JPH07266567A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH07266567A JPH07266567A JP8552994A JP8552994A JPH07266567A JP H07266567 A JPH07266567 A JP H07266567A JP 8552994 A JP8552994 A JP 8552994A JP 8552994 A JP8552994 A JP 8552994A JP H07266567 A JPH07266567 A JP H07266567A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な工程で作業性がよく、しかも歩留りを
向上させる。 【構成】 インクジェット記録ヘッド１０は、インク滴
を吐出するインク吐出口５２を有するオリフィスプレー
ト５４と、インク吐出口５２からインク滴を吐出させる
熱エネルギーを発生する電気熱変換体５６を有する基板
５８と、基板５８に設けられると共にオリフィスプレー
ト５４に接着してインク流路６０を形成する流路部材６
２とを備えている。そして、流路部材６２のオリフィス
プレート５４側に設けられた凹溝１２と、凹溝１２内に
充填されると共に流路部材６２とオリフィスプレート５
４とを接着する接着剤１４とを備えている。
向上させる。 【構成】 インクジェット記録ヘッド１０は、インク滴
を吐出するインク吐出口５２を有するオリフィスプレー
ト５４と、インク吐出口５２からインク滴を吐出させる
熱エネルギーを発生する電気熱変換体５６を有する基板
５８と、基板５８に設けられると共にオリフィスプレー
ト５４に接着してインク流路６０を形成する流路部材６
２とを備えている。そして、流路部材６２のオリフィス
プレート５４側に設けられた凹溝１２と、凹溝１２内に
充填されると共に流路部材６２とオリフィスプレート５
４とを接着する接着剤１４とを備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インク滴を噴射し記録
を行うインクジェット記録ヘッドの及びその製造方法に
関する。
を行うインクジェット記録ヘッドの及びその製造方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】図３及び図４は従来のインクジェット記
録ヘッドを示し、図３は図４におけるIII-III 線縦断面
図、図４は一部を切り欠いた平面図である。
録ヘッドを示し、図３は図４におけるIII-III 線縦断面
図、図４は一部を切り欠いた平面図である。
【０００３】従来のインクジェット記録ヘッド５０は、
インク滴を吐出するインク吐出口５２を有するオリフィ
スプレート５４と、インク吐出口５２からインク滴を吐
出させる熱エネルギーを発生する電気熱変換体５６を有
する基板５８と、基板５８に設けられると共にオリフィ
スプレート５４に接着してインク流路６０を形成する流
路部材６２とを備えたものである。インク流路６０は、
インク供給口６６及びインク吐出口５２に連通してい
る。
インク滴を吐出するインク吐出口５２を有するオリフィ
スプレート５４と、インク吐出口５２からインク滴を吐
出させる熱エネルギーを発生する電気熱変換体５６を有
する基板５８と、基板５８に設けられると共にオリフィ
スプレート５４に接着してインク流路６０を形成する流
路部材６２とを備えたものである。インク流路６０は、
インク供給口６６及びインク吐出口５２に連通してい
る。
【０００４】インクジェット記録ヘッド５０を製造する
には、流路部材６２とオリフィスプレート５４とを接着
する工程が必要となる。この接着に際しては、電気熱変
換体５６とインク吐出口５２とが所定の位置に配置され
るように、正確に位置合わせをしなければならない。す
なわち、基板５８上に形成された流路部材６２の表面全
体に接着剤６４を薄く均一に塗布した後、電気熱変換体
５６と吐出口５２との位置を合わせた上で、基板５８と
オリフィスプレート５４とに対して同時に加圧，加熱等
を施すことによりこれらを接着する。
には、流路部材６２とオリフィスプレート５４とを接着
する工程が必要となる。この接着に際しては、電気熱変
換体５６とインク吐出口５２とが所定の位置に配置され
るように、正確に位置合わせをしなければならない。す
なわち、基板５８上に形成された流路部材６２の表面全
体に接着剤６４を薄く均一に塗布した後、電気熱変換体
５６と吐出口５２との位置を合わせた上で、基板５８と
オリフィスプレート５４とに対して同時に加圧，加熱等
を施すことによりこれらを接着する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の接着方法では、接着剤により十分な強度が得ら
