JPH0724249A - 有機溶剤ガス回収方法 - Google Patents
有機溶剤ガス回収方法Info
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- JPH0724249A JPH0724249A JP5173157A JP17315793A JPH0724249A JP H0724249 A JPH0724249 A JP H0724249A JP 5173157 A JP5173157 A JP 5173157A JP 17315793 A JP17315793 A JP 17315793A JP H0724249 A JPH0724249 A JP H0724249A
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Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 中和・精製装置等の大掛かりな付帯処理設備
を必要とせずに高品質の回収溶剤を得ることができ、有
機溶剤ガス回収に要する維持管理費の低減が図れ、しか
も、回収溶剤の中和処理による２次不純物も生成するこ
とのない有機溶剤ガス回収方法を提供する。 【構成】 活性炭１６ａを備えた吸着装置１４に有機溶
剤ガスを含む原ガス１０２を供給する際、該有機溶剤ガ
スにアミン系有機溶剤を添加する。アミン系有機溶剤は
弱塩基物であるので有機溶剤の安定剤として作用する。
これにより、有機溶剤が脱離用ガス１０４および活性炭
１６ｂの触媒作用により分解して有機酸、無機酸、過酸
化物等の不純物を生成するのを最小限に抑える。また、
吸着装置１４に供給された脱離用ガス１０４にアミン系
有機溶剤が同伴されるため該脱離用ガスはアルカリ性と
なり、これにより、活性炭１６ｂからの有機溶剤の脱離
が促進される。アミン系有機溶剤は有機溶剤とケン化反
応せず、２次不純物は生成されない。
を必要とせずに高品質の回収溶剤を得ることができ、有
機溶剤ガス回収に要する維持管理費の低減が図れ、しか
も、回収溶剤の中和処理による２次不純物も生成するこ
とのない有機溶剤ガス回収方法を提供する。 【構成】 活性炭１６ａを備えた吸着装置１４に有機溶
剤ガスを含む原ガス１０２を供給する際、該有機溶剤ガ
スにアミン系有機溶剤を添加する。アミン系有機溶剤は
弱塩基物であるので有機溶剤の安定剤として作用する。
これにより、有機溶剤が脱離用ガス１０４および活性炭
１６ｂの触媒作用により分解して有機酸、無機酸、過酸
化物等の不純物を生成するのを最小限に抑える。また、
吸着装置１４に供給された脱離用ガス１０４にアミン系
有機溶剤が同伴されるため該脱離用ガスはアルカリ性と
なり、これにより、活性炭１６ｂからの有機溶剤の脱離
が促進される。アミン系有機溶剤は有機溶剤とケン化反
応せず、２次不純物は生成されない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、活性炭を備えた吸着装
置を用いて被処理ガス中の有機溶剤ガスを回収する有機
溶剤ガス回収方法に関するものである。
置を用いて被処理ガス中の有機溶剤ガスを回収する有機
溶剤ガス回収方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気テープ、乾式製膜、乾式紡糸、塗料
などの製造工程においては、作業環境上好ましくない有
機溶剤ガスが発生する。また、ドライ・クリーニング、
金属脱脂洗浄などで有機溶剤を使用した場合にも有機溶
剤ガスが発生する。このため従来より、活性炭を用いて
有機溶剤ガスを吸着する、いわゆる活性炭吸着法による
有機溶剤ガスの回収が行われている。
などの製造工程においては、作業環境上好ましくない有
機溶剤ガスが発生する。また、ドライ・クリーニング、
金属脱脂洗浄などで有機溶剤を使用した場合にも有機溶
