JPH07256534A - ステージ装置 - Google Patents
ステージ装置Info
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- JPH07256534A JPH07256534A JP4737694A JP4737694A JPH07256534A JP H07256534 A JPH07256534 A JP H07256534A JP 4737694 A JP4737694 A JP 4737694A JP 4737694 A JP4737694 A JP 4737694A JP H07256534 A JPH07256534 A JP H07256534A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- drive screw
- drive
- viscosity
- electrorheological fluid
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Braking Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】メンテナンスの頻度を少なくするとともに、ス
テージの大型化や高精度の位置決めにも対応できるステ
ージ装置を提供する。 【構成】ステージ６と、ステージ６に固定されたナット
部５と、ベース板２に回転可能に保持され、ナット部５
に螺合してナット部５を介してステージ６を駆動する駆
動ネジ１と、駆動ネジ１に回転力を与える駆動手段３，
４と、を備えるステージ装置において、駆動ネジ１の少
なくとも一端に配設され、ステージ６移動中に、駆動ネ
ジ１に作用するダンピングを調節するダンピング量調節
手段１０を設けている。
テージの大型化や高精度の位置決めにも対応できるステ
ージ装置を提供する。 【構成】ステージ６と、ステージ６に固定されたナット
部５と、ベース板２に回転可能に保持され、ナット部５
に螺合してナット部５を介してステージ６を駆動する駆
動ネジ１と、駆動ネジ１に回転力を与える駆動手段３，
４と、を備えるステージ装置において、駆動ネジ１の少
なくとも一端に配設され、ステージ６移動中に、駆動ネ
ジ１に作用するダンピングを調節するダンピング量調節
手段１０を設けている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はステージ装置に関し、特
に、ステージの精密な位置決めが要求される半導体露光
装置や液晶表示板製造装置に用いて好適なステージ装置
に関する。
に、ステージの精密な位置決めが要求される半導体露光
装置や液晶表示板製造装置に用いて好適なステージ装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】以下、図６を用いて従来のステージ装置
の説明を行う。図６は従来のステージ装置の概要図であ
る。同図において、駆動ネジ１は、ベース板２上に設け
られた一対の取り付け板２ａ，２ｂに不図示のベアリン
グを介して回転可能で、かつ、軸方向に移動しないよう
に保持されている。
の説明を行う。図６は従来のステージ装置の概要図であ
る。同図において、駆動ネジ１は、ベース板２上に設け
られた一対の取り付け板２ａ，２ｂに不図示のベアリン
グを介して回転可能で、かつ、軸方向に移動しないよう
に保持されている。
【０００３】モータ３は、ベース板２の端部の取り付け
板２ｃに固設され、モータ３の回転軸と駆動ネジ１との
間を連結するカップリング４を介して駆動ネジ１に駆動
力（回転力）を与える。ナット部材５は、駆動ネジ１に
螺合されるとともにステージ６に固定されており、モー
タ３の駆動力によりステージ６と一体で駆動軸方向へ移
動する。
板２ｃに固設され、モータ３の回転軸と駆動ネジ１との
間を連結するカップリング４を介して駆動ネジ１に駆動
力（回転力）を与える。ナット部材５は、駆動ネジ１に
螺合されるとともにステージ６に固定されており、モー
タ３の駆動力によりステージ６と一体で駆動軸方向へ移
動する。
【０００４】なお、ナット部材５は、回転止めにより回
転しないようになっている。干渉計７は、ステージ６上
に設けられた反射鏡８からの反射光に基づいて、ステー
ジ６の位置を計測する。制御装置９は、干渉計７の計測
結果に基づいて、モータ３に印加する電流を制御するこ
とにより、ステージ６の位置決めを行っていた。
