JPH07248043A - Anti-vibration device - Google Patents
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- JPH07248043A JPH07248043A JP6040253A JP4025394A JPH07248043A JP H07248043 A JPH07248043 A JP H07248043A JP 6040253 A JP6040253 A JP 6040253A JP 4025394 A JP4025394 A JP 4025394A JP H07248043 A JPH07248043 A JP H07248043A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 台座の質量と弾性体の弾性係数との共振周波
数付近においても優れた防振効果を得る。
【構成】 本体１の足となる脚座８と、この脚座８に固
定されたマグネット６と、脚座８に固定されマグネット
６とともに本体１と脚座８の間に磁路を構成するヨーク
５，７と、本体１にボビン２を用いて固定され磁路と鎖
交するコイル４と、本体１と脚座８の力学的平衡を保つ
ためのスプリング３とからなるインシュレータ部２０を
備えてあり、さらに、本体１に固定され本体１の振動を
検出する加速度センサ２１と、この加速度センサ２１の
検出値を基にして本体１の振動を抑えるようにコイル４
に電流を流す制御回路部４２とを設けている。
(57) [Summary] [Purpose] An excellent vibration damping effect is obtained even in the vicinity of the resonance frequency between the mass of the pedestal and the elastic coefficient of the elastic body. [Structure] A leg seat 8 serving as a foot of the main body 1, a magnet 6 fixed to the leg seat 8, and a yoke that is fixed to the leg seat 8 and forms a magnetic path between the main body 1 and the leg seat 8 together with the magnet 6. Insulator parts 20 composed of 5 and 7, a coil 4 fixed to the main body 1 using a bobbin 2 and interlinking with a magnetic path, and a spring 3 for maintaining the mechanical balance between the main body 1 and the leg seat 8. Further, the acceleration sensor 21 fixed to the main body 1 for detecting the vibration of the main body 1, and the coil 4 for suppressing the vibration of the main body 1 based on the detection value of the acceleration sensor 21.
And a control circuit section 42 for passing a current therethrough.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、精密機器等の装置と
それの置かれている床等との間の振動の伝達を小さくす
る働きをする防振装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an anti-vibration device that serves to reduce the transmission of vibrations between a device such as precision equipment and the floor on which it is placed.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、精密機器などにおいて、振動の伝
達を小さくする働きをする防振装置は重要な役割を担っ
ている。以下図面を参照しながら、上述した従来の防振
装置の一例について説明する。図８は従来の防振装置の
断面図を示すものである。図８において、本体１には、
ボビン２を用いてコイル４が固定されている。脚座８に
は、マグネット６と磁路を形成する２つのヨーク５、７
が固定されている。コイル４は磁路の空隙内を動き、脚
座８は本体１にスプリング３によって保持されている。
コイル４の両端は電気回路網９によって終端されてい
る。2. Description of the Related Art In recent years, in precision equipment and the like, an anti-vibration device which works to reduce the transmission of vibration plays an important role. Hereinafter, an example of the above-described conventional vibration damping device will be described with reference to the drawings. FIG. 8 shows a sectional view of a conventional vibration damping device. In FIG. 8, the main body 1 has
The coil 4 is fixed using the bobbin 2. The leg seat 8 has two yokes 5 and 7 that form a magnetic path with the magnet 6.
Is fixed. The coil 4 moves in the gap of the magnetic path, and the leg seat 8 is held by the main body 1 by the spring 3.
Both ends of the coil 4 are terminated by an electric network 9.
【０００３】図９は、図８の電気回路網９の内部を示す
回路図である。図９において、１４，１８はコイル４と
の接続端、１５，１６は抵抗、１７はコンデンサであ
る。いま、脚座８の振動の速度（以下「振動レベル」と
いう）をｖ１とし、本体１の振動レベルをｖ２とする
時、コイル４の起電力Ｖｅは数１で表される。FIG. 9 is a circuit diagram showing the inside of the electric network 9 of FIG. In FIG. 9, 14 and 18 are connection ends with the coil 4, 15 and 16 are resistors, and 17 is a capacitor. Now, when the speed of vibration of the leg seat 8 (hereinafter referred to as “vibration level”) is v1 and the vibration level of the main body 1 is v2, the electromotive force Ve of the coil 4 is expressed by the equation 1.
【０００４】[0004]
【数１】 [Equation 1]
【０００５】ここに、ｋ1 はマグネット６の強さやコイ
ル４の巻数等によって決まる定数である。このとき、コ
イル４は電気回路網９によって終端されているため、数
２で表される電流Ｉｃが流れる。Here, k 1 is a constant determined by the strength of the magnet 6 and the number of turns of the coil 4. At this time, since the coil 4 is terminated by the electric network 9, the current Ic expressed by the equation 2 flows.
【０００６】[0006]
【数２】 [Equation 2]
【０００７】ここに、Ｚ１は電気回路網９のインピーダ
ンスであり、Ｚ２はコイル４自身のインピーダンスであ
る。電流Ｉｃによってコイル４は磁場から数３で表され
る力Ｆを受ける。Here, Z1 is the impedance of the electric network 9, and Z2 is the impedance of the coil 4 itself. Due to the current Ic, the coil 4 receives the force F expressed by the equation 3 from the magnetic field.
【０００８】[0008]
【数３】 [Equation 3]
【０００９】ここに、ｋ2 はｋ1 と同様の要素によって
決まる定数である。数１〜数３より、コイル４の受ける
力Ｆは数４で表される。Here, k 2 is a constant determined by the same elements as k 1 . From Equations 1 to 3, the force F received by the coil 4 is represented by Equation 4.