剤ガスが発生する。このため従来より、活性炭を用いて
有機溶剤ガスを吸着する、いわゆる活性炭吸着法による
有機溶剤ガスの回収が行われている。
【０００３】この活性炭吸着法は、例えば図３に示すよ
うに、製品生産工程等において発生した有機溶剤ガスを
含んだ処理すべき原ガス（被処理ガス）１０２を原ガス
送風ファン１２で増圧して吸着装置１４の活性炭（活性
炭層）１６ａ、１６ｂを有した２つの活性炭収納室１４
ａ、１４ｂの一方（この場合１４ａ）に供給して吸着さ
せる。この活性炭収納室１４ａで原ガス１０２中の有機
溶剤を活性炭１６ａに吸着させ、この吸着処理後の原ガ
スを大気中に放出する。
うに、製品生産工程等において発生した有機溶剤ガスを
含んだ処理すべき原ガス（被処理ガス）１０２を原ガス
送風ファン１２で増圧して吸着装置１４の活性炭（活性
炭層）１６ａ、１６ｂを有した２つの活性炭収納室１４
ａ、１４ｂの一方（この場合１４ａ）に供給して吸着さ
せる。この活性炭収納室１４ａで原ガス１０２中の有機
溶剤を活性炭１６ａに吸着させ、この吸着処理後の原ガ
スを大気中に放出する。
【０００４】上記２つの活性炭収納室１４ａ、１４ｂを
設けるのは、吸着装置１４において上記吸着工程を絶え
間なく交互に行えるようにするためである。すなわち、
活性炭収納室１４ａでの吸着工程の間に、もう一方の活
性炭収納室１４ｂの活性炭１６ｂに既に吸着された有機
溶剤を該活性炭１６ｂから除去するのであるが（以下、
本明細書中においては単に「脱離」という。）、このと
き活性炭１６ｂを直接あるいは間接的に加熱するととも
に、活性炭収納室１４ｂ内に蒸気・窒素ガス・空気など
の脱離用ガス（キャリアガス）１０４を導入し、該脱離
用ガス１０４によって活性炭１６ｂに付着している有機
溶剤を脱離するとともに吸着装置１４外に取り出す。そ
の後、取り出された脱離用ガス１０４は、配管１８を介
して送り出され、例えば冷却水１０６等を用いた凝縮冷
却器２０にて冷却して凝縮液化した後、配管２２（点線
にて示す）を介して貯液槽（デカンタ）２４に送り込ま
れて有機溶剤相と水相に分離され、送液ポンプ２６およ
び２８により廃液水１０８および回収有機溶剤１１０を
取り出す。なお、吸着装置１４の２つの活性炭収納室１
４ａと１４ｂとの使い分けは、配管系に設置された複数
の弁３０ａ、３０ｂ、３２ａ、３２ｂ、３４ａ、３４
ｂ、３６ａ、３６ｂの適宜操作により行われる。また、
図中における上記各弁の開状態は白ぬきにして示し、閉
状態の表示は黒塗りにして示してある。
設けるのは、吸着装置１４において上記吸着工程を絶え
間なく交互に行えるようにするためである。すなわち、
活性炭収納室１４ａでの吸着工程の間に、もう一方の活
性炭収納室１４ｂの活性炭１６ｂに既に吸着された有機
溶剤を該活性炭１６ｂから除去するのであるが（以下、
本明細書中においては単に「脱離」という。）、このと
き活性炭１６ｂを直接あるいは間接的に加熱するととも
に、活性炭収納室１４ｂ内に蒸気・窒素ガス・空気など
の脱離用ガス（キャリアガス）１０４を導入し、該脱離
用ガス１０４によって活性炭１６ｂに付着している有機
溶剤を脱離するとともに吸着装置１４外に取り出す。そ
の後、取り出された脱離用ガス１０４は、配管１８を介
して送り出され、例えば冷却水１０６等を用いた凝縮冷
却器２０にて冷却して凝縮液化した後、配管２２（点線
にて示す）を介して貯液槽（デカンタ）２４に送り込ま
れて有機溶剤相と水相に分離され、送液ポンプ２６およ
び２８により廃液水１０８および回収有機溶剤１１０を
取り出す。なお、吸着装置１４の２つの活性炭収納室１
４ａと１４ｂとの使い分けは、配管系に設置された複数
の弁３０ａ、３０ｂ、３２ａ、３２ｂ、３４ａ、３４
ｂ、３６ａ、３６ｂの適宜操作により行われる。また、
図中における上記各弁の開状態は白ぬきにして示し、閉
状態の表示は黒塗りにして示してある。
【０００５】上述したような回収の際、通常、脱離用ガ
