JPH0723748Y2

JPH0723748Y2 - 二軸方向加速度感応検出装置

Info

Publication number: JPH0723748Y2
Application number: JP1989066020U
Authority: JP
Inventors: 耕平倉地; 智明角; 聡宏小林; 実山中; 薫大橋; 敏男油谷
Original assignee: Aisin Seiki Co Ltd; Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp; Aisin Corp
Priority date: 1989-06-06
Filing date: 1989-06-06
Publication date: 1995-05-31
Anticipated expiration: 2004-06-06
Also published as: JPH036570U

Description

【考案の詳細な説明】［考案の目的］［産業上の利用分野］本考案は、加速度に感応する検出装置に関し、特に２つ
の軸方向の加速度に感応する二軸方向加速度感応検出装
置に関する。

［従来の技術］両端が支持された梁におもりを吊り下げ、梁の撓みを検
出する歪検出器を設ければ、おもりとそれを支持する部
材との相対的な傾きを検出することができる。この種の
検出装置は、加速度センサ，微小変位センサ，荷重セン
サ，トルクセンサ，振動センサ等々に利用することがで
きるが、いずれも、加速度に感応しておもりの相対変位
が生じ、信号出力が生じる。

例えば、加速度センサは、特開昭59-111065号公報に開
示されている。即ち、ハウジングの内部に慣性を生じる
おもりを備えており、センサが加速度を受けると、その
内部でおもりがその慣性によりハウジングに対して相対
的に変位するので、その変位量を検出することによって
加速度を検出することができる。

ところで、高感度の加速度センサを構成するためには、
梁を撓み易いように薄板状の機械的強度の比較的小さい
もので構成するとともに、比較的大きなおもりを梁から
吊り下げるように配置する必要がある。

［考案が解決しようとする課題］上記構成の加速度センサにおいては、梁の強度が小さい
ので、それに非常に大きな加速度が加わると、梁に可塑
変形や破壊を生じる恐れがある。例えば、加速度センサ
自体を高い位置から地面に落下させた場合、衝突の衝撃
によっておもりが加速度センサの内部で様々な軸方向に
振動し、梁に非常に大きな応力が加わり、梁が破壊され
る。

この種の過大応力による破壊を防止するために、本考案
者は、おもりの変位する範囲を規制するストッパをおも
りの周囲に設けて、過大な加速度を受けても梁に大きな
撓みが生じないように構成することを考えた。即ち、水
平面の断面においておもりの外形と相似形でおもりの外
径よりも大きな内壁径を有する容器部材によって、おも
りの周囲を囲むように構成した。

ところが、この種の構造を採用した場合でも、二軸方向
の加速度を検出するセンサにおいては、十分な耐衝撃性
が得られなかった。

本考案は、二軸方向加速度感応検出装置において、耐衝
撃性を向上することを課題とする。

［考案の構成］［課題を解決するための手段］上記課題を解決するため、本考案においては、その両端
部が支持された両持ち梁，該両持ち梁の中央部にアーム
を介して吊り下げされおもり，及び該おもりとそれを支
持する部材との相対的な二軸方向の偏位に応答して前記
両持ち梁に生じるたわみを各軸毎に検出する複数の撓み
検出手段を備える二軸方向加速度感応検出装置におい
て：前記おもりの外周に、内壁の水平面断面の形状が前
記おもりの水平面断面の外形と非相似形の容器部材を、
前記おもりの変位を規制する部材として配置し、２つの
加速度感応軸方向のうち、前記両持ち梁の撓みの容易な
軸方向に関する前記おもりと前記容器部材との間隙を、
他の軸方向に関するその間隙よりも大きくするように構
成する。

［作用］この種の加速度感応検出装置においては、梁の長手方向
に沿う第１軸の方向とそれに直交する第２軸の方向の両
方向におもりが変位可能であり、各軸毎に設けられる撓
み検出手段によって、検出対象の信号が測定される。と
ころが、この種の梁はその支持位置や形状の影響で、そ
れの撓み特性に方向性を有している。つまり、加速度の
大きさが同一であっても、第１軸と第２軸の方向の違い
で梁の撓みかたが異なり、第１軸方向のおもりの変位量
と第２軸方向のおもりの変位量の間に差が生じる。