【００１０】[0010]
【数４】 [Equation 4]
【００１１】本体１の質量をｍ，スプリング３の定数を
ｋ3 とすると、脚座８を固定した場合の運動方程式は、
数５で与えられる。When the mass of the main body 1 is m and the constant of the spring 3 is k 3 , the equation of motion when the leg seat 8 is fixed is
It is given by the number 5.
【００１２】[0012]
【数５】 [Equation 5]
【００１３】数５はＺ２の設定によって幅広い減衰特性
が得られることを示している。この従来例の事例は、特
願昭５７−１１４００４号あるいは実願昭４８−４９８
９５号（実開昭４９−１４９７０２号公報）に、詳しく
記載されている。Equation 5 shows that a wide attenuation characteristic can be obtained by setting Z2. Examples of this conventional example are Japanese Patent Application No. 57-114004 or Japanese Patent Application No. 48-498.
No. 95 (Japanese Utility Model Publication No. 49-149702).
【００１４】[0014]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな従来の防振装置では、防振効果としては不十分であ
った。これを以下に説明する。図１０は、従来の防振装
置の振動の伝達特性を示している。横軸は振動の周波数
（ｆ）で、縦軸は脚座８の振動レベルｖ１に対する本体
１の振動レベルｖ２の比すなわち伝達度ｖ２／ｖ１を表
している。However, the conventional antivibration device as described above is insufficient in terms of antivibration effect. This will be explained below. FIG. 10 shows a vibration transmission characteristic of a conventional vibration isolation device. The horizontal axis represents the vibration frequency (f), and the vertical axis represents the ratio of the vibration level v2 of the main body 1 to the vibration level v1 of the leg seat 8, that is, the transmissivity v2 / v1.
【００１５】１９は図８で電気回路網９の終端を閉じて
いない場合の伝達特性で、スプリング３のばね定数成分
と、本体１の質量ｍとによる共振系を示す。すなわち、
図１０においてｆ0 は共振周波数で、また、Ｑは共振鋭
度である。また、減衰部は、理論的には図に示すように
１２ｄＢ／ｏｃｔの遮断特性を持ち、実際の現象はこの
１２ｄＢ／ｏｃｔの遮断特性に近づくような特性にな
る。Reference numeral 19 in FIG. 8 is a transmission characteristic when the end of the electric circuit network 9 is not closed, and shows a resonance system by the spring constant component of the spring 3 and the mass m of the main body 1. That is,
In FIG. 10, f 0 is the resonance frequency, and Q is the resonance sharpness. Further, the attenuator theoretically has a cutoff characteristic of 12 dB / oct as shown in the figure, and the actual phenomenon becomes a characteristic close to the cutoff characteristic of 12 dB / oct.
【００１６】ところが、電気回路網９の終端を閉じる
と、図１０の１９’の伝達特性を示す。前記の伝達特性
１９と比較すると共振周波数ｆ0 は変化しないが、共振
鋭度の大きさがＱからＱ’へ小さくなり、また、減衰部
は同図のように１２ｄＢ／ｏｃｔよりゆるやかな遮断特
性をもつようになる。ここで問題となるのは、共振周波
数ｆ0 付近の伝達特性が１以上あることで、すなわち、
脚座８の振動レベルｖ１より本体１の振動レベルｖ２の
ほうが大きいことで、このことは防振効果がないことを
示している。また、共振周波数ｆ0 よりも高域の遮断特
性も、電気回路網９を閉じることで閉じない時よりわる
くなっている。このように、共振周波数ｆ0 付近では、
振動の伝達特性を１よりも小さくすることはできなく、
防振効果がない。However, when the end of the electric network 9 is closed, the transfer characteristic of 19 'in FIG. 10 is exhibited. Although the resonance frequency f 0 does not change as compared with the transfer characteristic 19, the magnitude of the resonance sharpness decreases from Q to Q ′, and the attenuator has a cutoff characteristic gentler than 12 dB / oct as shown in FIG. To have. The problem here is that the transfer characteristic near the resonance frequency f 0 is 1 or more, that is,
Since the vibration level v2 of the main body 1 is higher than the vibration level v1 of the leg seat 8, this indicates that there is no vibration damping effect. In addition, the cutoff characteristic in the higher frequency range than the resonance frequency f 0 is also worsened when the electric network 9 is closed than when it is not closed. Thus, near the resonance frequency f 0 ,
The transmission characteristic of vibration cannot be made smaller than 1,
There is no anti-vibration effect.
【００１７】この発明の目的は、上記従来の問題点に鑑
み、台座（本体１）の質量と弾性体の弾性係数（スプリ
ング３のばね定数）との共振周波数付近においても優れ
た防振効果の得られる防振装置を提供することである。In view of the above conventional problems, an object of the present invention is to provide an excellent vibration damping effect even in the vicinity of the resonance frequency between the mass of the pedestal (main body 1) and the elastic coefficient of the elastic body (spring constant of the spring 3). An object of the present invention is to provide an obtained vibration damping device.
【００１８】[0018]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の防振装置
は、台座の足となる脚座と、この脚座に固定されたマグ
ネットと、脚座に固定されマグネットとともに台座と脚
座の間に磁路を構成するヨークと、台座に固定され磁路
と鎖交するコイルと、台座と脚座の力学的平衡を保つた
めの弾性体とからなるインシュレータ部を設け、台座に
固定され台座の振動を検出する振動センサを設け、この
振動センサの検出値を基にして台座の振動を抑えるよう
にインシュレータ部のコイルに電流を流す制御回路部を
設けている。According to a first aspect of the present invention, there is provided a vibration isolator according to claim 1, wherein a leg seat serving as a foot of the base, a magnet fixed to the leg seat, and a magnet fixed to the leg seat together with the base. An insulator part consisting of a yoke forming a magnetic path, a coil fixed to the pedestal and interlinking with the magnetic path, and an elastic body for maintaining mechanical balance between the pedestal and the leg base is provided between the yoke and the pedestal. A vibration sensor for detecting the vibration is provided, and a control circuit section for supplying a current to the coil of the insulator section is provided so as to suppress the vibration of the pedestal based on the detection value of the vibration sensor.