ス１０４の凝縮液には、活性炭の触媒作用や有機溶剤独
自の性質により生成される有機酸、無機酸、過酸化物等
の不純物が含まれているため、回収溶剤の品質悪化等を
招いていた。
ス１０４の凝縮液には、活性炭の触媒作用や有機溶剤独
自の性質により生成される有機酸、無機酸、過酸化物等
の不純物が含まれているため、回収溶剤の品質悪化等を
招いていた。
【０００６】そこで従来技術では、配管３８（実線で示
す）を介して脱離用ガス１０４の凝縮液を撹拌機付タン
ク４０、アルカリ水タンク４２等で構成される中和・精
製装置４４に一旦送り込み、撹拌機付タンク４０内にお
いて、アルカリ水タンク４２で希釈した水酸化ナトリウ
ム水溶液を撹拌機付タンク４０のｐＨを測定しつつ適量
添加して、適宜攪拌することにより上記凝縮液の中和・
安定化処理を行ってから貯液槽２４に送り込んでいた。
そして、このようにして適宜処理され品質が向上した液
を、貯液槽２４にて水相と有機溶剤相とに分離して取り
出し、放流ならびに再使用を行うようにしていた。
す）を介して脱離用ガス１０４の凝縮液を撹拌機付タン
ク４０、アルカリ水タンク４２等で構成される中和・精
製装置４４に一旦送り込み、撹拌機付タンク４０内にお
いて、アルカリ水タンク４２で希釈した水酸化ナトリウ
ム水溶液を撹拌機付タンク４０のｐＨを測定しつつ適量
添加して、適宜攪拌することにより上記凝縮液の中和・
安定化処理を行ってから貯液槽２４に送り込んでいた。
そして、このようにして適宜処理され品質が向上した液
を、貯液槽２４にて水相と有機溶剤相とに分離して取り
出し、放流ならびに再使用を行うようにしていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の有機溶剤ガス回収方法においては、活性炭を備えた
吸着装置１４以外にも、中和・精製装置４４等の大掛か
りな付帯処理設備を必要とするため、その維持管理に多
大な費用が掛かってしまう、という問題があった。
来の有機溶剤ガス回収方法においては、活性炭を備えた
吸着装置１４以外にも、中和・精製装置４４等の大掛か
りな付帯処理設備を必要とするため、その維持管理に多
大な費用が掛かってしまう、という問題があった。
【０００８】また、有機溶剤によっては、水酸化ナトリ
ウム等のような強塩基物と加水分解する、いわゆるケン
化反応を生じて２次不純物を生成するため、この２次不
純物を処理するための設備がさらに必要となる、という
問題があった。
ウム等のような強塩基物と加水分解する、いわゆるケン
化反応を生じて２次不純物を生成するため、この２次不
純物を処理するための設備がさらに必要となる、という
問題があった。
【０００９】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、中和・精製装置等の大掛かりな付帯処理設備を必要
とせずに高品質の回収溶剤を得ることができ、有機溶剤
ガス回収に要する維持管理費の低減が図れ、しかも、回
収溶剤の中和処理による２次不純物も生成することのな
い有機溶剤ガス回収方法を提供することを目的とするも
のである。
で、中和・精製装置等の大掛かりな付帯処理設備を必要
とせずに高品質の回収溶剤を得ることができ、有機溶剤
ガス回収に要する維持管理費の低減が図れ、しかも、回
収溶剤の中和処理による２次不純物も生成することのな
い有機溶剤ガス回収方法を提供することを目的とするも
のである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係る有機溶剤ガ
ス回収方法は、吸着装置に有機溶剤ガスを含む被処理ガ
スを供給する際、該被処理ガスに弱塩基物を添加するこ
とにより、上記目的達成をはかるようにしたものであ
る。
ス回収方法は、吸着装置に有機溶剤ガスを含む被処理ガ
スを供給する際、該被処理ガスに弱塩基物を添加するこ
とにより、上記目的達成をはかるようにしたものであ
