JPH07256097A - 腐食性ガス吸収剤及びガス封入容器の容器弁 - Google Patents
腐食性ガス吸収剤及びガス封入容器の容器弁Info
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- JPH07256097A JPH07256097A JP6079846A JP7984694A JPH07256097A JP H07256097 A JPH07256097 A JP H07256097A JP 6079846 A JP6079846 A JP 6079846A JP 7984694 A JP7984694 A JP 7984694A JP H07256097 A JPH07256097 A JP H07256097A
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- corrosive
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- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 腐食性ガス吸収剤にて腐食性ガスを吸収する
こと及び、腐食性ガス用ガス封入容器に用いられる容器
弁において、容器弁内に残留する腐食性ガスを除去する
こと。 【構成】 不飽和結合を有する有機物質例えばポリブタ
ジエンからなる腐食性ガス吸収剤成分を、ガス透過度が
高くかつ透湿度が低い材質例えばＯＰＰからなる包材に
封入して腐食性ガス吸収剤を構成する。この腐食性ガス
吸収剤を容器弁のガス流出口付近の内部空間と接するよ
うに設けると、容器弁内に残存する塩化水素ガスや塩素
ガスは包材を透過して腐食性ガス吸収剤成分と付加反応
するが、この反応によりこれらのガスは腐食性ガス吸収
剤成分に取り込まれる形で腐食性ガス吸収剤に吸収され
除去される。
こと及び、腐食性ガス用ガス封入容器に用いられる容器
弁において、容器弁内に残留する腐食性ガスを除去する
こと。 【構成】 不飽和結合を有する有機物質例えばポリブタ
ジエンからなる腐食性ガス吸収剤成分を、ガス透過度が
高くかつ透湿度が低い材質例えばＯＰＰからなる包材に
封入して腐食性ガス吸収剤を構成する。この腐食性ガス
吸収剤を容器弁のガス流出口付近の内部空間と接するよ
うに設けると、容器弁内に残存する塩化水素ガスや塩素
ガスは包材を透過して腐食性ガス吸収剤成分と付加反応
するが、この反応によりこれらのガスは腐食性ガス吸収
剤成分に取り込まれる形で腐食性ガス吸収剤に吸収され
除去される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、腐食性ガス吸収剤及び
腐食性ガス封入容器に用いる容器弁に関する。
腐食性ガス封入容器に用いる容器弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばＬＳＩや超ＬＳＩ等の半導体製造
においては、化学薬品等の気流中で処理を行うドライプ
ロセスが主流となっており、例えば、シリコンウエハの
ドライエッチング工程においては、ドライエッチング剤
として塩化水素ガスが使用されている。この塩化水素を
商品として販売する場合には、通常は塩化水素ガスを濃
硫酸を用いて乾燥して水分を除去した後、圧縮して液化
塩化水素とし、これを貯槽に貯え、この貯槽から随時例
えば鉄製のガスボンベ容器に液化塩化水素を封入する。
においては、化学薬品等の気流中で処理を行うドライプ
ロセスが主流となっており、例えば、シリコンウエハの
ドライエッチング工程においては、ドライエッチング剤
として塩化水素ガスが使用されている。この塩化水素を
商品として販売する場合には、通常は塩化水素ガスを濃
硫酸を用いて乾燥して水分を除去した後、圧縮して液化
塩化水素とし、これを貯槽に貯え、この貯槽から随時例
えば鉄製のガスボンベ容器に液化塩化水素を封入する。
【０００３】このようにして、塩化水素をガスベンベ容
器内に充填した後、容器弁にアウトレットキャップを取
り付けるが、この際容器弁内に存在する塩化水素を例え
ば窒素や乾燥空気により置換することにより除去してい
る。
器内に充填した後、容器弁にアウトレットキャップを取
り付けるが、この際容器弁内に存在する塩化水素を例え
ば窒素や乾燥空気により置換することにより除去してい
る。
【０００４】また水道の消毒等に用いられる塩素を商品
として販売する場合には、通常は塩素ガスを濃硫酸を用
いて乾燥して水分を除去した後、圧縮して液化塩素と
し、これを貯槽に貯え、この貯槽から随時例えば鉄製の
ガスボンベ容器、タークローリー、タンク車等に封入す
る。このようにしてガスベンベ容器等に液化塩素を充填
した後容器弁にアウトレットキャップを取り付けるが、
この際容器弁内に存在する塩素を例えば空気や乾燥空気
