JPH07265884A - オゾン処理装置 - Google Patents
オゾン処理装置Info
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- JPH07265884A JPH07265884A JP6056494A JP6056494A JPH07265884A JP H07265884 A JPH07265884 A JP H07265884A JP 6056494 A JP6056494 A JP 6056494A JP 6056494 A JP6056494 A JP 6056494A JP H07265884 A JPH07265884 A JP H07265884A
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- ozone
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- ozone treatment
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明のオゾン処理装置において、オゾン反応
槽内で液体中に散気されるオゾン化気体の溶解性能を数
値情報としてオゾン発生装置を制御してオゾン発生装置
の電気代を節約したり、あるいはオゾン発生装置のライ
フを長くしたりする等の経済的に運転することにある。 【構成】オゾン反応槽内２０の気泡状態の画像を採取
し、これを画像処理装置７０で数値情報を創生し、運転
条件データを加味してオゾン発生装置１０に制御指令を
与える。
槽内で液体中に散気されるオゾン化気体の溶解性能を数
値情報としてオゾン発生装置を制御してオゾン発生装置
の電気代を節約したり、あるいはオゾン発生装置のライ
フを長くしたりする等の経済的に運転することにある。 【構成】オゾン反応槽内２０の気泡状態の画像を採取
し、これを画像処理装置７０で数値情報を創生し、運転
条件データを加味してオゾン発生装置１０に制御指令を
与える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はオゾンの酸化力を応用し
た上水，下水，プール水等の殺菌，脱臭，脱色，有機物
分解を目的とした水のオゾン処理装置、あるいはパルプ
の漂白などに代表される産業プラント内のオゾン処理装
置に関する。
た上水，下水，プール水等の殺菌，脱臭，脱色，有機物
分解を目的とした水のオゾン処理装置、あるいはパルプ
の漂白などに代表される産業プラント内のオゾン処理装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】オゾンを利用した水処理の例としては、
出口冨雄著「オゾンを中心とした高度浄水処理技術」に
述べられているように、浄水，分野への応用がある。本
用途において同文献Ｐ１８２〜Ｐ１８６に示すように、
オゾン反応槽内を流通する水道原水内にオゾンを含む空
気を気泡状態で散気させて、オゾンを原水に溶解させて
有機物，異臭味物質の分解を行う。これにより「おいし
い水」の要求に対応した高度浄水処理が行われている。
出口冨雄著「オゾンを中心とした高度浄水処理技術」に
述べられているように、浄水，分野への応用がある。本
用途において同文献Ｐ１８２〜Ｐ１８６に示すように、
オゾン反応槽内を流通する水道原水内にオゾンを含む空
気を気泡状態で散気させて、オゾンを原水に溶解させて
有機物，異臭味物質の分解を行う。これにより「おいし
い水」の要求に対応した高度浄水処理が行われている。
【０００３】本処理を行うオゾン処理装置は図８に示す
ようにオゾン発生装置１０と発生したオゾン化空気を散
気させるオゾン反応槽２０，余ったオゾンを分解する排
オゾン処理装置３０，その間を接続する水，気体の配管
と、計測機器類６０〜６８オゾン処理の制御を行う制御
装置などから構成されている。
ようにオゾン発生装置１０と発生したオゾン化空気を散
気させるオゾン反応槽２０，余ったオゾンを分解する排
オゾン処理装置３０，その間を接続する水，気体の配管
と、計測機器類６０〜６８オゾン処理の制御を行う制御
装置などから構成されている。
【０００４】計測の主要項目として原水流量，水温，水
質項目，オゾンを含む空気の流量，圧力，温度，オゾン
濃度，オゾン反応槽では水中の残留オゾン濃度，水中通
過後の空気中のオゾン濃度（排オゾン濃度）などがあ
り、原水の流量，水質劣化に応じて、オゾン濃度の制
御，オゾン化空気量の制御で、注入するオゾン量を増減
させている。しかし、注入オゾン量を原水の水質測定値