れる一方、以下のような問題を招来していた。
た従来の接着方法では、接着剤により十分な強度が得ら
れる一方、以下のような問題を招来していた。
【０００６】 流路部材６２の表面全体に接着剤６４
を薄く均一に塗布することが非常に困難であり、作業性
が良くなかった。
を薄く均一に塗布することが非常に困難であり、作業性
が良くなかった。
【０００７】 図３に示すように、接着剤６４をイン
ク流路６０近傍まで塗布するため、オリフィスプレート
５４と基板５８とを加圧，加熱する際などに、接着剤６
４がインク流路６０や電気熱変換体５６へ流れ出すこと
があった。したがって、インク流路６０の形状が変化し
たり、電気熱変換体５４で発生するバブルの成長が阻害
されたりする不良が発生するため、歩留りを低下させて
いた。
ク流路６０近傍まで塗布するため、オリフィスプレート
５４と基板５８とを加圧，加熱する際などに、接着剤６
４がインク流路６０や電気熱変換体５６へ流れ出すこと
があった。したがって、インク流路６０の形状が変化し
たり、電気熱変換体５４で発生するバブルの成長が阻害
されたりする不良が発生するため、歩留りを低下させて
いた。
【０００８】
【発明の目的】そこで、本発明の目的は、簡単な工程で
作業性がよく、しかも歩留りを向上できるインクジェッ
ト記録ヘッド及びその製造方法を提供することにある。
作業性がよく、しかも歩留りを向上できるインクジェッ
ト記録ヘッド及びその製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に係るインクジェ
ット記録ヘッドは、上記目的を達成するためになされた
ものであり、インク滴を吐出するインク吐出口を有する
オリフィスプレートと、前記インク吐出口から前記イン
ク滴を吐出させる熱エネルギーを発生する電気熱変換体
を有する基板と、この基板に設けられると共に前記オリ
フィスプレートに接着してインク流路を形成する流路部
材とを備えたものである。そして、前記流路部材の前記
オリフィスプレート側に設けられた凹溝と、この凹溝内
に充填されると共に前記流路部材と前記オリフィスプレ
ートとを接着する接着剤とを備えたことを特徴とするも
のである。
ット記録ヘッドは、上記目的を達成するためになされた
ものであり、インク滴を吐出するインク吐出口を有する
オリフィスプレートと、前記インク吐出口から前記イン
ク滴を吐出させる熱エネルギーを発生する電気熱変換体
を有する基板と、この基板に設けられると共に前記オリ
フィスプレートに接着してインク流路を形成する流路部
材とを備えたものである。そして、前記流路部材の前記
オリフィスプレート側に設けられた凹溝と、この凹溝内
に充填されると共に前記流路部材と前記オリフィスプレ
ートとを接着する接着剤とを備えたことを特徴とするも
のである。
【００１０】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの
製造方法は、上記目的を達成するためになされたもので
あり、本発明に係るインクジェット記録ヘッドにおい
て、前記凹溝内に前記接着剤を充填した後、前記オリフ
ィスプレートと前記流路部材とを接着させることを特徴
とするものである。
製造方法は、上記目的を達成するためになされたもので
あり、本発明に係るインクジェット記録ヘッドにおい
て、前記凹溝内に前記接着剤を充填した後、前記オリフ
ィスプレートと前記流路部材とを接着させることを特徴
とするものである。
【００１１】
【作用】オリフィスプレートには、インク滴を吐出する
インク吐出口が設けられている。基板には、インク滴を
吐出させる熱エネルギーを発生する電気熱変換体と、オ
リフィスプレートと共にインク流路を形成する流路部材
とが設けられている。また、流路部材には、オリフィス
プレートと接着する面に凹溝が設けられている。
インク吐出口が設けられている。基板には、インク滴を
吐出させる熱エネルギーを発生する電気熱変換体と、オ
リフィスプレートと共にインク流路を形成する流路部材
とが設けられている。また、流路部材には、オリフィス
プレートと接着する面に凹溝が設けられている。
【００１２】オリフィスプレートと基板とを接着するに
は、まず、流路部材に設けられた凹溝内に接着剤を充填
する。この工程は、従来の流路部材の表面全体に接着剤
を塗布する工程に比べて、精度を要しないのでたいへん
容易である。しかも、凹溝内部に充填された接着剤は、
表面張力，凝集力等の作用により凹溝内部に留まろうと
するので、電気熱変換体やインク流路へ流れ出にくい。
は、まず、流路部材に設けられた凹溝内に接着剤を充填
する。この工程は、従来の流路部材の表面全体に接着剤
を塗布する工程に比べて、精度を要しないのでたいへん
容易である。しかも、凹溝内部に充填された接着剤は、