【００１９】請求項２記載の防振装置は、台座の足とな
る脚座と、この脚座に固定されたマグネットと、脚座に
固定されマグネットとともに台座と脚座の間に磁路を構
成するヨークと、台座に固定され磁路と鎖交するコイル
と、台座と脚座の力学的平衡を保つための弾性体とから
なるインシュレータ部を複数設け、台座に固定され台座
の振動を検出する振動センサを１つ設け、この振動セン
サの検出値を基にして台座の振動を抑えるように複数の
インシュレータ部のそれぞれのコイルに電流を流す制御
回路部を設けている。According to a second aspect of the present invention, in the vibration isolator, a leg seat serving as a foot of the base, a magnet fixed to the leg seat, and a magnet fixed to the leg seat together with the magnet form a magnetic path between the base and the leg seat. A plurality of insulators, each consisting of a yoke, a coil fixed to the pedestal and interlinking with the magnetic path, and an elastic body for maintaining mechanical balance between the pedestal and the leg, are provided, and vibration of the pedestal fixed to the pedestal is detected. A single vibration sensor is provided, and a control circuit section is provided for supplying a current to each coil of the plurality of insulator sections so as to suppress the vibration of the pedestal based on the detection value of the vibration sensor.
【００２０】請求項３記載の防振装置は、台座の足とな
る脚座と、この脚座に固定されたマグネットと、脚座に
固定されマグネットとともに台座と脚座の間に磁路を構
成するヨークと、台座に固定され磁路と鎖交するコイル
と、台座と脚座の力学的平衡を保つための弾性体とから
なるインシュレータ部を複数設け、台座に固定され台座
の振動を検出する振動センサを複数設け、この複数の振
動センサの検出値の平均値または実効値を基にして台座
の振動を抑えるように複数のインシュレータ部のそれぞ
れのコイルに電流を流す制御回路部を設けている。According to a third aspect of the present invention, in the vibration isolator, a leg seat serving as a foot of the base, a magnet fixed to the leg seat, and a magnet fixed to the leg seat together with the magnet form a magnetic path between the base and the leg seat. A plurality of insulators, each consisting of a yoke, a coil fixed to the pedestal and interlinking with the magnetic path, and an elastic body for maintaining mechanical balance between the pedestal and the leg, are provided, and vibration of the pedestal fixed to the pedestal is detected. A plurality of vibration sensors are provided, and a control circuit section is provided for supplying a current to each coil of the plurality of insulator sections so as to suppress the vibration of the pedestal based on the average value or the effective value of the detection values of the plurality of vibration sensors. .
【００２１】[0021]
【作用】請求項１記載の構成によれば、振動センサで台
座の振動を検出し、この振動センサの検出値を基にして
制御回路部がコイルに電流を流すようにしたことによ
り、台座の質量と弾性体の弾性係数との共振周波数付近
においても、台座の振動を抑えることができる。According to the structure of the first aspect, the vibration sensor detects the vibration of the pedestal, and the control circuit section causes a current to flow through the coil based on the detection value of the vibration sensor. Vibration of the pedestal can be suppressed even near the resonance frequency between the mass and the elastic coefficient of the elastic body.
【００２２】請求項２記載の構成によれば、複数のイン
シュレータ部と１つの振動センサを設けるとともに、制
御回路部が振動センサの検出値を基にして複数のインシ
ュレータ部のそれぞれのコイルに電流を流すようにした
ことにより、台座が大きくて１個のインシュレータ部で
は構成が困難な場合にでも適用でき、台座の質量と弾性
体の弾性係数との共振周波数付近においても、台座の振
動を抑えることができる。According to the second aspect of the present invention, the plurality of insulator sections and one vibration sensor are provided, and the control circuit section supplies a current to each coil of the plurality of insulator sections based on the detection value of the vibration sensor. By making it flow, it can be applied even when the pedestal is large and it is difficult to configure with one insulator part, and suppresses the vibration of the pedestal even near the resonance frequency between the mass of the pedestal and the elastic coefficient of the elastic body. You can
【００２３】請求項３記載の構成によれば、インシュレ
ータ部および振動センサを複数設けるとともに、制御回
路部が複数の振動センサの検出値の平均値または実効値
を基にして複数のインシュレータ部のそれぞれのコイル
に電流を流すようにしたことにより、台座が大きくて１
個のインシュレータ部では構成が困難な場合でも適用で
き、台座の質量と弾性体の弾性係数との共振周波数付近
においても、台座の振動をより抑えることができる。According to the structure of claim 3, a plurality of insulator parts and a plurality of vibration sensors are provided, and the control circuit part each of the plurality of insulator parts is based on an average value or an effective value of detection values of the plurality of vibration sensors. Because the electric current is sent to the coil of the
The insulator unit can be applied even when the configuration is difficult, and vibration of the pedestal can be further suppressed even in the vicinity of the resonance frequency between the mass of the pedestal and the elastic coefficient of the elastic body.
【００２４】[0024]
【実施例】以下この発明の実施例について、図１〜図７
を参照しながら詳細に説明する。図１はこの発明の第１
の実施例における防振装置の断面図である。図１におい
て、従来例で説明した図８と同一構成要素については、
同一の符号を付し説明を省略する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.