転しないようになっている。干渉計７は、ステージ６上
に設けられた反射鏡８からの反射光に基づいて、ステー
ジ６の位置を計測する。制御装置９は、干渉計７の計測
結果に基づいて、モータ３に印加する電流を制御するこ
とにより、ステージ６の位置決めを行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のステ
ージ装置では、ステージ６の精密な位置決め（１μｍ以
下）をするときに必要なダンピングを駆動ネジ１とナッ
ト部材５との螺合部分の油やグリースの粘性に依存して
いた。このため、経時変化などにより、油やグリースの
粘性が劣化してしまうと、ステージ６の精密な位置決め
ができないという問題点があった。
ージ装置では、ステージ６の精密な位置決め（１μｍ以
下）をするときに必要なダンピングを駆動ネジ１とナッ
ト部材５との螺合部分の油やグリースの粘性に依存して
いた。このため、経時変化などにより、油やグリースの
粘性が劣化してしまうと、ステージ６の精密な位置決め
ができないという問題点があった。
【０００６】また、上述の問題点を解決しようとする
と、従来のステージ装置では、駆動ネジとナット部材の
螺合部に定期的に給油して、常に一定のダンピング量を
得るようにメンテナンスをしなくてはならなかった。更
に、最近では、ステージの大型化が進むとともに、より
精密な位置決めが要求されており、前述の定期的な給油
の間隔が短くなる傾向にあり、メンテナンスを頻繁に行
わなければならないという問題点があった。
と、従来のステージ装置では、駆動ネジとナット部材の
螺合部に定期的に給油して、常に一定のダンピング量を
得るようにメンテナンスをしなくてはならなかった。更
に、最近では、ステージの大型化が進むとともに、より
精密な位置決めが要求されており、前述の定期的な給油
の間隔が短くなる傾向にあり、メンテナンスを頻繁に行
わなければならないという問題点があった。
【０００７】そこで本発明では、メンテナンス頻度を少
なくするとともに、ステージの大型化や高精度の位置決
めにも対応できるステージ装置を提供することを目的と
する。
なくするとともに、ステージの大型化や高精度の位置決
めにも対応できるステージ装置を提供することを目的と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の問題点を解決する
ために、本発明の第１実施例を示す図１と図２とに対応
付けて説明すると、請求項１記載のステージ装置は、ス
テージ（６）と、ステージ（６）に固定されたナット部
（５）と、ベース板（２）に回転可能に保持され、ナッ
ト部（５）に螺合してナット部（５）を介してステージ
（６）を駆動する駆動ネジ（１）と、駆動ネジ（１）に
回転力を与える駆動手段（３，４）と、を備えるステー
ジ装置において、駆動ネジ（１）の少なくとも一端に配
設され、ステージ（６）移動中に、駆動ネジ（１）に作
用するダンピング量を調節するダンピング量調節手段
（１０）を設けている。
ために、本発明の第１実施例を示す図１と図２とに対応
付けて説明すると、請求項１記載のステージ装置は、ス
テージ（６）と、ステージ（６）に固定されたナット部
（５）と、ベース板（２）に回転可能に保持され、ナッ
ト部（５）に螺合してナット部（５）を介してステージ
（６）を駆動する駆動ネジ（１）と、駆動ネジ（１）に
回転力を与える駆動手段（３，４）と、を備えるステー
ジ装置において、駆動ネジ（１）の少なくとも一端に配
設され、ステージ（６）移動中に、駆動ネジ（１）に作
用するダンピング量を調節するダンピング量調節手段
（１０）を設けている。
【０００９】請求項２記載のステージ装置は、ダンピン
グ量調節手段（１０）は、前記一端に配設された部材
（１０ａ）と、この部材（１０ａ）と対向し駆動軸方向
に移動可能な移動部材（１０ｂ）と、部材（１０ａ）と
移動部材（１０ｂ）の少なくとも一部とを密封するカバ
ー部（１０ｃ）と、カバー部（１０ｃ）内に満たされた
粘性流体（１０ｄ）と、ステージ（６）の減速時に移動
部材（１０ｂ）を部材（１０ａ）へ近づけて駆動ネジ
（１）に作用する粘性抵抗を大きくし、ステージ（６）
の減速時以外に移動部材（１０ｂ）を部材（１０ａ）か
ら遠ざけて駆動ネジ（１）に作用する粘性抵抗を小さく
する制御手段（９）と、を設けている。
グ量調節手段（１０）は、前記一端に配設された部材
（１０ａ）と、この部材（１０ａ）と対向し駆動軸方向
