JPH0725410A - ガラス基板移載装置 - Google Patents
ガラス基板移載装置Info
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- JPH0725410A JPH0725410A JP19204393A JP19204393A JPH0725410A JP H0725410 A JPH0725410 A JP H0725410A JP 19204393 A JP19204393 A JP 19204393A JP 19204393 A JP19204393 A JP 19204393A JP H0725410 A JPH0725410 A JP H0725410A
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- JP
- Japan
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- cassette
- fixing part
- glass substrate
- robot
- dummy
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 受け入れたパッケージ内のガラス基板を本カ
セットに自動的に移載するガラス基板移載装置を提供す
ることを目的とする。 【構成】 前後進および回転可能なアーム(1a)を備えた
基板搬送用ロボット(1)を中心にして各部を配設する。
すなわち、ロボット(1) の前方には、パッケージから移
したガラス基板(g) をロボット(1) 側が開となるように
３方向より溝板(2a)で仮固定させる仮固定部(2) を配設
する。ロボット(1) の後方または側方には、相対向する
側面が溝付き側板で構成された本カセット(3a)を位置さ
せる本カセット固定部(3) を配設する。ロボット(1) の
側方または後方には、前記仮固定部(2) で仮固定された
ガラス基板(g) のうち最上段および最下段のダミーガラ
ス(g')を収容するダミー用カセット(4a)を位置させるダ
ミー用カセット固定部(4) を配設する。
セットに自動的に移載するガラス基板移載装置を提供す
ることを目的とする。 【構成】 前後進および回転可能なアーム(1a)を備えた
基板搬送用ロボット(1)を中心にして各部を配設する。
すなわち、ロボット(1) の前方には、パッケージから移
したガラス基板(g) をロボット(1) 側が開となるように
３方向より溝板(2a)で仮固定させる仮固定部(2) を配設
する。ロボット(1) の後方または側方には、相対向する
側面が溝付き側板で構成された本カセット(3a)を位置さ
せる本カセット固定部(3) を配設する。ロボット(1) の
側方または後方には、前記仮固定部(2) で仮固定された
ガラス基板(g) のうち最上段および最下段のダミーガラ
ス(g')を収容するダミー用カセット(4a)を位置させるダ
ミー用カセット固定部(4) を配設する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、受け入れたパッケージ
内のガラス基板を本カセットに自動的に移載するガラス
基板移載装置に関するものである。
内のガラス基板を本カセットに自動的に移載するガラス
基板移載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示用をはじめとするガラス基板を
取り扱う工場においては、ガラスメーカーよりガラス基
板入りパッケージを受け入れると共に、そのパッケージ
内のガラス基板を本カセットに移載してからラインに供
給することが必要となる。なお、パッケージ内のガラス
基板のうち最上段および最下段のガラスはダミーガラス
であるので、本カセットへの移載に際しては、ダミーガ
ラスについてはこれを別のダミー用カセットに移載する
ことになる。
取り扱う工場においては、ガラスメーカーよりガラス基
板入りパッケージを受け入れると共に、そのパッケージ
内のガラス基板を本カセットに移載してからラインに供
給することが必要となる。なお、パッケージ内のガラス
