JPH07237735A - 電子部品の整列装置 - Google Patents
電子部品の整列装置Info
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- JPH07237735A JPH07237735A JP6052703A JP5270394A JPH07237735A JP H07237735 A JPH07237735 A JP H07237735A JP 6052703 A JP6052703 A JP 6052703A JP 5270394 A JP5270394 A JP 5270394A JP H07237735 A JPH07237735 A JP H07237735A
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- electronic components
- electronic
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Abstract
(57)【要約】
【構成】軸を中心に回転自在で90°刻みの四つの位置
で停止可能であり電子部品が通過可能な十字状の通路12
が形成され通路12の中心部12aがこの軸上にある回転体
8と、一列の電子部品4を保持する上シュート6と、上
シュート6上にある電子部品の向きを検出するセンサ28
とを具え、上シュート6から受け取った1個の電子部品
4を通路12の中心部12aに保持し、センサ28の検出信号
に応じて所定の角度だけ回転体8を回転した後、この電
子部品4を通路12から排出するように構成する。 【効果】電子部品の形状や端子数が多少異なっても容易
に対応でき、高速処理が可能であり、整列方向を電気信
号の切り換えによって簡単に変更できる。
で停止可能であり電子部品が通過可能な十字状の通路12
が形成され通路12の中心部12aがこの軸上にある回転体
8と、一列の電子部品4を保持する上シュート6と、上
シュート6上にある電子部品の向きを検出するセンサ28
とを具え、上シュート6から受け取った1個の電子部品
4を通路12の中心部12aに保持し、センサ28の検出信号
に応じて所定の角度だけ回転体8を回転した後、この電
子部品4を通路12から排出するように構成する。 【効果】電子部品の形状や端子数が多少異なっても容易
に対応でき、高速処理が可能であり、整列方向を電気信
号の切り換えによって簡単に変更できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、角形の電子部品を一定
の向きに整列して順次送り出す電子部品の整列装置に関
するものである。
の向きに整列して順次送り出す電子部品の整列装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】自動挿入機用のマガジンに電子部品を詰
める場合などには、電子部品を一定の向きに整列させる
ことが必要になる。電子部品の向きを揃える場合、従来
は一般に振動式のパーツフィーダを用いている。このパ
ーツフィーダは電子部品の供給方向に振動を与えて狭い
搬送路上を押し進め、所定の向きの電子部品以外は搬送
路から落下して再び搬送路に循環するようにしたもの
で、向きの異なる電子部品を除く手段として電子部品の
形状や重心の位置等を利用している。
める場合などには、電子部品を一定の向きに整列させる
ことが必要になる。電子部品の向きを揃える場合、従来
は一般に振動式のパーツフィーダを用いている。このパ
ーツフィーダは電子部品の供給方向に振動を与えて狭い
搬送路上を押し進め、所定の向きの電子部品以外は搬送
路から落下して再び搬送路に循環するようにしたもの
で、向きの異なる電子部品を除く手段として電子部品の
形状や重心の位置等を利用している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この種のパーツフィー
ダは、端子の突出方向を揃える場合など、向きによって
形状に大きな差が出る単純な整列には適しているが、次
のような欠点もあった。 (1)電子部品の整列方向がパーツフィーダの構造によ
って決まってしまうので整列する向きを簡単に変更でき
ない。しかし、多種類のパーツフィーダを用意すると、
交換に手数と時間がかかるうえコスト高にもなる。 (2)電子部品の微小な形の変化には対応できない。た
とえば、端子数の変化に追従するのは難しい。 (3)ピン状の端子がある電子部品は送り速度を早くす
るとエラーが多く発生する。一方、エラーが起きない速
度にすると整列速度がきわめて遅いものになってしま
う。
ダは、端子の突出方向を揃える場合など、向きによって
形状に大きな差が出る単純な整列には適しているが、次
のような欠点もあった。 (1)電子部品の整列方向がパーツフィーダの構造によ
