JPH07265608A

JPH07265608A - 高粘度流体の脱気方法及び装置

Info

Publication number: JPH07265608A
Application number: JP7069723A
Authority: JP
Inventors: Gary A Derian; エー．デリアンゲイリー; Jr Herman E Turner; イー．ターナー，ジュニアハーマン; Robert D Schneider; ディー．シュナイダーロバート
Original assignee: Nordson Corp
Current assignee: Nordson Corp
Priority date: 1994-03-28
Filing date: 1995-03-28
Publication date: 1995-10-17
Also published as: DE69502756D1; ES2117316T3; CA2144284A1; US5509954A; EP0674928A1; EP0674928B1

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明の目的は高粘度流体を脱気するための
方法と装置を提供することである。【構成】本発明の装置では、直立した真空チャンバが
あり、頂端で流体を受入れ、底端の受器から流体を排出
するようになっている。真空チャンバは広口のスロット
つきノズルとチャンバに供給される流体を受け入れるた
めの頂端内に取り付けられた溝型スライド部材からなる
アセンブリを備えている。ノズルはスライド部材面上の
流体が流下する時に層流を呈するように、受器に向かっ
て下方に角度をつけて配設されているスライド表面に流
体を散布できるようになっている。チャンバに引かれた
真空は、流体がスライド面を受器内へ流下する時に流体
に含まれているガス状物質を解放させ、受器では流体が
施工のため一つ又は複数のノズルから排出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は一般に高粘度の接着剤、
シーラント及び／又はコーキング材のような高粘度物質
を処理する時に使用する分配装置に関する。

【０００２】特に本発明は高粘度流体を途切れることな
く連続的に仕掛り品に分配できるように高粘度流体を脱
気する方法及び装置に関する。

【０００３】詳しくは、本発明は高粘度流体をノズルか
ら仕掛り品に分配する時に、製品の構成部分として必要
な製品品位に不利な影響を及ぼす気泡が存在しないよう
に、高粘度流体を脱気する方法及び真空チャンバ形状を
提供する。

【０００４】

【従来の技術】製品の構成部分として接着剤、シーラン
ト及び／又はコーキング材の特性を利用し、構造的完全
性がこれら高粘度流体の特性に依存する製品が市場に多
数存在する。これらの高粘度材料は種々の形状のノズル
から仕掛り品上にほぼ自動的に分配される。装置内に空
気が入ると、適正品質の分配材料を仕掛り品上に塗布で
きなくなるので、製品品質に不利な影響があることが理
解できる。例えば、部品を接合し全体を組み立てるた
め、接着剤を塗布する必要がある製品では、接着剤が塗
られていない部分が少しでもあると製品の構造的完全性
及びさらには品質にも影響する。同様に、製品は混入す
るおそれのある汚染物質を排除するためシーラント又は
コーキング材の塗布を必要とし、また完全封止を維持す
るにはシーラント又はコーキング材の連続ビードが必要
である。上述の例のいずれか一つで、分配材料の中に気
泡があると、ノズルから分配されつつある材料ビードに
途切れを生ずる原因になる。このような途切れは容認さ
れない。従って上述のような高粘度流体を連続的、且つ
途切れなしに自動的に分配できるよう、高粘度流体を効
果的に脱気する方法が必要になる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の一つ
の目的は高粘度流体の脱気方法を提供することである。

【０００６】本発明のもう一つの目的は高粘度流体が分
配装置により分配されつつある時に、流体を効果的に脱
気し、且つ分配装置に適用できる装置を提供することで
ある。

【０００７】本発明のもう一つの目的はチャンバに供給
される高粘度流体の脱気を促進するチャンバ内に取り付
けられた入口アセンブリを備えた脱気真空チャンバを提
供することである。

【０００８】本発明のもう一つの目的は、散布ノズルと
角度をつけて配置されたスライド部材とを備えた脱気真
空チャンバ用アセンブリであって、高粘度流体がチャン
バ内で真空状態にさらされた時に、ノズルによりスライ
ド部材に供給されている高粘度流体の脱気を効果的に促
進するものを提供することである。

【０００９】

【問題を解決するための手段】本発明の種々の目的や利
点は、高粘度流体を集めるチャンバを提供するステッ
プ、チャンバ内への流体入口に対して角位置でスライド
部材をチャンバ内に取り付けるステップ、流体がチャン
バに入る時にスライド部材へ流体を散布するステップ及
びチャンバを真空にしつつ流体を層流でスライド部材を
流下させるステップより成る高粘度流体脱気方法におい
て達成できる。

