JPH0727806A - 電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出方法及び電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出装置 - Google Patents
電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出方法及び電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出装置Info
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- JPH0727806A JPH0727806A JP5168018A JP16801893A JPH0727806A JP H0727806 A JPH0727806 A JP H0727806A JP 5168018 A JP5168018 A JP 5168018A JP 16801893 A JP16801893 A JP 16801893A JP H0727806 A JPH0727806 A JP H0727806A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定系自体がノイズを発生したり、検出器以
外の構成体が他のノイズを捕捉することもない電磁ノイ
ズまたは電磁漏洩波の検出方法の提供。 【構成】 印加された電界の強度に依存して、透過する
光波の強度が変化する構成の光プローブ１００と、光源
１からの光波を光プローブ１００に導き入射させる光フ
ァイバ８と、光プローブ１００を透過した光波を光電変
換器１０に導き入射させる光ファイバ９と、光電変換器
１０からの電気信号を計測表示する計測器１１とを有す
る装置を用いて、光プローブ１００を電磁ノイズまたは
漏洩波発生源に接触することなくその近傍に設置するこ
とによって電磁ノイズまたは電磁漏洩波を光強度変化と
して検出する。
外の構成体が他のノイズを捕捉することもない電磁ノイ
ズまたは電磁漏洩波の検出方法の提供。 【構成】 印加された電界の強度に依存して、透過する
光波の強度が変化する構成の光プローブ１００と、光源
１からの光波を光プローブ１００に導き入射させる光フ
ァイバ８と、光プローブ１００を透過した光波を光電変
換器１０に導き入射させる光ファイバ９と、光電変換器
１０からの電気信号を計測表示する計測器１１とを有す
る装置を用いて、光プローブ１００を電磁ノイズまたは
漏洩波発生源に接触することなくその近傍に設置するこ
とによって電磁ノイズまたは電磁漏洩波を光強度変化と
して検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電磁ノイズまたは電磁
漏洩波の検出方法及び装置に関する。
漏洩波の検出方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】エレクトロニクス、とくにコンピュータ
機器、ディジタル機器の発展は電磁漏洩波や電磁ノイズ
の氾濫を引き起こし、これがまた多くの社会的な問題に
もなりつつある。電磁ノイズの抑制はしたがって社会的
な要請であり、同時に高度な検出・測定技術の確率が望
まれている。
機器、ディジタル機器の発展は電磁漏洩波や電磁ノイズ
の氾濫を引き起こし、これがまた多くの社会的な問題に
もなりつつある。電磁ノイズの抑制はしたがって社会的
な要請であり、同時に高度な検出・測定技術の確率が望
まれている。
【０００３】従来、空間の電磁ノイズまたは電磁漏洩波
（以下単にノイズという）の検出は、アンテナによって
これを捕捉し、ワイヤケーブルを通して計測器に導き検
出・測定する方法が取られてきた。
（以下単にノイズという）の検出は、アンテナによって
これを捕捉し、ワイヤケーブルを通して計測器に導き検
出・測定する方法が取られてきた。
【０００４】エレクトロニクス部品や機器を搭載した装
置等のノイズ評価試験は前記アンテナによる方法で行わ
れ、回路の電圧波形等はオシロプローブを使った検出方
法が採られてきた。
置等のノイズ評価試験は前記アンテナによる方法で行わ
れ、回路の電圧波形等はオシロプローブを使った検出方
法が採られてきた。
【０００５】また半導体素子等の表面の電位やノイズの
波形は、その表面に電気光学結晶（ＥＯ結晶）を近接せ
しめその電界を電気光学効果によって光の強度に変換し
て検出する方法も知られている。
波形は、その表面に電気光学結晶（ＥＯ結晶）を近接せ
しめその電界を電気光学効果によって光の強度に変換し
て検出する方法も知られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述アンテナによるノ
イズの検出には広い空間を必要とする。この方法は測定
対象以外からの放射ノイズをも検出しやすい。
イズの検出には広い空間を必要とする。この方法は測定
対象以外からの放射ノイズをも検出しやすい。
【０００７】このアンテナによる空間ノイズの測定や、
オシロプローブによる回路の電圧波形の測定において
は、検出信号は検出器から計測器までの間をワイヤケー
ブルによって導かれる。ワイヤケーブルを使用すると
き、それ自身がノイズの発信源となったり、または他か
らのノイズを捕捉することがある。さらに検出器とワイ
ヤケーブルの存在自体が空間あるいは系における電界分
布に影響をおよぼすこともありうる。これらの可能性が
ある限りこうした従来の技術は真実の状態を測定してい