により置換することにより除去している。
として販売する場合には、通常は塩素ガスを濃硫酸を用
いて乾燥して水分を除去した後、圧縮して液化塩素と
し、これを貯槽に貯え、この貯槽から随時例えば鉄製の
ガスボンベ容器、タークローリー、タンク車等に封入す
る。このようにしてガスベンベ容器等に液化塩素を充填
した後容器弁にアウトレットキャップを取り付けるが、
この際容器弁内に存在する塩素を例えば空気や乾燥空気
により置換することにより除去している。
【０００５】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら上述
の液化水素を封入したガスボンベ容器や塩素を封入した
ガスボンベ容器等では、ガス置換を完全に行うことは困
難であるため、容器弁内に塩化水素ガスや塩素ガスが残
存する。従って塩化水素ガスや塩素ガスを充填したガス
ベンベ容器を商品として出荷し、これを消費者が使用す
る段階で容器弁内の塩化水素ガスや塩素ガスが周囲に拡
散し、人体や周辺環境に悪影響を与えるといった問題が
あった。
の液化水素を封入したガスボンベ容器や塩素を封入した
ガスボンベ容器等では、ガス置換を完全に行うことは困
難であるため、容器弁内に塩化水素ガスや塩素ガスが残
存する。従って塩化水素ガスや塩素ガスを充填したガス
ベンベ容器を商品として出荷し、これを消費者が使用す
る段階で容器弁内の塩化水素ガスや塩素ガスが周囲に拡
散し、人体や周辺環境に悪影響を与えるといった問題が
あった。
【０００６】またアウトレットキャップを容器弁に取り
付ける際には大気が容器弁内に侵入してしまうが、この
大気中には水分が含まれている。ここで塩化水素ガスは
吸水性の強いガスであるため、塩化水素ガスと大気とが
接触すると、塩化水素ガスは大気中の水分を吸収し、塩
酸ミストとなって飛散し、上述と同様の問題を生じてい
た。また塩素ガスは酸化力を有するため、水分の存在下
で容器弁内部が湿食を生ずる。このためいわゆる鉄サビ
が形成され、これがガス中の不純物となったり、配管や
配管途中に設けられたフィルター等の目詰りの原因とな
るという問題があった。
付ける際には大気が容器弁内に侵入してしまうが、この
大気中には水分が含まれている。ここで塩化水素ガスは
吸水性の強いガスであるため、塩化水素ガスと大気とが
接触すると、塩化水素ガスは大気中の水分を吸収し、塩
酸ミストとなって飛散し、上述と同様の問題を生じてい
た。また塩素ガスは酸化力を有するため、水分の存在下
で容器弁内部が湿食を生ずる。このためいわゆる鉄サビ
が形成され、これがガス中の不純物となったり、配管や
配管途中に設けられたフィルター等の目詰りの原因とな
るという問題があった。
【０００７】本発明は以上のような事情に基づいてなさ
れたものであり、その目的は、ガスボンベ容器等の腐食
性ガスを封入するガス封入容器の容器弁内に残存する腐
食性ガスを効果的に除去する腐食性ガス吸収剤及び腐食
性ガス吸収剤を備えたガス封入容器を提供することにあ
る。
れたものであり、その目的は、ガスボンベ容器等の腐食
性ガスを封入するガス封入容器の容器弁内に残存する腐
食性ガスを効果的に除去する腐食性ガス吸収剤及び腐食
性ガス吸収剤を備えたガス封入容器を提供することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、不飽
和結合を有する有機物質からなる腐食性ガス吸収剤成分
を有効成分とすることを特徴とする。請求項２の発明
は、請求項１の発明において、腐食性ガス吸収剤成分を
ガス透過度が高くかつ透湿度が低い材質からなる包材に
封入してなることを特徴とする。請求項３の発明は、請
求項１の発明において、腐食性ガス吸収剤成分を所定の
形状に成形してなることを特徴とする。請求項４の発明
は、腐食性ガス用ガス封入容器に用いる容器弁におい
て、当該容器弁のガス流出口の内部空間と接するよう
に、請求項１、２または３記載の腐食性ガス吸収剤を設
けたことを特徴とする。
和結合を有する有機物質からなる腐食性ガス吸収剤成分
を有効成分とすることを特徴とする。請求項２の発明
は、請求項１の発明において、腐食性ガス吸収剤成分を
ガス透過度が高くかつ透湿度が低い材質からなる包材に
封入してなることを特徴とする。請求項３の発明は、請
求項１の発明において、腐食性ガス吸収剤成分を所定の
形状に成形してなることを特徴とする。請求項４の発明
は、腐食性ガス用ガス封入容器に用いる容器弁におい
て、当該容器弁のガス流出口の内部空間と接するよう
に、請求項１、２または３記載の腐食性ガス吸収剤を設
けたことを特徴とする。
【０００９】
【作用】請求項１〜３記載の発明では、腐食性ガス例え
ば塩化水素ガスや塩素ガスは、腐食性ガス吸収剤成分と
の反応により腐食性ガス吸収剤に吸収される。即ち塩化