って決まってしまうので整列する向きを簡単に変更でき
ない。しかし、多種類のパーツフィーダを用意すると、
交換に手数と時間がかかるうえコスト高にもなる。 (2)電子部品の微小な形の変化には対応できない。た
とえば、端子数の変化に追従するのは難しい。 (3)ピン状の端子がある電子部品は送り速度を早くす
るとエラーが多く発生する。一方、エラーが起きない速
度にすると整列速度がきわめて遅いものになってしま
う。
【0004】
【発明の目的】本発明は、角形であれば形状や端子数が
多少異なっていても多種の電子部品に容易に対応でき、
しかも高速処理が可能な電子部品の整列装置を提供する
ことを目的とする。
多少異なっていても多種の電子部品に容易に対応でき、
しかも高速処理が可能な電子部品の整列装置を提供する
ことを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、軸を中心に回
転自在で90°刻みの四つの位置で停止可能であり電子
部品が通過可能なほぼ十字状の通路が形成され十字状の
通路の中心部がこの軸上にある回転体と、回転体の通路
内に供給する電子部品を一列に並べて保持する上シュー
トと、上シュートにある電子部品の向きを検出するセン
サとを具え、上シュートから受け取った1個の電子部品
を回転体の通路の中心部に保持し、センサの検出信号に
応じて所定の角度だけ回転体を回転した後、この電子部
品を通路から排出する構成を特徴とする。
転自在で90°刻みの四つの位置で停止可能であり電子
部品が通過可能なほぼ十字状の通路が形成され十字状の
通路の中心部がこの軸上にある回転体と、回転体の通路
内に供給する電子部品を一列に並べて保持する上シュー
トと、上シュートにある電子部品の向きを検出するセン
サとを具え、上シュートから受け取った1個の電子部品
を回転体の通路の中心部に保持し、センサの検出信号に
応じて所定の角度だけ回転体を回転した後、この電子部
品を通路から排出する構成を特徴とする。
【0006】
【実施例】図1は本発明の整列装置の概略の構成を示す
正面図、図2はその側面断面図である。ベース2には整
列前の電子部品4を一列に並べて保持するための上シュ
ート6が固定してあり、回転体8が軸S(図2)を中心
に回転自在にボールベアリング10によって取付けてあ
る。本実施例における電子部品4は、一方向に端子5を
導出したほぼ四角柱の形をしており、端子5の方向のみ
を揃えて上シュート6の溝内に挿入されている。回転体
8には、図3及び図4に示すように窪みを設けることに
よって、ほぼ十字状の通路12を形成し、また、軸S方向
に沿って移動可能な四つのシャッタ14を貫通孔9に通し
て取付けてある。通路12の中心部12aは盛り上がってい
るが、四つのシャッタ14が図4のように右方に後退した
ときに通路12の底部が平らになるようになされている。
通路12は、このようにシャッタ14が後退した状態のとき
電子部品4が通過できる大きさを有している。通路12の
中心部12aは回転軸S上に位置しており、中心部12aを
囲む四箇所の通路12内に各シャッタ14の先端部がそれぞ
れ突出するように、各シャッタ14はそれぞれスプリング
16で通路12側に付勢されている。なお、回転体8の前面
には電子部品4の落下を防ぐためのカバーが取付けられ
るが図示は省略してある。
正面図、図2はその側面断面図である。ベース2には整
列前の電子部品4を一列に並べて保持するための上シュ
ート6が固定してあり、回転体8が軸S(図2)を中心
に回転自在にボールベアリング10によって取付けてあ
る。本実施例における電子部品4は、一方向に端子5を
導出したほぼ四角柱の形をしており、端子5の方向のみ
を揃えて上シュート6の溝内に挿入されている。回転体
8には、図3及び図4に示すように窪みを設けることに
よって、ほぼ十字状の通路12を形成し、また、軸S方向
に沿って移動可能な四つのシャッタ14を貫通孔9に通し
て取付けてある。通路12の中心部12aは盛り上がってい
るが、四つのシャッタ14が図4のように右方に後退した
ときに通路12の底部が平らになるようになされている。
通路12は、このようにシャッタ14が後退した状態のとき
電子部品4が通過できる大きさを有している。通路12の
中心部12aは回転軸S上に位置しており、中心部12aを
囲む四箇所の通路12内に各シャッタ14の先端部がそれぞ
れ突出するように、各シャッタ14はそれぞれスプリング
16で通路12側に付勢されている。なお、回転体8の前面
には電子部品4の落下を防ぐためのカバーが取付けられ
るが図示は省略してある。
【0007】上シュート6は回転体8の通路12の一部に
対向しており、上シュート6と通路12の延長線上には、
通路12から排出される電子部品4を受け取る下シュート
18を配置してある。下シュート18には一定の向きの電子
部品4が一列に並ぶことになる。下シュート10の先には