【００１０】本発明の種々の目的と利点は、頂端におけ
る流体入口、集合受器、及び低端における出口ポートを
備えた垂直なチャンバ、チャンバ内の真空を引きかつ制
御する手段、チャンバに入る流体を受けるためチャンバ
内にその頂端に向かって取り付けられた広口スロットつ
きノズル、及びノズルと関連した位置における頂端を有
するチャンバ内に取り付けられ、チャンバ受器に向かっ
て下方に角度をつけて配設された縦溝型スライド部材を
具備し、ノズルは、流体がスライドを流下する時に層流
を呈し、かつチャンバ内の真空が、流体が下方に移動し
てチャンバ受器に入る時に流体内に含まれるガス状物質
を効果的に解放させるようにして、溝型スライド部材の
頂端に流体を供給する、高粘度流体脱気装置でも達成さ
れる。ノズルからの広いパターンにおける分配も、チャ
ンバ真空への暴露面積を拡大させ、トラップされたガス
の解放に役立つ。

【００１１】

【実施例】最初に図面の図１を参照すると、材料分配装
置が参照番号１０により概略的に示されている。装置１
０はポンプ１４と分配ノズル１６を含む少なくとも１基
の分配装置１２（図には２基ある）とを備え、分配装置
１２は流体を入口ポート１８に受入れ、ノズル１６で出
口ポート２０から流体をポンプで排出できるようになっ
ている。

【００１２】この技術では種々の形の分配装置が知られ
且つ使用されており、これらの装置は仕掛り品（図示さ
れていない）に接着剤やシーラントのような高粘度流体
を分配する自動装置で操作できるようになっている。装
置１２は供給源２２から直接この種の高粘度流体を受け
入れできるが、この方法では流体が気泡を同伴する問題
が発生することが分かっている。この問題は、この種の
操作では容認されないものである。

【００１３】空気又は他のガス状物質を同伴するこの問
題を解決するため、高粘度材料の供給源２２と分配装置
の間に脱気装置を設置し、それを図の参照番号３０で全
体的に示している。

【００１４】脱気装置３０は頂端における蓋３６、底端
の材料受器３８により取り囲まれた垂直な壁３４を有す
るチャンバ３２を備えている。受器３８は内部の温度を
適正に維持するため、チャンバの基部に取り付けられて
いる水ジャケット４４を備えている。この受器には制御
弁４２に取り付けられた出口管継ぎ手４０があり、この
弁は一方では分配装置１２の入口ポート１８に接続され
ている。制御弁４２と入口１８の接続は常法又はこの種
の接続に実効がある方法で行えばよい。

【００１５】脱気装置３０は、配管又は同様な手段４８
により高粘度流体の供給源２２に接続されている入口管
継ぎ手または入口ポート４６を備え、流体は適切な圧力
の下で装置３０に流入させる。装置３０は参照番号５０
で全体的に示されている真空制御装置を備え、真空制御
装置は、真空ポート５２、スィッチコントローラ５４及
び真空ポンプ５６を備えており、これらが前記チャンバ
３２内の所定の真空を維持している。装置３０は参照番
号６０で全体的に示されている流体レベル制御手段をも
備え、これには多数の流体レベル検出器６２が含まれて
いる。検出器６２はＬＤ１〜ＬＤ５で指示され、これら
は種々のレベルにおいて前記チャンバ３２に接続されて
おり、その具体的な操作については後に詳しく記述す
る。

【００１６】上述の事項から、チャンバ３２の頂端に供
給された高粘度流体を受器３８に落下させるならば、こ
の種の作用によってチャンバ到達以前にすでに流体内に
存在していた可能性のある気泡に加え、さらに気泡が発
生することが理解できるであろう。チャンバに引かれて
いる真空が、多数の気泡を膨張させ破裂させる可能性は
あるが、流体内で相互混合される多くの気泡は真空によ
っては排出されず、流体が分配装置１２により受器から
抜き出される時に流体内に留まるでろう。気泡を分配ノ
ズル１６にそのまま到達させるならば、流体内のこの種
の気泡は分配操作において容認されるものではない。