に移動可能な移動部材（１０ｂ）と、部材（１０ａ）と
移動部材（１０ｂ）の少なくとも一部とを密封するカバ
ー部（１０ｃ）と、カバー部（１０ｃ）内に満たされた
粘性流体（１０ｄ）と、ステージ（６）の減速時に移動
部材（１０ｂ）を部材（１０ａ）へ近づけて駆動ネジ
（１）に作用する粘性抵抗を大きくし、ステージ（６）
の減速時以外に移動部材（１０ｂ）を部材（１０ａ）か
ら遠ざけて駆動ネジ（１）に作用する粘性抵抗を小さく
する制御手段（９）と、を設けている。
【００１０】請求項３のステージ装置は、ダンピング量
調節手段（１０）は、前記一端に配設された部材（１０
ａ）と、この部材（１０ａ）を密封するカバー部（１０
ｃ）と、カバー部（１０ｃ）内に満たされ、印加電圧に
より粘性が変化する電気粘性流体と、ステージの減速時
に前記電気粘性流体の粘性を大きくし、ステージ（６）
の減速時以外に前記電気粘性流体の粘性を小さくする制
御手段（９）と、を備えている。
調節手段（１０）は、前記一端に配設された部材（１０
ａ）と、この部材（１０ａ）を密封するカバー部（１０
ｃ）と、カバー部（１０ｃ）内に満たされ、印加電圧に
より粘性が変化する電気粘性流体と、ステージの減速時
に前記電気粘性流体の粘性を大きくし、ステージ（６）
の減速時以外に前記電気粘性流体の粘性を小さくする制
御手段（９）と、を備えている。
【００１１】請求項４記載のステージ装置は、請求項３
記載のステージ装置において、粘性流体として印加電圧
により粘性が変化する電気粘性流体を用いている。
記載のステージ装置において、粘性流体として印加電圧
により粘性が変化する電気粘性流体を用いている。
【００１２】
【作用】請求項１記載のステージ装置は、ダンピング量
調節手段（１０）がステージ（６）の移動中に駆動ネジ
（１）に作用するダンピング量を調節するので、ステー
ジ（６）の状態に応じたダンピング量をステージ（６）
に与えることができ高精度の位置決めができる。
調節手段（１０）がステージ（６）の移動中に駆動ネジ
（１）に作用するダンピング量を調節するので、ステー
ジ（６）の状態に応じたダンピング量をステージ（６）
に与えることができ高精度の位置決めができる。
【００１３】請求項２記載のステージ装置は、制御手段
（９）がステージ（６）の減速時に移動部材（１０ｂ）
を部材（１０ａ）に近づけて駆動ネジ（１）に作用する
粘性抵抗を大きくしているので、ステージ（６）を高精
度で位置決めすることができる。更に、制御手段（９）
は、ステージ（６）の減速時以外に移動部材（１０ｂ）
を部材（１０ａ）から遠ざけて駆動ネジ（１）に作用す
る粘性抵抗を小さくしているので、ステージ（６）を高
速で移動できる。
（９）がステージ（６）の減速時に移動部材（１０ｂ）
を部材（１０ａ）に近づけて駆動ネジ（１）に作用する
粘性抵抗を大きくしているので、ステージ（６）を高精
度で位置決めすることができる。更に、制御手段（９）
は、ステージ（６）の減速時以外に移動部材（１０ｂ）
を部材（１０ａ）から遠ざけて駆動ネジ（１）に作用す
る粘性抵抗を小さくしているので、ステージ（６）を高
速で移動できる。
【００１４】請求項３記載のステージ装置は、制御手段
（９）がステージ（６）の減速時に電気粘性流体の粘性
を大きくしているので、ステージ（６）を高精度で位置
決めすることができる。更に、制御手段（９）は、ステ
ージ（６）の減速時以外に電気粘性流体の粘性を小さく
しているので、ステージ（６）を高速で移動できる。
（９）がステージ（６）の減速時に電気粘性流体の粘性
を大きくしているので、ステージ（６）を高精度で位置
決めすることができる。更に、制御手段（９）は、ステ
ージ（６）の減速時以外に電気粘性流体の粘性を小さく
しているので、ステージ（６）を高速で移動できる。
【００１５】請求項４記載のステージ装置は、移動部材
（１０ｂ）の移動と、電気粘性流体の粘性の変化とで駆
動ネジ（１）に作用する粘性抵抗を調節できるので、駆
動ネジ（１）に作用する粘性抵抗を広い範囲で設定する
ことができる。
（１０ｂ）の移動と、電気粘性流体の粘性の変化とで駆
動ネジ（１）に作用する粘性抵抗を調節できるので、駆
動ネジ（１）に作用する粘性抵抗を広い範囲で設定する
ことができる。
【００１６】
【実施例】本発明の第１実施例を図１〜図２を参照して
以下説明する。図１は本発明のステージ装置の概要図で
ある。図１において、駆動ネジ１は、ベース板２上に設
けられた一対の取り付け板２ａ，２ｂに不図示のベアリ