る。
【００１１】すなわち、活性炭を備えた吸着装置に有機
溶剤ガスを含む被処理ガスを供給して前記有機溶剤ガス
を前記活性炭に吸着させ、その後、前記吸着装置に脱離
用ガスを供給して前記活性炭に吸着された前記有機溶剤
を脱離させ、この脱離した有機溶剤を含有する前記脱離
用ガスを液化しさらに有機溶剤相と水相とに分離するこ
とにより、前記被処理ガス中の前記有機溶剤ガスを回収
する有機溶剤ガス回収方法において、前記吸着装置に前
記被処理ガスを供給する際、該被処理ガスに弱塩基物を
添加する、ことを特徴とするものである。
溶剤ガスを含む被処理ガスを供給して前記有機溶剤ガス
を前記活性炭に吸着させ、その後、前記吸着装置に脱離
用ガスを供給して前記活性炭に吸着された前記有機溶剤
を脱離させ、この脱離した有機溶剤を含有する前記脱離
用ガスを液化しさらに有機溶剤相と水相とに分離するこ
とにより、前記被処理ガス中の前記有機溶剤ガスを回収
する有機溶剤ガス回収方法において、前記吸着装置に前
記被処理ガスを供給する際、該被処理ガスに弱塩基物を
添加する、ことを特徴とするものである。
【００１２】上記「弱塩基物」は、無機物でも有機物で
もよく、また液体でも気体でもよく、例えば、アンモニ
アあるいはアンモニアガス、アミン系有機溶剤等が採用
可能である。
もよく、また液体でも気体でもよく、例えば、アンモニ
アあるいはアンモニアガス、アミン系有機溶剤等が採用
可能である。
【００１３】
【発明の作用および効果】上記構成に示すように、吸着
装置に有機溶剤ガスを含む被処理ガスを供給する際、該
被処理ガスに弱塩基物を添加するようになっているの
で、この弱塩基物が被処理ガス中の有機溶剤の安定剤と
して作用し、これにより、有機溶剤が脱離用ガス（脱離
用ガス）および活性炭の触媒作用により分解して有機
酸、無機酸、過酸化物等の不純物を生成するのを最小限
に抑えることができる。また、吸着装置に供給された脱
離用ガスに上記弱塩基物が同伴されるため該脱離用ガス
はアルカリ性となり、このアルカリ性脱離用ガスによ
り、活性炭からの有機溶剤の脱離を促進することができ
る。
装置に有機溶剤ガスを含む被処理ガスを供給する際、該
被処理ガスに弱塩基物を添加するようになっているの
で、この弱塩基物が被処理ガス中の有機溶剤の安定剤と
して作用し、これにより、有機溶剤が脱離用ガス（脱離
用ガス）および活性炭の触媒作用により分解して有機
酸、無機酸、過酸化物等の不純物を生成するのを最小限
に抑えることができる。また、吸着装置に供給された脱
離用ガスに上記弱塩基物が同伴されるため該脱離用ガス
はアルカリ性となり、このアルカリ性脱離用ガスによ
り、活性炭からの有機溶剤の脱離を促進することができ
る。
【００１４】また、上記有機溶剤ガスに添加されるのは
弱塩基物であることから、有機溶剤とのケン化反応によ
る２次不純物生成等の弊害が発生することがなく、ま
た、脱離用ガスの液化により得られる水相のｐＨ値も中
性に近いものとなるため、これをそのまま排水として放
流することができる。
弱塩基物であることから、有機溶剤とのケン化反応によ
る２次不純物生成等の弊害が発生することがなく、ま
た、脱離用ガスの液化により得られる水相のｐＨ値も中
性に近いものとなるため、これをそのまま排水として放
流することができる。
【００１５】したがって、本発明によれば、中和・精製
装置等の大掛かりな付帯処理設備を必要とせずに高品質
の回収溶剤を得ることができ、有機溶剤ガス回収に要す
る維持管理費の低減が図ることができ、しかも、回収溶
剤の中和処理による２次不純物も生成することのなく有
機溶剤ガスの回収を行うことができる。
装置等の大掛かりな付帯処理設備を必要とせずに高品質
の回収溶剤を得ることができ、有機溶剤ガス回収に要す
る維持管理費の低減が図ることができ、しかも、回収溶
剤の中和処理による２次不純物も生成することのなく有
機溶剤ガスの回収を行うことができる。