【００１７】図面の図２を参照すると、本発明による脱
気チャンバが図示されており、このチャンバは参照番号
７０で全体的に示す、流体を受け入れるためのアセンブ
リを備えている。アセンブリ７０は、管継ぎ手７４と連
結管７６とを経て流体入口４６に接続されている広口ま
たはスロットつきのノズル７２を備えている。管７６
は、縦方向のチャンバ軸Ａｙに対してに９０°の角度に
ある入口ポート４６から下方に曲げられている。ノズル
７２は流体を受入れ、さらにチャンバ壁３４の内側に取
り付けられているスライド部材８０上に流体を供給す
る。

【００１８】スライド部材８０は、底壁すなわちスライ
ド面８２と底部８２の全長にわたり伸びている側壁８４
とによって形成されているかなり浅いＵ字型部材であ
る。スライド部材８０は流体がスライド部材８０の頂端
のスライド面上に広がるようにスロットつきノズル７２
に取り付けられている。スライド部材８０はスライド面
８２に供給された流体がチャンバ受器３８に向かって下
方に動くように、チャンバ軸Ａｙに対して角度αでチャ
ンバ３２内に角度をつけて配設されている。

【００１９】図面の図３〜図６を参照すると、アセンブ
リ７０の詳細がいくつかの図に示されている。スロット
つきノズル７２は、ノズルの他の寸法のいずれよりも大
きい幅「Ｗ」を持つ矩形の本体１００を備えている。本
体１００は、後壁１０４に対して角度をつけ、すなわち
Ａｙ軸に対して角度α₁ にて配設されている正面１０２
ａを有する前壁１０２と後壁とで画成されている。本体
１００はさらに底壁１０８に平行な頂壁１０６により画
成されており、またこれらの壁は端壁１１０と相互接続
している。ノズル７２は頂壁１０６の孔すなわち入口ポ
ート１１２により特徴づけられており、この入口ポート
は、表正面１０２ａから後部に貫入しているほぼ半円形
のスロット孔すなわち出口ポート１１４により遮断され
ている。入口ポート１１２は、つるつるの孔であって
も、あるいは図３に示すようにコネクター７４を経て流
体供給管７６に接続する二重端ねじ切りニップル継ぎ手
１１６に適合するようにねじを切ってあってもよい。

【００２０】底壁１０８がスロット孔１１４の限界範囲
を定めており、それは、図面の図３と図６とに示してい
るように、間隙寸法「ｇ」を定めるべく、固有の量だけ
より短い前後間の寸法を示している。間隙寸法はこのよ
うに底壁１０８の前正面１０８ａと前壁の前正面１０２
ａとの寸法差によって規定される。さらに間隙「ｇ」は
ノズル７２のスロット孔すなわち出口ポート１１４の全
幅に及んでいる。

【００２１】上述のように、スライド部材８０はスライ
ド面８２とスライド壁８４とを備え、これらがスロット
ノズル７２からチャンバ受器３８へ流体材料を運ぶ溝を
形成する。スライド部材８０はフランジ８８ａを形成す
る頂端を有する支持部材８８によりチャンバ内に取り付
けられている。フランジ８８ａは図３に示すようにチャ
ンバ軸Ａｙについて角度α＋９０°曲げられており、図
中参照番号９０で全体的に示されている取り付け手段に
より支持されている。取り付け手段９０はブラケット９
６に固着されているボルトまたは溶接スタッド９２とロ
ックナット９４とを備えている。好ましくは、ブラケッ
ト９６は溶接するか、さもなければチャンバ壁３４に固
着するのがよく、支持部材８８は図に示すように多数の
ボルトによりブラケットに固着されている。スライド部
材８０は、その頂端でスライド部材に固着されているＵ
字型フック８６によって支持部材８８に固定されてお
り、これらのフックはフランジ内の適当な形状の割れ目
８８ｂにより支持部材フランジ８８ａに掛けられてい
る。このように、スライド部材８０は点検修理のために
取り外しや交換を容易に行うことができる。