自動挿入機に電子部品4を供給するためのマガジン(図
示せず)を配置して、下シュート18からマガジンに電子
部品4が挿入されるようになされる。なお、下シュート
18を用いることなく、通路12から排出された電子部品4
が直接マガジン内に入るようにしてもよい。上シュート
6は下シュート18よりも高い位置に配置してあり、電子
部品4が上シュート6から回転体8の通路12を経て下シ
ュート18内に重力で移動するようにしてある。上シュー
ト6や下シュート18は床に垂直に立ててもよく、少し傾
けた状態としてもよい。
対向しており、上シュート6と通路12の延長線上には、
通路12から排出される電子部品4を受け取る下シュート
18を配置してある。下シュート18には一定の向きの電子
部品4が一列に並ぶことになる。下シュート10の先には
自動挿入機に電子部品4を供給するためのマガジン(図
示せず)を配置して、下シュート18からマガジンに電子
部品4が挿入されるようになされる。なお、下シュート
18を用いることなく、通路12から排出された電子部品4
が直接マガジン内に入るようにしてもよい。上シュート
6は下シュート18よりも高い位置に配置してあり、電子
部品4が上シュート6から回転体8の通路12を経て下シ
ュート18内に重力で移動するようにしてある。上シュー
ト6や下シュート18は床に垂直に立ててもよく、少し傾
けた状態としてもよい。
【0008】各シャッタ14の後端には鍔15が設けてあ
り、ベース2に固定した二つのエアーシリンダ20、22の
ピストン21、23には鍔15に係合可能な駆動片24、26が取
付けてある。一方のエアーシリンダ20は上シュート6に
対向したシャッタ14の後方に配置してあり、他方のエア
ーシリンダ22は下シュート18に対向したシャッタ14の後
方に配置してある。すなわち、エアーシリンダ20、22の
駆動片24、26と各シャッタ14の鍔15との位置関係は、図
5のようになっている。図5における11は回転体8に固
定されたプーリ、40はプーリ11に掛けられたタイミング
ベルトである。図2のようにエアーシリンダ20、22は、
それぞれの駆動片24、26を鍔15に係合して後方に引くこ
とにより、スプリング16を圧縮しながらシャッタ14を後
退させる。駆動片24、26を前進させて鍔15を解放したと
きは、スプリング16の力でシャッタ14は前進して通路12
を閉じた状態となる。図2は下シュート18に対向した側
のシャッタ14を後退させて開けた直後を示すもので、回
転体8の通路12の中心部12aにある1個の電子部品4は
下シュート18に落下する寸前の状態にある。
り、ベース2に固定した二つのエアーシリンダ20、22の
ピストン21、23には鍔15に係合可能な駆動片24、26が取
付けてある。一方のエアーシリンダ20は上シュート6に
対向したシャッタ14の後方に配置してあり、他方のエア
ーシリンダ22は下シュート18に対向したシャッタ14の後
方に配置してある。すなわち、エアーシリンダ20、22の
駆動片24、26と各シャッタ14の鍔15との位置関係は、図
5のようになっている。図5における11は回転体8に固
定されたプーリ、40はプーリ11に掛けられたタイミング
ベルトである。図2のようにエアーシリンダ20、22は、
それぞれの駆動片24、26を鍔15に係合して後方に引くこ
とにより、スプリング16を圧縮しながらシャッタ14を後
退させる。駆動片24、26を前進させて鍔15を解放したと
きは、スプリング16の力でシャッタ14は前進して通路12
を閉じた状態となる。図2は下シュート18に対向した側
のシャッタ14を後退させて開けた直後を示すもので、回
転体8の通路12の中心部12aにある1個の電子部品4は
下シュート18に落下する寸前の状態にある。
【0009】図1における28は上シュート6の最下端に
ある電子部品4の向きを検出するためのセンサである。
本実施例では電子部品4の両側に二つずつ合計四つのセ
ンサ28を設けてある。センサ28としては、たとえば反射
型の光電センサを用いればよい。反射型の光電センサ
は、発光体と受光体を内蔵しており、反射光の強さによ
って電子部品4の端子5等の有無を検出する。この実施
例における電子部品4は3本の端子5を有しているが、
四つのセンサ28がそれぞれの位置において端子5の有無
を検出することによって、その電子部品4の向きを判定
する。なお、光電センサの代わりに、センサー部を電気
接触子と検出回路で構成し、接触子を端子5に接触させ
ることにより、電子部品の内蔵回路を測定して整列方向
を検出することも可能である。また、実施例では上シュ
ート6の最下端の電子部品4の向きをセンサ28で検出す
るようにしたが、センサ28の取付位置を取付けに都合の
よい位置に変えて電気信号の処理で対応するようにして
もよい。
ある電子部品4の向きを検出するためのセンサである。
