JPH07276247A - 研磨部材およびその製造方法 - Google Patents
研磨部材およびその製造方法Info
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- JPH07276247A JPH07276247A JP9694994A JP9694994A JPH07276247A JP H07276247 A JPH07276247 A JP H07276247A JP 9694994 A JP9694994 A JP 9694994A JP 9694994 A JP9694994 A JP 9694994A JP H07276247 A JPH07276247 A JP H07276247A
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- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 凹凸部を有する被研磨物の表面、特に凹部内
側表面の研磨に使用する研磨部材およびその製造方法を
提供する。 【構成】 本発明の研磨部材は、袋状弾性体の表面に砥
粒繊維を植毛させて成る。 砥粒繊維は、繊維に砥粒を
付着させたものであって、砥粒繊維同士が互いに付着す
ることなく袋状弾性体表面上に植毛され、この砥粒繊維
の束から成る複数の研磨層が、好適に、袋状弾性体表面
上に間隔をあけて形成される。本発明の研磨部材はま
た、袋状弾性体の表面に砥粒を付着させて成る。好適
に、砥粒から成る複数の研磨層が袋状弾性体表面上に間
隔をあけて形成される。ここで、袋状弾性体は、加硫ゴ
ム、ブタジエンゴム、ポリエチレン、ポリスチレン、ポ
リ塩化ビニル、若しくはナイロン、若しくはそれらを積
層にしたものである。
側表面の研磨に使用する研磨部材およびその製造方法を
提供する。 【構成】 本発明の研磨部材は、袋状弾性体の表面に砥
粒繊維を植毛させて成る。 砥粒繊維は、繊維に砥粒を
付着させたものであって、砥粒繊維同士が互いに付着す
ることなく袋状弾性体表面上に植毛され、この砥粒繊維
の束から成る複数の研磨層が、好適に、袋状弾性体表面
上に間隔をあけて形成される。本発明の研磨部材はま
た、袋状弾性体の表面に砥粒を付着させて成る。好適
に、砥粒から成る複数の研磨層が袋状弾性体表面上に間
隔をあけて形成される。ここで、袋状弾性体は、加硫ゴ
ム、ブタジエンゴム、ポリエチレン、ポリスチレン、ポ
リ塩化ビニル、若しくはナイロン、若しくはそれらを積
層にしたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被研磨物の研磨に使用
する研磨部材およびその製造方法に関し、特に、凹凸部
を有する被研磨物の表面、特に凹部内側表面を研磨する
ための研磨部材およびその製造方法に関する。
する研磨部材およびその製造方法に関し、特に、凹凸部
を有する被研磨物の表面、特に凹部内側表面を研磨する
ための研磨部材およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、凹凸部を有する被研磨物表面の研
磨、特に凹部内側表面の研磨は、遊離砥粒をその被研磨
表面に塗布し研磨布等で研磨するか、或いは、その凹部
の形状にほぼ一致する形状の冶具を製造し、遊離砥粒を
被研磨表面に塗布し、被研磨表面の傷防止のためにその
冶具の外周を発砲ウレタン等で覆い、被研磨物の凹部内
側表面に押し当て、被研磨物および／または冶具を回転
させて被研磨表面を研磨していた。
磨、特に凹部内側表面の研磨は、遊離砥粒をその被研磨
表面に塗布し研磨布等で研磨するか、或いは、その凹部
の形状にほぼ一致する形状の冶具を製造し、遊離砥粒を
被研磨表面に塗布し、被研磨表面の傷防止のためにその
冶具の外周を発砲ウレタン等で覆い、被研磨物の凹部内
側表面に押し当て、被研磨物および／または冶具を回転
させて被研磨表面を研磨していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、被研磨物の凹
部が複雑な形状である場合、従来の遊離砥粒を使用した
研磨方法では、研磨布等を被研磨物の凹部表面に十分に
押し当てて研磨することが困難である場合が生じ、研磨
にムラが生じる原因となり、また、従来のような冶具を