【００２２】図面の図３と図６から、壁１０２の前正面
１０２ａの角位置は、スライド部材８０の角度αが正面
１０２ａの角度α₁ と等しくなるようなものであっても
よいことが分かる。言い換えると、スライド部材は、ノ
ズル前正面１０２ａの角度と同じである角度αを示す支
持部材８８に掛けらることになる。この場合、前正面１
０２ａはスライド面８２に当接して配設されよう。しか
しこの取り付けは、流体が前正面１０２ａとスライド面
８２の間で上方に引かれ得るので有利ではない。これは
２つの面間に存在する不連続が原因で起きるもので、チ
ャンバに引かれた真空が２つの面間の流体を引っ張るの
であろう。この意味で、ノズルスロット孔１１４を出る
高粘度流体が、層流が存在する範囲でスライド面８２に
直接流下することは重要である。流体の自由落下は、流
体が下方に移動する時に流体中に形成されたポケットに
空気をトラップし得る不規則な小山を形成するものであ
る。

【００２３】スライド面８２に対するスロットノズル７
２の位置合せに関する上記問題点は、図面の図３と図７
に示すドクターブレード部材１２０を設けることにより
除去できる。ドクターブレード部材１２０をノズルの前
壁１０２の孔１３２に適切なねじ１３０をねじこむこと
により前正面１０２ａに取り付けることができる。ドク
ターブレード部材１２０の断面は多数の形状がありうる
が、スライド面８２と接合する機能があるほか、特に粘
性流体を通過させるのに適した出口間隙「ｇ」を定める
形状が好ましい。

【００２４】適切なドクターブレード１２０は、後正面
１２４に対して角度をつけて配設されている前正面１２
２により画成され、ここで後正面１２４は反対側の端１
２８より寸法の大きい一端１２６を定めている。この断
面形状は、後正面１２４がノズル前壁１０２の前正面１
０２ａに当接する一方、前正面１２２はスライド部材の
スライド面８２に当接する楔の形状をしている。さらに
ドクターブレード１２０は、底壁１０８を越えてある程
度延出するように両端１２６〜１２８間の寸法が、図３
に明示されているように、頂部１０６と底部１０８との
間のノズルの高さの寸法より大きい方が好ましい。この
形状では、出口孔１１４を通過する流体はすべて表面で
流体が一様に分布するようにスライド面に向かって下方
へ方向づけられるので、ドクターブレード１２０とスラ
イド面８２との間の正確な位置合せは必要ではない。図
３から、ノズル出口間隙「ｇ」は、底壁正面１０８ａと
スライド面８２によってではなく、正面１０８ａとドク
ターブレード１２０の後面１２４によって定められるこ
とが分かる。

【００２５】出口間隙「ｇ」がチャンバ３０で脱気した
いすべての粘度範囲の流体を通過させるには十分でない
ということは、当業者には容易に理解できるであろう。
例えば、低粘度領域の流体は特定の間隙「ｇ」を通過で
きても、高粘度領域の流体はほとんどがノズル７２の出
口でブロックされるかもしれない。こういう状況では、
種々の粘度の流体が通過できるように間隙「ｇ」を変え
ることが考えられ、これは、図６に示されているように
して、実現される。例えば、ノズル本体１００の底壁１
０８は在来の固定手段を用いて本体に固定されているセ
パレート式壁部材を備えている。壁部材１０８は参照番
号１４０にて一点鎖線で示す境界線に沿って調節でき、
また参照矢印１４２の方向に移動できるようにスロット
を設計できる。もちろん、これは間隙「ｇ」の寸法に変
化をもたらし、種々の粘度の流体に適応できるようにな
る。間隙「ｇ」の変更のためには他の手段を使うことも
可能であり、従って本発明は上述及び／又は図面で説明
した特定の方法に限定するものではない。

【００２６】スライド面角度αがチャンバ３２で脱気さ
れる種々の流体粘度に対して調節できることも、当業者
には容易に理解できるであろう。例えば低粘度材料の場
合角度は２０°〜２５°の範囲内にあればよいが、この
範囲の角度は高粘度流体をスライド面８２から落下させ
るには急角度すぎる。もちろんこの作用は、自由落下す
る液滴がチャンバ受器３８に集められている流体中に気
泡を発生させる傾向があるので、本発明の目的に合わな
い結果になる。従って、スライド面の角度αはノズル７
２を通過する流体の粘度によって増減できる。図３から
明らかなように、支持部材８８を、大なり小なり必要な
角度を示す取り付けフランジを備える別のものに取り替
えるだけで角度αを変更できる。すべての場合に、流体
がスライド面をスムーズに流れるように、すなわち層流
が形成されるように、スライド面角度αを定めねばなら
ない。