【００１６】
【実施例】以下、添付図面を参照しながら本発明の実施
例について説明する。
例について説明する。
【００１７】図１は、本発明に係る有機溶剤ガス回収方
法の一実施例に使用される有機溶剤ガス回収装置の概略
図である。
法の一実施例に使用される有機溶剤ガス回収装置の概略
図である。
【００１８】図１に示すように、本実施例に係る有機溶
剤ガス回収装置は、図３に示す従来の有機溶剤ガス回収
装置に対し、中和・精製装置４４が存在しない点、およ
び以下の構成が追加されている点で異なるが、その他の
構成は同様である。
剤ガス回収装置は、図３に示す従来の有機溶剤ガス回収
装置に対し、中和・精製装置４４が存在しない点、およ
び以下の構成が追加されている点で異なるが、その他の
構成は同様である。
【００１９】本実施例に係る有機溶剤ガス回収装置にお
いては、有機溶剤ガス発生源より原ガス１０２（被処理
ガス）を原ガス送風ファン１２に送る配管５２に、配管
５４が接続されている。そして、この配管５４には、ア
ミン系有機溶剤タンク５６とポンプ５８と弁６０とが設
けられている。そして、アミン系有機溶剤タンク５６に
貯蔵されたアミン系有機溶剤（液体）を、ポンプ５８に
より弁６０を介して配管５２へ送り出し、これにより、
アミン系有機溶剤を原ガス１０２中の有機溶剤ガスとと
もに原ガス送風ファン１２を介して吸着装置１４に供給
するようになっている。
いては、有機溶剤ガス発生源より原ガス１０２（被処理
ガス）を原ガス送風ファン１２に送る配管５２に、配管
５４が接続されている。そして、この配管５４には、ア
ミン系有機溶剤タンク５６とポンプ５８と弁６０とが設
けられている。そして、アミン系有機溶剤タンク５６に
貯蔵されたアミン系有機溶剤（液体）を、ポンプ５８に
より弁６０を介して配管５２へ送り出し、これにより、
アミン系有機溶剤を原ガス１０２中の有機溶剤ガスとと
もに原ガス送風ファン１２を介して吸着装置１４に供給
するようになっている。
【００２０】吸着装置１４の活性炭収納室１４ａ（吸着
工程側の活性炭収納室）に供給された原ガス１０２は、
これに含有されている有機溶剤（アミン系有機溶剤を含
む）が該活性炭収納室１４ａにおいて活性炭１６ａに吸
着された後、大気中に放出される。
工程側の活性炭収納室）に供給された原ガス１０２は、
これに含有されている有機溶剤（アミン系有機溶剤を含
む）が該活性炭収納室１４ａにおいて活性炭１６ａに吸
着された後、大気中に放出される。
【００２１】吸着装置１４のもう一方の活性炭収納室１
４ｂ（脱離工程側の活性炭収納室）には、脱離用ガスと
して蒸気が供給される。この蒸気の温度および水分なら
びに活性炭１６ｂの活性炭の触媒作用により有機溶剤が
分解して有機酸、無機酸、過酸化物等の不純物を生成し
ようとするが、本実施例においては、弱塩基性のアミン
系有機溶剤が有機溶剤の安定剤として作用し、これによ
り、上記不純物の生成が最小限に抑えられる。また、活
性炭収納室１４ｂに供給された蒸気にアミン系有機溶剤
が同伴されるため該脱離用ガスはアルカリ性となり、こ
のアルカリ性脱離用ガスにより、活性炭１６ｂからの有
機溶剤の脱離が促進される。
４ｂ（脱離工程側の活性炭収納室）には、脱離用ガスと
して蒸気が供給される。この蒸気の温度および水分なら
びに活性炭１６ｂの活性炭の触媒作用により有機溶剤が
分解して有機酸、無機酸、過酸化物等の不純物を生成し
ようとするが、本実施例においては、弱塩基性のアミン
系有機溶剤が有機溶剤の安定剤として作用し、これによ
り、上記不純物の生成が最小限に抑えられる。また、活
性炭収納室１４ｂに供給された蒸気にアミン系有機溶剤
が同伴されるため該脱離用ガスはアルカリ性となり、こ
のアルカリ性脱離用ガスにより、活性炭１６ｂからの有
機溶剤の脱離が促進される。
【００２２】こうして得られた蒸気と有機溶剤とからな
る混合ガスは、配管１８を介して送り出され、凝縮冷却