ところで、おもりの変位量を規制する容器部材の形状
（内壁の水平断面形状）をおもりの外形と相似形にする
場合、両者の間隙は第１軸方向と第２軸方向で同等の寸
法になる。しかしその場合でも、上述のように梁の撓み
特性に方向性があるので、おもりの変位が規制を受ける
加速度の大きさは、加速度の方向が第１軸の場合と第２
軸の場合で互いに異なる。

ところで、この種の二軸方向加速度感応検出装置が測定
対象とすべき加速度の大きさの範囲は、第１軸と第２軸
の両方向で互いに同等に設定される。この測定範囲を僅
かでも越える加速度に対して、おもりの変位を完全に規
制できれば、梁に過大応力が作用する恐れはなく、極め
て高い耐衝撃性を得ることができる。ところが上述のよ
うに、おもりと容器部材との間隙が第１軸方向と第２軸
方向で同一の場合、おもりの変位が規制を受ける加速度
の大きさは、加速度の方向が第１軸の場合と第２軸の場
合で異なる。従って、例えば第１軸方向の測定範囲を越
える加速度に対して、おもりの変位が規制されるように
構成すると、第２軸方向については加速度が測定範囲を
ある程度越える場合でも、それに応じた変位がおもりに
生じ、梁に過大な応力が加わる恐れがある。

しかし、本考案によれば、容器部材の内壁の水平面断面
の形状がおもりの水平面断面の外形と非相似形に構成さ
れているので、おもりと容器部材との間の間隙の大きさ
は、第１軸方向と第２軸方向とで互いに異なる。しか
も、本考案では２つの加速度感応軸方向のうち、前記梁
の撓みの容易な軸方向に関する前記おもりと前記容器部
材との間隙を、他の軸方向に関するその間隙よりも大き
くするように配置してあるので、第１軸と第２軸のいず
れの方向の加速度を受ける場合でも、測定範囲を僅かに
越える所定の加速度を受けた時に、おもりの変位が規制
されるように構成できる。従って、第１軸と第２軸のい
ずれの方向についても、梁が過大な応力を受ける前にお
もりの変位を止めることができ、装置の耐衝撃性が飛躍
的に向上する。

ところで、両持ち梁の中央におもりを吊下げ、おもりの
周囲にシリコンオイルなどの制振材を封入する構造の二
軸方向加速度感応検出装置においては、周囲温度が変化
すると、制振材の粘性変化のために検出感度、即ちおも
りの振幅が変わる。具体的には、常温に対し低温時及び
高温時には、それぞれ次のように変わる。

低温時：制振材の粘度→上昇おもりの振幅（梁の捩れ方向）→減小おもりの振幅（梁の曲げ方向）→変化なし（支持部材が介在するため）高温時：制振材の粘度→低下おもりの振幅（梁の捩れ方向）→増大おもりの振幅（梁の曲げ方向）→増大温度変化に応じておもりの振幅が大きく変化する場合、
おもりの変位が規制を受ける加速度の大きさも温度に応
じて変化することになり好ましくない。

そこで本考案の好ましい実施例においては、検出すべき
２つの加速度感応軸方向のうち、両持ち梁がその厚み方
向に曲がる軸方向（即ち梁の曲げ方向）に関し、おもり
の容器部材と対向する面を平面形状に形成する。この面
を平面にすることにより、高温下で梁の曲げ方向におも
りが変位する時に、制振流体の流体抵抗がより増大し、
ダンパー効果によっておもりの振幅が抑制される。従っ
て、梁の曲げ方向については、温度変化によるおもりの
振幅変化が小さくなり、おもりの変位が規制を受ける加
速度の大きさの変動が小さくなる。

本考案の他の目的及び特徴は、以下の、図面を参照した
実施例説明により明らかになろう。

［実施例］第１図に一実施例の加速度センサの縦断面を示し、第２
図に第１図のII−II線断面の主要部を示す。まず第１図
を参照して構成を説明する。

おもり１は、金属製で、概略で円柱形状になっている。
正確に説明すれば、第２図に示す水平面において、円柱
のＹ軸方向両端の周面が切欠いてあり、Ｙ軸方向の厚み
は、Ｘ軸方向の厚み（直径）よりも小さくなっている。
また、おもり１を囲む形で配置されたウェートストッパ
13は、内壁の水平面形状がおもり１と同等の形状になっ
ている。なおＹ軸方向のおもり１とウェートストッパ13
との間隙CLyは、Ｘ軸方向の間隙CLxよりも小さくなって
いる。