使用して複雑な形状を有する被研磨表面を研磨すると、
冶具が固体であるため、被研磨表面全体を一様に研磨す
ることが困難となる場合が生じ、研磨残しが生じてい
た。
部が複雑な形状である場合、従来の遊離砥粒を使用した
研磨方法では、研磨布等を被研磨物の凹部表面に十分に
押し当てて研磨することが困難である場合が生じ、研磨
にムラが生じる原因となり、また、従来のような冶具を
使用して複雑な形状を有する被研磨表面を研磨すると、
冶具が固体であるため、被研磨表面全体を一様に研磨す
ることが困難となる場合が生じ、研磨残しが生じてい
た。
【０００４】したがって、本発明の目的は、凹凸部を有
する被研磨物の表面、特に凹部内側表面の研磨が可能な
研磨部材およびその製造方法を提供することである。
する被研磨物の表面、特に凹部内側表面の研磨が可能な
研磨部材およびその製造方法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の研磨部材は、袋状弾性体の表面に砥粒繊維
を植毛させて成る。砥粒繊維は、繊維の表面に砥粒を付
着させたものである。
め、本発明の研磨部材は、袋状弾性体の表面に砥粒繊維
を植毛させて成る。砥粒繊維は、繊維の表面に砥粒を付
着させたものである。
【０００６】砥粒繊維の束から成る複数の研磨層が相互
に間隔をあけて袋状弾性体表面上に形成されることが望
ましい。これは、研磨中に生じた研磨くずをその間隔を
通じて排除させ、被研磨表面を傷つけずに研磨するため
である。
に間隔をあけて袋状弾性体表面上に形成されることが望
ましい。これは、研磨中に生じた研磨くずをその間隔を
通じて排除させ、被研磨表面を傷つけずに研磨するため
である。
【０００７】袋状弾性体の表面に植毛した砥粒繊維同士
は互いに付着せずに植毛される。
は互いに付着せずに植毛される。
【０００８】砥粒繊維は、ナイロン繊維、若しくはアク
リル系繊維の表面に砥粒を付着させたものである。
リル系繊維の表面に砥粒を付着させたものである。
【０００９】本発明の研磨部材はまた、袋状弾性体の表
面に砥粒を付着させて成る。
面に砥粒を付着させて成る。
【００１０】砥粒から成る複数の研磨層が相互に間隔を
あけて袋状弾性体表面上に形成されることが望ましい。
これは、研磨中に生じた研磨くずをその間隔を通じて排
除させ、被研磨表面を傷つけずに研磨するためである。
あけて袋状弾性体表面上に形成されることが望ましい。
これは、研磨中に生じた研磨くずをその間隔を通じて排
除させ、被研磨表面を傷つけずに研磨するためである。
【００１１】この砥粒は、袋状弾性体の表面に予め接着
剤を塗布したところに付着させてもよいし、または、袋
状弾性体の表面に砥粒とバインダー樹脂接着剤とを混練
させたスラリーを塗布してもよい。バインダー樹脂接着
剤は、天然ゴムおよびブタジエンゴム接着剤である。
剤を塗布したところに付着させてもよいし、または、袋
状弾性体の表面に砥粒とバインダー樹脂接着剤とを混練
させたスラリーを塗布してもよい。バインダー樹脂接着
剤は、天然ゴムおよびブタジエンゴム接着剤である。
【００１２】ここで、袋状弾性体は、加硫ゴム、ブタジ
エンゴム、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニ
ル、若しくはナイロン、若しくはそれらを積層にしたも
のである。
エンゴム、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニ
ル、若しくはナイロン、若しくはそれらを積層にしたも
のである。
【００１３】砥粒は、ダイヤモンド、酸化アルモニウ
ム、シリコンカーバイド、酸化クロム、酸化鉄、若しく
は酸化セリウムを使用できる。
ム、シリコンカーバイド、酸化クロム、酸化鉄、若しく
は酸化セリウムを使用できる。
【００１４】砥粒の平均粒径は１μｍと１０μｍとの間
の範囲にある。
の範囲にある。
【００１５】砥粒繊維の直径は５μｍと５０μｍとの間
の範囲に、長さは０.２ｍｍと１ｍｍとの範囲にある。
の範囲に、長さは０.２ｍｍと１ｍｍとの範囲にある。
【００１６】本発明の研磨部材の製造方法は、繊維に砥
粒を付着させて砥粒繊維を製造する工程と、袋状弾性体
の表面に砥粒繊維を植毛する工程とから成る。
粒を付着させて砥粒繊維を製造する工程と、袋状弾性体
の表面に砥粒繊維を植毛する工程とから成る。