ングを介して回転可能で、かつ、軸方向に移動しないよ
うに保持されている。
以下説明する。図１は本発明のステージ装置の概要図で
ある。図１において、駆動ネジ１は、ベース板２上に設
けられた一対の取り付け板２ａ，２ｂに不図示のベアリ
ングを介して回転可能で、かつ、軸方向に移動しないよ
うに保持されている。
【００１７】モータ３は、ベース板２の端部の取り付け
板２ｃに固設されており、モータ３の回転軸と駆動ネジ
１との間を連結するカップリング４を介して駆動ネジ１
に駆動力（回転力）を与える。ナット部材５は、駆動ネ
ジ１に螺合されるとともにステージ６に固定されてお
り、上述の駆動力によりステージ６と一体で駆動軸方向
へ移動する。
板２ｃに固設されており、モータ３の回転軸と駆動ネジ
１との間を連結するカップリング４を介して駆動ネジ１
に駆動力（回転力）を与える。ナット部材５は、駆動ネ
ジ１に螺合されるとともにステージ６に固定されてお
り、上述の駆動力によりステージ６と一体で駆動軸方向
へ移動する。
【００１８】なお、ナット部材５は、回転止めにより回
転しないようになっている。また、本実施例において
は、駆動ネジ１とナット部材５のメネジ部分に適量のグ
リースが塗布されている。干渉計７は、ステージ６上に
設けられた反射鏡８からの反射光に基づいて、ステージ
６の位置を計測する。
転しないようになっている。また、本実施例において
は、駆動ネジ１とナット部材５のメネジ部分に適量のグ
リースが塗布されている。干渉計７は、ステージ６上に
設けられた反射鏡８からの反射光に基づいて、ステージ
６の位置を計測する。
【００１９】制御装置９は、干渉計７の計測結果に基づ
いて、モータ３に印加する電流と後述のダンピング量調
節手段１０に印加する電圧とを制御する。ダンピング量
調節手段１０は、ステージ６の移動中に、駆動ネジ１に
作用するダンピング量（減衰量）を調節するものであ
り、本第１実施例においてはカップリング４と反対側の
駆動ネジ１の一端に配設されている。
いて、モータ３に印加する電流と後述のダンピング量調
節手段１０に印加する電圧とを制御する。ダンピング量
調節手段１０は、ステージ６の移動中に、駆動ネジ１に
作用するダンピング量（減衰量）を調節するものであ
り、本第１実施例においてはカップリング４と反対側の
駆動ネジ１の一端に配設されている。
【００２０】図２は、図１のダンピング量調節手段１０
の断面を拡大して示した図である。図２において、ダン
ピング量調節手段１０は、駆動ネジ１の一端に配設され
た平面形状を有する部材１０ａと、この部材１０ａと対
向し駆動軸方向に移動可能な移動部材１０ｂと、部材１
０ａと移動部材１０ｂとの一部（後述の金属部１０
ｂ2 ）を密封するカバー部１０ｃと、カバー部１０ｃ内
に充填された粘性流体１０ｄとで構成されている。
の断面を拡大して示した図である。図２において、ダン
ピング量調節手段１０は、駆動ネジ１の一端に配設され
た平面形状を有する部材１０ａと、この部材１０ａと対
向し駆動軸方向に移動可能な移動部材１０ｂと、部材１
０ａと移動部材１０ｂとの一部（後述の金属部１０
ｂ2 ）を密封するカバー部１０ｃと、カバー部１０ｃ内
に充填された粘性流体１０ｄとで構成されている。
【００２１】なお、本第１実施例において、移動部材１
０ｂは、印加電圧によって作動するピエゾ部１０ｂ1 と
平面形状を有する金属部１０ｂ2 とから構成されてい
る。また、カバー部１０ｃは、カバー１０ｃ1 とシール
部材１０ｃ2 とから構成されており、これにより、粘性
流体１０ｄがカバー部１０ｃから漏れないようにしてい
る。
０ｂは、印加電圧によって作動するピエゾ部１０ｂ1 と
平面形状を有する金属部１０ｂ2 とから構成されてい
る。また、カバー部１０ｃは、カバー１０ｃ1 とシール
部材１０ｃ2 とから構成されており、これにより、粘性
流体１０ｄがカバー部１０ｃから漏れないようにしてい
る。
【００２２】以上のように構成されたステージの位置決
め動作について以下説明する。制御装置９は、不図示の
入力装置の入力に応じてステージ６を予定の位置に移動
させるときに、干渉計７によるステージ６の位置に基づ
いて、モータ３とダンピング量調節手段１０とを以下の
ように制御する。制御装置９は、ステージ６の移動方向
に応じた電流をモータ３に印加する。
め動作について以下説明する。制御装置９は、不図示の
入力装置の入力に応じてステージ６を予定の位置に移動
させるときに、干渉計７によるステージ６の位置に基づ