基板のうち最上段および最下段のガラスはダミーガラス
であるので、本カセットへの移載に際しては、ダミーガ
ラスについてはこれを別のダミー用カセットに移載する
ことになる。
【０００３】本カセットに移載したガラス基板は、爾後
の工程において、加工、処理、洗浄、輸送、保管などの
ためにしばしば本カセットから出入される。
の工程において、加工、処理、洗浄、輸送、保管などの
ためにしばしば本カセットから出入される。
【０００４】上記の本カセットとしては、枠体の１対の
相対向する側面を溝付き側板で構成した箱体状のものが
汎用されており、ガラス基板はその溝付き側板の溝間に
架設支持される。
相対向する側面を溝付き側板で構成した箱体状のものが
汎用されており、ガラス基板はその溝付き側板の溝間に
架設支持される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本カセットからのガラ
ス基板の取り出し、および取り出したガラス基板の本カ
セットへの再収容は、前後進および回転可能なアームを
備えた基板搬送用ロボットにより自動的に行うことがで
きる。
ス基板の取り出し、および取り出したガラス基板の本カ
セットへの再収容は、前後進および回転可能なアームを
備えた基板搬送用ロボットにより自動的に行うことがで
きる。
【０００６】しかしながら、ガラスメーカーから受け入
れたパッケージ内のガラス基板を本カセットに移載する
操作については、適当な装置が案出されていないため、
現状では人力により行っている。
れたパッケージ内のガラス基板を本カセットに移載する
操作については、適当な装置が案出されていないため、
現状では人力により行っている。
【０００７】ところが人力によりガラス基板を本カセッ
トに移載する操作は、生産性の点で問題がある上、移載
時の摩擦によりガラス基板を擦傷するおそれがあり、ま
た移載作業中にガラス基板を汚染するおそれがある。も
しこの移載操作を自動的に行うことができれば、その有
用性は大きなものとなる。
トに移載する操作は、生産性の点で問題がある上、移載
時の摩擦によりガラス基板を擦傷するおそれがあり、ま
た移載作業中にガラス基板を汚染するおそれがある。も
しこの移載操作を自動的に行うことができれば、その有
用性は大きなものとなる。
【０００８】本発明は、このような背景下において、受
け入れたパッケージ内のガラス基板を本カセットに自動
的に移載するガラス基板移載装置を提供することを目的
とするものである。
け入れたパッケージ内のガラス基板を本カセットに自動
的に移載するガラス基板移載装置を提供することを目的
とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のガラス基板移載
装置は、前後進および回転可能なアーム(1a)を備えた基
板搬送用ロボット(1) を中心にして、該ロボット(1) の
前方には、パッケージから移したガラス基板(g) をロボ
ット(1) 側が開となるように３方向より溝板(2a)で仮固
定させる仮固定部(2) を配設し、ロボット(1) の後方ま
たは側方には、相対向する側面が溝付き側板で構成され
た本カセット(3a)を位置させる本カセット固定部(3) を
配設し、ロボット(1) の側方または後方には、前記仮固
定部(2) で仮固定されたガラス基板(g) のうち最上段お
よび最下段のダミーガラス(g')を収容するダミー用カセ
ット(4a)を位置させるダミー用カセット固定部(4) を配
設したことを特徴とするものである。
装置は、前後進および回転可能なアーム(1a)を備えた基
板搬送用ロボット(1) を中心にして、該ロボット(1) の
前方には、パッケージから移したガラス基板(g) をロボ
ット(1) 側が開となるように３方向より溝板(2a)で仮固
定させる仮固定部(2) を配設し、ロボット(1) の後方ま
たは側方には、相対向する側面が溝付き側板で構成され
た本カセット(3a)を位置させる本カセット固定部(3) を
配設し、ロボット(1) の側方または後方には、前記仮固
定部(2) で仮固定されたガラス基板(g) のうち最上段お
よび最下段のダミーガラス(g')を収容するダミー用カセ
