JPH07270321A - チップ部品欠陥検出用照明装置 - Google Patents
チップ部品欠陥検出用照明装置Info
- Publication number
- JPH07270321A JPH07270321A JP6061597A JP6159794A JPH07270321A JP H07270321 A JPH07270321 A JP H07270321A JP 6061597 A JP6061597 A JP 6061597A JP 6159794 A JP6159794 A JP 6159794A JP H07270321 A JPH07270321 A JP H07270321A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip component
- illuminator
- corner
- illuminating
- corners
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】チップ部品の上面とこの上面の隅の近傍の欠陥
を検出するために適切な明るさでチップ部品を照明でき
るチップ部品欠陥検出用照明装置を提供する。 【構成】チップ部品２２の４つの隅２２ａ，２２ｂ，２
２ｃ，２２ｄそれぞれの上方に、法線２４に対する角度
θ1 が１２°になるように配置した４つの光源３０ａ，
３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを有する第１の照明具３０と、
４つの隅２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄそれぞれの斜
め上方に、法線２４に対する角度θ2 が７０°になるよ
うに配置した４つの光源４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０
ｄを有する第２の照明具４０とを設けた。また、光源３
０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，４０ａ，４０ｂ，４０
ｃ，４０ｄの光出射面をスリット状に形成した。
を検出するために適切な明るさでチップ部品を照明でき
るチップ部品欠陥検出用照明装置を提供する。 【構成】チップ部品２２の４つの隅２２ａ，２２ｂ，２
２ｃ，２２ｄそれぞれの上方に、法線２４に対する角度
θ1 が１２°になるように配置した４つの光源３０ａ，
３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを有する第１の照明具３０と、
４つの隅２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄそれぞれの斜
め上方に、法線２４に対する角度θ2 が７０°になるよ
うに配置した４つの光源４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０
ｄを有する第２の照明具４０とを設けた。また、光源３
０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，４０ａ，４０ｂ，４０
ｃ，４０ｄの光出射面をスリット状に形成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、チップ部品の外観検査
をするに当たってこのチップ部品を照明するチップ部品
欠陥検出用照明装置に関する。
をするに当たってこのチップ部品を照明するチップ部品
欠陥検出用照明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３、図４を参照して従来のチップ部品
欠陥検出用照明装置を説明する。図３はリング状の照明
具で上方からチップ部品を照明している状態を示す説明
図、図４は斜め上方からチップ部品を照明している状態
を示す説明図である。図３に示されるように、従来は位
置決め治具８に固定されたチップ部品１０の上面１０ａ
の欠陥を検出するために、チップ部品１０の上方に配置
されたリング状の照明具１２を用いて上面１０ａを照明
してＣＣＤカメラ１４でチップ部品１０を撮像してい
る。また、図４に示されるように、位置決め治具８に固
定されたチップ部品１０の上面の各辺が交わる部分（以
下、隅という）の近傍１０ｂの欠陥や上面１０ａの凹凸
を検出するために、チップ部品１０の斜め上方に配置さ
れた照明具１６を用いて上面１０ａを照明してＣＣＤカ
メラ１４でチップ部品１０を撮像している。
欠陥検出用照明装置を説明する。図３はリング状の照明
具で上方からチップ部品を照明している状態を示す説明
図、図４は斜め上方からチップ部品を照明している状態
を示す説明図である。図３に示されるように、従来は位
置決め治具８に固定されたチップ部品１０の上面１０ａ
の欠陥を検出するために、チップ部品１０の上方に配置
されたリング状の照明具１２を用いて上面１０ａを照明
してＣＣＤカメラ１４でチップ部品１０を撮像してい
る。また、図４に示されるように、位置決め治具８に固
定されたチップ部品１０の上面の各辺が交わる部分（以
下、隅という）の近傍１０ｂの欠陥や上面１０ａの凹凸
を検出するために、チップ部品１０の斜め上方に配置さ
れた照明具１６を用いて上面１０ａを照明してＣＣＤカ
メラ１４でチップ部品１０を撮像している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図３に示される照明方
法ではチップ部品１０をその上方から照明しているた
め、上面１０ａの欠陥は検出できるが、隅の近傍１０ｂ
の欠陥を検出できない。また、図４に示される照明方法
では、隅の近傍１０ｂの欠陥を検出できるが、上面１０
ａの欠陥を検出できない。さらに、上記いずれの照明方
法でも、隅の近傍が丸みを帯びていると丸みを帯びた部
分で光が反射されるため、隅の近傍の欠陥を検出するこ
とは困難である。
法ではチップ部品１０をその上方から照明しているた
め、上面１０ａの欠陥は検出できるが、隅の近傍１０ｂ
の欠陥を検出できない。また、図４に示される照明方法
