ）は図（Ａ）の一部拡大断面図であ
る。

【図４】（Ａ），（Ｂ）は開閉ピンの作動状態を示す要
部拡大断面図である。

【図５】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれフィルタエレメント
の変形例を示す断面図である。

【図６】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれフィルタエレメント
の変形例を示す断面図である。

【図７】本発明の他の実施例である真空配管用濾過装置
を示す断面図である。

【符号の説明】

１ バキュームパッド（真空吸入部） ２ 真空源 ３ 流路 ５ 濾過装置 １０ 装置本体 １０ａ フィルタ容器 １０ｂ キャップ部 １１ 底壁部 １２ 側壁部 １３ 分離室 １５ 吸引ポート １６ 真空源ポート １７ フィルタエレメント １８ ねじ孔 １９ 雄ねじ部 ２１ ホルダ部 ２３ 多孔質中空糸濾過膜 ２４ 中空孔 ２５ 細孔 ２６ 開口部 ２７ 貯液室 ２８ 貯液容器 ２９ ねじ孔 ３０ カバー ３１ 排出口 ３３ ドレンコック ３４ 弁体 ３５ ばね ３７ 連通孔 ４５ 開閉ピン ４７，４７ａ，４７ｂ 空気供給孔 ６５ 支持部材 ６６ 開閉軸 ６７ 弁体 ７０ 弁体 ７３ 開閉ディスク

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空吸入部と真空発生部とを結ぶ真空配
   管に設けられ前記真空吸入部から流入する固形粒子や液
   滴等の異物を除去する真空配管用濾過装置であって、 前記真空吸入部に接続される吸引ポートと前記真空発生
   部に接続される真空源ポートと前記両ポートを連通させ
   る分離室とが形成された装置本体と、 前記装置本体内に装着され前記吸引ポートから流入した
   空気中の固形粒子や液滴等の異物を除去するフィルタエ
   レメントと、 前記装置本体の下部に取り付けられ、排出口を有すると
   ともに貯液室を有する貯液容器と、 前記装置本体と前記貯液容器とを区画する隔壁部に設け
   られた連通孔を、この連通孔を介して前記分離室内の液
   体を前記貯液容器内に案内する際に開放するとともに前
   記貯液容器内の液体を外部に排出する際に閉じる開閉手
   段とを有することを特徴とする真空配管用濾過装置。
2. 【請求項２】 前記開閉手段は、前記貯液室を外部に連
   通させる空気供給孔を前記分離室内の液体を前記貯液容
   器内に案内する際に閉塞し、前記貯液容器内の液体を外
   部に排出する際に前記空気供給孔を開放することを特徴
   とする請求項１記載の真空配管用濾過装置。
3. 【請求項３】 前記フィルタエレメントは、外面と中空
   孔の内面とを連通させる多数の細孔が形成されそれぞれ
   前記中空孔の開口部が前記真空源ポートに臨ませて配置
   される多数本の多孔質中空糸濾過膜を有することを特徴
   とする請求項１または２記載の真空配管用濾過装置。
4. 【請求項４】 真空吸入部と真空発生部とを結ぶ真空配
   管に設けられ前記真空吸入部から流入する固形粒子や液
   滴等の異物を除去する真空配管用濾過装置であって、 前記真空吸入部に接続される吸引ポートと前記真空発生
   部に接続される真空源ポートと前記両ポートを連通させ
   る分離室とが形成された装置本体と、 前記装置本体内に装着され前記吸引ポートから流入した
   空気中の固形粒子や液滴等の異物を除去するフィルタエ
   レメントとを有し、 前記フィルタエレメントは、外面と中空孔の内面とを連
   通させる多数の細孔が形成されそれぞれ前記中空孔の開
   口部が前記真空源ポートに臨ませて配置される多数本の
   多孔質中空糸濾過膜を有することを特徴とする真空配管
   用濾過装置。