表面張力，凝集力等の作用により凹溝内部に留まろうと
するので、電気熱変換体やインク流路へ流れ出にくい。
【００１３】
【実施例】図１及び図２は本発明に係るインクジェット
記録ヘッドの一実施例を示し、図１は図２におけるＩ−
Ｉ線縦断面図、図２は一部を切り欠いた平面図である。
以下、図１及び図２に基づき説明する。ただし、図３及
び図４と同一部分は同一符号を付して説明を省略する。
記録ヘッドの一実施例を示し、図１は図２におけるＩ−
Ｉ線縦断面図、図２は一部を切り欠いた平面図である。
以下、図１及び図２に基づき説明する。ただし、図３及
び図４と同一部分は同一符号を付して説明を省略する。
【００１４】本発明に係るインクジェット記録ヘッド１
０は、インク滴を吐出するインク吐出口５２を有するオ
リフィスプレート５４と、インク吐出口５２からインク
滴を吐出させる熱エネルギーを発生する電気熱変換体５
６を有する基板５８と、基板５８に設けられると共にオ
リフィスプレート５４に接着してインク流路６０を形成
する流路部材６２とを備えたものである。そして、流路
部材６２のオリフィスプレート５４側に設けられた凹溝
１２と、凹溝１２内に充填されると共に流路部材６２と
オリフィスプレート５４とを接着する接着剤１４とを備
えたことを特徴とするものである。
０は、インク滴を吐出するインク吐出口５２を有するオ
リフィスプレート５４と、インク吐出口５２からインク
滴を吐出させる熱エネルギーを発生する電気熱変換体５
６を有する基板５８と、基板５８に設けられると共にオ
リフィスプレート５４に接着してインク流路６０を形成
する流路部材６２とを備えたものである。そして、流路
部材６２のオリフィスプレート５４側に設けられた凹溝
１２と、凹溝１２内に充填されると共に流路部材６２と
オリフィスプレート５４とを接着する接着剤１４とを備
えたことを特徴とするものである。
【００１５】電気熱変換体５６は、図示しない駆動信号
入力用の電極が接続されており、上位のホストコンピュ
ータ等の駆動信号に基づき通電される。通電された電気
熱変換体５６は、発熱を起こしてその周囲のインクにバ
ブルを発生させ、そのバブルの圧力でインクを吐出させ
る。
入力用の電極が接続されており、上位のホストコンピュ
ータ等の駆動信号に基づき通電される。通電された電気
熱変換体５６は、発熱を起こしてその周囲のインクにバ
ブルを発生させ、そのバブルの圧力でインクを吐出させ
る。
【００１６】次に、本発明に係るインクジェット記録ヘ
ッド１０の製造方法を説明する。
ッド１０の製造方法を説明する。
【００１７】基板５８は、ガラス、セラミック、シリコ
ン等の材料からなり、その表面にフォトリソグラフィの
手法を用いて電気熱変換体５６を所要の個数配設する。
続いて、基板５８上にインク流路６０及び凹溝１２を形
成する。インク流路６０及び凹溝１２は、流路部材６２
としてドライフィルムを用いそのフォトレジストのパタ
ーニングよって形成する。この場合、基板５８に加湿さ
れたドライフィルムフォトレジストをラミネートし、イ
ンク流路６０になる部分とインク流路６０を囲む形の凹
溝１２になる部分とに対してネガの関係あるフォトマス
クを用い露光した後現像する。このようにして得られた
ドライフィルムフォトレジストのパターンに対して、耐
インク性を高めるため、熱処理若しくは紫外線照射又は
この両者を併用して処理する。
ン等の材料からなり、その表面にフォトリソグラフィの
手法を用いて電気熱変換体５６を所要の個数配設する。
続いて、基板５８上にインク流路６０及び凹溝１２を形
成する。インク流路６０及び凹溝１２は、流路部材６２
としてドライフィルムを用いそのフォトレジストのパタ
ーニングよって形成する。この場合、基板５８に加湿さ
れたドライフィルムフォトレジストをラミネートし、イ
ンク流路６０になる部分とインク流路６０を囲む形の凹
溝１２になる部分とに対してネガの関係あるフォトマス
クを用い露光した後現像する。このようにして得られた
ドライフィルムフォトレジストのパターンに対して、耐
インク性を高めるため、熱処理若しくは紫外線照射又は
この両者を併用して処理する。
【００１８】また、オリフィスプレート５４は以下の工
程を経て作成する。まず、ステンレス板等に感光性樹脂
であるドライフィルムをラミネートし、フォトリソエッ
チング工程により、オリフィスプレート５４及び吐出口
５２となる形状を形成する。次にステンレス板上にニッ
ケル等の電解メッキ，又は無電解メッキをする。その
後、ステンレス板とその上に設けたメッキを剥離する。
この剥離されたメッキはパターニングされた形状と同一
であり、これがオリフィスプレート５４となる。
程を経て作成する。まず、ステンレス板等に感光性樹脂
であるドライフィルムをラミネートし、フォトリソエッ