ット(4a)を位置させるダミー用カセット固定部(4) を配
設したことを特徴とするものである。
【００１０】以下本発明を詳細に説明する。
【００１１】ガラス基板(g) は、箱形やＬ字形のパッケ
ージに収納された状態で、さらに詳しくは、たとえばそ
の４隅をＬ字形の発泡体製サポートで保護しかつそのサ
ポートと一緒に全体をバンド掛けした梱包状態でガラス
メーカーから納入される。パッケージ内のガラス基板
(g) のうち最上段および最下段のガラスはダミーガラス
(g')である。
ージに収納された状態で、さらに詳しくは、たとえばそ
の４隅をＬ字形の発泡体製サポートで保護しかつそのサ
ポートと一緒に全体をバンド掛けした梱包状態でガラス
メーカーから納入される。パッケージ内のガラス基板
(g) のうち最上段および最下段のガラスはダミーガラス
(g')である。
【００１２】本発明のガラス基板移載装置においては、
基板搬送用ロボット(1) を中心にして、その前方には仮
固定部(2) 、後方または側方には本カセット固定部(3)
、側方または後方にはダミー用カセット固定部(4) を
それぞれ配設する。
基板搬送用ロボット(1) を中心にして、その前方には仮
固定部(2) 、後方または側方には本カセット固定部(3)
、側方または後方にはダミー用カセット固定部(4) を
それぞれ配設する。
【００１３】基板搬送用ロボット(1) としては、前後進
および回転可能なアーム(1a)を備えたものが用いられ
る。前後進はガラス基板(g) やダミーガラス(g')を取り
出しうる距離の前後進が可能となるものとし、回転は通
常９０゜回転および１８０゜回転が可能となるものとす
る。アーム(1a)には、衝突防止タッチセンサー、ワーク
確認の光学式センサー、ワーク吸着確認の真空センサー
などのトラブル防止センサーを内蔵させる。
および回転可能なアーム(1a)を備えたものが用いられ
る。前後進はガラス基板(g) やダミーガラス(g')を取り
出しうる距離の前後進が可能となるものとし、回転は通
常９０゜回転および１８０゜回転が可能となるものとす
る。アーム(1a)には、衝突防止タッチセンサー、ワーク
確認の光学式センサー、ワーク吸着確認の真空センサー
などのトラブル防止センサーを内蔵させる。
【００１４】ロボット(1) の前方には、パッケージから
移したガラス基板(g) をロボット(1) 側が開となるよう
に３方向より溝板(2a)で仮固定させる仮固定部(2) を配
設する。パッケージの開梱およびパッケージ内のガラス
基板(g) の仮固定部(2) への移しかえは手動によって行
うこともできるが、この予備的な工程も自動化すること
が好ましい。
移したガラス基板(g) をロボット(1) 側が開となるよう
に３方向より溝板(2a)で仮固定させる仮固定部(2) を配
設する。パッケージの開梱およびパッケージ内のガラス
基板(g) の仮固定部(2) への移しかえは手動によって行
うこともできるが、この予備的な工程も自動化すること
が好ましい。
【００１５】ロボット(1) の後方または側方には、相対
向する側面が溝付き側板で構成された本カセット(3a)を
位置させる本カセット固定部(3) を配設する。本カセッ
ト(3a)としては、典型的には、枠体の１対の相対向する
側面を溝付き側板で構成した箱体状のものが使用され
る。移載されたガラス基板(g) は、その溝付き側板の溝
（リブ状の棚片と棚片の間の溝）間に架設支持されるこ
とになる。
向する側面が溝付き側板で構成された本カセット(3a)を
位置させる本カセット固定部(3) を配設する。本カセッ
ト(3a)としては、典型的には、枠体の１対の相対向する
側面を溝付き側板で構成した箱体状のものが使用され
る。移載されたガラス基板(g) は、その溝付き側板の溝
（リブ状の棚片と棚片の間の溝）間に架設支持されるこ
とになる。
【００１６】ロボット(1) の側方または後方には、前記
仮固定部(2) で仮固定されたガラス基板(g) のうち最上
段および最下段のダミーガラス(g')を収容するダミー用
カセット(4a)を位置させるダミー用カセット固定部(4)
を配設する。
仮固定部(2) で仮固定されたガラス基板(g) のうち最上