いて、モータ３とダンピング量調節手段１０とを以下の
ように制御する。制御装置９は、ステージ６の移動方向
に応じた電流をモータ３に印加する。
【００２３】更に、制御装置９は、ステージ６を高速で
移動させるために、ダンピング量調節手段１０を制御し
て、駆動ネジ１に作用するダンピングを小さくする。即
ち、制御装置９は、移動部材１０ｂが部材１０ａから離
れるように、移動部材１０ｂの，ピエゾ部１０ｂ1 に印
加する。これにより、ステージ６は、駆動ネジ１に作用
するダンピングが少なくなるので、高速に移動すること
ができる。
移動させるために、ダンピング量調節手段１０を制御し
て、駆動ネジ１に作用するダンピングを小さくする。即
ち、制御装置９は、移動部材１０ｂが部材１０ａから離
れるように、移動部材１０ｂの，ピエゾ部１０ｂ1 に印
加する。これにより、ステージ６は、駆動ネジ１に作用
するダンピングが少なくなるので、高速に移動すること
ができる。
【００２４】ついで、制御装置９は、干渉計７によるス
テージ６の位置が予定の位置に近づいてくると、モータ
３とダンピング量調節手段１０とを以下のように制御す
る。制御装置９は、モータ３の回転を止めるように制御
するとともに、ダンピング量調節手段１０を制御してス
テージ６に適当なダンピングを作用させる。制御装置９
は、ピエゾ部材１０ｂ1 が部材１０ａに近づくように、
ピエゾ部材１０ｂ1 に印加する。
テージ６の位置が予定の位置に近づいてくると、モータ
３とダンピング量調節手段１０とを以下のように制御す
る。制御装置９は、モータ３の回転を止めるように制御
するとともに、ダンピング量調節手段１０を制御してス
テージ６に適当なダンピングを作用させる。制御装置９
は、ピエゾ部材１０ｂ1 が部材１０ａに近づくように、
ピエゾ部材１０ｂ1 に印加する。
【００２５】これにより、駆動ネジ１に作用するダンピ
ングが大きくなるので、制御装置９は、駆動ネジ１とナ
ット部材６との螺合部分のグリースの粘性に依存するこ
となく、ステージ６を高精度に位置決めできる。なお、
ピエゾ部材１０ｂ1 は組み立て調整時に金属部１０ｂ2
と接触しないように調整されている。また、制御装置９
は、ステージ６の状態に応じて、ピエゾ部材１０ｂ1 に
印加する電圧を制御している。
ングが大きくなるので、制御装置９は、駆動ネジ１とナ
ット部材６との螺合部分のグリースの粘性に依存するこ
となく、ステージ６を高精度に位置決めできる。なお、
ピエゾ部材１０ｂ1 は組み立て調整時に金属部１０ｂ2
と接触しないように調整されている。また、制御装置９
は、ステージ６の状態に応じて、ピエゾ部材１０ｂ1 に
印加する電圧を制御している。
【００２６】また、上述のように、粘性流体１０ｄはカ
バー部１０ｃ内に密封されており、更に部材１０ａと移
動部材１０ｂとは非接触なので、酸化や発熱により粘性
流体１０ｄが劣化することはほとんどない。このため、
本ステージ装置では、粘性流体１０ｄの交換等のメンテ
ナンスの頻度は少なくなる。図３は、部材１０ａと移動
部材１０ｂの金属部１０ｂ2 との変形例を示す図であ
る。
バー部１０ｃ内に密封されており、更に部材１０ａと移
動部材１０ｂとは非接触なので、酸化や発熱により粘性
流体１０ｄが劣化することはほとんどない。このため、
本ステージ装置では、粘性流体１０ｄの交換等のメンテ
ナンスの頻度は少なくなる。図３は、部材１０ａと移動
部材１０ｂの金属部１０ｂ2 との変形例を示す図であ
る。
【００２７】本第１実施例では、部材１０ａと金属部１
０ｂ2 とを平面形状にしたが、図３に示すように凹凸状
の組み合わせにしてもいい。部材１０ａと金属部１０ｂ
2 とを凹凸状に組み合わせることにより、駆動ネジ１に
効率よくダンピングを与えることができる。また、部材
１０ａと金属部１０ｂ2 とは、凹凸状の組み合わせであ
れば，とちらを凹部（凸部）にしてもいい。
０ｂ2 とを平面形状にしたが、図３に示すように凹凸状
の組み合わせにしてもいい。部材１０ａと金属部１０ｂ
2 とを凹凸状に組み合わせることにより、駆動ネジ１に
効率よくダンピングを与えることができる。また、部材
１０ａと金属部１０ｂ2 とは、凹凸状の組み合わせであ
れば，とちらを凹部（凸部）にしてもいい。
【００２８】また、本実施例のダンピング量調節手段１
０は、粘性流体１０ｄとして、印加電圧により粘性が変
化する電気粘性流体を用いてもいい。この電気粘性流体
を用いる場合は、部材１０ａと金属部１０ｂ2 との少な