Will be described in detail with reference to. FIG. 1 shows the first of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the vibration control device in the example of FIG. In FIG. 1, the same components as those of FIG.
The same reference numerals are given and the description is omitted.
【００２５】２０はインシュレータ部であり、従来例と
同様、ボビン２、スプリング３、コイル４、ヨーク５と
７、マグネット６、および脚座８から構成されている。
本体（台座）１には、加速度センサ２１が固定されてお
り、本体１の振動レベルを検知することができる。この
加速度センサ２１は、一般にウェイト（おもり）と圧電
素子からなり、出力は電荷（クーロン）である。Reference numeral 20 denotes an insulator portion, which is composed of a bobbin 2, a spring 3, a coil 4, yokes 5 and 7, a magnet 6 and a leg seat 8 as in the conventional example.
An acceleration sensor 21 is fixed to the main body (pedestal) 1, and the vibration level of the main body 1 can be detected. The acceleration sensor 21 generally comprises a weight and a piezoelectric element, and its output is electric charge (coulomb).
【００２６】加速度センサ２１の出力端子をＡとし、ま
た、コイル４の接続端子をＢとする。これら端子Ａ，Ｂ
は、図２に示すような制御回路部４２と接続されてい
る。図２では、加速度センサ２１の出力端子Ａはチャー
ジアンプ２２に接続されている。そして、チャージアン
プ２２の出力は、積分回路２３、フィルタ２４、ドライ
バ２５と順次通って、コイル４の接続端子Ｂに接続され
ている。The output terminal of the acceleration sensor 21 is A, and the connection terminal of the coil 4 is B. These terminals A and B
Is connected to the control circuit section 42 as shown in FIG. In FIG. 2, the output terminal A of the acceleration sensor 21 is connected to the charge amplifier 22. The output of the charge amplifier 22 passes through the integration circuit 23, the filter 24, and the driver 25 in order, and is connected to the connection terminal B of the coil 4.
【００２７】以上のように構成される防振装置につい
て、以下その動作を説明する。まず、図２の制御回路部
４２を接続していないとき、つまりインシュレータ部２
０のみの振動の伝達特性（ｖ２／ｖ１）は従来例でも説
明したように、図３の１９の特性になる。これは従来例
の図１０の１９と同じである。つぎに図２の制御回路部
４２を接続した場合は、つぎのような信号のながれが発
生する。The operation of the vibration isolator constructed as above will be described below. First, when the control circuit unit 42 of FIG. 2 is not connected, that is, the insulator unit 2
The transmission characteristic (v2 / v1) of only 0 is the characteristic 19 in FIG. 3, as described in the conventional example. This is the same as 19 in FIG. 10 of the conventional example. Next, when the control circuit section 42 of FIG. 2 is connected, the following signal flow occurs.
【００２８】脚座８が振動レベルｖ１で動いたとする
と、この振動は脚座８からヨーク７、マグネット６、ヨ
ーク５、スプリング３を伝わって本体１に伝わる。この
ときの本体１の振動レベルをｖ２とすると、この振動レ
ベルｖ２は、加速度センサ２１で検出される。この振動
レベルｖ２により加速度センサ２１からは信号が出力さ
れる。前述のように加速度センサ２１の出力は電荷であ
るから、電圧に変換するため、チャージアンプ２２に入
力する。チャージアンプ２２の出力は加速度成分なので
速度成分に変換するため、積分回路２３に信号を入力す
る。積分回路２３を通った信号は、発振防止用のフィル
タ２４を通り、さらにドライバ２５に入力される。ドラ
イバ２５はコイル４を駆動するための増幅回路で、ドラ
イバ２５の出力はコイル４の接続端子Ｂに接続される。When the leg seat 8 moves at the vibration level v1, this vibration is transmitted from the leg seat 8 to the main body 1 through the yoke 7, the magnet 6, the yoke 5 and the spring 3. If the vibration level of the main body 1 at this time is v2, this vibration level v2 is detected by the acceleration sensor 21. A signal is output from the acceleration sensor 21 according to the vibration level v2. As described above, since the output of the acceleration sensor 21 is electric charge, it is input to the charge amplifier 22 for conversion into voltage. Since the output of the charge amplifier 22 is an acceleration component, it is converted into a velocity component, so a signal is input to the integration circuit 23. The signal that has passed through the integration circuit 23 passes through a filter 24 for preventing oscillation and is further input to the driver 25. The driver 25 is an amplifier circuit for driving the coil 4, and the output of the driver 25 is connected to the connection terminal B of the coil 4.
【００２９】図３の２６（破線）の特性が、制御回路部
４２を接続した場合である。本体１の質量とスプリング
３のばね定数との共振周波数ｆ0 付近の伝達特性が、１
より小さい１／Ｃになる。この１／Ｃの値は、ドライバ
２５のゲイン（増幅度）により決定され、Ｃは１より大
きい任意の値である。この伝達特性が１／Ｃの部分で
は、本体１の振動を加速度センサ２１で検出し、この振
動の信号を増幅しコイル４を駆動することで、本体１の
振動を打ち消す働きをしている。The characteristic indicated by 26 (broken line) in FIG. 3 is the case where the control circuit section 42 is connected. The transfer characteristic near the resonance frequency f 0 between the mass of the main body 1 and the spring constant of the spring 3 is 1
It becomes smaller 1 / C. The value of 1 / C is determined by the gain (amplification degree) of the driver 25, and C is an arbitrary value larger than 1. In the portion where the transfer characteristic is 1 / C, the vibration of the main body 1 is detected by the acceleration sensor 21, the signal of this vibration is amplified, and the coil 4 is driven to cancel the vibration of the main body 1.