水素ガスや塩素ガスは腐食性ガス吸収剤成分と付加反応
や置換反応、転移反応を起こしてハロゲン化有機化合物
を生成するので、これらのガスは腐食性ガス吸収剤成分
に取り込まれた形で腐食性ガス吸収剤に吸収される。ま
た請求項２記載の発明では、腐食性ガスはガス透過度の
高い包材を透過して腐食性ガス吸収剤成分と反応する。
ば塩化水素ガスや塩素ガスは、腐食性ガス吸収剤成分と
の反応により腐食性ガス吸収剤に吸収される。即ち塩化
水素ガスや塩素ガスは腐食性ガス吸収剤成分と付加反応
や置換反応、転移反応を起こしてハロゲン化有機化合物
を生成するので、これらのガスは腐食性ガス吸収剤成分
に取り込まれた形で腐食性ガス吸収剤に吸収される。ま
た請求項２記載の発明では、腐食性ガスはガス透過度の
高い包材を透過して腐食性ガス吸収剤成分と反応する。
【００１０】請求項４記載の発明では、ガス封入容器の
容器弁内に残存する腐食性ガスは腐食性ガス吸収剤成分
と接触して反応を起こし、この結果腐食性ガス吸収剤に
吸収されて除去される。
容器弁内に残存する腐食性ガスは腐食性ガス吸収剤成分
と接触して反応を起こし、この結果腐食性ガス吸収剤に
吸収されて除去される。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の腐食性ガス吸収剤を備えた例
えば塩化水素ガスや塩素ガス等の腐食性ガスを封入する
ガス封入容器例えばガスボンベ容器の容器弁部分の断面
図であり、図中１はガスボンベ容器、２は容器弁であ
る。この容器弁２は、ガス流出口２２を備えた容器弁本
体２１とハンドル３１に取り付けられたケレップ３２と
から構成され、ガス流出口２２にはアウトレットキャッ
プ２３が配設されている。ガス流出口２２の内部径は例
えば約１５ｍｍに設けられており、腐食性ガス吸収剤４
はガス流出口２２の内部に入る大きさに形成されてガス
流出口２２内部に配設される。腐食性ガス吸収剤４は、
例えばポリブタジエンからなる固体状の腐食性ガス吸収
剤成分を包材に封入して構成され、腐食性ガス吸収剤成
分としては炭素−炭素間二重結合や炭素−炭素間三重結
合、あるいは炭素−酸素間二重結合等の不飽和結合を有
し、かつ不揮発性の有機物質を用いることができる。
えば塩化水素ガスや塩素ガス等の腐食性ガスを封入する
ガス封入容器例えばガスボンベ容器の容器弁部分の断面
図であり、図中１はガスボンベ容器、２は容器弁であ
る。この容器弁２は、ガス流出口２２を備えた容器弁本
体２１とハンドル３１に取り付けられたケレップ３２と
から構成され、ガス流出口２２にはアウトレットキャッ
プ２３が配設されている。ガス流出口２２の内部径は例
えば約１５ｍｍに設けられており、腐食性ガス吸収剤４
はガス流出口２２の内部に入る大きさに形成されてガス
流出口２２内部に配設される。腐食性ガス吸収剤４は、
例えばポリブタジエンからなる固体状の腐食性ガス吸収
剤成分を包材に封入して構成され、腐食性ガス吸収剤成
分としては炭素−炭素間二重結合や炭素−炭素間三重結
合、あるいは炭素−酸素間二重結合等の不飽和結合を有
し、かつ不揮発性の有機物質を用いることができる。
【００１２】また包材は、ガス透過度が大きく、かつ透
湿度（水分透過度）が小さい材質、即ち酸素ガスの透過
度が１００ｃｃ／ｍ2 ｈｒ−ａｔｍ／２５μｍ以上であ
り、かつ透湿度が１０００ｇ／ｍ2 −２４ｈｒ／２５μ
ｍ以下である材質、例えば２軸延伸ポリプロピレン（Ｏ
ＰＰ）等を用いることが好ましい。腐食性ガス例えば塩
化水素ガスや塩素ガスを速やかに包材内部へ取り入れる
と共に、これらの腐食性ガスを吸収した腐食性ガス吸収
剤成分が包材から流出することを防ぐためである。なお
包材として用いることができる材質を表１に掲げる。
湿度（水分透過度）が小さい材質、即ち酸素ガスの透過
度が１００ｃｃ／ｍ2 ｈｒ−ａｔｍ／２５μｍ以上であ
り、かつ透湿度が１０００ｇ／ｍ2 −２４ｈｒ／２５μ
ｍ以下である材質、例えば２軸延伸ポリプロピレン（Ｏ
ＰＰ）等を用いることが好ましい。腐食性ガス例えば塩
化水素ガスや塩素ガスを速やかに包材内部へ取り入れる
と共に、これらの腐食性ガスを吸収した腐食性ガス吸収
剤成分が包材から流出することを防ぐためである。なお
包材として用いることができる材質を表１に掲げる。
【００１３】
【表１】 腐食性ガス吸収剤４は、塩化水素ガスをガスボンベ容器
１に充填した後、アウトレットキャップ２３を取り付け
る前にガス流出口２２付近の内部空間に配設されるが、
このように腐食性ガス吸収剤４をガス流出口２２の内部
空間に接するように設けると、ガス流出口２２内に残存
する腐食性ガスがガス透過性を有する包材を透過して包
材内部の腐食性ガス吸収剤成分と接触する。
１に充填した後、アウトレットキャップ２３を取り付け
る前にガス流出口２２付近の内部空間に配設されるが、
このように腐食性ガス吸収剤４をガス流出口２２の内部