段および最下段のダミーガラス(g')を収容するダミー用
カセット(4a)を位置させるダミー用カセット固定部(4)
を配設する。
【００１７】ロボット(1) によるガラス基板(g) の移載
作業中に次の準備をするため、仮固定部(2) の側方に待
機用仮固定部(2')を配設してパッケージの開梱およびパ
ッケージ内のガラス基板(g) の仮固定部(2) への移しか
えを行い、また本カセット固定部(3) の側方に待機用本
カセット固定部(3')を配設して次の本カセット(3a)を供
給できるようにしておくことが望ましい。
作業中に次の準備をするため、仮固定部(2) の側方に待
機用仮固定部(2')を配設してパッケージの開梱およびパ
ッケージ内のガラス基板(g) の仮固定部(2) への移しか
えを行い、また本カセット固定部(3) の側方に待機用本
カセット固定部(3')を配設して次の本カセット(3a)を供
給できるようにしておくことが望ましい。
【００１８】
【作用】本発明のガラス基板移載装置においては、基板
搬送用ロボット(1) を中心にして、その前方には仮固定
部(2) 、後方または側方には本カセット固定部(3) 、側
方または後方にはダミー用カセット固定部(4) をそれぞ
れ配設してあるので、仮固定部(2) にパッケージから移
したガラス基板(g) をセットするだけで、本カセット(3
a)へのガラス基板(g) の移載、ダミー用カセット(4a)へ
のダミーガラス(g')の移載が自動的に行われる。そのた
め、生産性が格段に向上し、ガラス基板(g) の汚染や損
傷も皆無に近くなるまで減少する。
搬送用ロボット(1) を中心にして、その前方には仮固定
部(2) 、後方または側方には本カセット固定部(3) 、側
方または後方にはダミー用カセット固定部(4) をそれぞ
れ配設してあるので、仮固定部(2) にパッケージから移
したガラス基板(g) をセットするだけで、本カセット(3
a)へのガラス基板(g) の移載、ダミー用カセット(4a)へ
のダミーガラス(g')の移載が自動的に行われる。そのた
め、生産性が格段に向上し、ガラス基板(g) の汚染や損
傷も皆無に近くなるまで減少する。
【００１９】
【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。
る。
【００２０】実施例１ 図１は本発明のガラス基板移送装置の一例を示した平面
図、図２はその側面図である。
図、図２はその側面図である。
【００２１】〈装置構造〉(5) は基台であり、該基台
(5) 上の中央部には基板搬送用ロボット(1) が設置して
ある。該ロボット(1) から見て前方には仮固定部(2) 、
後方には本カセット固定部(3) 、側方にはダミー用カセ
ット固定部(4) をそれぞれ配設してある。また、仮固定
部(2) の側方には待機用仮固定部(2')、本カセット固定
部(3) の側方には待機用本カセット固定部(3')をそれぞ
れ配設してある。
(5) 上の中央部には基板搬送用ロボット(1) が設置して
ある。該ロボット(1) から見て前方には仮固定部(2) 、
後方には本カセット固定部(3) 、側方にはダミー用カセ
ット固定部(4) をそれぞれ配設してある。また、仮固定
部(2) の側方には待機用仮固定部(2')、本カセット固定
部(3) の側方には待機用本カセット固定部(3')をそれぞ
れ配設してある。
【００２２】基板搬送用ロボット(1) は、本体部(1d)、
回転軸(1c)、直線状支持部(1b)、アーム(1a)からなり、
直線状支持部(1b)およびアーム(1a)は本体部(1d)に対し
回転軸(1c)周りに回転可能にされていて、アーム(1a)は
さらに直線状支持部(1b)に対し前後進方向にスライド移
動できるようにされている。またアーム(1a)には、図示
はしていないが、衝突防止タッチセンサー、ワーク確認
の光学式センサー、ワーク吸着確認の真空センサーなど
のセンサー類を内蔵してある。
回転軸(1c)、直線状支持部(1b)、アーム(1a)からなり、
直線状支持部(1b)およびアーム(1a)は本体部(1d)に対し
回転軸(1c)周りに回転可能にされていて、アーム(1a)は