【００３０】つぎに、周波数ｆ1 からｆ2 までは、１２
ｄＢ／ｏｃｔの減衰特性をもつ。これは、スプリング３
の減衰成分で決定される。周波数ｆ2 は、フィルタ２４
で決定される値であり、周波数ｆ2 以上はフィルタ２４
の特性に影響し、図３のように１２ｄＢ／ｏｃｔよりも
大きい遮断特性をもつ。Next, the frequencies f 1 to f 2 are 12
It has a damping characteristic of dB / oct. This is spring 3
It is determined by the attenuation component of. The frequency f 2 is the filter 24
Is a value determined in the frequency f 2 or more filters 24
And has a cutoff characteristic larger than 12 dB / oct as shown in FIG.
【００３１】このように、図３の２６の特性をみると、
全周波数にわたり伝達特性が１より小さくなるので、共
振周波数ｆ0 付近においても本体１の振動は抑えられ
る。また、図３では、脚座８の振動レベルｖ１に対する
本体１の振動レベルｖ２の比較をしているが、この実施
例は、基本的には本体１自身の振動レベルｖ２を検出
し、この振動レベルｖ２を抑えるためにコイル４を駆動
しているので、相対的ではなく、絶対的に振動そのもの
を小さくできる。Thus, looking at the characteristic of 26 in FIG. 3,
Since the transfer characteristic is smaller than 1 over all frequencies, vibration of the main body 1 can be suppressed even in the vicinity of the resonance frequency f 0 . Further, in FIG. 3, the vibration level v2 of the main body 1 is compared with the vibration level v1 of the leg seat 8, but in this embodiment, basically, the vibration level v2 of the main body 1 itself is detected, and this vibration is detected. Since the coil 4 is driven in order to suppress the level v2, it is possible to absolutely reduce the vibration itself, not relative.
【００３２】以上のようにこの実施例によれば、本体１
に設けた加速度センサ２１の出力を、制御回路部４２に
通し、インシュレータ部２０のコイル４を駆動すること
により、共振周波数ｆ0 付近においても本体１の振動レ
ベルを小さくして防振ができる。また、インシュレータ
部２０で本体１を支えるために、スプリング３を用いた
が、ゴムなどの弾性体や、ゴムとスプリングの複合部材
で構成されていても、同様な効果を得ることができる。As described above, according to this embodiment, the main body 1
By passing the output of the acceleration sensor 21 provided in the control circuit section 42 and driving the coil 4 of the insulator section 20, the vibration level of the main body 1 can be reduced even in the vicinity of the resonance frequency f 0 to perform vibration isolation. Although the spring 3 is used to support the main body 1 by the insulator portion 20, the same effect can be obtained even if the spring 3 is made of an elastic body such as rubber or a composite member of rubber and spring.
【００３３】つぎに、防振の必要な本体が大きく、第１
の実施例つまり、１個のインシュレータ部２０で構成が
できないときの場合を述べる。第１の実施例の防振装置
を複数個用いる場合、そのまま複数個用いると、おのお
のの防振装置の位置で振動を抑えようとするが、その抑
えようとする動きが各防振装置で違うため、全体として
均一な動きにならず防振効果はなくなってしまう。そこ
で、防振の必要な本体が大きい場合について、つぎの第
２、第３の実施例で述べる。Next, the main body requiring vibration isolation is large
The embodiment will be described below, that is, the case where one insulator portion 20 cannot be used for construction. When using a plurality of vibration damping devices of the first embodiment, if a plurality of vibration damping devices are used as they are, an attempt is made to suppress the vibration at each position of the vibration damping device, but the movement to be suppressed is different for each vibration damping device. Therefore, the movement does not become uniform as a whole, and the anti-vibration effect is lost. Therefore, the case in which the main body that requires vibration isolation is large will be described in the second and third embodiments.
【００３４】図４はこの発明の第２の実施例における防
振装置の斜視図である。図４において、２７は本体（台
座）で、その下部には、この本体２７を支えているイン
シュレータ部２８ａ〜２８ｄがある。このインシュレー
タ部２８ａ〜２８ｄは、おのおの第１の実施例のインシ
ュレータ部２０と基本的な構成要素は同じであるが、各
インシュレータ部２８ａ〜２８ｄにおける各要素、例え
ば、マグネットやコイルの巻数などが等しいとは限らな
い。また、２９ａ〜２９ｄはおのおのインシュレータ部
２８ａ〜２８ｄのコイルの接続端子である。また、加速
度センサ２１は本体２７の重心付近に１個のみ固定され
ている。そしてその出力端子を３０とする。FIG. 4 is a perspective view of a vibration isolator according to the second embodiment of the present invention. In FIG. 4, 27 is a main body (pedestal), and insulator parts 28a to 28d supporting the main body 27 are provided in the lower part thereof. The insulator parts 28a to 28d have the same basic constituent elements as the insulator part 20 of the first embodiment, but each element in each insulator part 28a to 28d, for example, the number of turns of a magnet or a coil is equal. Not necessarily. Further, 29a to 29d are connection terminals of the coils of the insulator portions 28a to 28d, respectively. Further, only one acceleration sensor 21 is fixed near the center of gravity of the main body 27. The output terminal is set to 30.
【００３５】図５はこの第２の実施例における制御回路
部を示し、加速度センサ２１の出力端子３０をチャージ
アンプ３１に接続し、続いて積分回路３２、フィルタ３
３、ドライバ３４と接続している。また、ドライバ３４
は、４チャンネルあり、インシュレータ部２８ａ〜２８
ｄのコイルの接続端子２９ａ〜２９ｄに接続されてい
る。FIG. 5 shows the control circuit portion in the second embodiment, in which the output terminal 30 of the acceleration sensor 21 is connected to the charge amplifier 31, and then the integrating circuit 32 and the filter 3 are connected.