また、おもり１はその中央部に貫通孔を有している。棒
状のアーム２は、その下端がおもり１の貫通孔に挿入さ
れ、リング３とナット４によっておもり１と一体に構成
されている。おもり１が配置される空間は、ビームホル
ダ11,ビームベース12及びウェートストッパ13で構成さ
れるケースの内空間に形成されている。ウェートストッ
パ13は、円形のカップ状で、おもり１の外径よりも少し
大きな内径を有し、上部にはフランジ部13aを有してい
る。ビームベース12は、ウェートストッパ13と嵌合でき
る形状になっており、ウェートストッパ内に入り込む円
筒形状の突出部12aとフランジ部12bを有している。

ビームプレート20は、ビームホルダ11とビームベース12
に上下から挟まれる形で配置されている。ビームプレー
ト20の上面とビームホルダ11の下面との間、ならびにビ
ームプレート20の下面とビームベース12の上面との間に
は、それぞれゴム製のシール材14及び15が介挿されてい
る。

ビームプレート20の平面の外観を第３図に拡大して示
す。第３図を参照すると、ビームプレート20の中央付近
には、該プレートの一部を切欠いて形成した細長い２つ
の開口部21,22が設けられ、それらの間に細長い梁23が
形成されている。梁23の中央部には、第１図のアーム２
を通すための穴23aが開口している。つまり、アーム２
の頂部2aを穴23aに通し、頂部2aにアームストッパ16を
装着することにより、アーム２はその頂部2aが梁23の中
央部に固定され、梁23によって支持される。即ち、おも
り１は、アーム２を介して、梁23から垂れ下がるように
吊り下げられる。

ビームプレート20の基部は、非常に薄い（厚みが0.1m
m）金属（SUS304）の平板で構成されており、その上に
様々な膜状の部分が形成されている。ビームプレート20
が非常に薄いので、梁23に装着されたおもりが傾くと、
それに従って梁23に撓みが生じる。梁23上には、その撓
みを検出するために、８つの歪ゲージ部P1,P2,P3,P4,P
5,P6,P7及びP8が設けられており、これらに接続された
配線パターン25の他端は、ビームプレート20の右端の端
子部20aに集中的に配列されている。配線パターン25に
は、９本の線25₁〜25₉が備わっている。

第３図の歪ゲージ部P1〜P8の一部を拡大して第6a図及び
第6b図に示す。第6a図を参照すると、歪ゲージ部P3は、
矢印Ｙ方向に細長く形成されたパターン部分とＸ方向に
太く短く形成されたパターン部分とが交互に形成されて
全体で１本の線を構成している。従って歪ゲージ部P3の
電気抵抗の大部分は、細く長いＹ方向に向かうパターン
部分によって得られ、Ｘ方向に向かう部分の影響は小さ
い。

つまり、歪ゲージ部P3は、Ｙ方向に向かう応力を受ける
とその電気抵抗が大きく変化するが、Ｘ方向の応力に対
しては変化はほとんど生じない。歪ゲージ部P3の両端部
は、それぞれ、配線パターン25₁及び25₂に接続されてい
る。なお、他の歪ゲージ部P1,P2及びP4も、歪ゲージ部P
3と同一のパターン形状及び向きに構成されている。

第6b図を参照すると、歪ゲージ部P5には、Ｘ方向及びＹ
方向に対して45度傾いた矢印A1方向に向かって形成され
た細長いパターン部分とそれに対して90度傾いたA2方向
の太く短いパターン部分とが交互に形成され、全体で１
本の線を構成している。従って、歪ゲージ部P5の電気抵
抗の大部分は、細く長いA2方向に向かうパターン部分に
よって得られ、A1方向に向かう部分の影響は小さい。

つまり、歪ゲージ部P5は、A2方向に向かう応力を受ける
とその電気抵抗が大きく変化するが、A1方向の応力に対
しては変化はほとんど生じない。歪ゲージ部P5の両端部
は、それぞれ、配線パターン25₇及び25₈に接続されてい
る。なお、歪ゲージ部P8も、歪ゲージ部P5と同一のパタ
ーン形状及び向きに形成されている。

歪ゲージ部P6は、パターンの細長い部分と太く短い部分
との向きが歪ゲージ部P5と90度ずれて形成されている。
従って、歪ゲージ部P6の場合、A1方向に向かう応力を受
けるとその電気抵抗が大きく変化するが、A2方向の応力
に対しては変化はほとんど生じない。歪ゲージ部P6の両
端部は、それぞれ、配線パターン25₇及び25₆に接続され
ている。なお、歪ゲージ部P7も、歪ゲージ部P6と同一の
パターン形状及び向きに形成されている。