さらに直線状支持部(1b)に対し前後進方向にスライド移
動できるようにされている。またアーム(1a)には、図示
はしていないが、衝突防止タッチセンサー、ワーク確認
の光学式センサー、ワーク吸着確認の真空センサーなど
のセンサー類を内蔵してある。
【００２３】仮固定部(2) にはホルダーとしての３本の
溝板(2a)が立設してあり、パッケージから移したガラス
基板(g) をロボット(1) 側が開となるようにこの溝板(2
a)で３方向より仮固定できるようにしてある。待機用仮
固定部(2')も同様である。
溝板(2a)が立設してあり、パッケージから移したガラス
基板(g) をロボット(1) 側が開となるようにこの溝板(2
a)で３方向より仮固定できるようにしてある。待機用仮
固定部(2')も同様である。
【００２４】本カセット固定部(3) には４隅に係止用ク
ランプ(3b)を設けてあり、その係止用クランプ(3b)で本
カセット(3a)の底部を固定するようにしてある。待機用
本カセット固定部(3')も同様である。なお本カセット(3
a)としては、相対向する側面が溝付き側板で構成された
箱体状のカセットが用いられる。
ランプ(3b)を設けてあり、その係止用クランプ(3b)で本
カセット(3a)の底部を固定するようにしてある。待機用
本カセット固定部(3')も同様である。なお本カセット(3
a)としては、相対向する側面が溝付き側板で構成された
箱体状のカセットが用いられる。
【００２５】ダミー用カセット固定部(4) には４隅に係
止用クランプ(4b)を設けてあり、その係止用クランプ(4
b)でダミー用カセット(4a)の底部を固定するようにして
ある。なおダミー用カセット(4a)としては、本カセット
(3a)と同様に、相対向する側面が溝付き側板で構成され
た箱体状のカセットが用いられる。
止用クランプ(4b)を設けてあり、その係止用クランプ(4
b)でダミー用カセット(4a)の底部を固定するようにして
ある。なおダミー用カセット(4a)としては、本カセット
(3a)と同様に、相対向する側面が溝付き側板で構成され
た箱体状のカセットが用いられる。
【００２６】〈移載操作〉厚さ 1.1mmのガラス基板(g)
２２枚（ただし最上段および最下段の各１枚はダミーガ
ラス(g')）を収納した所定のピッチ８mmのパッケージの
４隅をポリエチレン発泡体製のサポートで保護すると共
にバンド掛けしたものを準備し、まず対角の２ケ所のサ
ポートを取り外してから位置決めストッパーの上にセッ
トし、３方向より溝板(2a)を早送りして巾寄せし、つい
でストッパーを下降させてからパッケージを取り外し、
最後に溝板(2a)を微速送りすることにより位置決めし
た。
２２枚（ただし最上段および最下段の各１枚はダミーガ
ラス(g')）を収納した所定のピッチ８mmのパッケージの
４隅をポリエチレン発泡体製のサポートで保護すると共
にバンド掛けしたものを準備し、まず対角の２ケ所のサ
ポートを取り外してから位置決めストッパーの上にセッ
トし、３方向より溝板(2a)を早送りして巾寄せし、つい
でストッパーを下降させてからパッケージを取り外し、
最後に溝板(2a)を微速送りすることにより位置決めし
た。
【００２７】一方、本カセット固定部(3) には相対向す
る側面がピッチ１０mmの溝付き側板で構成された２５枚
用の空の本カセット(3a)をセットしておき、ダミー用カ
セット固定部(4) にも本カセット(3a)と同様の構造の２
５枚用の空のダミー用カセット(4a)をセットしておい
た。
る側面がピッチ１０mmの溝付き側板で構成された２５枚
用の空の本カセット(3a)をセットしておき、ダミー用カ
セット固定部(4) にも本カセット(3a)と同様の構造の２
５枚用の空のダミー用カセット(4a)をセットしておい
た。
【００２８】基板搬送用ロボット(1) による移載操作は
次の手順により自動的に行われる。下記の手順は仮固定
部(2) の最上段と最下段にダミーガラス(g')がある場合
であり、もし予めダミーガラス(g')が取り除かれている
ときは、より手順が簡素化されることになる。
次の手順により自動的に行われる。下記の手順は仮固定
部(2) の最上段と最下段にダミーガラス(g')がある場合