3, connected to the driver 34. In addition, the driver 34
Has 4 channels and has insulator parts 28a to 28
It is connected to the connection terminals 29a to 29d of the coil d.
【００３６】以上のように構成される防振装置につい
て、以下その動作を説明する。本体２７の振動は加速度
センサ２１で検出され、その出力は図５に示す制御回路
部に入力される。そして、信号の流れは、ドライバ３４
までは、第１の実施例と同じであるが、ドライバ３４は
４チャンネルであり、ドライバ３４で増幅された信号
は、例えば１／４ずつに分配されてコイルの接続端子２
９ａ〜２９ｄに入力され、インシュレータ部２８ａ〜２
８ｄの４つのコイルを同時に駆動する。この同時に駆動
することは、各インシュレータ部２８ａ〜２８ｄの上部
の振動特性（伝達特性）が同じなので、全体として均一
な動きにでき、防振効果が高まる。The operation of the vibration isolator constructed as described above will be described below. The vibration of the main body 27 is detected by the acceleration sensor 21, and its output is input to the control circuit unit shown in FIG. The signal flow is the driver 34
Up to the same as the first embodiment, the driver 34 has four channels, and the signal amplified by the driver 34 is divided into, for example, 1/4 each and the coil connection terminal 2 is connected.
9a to 29d, and insulator parts 28a to 2d
4 coils of 8d are driven simultaneously. Since the vibration characteristics (transmission characteristics) of the upper portions of the insulator portions 28a to 28d are the same when driven at the same time, uniform movement can be performed as a whole, and the vibration isolation effect is enhanced.
【００３７】また、加速度センサ２１は本体２７の重心
付近に固定したが、本体２７のどの位置に固定しても同
様な効果が得られる。つぎに、更に細かく振動を制御し
防振効果を高めるため、第３の実施例を図６に示す。図
６はこの発明の第３の実施例における防振装置の斜視図
である。図６において、インシュレータ部２８ａ〜２８
ｄおよびコイルの接続端子２９ａ〜２９ｄの構成は第２
の実施例と同じである。また、おのおののインシュレー
タ部２８ａ〜２８ｄの近くに加速度センサ３５ａ〜３５
ｄが本体２７に固定されている。この加速度センサ３５
ａ〜３５ｄの出力端子を３６ａ〜３６ｄとする。Although the acceleration sensor 21 is fixed near the center of gravity of the main body 27, the same effect can be obtained by fixing the acceleration sensor 21 at any position on the main body 27. Next, a third embodiment is shown in FIG. 6 in order to further finely control the vibration and enhance the vibration damping effect. FIG. 6 is a perspective view of a vibration isolator according to the third embodiment of the present invention. In FIG. 6, insulator parts 28a to 28 are provided.
d and the connection terminals 29a to 29d of the coil are the second
Is the same as the embodiment described above. In addition, the acceleration sensors 35a to 35d are provided near the insulators 28a to 28d, respectively.
d is fixed to the main body 27. This acceleration sensor 35
Output terminals of a to 35d are set to 36a to 36d.
【００３８】図７はこの第３の実施例における制御回路
部を示し、加速度センサ３５ａ〜３５ｄの出力端子３６
ａ〜３６ｄをおのおのチャージアンプ３７ａ〜３７ｄに
接続し、続いておのおの積分回路３８ａ〜３８ｄに接続
し、さらにそのおのおのの信号を電気的に演算する演算
回路３９に接続し、続いてフィルタ４０、ドライバ４１
と接続している。また、ドライバ４１は、４チャンネル
あり、インシュレータ部２８ａ〜２８ｄのコイルの接続
端子２９ａ〜２９ｄに接続されている。FIG. 7 shows a control circuit section in the third embodiment, which is an output terminal 36 of the acceleration sensors 35a to 35d.
a to 36d are connected to the charge amplifiers 37a to 37d, respectively, and then to the integrating circuits 38a to 38d, and further to an arithmetic circuit 39 for electrically calculating the respective signals, and subsequently, a filter 40 and a driver. 41
Connected with. The driver 41 has four channels and is connected to the connection terminals 29a to 29d of the coils of the insulator portions 28a to 28d.
【００３９】以上のように構成される防振装置につい
て、以下その動作を説明する。本体２７の振動はおのお
のの加速度センサ３５ａ〜３５ｄで検出され、その出力
は図７に示す制御回路部に入力される。そして、信号の
流れは、積分回路３８ａ〜３８ｄまでは、第１の実施例
と同じであるが、この積分回路３８ａ〜３８ｄの信号を
電気的に演算する演算回路３９に入力する。この演算回
路３９は積分回路３８ａ〜３８ｄからの信号の平均値ま
たは実効値を演算し、これを出力するものである。この
出力をフィルタ４０に入れ、ドライバ４１に入れる。ド
ライバ４１は４チャンネルであり、ドライバ３４で増幅
された信号は、例えば１／４ずつに分配されてコイルの
接続端子２９ａ〜２９ｄに入力され、インシュレータ部
２８ａ〜２８ｄの４つのコイルを同時に駆動する。この
同時に駆動することは、各インシュレータ部２８ａ〜２
８ｄの上部の振動特性（伝達特性）が同じなので、全体
として均一な動きにでき、防振効果が高まる。また、加
速度センサ３５ａ〜３５ｄのおのおのの位置での振動レ
ベルを検知しているので、第２の実施例よりも、さらに
防振効果を高めることができる。The operation of the vibration isolator constructed as described above will be described below. The vibration of the main body 27 is detected by each of the acceleration sensors 35a to 35d, and its output is input to the control circuit unit shown in FIG. The signal flow is the same as that of the first embodiment up to the integrating circuits 38a to 38d, but the signals of the integrating circuits 38a to 38d are input to the arithmetic circuit 39 which electrically operates. The arithmetic circuit 39 calculates the average value or the effective value of the signals from the integrating circuits 38a to 38d and outputs it. This output is put into the filter 40 and put into the driver 41. The driver 41 has four channels, and the signal amplified by the driver 34 is, for example, divided into quarters and input to the coil connection terminals 29a to 29d to simultaneously drive the four coils of the insulator portions 28a to 28d. . This simultaneous driving means that each of the insulator portions 28a-2
Since the vibration characteristics (transmission characteristics) of the upper part of 8d are the same, uniform movement can be achieved as a whole, and the vibration isolation effect is enhanced. Further, since the vibration level at each position of the acceleration sensors 35a to 35d is detected, the vibration damping effect can be further enhanced as compared with the second embodiment.