から直接設定できる計測器は無く、現状は原水流量に比
例してオゾン量を増減させるか、または、排オゾン濃度
あるいは水中の残留オゾン濃度と水質の関係を予めデー
タ収集しておき、この相関から注入オゾン量を制御する
方式が採用されている。
質項目，オゾンを含む空気の流量，圧力，温度，オゾン
濃度，オゾン反応槽では水中の残留オゾン濃度，水中通
過後の空気中のオゾン濃度（排オゾン濃度）などがあ
り、原水の流量，水質劣化に応じて、オゾン濃度の制
御，オゾン化空気量の制御で、注入するオゾン量を増減
させている。しかし、注入オゾン量を原水の水質測定値
から直接設定できる計測器は無く、現状は原水流量に比
例してオゾン量を増減させるか、または、排オゾン濃度
あるいは水中の残留オゾン濃度と水質の関係を予めデー
タ収集しておき、この相関から注入オゾン量を制御する
方式が採用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従って、オゾン処理が
行われるオゾン反応槽内についてはオゾン濃度の結果を
見ているだけで、内部で生じている気体と液体の反応メ
カニズムに基づいた現象の計測，制御指標化が行われて
いない状態であった。
行われるオゾン反応槽内についてはオゾン濃度の結果を
見ているだけで、内部で生じている気体と液体の反応メ
カニズムに基づいた現象の計測，制御指標化が行われて
いない状態であった。
【０００６】本発明の目的は、オゾン反応槽内で液体中
に散気されるオゾン化気体の溶解性能を数値情報とし
て、オゾン発生装置を制御して、オゾン発生装置の電気
代を節約したり、あるいはオゾン発生装置のライフを長
くしたりする等の経済的に運転するオゾン処理装置を提
供することにある。
に散気されるオゾン化気体の溶解性能を数値情報とし
て、オゾン発生装置を制御して、オゾン発生装置の電気
代を節約したり、あるいはオゾン発生装置のライフを長
くしたりする等の経済的に運転するオゾン処理装置を提
供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のオゾン処理装置
は、オゾン反応槽内の水中でのオゾン化気体の散気状態
の画像を取り込み画像処理で数値化し散気状態を数値情
報として、この数値情報制御指標によりオゾン発生装置
を制御することにある。
は、オゾン反応槽内の水中でのオゾン化気体の散気状態
の画像を取り込み画像処理で数値化し散気状態を数値情
報として、この数値情報制御指標によりオゾン発生装置
を制御することにある。
【０００８】
【作用】気泡画像を画像処理することで水中のオゾン化
空気の量，気泡の分布等により変化する数値が得られ、
オゾン化空気の散気状態を代表する数値情報として活用
できる。更に、オゾンの水中への溶解を支配する総括物
質移動容量係数Ｋｌａはオゾン反応槽のオゾン溶解特性
の把握や評価に使用され、反応槽の形状，気泡径などに
より変化するので、上記で得られる数値情報からＫｌａ
をオンライン推定することができる。
空気の量，気泡の分布等により変化する数値が得られ、
オゾン化空気の散気状態を代表する数値情報として活用
できる。更に、オゾンの水中への溶解を支配する総括物
質移動容量係数Ｋｌａはオゾン反応槽のオゾン溶解特性
の把握や評価に使用され、反応槽の形状，気泡径などに
より変化するので、上記で得られる数値情報からＫｌａ
をオンライン推定することができる。
【０００９】この画像処理から得られた数値情報とオゾ
ン処理装置の運転条件の相関をデータとして収集蓄積し
データベースとしておき、運転時のデータと比較するこ
とで、オゾン反応槽の特性の変化，異常等の診断を行う
ことができる。また、反応槽の特性の変化等に合わせ
て、オゾン供給量，空気量，オゾン濃度を変化させるこ
とで、最適な反応槽制御を行うことにより、オゾン発生
装置を経済的に運転することにある。
ン処理装置の運転条件の相関をデータとして収集蓄積し
データベースとしておき、運転時のデータと比較するこ
とで、オゾン反応槽の特性の変化，異常等の診断を行う
ことができる。また、反応槽の特性の変化等に合わせ
て、オゾン供給量，空気量，オゾン濃度を変化させるこ
とで、最適な反応槽制御を行うことにより、オゾン発生
装置を経済的に運転することにある。
【００１０】例えば、オゾン反応槽内で水に溶けるオゾ
ン濃度Ｘを示す微分方程式の例として（数１）式があ
る。
ン濃度Ｘを示す微分方程式の例として（数１）式があ
る。