チング工程により、オリフィスプレート５４及び吐出口
５２となる形状を形成する。次にステンレス板上にニッ
ケル等の電解メッキ，又は無電解メッキをする。その
後、ステンレス板とその上に設けたメッキを剥離する。
この剥離されたメッキはパターニングされた形状と同一
であり、これがオリフィスプレート５４となる。
【００１９】続いて、オリフィスプレート５４と基板５
８との接着について説明する。まず、凹溝１２内に接着
剤１４を流路部材６２の高さと同等かそれ以上流し込
む。この工程は、接着剤１４の塗布に比べて、精度を要
しないのでたいへん容易である。そして、オリフィスプ
レート５４と基板５８とを、吐出口５２と電気熱変換体
５６との位置が合うように位置合わせを行いながら、密
着させる。次に、密着されたオリフィスプレート５４と
基板５８とを治具等で固定し、接着剤１４を乾燥させる
ために加熱及び加圧を行う。その状態で所定時間を経過
させた後、空気中等で治具を放置し十分冷却を行った
後、治具から取り出すことによりインクジェット記録ヘ
ッド１０が完成する。
８との接着について説明する。まず、凹溝１２内に接着
剤１４を流路部材６２の高さと同等かそれ以上流し込
む。この工程は、接着剤１４の塗布に比べて、精度を要
しないのでたいへん容易である。そして、オリフィスプ
レート５４と基板５８とを、吐出口５２と電気熱変換体
５６との位置が合うように位置合わせを行いながら、密
着させる。次に、密着されたオリフィスプレート５４と
基板５８とを治具等で固定し、接着剤１４を乾燥させる
ために加熱及び加圧を行う。その状態で所定時間を経過
させた後、空気中等で治具を放置し十分冷却を行った
後、治具から取り出すことによりインクジェット記録ヘ
ッド１０が完成する。
【００２０】なお、オリフィスプレート５４と基板５８
との接着強度は、接着剤１４の種類のみならず、凹溝１
２の幅で変化させることができる。また、凹溝１２は本
実施例では流路部材６２を貫通するように形成している
が、凹溝１２の深さは任意に設計可能である。さらに、
凹溝１２の位置，形状も任意に設計可能である。
との接着強度は、接着剤１４の種類のみならず、凹溝１
２の幅で変化させることができる。また、凹溝１２は本
実施例では流路部材６２を貫通するように形成している
が、凹溝１２の深さは任意に設計可能である。さらに、
凹溝１２の位置，形状も任意に設計可能である。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、基板上の流路部材に凹
溝を設け、この凹溝に接着剤を充填することにより、基
板とオリフィスプレートとを接着するようにしたので、
以下の効果を奏する。
溝を設け、この凹溝に接着剤を充填することにより、基
板とオリフィスプレートとを接着するようにしたので、
以下の効果を奏する。
【００２２】 凹溝内に接着剤を充填する工程は、従
来の流路部材の表面全体に接着剤を塗布する工程に比べ
て、精度を要しないのでたいへん容易であり、作業性を
著しく向上できる。
来の流路部材の表面全体に接着剤を塗布する工程に比べ
て、精度を要しないのでたいへん容易であり、作業性を
著しく向上できる。
【００２３】 凹溝内部に充填された接着剤は流れに
くいので、接着剤が電気熱変換体やインク流路へ流れ出
すことによる不良の発生を防止できる。
くいので、接着剤が電気熱変換体やインク流路へ流れ出
すことによる不良の発生を防止できる。
【図１】図２におけるＩ−Ｉ線縦断面図である。
【図２】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの一実
施例を示す一部を切り欠いた平面図である。
施例を示す一部を切り欠いた平面図である。
【図３】図４におけるIII-III 線縦断面図である。
【図４】従来のインクジェット記録ヘッドの一実施例を
示す一部を切り欠いた平面図である。
示す一部を切り欠いた平面図である。
１０ インクジェット記録ヘッド １２ 凹溝 １４ 接着剤 ５２ 吐出口 ５４ オリフィスプレート ５６ 電気熱変換体 ５８ 基板 ６０ インク流路 ６２ 流路部材 ６６ インク供給口
Claims (2)
- 【請求項１】 インク滴を吐出するインク吐出口を有す
るオリフィスプレートと、前記インク吐出口から前記イ
ンク滴を吐出させる熱エネルギーを発生する電気熱変換
体を有する基板と、この基板に設けられると共に前記オ
リフィスプレートに接着してインク流路を形成する流路
部材とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記流路部材の前記オリフィスプレート側に設けられた
凹溝と、この凹溝内に充填されると共に前記流路部材と
前記オリフィスプレートとを接着する接着剤とを備えた