【００４０】なお、第２および第３の実施例において、
４個のインシュレータ部２８ａ〜２８ｄを設けたが、４
個に限らず複数であれば同様な効果が得られることはい
うまでもない。また、上記実施例では、振動を検出する
振動センサとして加速度センサ２１，３５ａ〜３５ｄを
用いたが、振動を検出するものであればよく、たとえ
ば、速度センサを用いる場合には、制御回路部に積分回
路がない構成により同様な効果を得られることはいうま
でもない。In the second and third embodiments,
Although the four insulator parts 28a to 28d are provided,
It goes without saying that the same effect can be obtained if the number is not limited to one, but a plurality. Further, although the acceleration sensors 21, 35a to 35d are used as the vibration sensors for detecting the vibrations in the above-described embodiment, any sensor that detects the vibrations may be used. For example, when a speed sensor is used, the control circuit unit may be used. It goes without saying that the same effect can be obtained by the configuration without the integrating circuit.
【００４１】[0041]
【発明の効果】請求項１記載の防振装置は、振動センサ
で台座の振動を検出し、この振動センサの検出値を基に
して制御回路部がコイルに電流を流すようにしたことに
より、台座の質量と弾性体の弾性係数との共振周波数付
近においても、台座の振動を抑えることができる。According to the vibration isolator according to the first aspect of the present invention, the vibration sensor detects the vibration of the pedestal, and the control circuit section causes a current to flow through the coil based on the detection value of the vibration sensor. Vibration of the pedestal can be suppressed even in the vicinity of the resonance frequency between the mass of the pedestal and the elastic coefficient of the elastic body.
【００４２】請求項２記載の防振装置は、複数のインシ
ュレータ部と１つの振動センサを設けるとともに、制御
回路部が振動センサの検出値を基にして複数のインシュ
レータ部のそれぞれのコイルに電流を流すようにしたこ
とにより、台座が大きくて１個のインシュレータ部では
構成が困難な場合にでも適用でき、台座の質量と弾性体
の弾性係数との共振周波数付近においても、台座の振動
を抑えることができる。According to a second aspect of the present invention, in addition to providing a plurality of insulator parts and one vibration sensor, the control circuit part applies a current to each coil of the plurality of insulator parts based on the detection value of the vibration sensor. By making it flow, it can be applied even when the pedestal is large and it is difficult to configure with one insulator part, and suppresses the vibration of the pedestal even near the resonance frequency between the mass of the pedestal and the elastic coefficient of the elastic body. You can
【００４３】請求項３記載の防振装置は、インシュレー
タ部および振動センサを複数設けるとともに、制御回路
部が複数の振動センサの検出値の平均値または実効値を
基にして複数のインシュレータ部のそれぞれのコイルに
電流を流すようにしたことにより、台座が大きくて１個
のインシュレータ部では構成が困難な場合でも適用で
き、台座の質量と弾性体の弾性係数との共振周波数付近
においても、台座の振動をより抑えることができる。According to a third aspect of the present invention, a plurality of insulator parts and a plurality of vibration sensors are provided, and a control circuit part of each of the plurality of insulator parts is based on an average value or an effective value of detection values of the plurality of vibration sensors. By applying the current to the coil, it can be applied even if the pedestal is large and it is difficult to configure with one insulator part. Even in the vicinity of the resonance frequency between the mass of the pedestal and the elastic coefficient of the elastic body, Vibration can be suppressed further.
【図１】この発明の第１の実施例における防振装置の断
面図。FIG. 1 is a sectional view of a vibration control device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】この発明の第１の実施例における防振装置の制
御回路部のブロック図。FIG. 2 is a block diagram of a control circuit unit of the image stabilization device according to the first embodiment of the present invention.
【図３】この発明の第１の実施例における防振装置の伝
達特性図。FIG. 3 is a transfer characteristic diagram of the vibration control device according to the first embodiment of the present invention.
【図４】この発明の第２の実施例における防振装置の斜
視図。FIG. 4 is a perspective view of a vibration isolation device according to a second embodiment of the present invention.
【図５】この発明の第２の実施例における防振装置の制
御回路部のブロック図。FIG. 5 is a block diagram of a control circuit unit of a vibration isolation device according to a second embodiment of the present invention.
【図６】この発明の第３の実施例における防振装置の斜
視図。FIG. 6 is a perspective view of a vibration isolation device according to a third embodiment of the present invention.
【図７】この発明の第３の実施例における防振装置の制
御回路部のブロック図。FIG. 7 is a block diagram of a control circuit unit of a vibration isolation device according to a third embodiment of the present invention.
【図８】従来の防振装置の断面図。FIG. 8 is a cross-sectional view of a conventional vibration damping device.