第7a図，第7b図及び第7c図に、このセンサにそれぞれＹ
方向,X方向及びＺ方向の加速度が印加される場合の梁23
の応力の向き及びその分布の概略を示す。なお、第7a
図，第7b図及び第7c図に示す各部材の形状や構造は実際
とはかなり異なっているので注意されたい。

Ｙ方向の加速度が印加される場合には、第7a図に示すよ
うに梁上にＹ方向に向かう圧縮力及び張力が作用する。
従って、歪ゲージ部P1,P2が圧縮力を受けてその電気抵
抗が減小する時には、他の歪ゲージ部P3,P4が張力を受
けてその電気抵抗が増大し、歪ゲージ部P1,P2が張力を
受けてその電気抵抗が増大する時には、他の歪ゲージ部
P3,P4が圧縮力を受けてその電気抵抗が減小する。つま
り４つの歪ゲージ部P1〜P4を電気的に接続してホイート
ストンブリッジを構成すれば、それによってＹ方向の加
速度に対応する応力を検出できる。

Ｘ方向の加速度が印加される場合には、第7b図に示すよ
うに梁上に傾め方向（A1,A2）に向かう圧縮力又は張力
が作用する。従って、歪ゲージ部P5,P8が圧縮力を受け
てその電気抵抗が減小する時には、他の歪ゲージ部P6,P
7が張力を受けてその電気抵抗が増大し、歪ゲージ部P5,
P8が張力を受けてその電気抵抗が増大する時には、他の
歪ゲージ部P6,P7が圧縮力を受けてその電気抵抗が減小
する。つまり、歪ゲージ部P5〜P8を電気的に接続してホ
イートストンブリッジを構成すれば、それによってＸ方
向の加速度に対応する応力を検出できる。

また、Ｚ方向の加速度が印加される場合には、第7c図に
示すように梁上にＹ方向に向かう圧縮力及び張力が作用
するが、この場合には梁の両側の対称位置に同一の応力
が作用する。従って、歪ゲージ部P1,P2が圧縮力を受け
る時には他の歪ゲージ部P3,P4も圧縮力を受け、歪ゲー
ジ部P1,P2が張力を受ける時には他の歪ゲージ部P3,P4も
張力を受けるので、４つの歪ゲージ部P1〜P4の電気抵抗
の変化は同一であり、Ｚ方向の加速度に対してはホイー
トストンブリッジからは信号は出力されない。

第８図に、ビームプレート20とそれの配線25₁〜25₉に接
続される電気回路によって構成されたブリッジ回路の結
線状態を示す。第８図に示す結線により、歪ゲージ部P
1,P2,P3及びP4が１つのホイートストンブリッジを構成
し、残りの歪ゲージ部P5〜P8が別のホイートストンブリ
ッジを構成する。前者のブリッジの出力端子にＹ方向の
加速度に対応する電圧Xyが得られ、後者のブリッジの出
力端子にＸ方向の加速度に対応する電圧Vxが得られる。

なお、歪ゲージ部P1〜P4で構成されるブリッジにおいて
は、歪ゲージ部P1とP2、ならびに歪ゲージ部P3とP4が、
それぞれブリッジの対向する辺に位置するように接続さ
れていることに注意されたい。

第５図に、ビームプレート20の厚み方向の断面の一部を
拡大して示す。第５図を参照すると、ビームプレート20
は、基部26の一方の面に形成された絶縁膜27,導電性パ
ターン28及び絶縁膜29を有している。基部26は、厚みが
0.1mmの金属薄板であり、導電性であるので、その上に
電気回路を形成するために、その片方の面の全体に渡っ
て、絶縁膜27が形成されている。この絶縁膜27は、SiO₂
の塗布によって形成される。膜厚は0.4μｍである。

導電性パターン28は、スパッタリングによって形成され
たNiCrSiの薄膜（厚み0.4μｍ）であり、それをエッチ
ング処理することにより、必要とされる各歪ゲージ部P1
〜P8と配線25のパターンが形成される。なお、エッチン
グ後に、熱処理（400℃で１時間保持後に炉冷する:0.01
Torr以下）を行なう。このパターンの形成が終了した後
で、電気接続の必要な端子部20aを除き、パターンの上
にSiO₂を塗布し、厚みが３μｍの絶縁膜（保護膜）を形
成する。