【００１１】 ｄＸ／ｄｔ＝Ｋｌａ(Ｘ*−Ｘ)−Ｋ3Ｘ＋ｂ×ｄＬ／ｄｔ …（数１） ここで、Ｌ：全ＣＯＤ濃度（mg／ｌ） Ｘ：溶存オゾン濃度（mg／ｌ） Ｋｌａ：総括物質移動容量係数（１／ｈｒ） Ｘ* ：飽和オゾン濃度（mg／ｌ） Ｋ3：自己分解反応定数（１／ｈｒ） ｂ：単位ＣＯＤ当りに消費されてるオゾン量（mgＯ3／m
gＣＯＤ） 上式において、ｂ×ｄＸ／ｄｔは水に含まれる分解物質
によるオゾンの消費である。従って、分解物質を含まな
い水に対しては（数２）式で表現され ｄＸ／ｄｔ＝Ｋｌａ(Ｘ*−Ｘ)−Ｋ3Ｘ …（数２） 解は（数３）になる。
gＣＯＤ） 上式において、ｂ×ｄＸ／ｄｔは水に含まれる分解物質
によるオゾンの消費である。従って、分解物質を含まな
い水に対しては（数２）式で表現され ｄＸ／ｄｔ＝Ｋｌａ(Ｘ*−Ｘ)−Ｋ3Ｘ …（数２） 解は（数３）になる。
【００１２】 Ｘ＝Ｋｌａ／Ｋｌａ＋Ｋ3・Ｘ*１−exp−(Ｋｌａ＋Ｋ3)ｔ …（数３） 実験よりｔとＸの関係を求めることにより、その反応槽
についてＫｌａ，Ｋとの値を知ることができ、その時の
気泡の画像処理データとＫｌａの値を関連づけることが
できる。
についてＫｌａ，Ｋとの値を知ることができ、その時の
気泡の画像処理データとＫｌａの値を関連づけることが
できる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１により説明す
る。
る。
【００１４】オゾン発生装置１０で発生したオゾン化空
気量６０は、原水４０が流れるオゾン反応槽２０に導か
れ、多孔質材料で形成され散気管２１により気泡となっ
て、原水と接触しオゾンが水中に溶解しながらオゾン処
理が行われ、処理水５０となる。オゾン化空気内に残っ
たオゾンは排オゾン処理装置３０により酸素に分解され
気中に放出されている。オゾン発生装置１０は、空気を
圧送するブロア部１１，空気の冷却乾燥部１２とオゾン
発生部１３より構成される。計装関連はオゾン化空気量
６０，同空気の圧力６１，温度６２，オゾン化空気のオ
ゾン濃度６３の計測である。６５は排オゾン濃度であ
る。
気量６０は、原水４０が流れるオゾン反応槽２０に導か
れ、多孔質材料で形成され散気管２１により気泡となっ
て、原水と接触しオゾンが水中に溶解しながらオゾン処
理が行われ、処理水５０となる。オゾン化空気内に残っ
たオゾンは排オゾン処理装置３０により酸素に分解され
気中に放出されている。オゾン発生装置１０は、空気を
圧送するブロア部１１，空気の冷却乾燥部１２とオゾン
発生部１３より構成される。計装関連はオゾン化空気量
６０，同空気の圧力６１，温度６２，オゾン化空気のオ
ゾン濃度６３の計測である。６５は排オゾン濃度であ
る。
【００１５】一方、原水については、水質検出計６７，
処理水量６４，水温６８の検出，オゾン反応後の溶存オ
ゾン濃度６６の測定を行い計測制御部へデータ伝送す
る。オゾン反応槽２０には、内部をのぞく透明窓７４を
設け、照明装置７３の光で気泡状態が観察でき、画像処
理装置７０に接続されたカメラ７５により画像の取り込
みを行う。画像処理装置７０では画像処理により気泡画
像を数値情報化し、制御部８０に伝送する。制御部８０
では該数値データからオゾン反応槽内の散気状態を判別
し、他の変動要素例えば原水水量、あるいは排オゾン濃
度，溶存オゾン濃度に見合った制御指示をオゾン発生装
置１０に向かって伝送する。
処理水量６４，水温６８の検出，オゾン反応後の溶存オ
ゾン濃度６６の測定を行い計測制御部へデータ伝送す
る。オゾン反応槽２０には、内部をのぞく透明窓７４を
設け、照明装置７３の光で気泡状態が観察でき、画像処
理装置７０に接続されたカメラ７５により画像の取り込
みを行う。画像処理装置７０では画像処理により気泡画
像を数値情報化し、制御部８０に伝送する。制御部８０
では該数値データからオゾン反応槽内の散気状態を判別
し、他の変動要素例えば原水水量、あるいは排オゾン濃
度，溶存オゾン濃度に見合った制御指示をオゾン発生装
置１０に向かって伝送する。
【００１６】この指令には、オゾン発生量制御信号８
１，オゾン化空気量制御信号８２，同圧力制御信号８３
等がある。例えば、溶存オゾン濃度の低下した場合は、
処理物質の増大によるオゾン消費の増加または、オゾン
の水中への溶解の低下が原因として考えられるが、画像
処理の数値情報により後者の溶解の状況の異変の有無を
判別することが可能となり、該数値情報を制御指標とし
て使用することにより、変動部分の確認による最適制御
化への道が拓かれる。
１，オゾン化空気量制御信号８２，同圧力制御信号８３
等がある。例えば、溶存オゾン濃度の低下した場合は、
処理物質の増大によるオゾン消費の増加または、オゾン
の水中への溶解の低下が原因として考えられるが、画像