【００１７】砥粒繊維を製造する工程は、好適に、砥粒
を帯電させ、帯電させた砥粒と繊維とを電界中に位置さ
せて、砥粒を繊維の表面に付着させる工程を含む。ここ
で、繊維は、ナイロン繊維、若しくはアクリル系繊維を
使用できる。
を帯電させ、帯電させた砥粒と繊維とを電界中に位置さ
せて、砥粒を繊維の表面に付着させる工程を含む。ここ
で、繊維は、ナイロン繊維、若しくはアクリル系繊維を
使用できる。
【００１８】袋状弾性体の表面に砥粒繊維を植毛する工
程は、接着剤を袋状弾性体の表面に塗布する工程と、砥
粒繊維同士を互いに付着させずに袋状弾性体表面に植毛
させる植毛工程とから成る。
程は、接着剤を袋状弾性体の表面に塗布する工程と、砥
粒繊維同士を互いに付着させずに袋状弾性体表面に植毛
させる植毛工程とから成る。
【００１９】接着剤は、間隔をあけて袋状弾性体の表面
に塗布されることが望ましい。
に塗布されることが望ましい。
【００２０】植毛工程は、好適に、接地された高電圧源
に接続させた電極棒を袋状弾性体の内部に挿入し、電極
棒と間隔をあけ接地した電極板上に砥粒繊維を乗せ、電
極棒に高電圧を印加する工程である。
に接続させた電極棒を袋状弾性体の内部に挿入し、電極
棒と間隔をあけ接地した電極板上に砥粒繊維を乗せ、電
極棒に高電圧を印加する工程である。
【００２１】また、本発明の研磨部材の製造方法は、袋
状弾性体の表面に砥粒を付着させる工程から成る。
状弾性体の表面に砥粒を付着させる工程から成る。
【００２２】この工程は、袋状弾性体の表面に接着剤を
塗布し、砥粒を袋状弾性体の表面の所望の箇所に付着さ
せる工程である。
塗布し、砥粒を袋状弾性体の表面の所望の箇所に付着さ
せる工程である。
【００２３】接着剤は、袋状弾性体の表面に間隔をあけ
て塗布されることが望ましい。
て塗布されることが望ましい。
【００２４】袋状弾性体の表面に砥粒を付着させる工程
は、砥粒とバインダー樹脂接着剤とを混練したスラリー
を袋状弾性体の表面に塗布する工程であってもよい。
は、砥粒とバインダー樹脂接着剤とを混練したスラリー
を袋状弾性体の表面に塗布する工程であってもよい。
【００２５】スラリーは、袋状弾性体の表面に間隔をあ
けて塗布されることが望ましい。
けて塗布されることが望ましい。
【００２６】バインダー樹脂接着剤は、天然ゴムおよび
ブタジエンゴム接着剤である。
ブタジエンゴム接着剤である。
【００２７】ここで、袋状弾性体は、加硫ゴム、ブタジ
エンゴム、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニ
ル、若しくはナイロン、若しくはそれらを積層にしたも
のである。
エンゴム、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニ
ル、若しくはナイロン、若しくはそれらを積層にしたも
のである。
【００２８】砥粒は、ダイヤモンド、酸化アルミニウ
ム、シリコンカーバイド、酸化クロム、酸化鉄、若しく
は酸化セリウムを使用できる。
ム、シリコンカーバイド、酸化クロム、酸化鉄、若しく
は酸化セリウムを使用できる。
【００２９】砥粒の平均粒径は１μｍと１０μｍとの間
の範囲にある。
の範囲にある。
【００３０】砥粒繊維の直径は５μｍと５０μｍとの間
の範囲に、長さは０.２ｍｍと１ｍｍとの間の範囲にあ
る。
の範囲に、長さは０.２ｍｍと１ｍｍとの間の範囲にあ
る。
【００３１】
【作用】袋状弾性体の表面に接着剤を塗布し、接地した
電極板上に砥粒繊維を乗せ、袋状弾性体内部に電極棒を
挿入し、この電極棒に高電圧を印加して袋状弾性体の表
面と砥粒繊維とを電界中に位置させると、電極板上の砥
粒繊維が静電的に帯電し、袋状弾性体表面へと移動し、
この表面上の予め接着剤を塗布した箇所に付着する。こ
のとき砥粒繊維はそれぞれ同極性に帯電しているので、
砥粒繊維同士が互いに付着して袋状弾性体表面に植毛さ
れることはない。
電極板上に砥粒繊維を乗せ、袋状弾性体内部に電極棒を
挿入し、この電極棒に高電圧を印加して袋状弾性体の表
面と砥粒繊維とを電界中に位置させると、電極板上の砥
粒繊維が静電的に帯電し、袋状弾性体表面へと移動し、
この表面上の予め接着剤を塗布した箇所に付着する。こ
のとき砥粒繊維はそれぞれ同極性に帯電しているので、
砥粒繊維同士が互いに付着して袋状弾性体表面に植毛さ
れることはない。