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】 請求項１記載のインクジェット記録ヘッ
ドを製造する方法であって、前記凹溝内に前記接着剤を
充填した後、前記オリフィスプレートと前記流路部材と
を接着させることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6085529A JP2795170B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6085529A JP2795170B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07266567A true JPH07266567A (ja) | 1995-10-17 |
| JP2795170B2 JP2795170B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=13861421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6085529A Expired - Fee Related JP2795170B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2795170B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100464743B1 (ko) * | 2001-04-26 | 2005-01-06 | 캐논 가부시끼가이샤 | 잉크 젯 기록 장치 및 그의 전력 공급 방법과 전력 공급 회로 |
| JP2009006723A (ja) * | 2003-10-23 | 2009-01-15 | Hewlett-Packard Development Co Lp | 流体噴射装置のプリントヘッド組立品 |
| US12319058B2 (en) | 2022-03-30 | 2025-06-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection recording element unit and method for producing same |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5687445A (en) * | 1979-12-18 | 1981-07-16 | Ricoh Co Ltd | Liquid jet head |
| JPS58116164A (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-11 | Canon Inc | 記録ヘツド |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP6085529A patent/JP2795170B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5687445A (en) * | 1979-12-18 | 1981-07-16 | Ricoh Co Ltd | Liquid jet head |
| JPS58116164A (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-11 | Canon Inc | 記録ヘツド |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100464743B1 (ko) * | 2001-04-26 | 2005-01-06 | 캐논 가부시끼가이샤 | 잉크 젯 기록 장치 및 그의 전력 공급 방법과 전력 공급 회로 |
| JP2009006723A (ja) * | 2003-10-23 | 2009-01-15 | Hewlett-Packard Development Co Lp | 流体噴射装置のプリントヘッド組立品 |
| US12319058B2 (en) | 2022-03-30 | 2025-06-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection recording element unit and method for producing same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2795170B2 (ja) | 1998-09-10 |
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