JPH07260457A - 表面検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】被検査面からの反射光を撮像部に導き、撮像部
からの映像信号に基づいて被検査面における欠陥を検出
するにあたり、被検査面における打痕等の欠陥の正確な
検出を、容易かつ迅速に行なうことができるものとな
す。 【構成】被検査面（１１）からのその状態に応じた変化
を有する反射光と光源（１２）からの光とにより形成さ
れる干渉縞パターン像を撮像する撮像部（１７）と、撮
像部（１７）からの映像信号に基づく画像データを得る
Ａ／Ｄ変換部（２０）と、画像データにおける所定の単
位期間に相当する単位区分毎に、それがあらわす干渉縞
パターン像を形成する干渉縞の配置状態を検出する干渉
縞状態検出部（２３，３５，３８）と、それからの検出
出力に基づいて被検査面（１１）における欠陥に起因す
る干渉縞の変化を検出する欠陥検出部（２６，３７，４
０）とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、撮像手段を用いて被検
査面の表面状態に応じた変化を含む映像信号を得るとと
もに、その映像信号をディジタル的に処理することによ
り、被検査面における欠陥を検出して、それについての
データを得る表面検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】物体の表面における打痕等の欠陥を検出
する表面検査装置として、撮像手段あるいは光検出手段
を用いるものが提案されている。斯かる撮像手段あるい
は光検出手段を用いた表面検査装置は、検査すべき物体
の表面、即ち、被検査面に照明光を入射させて、被検査
面からの反射光を撮像手段あるいは光検出手段に導き、
それにより撮像手段から得られる撮像出力信号もしくは
それに基づく映像信号、あるいは、光検出手段から得ら
れる検出出力信号を処理することにより、被検査面にお
ける打痕等の欠陥を検出するものとされる。

【０００３】このような表面検査装置として、例えば、
特開昭 62-233710号公報には、光源からの光としてのレ
ーザスリット光が用いられるもとで、被検査面における
レーザスリット光による照明がなされた細線状部分から
の反射光がラインセンサにより検出されて、それにより
ラインセンサから得られる検出出力信号についての包絡
線波形信号が欠陥検出用信号として形成され、その欠陥
検出用信号におけるレベル変化に基づいて、被検査面に
おけるレーザスリット光による照明がなされた細線状部
分における欠陥が検知されるものとされた表面検査装置
が記載されている。そして、斯かる装置において行なわ
れる、欠陥検出用信号のレベル変化に基づく被検査面に
おける欠陥の検出は、包絡線波形信号である欠陥検出用
信号が、それが積分されて平均化されたレベルを有する
ものとされる比較基準信号とレベル比較され、欠陥検出
用信号にそのレベルが比較基準信号のレベルより低くな
る低レベル部分があるとき、その欠陥検出用信号の低レ
ベル部分に対応する、被検査面におけるレーザスリット
光による照明がなされた細線状部分における位置が欠陥
部位とされることによりなされる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述の如くの従来提案
されている撮像手段あるいは光検出手段を用いる表面検
査装置にあっては、撮像手段から得られる撮像出力信号
もしくはそれに基づく映像信号、あるいは、光検出手段
から得られる検出出力信号に基づいての被検査面上の欠
陥の検出に際して行なわれる、撮像手段からの撮像出力
信号もしくはそれに基づく映像信号、あるいは、光検出
手段からの検出出力信号に基づいて形成される欠陥検出
用信号と比較基準信号とのレベル比較にあたっての比較
基準信号のレベル設定が、大変に難しいものとされる。
即ち、比較基準信号についてのレベル設定の仕方によ
り、実際には欠陥に対応しない欠陥検出用信号のレベル
が、欠陥に対応するレベルとして検出されてしまう事
態、あるいは、実際には欠陥に対応する欠陥検出用信号
のレベルが、欠陥に対応するレベルとして検出されない
事態が、容易にまねかれることになり、欠陥検出用信号
における欠陥に対応するレベルだけを漏れなく検出する
ようになす比較基準信号のレベル設定は、極めて困難と
されるのである。換言すれば、このようなもとで行なわ
れる被検査面上の欠陥の検出には、正確さが欠けること
になってしまう。

【０００５】斯かる点に鑑み、本発明は、被検査面に光
を入射させて、被検査面において反射した光が撮像手段
に導かれるようになし、それにより撮像手段から得られ
る撮像出力信号もしくはそれに基づく映像信号を処理し
て、被検査面における欠陥を検出するにあたり、被検査
面における打痕等の欠陥の正確な検出を、容易かつ迅速
に行なうことができるものとされる表面検査装置を提供
することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成すべ
く、本発明に係る表面検査装置は、光源からの光が被検
査面において反射して得られるその被検査面の状態に応
じた変化を有する反射光と光源からの光とにより形成さ
れる、被検査面の状態に応じた変化を伴う干渉縞パター
ン像を撮像し、干渉縞パターン像をあらわす映像信号を
送出する撮像部と、撮像部から得られる映像信号に基づ
く画像データを得るデータ形成部とに加えて、データ形
成部から得られる画像データにおける、映像信号におけ
る所定の単位期間に相当する単位区分毎に、その単位区
分があらわす干渉縞パターン像を形成する干渉縞の配置
状態を検出する干渉縞状態検出部と、干渉縞状態検出部
から得られる検出出力に基づいて、被検査面における欠
陥に起因する干渉縞の配置状態における変化を検出する
欠陥検出部と、欠陥検出部から得られる検出出力に基づ
いて、欠陥検出部により検出された干渉縞の配置状態に
おける変化を生じさせた欠陥についての情報をあらわす
欠陥データを得る欠陥データ形成部とを備えるものとさ
れて構成される。

【０００７】そして、干渉縞状態検出部は、例えば、画
像データにおける単位区分毎に、それがあらわす干渉縞
パターン像を形成する干渉縞について、その間隔を検出
するもの，その配列方向における所定の単位範囲内毎の
数を検出するもの、あるいは、その空間周波数解析を行
なうものとされ、それに対応して、欠陥検出部が、干渉
縞状態検出部から得られる検出出力に基づいて、被検査
面における欠陥に起因する干渉縞の間隔の変化，被検査
面における欠陥に起因する所定の単位範囲内毎の干渉縞
の数の変化、あるいは、被検査面における欠陥に起因す
る干渉縞についての空間周波数の変化を検出するものと
される。