空間に接するように設けると、ガス流出口２２内に残存
する腐食性ガスがガス透過性を有する包材を透過して包
材内部の腐食性ガス吸収剤成分と接触する。
【００１４】ここで腐食性ガス吸収剤成分と塩化水素ガ
スとが接触すると、炭素−炭素間に二重結合を有する腐
食性ガス吸収剤成分との間では式１に示す反応が進行
し、炭素−酸素間二重結合を有する腐食性ガス吸収剤成
分との間では式２に示す反応が進行し、炭素−炭素間三
重結合を有する腐食性ガス吸収剤との間では式３に示す
反応が進行する。また腐食性ガス吸収剤成分と塩素ガス
とが接触すると、炭素−炭素間二重結合を有する腐食性
ガス吸収剤成分との間では式４に示す反応が進行し、炭
素−酸素間二重結合を有する腐食性ガス吸収剤成分との
間では式５に示す反応が進行し、炭素−炭素間三重結合
を有する腐食性ガス吸収剤との間では式６に示す反応が
進行する。
スとが接触すると、炭素−炭素間に二重結合を有する腐
食性ガス吸収剤成分との間では式１に示す反応が進行
し、炭素−酸素間二重結合を有する腐食性ガス吸収剤成
分との間では式２に示す反応が進行し、炭素−炭素間三
重結合を有する腐食性ガス吸収剤との間では式３に示す
反応が進行する。また腐食性ガス吸収剤成分と塩素ガス
とが接触すると、炭素−炭素間二重結合を有する腐食性
ガス吸収剤成分との間では式４に示す反応が進行し、炭
素−酸素間二重結合を有する腐食性ガス吸収剤成分との
間では式５に示す反応が進行し、炭素−炭素間三重結合
を有する腐食性ガス吸収剤との間では式６に示す反応が
進行する。
【００１５】
【式１】
【００１６】
【式２】
【００１７】
【式３】
【００１８】
【式４】
【００１９】
【式５】
【００２０】
【式６】 即ち塩化水素ガスと腐食性ガス吸収剤成分との反応で
は、ＨとＣｌが腐食性ガス吸収剤成分の不飽和結合を有
する元素を攻撃し、腐食性ガス吸収剤成分と付加反応あ
るいは置換、転移反応を起こしてハロゲン化有機化合物
を生成する。また塩素ガスと腐食性ガス吸収剤成分との
反応では、Ｃｌが腐食性ガス吸収剤成分の不飽和結合を
有する元素を攻撃し、腐食性ガス吸収剤成分と付加反応
を起こすか、水素との置換反応を起こしてハロゲン化有
機化合物を生成する。
は、ＨとＣｌが腐食性ガス吸収剤成分の不飽和結合を有
する元素を攻撃し、腐食性ガス吸収剤成分と付加反応あ
るいは置換、転移反応を起こしてハロゲン化有機化合物
を生成する。また塩素ガスと腐食性ガス吸収剤成分との
反応では、Ｃｌが腐食性ガス吸収剤成分の不飽和結合を
有する元素を攻撃し、腐食性ガス吸収剤成分と付加反応
を起こすか、水素との置換反応を起こしてハロゲン化有
機化合物を生成する。
【００２１】従って塩化水素ガスあるいは塩素ガスは腐
食性ガス吸収剤成分との反応により腐食性ガス吸収剤成
分に取り込まれる形で消費されるので、例えガス流出口
２２付近にこれらのガスが残存する場合であっても、腐
食性ガス吸収剤４により除去することができる。
食性ガス吸収剤成分との反応により腐食性ガス吸収剤成
分に取り込まれる形で消費されるので、例えガス流出口
２２付近にこれらのガスが残存する場合であっても、腐
食性ガス吸収剤４により除去することができる。
【００２２】ここで腐食性ガス吸収剤成分と塩化水素ガ
スや塩素ガスとの反応により生成したハロゲン化有機化
合物は不揮発性の固体状の物質であり、また包材は透湿
度が低いため、生成物が包材を透過して外部へ進出する
ことはなく、従ってこれらにより、容器弁の内部が腐食
されることはない。
スや塩素ガスとの反応により生成したハロゲン化有機化
合物は不揮発性の固体状の物質であり、また包材は透湿
度が低いため、生成物が包材を透過して外部へ進出する
ことはなく、従ってこれらにより、容器弁の内部が腐食
されることはない。
【００２３】次に本実施例の効果を確認するために行っ
た実験例について説明する。実験例１では腐食性ガス吸
収剤成分の腐食性ガスに対する吸着能の調査を行い、実
験例２では腐食性ガス吸収剤の容器弁内に残存する腐食
性ガスに対する吸着能の調査を行った。 〈実験例１〉 （実験方法） （１）図２に示すようにポリブタジエンからなる腐食性
ガス吸収剤成分１００ｇが添加された第１のガス洗浄瓶
５１の一端を、９９．９％塩化水素ガス５００ｍｌを封
入したテフロン製の袋状の貯槽５２と接続し、他端を
０．１Ｎ硝酸銀水溶液１００ｍｌが供給された第２のガ
ス洗浄瓶５３と接続して、さらに第２のガス洗浄瓶５３
に注射器５４を取り付ける。注射器５４の注射筒５５を
引くことにより、貯槽５２内の塩化水素ガスを腐食性ガ
ス吸収剤成分へ通過させ、さらに腐食性ガス吸収剤成分
と反応せずに通過した塩化水素ガスを第２のガス洗浄瓶
５３内にて硝酸銀溶液に補集し、硝酸銀溶液と塩化水素
ガスとの反応により塩化銀が生成するまで塩化水素ガス
を通ずることにより、腐食性ガス吸収剤成分の塩化水素