【００２７】高粘度タイプの流体を脱気チャンバ３０に
通す場合はチャンバの垂直軸Ａｙについて角度αを２０
°〜３０°の範囲にするのが好ましい。少なくとも８
０，０００センチポイズの粘度を有する流体の場合この
範囲の角度が使われているが、この範囲の角度は８０，
０００センチポイズ以下の材料にも適していると考えら
れる。チャンバに引かれた１／３〜１／２気圧の範囲の
低水準の真空も大きなエアポケット及び／又は特定粘度
の流体内の気泡の除去に使える。高水準の真空すなわち
大気の１０％以下の真空は、溶存空気を含有する流体の
脱気に適用でき、またこの水準の真空は種々の流体の揮
発成分の除去にも適用できる。

【００２８】図面の図２を再び参照すると、脱気装置３
０は多数のレベル検出器ＬＤ１〜ＬＤ５を備えている。
連続脱気操作におけるこれらのレベル計の重要な機能
は、チャンバ内の流体量の過不足による装置の操業停止
がないことである。例えば、レベル検出器ＬＤ１は流体
レベルが下がり過ぎた時に操業を停止する緊急停止装置
である。装置に空気が入る可能性を高めるこの種の停止
は望ましくないので、チャンバ３２内の切迫した低レベ
ル条件をオペレータに目視及び／又は音による警告を与
える警報レベル検出器ＬＤ２を具備している。また、容
量レベルが安全な上部レベル条件を超えると、操業を自
動的に停止する高レベル検出器ＬＤ５を備えている。

【００２９】さらに、レベル検出器ＬＤ３とＬＤ４は、
２つのレベル間で流体容量レベルを上下に移動させるた
めに使われる。例えば、流体容量レベルがＬＤ３に下が
る時は、入口４６に供給される量を増加させる信号が発
せられる。容量レベルがＬＤ４まで上がると、入口４６
に供給されている量を低減させ流体容量レベルを再び低
下させる信号が発せられる。受器容量レベルを上下させ
るこの作用は、受器の流体表面上に存在する可能性のあ
る気泡をチャンバ壁に衝突させ気泡を破裂させる。分配
装置により受器から排出している量の増減による受器流
体レベルの変動も当然ありうることである。従って、本
発明はこれを実現するため特定の作用に限定して考える
ものではない。

【００３０】脱気装置３０の操業において、特定の高粘
度流体に含まれる気泡の除去を最適化するために種々の
調整がなされることは理解されよう。上述のようにスラ
イド面８２の角度αのほか、ノズル７２の間隙「ｇ」も
調節でき、間隙に差圧が存在するので、装置内のこの位
置で気泡の分散が最適化される。さらに、真空条件を調
節して気泡の分散を促進したり、受器の容量レベルを上
下させ受器内流体表面上の気泡を破裂させることができ
る。従って、本発明は、高粘度流体脱気のための非常に
効果的な方法と装置を提供し、関連する特定の技術分野
に利点をもたらすことが理解されよう。また本発明の説
明のため代表的な実施例について詳細な説明を行った
が、本発明の趣旨と範囲から種々の変更や修正ができる
ことは当業者には容易に認められるであろう。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の方法と装置に適用できる流体分配装置
を一般的に示す図である。

【図２】本発明の主要装置を形成する脱気チャンバの部
分的に切り取られた正面図である。

【図３】図２に示す脱気チャンバ内に取り付け可能なア
センブリの断面における拡大側面図である。

【図４】図３に示すアセンブリの一部を形成する流体散
布ノズルの正面図である。

【図５】図４に示すノズルの平面図である。

【図６】図４の６−６線に沿って切り取ったノズルの断
面における側面図である。

【図７】本発明のノズルに適用できるドクターブレード
の断面における側面図である。

【符号の説明】

１２分配装置１４ポンプ１６分配ノズル１８流体入口２０流体出口２２材料供給源３０脱気装置３２真空チャンバ３８受器４２制御弁５０真空系装置６２レベル検出器７０アセンブリ７２ノズル８０スライド部材８２スライド面１００ノズル本体１１４ノズルスロット孔１２０ドクターブレード

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者ロバートディー．シュナイダーアメリカ合衆国．44089 オハイオ，ヴァーミリオン，リンダドライヴ 4556