器２０にて冷却されて凝縮液化した後、配管２２を介し
て貯液槽（デカンタ）２４に送り込まれて有機溶剤相と
水相に分離され、送液ポンプ２６および２８により廃液
水１０８および回収有機溶剤１１０が取り出される。回
収有機溶剤１１０は再利用される。
る混合ガスは、配管１８を介して送り出され、凝縮冷却
器２０にて冷却されて凝縮液化した後、配管２２を介し
て貯液槽（デカンタ）２４に送り込まれて有機溶剤相と
水相に分離され、送液ポンプ２６および２８により廃液
水１０８および回収有機溶剤１１０が取り出される。回
収有機溶剤１１０は再利用される。
【００２３】上記有機溶剤ガスに添加されるアミン系有
機溶剤は弱塩基物であることから、有機溶剤とのケン化
反応による２次不純物生成等の弊害が発生することがな
く、また、脱離用ガスの液化により得られる水相のｐＨ
値も中性に近いものとなるため、これをそのまま排水と
して放流することができる。
機溶剤は弱塩基物であることから、有機溶剤とのケン化
反応による２次不純物生成等の弊害が発生することがな
く、また、脱離用ガスの液化により得られる水相のｐＨ
値も中性に近いものとなるため、これをそのまま排水と
して放流することができる。
【００２４】以上詳述したように、本実施例によれば、
中和・精製装置等の大掛かりな付帯処理設備を必要とせ
ずに高品質の回収溶剤を得ることができ、有機溶剤ガス
回収に要する維持管理費の低減が図ることができ、しか
も、回収溶剤の中和処理による２次不純物も生成するこ
とのなく有機溶剤ガスの回収を行うことができる。
中和・精製装置等の大掛かりな付帯処理設備を必要とせ
ずに高品質の回収溶剤を得ることができ、有機溶剤ガス
回収に要する維持管理費の低減が図ることができ、しか
も、回収溶剤の中和処理による２次不純物も生成するこ
とのなく有機溶剤ガスの回収を行うことができる。
【００２５】上記実施例においては、有機溶剤ガスに添
加される弱塩基物としてアミン系有機溶剤を用いたが、
このアミン系有機溶剤に代えてアンモニアを用いても、
アンモニアは弱塩基物であることから、上記実施例と同
様の作用効果を得ることができる。その際、液体のアン
モニアを用いる場合には、上記アミン系有機溶剤タンク
５６に代えてアンモニア（液体）を貯蔵するアンモニア
タンクを用いるようにすればよく、また、アンモニアガ
スを用いる場合には、図２に示すように、アンモニアガ
スが封入されたアンモニアガスボンベ６２を用いるよう
にすればよい。なお、このアンモニアガスボンベ６２を
用いる場合には、上記実施例におけるポンプ５８は不要
となる。
加される弱塩基物としてアミン系有機溶剤を用いたが、
このアミン系有機溶剤に代えてアンモニアを用いても、
アンモニアは弱塩基物であることから、上記実施例と同
様の作用効果を得ることができる。その際、液体のアン
モニアを用いる場合には、上記アミン系有機溶剤タンク
５６に代えてアンモニア（液体）を貯蔵するアンモニア
タンクを用いるようにすればよく、また、アンモニアガ
スを用いる場合には、図２に示すように、アンモニアガ
スが封入されたアンモニアガスボンベ６２を用いるよう
にすればよい。なお、このアンモニアガスボンベ６２を
用いる場合には、上記実施例におけるポンプ５８は不要
となる。
【００２６】また上記実施例においては、吸着装置１４
として固定層活性炭吸着装置を用いたが、移動層活性炭
吸着装置、流動層活性炭吸着装置、活性炭素系フィルタ
状吸着装置を用いるようにしてもよく、このようにした
場合にも上記実施例と同様の作用効果を得ることができ
る。
として固定層活性炭吸着装置を用いたが、移動層活性炭
吸着装置、流動層活性炭吸着装置、活性炭素系フィルタ
状吸着装置を用いるようにしてもよく、このようにした
場合にも上記実施例と同様の作用効果を得ることができ
る。
【００２７】次に、本発明の作用効果を確認するために
行った２つの有機溶剤ガス回収実験の内容について説明