では、隅の近傍１０ｂの欠陥を検出できるが、上面１０
ａの欠陥を検出できない。さらに、上記いずれの照明方
法でも、隅の近傍が丸みを帯びていると丸みを帯びた部
分で光が反射されるため、隅の近傍の欠陥を検出するこ
とは困難である。
【０００４】本発明は、上記事情に鑑み、チップ部品の
上面とこの上面の隅の近傍の欠陥を検出するために適切
な明るさでチップ部品を照明できるチップ部品欠陥検出
用照明装置を提供することを目的とする。
上面とこの上面の隅の近傍の欠陥を検出するために適切
な明るさでチップ部品を照明できるチップ部品欠陥検出
用照明装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のチップ部品欠陥検出用照明装置は、上面に隅を有す
るチップ部品の外観検査をするためにチップ部品を照明
するチップ部品欠陥検出用照明装置において、隅の方向
から上面を斜めに照明する、スリット状の光出射面を有
する第１の照明具と、隅の方向から上面を第１の照明具
よりもさらに斜めに照明する、スリット状の光出射面を
有する第２の照明具とを備えたことを特徴とするもので
ある。
明のチップ部品欠陥検出用照明装置は、上面に隅を有す
るチップ部品の外観検査をするためにチップ部品を照明
するチップ部品欠陥検出用照明装置において、隅の方向
から上面を斜めに照明する、スリット状の光出射面を有
する第１の照明具と、隅の方向から上面を第１の照明具
よりもさらに斜めに照明する、スリット状の光出射面を
有する第２の照明具とを備えたことを特徴とするもので
ある。
【０００６】ここで、第１の照明具は１０±５°の範囲
内の入射角で上面を照明し、第２の照明具は６５±５°
の範囲内の入射角で上面を照明することが好ましい。
内の入射角で上面を照明し、第２の照明具は６５±５°
の範囲内の入射角で上面を照明することが好ましい。
【０００７】
【作用】本発明のチップ部品欠陥検出用照明装置によれ
ば、チップ部品を外観検査するに当たって、第１の照明
具を用いて隅の方向から上面を斜めに照明すると共に第
２の照明具を用いて隅の方向から上面を第１の照明具よ
りもさらに斜めに照明するため、チップ部品の上面及び
隅の近傍を同時に認識できる。しかも、各照明具の光出
射面はリット状に形成されているため、隅の近傍の輝度
を必要以上に上げることなく欠陥部分を認識できる。
ば、チップ部品を外観検査するに当たって、第１の照明
具を用いて隅の方向から上面を斜めに照明すると共に第
２の照明具を用いて隅の方向から上面を第１の照明具よ
りもさらに斜めに照明するため、チップ部品の上面及び
隅の近傍を同時に認識できる。しかも、各照明具の光出
射面はリット状に形成されているため、隅の近傍の輝度
を必要以上に上げることなく欠陥部分を認識できる。
【０００８】ここで、第１の照明具は１０±５°の範囲
内の入射角で上面を照明し、第２の照明具は６５±５°
の範囲内の入射角で上面を照明した場合は、一層明確に
上面及び隅の近傍の面を同時に認識できる。
内の入射角で上面を照明し、第２の照明具は６５±５°
の範囲内の入射角で上面を照明した場合は、一層明確に
上面及び隅の近傍の面を同時に認識できる。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して本発明のチップ部品欠
陥検出用照明装置の一実施例を説明する。図１はチップ
部品欠陥検出用照明装置を示す模式図、図２は図１に示
されたチップ部品欠陥検出用照明装置の光源面を示す平
面図である。チップ部品欠陥検出用照明装置２０は、直
方体のチップ部品２２を照明する装置であり、４つの隅
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄそれぞれの上方に、法
線２４に対する角度θ1 が１２°になるように配置され
た４つの光源３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを有する
第１の照明具３０と、４つの隅２２ａ，２２ｂ，２２
ｃ，２２ｄそれぞれの斜め上方に、法線２４に対する角
度θ2 が７０°になるように配置された４つの光源４０
ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄを有する第２の照明具４０
とを備えて構成されている。また、光源３０ａ，３０
ｂ，３０ｃ，３０ｄの光を出射する光出射面３２ａ，３
２ｂ，３２ｃ，３２ｄには、図２に示されるように、ス
リット３４が形成されている。光源４０ａ，４０ｂ，４
０ｃ，４０ｄの光出射面にも同様のスリットが形成され
ている。各光源から放出される光線の幅はこのスリット
により制限され、これにより欠陥を検出するために適切
な明るさでチップ部品を照明できる。
陥検出用照明装置の一実施例を説明する。図１はチップ
部品欠陥検出用照明装置を示す模式図、図２は図１に示
されたチップ部品欠陥検出用照明装置の光源面を示す平
面図である。チップ部品欠陥検出用照明装置２０は、直
方体のチップ部品２２を照明する装置であり、４つの隅
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄそれぞれの上方に、法
線２４に対する角度θ1 が１２°になるように配置され
た４つの光源３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを有する
第１の照明具３０と、４つの隅２２ａ，２２ｂ，２２
ｃ，２２ｄそれぞれの斜め上方に、法線２４に対する角
度θ2 が７０°になるように配置された４つの光源４０
ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄを有する第２の照明具４０
とを備えて構成されている。また、光源３０ａ，３０
ｂ，３０ｃ，３０ｄの光を出射する光出射面３２ａ，３
２ｂ，３２ｃ，３２ｄには、図２に示されるように、ス
リット３４が形成されている。光源４０ａ，４０ｂ，４
０ｃ，４０ｄの光出射面にも同様のスリットが形成され
ている。各光源から放出される光線の幅はこのスリット
により制限され、これにより欠陥を検出するために適切