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】前部から後部及び頂部から底部のいずれ
か一つの寸法より実質的に大きな寸法の幅と流体を受け
るための頂部入口ポートとを有する本体であって、頂部
入口ポートは本体の前正面に向かって外方に拡大してい
る広いスロット状の直角に向いた出口ポートにより遮断
されており、且つ前記前正面が後正面に対して角度をつ
けて配設され、前正面が前記前正面の頂部と底部の間に
間隙を形成している前記本体を備える、チャンバの流体
入口に接続されるノズル、及びチャンバの縦垂直軸に対
して角度をつけて配設され、またノズルの出口ポートと
関連した位置でチャンバの内側に取り付けられ、且つノ
ズル位置における頂端からチャンバ内の底端まで溝を画
成している縦側壁とスライド面とを有するスライド部材
を具備し、流体が前記スライド部材において層流を呈し且つチャン
バを引いている真空がスライド部材を流下する流体に含
まれているガス状物質を解放させるよう、前記ノズルが
そのスロット状の出口ポートから流体を通過させる、高粘度流体脱気用真空チャンバに適用可能なアセンブ
リ。
【請求項２】ノズル出口孔からスライド部材上に流体
を下方に向けるようにノズルの前正面に固着されるドク
ターブレード部材をさらに具備する請求項１記載のアセ
ンブリ。
【請求項３】チャンバの縦垂直軸に対する前記スライ
ド部材の角度が、チャンバを通過する流体の粘度に従っ
て選択される請求項１記載のアセンブリ。
【請求項４】少なくとも８０，０００センチポイズの
粘度を示す流体に対して２０°〜３０°の範囲内で角度
が変わる請求項３記載のアセンブリ。
【請求項５】ドクターブレードが出口間隙差をノズル
前正面の頂部と底部との間に定める請求項２記載のアセ
ンブリ。
【請求項６】ドクターブレードがノズル底部の先まで
下方に伸び、スライド部材のスライド面に当接している
請求項５記載のアセンブリ。
【請求項７】間隙差が可変である請求項１記載のアセ
ンブリ。
【請求項８】間隙が、出口孔の底の大きさをも定め
る、ノズルの移動可能な底壁によって変えられる請求項
７記載のアセンブリ。
【請求項９】スライド部材が、チャンバの内側に固着
されている取り付け手段と係合すべく曲げられたフラン
ジを有する支持部材により支えられている請求項１記載
のアセンブリ。
【請求項１０】スライド部材の角位置が支持部材によ
り定められる請求項９記載のアセンブリ。
【請求項１１】頂端は頂部閉鎖シールにより、底端は
チャンバからの出口ポートを有する受器により囲まれた
側壁を備え且つ流体を供給するために接続された入口を
備えた垂直な前記チャンバ、チャンバ内の真空を引き且つ制御する、チャンバと結び
付いた手段、並びにチャンバ内に取り付けられるアセン
ブリであって、（ａ）ノズルの前正面に向かって外側に拡大する形状の
スロットを有する直角方向に向いた出口ポートによって
遮断されている頂部入口ポートによってチャンバ入口に
接続されており、前正面が後正面について角度をつけて
配設され、前正面が前正面の頂部とその底部の間に間隙
を形成している前記ノズル、及び（ｂ）チャンバの縦垂直軸に対して角度をつけて配設さ
れ、またノズルの出口ポートと関連した位置でチャンバ
の内側に取り付けられ、且つ底部スライド面と、ノズル
位置における頂端からチャンバの受器における底端まで
溝を画成している一対の縦に延びた側壁を備えたスライ
ド部材を備える前記アセンブリ、を具備し、流体が層流としてスライド面を流下し且つチャンバに引
かれた真空が流体内に含まれ得る気泡を解放させるよ
う、アセンブリの前記ノズルは、スロット状の出口ポー
トからスライド部材表面へ、高粘度流体を通過させるべ
く構成されている、高粘度流体脱気装置。
【請求項１２】ドクターブレード部材が、流体をノズ
ルの出口ポートからスライド部材のスライド面に下方に
向けるべく、ノズルの前正面に取り付けられている請求
項１１に記載の装置。
【請求項１３】アセンブリが、フランジ部によりチャ
ンバの内側に固着された支持部材をさらに具備し、そし
て、懸垂部が、支持部材フランジに固着された頂端を有
するスライド部材を支持するため、チャンバ内に角度を
つけて下方に延びている請求項１１に記載の装置。
【請求項１４】支持部材がチャンバ内のスライド部材