する。これらの実験は、上記実施例等と従来例とについ
ての比較実験である。
行った２つの有機溶剤ガス回収実験の内容について説明
する。これらの実験は、上記実施例等と従来例とについ
ての比較実験である。
【００２８】実験条件および実験結果は以下に示す通り
であるが、各実験結果を示す表において、「従来技術−
１」は、図３において、中和・精製装置４４を用いずに
脱離用ガス１０４の凝縮液を配管２２を介して貯液槽２
４に直接送るタイプの有機溶剤ガス回収装置を用いたも
のであり、「従来技術−２」は、図３において、脱離用
ガス１０４の凝縮液を中和・精製装置４４を介して貯液
槽２４に送るタイプの有機溶剤ガス回収装置を用いたも
のであり、「新規技術ー１」は、図１に示す有機溶剤ガ
ス回収装置（アミン系有機溶剤使用）を用いたものであ
り、「新規技術ー２」は、図１に示す有機溶剤ガス回収
装置（アンモニア使用）を用いたものであり、「新規技
術ー３」は、図２に示す有機溶剤ガス回収装置（アンモ
ニアガス使用）を用いたものである。
であるが、各実験結果を示す表において、「従来技術−
１」は、図３において、中和・精製装置４４を用いずに
脱離用ガス１０４の凝縮液を配管２２を介して貯液槽２
４に直接送るタイプの有機溶剤ガス回収装置を用いたも
のであり、「従来技術−２」は、図３において、脱離用
ガス１０４の凝縮液を中和・精製装置４４を介して貯液
槽２４に送るタイプの有機溶剤ガス回収装置を用いたも
のであり、「新規技術ー１」は、図１に示す有機溶剤ガ
ス回収装置（アミン系有機溶剤使用）を用いたものであ
り、「新規技術ー２」は、図１に示す有機溶剤ガス回収
装置（アンモニア使用）を用いたものであり、「新規技
術ー３」は、図２に示す有機溶剤ガス回収装置（アンモ
ニアガス使用）を用いたものである。
【００２９】(1) 実験例−１ ＜原ガスおよび吸着条件＞ −１．原ガス量 １００Ｎｍ3 ／ｍｉｎ −２．有機溶剤ガス名 酢酸ブチル −３．有機溶剤ガス濃度 １，５００ｐｐｍ（ｖｏ
ｌ．） −４．原ガス温度 ３０℃ −５．吸着時間 ６０分 −６．アミン系有機溶剤 エチレンジアミン ＜脱離条件＞ −１．脱離蒸気量 ２３０Ｋｇ／Ｈｒ −２．脱離時間 ６０分
ｌ．） −４．原ガス温度 ３０℃ −５．吸着時間 ６０分 −６．アミン系有機溶剤 エチレンジアミン ＜脱離条件＞ −１．脱離蒸気量 ２３０Ｋｇ／Ｈｒ −２．脱離時間 ６０分
【００３０】
【表１】
【００３１】《注記》 1) 回収溶剤品質“酸価値”は、“ＪＩＳ Ｋ１５１
１”における酸価測定法による。
１”における酸価測定法による。
【００３２】2) “従来技術−２”では、“１％ＮａＯ
Ｈ”添加により“ブチル・アルコール：１５ｐｐｍ”検
出した。これは酢酸ブチルに強塩基物を添加したため、
いわゆる“ケン化反応”が生じ、不純物が生成した。こ
の不純物は、回収溶剤を繰り返し使用することにより、
回収溶剤に徐々に蓄積し高濃度となるため、精製処理
（蒸留分離）による分離除去が必要である。
Ｈ”添加により“ブチル・アルコール：１５ｐｐｍ”検
出した。これは酢酸ブチルに強塩基物を添加したため、
いわゆる“ケン化反応”が生じ、不純物が生成した。こ
の不純物は、回収溶剤を繰り返し使用することにより、
回収溶剤に徐々に蓄積し高濃度となるため、精製処理
（蒸留分離）による分離除去が必要である。
【００３３】(2) 実験例−２ ＜原ガスおよび吸着条件＞ −１．原ガス量 １５０Ｎｍ3 ／ｍｉｎ −２．有機溶剤ガス名 ＭＥＫ（メチルエチルケト
ン） −３．有機溶剤ガス濃度 １，２００ｐｐｍ（ｖｏ
ｌ．） −４．原ガス温度 ３０℃ −５．吸着時間 ６０分 −６．アミン系有機溶剤 トリエチルアミン ＜脱離条件＞ −１．脱離蒸気量 ３２０Ｋｇ／Ｈｒ −２．脱離時間 ６０分
ン） −３．有機溶剤ガス濃度 １，２００ｐｐｍ（ｖｏ