であり、もし予めダミーガラス(g')が取り除かれている
ときは、より手順が簡素化されることになる。
【００２９】・ 仮固定部(2) の溝板(2a)の最下段から
ダミーガラス(g')を取り出し、９０゜回転して、ダミー
用カセット固定部(4) のダミー用カセット(4a)の最上段
に収納する。 ・ 仮固定部(2) の溝板(2a)の下から２枚目のガラス基
板(g) を取り出し、１８０゜回転して、本カセット固定
部(3) の本カセット(3a)の最上段に収納する。 ・ 以下、仮固定部(2) の溝板(2a)の下から３，４，・
・，２１枚目のガラス基板(g) を順次取り出し、１８０
゜回転して、本カセット固定部(3) の本カセット(3a)の
上段から順に収納する。 ・ 仮固定部(2) の溝板(2a)の下側から２２枚目（つま
り最上段）のダミーガラス(g')を取り出し、９０゜回転
して、ダミー用カセット固定部(4) のダミー用カセット
(4a)の上から２段目に収納する。 ・ 仮固定部(2) をスライド移動し、そこに予め準備し
てある待機用仮固定部(2')を移動させて、新仮固定部
(2) とする。 ・ この仮固定部(2) の溝板(2a)の最下段からダミーガ
ラス(g')を取り出し、９０゜回転して、ダミー用カセッ
ト固定部(4) のダミー用カセット(4a)の上から３段目に
収納する。 ・ 仮固定部(2) の溝板(2a)の下から２枚目のガラス基
板(g) を取り出し、１８０゜回転して、本カセット固定
部(3) の本カセット(3a)の上から２１段目に収納する。 ・ 以下、仮固定部(2) の溝板(2a)の下から３，４，
５，６枚目のガラス基板(g) を順次取り出し、１８０゜
回転して、本カセット固定部(3) の本カセット(3a)の２
２段目から２５段目（つまり最上段）まで順に収納す
る。 ・ 本カセット(3a)満杯信号でこれをスライド移動し、
予め次の空の本カセット(3a)をセットしてある待機用本
カセット固定部(3')を移動させて、新固定部(3) とす
る。 ・ 仮固定部(2) の溝板(2a)の下から７枚目のガラス基
板(g) を取り出し、１８０゜回転して、新たな本カセッ
ト固定部(3) の本カセット(3a)の最上段に収納する。 ・ 同様の操作を繰り返す。
ダミーガラス(g')を取り出し、９０゜回転して、ダミー
用カセット固定部(4) のダミー用カセット(4a)の最上段
に収納する。 ・ 仮固定部(2) の溝板(2a)の下から２枚目のガラス基
板(g) を取り出し、１８０゜回転して、本カセット固定
部(3) の本カセット(3a)の最上段に収納する。 ・ 以下、仮固定部(2) の溝板(2a)の下から３，４，・
・，２１枚目のガラス基板(g) を順次取り出し、１８０
゜回転して、本カセット固定部(3) の本カセット(3a)の
上段から順に収納する。 ・ 仮固定部(2) の溝板(2a)の下側から２２枚目（つま
り最上段）のダミーガラス(g')を取り出し、９０゜回転
して、ダミー用カセット固定部(4) のダミー用カセット
(4a)の上から２段目に収納する。 ・ 仮固定部(2) をスライド移動し、そこに予め準備し
てある待機用仮固定部(2')を移動させて、新仮固定部
(2) とする。 ・ この仮固定部(2) の溝板(2a)の最下段からダミーガ
ラス(g')を取り出し、９０゜回転して、ダミー用カセッ
ト固定部(4) のダミー用カセット(4a)の上から３段目に
収納する。 ・ 仮固定部(2) の溝板(2a)の下から２枚目のガラス基
板(g) を取り出し、１８０゜回転して、本カセット固定
部(3) の本カセット(3a)の上から２１段目に収納する。 ・ 以下、仮固定部(2) の溝板(2a)の下から３，４，
５，６枚目のガラス基板(g) を順次取り出し、１８０゜
回転して、本カセット固定部(3) の本カセット(3a)の２
２段目から２５段目（つまり最上段）まで順に収納す
る。 ・ 本カセット(3a)満杯信号でこれをスライド移動し、
予め次の空の本カセット(3a)をセットしてある待機用本
カセット固定部(3')を移動させて、新固定部(3) とす
る。 ・ 仮固定部(2) の溝板(2a)の下から７枚目のガラス基