処理の数値情報により後者の溶解の状況の異変の有無を
判別することが可能となり、該数値情報を制御指標とし
て使用することにより、変動部分の確認による最適制御
化への道が拓かれる。
【００１７】図２，図３，図４，図５は画像処理の数値
データと、オゾン反応槽２０の内部でのオゾン溶解の性
能を示す総括物質移動容量係数Ｋｌａの関係を実験デー
タに基づき示したものである。図２は、散気管２１から
の気泡状態の一部を切り出し２値比することで、画像内
の気泡部の面積率＝気泡部面積／画面面積を数値情報と
する方式である。この方式では、気泡が奥行き方向で重
なると、気泡が増加しても気泡面積の増加はみかけ上少
なくなりＫｌａの関連は図３のようになる気泡部面積率
特性図Ｘ１であることを確認した。
データと、オゾン反応槽２０の内部でのオゾン溶解の性
能を示す総括物質移動容量係数Ｋｌａの関係を実験デー
タに基づき示したものである。図２は、散気管２１から
の気泡状態の一部を切り出し２値比することで、画像内
の気泡部の面積率＝気泡部面積／画面面積を数値情報と
する方式である。この方式では、気泡が奥行き方向で重
なると、気泡が増加しても気泡面積の増加はみかけ上少
なくなりＫｌａの関連は図３のようになる気泡部面積率
特性図Ｘ１であることを確認した。
【００１８】図４は、気泡部からの照明光の散乱光を画
像の明るさとして数値化する方式である。この方式では
気泡が奥行き方法で重なっても散乱光もほぼ比例して増
加する為、気泡量の増加に対しても検出精度を高くでき
る。Ｋｌａとの関係は図５に示すようにほぼ直線関係で
得られる気泡量増加特性Ｘ２を実験的に確認した。
像の明るさとして数値化する方式である。この方式では
気泡が奥行き方法で重なっても散乱光もほぼ比例して増
加する為、気泡量の増加に対しても検出精度を高くでき
る。Ｋｌａとの関係は図５に示すようにほぼ直線関係で
得られる気泡量増加特性Ｘ２を実験的に確認した。
【００１９】このように画像処理装置７０の画像内で気
泡部の面積割合を数値情報として検出した気泡量増加特
性Ｘ２を制御部８０に入力し、制御部８０では気泡量増
加特性Ｘ１を格納された基準気泡量増加特性とを比較し
て、その差分値をオゾン発生装置１０のブロア部１１，
冷却乾燥部１２，オゾン発生部１３等を制御して、オゾ
ン発生装置１０の電気代を節約したり、あるいはオゾン
発生装置１０のライフを長くしたりする等の効果を達成
できるようになった。
泡部の面積割合を数値情報として検出した気泡量増加特
性Ｘ２を制御部８０に入力し、制御部８０では気泡量増
加特性Ｘ１を格納された基準気泡量増加特性とを比較し
て、その差分値をオゾン発生装置１０のブロア部１１，
冷却乾燥部１２，オゾン発生部１３等を制御して、オゾ
ン発生装置１０の電気代を節約したり、あるいはオゾン
発生装置１０のライフを長くしたりする等の効果を達成
できるようになった。
【００２０】図６は、図２ないし図５に示した画像処理
手法から得た数値情報をＫｌａに変換するＫｌａ演算部
７６を付加した実施例である。Ｋｌａを制御指標化する
ことにより２０の内部でのオゾン溶解挙動が数式として
展開できるので最適な制御方式が得られる。Ｋｌａは原
水の水温６８，水質６７の内ｐＨによって左右される為
７６には７０のデータを補正する機能も付加される。
手法から得た数値情報をＫｌａに変換するＫｌａ演算部
７６を付加した実施例である。Ｋｌａを制御指標化する
ことにより２０の内部でのオゾン溶解挙動が数式として
展開できるので最適な制御方式が得られる。Ｋｌａは原
水の水温６８，水質６７の内ｐＨによって左右される為
７６には７０のデータを補正する機能も付加される。
【００２１】図７は、８５から送られる計測データと７
６からのＫｌａとの相関データを蓄積するファイル８７
を有した実施例である。計測データはオゾン処理装置の
運転状態を示す数値データでありＫｌａと関連づけるこ
とができる。これを蓄積しファイル化し、運転中のデー
タとの偏差を確認することでオゾン反応槽内の状態を経
時的に監視でき、散気管の目づまり等による性能の低
下，突発的異変を顕在化させ予め設定された範囲を超え
た偏差が生じた場合は警報等を発生させ、装置の予防保
全に役立てることができる。またこの蓄積ファイルによ
り長期間の運転実績データを得、原水水質，水量変化に
対応したオゾン処理制御において、オゾン反応槽につい
ても最適化制御を行うことが可能となる。
６からのＫｌａとの相関データを蓄積するファイル８７
を有した実施例である。計測データはオゾン処理装置の
運転状態を示す数値データでありＫｌａと関連づけるこ
とができる。これを蓄積しファイル化し、運転中のデー