【図９】従来の防振装置の電気回路網の回路図。FIG. 9 is a circuit diagram of an electric circuit network of a conventional vibration isolation device.
【図１０】従来の防振装置の伝達特性図。FIG. 10 is a transfer characteristic diagram of a conventional vibration damping device.
１、２７ 本体（台座） ２ ボビン ３ スプリング（弾性体） ４ コイル ５、７ ヨーク ６ マグネット ８ 脚座 ２０、２８ａ〜２８ｄ インシュレータ部 ２１、３５ａ〜３５ｄ 加速度センサ（振動センサ） ２２、３１、３７ａ〜３７ｄ チャージアンプ ２３、３２、３８ａ〜３８ｄ 積分回路 ２４、３３、４０ フィルタ ２５、３４、４１ ドライバ ４２ 制御回路部 1, 27 Main body (base) 2 Bobbin 3 Spring (elastic body) 4 Coil 5, 7 Yoke 6 Magnet 8 Leg seat 20, 28a to 28d Insulator portion 21, 35a to 35d Acceleration sensor (vibration sensor) 22, 31, 37a to 37d Charge amplifier 23, 32, 38a-38d Integration circuit 24, 33, 40 Filter 25, 34, 41 Driver 42 Control circuit part
Claims (3)
されたマグネットと、前記脚座に固定され前記マグネッ
トとともに前記台座と脚座の間に磁路を構成するヨーク
と、前記台座に固定され前記磁路と鎖交するコイルと、
前記台座と脚座の力学的平衡を保つための弾性体とから
なるインシュレータ部を設け、 前記台座に固定され前記台座の振動を検出する振動セン
サを設け、 この振動センサの検出値を基にして前記台座の振動を抑
えるように前記インシュレータ部のコイルに電流を流す
制御回路部を設けた防振装置。1. A pedestal to be a foot of a pedestal, a magnet fixed to the pedestal, a yoke fixed to the pedestal and forming a magnetic path between the pedestal and the pedestal together with the magnet, A coil fixed to the pedestal and interlinking with the magnetic path;
An insulator part consisting of an elastic body for maintaining the mechanical balance between the pedestal and the leg seat is provided, and a vibration sensor fixed to the pedestal for detecting the vibration of the pedestal is provided, and based on the detection value of the vibration sensor. An anti-vibration device provided with a control circuit section for supplying a current to a coil of the insulator section so as to suppress vibration of the pedestal.
されたマグネットと、前記脚座に固定され前記マグネッ
トとともに前記台座と脚座の間に磁路を構成するヨーク
と、前記台座に固定され前記磁路と鎖交するコイルと、
前記台座と脚座の力学的平衡を保つための弾性体とから
なるインシュレータ部を複数設け、 前記台座に固定され前記台座の振動を検出する振動セン
サを１つ設け、 この振動センサの検出値を基にして前記台座の振動を抑
えるように前記複数のインシュレータ部のそれぞれのコ
イルに電流を流す制御回路部を設けた防振装置。2. A pedestal to be a foot of the pedestal, a magnet fixed to the pedestal, a yoke fixed to the pedestal and forming a magnetic path between the pedestal and the pedestal together with the magnet, A coil fixed to the pedestal and interlinking with the magnetic path;
A plurality of insulators, each of which is composed of an elastic body for maintaining mechanical balance between the pedestal and the legs, are provided, and one vibration sensor that is fixed to the pedestal and detects vibration of the pedestal is provided. An anti-vibration device provided with a control circuit section that causes a current to flow through each coil of the plurality of insulator sections so as to suppress vibration of the pedestal.
されたマグネットと、前記脚座に固定され前記マグネッ
トとともに前記台座と脚座の間に磁路を構成するヨーク
と、前記台座に固定され前記磁路と鎖交するコイルと、
前記台座と脚座の力学的平衡を保つための弾性体とから
なるインシュレータ部を複数設け、 前記台座に固定され前記台座の振動を検出する振動セン
サを複数設け、 この複数の振動センサの検出値の平均値または実効値を
基にして前記台座の振動を抑えるように前記複数のイン
シュレータ部のそれぞれのコイルに電流を流す制御回路
部を設けた防振装置。3. A pedestal to be a foot of the pedestal, a magnet fixed to the pedestal, a yoke fixed to the pedestal and forming a magnetic path between the pedestal and the pedestal together with the magnet, A coil fixed to the pedestal and interlinking with the magnetic path;
A plurality of insulator parts made up of an elastic body for maintaining the mechanical balance between the pedestal and the leg base are provided, and a plurality of vibration sensors fixed to the pedestal for detecting the vibration of the pedestal are provided, and the detection values of the plurality of vibration sensors are provided. The anti-vibration device provided with a control circuit section for supplying a current to each coil of the plurality of insulator sections so as to suppress the vibration of the pedestal based on the average value or the effective value.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6040253A JPH07248043A (en) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | Anti-vibration device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6040253A JPH07248043A (en) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | Anti-vibration device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07248043A true JPH07248043A (en) | 1995-09-26 |
Family
ID=12575529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6040253A Pending JPH07248043A (en) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | Anti-vibration device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07248043A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2012015032A1 (en) * | 2010-07-30 | 2012-02-02 | 特許機器株式会社 | Insulator for audio and method for evaluating same |
| JP2012129575A (en) * | 2010-12-10 | 2012-07-05 | Tokkyokiki Corp | Audio insulator and audio system |
| JP2012230729A (en) * | 2011-04-25 | 2012-11-22 | Tokkyokiki Corp | Insulator for audio and evaluation method thereof |
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-
1994
- 1994-03-11 JP JP6040253A patent/JPH07248043A/en active Pending
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