くとも一方とカバー１０ｃ1とに電圧を印加できるよう
に構成すればいい。そして、部材１０ａと金属部１０ｂ
2 との少なくとも一方とカバー１０ｃ1 とに印加する電
圧を調整することにより、電気粘性流体の粘性を変える
ことができる。上述のように、電気粘性流体は、印加電
圧により粘性を変えられるので、制御が簡単で応答速度
も速い。
０は、粘性流体１０ｄとして、印加電圧により粘性が変
化する電気粘性流体を用いてもいい。この電気粘性流体
を用いる場合は、部材１０ａと金属部１０ｂ2 との少な
くとも一方とカバー１０ｃ1とに電圧を印加できるよう
に構成すればいい。そして、部材１０ａと金属部１０ｂ
2 との少なくとも一方とカバー１０ｃ1 とに印加する電
圧を調整することにより、電気粘性流体の粘性を変える
ことができる。上述のように、電気粘性流体は、印加電
圧により粘性を変えられるので、制御が簡単で応答速度
も速い。
【００２９】また、本実施例のステージ装置の構成を簡
単にするために、電気粘性流体を用いる場合には、移動
部材１０ｂを省略してもいい。この場合は、カバー部１
０ｃが部材１０ａと電気粘性流体を密封するように構成
し、カバー部１０ｃと部材１０ａとに印加する電圧を調
整することにより、電気粘性流体の粘性を変えることが
できる。
単にするために、電気粘性流体を用いる場合には、移動
部材１０ｂを省略してもいい。この場合は、カバー部１
０ｃが部材１０ａと電気粘性流体を密封するように構成
し、カバー部１０ｃと部材１０ａとに印加する電圧を調
整することにより、電気粘性流体の粘性を変えることが
できる。
【００３０】図４は、本発明の第２実施例を表すステー
ジ装置の概要図である。図４において、図１のステージ
装置と同一部材には同一符号を付してその説明を省略す
る。本第２実施例では、ダンピング量調節手段１０を第
１実施例の反対側の駆動ネジ１の一端に設けている。
ジ装置の概要図である。図４において、図１のステージ
装置と同一部材には同一符号を付してその説明を省略す
る。本第２実施例では、ダンピング量調節手段１０を第
１実施例の反対側の駆動ネジ１の一端に設けている。
【００３１】図５は、図４のダンピング量調節手段１０
を拡大して示した断面図である。同図において、カップ
リング４と対向するように移動部材１０ｂを設けてい
る。また、第１実施例と同様に、カップリング４と移動
部材１０ｂの一部をカバー部１０ｃが密封し、カバー部
１０ｃ内に粘性流体１０ｄが満たされている。なお、第
２実施例では、カバー１０ｃ1 は、カバー構成部１０ｃ
11，１０ｃ12，１０ｃ13とから構成されている。
を拡大して示した断面図である。同図において、カップ
リング４と対向するように移動部材１０ｂを設けてい
る。また、第１実施例と同様に、カップリング４と移動
部材１０ｂの一部をカバー部１０ｃが密封し、カバー部
１０ｃ内に粘性流体１０ｄが満たされている。なお、第
２実施例では、カバー１０ｃ1 は、カバー構成部１０ｃ
11，１０ｃ12，１０ｃ13とから構成されている。
【００３２】本第２実施例では、第１実施例で用いた部
材１０ａの代わりにカップリング４の端面を利用して、
駆動ネジ１に作用するダンピングを調節している。ま
た、本第２実施例においても、粘性流体１０ｄとして電
気粘性流体を用いていいのは勿論である。更に、駆動ネ
ジ１の両端にダンピング量調節手段１０を設けてもい
い。
材１０ａの代わりにカップリング４の端面を利用して、
駆動ネジ１に作用するダンピングを調節している。ま
た、本第２実施例においても、粘性流体１０ｄとして電
気粘性流体を用いていいのは勿論である。更に、駆動ネ
ジ１の両端にダンピング量調節手段１０を設けてもい
い。
【００３３】
【発明の効果】以上説明してように、請求項１記載のス
テージ装置では、ダンピング量調節手段がステージの移
動中に駆動ネジに作用するダンピングを調節するので、
ステージの状態に応じたダンピングを駆動ネジに与える
ことができ高精度の位置決めができる。また、ステージ
の大型化にも十分対応できる。
テージ装置では、ダンピング量調節手段がステージの移
動中に駆動ネジに作用するダンピングを調節するので、
ステージの状態に応じたダンピングを駆動ネジに与える
ことができ高精度の位置決めができる。また、ステージ
の大型化にも十分対応できる。
【００３４】請求項２記載のステージ装置は、制御手段
がステージの減速時に移動部材を部材に近づけて駆動ネ
ジに作用する粘性抵抗を大きくしているので、ステージ