【０００８】

【作用】上述の如くに構成される本発明に係る表面検査
装置にあっては、撮像部によって撮像される干渉縞パタ
ーン像が、被検査面に実質的に欠陥がない状態のもとに
あっては、全体に亙って略一定の間隔を有した干渉縞が
規則正しく配列されて成るものとされ、一方、被検査面
に欠陥がある状態のもとにあっては、被検査面における
欠陥に対応する部分に、他の部分に比して間隔が狭くか
つ不揃いで、数が多数とされる干渉縞が形成されてなる
ものとされる。そして、撮像部から得られる映像信号
は、干渉縞パターン像を、例えば、各干渉縞を低レベル
部（低輝度部）をもって、また、干渉縞の間の部分を高
レベル部（高輝度部）をもってあらわすものとされ、デ
ータ形成部から得られる映像信号に基づく画像データ
は、映像信号の低レベル部及び高レベル部に夫々対応す
る、干渉縞をあらわすデータ部分及び干渉縞の間の部分
をあらわすデータ部分を有するデータとされる。

【０００９】このようなもとで、干渉縞状態検出部は、
例えば、映像信号における各水平期間に相当するものと
される画像データの単位区分毎に、例えば、それが含む
干渉縞をあらわすデータ部分についての、出現間隔もし
くは予め設定された単位時間当たりの出現数の検出、あ
るいは、出現間隔空間周波数の解析を行なう。斯かる出
現間隔もしくは予め設定された単位時間当たりの出現数
の検出、あるいは、出現間隔空間周波数の解析は、夫
々、干渉縞についての間隔もしくはその配列方向におけ
る所定の単位範囲内毎の数の検出、あるいは、干渉縞に
ついての空間周波数解析に対応する。

【００１０】そして、干渉縞状態検出部が干渉縞につい
ての間隔を検出するものとされるとき、欠陥検出部は、
干渉縞状態検出部によって検出された干渉縞の間隔につ
いて、例えば、その最大値の略１／２未満となるものを
欠陥間隔として検出し、画像データの各単位区分におけ
る欠陥間隔を有する干渉縞をあらわすデータ部分、従っ
て、それに対応する映像信号の各水平期間中における欠
陥間隔を有する干渉縞をあらわす低レベル部を含む部分
を欠陥部分として特定する。それにより、撮像部によっ
て撮像される干渉縞パターン像中における、映像信号の
各水平期間中における欠陥部分に対応する部分が欠陥と
して特定されることになり、被検査面における欠陥の位
置と大きさとが検出されることになる。

【００１１】また、干渉縞状態検出部が干渉縞について
のその配列方向における所定の単位範囲内毎の数を検出
するものとされるとき、欠陥検出部は、干渉縞状態検出
部によって検出された干渉縞のその配列方向における所
定の単位範囲内毎の数について、所定値を越えるものを
欠陥数として検出し、画像データの各単位区分における
欠陥数をもって配された干渉縞をあらわすデータ部分、
従って、それに対応する映像信号の各水平期間中におけ
る欠陥数をもって配された干渉縞をあらわす低レベル部
を含む部分を欠陥部分として特定する。それにより、撮
像部によって撮像される干渉縞パターン像中における、
映像信号の各水平期間中における欠陥部分に対応する部
分が欠陥として特定されることになり、被検査面におけ
る欠陥の位置と大きさとが検出されることになる。

【００１２】さらに、干渉縞状態検出部が干渉縞につい
ての空間周波数解析を行なうものとされるとき、欠陥検
出部は、干渉縞状態検出部によって解析された空間周波
数について、所定値を越えるものを欠陥空間周波数とし
て検出し、画像データの各単位区分における欠陥空間周
波数をもって配された干渉縞をあらわすデータ部分、従
って、それに対応する映像信号の各水平期間中における
欠陥空間周波数をもって配された干渉縞をあらわす低レ
ベル部を含む部分を欠陥部分として特定する。それによ
り、撮像部によって撮像される干渉縞パターン像中にお
ける、映像信号の各水平期間中における欠陥部分に対応
する部分が欠陥として特定されることになり、被検査面
における欠陥の位置と大きさとが検出されることにな
る。

【００１３】そして、欠陥データ形成部は、欠陥検出部
により検出された、被検査面における欠陥の位置，大き
さ等をあらわすデータを欠陥データとして形成する。

【００１４】その結果、本発明に係る表面検査装置にお
いては、被検査面における打痕等の欠陥の正確な検出
が、前述の如くに難しいものとされる欠陥検出用信号に
対する比較基準信号のレベル設定等が要されることな
く、容易かつ迅速に行なわれることになる。

【００１５】

【実施例】図１は、本発明に係る表面検査装置の第１の
例を示す。図１においては、表面状態が検査される被検
査面１１に対する干渉縞パターン形成部が設けられてお
り、この干渉縞パターン形成部は、例えば、ハロゲンラ
ンプを内蔵し、ハロゲンランプからの光を光束をなすも
のとして発する光源１２と、光源１２からの光のうちの
特定の波長域のものを通過させる分光フィルタ１３と、
分光フィルタ１３を通過した光源１２からの光１４が入
射せしめられるハーフミラー部１５とを含んで構成され
ている。

【００１６】この干渉縞パターン形成部にあっては、分
光フィルタ１３を通過した光源１２からの光１４の一部
が、ハーフミラー部１５において、例えば、その光軸方
向が９０度変化せしめられるように反射して被検査面１
１に入射し、被検査面１１において反射する。このよう
にして得られる被検査面１１からの反射光１４’は、被
検査面１１の表面状態に応じた位相変化，強度変化等を
有することになる。そして、被検査面１１からの反射光
１４’は、ハーフミラー部１５に入射する。

【００１７】従って、ハーフミラー部１５には、分光フ
ィルタ１３を通過した光源１２からの光１４と被検査面
１１からの反射光１４’とが入射することになり、夫々
は、実質的に同一の光源から発した光が２分割され、各
々が相互に異なった光路を経て再び重なるものであるの
で、両者は各々の光路差に起因する干渉を生じ、ハーフ
ミラー部１５の位置に干渉縞パターン像が形成される。
斯かる干渉縞パターン像は、被検査面１１からの反射光
１４’における被検査面１１の表面状態に応じた位相変
化，強度変化等の影響を受けるものとなり、例えば、被
検査面１１におけるハーフミラー部１５で反射した光１
４が入射する部分の表面状態が実質的に傷等の欠陥がな
い状態とされている場合には、図４に示される如くの、
略一定の幅Ｗ及び間隔Ｔを有した多数の干渉縞が規則的
に配されて成るものとされ、それに対して、被検査面１
１におけるハーフミラー部１５で反射した光１４が入射
する部分の表面状態が打痕等の欠陥がある状態とされて
いる場合には、図５に示される如くの、多数の干渉縞
が、その打痕等の欠陥に対応する部分において、他の部
分に比して小なる幅Ｗ及び間隔Ｔを有し、かつ、数が増
加するものとして配されて成るものとされる。