本実施例では電子部品4の両側に二つずつ合計四つのセ
ンサ28を設けてある。センサ28としては、たとえば反射
型の光電センサを用いればよい。反射型の光電センサ
は、発光体と受光体を内蔵しており、反射光の強さによ
って電子部品4の端子5等の有無を検出する。この実施
例における電子部品4は3本の端子5を有しているが、
四つのセンサ28がそれぞれの位置において端子5の有無
を検出することによって、その電子部品4の向きを判定
する。なお、光電センサの代わりに、センサー部を電気
接触子と検出回路で構成し、接触子を端子5に接触させ
ることにより、電子部品の内蔵回路を測定して整列方向
を検出することも可能である。また、実施例では上シュ
ート6の最下端の電子部品4の向きをセンサ28で検出す
るようにしたが、センサ28の取付位置を取付けに都合の
よい位置に変えて電気信号の処理で対応するようにして
もよい。
【0010】30は、その一つ上の電子部品4を停止させ
るためのストッパーピンである。ストッパーピン30はス
プリング31で電子部品4側に付勢されている。エアーシ
リンダ32のピストン33が前進している時は、ピストン33
に固定した駆動片34がストッパーピン30との係合を解除
されるので、ストッパーピン30はスプリング31の力で電
子部品4を横から押して停止させ保持する。ピストン33
を後退させてストッパーピン30に係合している駆動片34
を後方に引くことによってストッパーピン30は後退し、
電子部品4を押す力が解除される。回転体8はタイミン
グベルト40を介してパルスモータ42によって駆動され、
一方の方向に90°、180°、270°あるいは反対
方向に90°回転して、回転前の停止位置を含めてこれ
ら四箇所の位置で停止できるようになされている。回転
体8がどの位置まで回転して停止するかは、センサ28の
検出結果によって決められる。また、電子部品4の整列
方向は、センサ28に接続された図示しない電気回路から
なる制御部によってあらかじめ設定される。エアーシリ
ンダ20、22、32やパルスモータ42等はすべてベース2の
一部に固定されているが、図示は省略してある。
るためのストッパーピンである。ストッパーピン30はス
プリング31で電子部品4側に付勢されている。エアーシ
リンダ32のピストン33が前進している時は、ピストン33
に固定した駆動片34がストッパーピン30との係合を解除
されるので、ストッパーピン30はスプリング31の力で電
子部品4を横から押して停止させ保持する。ピストン33
を後退させてストッパーピン30に係合している駆動片34
を後方に引くことによってストッパーピン30は後退し、
電子部品4を押す力が解除される。回転体8はタイミン
グベルト40を介してパルスモータ42によって駆動され、
一方の方向に90°、180°、270°あるいは反対
方向に90°回転して、回転前の停止位置を含めてこれ
ら四箇所の位置で停止できるようになされている。回転
体8がどの位置まで回転して停止するかは、センサ28の
検出結果によって決められる。また、電子部品4の整列
方向は、センサ28に接続された図示しない電気回路から
なる制御部によってあらかじめ設定される。エアーシリ
ンダ20、22、32やパルスモータ42等はすべてベース2の
一部に固定されているが、図示は省略してある。
【0011】次に、この電子部品の整列装置の動作につ
いて説明する。今、ストッパーピン30は後退しており、
すべてのシャッタ14が前進して、図6のように中心部12
a以外の通路12を塞いでいる。この状態で振動式のパー
ツフィーダ等によって端子5の方向のみ揃えた多数の電
子部品4を上方から上シュート6内に順次供給する。電
子部品4は上シュート6の中を一列になって落下し、先
頭の電子部品4aが上シュート6の最下端に達し、上シ
ュート6に対向したシャッタ14aに突き当たって停止す
る。上シュート6内における電子部品4は端子5方向の
み揃えられているが、その他の方向はバラバラで、4種
類の向きのものが混じり合っている。そこで、最下端の
電子部品4aの向きをセンサ28で検出するとともに、下
から2番目の電子部品4bをストッパーピン30で押して
保持する。
いて説明する。今、ストッパーピン30は後退しており、
すべてのシャッタ14が前進して、図6のように中心部12
a以外の通路12を塞いでいる。この状態で振動式のパー
ツフィーダ等によって端子5の方向のみ揃えた多数の電
子部品4を上方から上シュート6内に順次供給する。電
子部品4は上シュート6の中を一列になって落下し、先
頭の電子部品4aが上シュート6の最下端に達し、上シ
ュート6に対向したシャッタ14aに突き当たって停止す
る。上シュート6内における電子部品4は端子5方向の
み揃えられているが、その他の方向はバラバラで、4種
類の向きのものが混じり合っている。そこで、最下端の