ガスに対する吸着能を測定した。 （２）第２のガス洗浄瓶５３にヨウ化カリウム溶液１０
０ｍｌを供給すると共に、貯槽に９８％塩素ガスを封入
した以外は（１）と同様の装置を用いて（１）と同様の
方法で、腐食性ガス吸収剤成分の塩素ガスに対する吸着
能を測定した。 （結果）腐食性ガス吸収剤成分の腐食性ガスに対する吸
着能は、塩化水素ガス、塩素ガス共に、２０℃、１ａｔ
ｍで腐食性ガス吸収剤成分１ｇ当り２ｍｌあり、瞬時に
吸収した。 〈実験例２〉 （１）液化塩化水素を容積４７ｌガスボンベ容器１０本
に充填し、容器弁のガス流出口付近の内部空間にポリブ
タジエンからなる腐食性ガス吸収剤成分０．１ｇをポリ
スチレンからなる１．５×１．５ｃｍの大きさの包材で
パックして構成した腐食性ガス吸収剤を２つ折りにして
配設した後、容器弁にアウトレットキャップを取り付け
２時間放置した。この後アウトレットキャップを取り外
し、塩化水素ガスセンサーにて、容器弁内に残存する塩
化水素濃度を求めた。また比較実験として、容器弁に腐
食性ガス吸収剤を配設しないガスボンベ容器１０本を用
意し同様の実験を行った。結果は、腐食性ガス吸収剤を
配設したガスボンベ容器では、いずれも塩化水素は検出
されなかったが、腐食性ガス吸収剤を配設したガスボン
ベ容器では、いずれも塩化水素濃度が検出限界値である
１５ｐｐｍを超えていた。 （２）（１）と同様の方法にてガスボンベ容器に液化塩
素を充填した場合についても実験を行った。なお容器弁
内に残留する塩素ガスは、ガス流出口にアンモニア水に
浸したろ紙を近づけ白煙を生ずるか否かにより、残留の
程度を調べた。結果は、腐食性ガス吸収剤を配設したガ
スボンベ容器ではいずれも白煙は生じなかったが、腐食
性ガス吸収剤を配設しないガスボンベ容器では、いずれ
も白煙を生じた。
た実験例について説明する。実験例１では腐食性ガス吸
収剤成分の腐食性ガスに対する吸着能の調査を行い、実
験例２では腐食性ガス吸収剤の容器弁内に残存する腐食
性ガスに対する吸着能の調査を行った。 〈実験例１〉 （実験方法） （１）図２に示すようにポリブタジエンからなる腐食性
ガス吸収剤成分１００ｇが添加された第１のガス洗浄瓶
５１の一端を、９９．９％塩化水素ガス５００ｍｌを封
入したテフロン製の袋状の貯槽５２と接続し、他端を
０．１Ｎ硝酸銀水溶液１００ｍｌが供給された第２のガ
ス洗浄瓶５３と接続して、さらに第２のガス洗浄瓶５３
に注射器５４を取り付ける。注射器５４の注射筒５５を
引くことにより、貯槽５２内の塩化水素ガスを腐食性ガ
ス吸収剤成分へ通過させ、さらに腐食性ガス吸収剤成分
と反応せずに通過した塩化水素ガスを第２のガス洗浄瓶
５３内にて硝酸銀溶液に補集し、硝酸銀溶液と塩化水素
ガスとの反応により塩化銀が生成するまで塩化水素ガス
を通ずることにより、腐食性ガス吸収剤成分の塩化水素
ガスに対する吸着能を測定した。 （２）第２のガス洗浄瓶５３にヨウ化カリウム溶液１０
０ｍｌを供給すると共に、貯槽に９８％塩素ガスを封入
した以外は（１）と同様の装置を用いて（１）と同様の
方法で、腐食性ガス吸収剤成分の塩素ガスに対する吸着
能を測定した。 （結果）腐食性ガス吸収剤成分の腐食性ガスに対する吸
着能は、塩化水素ガス、塩素ガス共に、２０℃、１ａｔ
ｍで腐食性ガス吸収剤成分１ｇ当り２ｍｌあり、瞬時に
吸収した。 〈実験例２〉 （１）液化塩化水素を容積４７ｌガスボンベ容器１０本
に充填し、容器弁のガス流出口付近の内部空間にポリブ
タジエンからなる腐食性ガス吸収剤成分０．１ｇをポリ
スチレンからなる１．５×１．５ｃｍの大きさの包材で
パックして構成した腐食性ガス吸収剤を２つ折りにして
配設した後、容器弁にアウトレットキャップを取り付け
２時間放置した。この後アウトレットキャップを取り外
し、塩化水素ガスセンサーにて、容器弁内に残存する塩
化水素濃度を求めた。また比較実験として、容器弁に腐
食性ガス吸収剤を配設しないガスボンベ容器１０本を用
意し同様の実験を行った。結果は、腐食性ガス吸収剤を
配設したガスボンベ容器では、いずれも塩化水素は検出
されなかったが、腐食性ガス吸収剤を配設したガスボン
ベ容器では、いずれも塩化水素濃度が検出限界値である
１５ｐｐｍを超えていた。 （２）（１）と同様の方法にてガスボンベ容器に液化塩
素を充填した場合についても実験を行った。なお容器弁
内に残留する塩素ガスは、ガス流出口にアンモニア水に
浸したろ紙を近づけ白煙を生ずるか否かにより、残留の
程度を調べた。結果は、腐食性ガス吸収剤を配設したガ
スボンベ容器ではいずれも白煙は生じなかったが、腐食
性ガス吸収剤を配設しないガスボンベ容器では、いずれ
も白煙を生じた。
【００２４】実験例１の結果により、腐食性ガス吸収剤
成分は塩化水素ガスや塩素ガスに対する吸着能を有する
ことが認められ、塩化水素ガスや塩素ガスは腐食性ガス