ここで再び第１図を参照すると、ビームベース12のフラ
ンジ部12bの一端に設けられた段差部分に端子板17が固
定されている。この端子板17には、その上面に導電性の
プリントパターン17aが形成されており、また、信号を
処理するための所定の電気回路が集積されたハイブリッ
ドIC 19が装着されている。第４図に示すように、端子
板17の一端にはビームプレート20が重なっている。そし
て、ビームプレート20の端子部20aの各々の線と端子板1
7上のプリントパターンとが、ボンディングワイヤ18に
よって電気的に接続されている。

第１図に参照すると、ビームホルダ11,ビームベース12
及びウェートストッパ13でなるケースの内空間７には、
おもり１やアーム２とともに、シリコンオイル８が充填
されている。このシリコンオイル８は、その粘性によっ
ておもり１の動きを抑制する。

内空間７にシリコンオイル８が充填されているので、そ
の空間からシリコンオイルが漏れないようにケースを構
成する各部材の当接部分に充分なシールを施こす必要が
ある。この実施例では、ビームベース12とウェートスト
ッパ13との当接面はＯリング６によってシールしてい
る。また、ビームベース12の上面とビームプレート20の
下面との当接面は、その部分に介挿した環状のシール材
（ゴム）15によってシールし、ビームプレート20の上面
とビームホルダ11の下面との当接面は、その部分に介挿
したシール材14によってシールしている。シール材11
は、アーム２の頂部2aとアームストッパ16の周囲全体を
覆う形に形成されている。

この例では、ビームプレート20が非常に薄く、その上に
形成された配線などのパターンはそれより更に薄い膜状
に形成されているので、ビームプレート20と、ビームホ
ルダ11及びビームベース13との当接面にはほとんど凹凸
がない。そのため、それらの部分のシールは、第１図に
示すような単純な形状のシール材14,15だけで極めて簡
単に、かつ確実に行なうことができる。

なお、ビームホルダ11,ビームベース12及びビームプレ
ート20は、図示しない４本のねじによってビームホルダ
11の上から固定される。第３図に示すビームプレート20
の穴20b,20c,20d及び20eをそれらのねじが通る。第１図
に示すように、ビームホルダ11,ビームベース12及びウ
ェートストッパ13で構成されるケースの外側は、スポン
ジシートで構成されるクッション材31,32及び33で覆わ
れ、各種部材41,42,43及び44で構成されるハウジング内
に固定される。

ところで、第２図を参照すると、前述のように、おもり
１とウェートストッパ13との間隙の大きさは、Ｘ軸方向
とＹ軸方向とで互いに異なっている。これは、Ｘ軸方向
とＹ軸方向のいずれの方向の加速度に対しても、測定範
囲を少しでも越える大きな加速度が印加される場合に
は、おもり１の変位を規制して梁23に過大な応力が加わ
るのを防止するためである。

つまり、検出すべき加速度の測定範囲が、Ｘ軸方向とＹ
軸方向で互いに同じになっているのに対し、加速度に対
するおもり１の変位（傾き）の応答感度は、Ｘ軸方向の
方がＹ軸方向よりも高感度である。これは、梁23の形状
及び支持構造によって定まる。このため、間隙の寸法が
Ｘ軸方向とＹ軸方向とで同じ場合には、ウェートストッ
パ13によって変位が規制される加速度の大きさは、Ｘ軸
よりもＹ軸の方が大きくなる。Ｙ軸方向の変位が規制さ
れる加速度を測定範囲の上限値に余裕分を加味した値に
設定せざるを得ないので、その場合にはＹ軸方向の変位
が規制を受ける加速度の大きさは、測定範囲を大きく上
まわることになり、梁23に過大な応力が加わるのを充分
に防止できない。

しかしこの実施例においては、おもり１の外形とウェー
トストッパ13の内壁形状とを非相似形とし、おもり１の
変位の感度が低いＹ軸方向に関するおもり１とウェート
ストッパ13との間の間隙CLyを、Ｘ軸方向の間隙CLxより
も小さく形成してある。つまり、おもり１の変位が規制
を受ける加速度の大きさは、Ｘ軸方向とＹ軸方向で互い
に同じに設定してある。これによって、おもり１の変位
を規制する加速度の大きさを、Ｘ軸とＹ軸のいずれの方
向についても、測定範囲を僅かに越える値に設定するこ
とができ、過大な応力が梁23に加わる前におもり１の変
位を止めることができる。