な明るさでチップ部品を照明できる。
【００１０】チップ部品欠陥検出用照明装置２０を用い
てチップ部品２２を照明すると、第１の照明具３０はチ
ップ部品２２の上面２２ｅを適切な明るさで照明し、第
２の照明具４０は隅２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄそ
れぞれの近傍を適切な明るさで照明する。このため、隅
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄの近傍からの反射が抑
えられる。この結果、ＣＣＤカメラ等を用いてチップ部
品２２の表面を明確に撮像でき、高精度の欠陥検出が行
えることとなる。
てチップ部品２２を照明すると、第１の照明具３０はチ
ップ部品２２の上面２２ｅを適切な明るさで照明し、第
２の照明具４０は隅２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄそ
れぞれの近傍を適切な明るさで照明する。このため、隅
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄの近傍からの反射が抑
えられる。この結果、ＣＣＤカメラ等を用いてチップ部
品２２の表面を明確に撮像でき、高精度の欠陥検出が行
えることとなる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明のチップ部品
欠陥検出用照明装置によれば、第１の照明具を用いて隅
の方向から上面を斜めに照明すると共に第２の照明具を
用いて隅の方向から上面を第１の照明具よりもさらに斜
めに照明するため、隅の近傍の面の輝度を上げることな
くチップ部品の上面及び隅の近傍を同時に認識できる。
しかも、各照明具の光出射面はリット状に形成されてい
るため、隅の近傍の輝度を必要以上に上げることなく欠
陥部分を認識できる。
欠陥検出用照明装置によれば、第１の照明具を用いて隅
の方向から上面を斜めに照明すると共に第２の照明具を
用いて隅の方向から上面を第１の照明具よりもさらに斜
めに照明するため、隅の近傍の面の輝度を上げることな
くチップ部品の上面及び隅の近傍を同時に認識できる。
しかも、各照明具の光出射面はリット状に形成されてい
るため、隅の近傍の輝度を必要以上に上げることなく欠
陥部分を認識できる。
【図１】本発明のチップ部品欠陥検出用照明装置の一実
施例を示す模式図である。
施例を示す模式図である。
【図２】図１に示されたチップ部品欠陥検出用照明装置
の光源面を示す平面図である。
の光源面を示す平面図である。
【図３】従来のリング状の照明具で上方からチップ部品
を照明している状態を示す説明図である。
を照明している状態を示す説明図である。
【図４】従来の照明具で斜め上方からチップ部品を照明
している状態を示す説明図である。
している状態を示す説明図である。
２０ チップ部品欠陥検出用照明装置 ２２ チップ部品 ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ 隅 ３０ 第１の照明具 ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，４０ａ，４０ｂ，４
０ｃ，４０ｄ 光源 ３４ スリット ４０ 第２の照明具
０ｃ，４０ｄ 光源 ３４ スリット ４０ 第２の照明具
Claims (1)
- 【請求項１】 上面に隅を有するチップ部品の外観検査
をするために該チップ部品を照明するチップ部品欠陥検
出用照明装置において、 前記隅の方向から前記上面を斜めに照明する、スリット
状の光出射面を有する第１の照明具と、 前記隅の方向から前記上面を前記第１の照明具よりもさ
らに斜めに照明する、スリット状の光出射面を有する第
２の照明具とを備えたことを特徴とするチップ部品欠陥
検出用照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6061597A JPH07270321A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | チップ部品欠陥検出用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6061597A JPH07270321A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | チップ部品欠陥検出用照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270321A true JPH07270321A (ja) | 1995-10-20 |
Family
ID=13175729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6061597A Withdrawn JPH07270321A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | チップ部品欠陥検出用照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07270321A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005201880A (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Gmb Corp | 表面欠陥検査装置 |
-
1994
- 1994-03-30 JP JP6061597A patent/JPH07270321A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005201880A (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Gmb Corp | 表面欠陥検査装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010605 |