吸収剤成分と上述の式に示す反応を起こし、腐食性ガス
吸収剤成分の中に取り込まれることが確認された。また
実験例２の結果より、このような性質を有する腐食性ガ
ス吸収剤成分を用いて腐食性ガス吸収剤を構成し、この
腐食性ガス吸収剤を容器弁内に配設することにより、容
器弁内に残留する塩化水素ガスや塩素ガスは除去される
こど確認された。即ち塩化水素ガスや塩素ガスはガス透
過性を有する包材を透過して腐食性ガス吸収剤成分と反
応し、腐食性ガス吸収剤成分に吸収されることが確認さ
れた。
成分は塩化水素ガスや塩素ガスに対する吸着能を有する
ことが認められ、塩化水素ガスや塩素ガスは腐食性ガス
吸収剤成分と上述の式に示す反応を起こし、腐食性ガス
吸収剤成分の中に取り込まれることが確認された。また
実験例２の結果より、このような性質を有する腐食性ガ
ス吸収剤成分を用いて腐食性ガス吸収剤を構成し、この
腐食性ガス吸収剤を容器弁内に配設することにより、容
器弁内に残留する塩化水素ガスや塩素ガスは除去される
こど確認された。即ち塩化水素ガスや塩素ガスはガス透
過性を有する包材を透過して腐食性ガス吸収剤成分と反
応し、腐食性ガス吸収剤成分に吸収されることが確認さ
れた。
【００２５】以上のように本実施例では、腐食性ガス吸
収剤成分をガス透過性が大きくかつ透湿度が小さい材質
からなる包材に充填して腐食性ガス吸収剤を構成し、こ
れをガスボンベ容器の容器弁のガス流出口の内部空間と
接触するように設け、ガスボンベ容器弁を構成している
ので、塩化水素ガスや塩素ガス等の腐食性ガスをガスボ
ンベ容器に充填した際に、容器弁内に塩化水素ガスや塩
素ガスが残存しても、これらのガスは包材を透過して腐
食性ガス吸収剤成分と反応し、腐食性ガス吸収剤成分に
吸収されて除去される。
収剤成分をガス透過性が大きくかつ透湿度が小さい材質
からなる包材に充填して腐食性ガス吸収剤を構成し、こ
れをガスボンベ容器の容器弁のガス流出口の内部空間と
接触するように設け、ガスボンベ容器弁を構成している
ので、塩化水素ガスや塩素ガス等の腐食性ガスをガスボ
ンベ容器に充填した際に、容器弁内に塩化水素ガスや塩
素ガスが残存しても、これらのガスは包材を透過して腐
食性ガス吸収剤成分と反応し、腐食性ガス吸収剤成分に
吸収されて除去される。
【００２６】従ってガスボンベ容器の使用時に容器弁内
の腐食性ガスが周囲に拡散することを防止でき、人体や
周辺環境に対する安全性を高めることができる。また腐
食の原因となるガス自体を除去してしまうため、容器弁
内部の腐食を防止することができる。
の腐食性ガスが周囲に拡散することを防止でき、人体や
周辺環境に対する安全性を高めることができる。また腐
食の原因となるガス自体を除去してしまうため、容器弁
内部の腐食を防止することができる。
【００２７】次に本発明の第２実施例について説明す
る。本実施例は、図３に示すように、粒状（タブレット
状を含む）に成形した腐食性ガス吸収剤６を、容器弁２
あるいは配管のガス流出口２２の内部空間内に配設する
ことにより、容器弁内あるいは配管内に残存する腐食性
ガスを除去するものである。
る。本実施例は、図３に示すように、粒状（タブレット
状を含む）に成形した腐食性ガス吸収剤６を、容器弁２
あるいは配管のガス流出口２２の内部空間内に配設する
ことにより、容器弁内あるいは配管内に残存する腐食性
ガスを除去するものである。
【００２８】本実施例の腐食性ガス吸収剤６は、上述の
第１実施例と同様の不飽和結合を有し、かつ不揮発性の
有機物質からなる固体状の腐食性ガス吸収剤成分を造粒
器を用いて、適当な大きさに造粒することにより、粒状
に成形されて構成される。
第１実施例と同様の不飽和結合を有し、かつ不揮発性の
有機物質からなる固体状の腐食性ガス吸収剤成分を造粒
器を用いて、適当な大きさに造粒することにより、粒状
に成形されて構成される。
【００２９】このように構成された腐食性ガス吸収剤６
をガス流出口２２付近の内部空間あるいは配管に配設す
ると、容器弁２内に残存する腐食性ガスは、腐食性ガス
吸収剤成分と接触して反応を起こし、腐食性ガス吸収剤
成分に吸収されて除去される。また腐食性ガス吸収剤６
は、図３ｂに示すように、アウトレットキャップ２３の
内側に、容器弁のガス流出口２２の内部空間と接触する
ように設けてもよく、この場合は、腐食性ガス吸収剤と
しての効果が得られると同時にシ−ル効果も得られ気密
性が高くなる。
をガス流出口２２付近の内部空間あるいは配管に配設す
ると、容器弁２内に残存する腐食性ガスは、腐食性ガス
吸収剤成分と接触して反応を起こし、腐食性ガス吸収剤
成分に吸収されて除去される。また腐食性ガス吸収剤６
は、図３ｂに示すように、アウトレットキャップ２３の
内側に、容器弁のガス流出口２２の内部空間と接触する
ように設けてもよく、この場合は、腐食性ガス吸収剤と