板(g) を取り出し、１８０゜回転して、新たな本カセッ
ト固定部(3) の本カセット(3a)の最上段に収納する。 ・ 同様の操作を繰り返す。
【００３０】上記操作による処理能力は、 ダミー用カセット(4a)への収納 １５秒× ２枚＝ ３０秒 本カセット(3a)への収納 １５秒×２５枚＝３７５秒 本カセット(3a)交換時間 １０秒 の合計４１５秒／１カセットであった。この時間は、ロ
ボット(1) の作動能力の向上、本カセット固定部(3) を
ロボット(1) の後方でなく、９０゜回転で済む側方に配
置することなどにより、さらに短縮することができる。
ボット(1) の作動能力の向上、本カセット固定部(3) を
ロボット(1) の後方でなく、９０゜回転で済む側方に配
置することなどにより、さらに短縮することができる。
【００３１】実施例２ 図３は本発明のガラス基板移送装置の他の一例を示した
平面図である。
平面図である。
【００３２】基台(5) 上の中央部には基板搬送用ロボッ
ト(1) 、該ロボット(1) から見て前方には仮固定部(2)
、後方には本カセット固定部(3) 、側方にはダミー用
カセット固定部(4) をそれぞれ配設してある。
ト(1) 、該ロボット(1) から見て前方には仮固定部(2)
、後方には本カセット固定部(3) 、側方にはダミー用
カセット固定部(4) をそれぞれ配設してある。
【００３３】仮固定部(2) の側方には待機用仮固定部
(2')やパッケージセット部(2")を配設して、パッケージ
の開梱およびパッケージ内のガラス基板(g) の仮固定部
(2) への移しかえなどの一連の操作を自動的に行うこと
ができるようにしてある。
(2')やパッケージセット部(2")を配設して、パッケージ
の開梱およびパッケージ内のガラス基板(g) の仮固定部
(2) への移しかえなどの一連の操作を自動的に行うこと
ができるようにしてある。
【００３４】本カセット固定部(3) の側方には待機用本
カセット固定部(3')を配設して、次の本カセット(3a)を
供給できるようにしてある。なお本カセット(3a)が満杯
となった後は、これをスライド移動してから、コンベア
ベルトや吊り上げ方式により、自動搬送することができ
る。
カセット固定部(3')を配設して、次の本カセット(3a)を
供給できるようにしてある。なお本カセット(3a)が満杯
となった後は、これをスライド移動してから、コンベア
ベルトや吊り上げ方式により、自動搬送することができ
る。
【００３５】ダミー用カセット固定部(4) についても、
図示はしていないが、待機用のダミー用カセットを準備
しておくことができる。
図示はしていないが、待機用のダミー用カセットを準備
しておくことができる。
【００３６】
【発明の効果】作用の項でも述べたように、本発明のガ
ラス基板移載装置にあっては、仮固定部(2) にパッケー
ジから移したガラス基板(g) をセットするだけで、本カ
セット(3a)へのガラス基板(g) の移載、ダミー用カセッ
ト(4a)へのダミーガラス(g')の移載が自動的に行われ
る。そのため、生産性が格段に向上し、ガラス基板(g)
の汚染や損傷も皆無に近くなるまで減少する。
ラス基板移載装置にあっては、仮固定部(2) にパッケー
ジから移したガラス基板(g) をセットするだけで、本カ
セット(3a)へのガラス基板(g) の移載、ダミー用カセッ
ト(4a)へのダミーガラス(g')の移載が自動的に行われ
る。そのため、生産性が格段に向上し、ガラス基板(g)
の汚染や損傷も皆無に近くなるまで減少する。
【図１】本発明のガラス基板移送装置の一例を示した平
面図である。
面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】本発明のガラス基板移送装置の他の一例を示し
た平面図である。
た平面図である。
(1) …基板搬送用ロボット、(1a)…アーム、(1b)…直線
状支持部、(1c)…回転軸、(1d)…本体部、(2) …仮固定
部、(2a)…溝板、(2')…待機用仮固定部、(2")…パッケ
ージセット部、(3) …本カセット固定部、(3a)…本カセ
ット、(3b)…係止用クランプ、(3')…待機用本カセット