【００１８】ハーフミラー部１５に関して被検査面１１
とは反対側となる位置に、分光フィルタ１６と撮像部１
７とが配されている。分光フィルタ１６は、分光フィル
タ１３と同様な特定の波長域の光を通過させるものとさ
れ、また、撮像部１７は、例えば、多数の微小な光電変
換領域が行列配置されるとともに、外部から入射する光
に基づいて各光電変換領域に得られる信号電荷を所定の
態様をもって転送するチャージ・カップルド・ディバイ
ス（ＣＣＤ）により形成された電荷転送部が設けられた
受光・光電変換面を備える固体撮像部、及び、固体撮像
部から得られる撮像出力信号に基づく映像信号を得る映
像信号形成部を含んで構成される。そして、撮像部１７
には、ハーフミラー部１５を透過した光が分光フィルタ
１６を通じて入射し、撮像部１７によってハーフミラー
部１５の位置に形成された干渉縞パターン像についての
撮像が行なわれる。このようにして、撮像部１７によっ
て撮像される撮像干渉縞パターン像は、撮像部１７の受
光・光電変換面に対応した矩形内におさめられる図４も
しくは図５に示される如くのものとされ、斯かる撮像干
渉縞パターン像に対応する被検査面１１上の領域が検査
領域１１Ｔとされる。

【００１９】撮像部１７からは、図４もしくは図５に示
される如くの撮像干渉縞パターン像に応じた映像信号Ｓ
Ｖが、例えば、撮像部１７における各撮像画面分（多数
のライン期間（水平期間）分を含む１フレーム期間分）
を単位として得られ、その映像信号ＳＶが、出力端子１
８を通じてアナログ−ディジタル変換部（Ａ／Ｄ変換
部）２０に供給される。Ａ／Ｄ変換部２０においては、
撮像部１７から１フレーム期間分を単位として順次到来
する映像信号ＳＶに基づいて、撮像干渉縞パターン像を
輝度レベルをもってあらわす画像データＤＸが形成さ
れ、その画像データＤＸが、映像信号ＳＶの１フレーム
期間分に対応する分ずつ、フレームメモリ部２１に格納
される。画像データＤＸのフレームメモリ部２１への格
納は、メモリ制御部２２からフレームメモリ部２１に供
給される書込制御信号ＣＷ１に従って行なわれる。

【００２０】フレームメモリ部２１に格納された、映像
信号ＳＶの１フレーム期間分に対応する画像データＤＸ
は、メモリ制御部２２からフレームメモリ部２１に供給
される読出制御信号ＣＲ１に従って、例えば、映像信号
ＳＶの各ライン期間分ずつ適宜読み出され、順次読み出
される映像信号ＳＶの各ライン期間分の画像データＤＰ
の夫々が区分画像データＤＸＰとされて干渉縞間隔検出
部２３に供給される。そして、干渉縞間隔検出部２３に
おいては、フレームメモリ部２１からの各区分画像デー
タＤＸＰがあらわす撮像干渉縞パターン像を形成する干
渉縞の間隔Ｔが順次検出される。

【００２１】被検査面１１上の検査領域１１Ｔの表面状
態が実質的に傷等の欠陥がない状態とされている場合に
は、撮像干渉縞パターン像は、図４に示される如くの、
一端部Ｐから検査領域１１ＴにおけるＺ方向に対応する
ＺＩ方向に沿って他端部Ｑに向かう方向に、多数の干渉
縞が略一定の幅Ｗ及び間隔Ｔを有して規則的に配されて
成るものとされる。従って、撮像干渉縞パターン像上の
ライン方向に沿う線Ｈａに対応する映像信号ＳＶの１ラ
イン期間分に基づいて得られる区分画像データＤＸＰ
は、撮像干渉縞パターン像を形成する干渉縞を略一定の
幅Ｗ及び間隔Ｔを有するものとしてあらわすことにな
る。

【００２２】それゆえ、斯かるもとで干渉縞間隔検出部
２３において検出される干渉縞の間隔Ｔは、略一定のも
のとされ、図４に示される如くの撮像干渉縞パターン像
における一端部ＰからＺＩ方向に沿って他端部Ｑに向か
う向きに計測される距離Ｄが横軸にとられ、干渉縞の間
隔Ｔがとられてあらわされる図６のグラフにおいて、実
質的に横軸に平行な直線ＴＡによりあらわされる間隔Ｔ
ａとされる。

【００２３】それに対して、被検査面１１上の検査領域
１１Ｔの表面状態が打痕等の欠陥がある状態とされてい
る場合には、撮像干渉縞パターン像は、図５に示される
如くの、一端部ＰからＺＩ方向に沿って他端部Ｑに向か
う方向に、多数の干渉縞が、打痕等の欠陥に対応する部
分において、他の部分に比して小なる幅Ｗ及び間隔Ｔを
有し、かつ、数が増加するものとして配されて成るもの
とされる。従って、撮像干渉縞パターン像上の欠陥に対
応する部分を通るライン方向に沿う線Ｈｂに対応する映
像信号ＳＶの１ライン期間分に基づいて得られる区分画
像データＤＸＰは、撮像干渉縞パターン像を形成する干
渉縞を、検査領域１１Ｔの表面における欠陥に対応する
部分において、他の部分に比して小なる幅Ｗ及び間隔Ｔ
を有し、かつ、数が増加するものとしてあらわすことに
なる。

【００２４】それゆえ、斯かるもとで干渉縞間隔検出部
２３において検出される干渉縞の間隔Ｔは、検査領域１
１Ｔの表面における欠陥に対応して、欠陥に対応しない
値に比して小なる値をとるものとされ、図５に示される
如くの撮像干渉縞パターン像における一端部ＰからＺＩ
方向に沿って他端部Ｑに向かう向きに計測される距離Ｄ
が横軸にとられ、干渉縞の間隔Ｔがとられてあらわされ
る図７のグラフにおいて、実質的に折線ＴＢによりあら
わされる、間隔Ｔａ及びそれより小なるものとなるよう
に変化した間隔となる。