しての効果が得られると同時にシ−ル効果も得られ気密
性が高くなる。
【００３０】次に本実施例の効果を確認するために行っ
た実験例について説明する。 〈実験例３〉 （１）ポリブタジエンからなる腐食性ガス吸収剤成分を
熱で溶融し、次いで押し出し成形器を用いて直径２４ｍ
ｍ、厚さ１．５ｍｍのタブレット状に成形し、腐食性ガ
ス吸収剤を構成した。一方液化塩素を容積４７ｌガスボ
ンベ容器１０本に充填し、その容器弁のガス流出口付近
の内部空間内に腐食性ガス吸収剤を配設した後、アウト
レットキャップを取り付け２時間放置した。この後アウ
トレットキャップを取り外し、塩化水素ガスセンサーに
て容器弁内に残留する塩化水素濃度を求めた。また比較
実験として容器弁に腐食性ガス吸収剤を配設しないガス
ボンベ容器１０本を用意し、同様の実験を行った。結果
は、腐食性ガス吸収剤を配設したガスボンベ容器では、
いずれも塩化水素は検出されなかったが、腐食性ガス吸
収剤を配設したガスボンベ容器では、いずれも塩化水素
濃度が限界値である１５ｐｐｍを超えていた。 （２）（１）と同様の方法にてガスボンベ容器に液化塩
素を充填した場合についても実験を行った。なお容器弁
内に残留する塩素ガスの程度は、上述の実験例２と同様
の方法により確認した。結果は、腐食性ガス吸収剤を配
設したガスボンベ容器ではいずれも白煙は生じなかった
が、腐食性ガス吸収剤を配設しないガスボンベ容器で
は、いずれも白煙を生じた。
た実験例について説明する。 〈実験例３〉 （１）ポリブタジエンからなる腐食性ガス吸収剤成分を
熱で溶融し、次いで押し出し成形器を用いて直径２４ｍ
ｍ、厚さ１．５ｍｍのタブレット状に成形し、腐食性ガ
ス吸収剤を構成した。一方液化塩素を容積４７ｌガスボ
ンベ容器１０本に充填し、その容器弁のガス流出口付近
の内部空間内に腐食性ガス吸収剤を配設した後、アウト
レットキャップを取り付け２時間放置した。この後アウ
トレットキャップを取り外し、塩化水素ガスセンサーに
て容器弁内に残留する塩化水素濃度を求めた。また比較
実験として容器弁に腐食性ガス吸収剤を配設しないガス
ボンベ容器１０本を用意し、同様の実験を行った。結果
は、腐食性ガス吸収剤を配設したガスボンベ容器では、
いずれも塩化水素は検出されなかったが、腐食性ガス吸
収剤を配設したガスボンベ容器では、いずれも塩化水素
濃度が限界値である１５ｐｐｍを超えていた。 （２）（１）と同様の方法にてガスボンベ容器に液化塩
素を充填した場合についても実験を行った。なお容器弁
内に残留する塩素ガスの程度は、上述の実験例２と同様
の方法により確認した。結果は、腐食性ガス吸収剤を配
設したガスボンベ容器ではいずれも白煙は生じなかった
が、腐食性ガス吸収剤を配設しないガスボンベ容器で
は、いずれも白煙を生じた。
【００３１】以上の実験結果により、腐食性ガス吸収剤
成分を粒状に成形して腐食性ガス吸収剤を構成しても、
容器弁内の腐食性ガスを除去できることが確認された。
成分を粒状に成形して腐食性ガス吸収剤を構成しても、
容器弁内の腐食性ガスを除去できることが確認された。
【００３２】以上において本発明の腐食性ガス吸収剤は
塩化水素ガスや塩素ガス以外に例えばハロゲン化水素ガ
スやハロゲンガス、ＢＣｌ3 やＡｌＣｌ3 から発生する
ガス等の腐食性ガスに適用でき、またガスボンベ容器の
容器弁以外にタンクローリーやタンク車等の腐食性ガス
を封入するガス封入容器の容器弁に配設してもよいし、
配管の途中に配設してもよい。
塩化水素ガスや塩素ガス以外に例えばハロゲン化水素ガ
スやハロゲンガス、ＢＣｌ3 やＡｌＣｌ3 から発生する
ガス等の腐食性ガスに適用でき、またガスボンベ容器の
容器弁以外にタンクローリーやタンク車等の腐食性ガス
を封入するガス封入容器の容器弁に配設してもよいし、
配管の途中に配設してもよい。
【００３３】
【発明の効果】請求項１〜３記載の発明によれば、腐食
性ガスは不飽和結合を有する腐食性ガス吸収剤成分と付
加反応を起こし、この反応により腐食性ガス吸収剤に吸
収される。
性ガスは不飽和結合を有する腐食性ガス吸収剤成分と付
加反応を起こし、この反応により腐食性ガス吸収剤に吸
収される。
【００３４】また請求項４記載の発明によれば、腐食性
ガスを封入したガス封入容器の容器弁内に腐食性ガスが
残存しても、このガスは腐食性ガス吸収剤成分との反応
により腐食性ガス吸収剤に吸収されるため除去される。
従ってガス封入容器の使用時に容器弁内に残存する腐食
性ガスが拡散することにより生じる、人体や周辺環境へ
の悪影響や、腐食性ガスが原因となる容器弁内部及び配
管部の腐食を抑えることができる。
ガスを封入したガス封入容器の容器弁内に腐食性ガスが
残存しても、このガスは腐食性ガス吸収剤成分との反応
により腐食性ガス吸収剤に吸収されるため除去される。
従ってガス封入容器の使用時に容器弁内に残存する腐食