【００３２】袋状弾性体表面に砥粒若しくは砥粒繊維を
付着させた本発明の研磨部材を被研磨物の凹部に挿入
し、この袋状弾性体内部に空気を吹き込むと、研磨部材
の表面が被研磨物の凹部内側表面に押し付けられる。
付着させた本発明の研磨部材を被研磨物の凹部に挿入
し、この袋状弾性体内部に空気を吹き込むと、研磨部材
の表面が被研磨物の凹部内側表面に押し付けられる。
【００３３】研磨部材若しくは被研磨物を回転させる
と、被研磨物の凹部内表面全体が研磨される。
と、被研磨物の凹部内表面全体が研磨される。
【００３４】このとき、砥粒若しくは砥粒繊維は、袋状
弾性体表面上の所望の箇所に付着している。例えば、砥
粒若しくは砥粒繊維の束から成る複数の研磨層が相互に
隙間をあけて袋状弾性体表面上に形成させ、研磨中に、
この隙間を通じて研磨くずが被研磨物の外部に排除され
る。
弾性体表面上の所望の箇所に付着している。例えば、砥
粒若しくは砥粒繊維の束から成る複数の研磨層が相互に
隙間をあけて袋状弾性体表面上に形成させ、研磨中に、
この隙間を通じて研磨くずが被研磨物の外部に排除され
る。
【００３５】また、砥粒繊維同士が互いに付着せずに袋
状弾性体表面に付着しているため、研磨中、この砥粒繊
維が被研磨物表面に弾力的に作用し、研磨くずがその砥
粒繊維同士の隙間内に取り込まれる。
状弾性体表面に付着しているため、研磨中、この砥粒繊
維が被研磨物表面に弾力的に作用し、研磨くずがその砥
粒繊維同士の隙間内に取り込まれる。
【００３６】袋状弾性体の形状および／または袋状弾性
体内の空気圧を調節することによって、所望の形状の研
磨部材が製造される。
体内の空気圧を調節することによって、所望の形状の研
磨部材が製造される。
【００３７】
【実施例】本発明の研磨部材１０は、図１（ａ）および
（ｂ）に示すとおり、袋状弾性体１表面に砥粒繊維３を
植毛させて成る。
（ｂ）に示すとおり、袋状弾性体１表面に砥粒繊維３を
植毛させて成る。
【００３８】図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面の
部分拡大図であり、本発明の研磨部材１０は更に、砥粒
６を付着させた繊維５を袋状弾性体表面７上の接着剤４
を塗布した箇所に付着させ、砥粒繊維３同士が相互に付
着せずに袋状弾性体表面７に植毛して成る。
部分拡大図であり、本発明の研磨部材１０は更に、砥粒
６を付着させた繊維５を袋状弾性体表面７上の接着剤４
を塗布した箇所に付着させ、砥粒繊維３同士が相互に付
着せずに袋状弾性体表面７に植毛して成る。
【００３９】研磨部材１０は、好適に、砥粒繊維３の束
から成る複数の研磨層３′を相互に間隔をあけて袋状弾
性体１表面上に形成させて成る（図１参照）。
から成る複数の研磨層３′を相互に間隔をあけて袋状弾
性体１表面上に形成させて成る（図１参照）。
【００４０】本発明の研磨部材２０は、図２（ａ）およ
び（ｂ）に示すとおり、袋状弾性体１表面に砥粒６とバ
インダー樹脂接着剤９とを混練させたスラリー８を塗布
して成る。
び（ｂ）に示すとおり、袋状弾性体１表面に砥粒６とバ
インダー樹脂接着剤９とを混練させたスラリー８を塗布
して成る。
【００４１】図２（ｂ）は袋状弾性体１表面の部分拡大
図である。
図である。
【００４２】研磨部材２０は、好適に、スラリー８から
成る複数の研磨層８′を相互に間隔をあけて袋状弾性体
１表面上に形成させて成る（図２参照）。
成る複数の研磨層８′を相互に間隔をあけて袋状弾性体
１表面上に形成させて成る（図２参照）。
【００４３】袋状弾性体１は、図１（ａ）および図２
（ａ）に示されるとおり、その形状を被研磨物の凹凸部
表面の形状となるように空気を袋状弾性体１内に吹き込
むための開口部２を有している。
（ａ）に示されるとおり、その形状を被研磨物の凹凸部
表面の形状となるように空気を袋状弾性体１内に吹き込
むための開口部２を有している。
【００４４】図３（ａ）および（ｂ）は、図１（ａ）お
よび（ｂ）に示す本発明の研磨部材１０を製造するため
の装置を示す。
よび（ｂ）に示す本発明の研磨部材１０を製造するため
の装置を示す。
【００４５】本発明の研磨部材１０の製造装置は、好適
に、電極棒３０と電極板３１とから成り、電極棒３０は
電極板３１とほぼ平行に間隔をあけて位置され、電極板
３１は接地され、電極棒３０の一端はスイッチ３３を介
して高電圧源３２に接続され、この高電圧源３２はさら
に接地されている。
に、電極棒３０と電極板３１とから成り、電極棒３０は
電極板３１とほぼ平行に間隔をあけて位置され、電極板
３１は接地され、電極棒３０の一端はスイッチ３３を介
して高電圧源３２に接続され、この高電圧源３２はさら
に接地されている。
【００４６】電極棒３０を袋状弾性体１内部に挿入し、
電極板３１上に砥粒繊維３を乗せて、スイッチ３３を閉
じると、電極棒３０と電極板３１との間に電界が形成さ
れる。このとき、電極板３１上の砥粒繊維３が帯電（例
えば、電極棒３０の極性が正の場合、砥粒繊維３は負に
帯電する）し、電界の電気力線に沿って立ち上がり、さ
らには砥粒繊維３が電極棒３０、すなわち袋状弾性体１
表面に向かって移動する（図３（ａ）参照）。このと
き、袋状弾性体１表面上の砥粒繊維３は互いに付着せず
に電界の方向に沿って袋状弾性体１表面上に起立してい
る。
電極板３１上に砥粒繊維３を乗せて、スイッチ３３を閉
じると、電極棒３０と電極板３１との間に電界が形成さ
れる。このとき、電極板３１上の砥粒繊維３が帯電（例
えば、電極棒３０の極性が正の場合、砥粒繊維３は負に
帯電する）し、電界の電気力線に沿って立ち上がり、さ
らには砥粒繊維３が電極棒３０、すなわち袋状弾性体１
表面に向かって移動する（図３（ａ）参照）。このと
き、袋状弾性体１表面上の砥粒繊維３は互いに付着せず
に電界の方向に沿って袋状弾性体１表面上に起立してい
る。
【００４７】次に、スイッチ３３を開くと、袋状弾性体
１表面の砥粒繊維３は、袋状弾性体１表面上の予め接着
剤４を塗布してある箇所に砥粒繊維３を付着さたものを
除き、重力の作用によって落下する（図３（ｂ）参
照）。
１表面の砥粒繊維３は、袋状弾性体１表面上の予め接着
剤４を塗布してある箇所に砥粒繊維３を付着さたものを
除き、重力の作用によって落下する（図３（ｂ）参
照）。
【００４８】このように、スイッチ３３開閉動作を繰り
返しながら袋状弾性体１を矢印３４の方向に回転させる
と、本発明の研磨部材１０が製造される。
返しながら袋状弾性体１を矢印３４の方向に回転させる
と、本発明の研磨部材１０が製造される。
【００４９】図４は、本発明の研磨部材１０に使用され
る砥粒繊維３の製造装置を示す。
る砥粒繊維３の製造装置を示す。
【００５０】砥粒繊維３の製造装置は好適に、接着剤溶
液４２を入れた液槽４１と、砥粒吹付器４４と、裁断器
４５とから成る。
液４２を入れた液槽４１と、砥粒吹付器４４と、裁断器
４５とから成る。
【００５１】砥粒繊維３は、繊維４０をボビン４３から
送り出し、液槽４１中の接着剤溶液４２に浸し、砥粒吹
付器４４によって繊維４０に砥粒６を付着させ、裁断器
４５によって所望の長さに切断して製造される。切断さ
れた繊維４０、つまり砥粒繊維３は、砥粒繊維受器４７
に集められる。
送り出し、液槽４１中の接着剤溶液４２に浸し、砥粒吹
付器４４によって繊維４０に砥粒６を付着させ、裁断器
４５によって所望の長さに切断して製造される。切断さ
れた繊維４０、つまり砥粒繊維３は、砥粒繊維受器４７
に集められる。
【００５２】ここで、繊維４０は、ボビン４３から送り
出されて裁断されるまでの間、繊維４０同士が互いに付
着しないように間隔をあけられている。
出されて裁断されるまでの間、繊維４０同士が互いに付
着しないように間隔をあけられている。
【００５３】また、砥粒６を繊維４０に吹き付ける際、
好適に、吹付器４４を高電圧源４５に接続し、繊維４０
をこの吹付器４４と、接地した電極板４６との間を走行
させて砥粒６を吹き付ける。これにより、吹き付けられ
る砥粒６が同極性に帯電され、繊維４０に砥粒６の塊を
生じさせずに一様に付着させることができる。 ［実施例１］ 内径４０ｍｍの金属パイプの内部表面を
研磨するための、袋状弾性体の表面に砥粒繊維を植毛さ
せた研磨部材を製造した。
好適に、吹付器４４を高電圧源４５に接続し、繊維４０
をこの吹付器４４と、接地した電極板４６との間を走行
させて砥粒６を吹き付ける。これにより、吹き付けられ
る砥粒６が同極性に帯電され、繊維４０に砥粒６の塊を
生じさせずに一様に付着させることができる。 ［実施例１］ 内径４０ｍｍの金属パイプの内部表面を
研磨するための、袋状弾性体の表面に砥粒繊維を植毛さ
せた研磨部材を製造した。
【００５４】実施例１の研磨部材は具体的に、厚さ０.
３ｍｍ、直径２０ｍｍ、長さ１００ｍｍの袋状の加硫ゴ
ムの内部に空気を吹き込み、この直径を４０ｍｍまで膨
張させた状態で、図１（ａ）に示すように、砥粒繊維の
束から成る複数の研磨層を相互に間隔をあけて袋状弾性
体表面上に形成されるように、天然ゴムを主体とする接
着剤を袋状弾性体表面上に塗布し、この接着剤が乾燥す
る前に平均粒径１μｍの酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）
を付着させた直径６μｍ、長さ０.５ｍｍのアクリル繊
維（つまり、砥粒繊維）を袋状弾性体表面に移動させ
（図３（ａ）および（ｂ）参照）、袋状弾性体内部に挿
入された電極棒に印加した高電圧を切って袋状弾性体表
面に移動した砥粒繊維のうち袋状弾性体表面上の予め接
着剤を塗布した箇所のみに砥粒繊維を付着させて製造し
た。
３ｍｍ、直径２０ｍｍ、長さ１００ｍｍの袋状の加硫ゴ
ムの内部に空気を吹き込み、この直径を４０ｍｍまで膨
張させた状態で、図１（ａ）に示すように、砥粒繊維の
束から成る複数の研磨層を相互に間隔をあけて袋状弾性
体表面上に形成されるように、天然ゴムを主体とする接
着剤を袋状弾性体表面上に塗布し、この接着剤が乾燥す
る前に平均粒径１μｍの酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）
を付着させた直径６μｍ、長さ０.５ｍｍのアクリル繊
維（つまり、砥粒繊維）を袋状弾性体表面に移動させ
（図３（ａ）および（ｂ）参照）、袋状弾性体内部に挿
入された電極棒に印加した高電圧を切って袋状弾性体表
面に移動した砥粒繊維のうち袋状弾性体表面上の予め接
着剤を塗布した箇所のみに砥粒繊維を付着させて製造し
た。
【００５５】また、この砥粒繊維は、図４に示す装置を
用いて、多数の直径６μｍのアクリル繊維表面に酢酸ビ
ニル系若しくは塩化ビニル系の接着剤を塗布し、平均粒
径１μｍの砥粒を繊維表面に一様に付着するように帯電
させて散布し、乾燥させて、裁断器で０.５ｍｍの長さ
に切断して製造した。
用いて、多数の直径６μｍのアクリル繊維表面に酢酸ビ
ニル系若しくは塩化ビニル系の接着剤を塗布し、平均粒
径１μｍの砥粒を繊維表面に一様に付着するように帯電
させて散布し、乾燥させて、裁断器で０.５ｍｍの長さ
に切断して製造した。
【００５６】実施例１の研磨部材を用いて内径４０ｍｍ
の金属パイプの内部表面を以下に示す方法で研磨した。
の金属パイプの内部表面を以下に示す方法で研磨した。
【００５７】本発明の研磨部材を金属パイプの内部に挿
入し、研磨部材開口部から研磨部材内部に空気を吹き込
む。研磨部材表面が金属パイプ内部表面に接触したとこ
ろで空気の送り込みを停止し、研磨部材および／または
金属パイプを回転させて研磨した。 ［実施例２］ 内径４０ｍｍの金属パイプの内部表面を
研磨するための、袋状弾性体表面に砥粒を付着させた研
磨部材を製造した。
入し、研磨部材開口部から研磨部材内部に空気を吹き込
む。研磨部材表面が金属パイプ内部表面に接触したとこ
ろで空気の送り込みを停止し、研磨部材および／または
金属パイプを回転させて研磨した。 ［実施例２］ 内径４０ｍｍの金属パイプの内部表面を
研磨するための、袋状弾性体表面に砥粒を付着させた研
磨部材を製造した。
【００５８】実施例２の研磨部材は具体的に、厚さ０.