【００２５】干渉縞間隔検出部２３からは、上述の如く
にして、被検査面１１上の検査領域１１Ｔの表面状態が
実質的に傷等の欠陥がない状態、もしくは、被検査面１
１上の検査領域１１Ｔの表面状態が打痕等の欠陥がある
状態のもとで、映像信号ＳＶの１ライン期間分に基づい
て得られる区分画像データＤＸＰ毎に検出される、干渉
縞の間隔Ｔをあらわす間隔検出出力データＤＴが得ら
れ、その間隔検出出力データＤＴがデータメモリ部２４
に格納される。間隔検出出力データＤＴのデータメモリ
部２４への格納は、メモリ制御部２５からデータメモリ
部２４に供給される書込制御信号ＣＷ２に従って行なわ
れる。

【００２６】データメモリ部２４に格納された間隔検出
出力データＤＴは、メモリ制御部２５からデータメモリ
部２４に供給される読出制御信号ＣＲ２に従って、例え
ば、各区分画像データＤＸＰに対応する分ずつ、即ち、
映像信号ＳＶの各ライン期間に相当する分ずつ順次読み
出され、順次読み出される各区分画像データＤＸＰに対
応する分の間隔検出出力データＤＴが、欠陥検出部２６
に供給される。読出制御信号ＣＲ２は、データメモリ部
２４に格納された間隔検出出力データＤＴが各区分画像
データＤＸＰに対応する分ずつ順次読み出されるように
なすものであるので、図４あるいは図５に示される撮像
干渉縞パターン像上のＺＩ方向における距離Ｄをとる各
位置に対応するものとされることになる。

【００２７】欠陥検出部２６は、各区分画像データＤＸ
Ｐに対応する分の間隔検出出力データＤＴがあらわす干
渉縞の間隔Ｔのうちの、検査領域１１Ｔの表面における
欠陥に対応するものを検出する。そのため、欠陥検出部
２６にあっては、検査領域１１Ｔの表面状態が実質的に
傷等の欠陥がない状態のもとで干渉縞間隔検出部２３に
より検出される干渉縞の間隔Ｔ（Ｔａ）の略１／２程度
とされる所定の基準間隔Ｔｒが設定されて、各区分画像
データＤＸＰに対応する分の間隔検出出力データＤＴが
あらわす干渉縞の間隔Ｔが基準間隔Ｔｒと比較され、間
隔検出出力データＤＴがあらわす干渉縞の間隔Ｔが基準
間隔Ｔｒ以下であるとき、そのときの間隔検出出力デー
タＤＴがあらわす干渉縞の間隔Ｔが、検査領域１１Ｔの
表面における欠陥に対応するものとされる。

【００２８】検査領域１１Ｔの表面状態が実質的に傷等
の欠陥がない状態とされている場合には、図６のグラフ
に示される如くに、干渉縞間隔検出部２３において検出
される干渉縞の間隔Ｔ（直線ＴＡによりあらわされる間
隔Ｔａ）が常時基準間隔Ｔｒを越えるものとされるの
で、欠陥検出部２６において、検査領域１１Ｔの表面に
おける欠陥に対応する干渉縞の間隔Ｔは検出されない。
それに対して、検査領域１１Ｔの表面状態が打痕等の欠
陥がある状態とされている場合には、図７のグラフに示
される如くに、干渉縞間隔検出部２３において検出され
る干渉縞の間隔Ｔ（折線ＴＢによりあらわされる）が、
基準間隔Ｔｒ以下となる変化部分（距離ＤがＤ１からＤ
２までの部分ＰＤＤ）を含むものとなり、欠陥検出部２
６において、その基準間隔Ｔｒ以下となる変化部分が欠
陥に対応する干渉縞の間隔Ｔとして検出される。

【００２９】欠陥検出部２６からは、欠陥に対応する干
渉縞の間隔Ｔが検出されたとき、それに応じた欠陥間隔
データＤＴＤが送出されて、欠陥位置検出部２７及び欠
陥グレード判定部２８に供給される。欠陥位置検出部２
７には、メモリ制御部２５からの読出制御信号ＣＲ２も
供給され、欠陥位置検出部２７においては、欠陥検出部
２６からの欠陥間隔データＤＴＤの供給に応じて、その
ときにおけるメモリ制御部２５からの読出制御信号ＣＲ
２が取り込まれ、取り込まれた読出制御信号ＣＲ２に対
応する、図５に示される撮像干渉縞パターン像上のＺＩ
方向における距離Ｄをとる位置、即ち、図７のグラフに
示される部分ＰＤＤの位置が検出される。従って、欠陥
間隔データＤＴＤがあらわす欠陥に対応する干渉縞の間
隔Ｔに対応する、図５に示される撮像干渉縞パターン像
上の位置が検出されるのであり、斯かる位置は検査領域
１１Ｔの表面における欠陥の位置に対応する。そして、
欠陥位置検出部２７から、図５に示される撮像干渉縞パ
ターン像上における干渉縞の間隔Ｔが欠陥に対応するも
のとなる位置、従って、検査領域１１Ｔの表面における
欠陥の位置をあらわす欠陥位置データＤＤＳが得られ
て、欠陥データ形成部２９に供給される。

【００３０】また、欠陥グレード判定部２８にあって
は、欠陥検出部２６からの欠陥間隔データＤＴＤに基づ
き、欠陥間隔データＤＴＤがあらわす欠陥に対応する干
渉縞の間隔Ｔに対応する、図５に示される撮像干渉縞パ
ターン像上の部分の規模が判定され、斯かる規模は検査
領域１１Ｔの表面における欠陥の規模に対応する。そし
て、欠陥グレード判定部２８から、図５に示される撮像
干渉縞パターン像上における干渉縞の間隔Ｔが欠陥に対
応するものとなる部分の規模、従って、検査領域１１Ｔ
の表面における欠陥の規模をあらわす欠陥グレードデー
タＤＤＧが得られて、欠陥データ形成部２９に供給され
る。

【００３１】欠陥データ形成部２９においては、欠陥位
置検出部２７からの欠陥位置データＤＤＳ及び欠陥グレ
ード判定部２８からの欠陥グレードデータＤＤＧに基づ
き、欠陥位置データＤＤＳ及び欠陥グレードデータＤＤ
Ｇの夫々の内容についての情報を含んだ欠陥データＤＤ
が形成され、その欠陥データＤＤがデータメモリ部３０
に格納される。欠陥データＤＤのデータメモリ部３０へ
の格納は、メモリ制御部３１から欠陥データメモリ部３
０に供給される書込制御信号ＣＷ３に従って行なわれ
る。そして、欠陥データメモリ部３０に格納された欠陥
データＤＤは、メモリ制御部３１から欠陥データメモリ
部３０に供給される読出制御信号ＣＲ３に従って適宜読
み出され、欠陥データ出力端子３２を通じて送出され
る。

【００３２】上述の如くの動作を行なう撮像部１７，メ
モリ制御部２２，２５及び３１は、それらに対して設け
られた制御ユニット３３からの動作制御信号ＣＩ，ＣＭ
１，ＣＭ２及びＣＭ３が夫々供給されて、相互間の動作
タイミングの制御等が制御ユニット３３により総合的に
行なわれるものとされている。

【００３３】図２は、本発明に係る表面検査装置の第２
の例を示す。この第２の例は、図１に示される第１の例
における干渉縞間隔検出部２３，データメモリ部２４及
び欠陥検出部２６に代えて、干渉縞数検出部３５，デー
タメモリ部３６及び欠陥検出部３７が夫々設けられたも
のに相当し、干渉縞数検出部３５，データメモリ部３６
及び欠陥検出部３７以外の主要部分については、図１に
示される第１の例と同様に構成されている。そして、図
２において、図１に示される各構成要素，データ，信号
等に夫々対応する構成要素，データ，信号等は、図１と
共通の符号が付されて示されており、それらについての
重複説明は省略される。

【００３４】図２に示される第２の例にあっては、干渉
縞数検出部３５に、フレームメモリ部２１から読み出さ
れる、映像信号ＳＶの各ライン期間分に対応する区分画
像データＤＸＰが順次供給される。そして、干渉縞数検
出部３５においては、各区分画像データＤＸＰがあらわ
す撮像干渉縞パターン像を形成する干渉縞についての、
それらの配列方向における所定の単位範囲内毎の数が検
出される。そして、干渉縞数検出部３５において設定さ
れる所定の単位範囲は、図４もしくは図５に示される如
くの撮像干渉縞パターン像において、その一端部Ｐから
ＺＩ方向に沿って他端部Ｑに向かう向きに、所定の等間
隔をおいて多数のサンプル点が配され、これら多数のサ
ンプル点（端部Ｐ及びＱの極近傍におけるものを除く）
の夫々について、各サンプル点がＺＩ方向の中央位置と
なるようにＺＩ方向に広がる比較的小なる領域が設定さ
れることにより成るものとされる。

【００３５】被検査面１１上の検査領域１１Ｔの表面状
態が実質的に傷等の欠陥がない状態とされている場合に
は、撮像干渉縞パターン像は、図４に示される如くの、
一端部Ｐから検査領域１１ＴにおけるＺ方向に対応する
ＺＩ方向に沿って他端部Ｑに向かう方向に、多数の干渉
縞が略一定の幅Ｗ及び間隔Ｔを有して規則的に配されて
成るものとされる。従って、撮像干渉縞パターン像上の
ライン方向に沿う線Ｈａに対応する映像信号ＳＶの１ラ
イン期間分に基づいて得られる区分画像データＤＸＰ
は、撮像干渉縞パターン像を形成する干渉縞を略一定の
間隔Ｗ及び間隔Ｔを有するものとしてあらわすことにな
る。

【００３６】それゆえ、干渉縞数検出部３５において検
出される、干渉縞についてのそれらの配列方向における
所定の単位範囲内毎の数Ｎ（以下、干渉縞数Ｎという）
は、図４もしくは図５に示される如くの撮像干渉縞パタ
ーン像における端部Ｐ及びＱの極近傍に対応するものを
除いて、略一定のものとされ、図４に示される如くの撮
像干渉縞パターン像における一端部ＰからＺＩ方向に沿
って他端部Ｑに向かう向きに計測される距離Ｄが横軸に
とられ、干渉縞数Ｎがとられてあらわされる図８のグラ
フにおいて、実質的に横軸に平行な直線ＮＡによりあら
わされる数Ｎａとされる。

【００３７】それに対して、被検査面１１上の検査領域
１１Ｔの表面状態が打痕等の欠陥がある状態とされてい
る場合には、撮像干渉縞パターン像は、図５に示される
如くの、一端部ＰからＺＩ方向に沿って他端部Ｑに向か
う方向に、多数の干渉縞が、打痕等の欠陥に対応する部
分において、他の部分に比して小なる幅Ｗ及び間隔Ｔを
有し、かつ、数が増加するものとして配されて成るもの
とされる。従って、撮像干渉縞パターン像上の欠陥に対
応する部分を通るライン方向に沿う線Ｈｂに対応する映
像信号ＳＶの１ライン期間分に基づいて得られる区分画
像データＤＸＰは、撮像干渉縞パターン像を形成する干
渉縞を、検査領域１１Ｔの表面における欠陥に対応する
部分において、他の部分に比して小なる幅Ｗ及び間隔Ｔ
を有し、かつ、数が増加するものとしてあらわすことに
なる。

【００３８】それゆえ、斯かるもとで干渉縞数検出部３
５において検出される干渉縞数Ｎは、検査領域１１Ｔの
表面における欠陥に対応して、欠陥に対応しない値に比
して大なる値をとるものとされ、図５に示される如くの
撮像干渉縞パターン像における一端部ＰからＺＩ方向に
沿って他端部Ｑに向かう向きに計測される距離Ｄが横軸
にとられ、干渉縞数Ｎがとられてあらわされる図９のグ
ラフにおいて、実質的に折線ＮＢによりあらわされる、
数Ｎａ及びそれより大なるものとなるように変化した数
となる。

【００３９】干渉縞数検出部３５からは、上述の如くに
して、被検査面１１上の検査領域１１Ｔの表面状態が実
質的に傷等の欠陥がない状態、もしくは、被検査面１１
上の検査領域１１Ｔの表面状態が打痕等の欠陥がある状
態のもとで、映像信号ＳＶの１ライン期間分に基づいて
得られる区分画像データＤＸＰ毎に検出される、干渉縞
数Ｎをあらわす干渉縞数検出出力データＤＮが得られ、
その干渉縞数検出出力データＤＮがデータメモリ部３６
に格納される。干渉縞数検出出力データＤＮのデータメ
モリ部３６への格納は、メモリ制御部２５からデータメ
モリ部３６に供給される書込制御信号ＣＷ２に従って行
なわれる。

【００４０】データメモリ部３６に格納された干渉縞数
検出出力データＤＮは、メモリ制御部２５からデータメ
モリ部３６に供給される読出制御信号ＣＲ２に従って、
例えば、各区分画像データＤＸＰに対応する分ずつ、即
ち、映像信号ＳＶの各ライン期間に相当する分ずつ順次
読み出され、順次読み出される各区分画像データＤＸＰ
に対応する分の干渉縞数検出出力データＤＮが、欠陥検
出部３７に供給される。読出制御信号ＣＲ２は、データ
メモリ部３６に格納された干渉縞数検出出力データＤＮ
が各区分画像データＤＸＰに対応する分ずつ順次読み出
されるようになすものであるので、図４あるいは図５に
示される撮像干渉縞パターン像上のＺＩ方向における距
離Ｄをとる各位置に対応するものとされることになる。

【００４１】欠陥検出部３７は、各区分画像データＤＸ
Ｐに対応する分の干渉縞数検出出力データＤＮがあらわ
す干渉縞数Ｎのうちの、検査領域１１Ｔの表面における
欠陥に対応するものを検出する。そのため、欠陥検出部
３７にあっては、検査領域１１Ｔの表面状態が実質的に
傷等の欠陥がない状態のもとで干渉縞数検出部３５によ
り検出される干渉縞数Ｎ（Ｎａ）の略２倍程度とされる
所定の基準干渉縞数Ｎｒが設定されて、各区分画像デー
タＤＸＰに対応する分の干渉縞数検出出力データＤＮが
あらわす干渉縞数Ｎが基準干渉縞数Ｎｒと比較され、干
渉縞数検出出力データＤＮがあらわす干渉縞数Ｎが基準
干渉縞数Ｎｒ以上であるとき、そのときの干渉縞数検出
出力データＤＮがあらわす干渉縞数Ｎが、検査領域１１
Ｔの表面における欠陥に対応するものとされる。

【００４２】検査領域１１Ｔの表面状態が実質的に傷等
の欠陥がない状態とされている場合には、図８のグラフ
に示される如くに、干渉縞数検出部３５において検出さ
れる干渉縞数Ｎ（直線ＮＡによりあらわされる干渉縞数
Ｎａ）が常時基準干渉縞数Ｎｒ未満のものとされるの
で、欠陥検出部３７において、検査領域１１Ｔの表面に
おける欠陥に対応する干渉縞数Ｎは検出されない。それ
に対して、検査領域１１Ｔの表面状態が打痕等の欠陥が
ある状態とされている場合には、図９のグラフに示され
る如くに、干渉縞数検出部３５において検出される干渉
縞数Ｎ（折線ＮＢによりあらわされる）が、基準干渉縞
数Ｎｒ以上となる変化部分（距離ＤがＤ１’からＤ２’
までの部分ＰＤＤ’）を含むものとなり、欠陥検出部３
７において、その基準干渉縞数Ｎｒ以上となる変化部分
が欠陥に対応する干渉縞数Ｎとして検出される。

【００４３】欠陥検出部３７からは、欠陥に対応する干
渉縞数Ｎが検出されたとき、それに応じた欠陥干渉縞数
データＤＮＤが送出されて、欠陥位置検出部２７及び欠
陥グレード判定部２８に供給される。欠陥位置検出部２
７及び欠陥グレード判定部２８においては、図１に示さ
れる第１の例の欠陥位置検出部２７及び欠陥グレード判
定部２８において、欠陥検出部２６からの欠陥間隔デー
タＤＴＤに基づき、検査領域１１Ｔの表面における欠陥
の位置をあらわす欠陥位置データＤＤＳ及び検査領域１
１Ｔの表面における欠陥の規模をあらわす欠陥グレード
データＤＤＧが夫々得られるのと同様にして、欠陥検出
部３７からの欠陥干渉縞数データＤＮＤに基づき、検査
領域１１Ｔの表面における欠陥の位置をあらわす欠陥位
置データＤＤＳ及び検査領域１１Ｔの表面における欠陥
の規模をあらわす欠陥グレードデータＤＤＧが夫々得ら
れる。そして、欠陥データ形成部２９において、欠陥位
置検出部２７からの欠陥位置データＤＤＳ及び欠陥グレ
ード判定部２８からの欠陥グレードデータＤＤＧに基づ
き、欠陥位置データＤＤＳ及び欠陥グレードデータＤＤ
Ｇの夫々の内容についての情報を含んだ欠陥データＤＤ
が形成される。

【００４４】図３は、本発明に係る表面検査装置の第３
の例を示す。この第３の例は、図１に示される第１の例
における干渉縞間隔検出部２３，データメモリ部２４及
び欠陥検出部２６に代えて、空間周波数解析部３８，デ
ータメモリ部３９及び欠陥検出部４０が夫々設けられた
ものに相当し、空間周波数解析部３８，データメモリ部
３９及び欠陥検出部４０以外の主要部分については、図
１に示される第１の例と同様に構成されている。そし
て、図３において、図１に示される各構成要素，デー
タ，信号等に夫々対応する構成要素，データ，信号等
は、図１と共通の符号が付されて示されており、それら
についての重複説明は省略される。

【００４５】図３に示される第３の例にあっては、空間
周波数解析部３８に、フレームメモリ部２１から読み出
される、映像信号ＳＶの各ライン期間分に対応する区分
画像データＤＸＰが順次供給される。そして、空間周波
数解析部３８においては、各区分画像データＤＸＰがあ
らわす撮像干渉縞パターン像を形成する干渉縞について
の、それらの配列方向における空間周波数についての解
析が行なわれる。

【００４６】被検査面１１上の検査領域１１Ｔの表面状
態が実質的に傷等の欠陥がない状態とされている場合に
は、撮像干渉縞パターン像は、図４に示される如くの、
一端部Ｐから検査領域１１ＴにおけるＺ方向に対応する
ＺＩ方向に沿って他端部Ｑに向かう方向に、多数の干渉
縞が略一定の幅Ｗ及び間隔Ｔを有して規則的に配されて
成るものとされる。従って、撮像干渉縞パターン像上の
ライン方向に沿う線Ｈａに対応する映像信号ＳＶの１ラ
イン期間分に基づいて得られる区分画像データＤＸＰ
は、撮像干渉縞パターン像を形成する干渉縞を略一定の
間隔Ｗ及び間隔Ｔを有するものとしてあらわすことにな
る。それゆえ、空間周波数解析部３８において解析され
る干渉縞についての空間周波数は、略一定とされる所定
の値をとるものとされる。

【００４７】それに対して、被検査面１１上の検査領域
１１Ｔの表面状態が打痕等の欠陥がある状態とされてい
る場合には、撮像干渉縞パターン像は、図５に示される
如くの、一端部ＰからＺＩ方向に沿って他端部Ｑに向か
う方向に、多数の干渉縞が、打痕等の欠陥に対応する部
分において、他の部分に比して小なる幅Ｗ及び間隔Ｔを
有し、かつ、数が増加するものとして配されて成るもの
とされる。従って、撮像干渉縞パターン像上の欠陥に対
応する部分を通るライン方向に沿う線Ｈｂに対応する映
像信号ＳＶの１ライン期間分に基づいて得られる区分画
像データＤＸＰは、撮像干渉縞パターン像を形成する干
渉縞を、検査領域１１Ｔの表面における欠陥に対応する
部分において、他の部分に比して小なる幅Ｗ及び間隔Ｔ
を有し、かつ、数が増加するものとしてあらわすことに
なる。

【００４８】それゆえ、斯かるもとで空間周波数解析部
３８において解析される干渉縞についての空間周波数
は、検査領域１１Ｔの表面における欠陥に対応して、欠
陥に対応しない略一定とされる所定の値に比して著しく
大なる値をとるものとされ、検査領域１１Ｔの表面にお
ける欠陥に対応する変化を伴うものとなる。

【００４９】空間周波数解析部３８からは、上述の如く
にして、被検査面１１上の検査領域１１Ｔの表面状態が
実質的に傷等の欠陥がない状態、もしくは、被検査面１
１上の検査領域１１Ｔの表面状態が打痕等の欠陥がある
状態のもとで、映像信号ＳＶの１ライン期間分に基づい
て得られる区分画像データＤＸＰ毎に解析される、干渉
縞についての空間周波数をあらわす空間周波数データＤ
Ｆが得られ、その空間周波数データＤＦがデータメモリ
部３９に格納される。空間周波数データＤＦのデータメ
モリ部３９への格納は、メモリ制御部２５からデータメ
モリ部３９に供給される書込制御信号ＣＷ２に従って行
なわれる。

【００５０】データメモリ部３９に格納された空間周波
数データＤＦは、メモリ制御部２５からデータメモリ部
３９に供給される読出制御信号ＣＲ２に従って、例え
ば、各区分画像データＤＸＰに対応する分ずつ、即ち、
映像信号ＳＶの各ライン期間に相当する分ずつ順次読み
出され、順次読み出される各区分画像データＤＸＰに対
応する分の空間周波数データＤＦが、欠陥検出部４０に
供給される。読出制御信号ＣＲ２は、データメモリ部３
９に格納された空間周波数データＤＦが各区分画像デー
タＤＸＰに対応する分ずつ順次読み出されるようになす
ものであるので、図４あるいは図５に示される撮像干渉
縞パターン像上のＺＩ方向における距離Ｄをとる各位置
に対応するものとされることになる。

【００５１】欠陥検出部４０は、各区分画像データＤＸ
Ｐに対応する分の空間周波数データＤＦがあらわす空間
周波数のうちの、検査領域１１Ｔの表面における欠陥に
対応するものを検出する。そのため、欠陥検出部４０に
あっては、検査領域１１Ｔの表面状態が実質的に傷等の
欠陥がない状態のもとで空間周波数解析部３８により求
められる所定の値の空間周波数の略２倍程度とされる所
定の基準空間周波数が設定されて、各区分画像データＤ
ＸＰに対応する分の空間周波数データＤＦがあらわす空
間周波数が基準空間周波数と比較され、空間周波数デー
タＤＦがあらわす空間周波数が基準空間周波数以上であ
るとき、そのときの空間周波数データがあらわす空間周
波数が、検査領域１１Ｔの表面における欠陥に対応する
ものとされる。

【００５２】検査領域１１Ｔの表面状態が実質的に傷等
の欠陥がない状態とされている場合には、空間周波数解
析部３８において解析される空間周波数が常時基準空間
周波数未満とされるので、欠陥検出部４０において、検
査領域１１Ｔの表面における欠陥に対応する空間周波数
は検出されない。それに対して、検査領域１１Ｔの表面
状態が打痕等の欠陥がある状態とされている場合には、
空間周波数解析部３８において解析される空間周波数
が、基準空間周波数以上となる変化部分を含むものとな
り、欠陥検出部４０において、その基準空間周波数以上
となる変化部分が欠陥に対応する空間周波数として検出
される。

【００５３】欠陥検出部４０からは、欠陥に対応する空
間周波数が検出されたとき、それに応じた欠陥空間周波
数データＤＦＤが送出されて、欠陥位置検出部２７及び
欠陥グレード判定部２８に供給される。欠陥位置検出部
２７及び欠陥グレード判定部２８においては、図１に示
される第１の例の欠陥位置検出部２７及び欠陥グレード
判定部２８において、欠陥検出部２６からの欠陥間隔デ
ータＤＴＤに基づき、検査領域１１Ｔの表面における欠
陥の位置をあらわす欠陥位置データＤＤＳ及び検査領域
１１Ｔの表面における欠陥の規模をあらわす欠陥グレー
ドデータＤＤＧが夫々得られるのと同様にして、欠陥検
出部４０からの欠陥空間周波数データＤＦＤに基づき、
検査領域１１Ｔの表面における欠陥の位置をあらわす欠
陥位置データＤＤＳ及び検査領域１１Ｔの表面における
欠陥の規模をあらわす欠陥グレードデータＤＤＧが夫々
得られる。そして、欠陥データ形成部２９において、欠
陥位置検出部２７からの欠陥位置データＤＤＳ及び欠陥
グレード判定部２８からの欠陥グレードデータＤＤＧに
基づき、欠陥位置データＤＤＳ及び欠陥グレードデータ
ＤＤＧの夫々の内容についての情報を含んだ欠陥データ
ＤＤが形成される。

【００５４】

【発明の効果】以上の説明から明らかな如くに、本発明
に係る表面検査装置にあっては、撮像部によって撮像さ
れる干渉縞パターン像が、被検査面に実質的に欠陥がな
い状態のもとにおいて、全体に亙って略一定の間隔を有
した干渉縞が規則正しく配列されて成るものとされ、一
方、被検査面に欠陥がある状態のもとにおいて、被検査
面における欠陥に対応する部分に、他の部分に比して間
隔が狭くかつ不揃いで、数が多数とされる干渉縞が形成
されてなるものとされる。斯かるもとで、撮像部から得
られる映像信号は、干渉縞パターン像を、例えば、各干
渉縞を低レベル部（低輝度部）をもって、また、干渉縞
の間の部分を高レベル部（高輝度部）をもってあらわす
ものとされ、その映像信号に基づく画像データは、映像
信号の低レベル部及び高レベル部に夫々対応する、干渉
縞をあらわすデータ部分及び干渉縞の間の部分をあらわ
すデータ部分を有するデータとされる。そして、例え
ば、映像信号における各水平期間に相当するものとされ
る画像データの単位区分毎に、それがあらわす干渉縞パ
ターン像を形成する干渉縞の配置状態が検出され、その
検出出力に基づいて被検査面における欠陥に起因する干
渉縞の配置状態における変化が検出され、検出された干
渉縞の配置状態における変化を生じさせた欠陥について
の情報をあらわす欠陥データが得られる。

【００５５】従って、本発明に係る表面検査装置によれ
ば、被検査面における打痕等の欠陥の正確な検出が、前
述の如くに難しいものとされる欠陥検出用信号に対する
比較基準信号のレベル設定等を必要とすることなく、容
易かつ迅速に行なうことができることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る表面検査装置の第１の例を示すブ
ロック構成図である。

【図２】本発明に係る表面検査装置の第２の例を示すブ
ロック構成図である。

【図３】本発明に係る表面検査装置の第３の例を示すブ
ロック構成図である。

【図４】本発明に係る表面検査装置の例において形成さ
れる干渉縞パターン像の説明に供される概念図である。

【図５】本発明に係る表面検査装置の例において形成さ
れる干渉縞パターン像の説明に供される概念図である。

【図６】本発明に係る表面検査装置の第１の例における
干渉縞の間隔の説明に供されるグラフである。

【図７】本発明に係る表面検査装置の第１の例における
干渉縞の間隔の説明に供されるグラフである。

【図８】本発明に係る表面検査装置の第２の例における
干渉縞数の説明に供されるグラフである。

【図９】本発明に係る表面検査装置の第２の例における
干渉縞数の説明に供されるグラフである。

【符号の説明】

１１ 被検査面 １１Ｔ 検査領域 １２ 光源 １３，１６ 分光フィルタ １５ ハーフミラー部 １７ 撮像部 ２０ Ａ／Ｄ変換部 ２１ フレームメモリ部 ２２，２５，３１ メモリ制御部 ２３ 干渉縞間隔検出部 ２４，３６，３９ データメモリ部 ２６，３７，４０ 欠陥検出部 ２７ 欠陥位置検出部 ２８ 欠陥グレード判定部 ２９ 欠陥データ形成部 ３０ 欠陥データメモリ部 ３３ 制御ユニット ３５ 干渉縞数検出部 ３８ 空間周波数解析部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光源からの光が被検査面において反射して
   得られる該被検査面の状態に応じた変化を有する反射光
   と上記光源からの光とにより形成される、上記被検査面
   の状態に応じた変化を伴う干渉縞パターン像を撮像し、
   該干渉縞パターン像をあらわす映像信号を送出する撮像
   部と、 該撮像部から得られる映像信号に基づく画像データを得
   るデータ形成部と、 該データ形成部から得られる画像データにおける、上記
   映像信号における所定の単位期間に相当する単位区分毎
   に、該単位区分があらわす上記干渉縞パターン像を形成
   する干渉縞の配置状態を検出する干渉縞状態検出部と、 該干渉縞状態検出部から得られる検出出力に基づいて、
   上記被検査面における欠陥に起因する上記干渉縞の配置
   状態における変化を検出する欠陥検出部と、 該欠陥検出部から得られる検出出力に基づいて、上記欠
   陥検出部により検出された上記干渉縞の配置状態におけ
   る変化を生じさせた欠陥についての情報をあらわす欠陥
   データを得る欠陥データ形成部と、を備えて構成される
   表面検査装置。
2. 【請求項２】干渉縞状態検出部が、画像データにおける
   単位区分毎に、該単位区分があらわす干渉縞パターン像
   を形成する干渉縞の間隔を検出するものとされ、また、
   欠陥検出部が、上記干渉縞状態検出部から得られる検出
   出力に基づいて、被検査面における欠陥に起因する上記
   干渉縞の間隔の変化を検出するものとされることを特徴
   とする請求項１記載の表面検査装置。
3. 【請求項３】干渉縞状態検出部が、画像データにおける
   単位区分毎に、該単位区分があらわす干渉縞パターン像
   を形成する干渉縞についての該干渉縞の配列方向におけ
   る所定の単位範囲内毎の数を検出するものとされ、ま
   た、欠陥検出部が、上記干渉縞状態検出部から得られる
   検出出力に基づいて、被検査面における欠陥に起因する
   上記所定の単位範囲内毎の上記干渉縞の数の変化を検出
   するものとされることを特徴とする請求項１記載の表面
   検査装置。
4. 【請求項４】干渉縞状態検出部が、画像データにおける
   単位区分毎に、該単位区分があらわす干渉縞パターン像
   を形成する干渉縞についての空間周波数解析を行なうも
   のとされ、欠陥検出部が、上記干渉縞状態検出部から得
   られる検出出力に基づいて、被検査面における欠陥に起
   因する上記干渉縞についての空間周波数の変化を検出す
   るものとされることを特徴とする請求項１記載の表面検
   査装置。
5. 【請求項５】干渉縞状態検出部が、画像データにおける
   単位区分を、映像信号における各水平期間に相当するも
   のとなすことを特徴とする請求項２，３又は４記載の表
   面検査装置。