の角位置を定める請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】支持部材の角位置がチャンバに供給さ
れている流体の粘度により定められる請求項１４に記載
の装置。
【請求項１６】角位置が２０°〜３０°の範囲内で変
動する請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】間隙が流体粘度によって変わる請求項
１１に記載の装置。
【請求項１８】スロットつきノズル出口ポートの底の
大きさをも定める、ノズルの移動性底壁により、間隙が
変動する請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】流体の液面レベルが高低いずれかのレ
ベル検出器に合致するとチャンバの操業を停止させる高
レベル検出器及び低レベル検出器を備え、チャンバ内へ
供給される流体量を増加させる第１シグナル及びチャン
バ内へ供給される流体量を減少させる第２シグナルを発
生することにより上方及び下方へ流体レベルを移動させ
る一対の中間レベル流体検出器をさらに備え、流体の増
減が２つの中間レベル検出器に関するレベル条件に依存
している、チャンバ内の流体のレベル条件を監視する複
数の流体レベル検出器をさらに備えた請求項１１に記載
の装置。
【請求項２０】縦垂直軸、頂端の流体入口ポート、並
びに底端の流体集合受器及び出口ポートによって特徴づ
けられる真空チャンバを提供するステップ、流体を受入れさらに出口ポートから排出させるため、チ
ャンバ内の頂端の位置に広幅スロットつきノズルを取り
付けるステップ、チャンバ垂直軸に対して角方向に、且つ頂端でノズル出
口ポートに、底端で流体集合受器に関連した位置に、溝
型縦スライドをチャンバ内に配設するステップ、及び流
体が溝型スライド内を受器へ下方に移動する時に流体に
含まれている気泡が解放させられるように、流体がチャ
ンバに供給される時にチャンバを真空に引くステップと
を具備する高粘度流体の脱気方法。
【請求項２１】スライドの角方向が流体の粘度により
定められ、それが２０°〜３０°の範囲にある請求項２
０に記載の方法。
【請求項２２】チャンバ内の流体容量のレベル条件を
検出し、チェンバ内の２つのレベル位置間のレベル条件
に従って流体レベルが上下に動くようにチャンバへ供給
されている流体量を増減するステップをさらに具備する
請求項２０に記載の方法。
【請求項２３】（ａ）チャンバ内を真空に引くステッ
プ、（ｂ）少なくとも一部のトラップされた気泡を破裂させ
るようにチャンバ内の粘性流体を分配するステップ、（ｃ）分配された流体をチャンバ内の集合受器に層流と
して流すステップ、（ｄ）トラップされた気泡をさらに解放させるのに十分
な時間流体を集合受器に滞留させるステップ、及び（ｅ）集合受器及びチャンバから材料を排出させるステ
ップ、を含む粘性流体脱気方法。
【請求項２４】ステップ（ｄ）が集合受器の流体レベ
ルを変えることによりトラップされた気泡を破裂させる
ことを含む請求項２３の方法。
【請求項２５】気泡がチャンバの壁に押しつけられる
請求項２４の方法。
【請求項２６】加圧下で粘性流体の供給を受けるため
頂端に入口を有するチェンバ、チャンバ内を真空に引き且つ制御する、チャンバと結び
付いている手段、トラップされた気泡の少なくとも一部を破裂させるよう
に流体を分配する、入口に連結された手段、流体を層流にする、分配された流体を受け入れる手段、層流流体を集める、集合受器、集合受器の流体レベルを変動させる手段、及び集合受器
から流体を排出する出口手段を具備した粘性流体脱気装
置。
【請求項２７】流体分配速度を変える手段をさらに具
備した請求項２５の装置。
【請求項２８】縦垂直軸、頂端における流体入口ポー
ト並びに底端における流体集合受器及び出口ポートを備
えた真空チャンバ、流体を受入れ且つ出口から排出させる、頂端の位置で真
空チャンバ内に取り付けた広幅スリットつきノズル、チャンバ垂直軸に対して角方向に、且つ頂端で前記ノズ
ル出口ポート及び底端で前記流体集合受器と関連した位
置で、真空チャンバ内に配設された溝型縦スライド、及
び流体が溝型スライドの中を受器内へ流下する時に流体
内に含まれている気泡が解放させられるように、流体が
チャンバに供給される時にチャンバを真空に引く手段を
備えた高粘度流体脱気用装置。