を高精度で位置決めすることができる。また、駆動ネジ
とナット部との螺合部分の油やグリースの粘性に依存す
ることなくステージを高精度で位置決めすることができ
る。
がステージの減速時に移動部材を部材に近づけて駆動ネ
ジに作用する粘性抵抗を大きくしているので、ステージ
を高精度で位置決めすることができる。また、駆動ネジ
とナット部との螺合部分の油やグリースの粘性に依存す
ることなくステージを高精度で位置決めすることができ
る。
【００３５】更に、制御手段は、ステージの減速時以外
に移動部材を部材から遠ざけて駆動ネジに作用する粘性
抵抗を小さくしているので、ステージを高速で移動でき
る。請求項３記載のステージ装置は、制御手段がステー
ジの減速時に電気粘性流体の粘性を大きくしているの
で、ステージを高精度で位置決めすることができる。更
に、制御手段は、ステージの減速時以外に電気粘性流体
の粘性を小さくしているので、ステージを高速で移動で
きる。また、印加電圧により粘性を変えられるので、制
御が簡単で応答速度も速い。更に、ダンピング量調節手
段の構成を簡略化できる。
に移動部材を部材から遠ざけて駆動ネジに作用する粘性
抵抗を小さくしているので、ステージを高速で移動でき
る。請求項３記載のステージ装置は、制御手段がステー
ジの減速時に電気粘性流体の粘性を大きくしているの
で、ステージを高精度で位置決めすることができる。更
に、制御手段は、ステージの減速時以外に電気粘性流体
の粘性を小さくしているので、ステージを高速で移動で
きる。また、印加電圧により粘性を変えられるので、制
御が簡単で応答速度も速い。更に、ダンピング量調節手
段の構成を簡略化できる。
【００３６】請求項４記載のステージ装置は、移動部材
の移動と、電気粘性流体の粘性の変化とで駆動ネジに作
用する粘性抵抗を調節できるので、駆動ネジに作用する
粘性抵抗を広い範囲で設定することができる。
の移動と、電気粘性流体の粘性の変化とで駆動ネジに作
用する粘性抵抗を調節できるので、駆動ネジに作用する
粘性抵抗を広い範囲で設定することができる。
【図１】本発明の第１実施例を示すステージ装置の概要
図である。
図である。
【図２】図１のダンピング量調節手段１０を拡大して示
した断面図である。
した断面図である。
【図３】部材１０ａと移動部材１０ｂとの変形例を示す
図である。
図である。
【図４】本発明の第２実施例を表すステージ装置の概要
図である。
図である。
【図５】図４のダンピング量調節手段１０を拡大して示
した断面図である。
した断面図である。
【図６】従来のステージ装置を示す図である。
１ 駆動ネジ ３ モータ ５ ナット部材 ６ ステージ １０ ダンピング量調節手段 １０ａ 部材 １０ｂ 移動部材 １０ｃ カバー部 １０ｄ 粘性流体
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｋ // Ｂ２３Ｑ 15/00 Ａ 15/24
Claims (4)
- 【請求項１】ステージと、 前記ステージに固定されたナット部と、 ベース板に回転可能に保持され、前記ナット部に螺合し
て前記ナット部を介して前記ステージを駆動する駆動ネ
ジと、 前記駆動ネジに回転力を与える駆動手段と、を備えるス
テージ装置において、 前記駆動ネジの少なくとも一端に配設され、前記ステー
ジ移動中に、前記駆動ネジに作用するダンピング量を調
節するダンピング量調節手段を設けたことを特徴とする
ステージ装置。 - 【請求項２】請求項１記載のステージ装置において、 前記ダンピング量調節手段は、 前記一端に配設された部材と、 この部材と対向し駆動軸方向に移動可能な移動部材と、 前記部材と前記移動部材の少なくとも一部とを密封する
カバー部と、 前記カバー部内に満たされた粘性流体と、 前記ステージの減速時に前記移動部材を前記部材へ近づ
けて前記駆動ネジに作用する粘性抵抗を大きくし、前記
ステージの減速時以外に前記移動部材を前記部材から遠
ざけて前記駆動ネジに作用する粘性抵抗を小さくする制
御手段と、からなることを特徴とするステージ装置。 - 【請求項３】請求項１記載のステージ装置において、 前記ダンピング量調節手段は、 前記一端に配設された部材と、 前記部材を密封するカバー部と、 前記カバー部内に満たされ、印加電圧により粘性が変化
する電気粘性流体と、 前記ステージの減速時に前記電気粘性流体の粘性を大き
くし、前記ステージの減速時以外に前記電気粘性流体の
粘性を小さくする制御手段と、からなることを特徴とす