固定部、(4) …ダミー用カセット固定部、(4a)…ダミー
用カセット、(4b)…係止用クランプ、(5) …基台、(g)
…ガラス基板、(g')…ダミーガラス
状支持部、(1c)…回転軸、(1d)…本体部、(2) …仮固定
部、(2a)…溝板、(2')…待機用仮固定部、(2")…パッケ
ージセット部、(3) …本カセット固定部、(3a)…本カセ
ット、(3b)…係止用クランプ、(3')…待機用本カセット
固定部、(4) …ダミー用カセット固定部、(4a)…ダミー
用カセット、(4b)…係止用クランプ、(5) …基台、(g)
…ガラス基板、(g')…ダミーガラス
Claims (2)
- 【請求項１】前後進および回転可能なアーム(1a)を備え
た基板搬送用ロボット(1) を中心にして、該ロボット
(1) の前方には、パッケージから移したガラス基板(g)
をロボット(1) 側が開となるように３方向より溝板(2a)
で仮固定させる仮固定部(2) を配設し、ロボット(1) の
後方または側方には、相対向する側面が溝付き側板で構
成された本カセット(3a)を位置させる本カセット固定部
(3) を配設し、ロボット(1) の側方または後方には、前
記仮固定部(2) で仮固定されたガラス基板(g) のうち最
上段および最下段のダミーガラス(g')を収容するダミー
用カセット(4a)を位置させるダミー用カセット固定部
(4) を配設したことを特徴とするガラス基板移載装置。 - 【請求項２】仮固定部(2) の側方に待機用仮固定部(2')
を配設し、かつ本カセット固定部(3) の側方に待機用本
カセット固定部(3')を配設したことを特徴とする請求項
１記載のガラス基板移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19204393A JPH0725410A (ja) | 1993-07-05 | 1993-07-05 | ガラス基板移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19204393A JPH0725410A (ja) | 1993-07-05 | 1993-07-05 | ガラス基板移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0725410A true JPH0725410A (ja) | 1995-01-27 |
Family
ID=16284663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19204393A Withdrawn JPH0725410A (ja) | 1993-07-05 | 1993-07-05 | ガラス基板移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0725410A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100459957B1 (ko) * | 1996-09-13 | 2005-01-17 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판처리시스템 |
| CN100374911C (zh) * | 2002-12-31 | 2008-03-12 | Lg.菲利浦Lcd株式会社 | 基板传送系统 |
-
1993
- 1993-07-05 JP JP19204393A patent/JPH0725410A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100459957B1 (ko) * | 1996-09-13 | 2005-01-17 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판처리시스템 |
| CN100374911C (zh) * | 2002-12-31 | 2008-03-12 | Lg.菲利浦Lcd株式会社 | 基板传送系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |