JPH07270367A - 絶対湿度センサ - Google Patents
絶対湿度センサInfo
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- JPH07270367A JPH07270367A JP6310797A JP31079794A JPH07270367A JP H07270367 A JPH07270367 A JP H07270367A JP 6310797 A JP6310797 A JP 6310797A JP 31079794 A JP31079794 A JP 31079794A JP H07270367 A JPH07270367 A JP H07270367A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/122—Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
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- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 サーミスタの熱放散定数を利用しない絶対湿
度センサを提供する。 【構成】 湿度センサ素子１は相対湿度に対してインピ
−ダンスＺｓが指数関数的に変化する。ｚ−ｆ変換回路
２はインピ−ダンスＺｓに応じたパルス信号Ｓ１を発生
する。時定数制御微分回路３は、電圧制御可変インピ−
ダンス素子３２のインピ−ダンスＺｔが制御電圧Ｖｃに
より指数関数的に変化し、パルス信号Ｓ１の微分信号Ｓ
２を出力する。波形整形回路４は微分信号Ｓ２を二値化
したパルス信号列Ｓ３を出力する。積分回路５は、第１
の積分回路５１がパルス信号列Ｓ３を積分して制御電圧
Ｖｃを得、第２の積分回路がパルス信号列Ｓ３を積分し
て相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを得、両者の少なく
とも一方が温度上昇に追従して制御電圧Ｖｃまたは出力
電圧Ｖｒを制御し、絶対湿度信号Ｓ５を得る。
度センサを提供する。 【構成】 湿度センサ素子１は相対湿度に対してインピ
−ダンスＺｓが指数関数的に変化する。ｚ−ｆ変換回路
２はインピ−ダンスＺｓに応じたパルス信号Ｓ１を発生
する。時定数制御微分回路３は、電圧制御可変インピ−
ダンス素子３２のインピ−ダンスＺｔが制御電圧Ｖｃに
より指数関数的に変化し、パルス信号Ｓ１の微分信号Ｓ
２を出力する。波形整形回路４は微分信号Ｓ２を二値化
したパルス信号列Ｓ３を出力する。積分回路５は、第１
の積分回路５１がパルス信号列Ｓ３を積分して制御電圧
Ｖｃを得、第２の積分回路がパルス信号列Ｓ３を積分し
て相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを得、両者の少なく
とも一方が温度上昇に追従して制御電圧Ｖｃまたは出力
電圧Ｖｒを制御し、絶対湿度信号Ｓ５を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、絶対湿度センサに関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】各種の電子機器、例えば複写機、プリン
タ等に用いられる絶対湿度センサとして、サーミスタの
熱放散定数を利用したものが知られている。かかる従来
技術は、特公平４ー５０５２９号公報、昭和６３年１月
１日発行のトランジスタ技術増刊、温度・湿度センサ活
用ハンドブックの第２章絶対湿度センサの使い方（第２
０６頁から第２１１頁）等に開示されている。
タ等に用いられる絶対湿度センサとして、サーミスタの
熱放散定数を利用したものが知られている。かかる従来
技術は、特公平４ー５０５２９号公報、昭和６３年１月
１日発行のトランジスタ技術増刊、温度・湿度センサ活
用ハンドブックの第２章絶対湿度センサの使い方（第２
０６頁から第２１１頁）等に開示されている。
【０００３】かかる絶対湿度センサは、サーミスタの負
性抵抗領域を利用したものであり、２個のサーミスタを
含んで構成され、一方のサーミスタが測定対象内に設け
られ、他方のサーミスタが密閉された乾燥空気内に設け
られる。２個のサーミスタは直列接続され、自己加熱し
ており、一方のサーミスタの熱が測定対象の外気に逃げ
ることによって生ずる両者のサーミスタの温度差を抵抗
値の差として検知し、抵抗値の差に応じた電圧変化から
絶対湿度信号を得るものである。即ち、一方のサーミス
タは絶対湿度に応じて熱放散定数が変化し、他方のサー
ミスタは乾燥空気に応じた一定の熱放散定数を有し、両
者の差が絶対湿度として検出される。他方のサーミスタ
は温度補償を行なう。
性抵抗領域を利用したものであり、２個のサーミスタを
含んで構成され、一方のサーミスタが測定対象内に設け
られ、他方のサーミスタが密閉された乾燥空気内に設け
られる。２個のサーミスタは直列接続され、自己加熱し
ており、一方のサーミスタの熱が測定対象の外気に逃げ
ることによって生ずる両者のサーミスタの温度差を抵抗
値の差として検知し、抵抗値の差に応じた電圧変化から
絶対湿度信号を得るものである。即ち、一方のサーミス
タは絶対湿度に応じて熱放散定数が変化し、他方のサー
ミスタは乾燥空気に応じた一定の熱放散定数を有し、両
者の差が絶対湿度として検出される。他方のサーミスタ
は温度補償を行なう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の絶対湿度センサには、以下のような問題点を有
している。 （Ａ）２個のサーミスタの熱放散定数の差を利用してい
るため、測定対象に乱流があると、熱放散定数が変化し
測定精度が低下する。 （Ｂ）２個のサーミスタの熱放散定数のバラツキ及び設
置場所の温度差等により、測定精度が低下する。 （Ｃ）２個のサーミスタの熱放散定数は周囲温度の変化
に対しても一致させなければならない。しかし、熱放散
定数の一致したサーミスタを選別することは困難であ
る。熱放散定数の差を解消するために、温度補償回路が
必要となり、回路構成が複雑になる。 （Ｄ）微小なアナログ信号を処理しなければならず、回
路が複雑となり、高価となっている。
た従来の絶対湿度センサには、以下のような問題点を有
している。 （Ａ）２個のサーミスタの熱放散定数の差を利用してい
るため、測定対象に乱流があると、熱放散定数が変化し
測定精度が低下する。 （Ｂ）２個のサーミスタの熱放散定数のバラツキ及び設
置場所の温度差等により、測定精度が低下する。 （Ｃ）２個のサーミスタの熱放散定数は周囲温度の変化
に対しても一致させなければならない。しかし、熱放散
定数の一致したサーミスタを選別することは困難であ
る。熱放散定数の差を解消するために、温度補償回路が
必要となり、回路構成が複雑になる。 （Ｄ）微小なアナログ信号を処理しなければならず、回
路が複雑となり、高価となっている。
【０００５】そこで、本発明の課題は、サーミスタの熱
放散定数を利用しない絶対湿度センサを提供することで
ある。
放散定数を利用しない絶対湿度センサを提供することで
ある。
【０００６】本発明のもう一つの課題は、一つの検出素
子とすることにより、検出素子間のバラツキ及び設置場
所の温度差等の影響を受けにくい絶対湿度センサを提供
することである。
子とすることにより、検出素子間のバラツキ及び設置場
所の温度差等の影響を受けにくい絶対湿度センサを提供
することである。
【０００７】本発明の更にもう一つの課題は、相対湿度
に応じて変化する検出素子を用い、相対湿度センサとの
共用性の高い絶対湿度センサを提供することである。
に応じて変化する検出素子を用い、相対湿度センサとの
共用性の高い絶対湿度センサを提供することである。
【０００８】本発明の更にもう一つの課題は、温度影響
の少ない絶対湿度センサを提供することである。
の少ない絶対湿度センサを提供することである。
【０００９】本発明の更にもう一つの課題は、信号処理
を容易にし、安価にし得る絶対湿度センサを提供するこ
とである。
を容易にし、安価にし得る絶対湿度センサを提供するこ
とである。
【００１０】本発明の更にもう一つの課題は、種々の湿
度センサ素子に対応し得る絶対湿度センサを提供するこ
とである。
度センサ素子に対応し得る絶対湿度センサを提供するこ
とである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明に係る絶対湿度センサは、湿度センサ素子
と、インピーダンス−周波数変換回路と、時定数制御微
分回路と、波形整形回路と、積分回路とを有する。前記
湿度センサ素子は、インピーダンスが相対湿度に対して
指数関数的に変化する。前記インピーダンス−周波数変
換回路は、前記湿度センサ素子のインピーダンスに対応
した周波数のパルス信号を発生する。前記時定数制御微
分回路は、コンデンサと、電圧制御可変インピーダンス
素子とを含み、コンデンサと電圧制御可変インピーダン
ス素子とが直列に接続される。前記電圧制御可変インピ
ーダンス素子は、主電極と制御電極とを有する三端子素
子でなり、インピーダンスが前記制御電極に印加される
電圧により指数関数的に変化し、前記主電極の両端から
前記パルス信号を微分した微分信号を出力する。前記波
形整形回路は、前記微分信号が入力され、前記微分信号
を二値化したパルス信号列を出力する。前記積分回路
は、第１の積分回路と、第２の積分回路とを有し、前記
第１の積分回路が入力された前記パルス信号列を積分
し、積分して得られた電圧を前記制御電圧として前記電
圧制御可変インピーダンス素子の前記制御電極に供給
し、前記第２の積分回路が前記パルス信号列を積分し、
積分して得られた電圧を相対湿度信号として出力し、前
記第１の積分回路及び前記第２の積分回路の少なくとも
一方が前記湿度センサ素子の温度変化に追従して前記制
御電圧または前記相対湿度信号の出力電圧を制御し、絶
対湿度信号を得る。
め、本発明に係る絶対湿度センサは、湿度センサ素子
と、インピーダンス−周波数変換回路と、時定数制御微
分回路と、波形整形回路と、積分回路とを有する。前記
湿度センサ素子は、インピーダンスが相対湿度に対して
指数関数的に変化する。前記インピーダンス−周波数変
換回路は、前記湿度センサ素子のインピーダンスに対応
した周波数のパルス信号を発生する。前記時定数制御微
分回路は、コンデンサと、電圧制御可変インピーダンス
素子とを含み、コンデンサと電圧制御可変インピーダン
ス素子とが直列に接続される。前記電圧制御可変インピ
ーダンス素子は、主電極と制御電極とを有する三端子素
子でなり、インピーダンスが前記制御電極に印加される
電圧により指数関数的に変化し、前記主電極の両端から
前記パルス信号を微分した微分信号を出力する。前記波
形整形回路は、前記微分信号が入力され、前記微分信号
を二値化したパルス信号列を出力する。前記積分回路
は、第１の積分回路と、第２の積分回路とを有し、前記
第１の積分回路が入力された前記パルス信号列を積分
し、積分して得られた電圧を前記制御電圧として前記電
圧制御可変インピーダンス素子の前記制御電極に供給
し、前記第２の積分回路が前記パルス信号列を積分し、
積分して得られた電圧を相対湿度信号として出力し、前
記第１の積分回路及び前記第２の積分回路の少なくとも
一方が前記湿度センサ素子の温度変化に追従して前記制
御電圧または前記相対湿度信号の出力電圧を制御し、絶
対湿度信号を得る。
【００１２】前記湿度センサ素子、前記インピーダンス
−周波数変換回路、前記時定数制御微分回路、前記波形
整形回路及び前記積分回路は、好ましくは、同一ケース
内に収納される。
−周波数変換回路、前記時定数制御微分回路、前記波形
整形回路及び前記積分回路は、好ましくは、同一ケース
内に収納される。
【００１３】前記第１の積分回路は、好ましくは、抵抗
分圧回路と、コンデンサとを有し、前記抵抗分圧回路が
固定抵抗とインピーダンスが温度によって変化する可変