５ｍｍ、直径３０ｍｍ、長さ１００ｍｍの袋状の加硫ゴ
ムの内部に空気を送り込み、この直径を約４０ｍｍまで
膨張させた状態で、その表面に砥粒とバインダー樹脂接
着剤とを混合したスラリーを塗布し（図２（ａ）および
（ｂ）参照）、約２０分間、１４０°Ｃの雰囲気でスラ
リーを乾燥させ、次いで研磨部材内の空気を抜いて製造
した。
５ｍｍ、直径３０ｍｍ、長さ１００ｍｍの袋状の加硫ゴ
ムの内部に空気を送り込み、この直径を約４０ｍｍまで
膨張させた状態で、その表面に砥粒とバインダー樹脂接
着剤とを混合したスラリーを塗布し（図２（ａ）および
（ｂ）参照）、約２０分間、１４０°Ｃの雰囲気でスラ
リーを乾燥させ、次いで研磨部材内の空気を抜いて製造
した。
【００５９】ここで、実施例２の研磨部材は、図２
（ａ）に示すように、スラリーから成る複数の研磨層を
相互に間隔をあけて袋状弾性体表面上に形成させて成
る。
（ａ）に示すように、スラリーから成る複数の研磨層を
相互に間隔をあけて袋状弾性体表面上に形成させて成
る。
【００６０】砥粒は平均粒径１０μｍの酸化アルミニウ
ム（Ａｌ2Ｏ3）を使用し、バインダー樹脂接着剤は天然
ゴムおよびブタジエンゴム接着剤を使用した。
ム（Ａｌ2Ｏ3）を使用し、バインダー樹脂接着剤は天然
ゴムおよびブタジエンゴム接着剤を使用した。
【００６１】この研磨部材を用いた内径４０ｍｍの金属
パイプの内部表面の研磨方法は、実施例１と同様の方法
である。
パイプの内部表面の研磨方法は、実施例１と同様の方法
である。
【００６２】
【発明の効果】以上、詳細に説明したとおり、本発明の
研磨部材は、袋状弾性体の表面の所望の箇所に砥粒繊維
または砥粒を付着させて成るため、被研磨物の内側表面
が複雑な形状であっても、袋状弾性体内部に空気等を送
り込むことによって研磨部材表面を被研磨物内側表面に
押し当てることができ、被研磨物の凹部内側表面を研磨
することができる。
研磨部材は、袋状弾性体の表面の所望の箇所に砥粒繊維
または砥粒を付着させて成るため、被研磨物の内側表面
が複雑な形状であっても、袋状弾性体内部に空気等を送
り込むことによって研磨部材表面を被研磨物内側表面に
押し当てることができ、被研磨物の凹部内側表面を研磨
することができる。
【００６３】また、砥粒繊維または砥粒を袋状弾性体表
面の所望の箇所に付着させることができるため、例えば
砥粒繊維の束、または砥粒から成る研磨層を袋状弾性体
表面に間隔をあけて形成させると、研磨くずがその間隔
を通じて外部へ排除されるため、特に砥粒繊維の場合、
砥粒繊維同士が互いに付着していないので、研磨くずを
その繊維同士の間に取り込み、研磨くずによって被研磨
表面を傷つけることなく研磨ができる。
面の所望の箇所に付着させることができるため、例えば
砥粒繊維の束、または砥粒から成る研磨層を袋状弾性体
表面に間隔をあけて形成させると、研磨くずがその間隔
を通じて外部へ排除されるため、特に砥粒繊維の場合、
砥粒繊維同士が互いに付着していないので、研磨くずを
その繊維同士の間に取り込み、研磨くずによって被研磨
表面を傷つけることなく研磨ができる。
【００６４】袋状弾性体の形状および／または研磨部材
内の空気圧を調節して所望の形状の研磨部材を製造でき
るため、その形状を被研磨物の凸部表面全体またはほぼ
全体に押し当てられるようにすると、被研磨物の凸部表
面全体も研磨できる。
内の空気圧を調節して所望の形状の研磨部材を製造でき
るため、その形状を被研磨物の凸部表面全体またはほぼ
全体に押し当てられるようにすると、被研磨物の凸部表
面全体も研磨できる。
【図１】図１（ａ）は、本発明の、袋状弾性体表面の所
望の箇所に砥粒繊維を付着させた研磨部材を示し、図１
（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面の部分拡大図であ
る。
望の箇所に砥粒繊維を付着させた研磨部材を示し、図１
（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面の部分拡大図であ
る。
【図２】図２（ａ）は、本発明の、袋状弾性体表面の所
望の箇所に砥粒とバインダー樹脂接着剤とを混練したス
ラリーを塗布した研磨部材を示し、図２（ｂ）は、図２
（ａ）のＢ−Ｂ断面の部分拡大図である。
望の箇所に砥粒とバインダー樹脂接着剤とを混練したス
ラリーを塗布した研磨部材を示し、図２（ｂ）は、図２
（ａ）のＢ−Ｂ断面の部分拡大図である。
【図３】図３（ａ）および（ｂ）は、図１に示す本発明
の研磨部材の製造装置を示す。
の研磨部材の製造装置を示す。
【図４】図４は、図１に示す本発明の研磨部材に使用さ
れる砥粒繊維の製造装置を示す。
れる砥粒繊維の製造装置を示す。
１ ．．．袋状弾性体 ２ ．．．開口部 ３ ．．．砥粒繊維 ３′ ．．．砥粒繊維の束から成る研磨層 ４ ．．．接着剤 ５ ．．．繊維 ６ ．．．砥粒 ７ ．．．袋状弾性体表面 ８ ．．．スラリー ８′ ．．．スラリーから成る研磨層 ９ ．．．バインダー樹脂接着剤 １０．．．研磨部材（砥粒繊維を付着させたもの） ２０．．．研磨部材（砥粒を付着させたもの） ３０．．．電極棒 ３１．．．電極板 ３２．．．高電圧源 ３３．．．スイッチ ３４．．．袋状弾性体の回転方向 ４０．．．繊維 ４１．．．液槽 ４２．．．接着剤溶液 ４３．．．ボビン ４４．．．砥粒吹付器 ４５．．．裁断器 ４６．．．電極板 ４７．．．砥粒繊維受器 ４８．．．高電圧源
Claims (11)
- 【請求項１】 袋状弾性体の表面に砥粒繊維を植毛させ
て成り、前記砥粒繊維が繊維の表面に砥粒を付着させて
成る、研磨部材。 - 【請求項２】 前記砥粒繊維の束から成る複数の研磨層
が相互に間隔をあけて前記袋状弾性体の表面に形成され