タとの偏差を確認することでオゾン反応槽内の状態を経
時的に監視でき、散気管の目づまり等による性能の低
下，突発的異変を顕在化させ予め設定された範囲を超え
た偏差が生じた場合は警報等を発生させ、装置の予防保
全に役立てることができる。またこの蓄積ファイルによ
り長期間の運転実績データを得、原水水質，水量変化に
対応したオゾン処理制御において、オゾン反応槽につい
ても最適化制御を行うことが可能となる。
【００２２】
【発明の効果】本発明のオゾン発生装置１０によれば、
オゾン反応槽内の気泡挙動を数値情報とすることで今ま
でブラックボックスであった当該部を制御対象として捉
えることができた。この結果、画像処理装置７０の画像
内で気泡部の面積割合を数値情報として検出した気泡量
増加特性Ｘ２を制御部８０に入力し、制御部８０では気
泡量増加特性Ｘ１を格納された基準気泡量増加特性とを
比較して、その差分値をオゾン発生装置１０のブロア部
１１，冷却乾燥部１２，オゾン発生部１３等を制御し
て、オゾン発生装置１０の電気代を節約したり、あるい
はオゾン発生装置１０のライフを長くしたりする等の経
済的に運転する効果を達成できるようになった。
オゾン反応槽内の気泡挙動を数値情報とすることで今ま
でブラックボックスであった当該部を制御対象として捉
えることができた。この結果、画像処理装置７０の画像
内で気泡部の面積割合を数値情報として検出した気泡量
増加特性Ｘ２を制御部８０に入力し、制御部８０では気
泡量増加特性Ｘ１を格納された基準気泡量増加特性とを
比較して、その差分値をオゾン発生装置１０のブロア部
１１，冷却乾燥部１２，オゾン発生部１３等を制御し
て、オゾン発生装置１０の電気代を節約したり、あるい
はオゾン発生装置１０のライフを長くしたりする等の経
済的に運転する効果を達成できるようになった。
【図１】本発明の実施例として示したオゾン発生装置の
全体概略説明図である。
全体概略説明図である。
【図２】図１の気泡部面積率の測定の仕方を示す概略側
面図である。
面図である。
【図３】図２の気泡部面積率で測定した気泡部面積率特
性図Ｘ１である。
性図Ｘ１である。
【図４】図１の気泡部面積率測定方法による気泡部に散
乱光を画像の明るさとして数値化する測定方法の概略側
面図である。
乱光を画像の明るさとして数値化する測定方法の概略側
面図である。
【図５】図２の気泡部面積率測定方法による気泡量増加
特性図Ｘ２である。
特性図Ｘ２である。
【図６】本発明の他の実施例として示したオゾン発生装
置の全体概略説明図である。
置の全体概略説明図である。
【図７】本発明の他の実施例として示したオゾン発生装
置の全体概略説明図である。
置の全体概略説明図である。
【図８】従来の実施例であるオゾン発生装置の全体概略
説明図である。
説明図である。
１０…オゾン発生装置、１１…ブロア部、１２…空気冷
却乾燥部、１３…オゾン発生部、２０…ゾン反応槽、７
０…画像処理装置、７３…照明装置、７４…窓、７５…
カメラ、７６…Ｋｌａ演算部、８０…制御部。
却乾燥部、１３…オゾン発生部、２０…ゾン反応槽、７
０…画像処理装置、７３…照明装置、７４…窓、７５…
カメラ、７６…Ｋｌａ演算部、８０…制御部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０２Ｆ 1/50 Ｐ ５３１ Ｒ ５４０ Ａ ５５０ Ｂ Ｌ (72)発明者 塩野 繁男 茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株式 会社日立製作所国分工場内 (72)発明者 渡辺 昭二 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 原 直樹 茨城県日立市大みか町五丁目２番１号 株 式会社日立製作所大みか工場内 (72)発明者 馬場 研二 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内
Claims (8)
- 【請求項１】オゾンを含有する気体を気泡状態で液体中
に散気し、液体とオゾンを接触させてオゾン処理を行う
オゾン処理装置において、液体中の気泡画像を捕捉する
手段と、捕捉された画像から数値情報を得る画像処理手
段を備え、画像処理手段で表れた気泡の割合を該数値情
報としてオゾン処理装置の制御指標として使用したこと
を特徴とするオゾン処理装置。 - 【請求項２】液体中の気泡画像を捕捉する手段と、捕捉
された画像から画像処置により画像内の気泡占有面積を
計算し、これを数値情報としてオゾン処理装置の制御指