インピーダンス回路とを含み、前記コンデンサが前記固
定抵抗または前記可変インピーダンス回路の何れかに並
列接続され、前記コンデンサの端子電圧が前記制御電圧
となる。その好ましい例では、前記可変インピーダンス
回路は、負特性サーミスタ、ダイオード、トランジスタ
または正特性サーミスタの少なくとも１つを含んで構成
される。
分圧回路と、コンデンサとを有し、前記抵抗分圧回路が
固定抵抗とインピーダンスが温度によって変化する可変
インピーダンス回路とを含み、前記コンデンサが前記固
定抵抗または前記可変インピーダンス回路の何れかに並
列接続され、前記コンデンサの端子電圧が前記制御電圧
となる。その好ましい例では、前記可変インピーダンス
回路は、負特性サーミスタ、ダイオード、トランジスタ
または正特性サーミスタの少なくとも１つを含んで構成
される。
【００１４】前記第２の積分回路は、好ましくは、抵抗
分圧回路と、コンデンサとを有し、前記抵抗分圧回路が
固定抵抗とサーミスタとを含んでなり、前記コンデンサ
が前記固定抵抗または前記サーミスタの何れかに並列接
続され、前記コンデンサの端子電圧が前記絶対湿度信号
の出力電圧となる。その好ましい例では、前記サーミス
タは、負特性サーミスタまたは正特性サーミスタを含ん
で構成される。
分圧回路と、コンデンサとを有し、前記抵抗分圧回路が
固定抵抗とサーミスタとを含んでなり、前記コンデンサ
が前記固定抵抗または前記サーミスタの何れかに並列接
続され、前記コンデンサの端子電圧が前記絶対湿度信号
の出力電圧となる。その好ましい例では、前記サーミス
タは、負特性サーミスタまたは正特性サーミスタを含ん
で構成される。
【００１５】前記電圧制御可変インピーダンス素子は、
好ましくは、トランジスタを含み、コレクタ及びエミッ
タが前記主電極を構成し、ベースが前記制御電極を構成
する。その好ましい例では、トランジスタは２個であ
り、ダーリントン接続されている。
好ましくは、トランジスタを含み、コレクタ及びエミッ
タが前記主電極を構成し、ベースが前記制御電極を構成
する。その好ましい例では、トランジスタは２個であ
り、ダーリントン接続されている。
【００１６】前記時定数制御微分回路は、好ましくは、
インピーダンスが印加電圧により指数関数的に変化する
非直線性インピーダンス素子を含み、前記非直線性イン
ピーダンス素子が前記コンデンサの接続される主電極と
は反対の主電極に接続され、直列接続された前記電圧制
御可変インピーダンス素子と前記非直線性インピーダン
ス素子との両端から前記微分信号を出力する。その好ま
しい例では、前記非直線性インピーダンス素子は、ダイ
オードでなり、前記ダイオードのアノードが前記コンデ
ンサの接続される主電極とは反対の主電極に接続され
る。
インピーダンスが印加電圧により指数関数的に変化する
非直線性インピーダンス素子を含み、前記非直線性イン
ピーダンス素子が前記コンデンサの接続される主電極と
は反対の主電極に接続され、直列接続された前記電圧制
御可変インピーダンス素子と前記非直線性インピーダン
ス素子との両端から前記微分信号を出力する。その好ま
しい例では、前記非直線性インピーダンス素子は、ダイ
オードでなり、前記ダイオードのアノードが前記コンデ
ンサの接続される主電極とは反対の主電極に接続され
る。
【００１７】前記時定数制御微分回路は、更に好ましく
は、インピーダンス調整回路を有し、前記インピーダン
ス調整回路が前記非直線性インピーダンス素子に並列に
接続される。その好ましい例では、前記インピーダンス
調整回路は、コンデンサ、抵抗またはダイオードの少な
くとも１つを含んで構成される。
は、インピーダンス調整回路を有し、前記インピーダン
ス調整回路が前記非直線性インピーダンス素子に並列に
接続される。その好ましい例では、前記インピーダンス
調整回路は、コンデンサ、抵抗またはダイオードの少な
くとも１つを含んで構成される。
【００１８】前記時定数制御微分回路は、更に好ましく
は、制御電圧調整回路を有する。前記制御電圧調整回路
は、第１の積分回路において積分して得られた電圧に応
じて、前記非直線性インピーダンス素子をバイアスす
る。その好ましい例では、前記時定数制御微分回路は、
トランジスタと、固定抵抗とを含む。前記トランジスタ
は、コレクタが前記第１の積分回路の前記コンデンサに
接続され、エミッタが前記非直線性インピーダンス素子
に接続される。前記固定抵抗は、前記トランジスタの前
記エミッタとベースとに接続される。
は、制御電圧調整回路を有する。前記制御電圧調整回路
は、第１の積分回路において積分して得られた電圧に応
じて、前記非直線性インピーダンス素子をバイアスす
る。その好ましい例では、前記時定数制御微分回路は、
トランジスタと、固定抵抗とを含む。前記トランジスタ
は、コレクタが前記第１の積分回路の前記コンデンサに
接続され、エミッタが前記非直線性インピーダンス素子
に接続される。前記固定抵抗は、前記トランジスタの前
記エミッタとベースとに接続される。
【００１９】
【作用】湿度センサ素子は、インピーダンスが相対湿度
に対して指数関数的に変化し、インピーダンス−周波数
変換回路は、湿度センサ素子のインピーダンスに対応し
た周波数のパルス信号を発生させるから、インピーダン
ス−周波数変換回路から周波数が相対湿度に対して指数
関数的に変化するパルス信号が得られる。
に対して指数関数的に変化し、インピーダンス−周波数
変換回路は、湿度センサ素子のインピーダンスに対応し
た周波数のパルス信号を発生させるから、インピーダン
ス−周波数変換回路から周波数が相対湿度に対して指数
関数的に変化するパルス信号が得られる。
【００２０】時定数制御微分回路は、コンデンサと電圧
制御可変インピーダンス素子とが直列接続され、電圧制
御可変インピーダンス素子が主電極と制御電極とを有す
る三端子素子でなり、インピーダンスが制御電極に印加
される電圧により指数関数的に変化し、主電極の両端か
らパルス信号を微分した微分信号を出力するから、電圧
制御可変インピーダンス素子のインピーダンス変化に追
従し、時定数が指数関数的に変化する微分信号が得られ
る。
制御可変インピーダンス素子とが直列接続され、電圧制
御可変インピーダンス素子が主電極と制御電極とを有す
る三端子素子でなり、インピーダンスが制御電極に印加
される電圧により指数関数的に変化し、主電極の両端か
らパルス信号を微分した微分信号を出力するから、電圧
制御可変インピーダンス素子のインピーダンス変化に追
従し、時定数が指数関数的に変化する微分信号が得られ
る。
【００２１】波形整形回路は、時定数が指数関数的に変
化する微分信号が入力され、所定電圧で微分信号を二値
化したパルス信号列を出力するようになっているので、
波形整形回路からパルス信号のパルス幅を周波数に対し
て対数的に圧縮したパルス幅を有するパルス信号列が得
られる。この結果、パルス信号列を積分すると、直線化
された相対湿度信号が得られる。
化する微分信号が入力され、所定電圧で微分信号を二値
化したパルス信号列を出力するようになっているので、
波形整形回路からパルス信号のパルス幅を周波数に対し
て対数的に圧縮したパルス幅を有するパルス信号列が得
られる。この結果、パルス信号列を積分すると、直線化
された相対湿度信号が得られる。
【００２２】積分回路は、第１の積分回路が入力された
パルス信号列を積分し、積分して得られた電圧を制御電
圧として電圧制御可変インピーダンス素子の制御電極に
供給するようになっているから、パルス信号列のパルス
幅が広くなり、制御電圧が上昇しようとすると、電圧制
御可変インピーダンス素子のインピーダンスを減少させ
る。このため、波形整形回路から得られるパルス信号列
のパルス幅が狭くなり、制御電圧の上昇が抑えられる。
逆にパルス信号列のパルス幅が狭くなり、制御電圧が低
下しようとすると、電圧制御可変インピーダンス素子の
インピーダンスを増加させる。このため、波形整形回路
から得られるパルス信号列のパルス幅が広くなり、制御
電圧の低下が抑えられる。即ち、第１の積分回路は、時
定数制御微分回路に負帰還をかけ、パルス信号列を安定
化する。これにより、相対湿度信号の直線性が改善され
る。
パルス信号列を積分し、積分して得られた電圧を制御電
圧として電圧制御可変インピーダンス素子の制御電極に
供給するようになっているから、パルス信号列のパルス
幅が広くなり、制御電圧が上昇しようとすると、電圧制
御可変インピーダンス素子のインピーダンスを減少させ
る。このため、波形整形回路から得られるパルス信号列
のパルス幅が狭くなり、制御電圧の上昇が抑えられる。
逆にパルス信号列のパルス幅が狭くなり、制御電圧が低
下しようとすると、電圧制御可変インピーダンス素子の
インピーダンスを増加させる。このため、波形整形回路
から得られるパルス信号列のパルス幅が広くなり、制御
電圧の低下が抑えられる。即ち、第１の積分回路は、時
定数制御微分回路に負帰還をかけ、パルス信号列を安定
化する。これにより、相対湿度信号の直線性が改善され
る。
【００２３】積分回路は、第２の積分回路がパルス信号
列を積分し、積分して得られた電圧を相対湿度信号とし
て出力するから、第２の積分回路から直線化された相対
湿度信号が得られる。
列を積分し、積分して得られた電圧を相対湿度信号とし
て出力するから、第２の積分回路から直線化された相対
湿度信号が得られる。
【００２４】第１の積分回路及び第２の積分回路の少な
くとも一方が湿度センサ素子の温度変化に追従して制御
電圧または相対湿度信号の出力電圧を制御し、絶対湿度
信号を得るものであるから、例えば、第１の積分回路が
温度上昇に追従して制御電圧を低下させると、温度上昇
に追従して電圧制御可変インピーダンス素子のインピー
ダンスが増加し、パルス信号列のパルス幅が大きくな
り、相対湿度信号の出力電圧を上昇させる。第２の積分
回路は、温度上昇に追従して相対湿度信号の出力電圧を
直接的に上昇させる。相対湿度の出力電圧を絶対湿度に
置換する場合は、飽和蒸気量が温度上昇とともに増加す
るから、温度上昇に追従して相対湿度の出力電圧を増加
させる必要がある。従って、直線性の高い相対湿度信号
の出力電圧を温度上昇に追従して適切に上昇させると、
直線性の高い絶対湿度信号が得られる。温度が下降する
場合は、第１の積分回路が制御電圧を上昇させ、第２の
積分回路が相対湿度信号の出力電圧を下降させる。
くとも一方が湿度センサ素子の温度変化に追従して制御
電圧または相対湿度信号の出力電圧を制御し、絶対湿度
信号を得るものであるから、例えば、第１の積分回路が
温度上昇に追従して制御電圧を低下させると、温度上昇
に追従して電圧制御可変インピーダンス素子のインピー
ダンスが増加し、パルス信号列のパルス幅が大きくな
り、相対湿度信号の出力電圧を上昇させる。第２の積分
回路は、温度上昇に追従して相対湿度信号の出力電圧を
直接的に上昇させる。相対湿度の出力電圧を絶対湿度に
置換する場合は、飽和蒸気量が温度上昇とともに増加す
るから、温度上昇に追従して相対湿度の出力電圧を増加
させる必要がある。従って、直線性の高い相対湿度信号
の出力電圧を温度上昇に追従して適切に上昇させると、
直線性の高い絶対湿度信号が得られる。温度が下降する
場合は、第１の積分回路が制御電圧を上昇させ、第２の
積分回路が相対湿度信号の出力電圧を下降させる。
【００２５】このように、湿度センサ素子は自己加熱す
る必要がないから、熱放散定数を利用しない絶対湿度セ
ンサが得られる。これにより、外乱に強い絶対湿度セン
サが得られる。
る必要がないから、熱放散定数を利用しない絶対湿度セ
ンサが得られる。これにより、外乱に強い絶対湿度セン
サが得られる。
【００２６】また、湿度センサ素子は一つの検出素子で
構成できるから、検出素子間のバラツキ及び設置場所の
温度差の影響を受けにくい絶対湿度センサが得られる。
しかも温度補償用の湿度センサ素子が不要であるから、
特性を一致させるための選別が不要となり、絶対湿度セ
ンサの製造も容易になる。
構成できるから、検出素子間のバラツキ及び設置場所の
温度差の影響を受けにくい絶対湿度センサが得られる。
しかも温度補償用の湿度センサ素子が不要であるから、
特性を一致させるための選別が不要となり、絶対湿度セ
ンサの製造も容易になる。
【００２７】更に、積分回路が温度上昇に追従して相対
湿度信号の出力電圧を上昇させ、絶対湿度の出力信号を
得るから、相対湿度センサとの共用性の高い絶対湿度セ
ンサが得られる。
湿度信号の出力電圧を上昇させ、絶対湿度の出力信号を
得るから、相対湿度センサとの共用性の高い絶対湿度セ
ンサが得られる。
【００２８】更にまた、温度補償用の湿度センサ素子が
不要であるから、温度影響の少ない絶対湿度センサが得
られる。
不要であるから、温度影響の少ない絶対湿度センサが得
られる。
【００２９】更にまた、湿度センサ素子は、インピーダ
ンスが相対湿度に対して指数関数的に変化し、インピー
ダンス−周波数変換回路は、湿度センサ素子のインピー
ダンスに対応した周波数のパルス信号を発生させるか
ら、周波数が大きく変化する。しかもデジタル的に処理
されるので、信号処理を容易にし、安価な絶対湿度セン
サが得られる。
ンスが相対湿度に対して指数関数的に変化し、インピー
ダンス−周波数変換回路は、湿度センサ素子のインピー
ダンスに対応した周波数のパルス信号を発生させるか
ら、周波数が大きく変化する。しかもデジタル的に処理
されるので、信号処理を容易にし、安価な絶対湿度セン
サが得られる。
【００３０】湿度センサ素子、インピーダンス−周波数
変換回路、時定数制御微分回路、波形整形回路及び積分
回路が同一ケース内に収納される例では、小型になると
共に、湿度センサ素子及び積分回路が同一温度条件下に
設置され、温度影響の少ない絶対湿度センサが得られ
る。
変換回路、時定数制御微分回路、波形整形回路及び積分
回路が同一ケース内に収納される例では、小型になると
共に、湿度センサ素子及び積分回路が同一温度条件下に
設置され、温度影響の少ない絶対湿度センサが得られ
る。
【００３１】第１の積分回路の抵抗分圧回路は、固定抵
抗とインピーダンスが温度によって変化する可変インピ
ーダンス回路とを含んでなり、コンデンサが固定抵抗ま
たは可変インピーダンス回路の何れかに並列接続され、
コンデンサの端子電圧が制御電圧となる例では、可変イ
ンピーダンス回路のインピーダンスが温度上昇に追従し
て増加または低下し、それにつれて制御電圧が低下す
る。その結果、相対湿度信号の出力電圧を温度上昇に追
従して上昇させ、第２の積分回路を通して絶対湿度信号
を得ることができる。
抗とインピーダンスが温度によって変化する可変インピ
ーダンス回路とを含んでなり、コンデンサが固定抵抗ま
たは可変インピーダンス回路の何れかに並列接続され、
コンデンサの端子電圧が制御電圧となる例では、可変イ
ンピーダンス回路のインピーダンスが温度上昇に追従し
て増加または低下し、それにつれて制御電圧が低下す
る。その結果、相対湿度信号の出力電圧を温度上昇に追
従して上昇させ、第２の積分回路を通して絶対湿度信号
を得ることができる。
【００３２】可変インピーダンス回路が負特性サーミス
タ、ダイオード、またはトランジスタの少なくとも１つ
を含み、負特性サーミスタ等がコンデンサに並列接続さ
れる例では、温度上昇に追従して負特性サーミスタの抵
抗値、ダイオードまたはトランジスタの動作状態のイン
ピーダンスが小さくなり、負特性サーミスタ等の分圧電
圧が低下し、制御電圧が低下する。
タ、ダイオード、またはトランジスタの少なくとも１つ
を含み、負特性サーミスタ等がコンデンサに並列接続さ
れる例では、温度上昇に追従して負特性サーミスタの抵
抗値、ダイオードまたはトランジスタの動作状態のイン
ピーダンスが小さくなり、負特性サーミスタ等の分圧電
圧が低下し、制御電圧が低下する。
【００３３】第２の積分回路の抵抗分圧回路が固定抵抗
とサーミスタとを含んでなり、コンデンサが固定抵抗ま
たはサーミスタの何れかに並列接続され、コンデンサの
端子電圧が絶対湿度信号の出力電圧となる例では、サー
ミスタの抵抗値が温度上昇に追従して増加または低下す
る。その結果、相対湿度信号の出力電圧が上昇し、コン
デンサの両端から絶対湿度信号が得られる。
とサーミスタとを含んでなり、コンデンサが固定抵抗ま
たはサーミスタの何れかに並列接続され、コンデンサの
端子電圧が絶対湿度信号の出力電圧となる例では、サー
ミスタの抵抗値が温度上昇に追従して増加または低下す
る。その結果、相対湿度信号の出力電圧が上昇し、コン
デンサの両端から絶対湿度信号が得られる。
【００３４】抵抗分圧回路のサーミスタが負特性サーミ
スタでなり、コンデンサが固定抵抗に並列接続される例
では、温度上昇に追従して固定抵抗の分圧電圧が上昇
し、相対湿度信号の出力電圧が上昇する。
スタでなり、コンデンサが固定抵抗に並列接続される例
では、温度上昇に追従して固定抵抗の分圧電圧が上昇
し、相対湿度信号の出力電圧が上昇する。
【００３５】電圧制御可変インピーダンス素子が２つの
トランジスタを含み、２つのトランジスタがダーリント
ン接続され、トランジスタのコレクタ及びエミッタが主
電極を構成し、ベースが制御電極を構成する例では、制
御電圧の変化が小さくても電圧制御可変インピーダンス
素子のインピーダンスが大きく変化する。このため、抵
抗変化率の小さい湿度センサ素子も使用できるようにな
り、種々の湿度センサ素子に対応できる絶対湿度センサ
が得られる。
トランジスタを含み、２つのトランジスタがダーリント
ン接続され、トランジスタのコレクタ及びエミッタが主
電極を構成し、ベースが制御電極を構成する例では、制
御電圧の変化が小さくても電圧制御可変インピーダンス
素子のインピーダンスが大きく変化する。このため、抵
抗変化率の小さい湿度センサ素子も使用できるようにな
り、種々の湿度センサ素子に対応できる絶対湿度センサ
が得られる。
【００３６】時定数制御微分回路は、インピーダンスが
印加電圧により指数関数的に変化する非直線性インピー
ダンス素子を含み、非直線性インピーダンス素子がコン
デンサの接続される主電極とは反対の主電極に接続さ
れ、直列接続された電圧制御可変インピーダンス素子と
非直線性インピーダンス素子との両端から微分信号を出
力する例では、電圧制御可変インピーダンス素子及び非
直線性インピーダンス素子のインピーダンス変化に追従
し、時定数が指数関数的に変化する微分信号が得られ
る。このため、非直線性インピーダンス素子は、従来の
電圧制御可変インピーダンス素子が湿度センサ素子の非
直線性を補正するに当り、不足していた非直線性を補う
作用をする。これにより、相対湿度信号の出力電圧の直
線性が向上し、その結果、絶対湿度信号の出力電圧の直
線性も向上する。
印加電圧により指数関数的に変化する非直線性インピー
ダンス素子を含み、非直線性インピーダンス素子がコン
デンサの接続される主電極とは反対の主電極に接続さ
れ、直列接続された電圧制御可変インピーダンス素子と
非直線性インピーダンス素子との両端から微分信号を出
力する例では、電圧制御可変インピーダンス素子及び非
直線性インピーダンス素子のインピーダンス変化に追従
し、時定数が指数関数的に変化する微分信号が得られ
る。このため、非直線性インピーダンス素子は、従来の
電圧制御可変インピーダンス素子が湿度センサ素子の非
直線性を補正するに当り、不足していた非直線性を補う
作用をする。これにより、相対湿度信号の出力電圧の直
線性が向上し、その結果、絶対湿度信号の出力電圧の直
線性も向上する。
【００３７】時定数制御微分回路の電圧制御可変インピ
ーダンス素子はトランジスタでなり、非直線性インピー
ダンス素子はダイオードでなり、ダイオードのアノード
がトランジスタのエミッタに接続され、コンデンサがト
ランジスタのコレクタに接続され、制御電圧がトランジ
スタのベ−スに供給される例では、制御電圧により電圧
制御可変インピーダンス素子及び非直線性インピーダン
ス素子に負帰還がかかり、相対湿度信号の直線性が改善
される。
ーダンス素子はトランジスタでなり、非直線性インピー
ダンス素子はダイオードでなり、ダイオードのアノード
がトランジスタのエミッタに接続され、コンデンサがト
ランジスタのコレクタに接続され、制御電圧がトランジ
スタのベ−スに供給される例では、制御電圧により電圧
制御可変インピーダンス素子及び非直線性インピーダン
ス素子に負帰還がかかり、相対湿度信号の直線性が改善
される。
【００３８】時定数制御微分回路は、インピーダンス調
整回路が非直線性インピーダンス素子に並列に接続され
る例では、非直線性インピーダンス素子のインピーダン
スを微細に調整できる。これにより、更に相対湿度信号
の直線性が改善される。
整回路が非直線性インピーダンス素子に並列に接続され
る例では、非直線性インピーダンス素子のインピーダン
スを微細に調整できる。これにより、更に相対湿度信号
の直線性が改善される。
【００３９】時定数制御微分回路は、制御電圧調整回路
を有しており、制御電圧調整回路は、第１の積分回路に
おいて積分して得られた電圧に応じて、非直線性インピ
ーダンス素子をバイアスする例では、非直線性インピー
ダンス素子の電位、即ち、電圧制御可変インピーダンス
素子のコンデンサの接続される主電極とは反対の主電極
の電位が上昇し、実質的に、第１の積分回路に抵抗分圧
回路を設けた場合の分圧電圧が低下した場合と等価にな
る。このため、種々の湿度センサ素子を用いた場合に、
調整範囲を広くすることができる。
を有しており、制御電圧調整回路は、第１の積分回路に
おいて積分して得られた電圧に応じて、非直線性インピ
ーダンス素子をバイアスする例では、非直線性インピー
ダンス素子の電位、即ち、電圧制御可変インピーダンス
素子のコンデンサの接続される主電極とは反対の主電極
の電位が上昇し、実質的に、第１の積分回路に抵抗分圧
回路を設けた場合の分圧電圧が低下した場合と等価にな
る。このため、種々の湿度センサ素子を用いた場合に、
調整範囲を広くすることができる。
【００４０】制御電圧調整回路は、トランジスタと、固
定抵抗とを含む。トランジスタは、コレクタが第１の積
分回路の前記コンデンサに接続され、エミッタが非直線
性インピーダンス素子に接続される。固定抵抗は、トラ
ンジスタのエミッタとベースとに接続される。この例で
は、第１の積分回路において積分して得られた電圧に応
じて、非直線性インピーダンス素子がトランジスタを流
れる電流によりバイアスされ、非直線性インピーダンス
素子の電位を上昇させる。
定抵抗とを含む。トランジスタは、コレクタが第１の積
分回路の前記コンデンサに接続され、エミッタが非直線
性インピーダンス素子に接続される。固定抵抗は、トラ
ンジスタのエミッタとベースとに接続される。この例で
は、第１の積分回路において積分して得られた電圧に応
じて、非直線性インピーダンス素子がトランジスタを流
れる電流によりバイアスされ、非直線性インピーダンス
素子の電位を上昇させる。
【００４１】本発明のさらに具体的な特徴及び利点は、
図面を参照して更に詳しく説明する。
図面を参照して更に詳しく説明する。
【００４２】
【実施例】図１は本発明に係る湿度センサの構成を示す
ブロック図である。図において、１は湿度センサ素子、
２はインピーダンス−周波数変換回路（以下「ｚーｆ変
換回路」と称する。）、３は時定数制御微分回路、４は
波形整形回路、５は積分回路である。
ブロック図である。図において、１は湿度センサ素子、
２はインピーダンス−周波数変換回路（以下「ｚーｆ変
換回路」と称する。）、３は時定数制御微分回路、４は
波形整形回路、５は積分回路である。
【００４３】図２は湿度センサ素子のインピーダンス変
化を示す図である。図において、横軸は周囲温度、縦軸
はインピーダンスを示す。図２は周囲温度が５℃、１５
℃、２５℃５、３５℃、４０℃であるときに、相対湿度
を３０％〜９０％に変化させた場合のインピーダンス変
化を示す。湿度センサ素子１は、図２に示すように、イ
ンピーダンスＺs が相対湿度に対して指数関数的に変化
する。本実施例の湿度センサ素子１は、高分子材料でな
り、高湿度ではインピーダンスが低く、低湿度ではイン
ピーダンスが高くなる。具体的には、インピーダンスが
１０4 〔Ω〕〜１０7 〔Ω〕の範囲で変化する。
化を示す図である。図において、横軸は周囲温度、縦軸
はインピーダンスを示す。図２は周囲温度が５℃、１５
℃、２５℃５、３５℃、４０℃であるときに、相対湿度
を３０％〜９０％に変化させた場合のインピーダンス変
化を示す。湿度センサ素子１は、図２に示すように、イ
ンピーダンスＺs が相対湿度に対して指数関数的に変化
する。本実施例の湿度センサ素子１は、高分子材料でな
り、高湿度ではインピーダンスが低く、低湿度ではイン
ピーダンスが高くなる。具体的には、インピーダンスが
１０4 〔Ω〕〜１０7 〔Ω〕の範囲で変化する。
【００４４】ｚ−ｆ変換回路２は、湿度センサ素子１の
インピーダンスＺs に対応した周波数のパルス信号Ｓ１
を発生させる。インピーダンスＺs が低いときは周波数
が高くなり、インピーダンスＺs が高いときは周波数が
低くなる。
インピーダンスＺs に対応した周波数のパルス信号Ｓ１
を発生させる。インピーダンスＺs が低いときは周波数
が高くなり、インピーダンスＺs が高いときは周波数が
低くなる。
【００４５】時定数制御微分回路３は、コンデンサ３１
と、電圧制御可変インピーダンス素子３２を含み、コン
デンサ３１と電圧制御可変インピーダンス素子３２とが
直列に接続されている。電圧制御可変インピーダンス素
子３２は、主電極３２１、３２２と制御電極３２３とを
有する三端子素子でなり、インピーダンスＺt が制御電
極３２３に印加される制御電圧Ｖc により指数関数的に
変化する。時定数制御微分回路３は、電圧制御可変イン
ピーダンス素子３２の主電極３２１、３２２の両端から
パルス信号Ｓ１を微分した微分信号Ｓ２を出力する。電
圧制御可変インピーダンス素子３２は、一般にトランジ
スタ３２０で構成され、コレクタ、エミッタが主電極３
２１、３２２を構成し、ベースが制御電極３２３を構成
する。
と、電圧制御可変インピーダンス素子３２を含み、コン
デンサ３１と電圧制御可変インピーダンス素子３２とが
直列に接続されている。電圧制御可変インピーダンス素
子３２は、主電極３２１、３２２と制御電極３２３とを
有する三端子素子でなり、インピーダンスＺt が制御電
極３２３に印加される制御電圧Ｖc により指数関数的に
変化する。時定数制御微分回路３は、電圧制御可変イン
ピーダンス素子３２の主電極３２１、３２２の両端から
パルス信号Ｓ１を微分した微分信号Ｓ２を出力する。電
圧制御可変インピーダンス素子３２は、一般にトランジ
スタ３２０で構成され、コレクタ、エミッタが主電極３
２１、３２２を構成し、ベースが制御電極３２３を構成
する。
【００４６】波形整形回路４は、微分信号Ｓ２が入力さ
れ、所定電圧で微分信号Ｓ２を二値化したパルス信号列
Ｓ３を出力する。
れ、所定電圧で微分信号Ｓ２を二値化したパルス信号列
Ｓ３を出力する。
【００４７】積分回路５は、第１の積分回路５１と、第
２の積分回路５２とを有している。第１の積分回路５１
は、入力されたパルス信号列Ｓ３を積分し、積分して得
られた電圧を制御電圧Ｖｃとして電圧制御可変インピー
ダンス素子３２の制御電極３２３に供給する。第２の積
分回路５２は、パルス信号列Ｓ３を積分し、積分して得
られた電圧を相対湿度信号Ｓ４として出力する。積分回
路５は、第１の積分回路５１及び第２の積分回路５２の
少なくとも一方が温度上昇に追従して制御電圧Ｖｃまた
は相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを制御し、絶対湿度
信号Ｓ５を得る。具体的には、第１の積分回路５１は、
温度上昇に追従して制御電圧Ｖｃを低下させ、パルス信
号列Ｓ３のパルス幅を相対湿度センサのパルス幅よりも
大きくすることにより、相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖ
ｒを上昇させ、絶対湿度信号Ｓ５を得る。第２の積分回
路５２は、サーミスタ５２２とコンデンサ５２３とがパ
ルス信号列Ｓ３を積分して相対湿度信号Ｓ４を得、サー
ミスタ５２２と固定抵抗５２１とが抵抗分圧比により温
度上昇に追従して相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを上
昇させ、絶対湿度信号Ｓ５を得る。温度が下降する場合
は、第１の積分回路５１が制御電圧Ｖｃを上昇させ、第
２の積分回路５２が相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを
下降させる。
２の積分回路５２とを有している。第１の積分回路５１
は、入力されたパルス信号列Ｓ３を積分し、積分して得
られた電圧を制御電圧Ｖｃとして電圧制御可変インピー
ダンス素子３２の制御電極３２３に供給する。第２の積
分回路５２は、パルス信号列Ｓ３を積分し、積分して得
られた電圧を相対湿度信号Ｓ４として出力する。積分回
路５は、第１の積分回路５１及び第２の積分回路５２の
少なくとも一方が温度上昇に追従して制御電圧Ｖｃまた
は相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを制御し、絶対湿度
信号Ｓ５を得る。具体的には、第１の積分回路５１は、
温度上昇に追従して制御電圧Ｖｃを低下させ、パルス信
号列Ｓ３のパルス幅を相対湿度センサのパルス幅よりも
大きくすることにより、相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖ
ｒを上昇させ、絶対湿度信号Ｓ５を得る。第２の積分回
路５２は、サーミスタ５２２とコンデンサ５２３とがパ
ルス信号列Ｓ３を積分して相対湿度信号Ｓ４を得、サー
ミスタ５２２と固定抵抗５２１とが抵抗分圧比により温
度上昇に追従して相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを上
昇させ、絶対湿度信号Ｓ５を得る。温度が下降する場合
は、第１の積分回路５１が制御電圧Ｖｃを上昇させ、第
２の積分回路５２が相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを
下降させる。
【００４８】上述したように、湿度センサ素子１は、イ
ンピーダンスＺｓが相対湿度に対して指数関数的に変化
し、ｚ−ｆ変換回路２は、湿度センサ素子１のインピー
ダンスＺｓに対応した周波数のパルス信号Ｓ１を発生さ
せるから、ｚ−ｆ変換回路２から周波数が相対湿度に対
して指数関数的に変化するパルス信号Ｓ１が得られる。
ンピーダンスＺｓが相対湿度に対して指数関数的に変化
し、ｚ−ｆ変換回路２は、湿度センサ素子１のインピー
ダンスＺｓに対応した周波数のパルス信号Ｓ１を発生さ
せるから、ｚ−ｆ変換回路２から周波数が相対湿度に対
して指数関数的に変化するパルス信号Ｓ１が得られる。
【００４９】時定数制御微分回路３は、コンデンサ３１
と電圧制御可変インピーダンス素子３２とが直列接続さ
れ、電圧制御可変インピーダンス素子が３２主電極３２
１、３２２と制御電極３２３とを有する三端子素子でな
り、インピーダンスＺｔが制御電極３２３に印加される
制御電圧Ｖｃにより指数関数的に変化し、主電極３２
１、３２２の両端からパルス信号Ｓ１を微分した微分信
号Ｓ２を出力するから、時定数が電圧制御可変インピー
ダンス素子３２のインピーダンス変化に追従して変化
し、その結果、指数関数的に変化する微分信号Ｓ２が得
られる。
と電圧制御可変インピーダンス素子３２とが直列接続さ
れ、電圧制御可変インピーダンス素子が３２主電極３２
１、３２２と制御電極３２３とを有する三端子素子でな
り、インピーダンスＺｔが制御電極３２３に印加される
制御電圧Ｖｃにより指数関数的に変化し、主電極３２
１、３２２の両端からパルス信号Ｓ１を微分した微分信
号Ｓ２を出力するから、時定数が電圧制御可変インピー
ダンス素子３２のインピーダンス変化に追従して変化
し、その結果、指数関数的に変化する微分信号Ｓ２が得
られる。
【００５０】波形整形回路４は、時定数が指数関数的に
変化する微分信号Ｓ２が入力され、所定電圧で微分信号
Ｓ２を二値化したパルス信号列Ｓ３を出力するようにな
っているから、波形整形回路４から、パルス信号Ｓ２の
パルス幅を周波数に対して対数的に圧縮したパルス幅を
有するパルス信号列Ｓ３が得られる。この結果、パルス
信号列Ｓ３を積分すると、直線化された相対湿度信号が
得られる。
変化する微分信号Ｓ２が入力され、所定電圧で微分信号
Ｓ２を二値化したパルス信号列Ｓ３を出力するようにな
っているから、波形整形回路４から、パルス信号Ｓ２の
パルス幅を周波数に対して対数的に圧縮したパルス幅を
有するパルス信号列Ｓ３が得られる。この結果、パルス
信号列Ｓ３を積分すると、直線化された相対湿度信号が
得られる。
【００５１】第１の積分回路５１は、入力されたパルス
信号列Ｓ３を積分し、積分して得られた電圧を制御電圧
Ｖｃとして電圧制御可変インピーダンス素子３の制御電
極３２３に供給するようになっているから、パルス信号
列Ｓ３のパルス幅が広くなり、制御電圧Ｖｃが上昇しよ
うとすると、電圧制御可変インピーダンス素子３のイン
ピーダンスＺｔを減少させる。このため、波形整形回路
４から得られるパルス信号列Ｓ３のパルス幅が狭くな
り、制御電圧Ｖｃの上昇が抑えられる。逆にパルス信号
列Ｓ３のパルス幅が狭くなり、制御電圧Ｖｃが低下しよ
うとすると、電圧制御可変インピーダンス素子３２のイ
ンピーダンスＺｔを増加させる。このため、波形整形回
路４から得られるパルス信号列Ｓ３のパルス幅が広くな
り、制御電圧Ｖｃの低下が抑えられる。即ち、第１の積
分回路５１は、時定数制御微分回路３に負帰還をかけ
る。これにより、パルス信号列Ｓ３のパルス幅が安定化
され、相対湿度信号の直線性が改善される。
信号列Ｓ３を積分し、積分して得られた電圧を制御電圧
Ｖｃとして電圧制御可変インピーダンス素子３の制御電
極３２３に供給するようになっているから、パルス信号
列Ｓ３のパルス幅が広くなり、制御電圧Ｖｃが上昇しよ
うとすると、電圧制御可変インピーダンス素子３のイン
ピーダンスＺｔを減少させる。このため、波形整形回路
４から得られるパルス信号列Ｓ３のパルス幅が狭くな
り、制御電圧Ｖｃの上昇が抑えられる。逆にパルス信号
列Ｓ３のパルス幅が狭くなり、制御電圧Ｖｃが低下しよ
うとすると、電圧制御可変インピーダンス素子３２のイ
ンピーダンスＺｔを増加させる。このため、波形整形回
路４から得られるパルス信号列Ｓ３のパルス幅が広くな
り、制御電圧Ｖｃの低下が抑えられる。即ち、第１の積
分回路５１は、時定数制御微分回路３に負帰還をかけ
る。これにより、パルス信号列Ｓ３のパルス幅が安定化
され、相対湿度信号の直線性が改善される。
【００５２】第２の積分回路５２は、パルス信号列Ｓ３
を積分し、積分して得られた電圧Ｖｒを相対湿度信号Ｓ
４として出力するから、第２の積分回路５２から直線化
された相対湿度−出力電圧特性が得られる。
を積分し、積分して得られた電圧Ｖｒを相対湿度信号Ｓ
４として出力するから、第２の積分回路５２から直線化
された相対湿度−出力電圧特性が得られる。
【００５３】図３及び図４は本発明に係る絶対湿度セン
サの原理を説明するための図である。図３は測定湿度に
おける温度をパラメータとして、相対湿度センサで得ら
れる出力電圧を絶対湿度と出力電圧との関係に置換して
示してある。相対湿度は１％〜９０％まで変化させてい
る。横軸は絶対湿度を示し、縦軸は出力電圧を示す。飽
和蒸気量は温度上昇とともに増加するので、相対湿度信
号Ｓ４の出力電圧Ｖｒも温度上昇と共に上昇するように
調整してある。図４は温度上昇と共に相対湿度信号Ｓ４
の出力電圧Ｖｒを更に上昇させるようにした場合の絶対
湿度と出力電圧との関係を示す図である。
サの原理を説明するための図である。図３は測定湿度に
おける温度をパラメータとして、相対湿度センサで得ら
れる出力電圧を絶対湿度と出力電圧との関係に置換して
示してある。相対湿度は１％〜９０％まで変化させてい
る。横軸は絶対湿度を示し、縦軸は出力電圧を示す。飽
和蒸気量は温度上昇とともに増加するので、相対湿度信
号Ｓ４の出力電圧Ｖｒも温度上昇と共に上昇するように
調整してある。図４は温度上昇と共に相対湿度信号Ｓ４
の出力電圧Ｖｒを更に上昇させるようにした場合の絶対
湿度と出力電圧との関係を示す図である。
【００５４】図３に示すように、相対湿度の出力電圧を
絶対湿度に置換する場合は、飽和蒸気量が温度上昇とと
もに増加するから、温度上昇に追従して相対湿度信号の
出力電圧Ｖｒを増加させる必要がある。図３の例では温
度上昇に追従して増加させる量が不足しているが、更に
温度上昇に追従して相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを
上昇させると、測定温度によるバラツキが抑制され、図
４に示すように、一直線上に乗るようにすることができ
る。このため、直線性の高い相対湿度信号Ｓ４の出力電
圧Ｖｒを温度上昇に追従して適切に上昇させることによ
り、直線性の高い絶対湿度信号Ｓ５が得られる。
絶対湿度に置換する場合は、飽和蒸気量が温度上昇とと
もに増加するから、温度上昇に追従して相対湿度信号の
出力電圧Ｖｒを増加させる必要がある。図３の例では温
度上昇に追従して増加させる量が不足しているが、更に
温度上昇に追従して相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを
上昇させると、測定温度によるバラツキが抑制され、図
４に示すように、一直線上に乗るようにすることができ
る。このため、直線性の高い相対湿度信号Ｓ４の出力電
圧Ｖｒを温度上昇に追従して適切に上昇させることによ
り、直線性の高い絶対湿度信号Ｓ５が得られる。
【００５５】積分回路５は、第１の積分回路５１及び第
２の積分回路５２の少なくとも一方が温度上昇に追従し
て制御電圧Ｖｃまたは相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒ
を制御し、絶対湿度信号Ｓ５を得るものであるから、例
えば、第１の積分回路５１が温度上昇に追従して制御電
圧Ｖｃを低下させると、温度上昇に追従して電圧制御可
変インピーダンス素子３２のインピーダンスＺｔが増加
し、パルス信号列Ｓ３のパルス幅が大きくなり、相対湿
度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを上昇させる。第２の積分回
路５２は、温度上昇に追従して相対湿度信号Ｓ４の出力
電圧Ｖｒを直接的に上昇させる。温度が下降する場合
は、第１の積分回路５１が制御電圧Ｖｃを上昇させ、第
２の積分回路５２が相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを
下降させる。これにより、直線性の高い相対湿度信号Ｓ
４の出力電圧Ｖｒを温度上昇に追従して適切に上昇さ
せ、直線性の高い絶対湿度信号Ｓ５が得られる。温度が
下降する場合は、第１の積分回路５１が制御電圧Ｖｃを
上昇させ、第２の積分回路５２が相対湿度信号Ｓ４の出
力電圧Ｖｒを下降させることにより、直線性の高い絶対
湿度信号Ｓ５が得られる。
２の積分回路５２の少なくとも一方が温度上昇に追従し
て制御電圧Ｖｃまたは相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒ
を制御し、絶対湿度信号Ｓ５を得るものであるから、例
えば、第１の積分回路５１が温度上昇に追従して制御電
圧Ｖｃを低下させると、温度上昇に追従して電圧制御可
変インピーダンス素子３２のインピーダンスＺｔが増加
し、パルス信号列Ｓ３のパルス幅が大きくなり、相対湿
度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを上昇させる。第２の積分回
路５２は、温度上昇に追従して相対湿度信号Ｓ４の出力
電圧Ｖｒを直接的に上昇させる。温度が下降する場合
は、第１の積分回路５１が制御電圧Ｖｃを上昇させ、第
２の積分回路５２が相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを
下降させる。これにより、直線性の高い相対湿度信号Ｓ
４の出力電圧Ｖｒを温度上昇に追従して適切に上昇さ
せ、直線性の高い絶対湿度信号Ｓ５が得られる。温度が
下降する場合は、第１の積分回路５１が制御電圧Ｖｃを
上昇させ、第２の積分回路５２が相対湿度信号Ｓ４の出
力電圧Ｖｒを下降させることにより、直線性の高い絶対
湿度信号Ｓ５が得られる。
【００５６】このように、湿度センサ素子１は自己加熱
する必要がないから、熱放散定数を利用しない絶対湿度
センサが得られる。これにより、外乱に強い絶対湿度セ
ンサが得られる。
する必要がないから、熱放散定数を利用しない絶対湿度
センサが得られる。これにより、外乱に強い絶対湿度セ
ンサが得られる。
【００５７】また、湿度センサ素子１は一つの検出素子
で構成できるから、検出素子間のバラツキ及び設置場所
の温度差の影響を受けにくい絶対湿度センサが得られ
る。しかも温度補償用の湿度センサ素子が不要であるか
ら、特性を一致させるための選別が不要となり、絶対湿
度センサの製造も容易になる。
で構成できるから、検出素子間のバラツキ及び設置場所
の温度差の影響を受けにくい絶対湿度センサが得られ
る。しかも温度補償用の湿度センサ素子が不要であるか
ら、特性を一致させるための選別が不要となり、絶対湿
度センサの製造も容易になる。
【００５８】更に、積分回路５が温度上昇に追従して相
対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを上昇させ、絶対湿度の
出力信号Ｓ５を得るから、相対湿度センサとの共用性の
高い絶対湿度センサが得られる。
対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを上昇させ、絶対湿度の
出力信号Ｓ５を得るから、相対湿度センサとの共用性の
高い絶対湿度センサが得られる。
【００５９】更にまた、温度補償用の湿度センサ素子が
不要であるから、温度影響の少ない絶対湿度センサが得
られる。
不要であるから、温度影響の少ない絶対湿度センサが得
られる。
【００６０】更にまた、湿度センサ素子１は、インピー
ダンスＺｓが相対湿度に対して指数関数的に変化し、ｚ
−ｆ変換回路２は湿度センサ素子１のインピーダンスＺ
ｓに対応した周波数のパルス信号Ｓ１を発生させるか
ら、パルス信号Ｓ１の周波数が大きく変化する。しかも
デジタル的に処理されるから、信号処理を容易にし、安
価な絶対湿度センサが得られる。
ダンスＺｓが相対湿度に対して指数関数的に変化し、ｚ
−ｆ変換回路２は湿度センサ素子１のインピーダンスＺ
ｓに対応した周波数のパルス信号Ｓ１を発生させるか
ら、パルス信号Ｓ１の周波数が大きく変化する。しかも
デジタル的に処理されるから、信号処理を容易にし、安
価な絶対湿度センサが得られる。
【００６１】好ましい実施例では、湿度センサ素子１、
ｚーｆ変換回路２、時定数制御微分回路３、波形整形回
路４及び積分回路５が図示しない同一ケース内に収納さ
れるから、小型になると共に、湿度センサ素子１及び積
分回路５が同一温度条件下に設置され、温度影響の少な
い絶対湿度センサが得られる。本実施例では、縦１１ミ
リ、横２７ミリ、幅６ミリのケース内に収納でき、各種
の電子機器に利用できる。
ｚーｆ変換回路２、時定数制御微分回路３、波形整形回
路４及び積分回路５が図示しない同一ケース内に収納さ
れるから、小型になると共に、湿度センサ素子１及び積
分回路５が同一温度条件下に設置され、温度影響の少な
い絶対湿度センサが得られる。本実施例では、縦１１ミ
リ、横２７ミリ、幅６ミリのケース内に収納でき、各種
の電子機器に利用できる。
【００６２】好ましい実施例では、第１の積分回路５１
は、抵抗分圧回路５１Ａと、コンデンサ５１３とを有す
る。抵抗分圧回路５１Ａは、固定抵抗５１１とインピー
ダンスが温度によって変化する可変インピーダンス回路
５１２とを含む。可変インピーダンス回路５１２はサー
ミスタでなる。コンデンサ５１３は固定抵抗５１１また
はサーミスタ５１２の何れかに並列接続され、コンデン
サ５１３の端子電圧が制御電圧Ｖｃとなる。このため、
サーミスタ５１２の抵抗値が温度上昇に追従して増加ま
たは低下し、それにつれて固定抵抗５１１の分圧電圧ま
たはサーミスタ５１２の分圧電圧が低下し、制御電圧Ｖ
ｃが低下する。その結果、第２の積分回路５２を通して
相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを温度上昇に追従して
上昇させることができる。固定抵抗５１１は可変抵抗と
して図示されているが、抵抗分圧比を微細に調整するた
めのものであり、調整後は固定抵抗となる。
は、抵抗分圧回路５１Ａと、コンデンサ５１３とを有す
る。抵抗分圧回路５１Ａは、固定抵抗５１１とインピー
ダンスが温度によって変化する可変インピーダンス回路
５１２とを含む。可変インピーダンス回路５１２はサー
ミスタでなる。コンデンサ５１３は固定抵抗５１１また
はサーミスタ５１２の何れかに並列接続され、コンデン
サ５１３の端子電圧が制御電圧Ｖｃとなる。このため、
サーミスタ５１２の抵抗値が温度上昇に追従して増加ま
たは低下し、それにつれて固定抵抗５１１の分圧電圧ま
たはサーミスタ５１２の分圧電圧が低下し、制御電圧Ｖ
ｃが低下する。その結果、第２の積分回路５２を通して
相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒを温度上昇に追従して
上昇させることができる。固定抵抗５１１は可変抵抗と
して図示されているが、抵抗分圧比を微細に調整するた
めのものであり、調整後は固定抵抗となる。
【００６３】図１の実施例では、具体的に、可変インピ
ーダンス回路５１２が負特性サーミスタでなり、コンデ
ンサ５２が負特性サーミスタ５１２に並列接続される。
負特性サーミスタ５１２は、温度上昇に追従して抵抗値
が減少する。このため、温度上昇に追従して負特性サー
ミスタ５１２の分圧電圧が低下し、制御電圧Ｖｃが低下
する。
ーダンス回路５１２が負特性サーミスタでなり、コンデ
ンサ５２が負特性サーミスタ５１２に並列接続される。
負特性サーミスタ５１２は、温度上昇に追従して抵抗値
が減少する。このため、温度上昇に追従して負特性サー
ミスタ５１２の分圧電圧が低下し、制御電圧Ｖｃが低下
する。
【００６４】好ましい実施例では、第２の積分回路５２
は、抵抗分圧回路５２Ａと、コンデンサ５２３とを有す
る。抵抗分圧回路５２Ａは、固定抵抗５２１とサーミス
タ５２２とを含む。コンデンサ５２３は固定抵抗５２１
またはサーミスタ５２２の何れかに並列接続され、コン
デンサ５２３の端子電圧が絶対湿度信号Ｓ５となる。こ
のため、サーミスタ５２２の抵抗値が温度上昇に追従し
て増加または低下し、それにつれてサーミスタ５２２の
分圧電圧または固定抵抗５２１の分圧電圧が上昇する。
その結果、相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒが温度上昇
に追従して上昇し、絶対湿度信号Ｓ５が得られる。固定
抵抗５２１は可変抵抗として図示されているが、抵抗分
圧比を微細に調整するためのものであり、調整後は固定
抵抗となる。
は、抵抗分圧回路５２Ａと、コンデンサ５２３とを有す
る。抵抗分圧回路５２Ａは、固定抵抗５２１とサーミス
タ５２２とを含む。コンデンサ５２３は固定抵抗５２１
またはサーミスタ５２２の何れかに並列接続され、コン
デンサ５２３の端子電圧が絶対湿度信号Ｓ５となる。こ
のため、サーミスタ５２２の抵抗値が温度上昇に追従し
て増加または低下し、それにつれてサーミスタ５２２の
分圧電圧または固定抵抗５２１の分圧電圧が上昇する。
その結果、相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒが温度上昇
に追従して上昇し、絶対湿度信号Ｓ５が得られる。固定
抵抗５２１は可変抵抗として図示されているが、抵抗分
圧比を微細に調整するためのものであり、調整後は固定
抵抗となる。
【００６５】図１の実施例では、具体的に、サーミスタ
５２２が負特性サーミスタでなり、コンデンサ５２３が
固定抵抗５２１に並列接続される。このため、温度上昇
に追従して固定抵抗５２１の分圧電圧が上昇し、相対湿
度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒが上昇し、絶対湿度信号Ｓ５
が得られる。
５２２が負特性サーミスタでなり、コンデンサ５２３が
固定抵抗５２１に並列接続される。このため、温度上昇
に追従して固定抵抗５２１の分圧電圧が上昇し、相対湿
度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒが上昇し、絶対湿度信号Ｓ５
が得られる。
【００６６】図５は本発明に係る絶対湿度センサの別の
実施例の構成を示すブロック図である。図において、図
１と同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
実施例の構成を示すブロック図である。図において、図
１と同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
【００６７】第１の積分回路５１は、サーミスタ５１２
が正特性サーミスタでなり、コンデンサ５１３が固定抵
抗５１１に並列接続される。正特性サーミスタ５１２
は、温度上昇に追従して抵抗値が上昇する。このため、
温度上昇に追従して正特性サーミスタ５１２の抵抗値が
増加すると、固定抵抗５１１の分圧電圧が低下し、制御
電圧Ｖｃが低下する。
が正特性サーミスタでなり、コンデンサ５１３が固定抵
抗５１１に並列接続される。正特性サーミスタ５１２
は、温度上昇に追従して抵抗値が上昇する。このため、
温度上昇に追従して正特性サーミスタ５１２の抵抗値が
増加すると、固定抵抗５１１の分圧電圧が低下し、制御
電圧Ｖｃが低下する。
【００６８】第２の積分回路５２は、サーミスタ５２２
が正特性サーミスタでなり、コンデンサ５２３が正特性
サーミスタ５２２に並列接続される。このため、温度上
昇に追従して正特性サーミスタ５２２の分圧電圧が上昇
し、相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒが上昇し、絶対湿
度信号Ｓ５が得られる。
が正特性サーミスタでなり、コンデンサ５２３が正特性
サーミスタ５２２に並列接続される。このため、温度上
昇に追従して正特性サーミスタ５２２の分圧電圧が上昇
し、相対湿度信号Ｓ４の出力電圧Ｖｒが上昇し、絶対湿
度信号Ｓ５が得られる。
【００６９】図６は本発明に係る絶対湿度センサの更に
別の実施例の構成を示すブロック図である。図におい
て、図１と同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
別の実施例の構成を示すブロック図である。図におい
て、図１と同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
【００７０】時定数制御微分回路３は、インピーダンス
Ｚｄが印加電圧により指数関数的に変化する非直線性イ
ンピーダンス素子３３を含む。非直線性インピーダンス
素子３３は、一端がコンデンサ３１の接続される主電極
３２１とは反対の主電極３２２に接続され、他端が接地
される。時定数制御微分回路３は、直列接続された電圧
制御可変インピーダンス素子３２と非直線性インピーダ
ンス素子３３との両端から微分信号Ｓ２を出力する。こ
の実施例では、時定数が電圧制御可変インピーダンス素
子３２及び非直線性インピーダンス素子３３のインピー
ダンス変化に追従して変化し、指数関数的に変化する微
分信号Ｓ２が得られる。このため、非直線性インピーダ
ンス素子３３は、従来の電圧制御可変インピーダンス素
子３２が湿度センサ素子１の非直線性を補正するに当
り、不足していた非直線性を補う作用をする。これによ
り、図１の実施例に対し、相対湿度信号の出力電圧の直
線性が更に向上し、その結果、絶対湿度信号の出力電圧
の直線性も更に向上する。
Ｚｄが印加電圧により指数関数的に変化する非直線性イ
ンピーダンス素子３３を含む。非直線性インピーダンス
素子３３は、一端がコンデンサ３１の接続される主電極
３２１とは反対の主電極３２２に接続され、他端が接地
される。時定数制御微分回路３は、直列接続された電圧
制御可変インピーダンス素子３２と非直線性インピーダ
ンス素子３３との両端から微分信号Ｓ２を出力する。こ
の実施例では、時定数が電圧制御可変インピーダンス素
子３２及び非直線性インピーダンス素子３３のインピー
ダンス変化に追従して変化し、指数関数的に変化する微
分信号Ｓ２が得られる。このため、非直線性インピーダ
ンス素子３３は、従来の電圧制御可変インピーダンス素
子３２が湿度センサ素子１の非直線性を補正するに当
り、不足していた非直線性を補う作用をする。これによ
り、図１の実施例に対し、相対湿度信号の出力電圧の直
線性が更に向上し、その結果、絶対湿度信号の出力電圧
の直線性も更に向上する。
【００７１】時定数制御微分回路３の好ましい例では、
電圧制御可変インピーダンス素子３２がトランジスタ３
２０でなり、非直線性インピーダンス素子３３がダイオ
ード３３１でなる。ダイオード３３１として、シリコン
ダイオード、ショットキ−バリア・ダイオード等が使用
可能である。ダイオード３３１のアノードはトランジス
タ３２０のエミッタ３２２に接続される。コンデンサ３
１はトランジスタ３２０のコレクタ３２１に接続され
る。制御電圧Ｖｃはトランジスタ３２０のベ−ス３２３
に供給される。この実施例では、トランジスタ３２０の
ベ−ス電圧とエミッタ電流との関係が指数関数特性とな
るので、ベ−ス３２３に供給される制御電圧Ｖｃに従い
トランジスタ３２０の動作状態のインピーダンスＺｔも
指数関数的に変化する。ダイオード３３１は順電圧と順
電流との関係が指数関数特性となるので、ダイオード３
３１の動作状態のインピーダンスＺｄも指数関数的に変
化する。このため、制御電圧Ｖｃによりトランジスタ３
２０及びダイオード３３１に負帰還がかかり、絶対湿度
信号Ｓ５の直線性が改善される。
電圧制御可変インピーダンス素子３２がトランジスタ３
２０でなり、非直線性インピーダンス素子３３がダイオ
ード３３１でなる。ダイオード３３１として、シリコン
ダイオード、ショットキ−バリア・ダイオード等が使用
可能である。ダイオード３３１のアノードはトランジス
タ３２０のエミッタ３２２に接続される。コンデンサ３
１はトランジスタ３２０のコレクタ３２１に接続され
る。制御電圧Ｖｃはトランジスタ３２０のベ−ス３２３
に供給される。この実施例では、トランジスタ３２０の
ベ−ス電圧とエミッタ電流との関係が指数関数特性とな
るので、ベ−ス３２３に供給される制御電圧Ｖｃに従い
トランジスタ３２０の動作状態のインピーダンスＺｔも
指数関数的に変化する。ダイオード３３１は順電圧と順
電流との関係が指数関数特性となるので、ダイオード３
３１の動作状態のインピーダンスＺｄも指数関数的に変
化する。このため、制御電圧Ｖｃによりトランジスタ３
２０及びダイオード３３１に負帰還がかかり、絶対湿度
信号Ｓ５の直線性が改善される。
【００７２】時定数制御微分回路３は、インピーダンス
調整回路３４を有する。インピーダンス調整回路３４
は、非直線性インピーダンス素子３３に並列に接続され
る。この実施例では、非直線性インピーダンス素子３３
によるインピーダンスＺｄの補正量が多すぎた場合に、
インピーダンス調整回路３４が合成インピーダンスを小
さくさせるので適切な補正が可能となる。これにより、
更に絶対湿度信号Ｓ５の直線性が改善される。
調整回路３４を有する。インピーダンス調整回路３４
は、非直線性インピーダンス素子３３に並列に接続され
る。この実施例では、非直線性インピーダンス素子３３
によるインピーダンスＺｄの補正量が多すぎた場合に、
インピーダンス調整回路３４が合成インピーダンスを小
さくさせるので適切な補正が可能となる。これにより、
更に絶対湿度信号Ｓ５の直線性が改善される。
【００７３】インピーダンス調整回路３４がコンデンサ
でなる例では、ｚーｆ変換回路の周波数に応じて非直線
性インピーダンス素子のインピーダンスを調整できる。
でなる例では、ｚーｆ変換回路の周波数に応じて非直線
性インピーダンス素子のインピーダンスを調整できる。
【００７４】インピーダンス調整回路３４が抵抗（図示
しない）でなる例では、周波数に関係なく非直線性イン
ピーダンス素子３３のインピーダンスを調整できる。
しない）でなる例では、周波数に関係なく非直線性イン
ピーダンス素子３３のインピーダンスを調整できる。
【００７５】インピーダンス調整回路がダイオード（図
示しない）でなる例では、非直線性インピーダンス素子
のインピーダンスを接続個数の整数分の１に調整するこ
とができる。
示しない）でなる例では、非直線性インピーダンス素子
のインピーダンスを接続個数の整数分の１に調整するこ
とができる。
【００７６】図７は本発明に係る絶対湿度センサの具体
的な回路図である。図において、図１、図５及び図６と
同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
的な回路図である。図において、図１、図５及び図６と
同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
【００７７】ｚ−ｆ変換回路２は、シュミットトリガ２
１、バッファ２２、抵抗２３、サ−ミスタ２４、コンデ
ンサ２５及びコンデンサ２６を有する。湿度センサ素子
１と、サ−ミスタ２４と、コンデンサ２５とが直列に接
続され、直列回路の一端となる湿度センサ素子１の一端
がシュミットトリガ２１の入力端子に接続され、直列回
路の他端となるコンデンサ２５の一端がバッファ２２の
出力端子に接続される。シュミットトリガ２１、バッフ
ァ２２はＣＭＯＳ、ＴＴＬ等のＩＣが用いられる。サ−
ミスタ２４は湿度センサ素子１のインピーダンスＺs の
温度補償をするために設けてある。コンデンサ２５は直
流カットのために設けてある。バッファ２２はシュミッ
トトリガ２１の出力インピーダンスを下げると共に、波
形整形をするために設けてある。抵抗２３は、一端がシ
ュミットトリガ２１の入力端子に接続され、他端がバッ
ファ２２の出力端子に接続される。コンデンサ２６の一
端はシュミットトリガ２１の入力端子に接続される。こ
れにより、ｚ−ｆ変換回路２は、湿度センサ素子１、抵
抗２３、サ−ミスタ２４及びコンデンサ２５のインピー
ダンスと、コンデンサ２６のインピーダンスとの関係に
より発振し、湿度センサ素子１のインピーダンス変化に
従った周波数のパルス信号Ｓ１を出力する。
１、バッファ２２、抵抗２３、サ−ミスタ２４、コンデ
ンサ２５及びコンデンサ２６を有する。湿度センサ素子
１と、サ−ミスタ２４と、コンデンサ２５とが直列に接
続され、直列回路の一端となる湿度センサ素子１の一端
がシュミットトリガ２１の入力端子に接続され、直列回
路の他端となるコンデンサ２５の一端がバッファ２２の
出力端子に接続される。シュミットトリガ２１、バッフ
ァ２２はＣＭＯＳ、ＴＴＬ等のＩＣが用いられる。サ−
ミスタ２４は湿度センサ素子１のインピーダンスＺs の
温度補償をするために設けてある。コンデンサ２５は直
流カットのために設けてある。バッファ２２はシュミッ
トトリガ２１の出力インピーダンスを下げると共に、波
形整形をするために設けてある。抵抗２３は、一端がシ
ュミットトリガ２１の入力端子に接続され、他端がバッ
ファ２２の出力端子に接続される。コンデンサ２６の一
端はシュミットトリガ２１の入力端子に接続される。こ
れにより、ｚ−ｆ変換回路２は、湿度センサ素子１、抵
抗２３、サ−ミスタ２４及びコンデンサ２５のインピー
ダンスと、コンデンサ２６のインピーダンスとの関係に
より発振し、湿度センサ素子１のインピーダンス変化に
従った周波数のパルス信号Ｓ１を出力する。
【００７８】波形整形回路４は、バッファ４１により構
成される。バッファ４１は、ＣＭＯＳ、ＴＴＬ等のＩＣ
が用いられ、スレショルドレベルを所定の電圧として微
分信号Ｓ２を二値化し、パルス信号列Ｓ３を出力する。
成される。バッファ４１は、ＣＭＯＳ、ＴＴＬ等のＩＣ
が用いられ、スレショルドレベルを所定の電圧として微
分信号Ｓ２を二値化し、パルス信号列Ｓ３を出力する。
【００７９】図８は本発明に係る絶対湿度センサの別の
具体的な回路図である。図において、図７と同一参照符
号は同一性ある構成部分を示す。抵抗２７及び抵抗２８
は、直列接続され、直列回路の両端がシュミットトリガ
２１の入力端子、バッファ２２の出力端子に接続され
る。コンデンサ２９は、一端が抵抗２７及び抵抗２８の
直列接続点に接続され、他端が接地される。この構成に
よれば、パルス信号Ｓ１に含まれる交流成分がコンデン
サ２９によりバイパスされ、抵抗２７及び抵抗２８の直
列回路の両端で見たインピーダンスを高インピーダンス
に維持できる。このため、湿度センサ素子１に並列接続
される抵抗２７及び抵抗２８の直列回路による合成イン
ピーダンスの低下が防止され、ｚ−ｆ変換回路２は、湿
度センサ素子１の抵抗変化を効率的にパルス信号Ｓ１に
変換できる。
具体的な回路図である。図において、図７と同一参照符
号は同一性ある構成部分を示す。抵抗２７及び抵抗２８
は、直列接続され、直列回路の両端がシュミットトリガ
２１の入力端子、バッファ２２の出力端子に接続され
る。コンデンサ２９は、一端が抵抗２７及び抵抗２８の
直列接続点に接続され、他端が接地される。この構成に
よれば、パルス信号Ｓ１に含まれる交流成分がコンデン
サ２９によりバイパスされ、抵抗２７及び抵抗２８の直
列回路の両端で見たインピーダンスを高インピーダンス
に維持できる。このため、湿度センサ素子１に並列接続
される抵抗２７及び抵抗２８の直列回路による合成イン
ピーダンスの低下が防止され、ｚ−ｆ変換回路２は、湿
度センサ素子１の抵抗変化を効率的にパルス信号Ｓ１に
変換できる。
【００８０】図９は本発明に係る絶対湿度センサの更に
別の具体的な回路図である。本回路は相対湿度センサと
絶対湿度センサとの共用性を考慮したものである。図に
おいて、図８と同一参照符号は同一性ある構成部分を示
す。スイッチ５３１は、相対湿度センサとして使用する
時には固定抵抗５２４と導通し、絶対湿度センサとして
使用する時にはサーミスタ５２２と導通する。スイッチ
５３２及び５３３は、相対湿度センサとして使用する時
には不導通となり、絶対湿度センサとして使用する時に
は導通する。この構成によれば、スイッチ５３１〜５３
３の切替だけで相対湿度センサまたは絶対湿度センサと
して使用できる。スイッチ５３１〜５３３は、切替スイ
ッチ、アナログマルチプレクサ等で構成できる。
別の具体的な回路図である。本回路は相対湿度センサと
絶対湿度センサとの共用性を考慮したものである。図に
おいて、図８と同一参照符号は同一性ある構成部分を示
す。スイッチ５３１は、相対湿度センサとして使用する
時には固定抵抗５２４と導通し、絶対湿度センサとして
使用する時にはサーミスタ５２２と導通する。スイッチ
５３２及び５３３は、相対湿度センサとして使用する時
には不導通となり、絶対湿度センサとして使用する時に
は導通する。この構成によれば、スイッチ５３１〜５３
３の切替だけで相対湿度センサまたは絶対湿度センサと
して使用できる。スイッチ５３１〜５３３は、切替スイ
ッチ、アナログマルチプレクサ等で構成できる。
【００８１】図１０は本発明に係る絶対湿度センサの更
に別の具体的な回路図である。図において、図１、図６
及び図８と同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
可変インピーダンス回路５１２は、ダイオードＤ１で構
成される。ダイオードＤ１の動作状態のインピーダンス
は、温度上昇に追従して低下するので、ダイオードＤ１
の分圧電圧が低下し、制御電圧Ｖｃが低下する。
に別の具体的な回路図である。図において、図１、図６
及び図８と同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
可変インピーダンス回路５１２は、ダイオードＤ１で構
成される。ダイオードＤ１の動作状態のインピーダンス
は、温度上昇に追従して低下するので、ダイオードＤ１
の分圧電圧が低下し、制御電圧Ｖｃが低下する。
【００８２】図１１は本発明に係る絶対湿度センサの更
に別の具体的な回路図である。図において、図１、図６
及び図８と同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
可変インピーダンス回路５１２は、負特性サーミスタＴ
Ｈ１とダイオードＤ１の直列回路で構成される。負特性
サーミスタＴＨ１及びダイオードＤ１の動作状態のイン
ピーダンスは、温度上昇に追従して低下するので、負特
性サーミスタＴＨ１及びダイオードＤ１の分圧電圧が低
下し、制御電圧Ｖｃが低下する。
に別の具体的な回路図である。図において、図１、図６
及び図８と同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
可変インピーダンス回路５１２は、負特性サーミスタＴ
Ｈ１とダイオードＤ１の直列回路で構成される。負特性
サーミスタＴＨ１及びダイオードＤ１の動作状態のイン
ピーダンスは、温度上昇に追従して低下するので、負特
性サーミスタＴＨ１及びダイオードＤ１の分圧電圧が低
下し、制御電圧Ｖｃが低下する。
【００８３】図１２は本発明に係る絶対湿度センサの更
に別の具体的な回路図である。図において、図１、図６
及び図８と同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
可変インピーダンス回路５１２は、トランジスタＴＲ１
と固定抵抗Ｒ２とを含む。トランジスタＴＲ１は、コレ
クタが固定抵抗５１に接続され、エミッタが接地され
る。固定抵抗Ｒ２は、一端がトランジスタＴＲ１のベー
スに接続され、他端が接地される。コンデンサ５１３
は、トランジスタＴＲ１のコレクターエミッタ間に並列
接続される。トランジスタＴＲ１の動作状態のインピー
ダンスは、温度上昇に追従して低下するので、トランジ
スタＴＲ１の分圧電圧が低下し、制御電圧Ｖｃが低下す
る。
に別の具体的な回路図である。図において、図１、図６
及び図８と同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
可変インピーダンス回路５１２は、トランジスタＴＲ１
と固定抵抗Ｒ２とを含む。トランジスタＴＲ１は、コレ
クタが固定抵抗５１に接続され、エミッタが接地され
る。固定抵抗Ｒ２は、一端がトランジスタＴＲ１のベー
スに接続され、他端が接地される。コンデンサ５１３
は、トランジスタＴＲ１のコレクターエミッタ間に並列
接続される。トランジスタＴＲ１の動作状態のインピー
ダンスは、温度上昇に追従して低下するので、トランジ
スタＴＲ１の分圧電圧が低下し、制御電圧Ｖｃが低下す
る。
【００８４】図１３は本発明に係る絶対湿度センサの更
に別の具体的な回路図である。図において、図１、図６
及び図８と同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
時定数制御微分回路３は、制御電圧調整回路３５を有す
る。制御電圧調整回路３５は、第１の積分回路５１にお
いて積分して得られた電圧Ｖｃに応じて、非直線性イン
ピーダンス素子３３をバイアスする。具体的には、制御
電圧調整回路３５は、トランジスタＴＲ２と、固定抵抗
Ｒ３とを含む。非直線性インピーダンス素子３３は、ダ
イオード３３１でなる。トランジスタＴＲ２は、コレク
タが第１の積分回路５１を構成するコンデンサ５１３に
接続され、エミッタがダイオード３３１に接続される。
固定抵抗Ｒ３は、トランジスタＴＲ２のエミッタとベー
スとに接続される。この例では、ダイオード３３１がト
ランジスタＴＲ２を流れる電流によりバイアスされ、ダ
イオード３３１のアノードの電位、即ち、トランジスタ
３２０のエミッタ３２２の電位が上昇し、実質的に、第
１の積分回路５１に抵抗分圧回路５１Ａ（図８参照）を
設けた場合の分圧電圧が低下した場合と等価になる。こ
のため、種々の湿度センサ素子を用いた場合に、調整範
囲を広くすることができる。
に別の具体的な回路図である。図において、図１、図６
及び図８と同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。
時定数制御微分回路３は、制御電圧調整回路３５を有す
る。制御電圧調整回路３５は、第１の積分回路５１にお
いて積分して得られた電圧Ｖｃに応じて、非直線性イン
ピーダンス素子３３をバイアスする。具体的には、制御
電圧調整回路３５は、トランジスタＴＲ２と、固定抵抗
Ｒ３とを含む。非直線性インピーダンス素子３３は、ダ
イオード３３１でなる。トランジスタＴＲ２は、コレク
タが第１の積分回路５１を構成するコンデンサ５１３に
接続され、エミッタがダイオード３３１に接続される。
固定抵抗Ｒ３は、トランジスタＴＲ２のエミッタとベー
スとに接続される。この例では、ダイオード３３１がト
ランジスタＴＲ２を流れる電流によりバイアスされ、ダ
イオード３３１のアノードの電位、即ち、トランジスタ
３２０のエミッタ３２２の電位が上昇し、実質的に、第
１の積分回路５１に抵抗分圧回路５１Ａ（図８参照）を
設けた場合の分圧電圧が低下した場合と等価になる。こ
のため、種々の湿度センサ素子を用いた場合に、調整範
囲を広くすることができる。
【００８５】図１４は別の湿度センサ素子のインピーダ
ンス変化を示す図である。図において、図２と同一参照
符号は同一性ある構成部分を示す。図１４に示す湿度セ
ンサ素子は、図２に示す湿度センサ素子と比較して、相
対温度に対する抵抗変化率は小さくなっていて、相対湿
度に対する抵抗変化率も小さくなっている。このため、
上述の回路構成では、相対湿度が高い領域において、出
力電圧が低下し、絶対湿度に対する出力電圧の直線性が
低下することがある。
ンス変化を示す図である。図において、図２と同一参照
符号は同一性ある構成部分を示す。図１４に示す湿度セ
ンサ素子は、図２に示す湿度センサ素子と比較して、相
対温度に対する抵抗変化率は小さくなっていて、相対湿
度に対する抵抗変化率も小さくなっている。このため、
上述の回路構成では、相対湿度が高い領域において、出
力電圧が低下し、絶対湿度に対する出力電圧の直線性が
低下することがある。
【００８６】図１５は本発明に係る絶対湿度センサの更
に別の具体的な回路図、図１６は図１５に示す回路を使
用した場合の絶対湿度と出力電圧との関係を示す図であ
る。図１６は周囲温度が４５℃の場合を示してある。一
点鎖線で示す範囲は、±２（ｇ／ｍ3）の誤差範囲を示
す。図において、図１、図６及び図８と同一参照符号は
同一性ある構成部分を示す。参照符号１で示す湿度セン
サ素子は、図１４に示す湿度センサ素子で構成される。
電圧制御可変インピーダンス素子３２０は、２個のトラ
ンジスタを含み、２個のトランジスタがダーリントン接
続されている。この構成によれば、制御電圧Ｖｃの変化
が小さくても電圧制御可変インピーダンス素子３２０の
インピーダンスＺｔが大きく変化する。このため、相対
湿度に対する抵抗変化率が小さい湿度センサ素子を使用
した場合でも、図１６に示すように、相対湿度の高い領
域において出力電圧の直線性が高くなる。図示はしない
が、周囲温度が５℃、１５℃、２５℃、３５℃の場合
も、一点鎖線（図１６参照）の範囲内に入るような高い
直線性が得られる。これにより、抵抗変化率の小さい湿
度センサ素子も使用できるようになり、種々の湿度セン
サ素子に対応できる絶対湿度センサが得られる。
に別の具体的な回路図、図１６は図１５に示す回路を使
用した場合の絶対湿度と出力電圧との関係を示す図であ
る。図１６は周囲温度が４５℃の場合を示してある。一
点鎖線で示す範囲は、±２（ｇ／ｍ3）の誤差範囲を示
す。図において、図１、図６及び図８と同一参照符号は
同一性ある構成部分を示す。参照符号１で示す湿度セン
サ素子は、図１４に示す湿度センサ素子で構成される。
電圧制御可変インピーダンス素子３２０は、２個のトラ
ンジスタを含み、２個のトランジスタがダーリントン接
続されている。この構成によれば、制御電圧Ｖｃの変化
が小さくても電圧制御可変インピーダンス素子３２０の
インピーダンスＺｔが大きく変化する。このため、相対
湿度に対する抵抗変化率が小さい湿度センサ素子を使用
した場合でも、図１６に示すように、相対湿度の高い領
域において出力電圧の直線性が高くなる。図示はしない
が、周囲温度が５℃、１５℃、２５℃、３５℃の場合
も、一点鎖線（図１６参照）の範囲内に入るような高い
直線性が得られる。これにより、抵抗変化率の小さい湿
度センサ素子も使用できるようになり、種々の湿度セン
サ素子に対応できる絶対湿度センサが得られる。
【００８７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、以
下のような効果が得られる。 （ａ）サーミスタの熱放散定数を利用しない絶対湿度セ
ンサを提供できる。 （ｂ）一つの検出素子とすることにより、検出素子間の
バラツキ及び設置場所の温度差の影響を受けにくい絶対
湿度センサを提供できる。 （ｃ）相対湿度に応じて変化する検出素子を用い、相対
湿度センサとの共用性の高い絶対湿度センサを提供でき
る。 （ｄ）温度影響の少ない絶対湿度センサを提供できる。 （ｅ）信号処理を容易にし、安価にし得る絶対湿度セン
サを提供できる。 （ｆ）種々の湿度センサ素子に対応し得る絶対湿度セン
サを提供できる。
下のような効果が得られる。 （ａ）サーミスタの熱放散定数を利用しない絶対湿度セ
ンサを提供できる。 （ｂ）一つの検出素子とすることにより、検出素子間の
バラツキ及び設置場所の温度差の影響を受けにくい絶対
湿度センサを提供できる。 （ｃ）相対湿度に応じて変化する検出素子を用い、相対
湿度センサとの共用性の高い絶対湿度センサを提供でき
る。 （ｄ）温度影響の少ない絶対湿度センサを提供できる。 （ｅ）信号処理を容易にし、安価にし得る絶対湿度セン
サを提供できる。 （ｆ）種々の湿度センサ素子に対応し得る絶対湿度セン
サを提供できる。
【図１】本発明に係る絶対湿度センサの構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】湿度センサ素子のインピーダンス変化を示す図
である。
である。
【図３】相対湿度センサで得られる出力電圧を絶対湿度
と出力電圧との関係に置換して示す図である。
と出力電圧との関係に置換して示す図である。
【図４】本発明に係る絶対湿度センサの絶対湿度と出力
電圧との関係を示す図である。
電圧との関係を示す図である。
【図５】本発明に係る絶対湿度センサの別の実施例の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図６】本発明に係る絶対湿度センサの更に別の実施例
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図７】本発明に係る絶対湿度センサの具体的な回路図
である。
である。
【図８】本発明に係る絶対湿度センサの別の具体的な回
路図である。
路図である。
【図９】本発明に係る絶対湿度センサの更に別の具体的
な回路図である。
な回路図である。
【図１０】本発明に係る絶対湿度センサの更に別の具体
的な回路図である。
的な回路図である。
【図１１】本発明に係る絶対湿度センサの更に別の具体
的な回路図である。
的な回路図である。
【図１２】本発明に係る絶対湿度センサの更に別の具体
的な回路図である。
的な回路図である。
【図１３】本発明に係る絶対湿度センサの更に別の具体
的な回路図である。
的な回路図である。
【図１４】別の湿度センサ素子のインピーダンス変化を
示す図である。
示す図である。
【図１５】本発明に係る絶対湿度センサの更に別の具体
的な回路図である。
的な回路図である。
【図１６】図１５に示す回路を使用した場合の絶対湿度
と出力電圧との関係を示す図である。
と出力電圧との関係を示す図である。
１ 湿度センサ素子 ２ ｚーｆ変換回路 ３ 時定数制御微分回路 ３１ コンデンサ ３２ 電圧制御可変インピーダンス素子 ３２０ トランジスタ ３２１、３２２ 主電極 ３２３ 制御電極 ３３ 非直線性インピーダンス素子 ３３１ ダイオード ３４ インピーダンス調整回路 ３５ 制御電圧調整回路 ４ 波形整形回路 ５ 積分回路 ５１ 第１の積分回路 ５１Ａ 抵抗分圧回路 ５１１ 固定抵抗 ５１２ 可変インピーダンス回路 ５１３ コンデンサ ５２ 第２の積分回路 ５２Ａ 抵抗分圧回路 ５２１ 固定抵抗 ５２２ サーミスタ ５２３ コンデンサ Ｓ１ パルス信号 Ｓ２ 微分信号 Ｓ３ パルス信号列 Ｓ４ 相対湿度信号 Ｓ５ 絶対湿度信号 Ｖc 制御電圧 Ｖｏ 出力電圧
Claims (14)
- 【請求項１】 湿度センサ素子と、インピーダンス−周
波数変換回路と、時定数制御微分回路と、波形整形回路
と、積分回路とを有する絶対湿度センサであって、 前記湿度センサ素子は、インピーダンスが相対湿度に対
して指数関数的に変化するものであり、 前記インピーダンス−周波数変換回路は、前記湿度セン
サ素子のインピーダンスに対応した周波数のパルス信号
を発生させるものであり、 前記時定数制御微分回路は、コンデンサと、電圧制御可
変インピーダンス素子とを含み、コンデンサと電圧制御
可変インピーダンス素子とが直列に接続されており、 前記電圧制御可変インピーダンス素子は、主電極と制御
電極とを有する三端子素子でなり、インピーダンスが前
記制御電極に印加される電圧により指数関数的に変化
し、前記主電極の両端から前記パルス信号を微分した微
分信号を出力するものであり、 前記波形整形回路は、前記微分信号が入力され、前記微
分信号を二値化したパルス信号列を出力するものであ
り、 前記積分回路は、第１の積分回路と、第２の積分回路と
を有し、前記第１の積分回路が入力された前記パルス信
号列を積分し、積分して得られた電圧を前記制御電圧と
して前記電圧制御可変インピーダンス素子の前記制御電
極に供給し、前記第２の積分回路が前記パルス信号列を
積分し、積分して得られた電圧を相対湿度信号として出
力し、前記第１の積分回路及び前記第２の積分回路の少
なくとも一方が前記湿度センサ素子の温度変化に追従し
て前記制御電圧または前記相対湿度信号の出力電圧を制
御し、絶対湿度信号を得るものである絶対湿度センサ。 - 【請求項２】 前記湿度センサ素子、前記インピーダン
ス−周波数変換回路、前記時定数制御微分回路、前記波
形整形回路及び前記積分回路は、同一ケース内に収納さ
れる請求項１に記載の絶対湿度センサ。 - 【請求項３】 前記第１の積分回路は、抵抗分圧回路
と、コンデンサとを有し、前記抵抗分圧回路が固定抵抗
とインピーダンスが温度によって変化する可変インピー
ダンス回路とを含み、前記コンデンサが前記固定抵抗ま
たは前記可変インピーダンス回路の何れかに並列接続さ
れ、前記コンデンサの端子電圧が前記制御電圧となる請
求項１または２に記載の絶対湿度センサ。 - 【請求項４】 前記可変インピーダンス回路は、負特性
サーミスタ、ダイオード、トランジスタまたは正特性サ
ーミスタの少なくとも１つを含む請求項３に記載の絶対
湿度センサ。 - 【請求項５】 前記第２の積分回路は、抵抗分圧回路
と、コンデンサとを有し、前記抵抗分圧回路が固定抵抗
とサーミスタとを含み、前記コンデンサが前記固定抵抗
または前記サーミスタの何れかに並列接続され、前記コ
ンデンサの端子電圧が前記絶対湿度信号の出力電圧とな
る請求項１または２に記載の絶対湿度センサ。 - 【請求項６】 前記サーミスタは、負特性サーミスタま
たは正特性サーミスタでなる請求項５に記載の絶対湿度
センサ。 - 【請求項７】 前記電圧制御可変インピーダンス素子
は、トランジスタを含み、前記トランジスタのコレクタ
及びエミッタが前記主電極を構成し、ベースが前記制御
電極を構成する請求項１に記載の絶対湿度センサ。 - 【請求項８】 前記トランジスタは２個であり、ダーリ
ントン接続されている請求項７に記載の絶対湿度セン
サ。 - 【請求項９】 前記時定数制御微分回路は、インピーダ
ンスが印加電圧により指数関数的に変化する非直線性イ
ンピーダンス素子を含み、前記非直線性インピーダンス
素子が前記コンデンサの接続される主電極とは反対の主
電極に接続され、直列接続された前記電圧制御可変イン
ピーダンス素子と前記非直線性インピーダンス素子との
両端から前記微分信号を出力する請求項１に記載の絶対
湿度センサ。 - 【請求項１０】 前記非直線性インピーダンス素子は、
ダイオードでなり、前記ダイオードのアノードが前記コ
ンデンサの接続される主電極とは反対の主電極に接続さ
れる請求項９に記載の絶対湿度センサ。 - 【請求項１１】 前記時定数制御微分回路は、インピー
ダンス調整回路を有し、前記インピーダンス調整回路が
前記非直線性インピーダンス素子に並列に接続される請
求項９または１０に記載の絶対湿度センサ。 - 【請求項１２】 前記インピーダンス調整回路は、コン
デンサでなる請求項１１に記載の絶対湿度センサ。 - 【請求項１３】 前記時定数制御微分回路は、制御電圧
調整回路を有し、前記制御電圧調整回路が、第１の積分
回路において積分して得られた電圧に応じて、前記非直
線性インピーダンス素子をバイアスする請求項１０に記
載の絶対湿度センサ。 - 【請求項１４】 前記制御電圧調整回路は、トランジス
タと、固定抵抗とを含んでおり、 前記トランジスタは、コレクタが前記第１の積分回路の
前記コンデンサに接続され、エミッタが前記非直線性イ
ンピーダンス素子に接続されており、 前記固定抵抗は、前記トランジスタの前記エミッタとベ
ースとに接続される請求項１３に記載の絶対湿度セン
サ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6310797A JP3067010B2 (ja) | 1994-02-09 | 1994-12-14 | 絶対湿度センサ |
| DE19504122A DE19504122C2 (de) | 1994-02-09 | 1995-02-08 | Absolutfeuchtemesser |
| US08/385,877 US5531097A (en) | 1994-02-09 | 1995-02-09 | Absolute humidity meter |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1558994 | 1994-02-09 | ||
| JP6-15589 | 1994-02-09 | ||
| JP6310797A JP3067010B2 (ja) | 1994-02-09 | 1994-12-14 | 絶対湿度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270367A true JPH07270367A (ja) | 1995-10-20 |
| JP3067010B2 JP3067010B2 (ja) | 2000-07-17 |
Family
ID=26351768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6310797A Expired - Lifetime JP3067010B2 (ja) | 1994-02-09 | 1994-12-14 | 絶対湿度センサ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5531097A (ja) |
| JP (1) | JP3067010B2 (ja) |
| DE (1) | DE19504122C2 (ja) |
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