る、請求項１記載の研磨部材。 - 【請求項３】 前記袋状弾性体の前記表面に植毛した前
記砥粒繊維同士が互いに付着せずに植毛されいている、
請求項１記載の研磨部材。 - 【請求項４】 袋状弾性体の表面に砥粒を付着させて成
る、研磨部材。 - 【請求項５】 前記砥粒から成る複数の研磨層が相互に
間隔をあけて前記袋状弾性体の表面に形成される、請求
項４記載の研磨部材。 - 【請求項６】 繊維に砥粒を付着させて砥粒繊維を製造
する工程と、袋状弾性体の表面に前記砥粒繊維を植毛す
る工程とから成る、研磨部材の製造方法。 - 【請求項７】 前記砥粒繊維を製造する前記工程が、前
記砥粒を帯電させ、前記砥粒と前記繊維とを電界中に位
置させて前記砥粒を前記繊維の表面に付着させる工程を
含む、請求項６記載の研磨部材の製造方法。 - 【請求項８】 前記砥粒繊維を植毛する前記工程が、接
着剤を前記表面に塗布する工程と、接地された高電圧源
に接続させた電極棒を前記袋状弾性体の内部に挿入し、
前記電極棒と間隔をあけ接地した電極板上に前記砥粒繊
維を乗せ、前記電極棒に高電圧を印加する工程とから成
る、請求項６記載の研磨部材の製造方法。 - 【請求項９】 袋状弾性体の表面に砥粒を付着させる工
程から成る、研磨部材の製造方法。 - 【請求項１０】 前記袋状弾性体の表面に前記砥粒を付
着させる工程が、前記袋状弾性体の表面に接着剤を塗布
する工程と、前記接着剤が塗布された箇所に前記砥粒を
付着させる工程とから成る、請求項９記載の方法。 - 【請求項１１】 前記袋状弾性体の表面に前記砥粒を付
着させる工程が、前記砥粒とバインダー樹脂接着剤とを
混練させたスラリーを前記袋状弾性体の表面に塗布する
工程である、請求項９記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09694994A JP3367082B2 (ja) | 1994-04-11 | 1994-04-11 | 研磨部材およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09694994A JP3367082B2 (ja) | 1994-04-11 | 1994-04-11 | 研磨部材およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07276247A true JPH07276247A (ja) | 1995-10-24 |
| JP3367082B2 JP3367082B2 (ja) | 2003-01-14 |
Family
ID=14178555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09694994A Expired - Fee Related JP3367082B2 (ja) | 1994-04-11 | 1994-04-11 | 研磨部材およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3367082B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998028101A1 (en) * | 1996-12-20 | 1998-07-02 | Unique Technology International Private Limited | Texturing and electro-deburring of magnetic disk substrate |
| WO2006126455A1 (ja) * | 2005-05-26 | 2006-11-30 | Tokki Corporation | ポリシング装置 |
| JP2008070280A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Nihon Micro Coating Co Ltd | プローブクリーナー及びクリーニング方法 |
-
1994
- 1994-04-11 JP JP09694994A patent/JP3367082B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998028101A1 (en) * | 1996-12-20 | 1998-07-02 | Unique Technology International Private Limited | Texturing and electro-deburring of magnetic disk substrate |
| WO2006126455A1 (ja) * | 2005-05-26 | 2006-11-30 | Tokki Corporation | ポリシング装置 |
| JP2006326754A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Tokki Corp | ポリシング装置 |
| JP2008070280A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Nihon Micro Coating Co Ltd | プローブクリーナー及びクリーニング方法 |
| KR101381491B1 (ko) * | 2006-09-15 | 2014-04-04 | 니혼 미크로 코팅 가부시끼 가이샤 | 프로브 클리너 및 클리닝 방법 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3367082B2 (ja) | 2003-01-14 |
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