なおこの実施例においては、第２図に示すようにおもり
１のウェートストッパ13と対向する面を平面形状に形成
してある。このため、おもり１がＹ軸方向（梁23の曲げ
方向）に変位する時に、シリコンオイル８に対する流体
抵抗がより増大し、ダンパー効果が大きくなる。一般
に、周囲温度が上昇すると、シリコンオイルの粘度が低
下し、おもり１の振幅が増大する。しかしこの実施例で
は、Ｙ軸方向のダンパー効果が比較的大きいので、温度
の上昇によるおもり１の振幅変化は比較的小さい。これ
により、おもり１の振幅が規制される加速度の大きさの
変動も小さく抑制される。

第９図に、１つの変形実施例におけるおもりとウェート
ストッパの水平面形状を示す。第９図を参照すると、こ
の例ではおもり1Bの外形は円形になっており、ウェート
ストッパ13Bは楕円に近い形状になっている。つまり、
この例においても、おもりの外形とウェートストッパ内
壁形状とは非相似形であり、Ｘ軸方向の両者間の間隙CL
xよりもＹ軸方向の間隙CLyの方が小さくなっている。そ
の他の構成及び動作は、前述の実施例と同一である。

［効果］以上のとおり本考案によれば、おもり（１）の変位を規
制する加速度の大きさを、Ｘ軸とＹ軸のいずれの方向に
ついても測定範囲を僅かに越える値に設定することがで
き、過大な応力が梁（23）に加わる前にそれ以上のおも
り（１）の変位を確実に止めることができる。従って、
装置の耐衝撃性が飛躍的に向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、一実施例の加速度センサを示す縦断面図であ
る。第２図は第１図のII−II線断面の主要部を示す断面図、
第３図は第１図のビームプレート20の外観を示す拡大平
面図、第４図は第１図の一部分を拡大して示す断面図で
ある。第５図は、ビームプレート20の一部分の厚み方向の断面
を示す断面図である。第6a図及び第6b図は、各々、ビームプレート20上の歪ゲ
ージ部を拡大して示す平面図である。第7a図，第7b図及び第7c図は、各々異なる方向の加速度
を受けた場合の、梁23の応力分布の概略を示す斜視図で
ある。第８図は、第１図の加速度センサの一部分の電気要素の
接続状態を示す配線図である。第９図は、１つの変形例におけるおもりとウェートスト
ッパの水平面形状を示す断面図である。 1:おもり（おもり）、2:アーム 3:リング、4:ナット 6:Oリング、7:内空間 8:シリコンオイル、11:ビームホルダ 12:ビームベース 13:ウェートストッパ（容器部材） 14,15:シール材、17:端子板 18:ボンディングワイヤ 20:ビームプレート、21,22:開口部 23:梁（梁）、25:配線パターン 25₁〜25₉：線 P1〜P8:歪ゲージ部（撓み検出手段） 26:基部、27:絶縁膜 28:導電性パターン、29:絶縁膜 31,32,33:クッション材 CLx,CLy:間隙

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者山中実愛知県刈谷市朝日町２丁目１番地アイシン精機株式会社内 (72)考案者大橋薫愛知県豊田市トヨタ町１番地トヨタ自動車株式会社内 (72)考案者油谷敏男愛知県豊田市トヨタ町１番地トヨタ自動車株式会社内審査官治田義孝

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】その両端部が支持された両持ち梁，該両持
ち梁の中央部にアームを介して吊り下げされおもり，及
び該おもりとそれを支持する部材との相対的な二軸方向
の偏位に応答して前記梁に生じるたわみを各軸毎に検出
する複数の撓み検出手段を備える二軸方向加速度感応検
出装置において：前記おもりの外周に、内壁の水平面断面の形状が前記お
もりの水平面断面の外形と非相似形の容器部材を、前記
おもりの変位を規制する部材として配置し、２つの加速
度感応軸方向のうち、前記両持ち梁の撓みの容易な軸方
向に関する前記おもりと前記容器部材との間隙を、他の
軸方向に関するその間隙よりも大きくしたことを特徴と
する、二軸方向加速度感応検出装置。
【請求項２】前記２つの加速度感応軸方向のうち、前記
両持ち梁がその厚み方向に曲がる軸方向に関し、前記お
もりの前記容器部材と対向する面を平面形状に形成し
た、前記請求項１記載の二軸方向加速度感応検出装置。