標に使用することを特徴とする請求項１記載のオゾン処
理装置。 - 【請求項３】オゾンを含有する気体を気泡状態で液体中
に散気し、液体とオゾンを接触させてオゾン処理を行う
オゾン処理装置において、液体中の気泡画像を捕捉する
手段と、捕捉された画像から画像処理により画像内の気
泡部の明るさを計算し、これを数値情報としてオゾン処
理装置の制御指標に使用することを特徴とするオゾン処
理装置。 - 【請求項４】画像処理により得られた数値情報から総括
物質移動容量係数を推定し、該係数を制御指標としてオ
ゾン処理の制御に使用することを特徴とした請求項２ま
たは３記載のオゾン処理装置。 - 【請求項５】画像処理より得られる数値情報と、オゾン
処理装置の運転条件数値の相関を蓄積データとして保有
し、運転時の数値情報と運転条件数値を該蓄積データと
比較照合し、数値情報あるいは運転条件数値の偏差を制
御指標としてオゾン処理装置の制御に使用することを特
徴とする請求項１，２，３，４のいずれか１項記載のオ
ゾン処理装置。 - 【請求項６】運転条件数値の中に、オゾンを含有する気
体の流量，該気体の温度，処理を行う液体の温度，該液
体のｐＨのいずれか１つ以上が含まれていることを特徴
とする請求項５記載のオゾン処理装置。 - 【請求項７】運転時の数値情報が予め設定された範囲か
ら外れた場合、あるいは運転時の数値情報と運転条件値
がその相関において、蓄積データとの間で予め設定され
た範囲以上の偏差を示した場合に警報を発することを特
徴とする請求項５又は６項記載のオゾン処理装置。 - 【請求項８】制御対象の中に、オゾンを含有する気体流
量あるいは、該気体圧力、あるいは該気体中に含まれる
オゾン濃度あるいは、オゾン発生量のいずれか１つ以上
が含まれていることを特徴とする請求項１，２，３，
４，５，６のいずれか１項記載のオゾン処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6056494A JPH07265884A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | オゾン処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6056494A JPH07265884A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | オゾン処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07265884A true JPH07265884A (ja) | 1995-10-17 |
Family
ID=13145896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6056494A Pending JPH07265884A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | オゾン処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07265884A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2753443A1 (fr) * | 1996-09-17 | 1998-03-20 | Hitachi Ltd | Procede pour traiter et detecter un liquide |
| JP2016221499A (ja) * | 2015-12-17 | 2016-12-28 | 三菱電機株式会社 | 水処理システム及び水処理方法 |
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1994
- 1994-03-30 JP JP6056494A patent/JPH07265884A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2753443A1 (fr) * | 1996-09-17 | 1998-03-20 | Hitachi Ltd | Procede pour traiter et detecter un liquide |
| JP2016221499A (ja) * | 2015-12-17 | 2016-12-28 | 三菱電機株式会社 | 水処理システム及び水処理方法 |
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