電子部品4aの向きをセンサ28で検出するとともに、下
から2番目の電子部品4bをストッパーピン30で押して
保持する。
【0012】この後、図7に示すように上シュート6に
対向したシャッタ14aを後退して開き、最下端の電子部
品4aを回転体8の通路12内に落下させる。電子部品4
aがシャッタ14bに当たって中心部12aで停止したとこ
ろで図8のようにシャッタ14aを閉じる。このとき電子
部品4aは四つのシャッタ14で挟まれて通路12の中心部
12aに保持された状態となる。回転体8は、センサ28が
検出した電子部品4aの向きに応じて、回転せず、一方
の方向に90°回転、180°回転、逆方向に90°回
転の四つの動作の中からいずれかを選択して、パルスモ
ータ42によって駆動される。そして、回転体8を停止さ
せ、図2のように下シュート18に対向したシャッタ14を
開いて、中心部12a上の電子部品4を下シュート18内に
落下させた後、このシャッタ14を閉じる。なお、シャッ
タ14aを閉じて電子部品4aを中心部12aに保持した図
8の状態からは、上記の動作と併行して、ストッパーピ
ン30を後退して次の電子部品4bを上シュート6の最下
端に移動させ、センサ28によって電子部品4bの向きを
検出し、下から2番目の電子部品4cをストッパーピン
30で保持するようにする。以上の動作を繰り返すことに
より、電子部品4は一定の向きに整列されて順次下シュ
ート18内に供給されることになる。
対向したシャッタ14aを後退して開き、最下端の電子部
品4aを回転体8の通路12内に落下させる。電子部品4
aがシャッタ14bに当たって中心部12aで停止したとこ
ろで図8のようにシャッタ14aを閉じる。このとき電子
部品4aは四つのシャッタ14で挟まれて通路12の中心部
12aに保持された状態となる。回転体8は、センサ28が
検出した電子部品4aの向きに応じて、回転せず、一方
の方向に90°回転、180°回転、逆方向に90°回
転の四つの動作の中からいずれかを選択して、パルスモ
ータ42によって駆動される。そして、回転体8を停止さ
せ、図2のように下シュート18に対向したシャッタ14を
開いて、中心部12a上の電子部品4を下シュート18内に
落下させた後、このシャッタ14を閉じる。なお、シャッ
タ14aを閉じて電子部品4aを中心部12aに保持した図
8の状態からは、上記の動作と併行して、ストッパーピ
ン30を後退して次の電子部品4bを上シュート6の最下
端に移動させ、センサ28によって電子部品4bの向きを
検出し、下から2番目の電子部品4cをストッパーピン
30で保持するようにする。以上の動作を繰り返すことに
より、電子部品4は一定の向きに整列されて順次下シュ
ート18内に供給されることになる。
【0013】
【発明の効果】本発明によれば、従来のパーツフィーダ
の3倍以上の高速で処理できるばかりでなく、整列方向
を電気信号の切り換えによって簡単に変更できる汎用性
の高い整列装置を構成できる。また、電子部品の端子等
の検出部分の大きさや位置の変動にも対応でき、精度よ
く安定した整列を行うことができる。
の3倍以上の高速で処理できるばかりでなく、整列方向
を電気信号の切り換えによって簡単に変更できる汎用性
の高い整列装置を構成できる。また、電子部品の端子等
の検出部分の大きさや位置の変動にも対応でき、精度よ
く安定した整列を行うことができる。
【図1】 本発明の整列装置の概略の構成を示す一部切
欠正面図
欠正面図
【図2】 図1のA−A線に沿った一部断面側面図
【図3】 回転体部分の正面図
【図4】 回転体の側面断面図
【図5】 図2のB−B線に沿った要部断面図
【図6】 本発明の動作説明図
【図7】 本発明の動作説明図
【図8】 本発明の動作説明図
S 回転軸 4 電子部品 6 上シュート 8 回転体 12 通路 12a 通路の中心部 18 下シュート 28 センサ
Claims (4)
- 【請求項1】 角形の電子部品を一定の向きに整列する
電子部品の整列装置において、軸を中心に回転自在で9
0°刻みの四つの位置で停止可能であり電子部品が通過
可能なほぼ十字状の通路が形成され十字状の通路の中心
部が該軸上にある回転体と、回転体の通路内に供給する
電子部品を一列に並べて保持する上シュートと、上シュ
ートにある電子部品の向きを検出するセンサとを具え、
上シュートから受け取った1個の電子部品を回転体の通
路の中心部に保持し、センサの検出信号に応じて所定の
角度だけ回転体を回転した後、該電子部品を通路から排
出するように構成したことを特徴とする電子部品の整列
装置。 - 【請求項2】 電子部品が一方向に端子を導出したほぼ
四角柱の電子部品であり、端子の導出方向のみを揃えた
電子部品が上シュートに供給される請求項1の電子部品
の整列装置。 - 【請求項3】 回転体に取付けられ、回転体の軸方向に
沿って移動可能で、通路の中心部を囲む四箇所の通路を