性ガスが拡散することにより生じる、人体や周辺環境へ
の悪影響や、腐食性ガスが原因となる容器弁内部及び配
管部の腐食を抑えることができる。
【図１】本発明のガス封入容器の容器弁の一例を示す断
面図である。
面図である。
【図２】腐食性ガス吸収剤成分の腐食性ガスに対する吸
着能を測定するために使用した実験装置である。
着能を測定するために使用した実験装置である。
【図３】本発明の容器弁付近の他の例を示す断面図であ
る。
る。
１ ガスボンベ容器 ２ 容器弁 ２１ 容器弁本体 ２２ ガス流出口 ２３ アウトレットキャップ ４、６ 腐食性ガス吸収剤
Claims (4)
- 【請求項１】 不飽和結合を有する有機物質からなる腐
食性ガス吸収剤成分を有効成分とする腐食性ガス吸収
剤。 - 【請求項２】 腐食性ガス吸収剤成分をガス透過度が高
くかつ透湿度が低い材質からなる包材に封入してなるこ
とを特徴とする請求項１記載の腐食性ガス吸収剤。 - 【請求項３】 腐食性ガス吸収剤成分を粒状に成形して
なることを特徴とする請求項１記載の腐食性ガス吸収剤 - 【請求項４】 腐食性ガス用ガス封入容器に用いる容器
弁において、当該容器弁のガス流出口の内部空間と接す
るように、請求項１、２または３記載の腐食性ガス吸収
剤を設けたことを特徴とするガス封入容器の容器弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6079846A JPH07256097A (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | 腐食性ガス吸収剤及びガス封入容器の容器弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6079846A JPH07256097A (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | 腐食性ガス吸収剤及びガス封入容器の容器弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07256097A true JPH07256097A (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=13701573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6079846A Pending JPH07256097A (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | 腐食性ガス吸収剤及びガス封入容器の容器弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07256097A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007069357A1 (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-21 | Tsurumi Soda Co., Ltd. | 容器弁の洗浄方法、ハロゲン系液化ガスの充填方法、高圧ガス容器の返却方法、洗浄具、洗浄剤 |
| JP2009287753A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Showa Denko Kk | 腐食性ガス充填容器用バルブ |
| JP2010242884A (ja) * | 2009-04-07 | 2010-10-28 | Tsurumi Soda Co Ltd | 容器弁の洗浄方法及び洗浄剤 |
-
1994
- 1994-03-25 JP JP6079846A patent/JPH07256097A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007069357A1 (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-21 | Tsurumi Soda Co., Ltd. | 容器弁の洗浄方法、ハロゲン系液化ガスの充填方法、高圧ガス容器の返却方法、洗浄具、洗浄剤 |
| JP2009287753A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Showa Denko Kk | 腐食性ガス充填容器用バルブ |
| JP2010242884A (ja) * | 2009-04-07 | 2010-10-28 | Tsurumi Soda Co Ltd | 容器弁の洗浄方法及び洗浄剤 |
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