ｌ．） −４．原ガス温度 ３０℃ −５．吸着時間 ６０分 −６．アミン系有機溶剤 トリエチルアミン ＜脱離条件＞ −１．脱離蒸気量 ３２０Ｋｇ／Ｈｒ −２．脱離時間 ６０分
【００３４】
【表２】
【００３５】《注記》 1) 回収溶剤品質“酸価値”は、“ＪＩＳ Ｋ１５１
１”における酸価測定法による。
１”における酸価測定法による。
【図１】本発明に係る有機溶剤ガス回収方法の一実施例
に使用される有機溶剤ガス回収装置の概略図
に使用される有機溶剤ガス回収装置の概略図
【図２】上記実施例の変形例を示す図
【図３】従来例を示す、図１と同様の図
１２ 原ガス送風ファン １４ 吸着装置 １４ａ、１４ｂ 活性炭収納室 １６ａ、１６ｂ 活性炭 ２０ 凝縮冷却器 ２４ 貯液槽 ２６ 送液ポンプ １０２ 原ガス（被処理ガス） １０４ 脱離用ガス １０６ 冷却水 １０８ 廃液水 １１０ 回収有機溶剤 ５２，５４ 配管 ５６ アミン系有機溶剤タンク ５８ ポンプ ６０ 弁 ６２ アンモニアガスボンベ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０１Ｄ 53/34 ＺＡＢ
Claims (1)
- 【請求項１】 活性炭を備えた吸着装置に有機溶剤ガス
を含む被処理ガスを供給して前記有機溶剤ガスを前記活
性炭に吸着させ、その後、前記吸着装置に脱離用ガスを
供給して前記活性炭に吸着された前記有機溶剤を脱離さ
せ、この脱離した有機溶剤を含有する前記脱離用ガスを
液化しさらに有機溶剤相と水相とに分離することによ
り、前記被処理ガス中の前記有機溶剤ガスを回収する有
機溶剤ガス回収方法において、 前記吸着装置に前記被処理ガスを供給する際、該被処理
ガスに弱塩基物を添加する、ことを特徴とする有機溶剤
ガス回収方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5173157A JPH0724249A (ja) | 1993-07-13 | 1993-07-13 | 有機溶剤ガス回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5173157A JPH0724249A (ja) | 1993-07-13 | 1993-07-13 | 有機溶剤ガス回収方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0724249A true JPH0724249A (ja) | 1995-01-27 |
Family
ID=15955161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5173157A Withdrawn JPH0724249A (ja) | 1993-07-13 | 1993-07-13 | 有機溶剤ガス回収方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0724249A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010016046A (ja) * | 2008-07-01 | 2010-01-21 | Yasuhara Chemical Co Ltd | ポリシラザン溶解用処理液、およびこれを用いた半導体装置の製造方法 |
-
1993
- 1993-07-13 JP JP5173157A patent/JPH0724249A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010016046A (ja) * | 2008-07-01 | 2010-01-21 | Yasuhara Chemical Co Ltd | ポリシラザン溶解用処理液、およびこれを用いた半導体装置の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001003 |