それぞれ塞ぐことができる四つのシャッタを設けた請求
項2の電子部品の整列装置。 - 【請求項4】 通路から排出される電子部品を受け取る
下シュートを、回転体の通路を介して上シュートに対向
する位置に取付けるとともに、上シュートに対向した第
1のシャッタを通路から後退させる第1の駆動手段と、
下シュートに対向した第2のシャッタを通路から後退さ
せる第2の駆動手段とを設け、第1のシャッタと第2の
シャッタの先端部を交互に通路内から後退させるように
構成した請求項3の電子部品の整列装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6052703A JP2729913B2 (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 電子部品の整列装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6052703A JP2729913B2 (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 電子部品の整列装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07237735A true JPH07237735A (ja) | 1995-09-12 |
| JP2729913B2 JP2729913B2 (ja) | 1998-03-18 |
Family
ID=12922258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6052703A Expired - Fee Related JP2729913B2 (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 電子部品の整列装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2729913B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004044452A1 (de) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Heigl, Helmuth, Dr. | Vorrichtung und Verfahren zum Ausrichten von Bauelementen, insbesondere von Halbleiterbauelementen |
| DE10233083B4 (de) * | 2002-07-21 | 2007-05-10 | Peter Poeppel | Vorrichtung zur Ausrichtung |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50106873U (ja) * | 1974-02-12 | 1975-09-02 |
-
1994
- 1994-02-25 JP JP6052703A patent/JP2729913B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50106873U (ja) * | 1974-02-12 | 1975-09-02 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10233083B4 (de) * | 2002-07-21 | 2007-05-10 | Peter Poeppel | Vorrichtung zur Ausrichtung |
| DE102004044452A1 (de) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Heigl, Helmuth, Dr. | Vorrichtung und Verfahren zum Ausrichten von Bauelementen, insbesondere von Halbleiterbauelementen |
| DE102004044452B4 (de) * | 2004-09-14 | 2009-06-04 | Heigl, Helmuth, Dr. | Vorrichtung zum Ausrichten von Bauelementen, insbesondere von Halbleiterbauelementen |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2729913B2 (ja) | 1998-03-18 |
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