るステージ装置。 - 【請求項４】請求項２記載のステージ装置において、 前記粘性流体は、印加電圧により粘性が変化する電気粘
性流体であることを特徴とするステージ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4737694A JPH07256534A (ja) | 1994-03-17 | 1994-03-17 | ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4737694A JPH07256534A (ja) | 1994-03-17 | 1994-03-17 | ステージ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07256534A true JPH07256534A (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=12773385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4737694A Pending JPH07256534A (ja) | 1994-03-17 | 1994-03-17 | ステージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07256534A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0847888A (ja) * | 1994-06-30 | 1996-02-20 | Samsung Electronics Co Ltd | ロボットの防振装置 |
| EP1398521A1 (en) * | 2002-09-10 | 2004-03-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Shock absorbing apparatus in a positioning apparatus |
| JP2011041995A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Honda Motor Co Ltd | ロボット、２足歩行ロボット及びこれらの制御方法 |
| JP2012152149A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Hitachi High-Technologies Corp | ステージ機構およびステージ機構を用いたｄｎａシーケンサ |
-
1994
- 1994-03-17 JP JP4737694A patent/JPH07256534A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0847888A (ja) * | 1994-06-30 | 1996-02-20 | Samsung Electronics Co Ltd | ロボットの防振装置 |
| EP1398521A1 (en) * | 2002-09-10 | 2004-03-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Shock absorbing apparatus in a positioning apparatus |
| US7198141B2 (en) | 2002-09-10 | 2007-04-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Shock absorbing apparatus in a positioning apparatus |
| JP2011041995A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Honda Motor Co Ltd | ロボット、２足歩行ロボット及びこれらの制御方法 |
| JP2012152149A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Hitachi High-Technologies Corp | ステージ機構およびステージ機構を用いたｄｎａシーケンサ |
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