るとみなすことができない。
オシロプローブによる回路の電圧波形の測定において
は、検出信号は検出器から計測器までの間をワイヤケー
ブルによって導かれる。ワイヤケーブルを使用すると
き、それ自身がノイズの発信源となったり、または他か
らのノイズを捕捉することがある。さらに検出器とワイ
ヤケーブルの存在自体が空間あるいは系における電界分
布に影響をおよぼすこともありうる。これらの可能性が
ある限りこうした従来の技術は真実の状態を測定してい
るとみなすことができない。
【０００８】一方、前述した電気光学効果を利用した表
面電界検出方法は、回路素子の微小な表面の電圧やノイ
ズ波形を非接触で計測することを特徴とする。図５に電
気光学効果を利用した表面電界検出方法を示す。半導体
レーザ５０からの出射光５１をレンズ５２で平行光と
し、偏光プリズム５３、半波長板５４を通過させてミラ
ー５５で反射してレンズ５６により被測定回路５８の近
くに置かれた電気光学結晶５７に入射する。その結晶中
に被測定回路５８から印加された電界により入射光は偏
光状態が変化するので、その変化分が偏光プリズム５３
で分離されて光検出器５９により検出され、表示器６０
に表示される。
面電界検出方法は、回路素子の微小な表面の電圧やノイ
ズ波形を非接触で計測することを特徴とする。図５に電
気光学効果を利用した表面電界検出方法を示す。半導体
レーザ５０からの出射光５１をレンズ５２で平行光と
し、偏光プリズム５３、半波長板５４を通過させてミラ
ー５５で反射してレンズ５６により被測定回路５８の近
くに置かれた電気光学結晶５７に入射する。その結晶中
に被測定回路５８から印加された電界により入射光は偏
光状態が変化するので、その変化分が偏光プリズム５３
で分離されて光検出器５９により検出され、表示器６０
に表示される。
【０００９】通常、この光学系は機械的な不安定性を除
くため顕微鏡に組み込まれており、測定可能な被測定回
路５８はウェハやチップ等の平坦な基板上の回路であ
る。この方法では、偏光プリズム等から構成される光学
系が大きいことおよび光ビームを空間伝搬させて被測定
回路５８まで導く操作が必要なため、エレクトロニクス
部品や機器を搭載した装置等の内部の狭い場所で計測す
ることは困難である。
くため顕微鏡に組み込まれており、測定可能な被測定回
路５８はウェハやチップ等の平坦な基板上の回路であ
る。この方法では、偏光プリズム等から構成される光学
系が大きいことおよび光ビームを空間伝搬させて被測定
回路５８まで導く操作が必要なため、エレクトロニクス
部品や機器を搭載した装置等の内部の狭い場所で計測す
ることは困難である。
【００１０】本発明の課題は、前述した従来技術が抱え
るこれらの問題を解決できる電磁ノイズまたは電磁漏洩
波の検出方法及び装置を提供することにある。すなわち
本発明は、小型の検出器を実現し、それゆえ狭い場所に
おける電界やノイズの検出を可能にし、かつ測定系自体
がノイズを発生したり、検出器以外の構成体が他のノイ
ズを捕捉することなく、また測定系の存在が被測定系に
影響をおよぼすこともなく、さらに回路素子表面の電界
を非接触で測定することができる電磁ノイズまたは電磁
漏洩波の検出方法及び装置を提供することにある。
るこれらの問題を解決できる電磁ノイズまたは電磁漏洩
波の検出方法及び装置を提供することにある。すなわち
本発明は、小型の検出器を実現し、それゆえ狭い場所に
おける電界やノイズの検出を可能にし、かつ測定系自体
がノイズを発生したり、検出器以外の構成体が他のノイ
ズを捕捉することなく、また測定系の存在が被測定系に
影響をおよぼすこともなく、さらに回路素子表面の電界
を非接触で測定することができる電磁ノイズまたは電磁
漏洩波の検出方法及び装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、印加さ
れた電界の強度に依存して、透過する光波の強度が変化
するように構成された光プローブと；光波を発生する光
源と；該光源からの光波を前記光プローブに導き入射さ
せる第１の光ファイバと；光波を電気信号に変換する光
電変換器と；前記光プローブを透過した光波を前記光電
変換器に導き入射させる第２の光ファイバと；前記光電
変換器からの電気信号を計測あるいは／および表示する
計測器と；を有する電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出
装置を用いて、前記光プローブを電磁ノイズまたは漏洩
波発生源に接触することなくその近傍に設置することに
よって電磁ノイズまたは電磁漏洩波を光強度変化として
検出することを特徴とする電磁ノイズまたは電磁漏洩波
の検出方法が得られる。
れた電界の強度に依存して、透過する光波の強度が変化
するように構成された光プローブと；光波を発生する光
源と；該光源からの光波を前記光プローブに導き入射さ
せる第１の光ファイバと；光波を電気信号に変換する光
電変換器と；前記光プローブを透過した光波を前記光電
変換器に導き入射させる第２の光ファイバと；前記光電
変換器からの電気信号を計測あるいは／および表示する
計測器と；を有する電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出
装置を用いて、前記光プローブを電磁ノイズまたは漏洩
波発生源に接触することなくその近傍に設置することに
よって電磁ノイズまたは電磁漏洩波を光強度変化として
検出することを特徴とする電磁ノイズまたは電磁漏洩波
の検出方法が得られる。
【００１２】更に本発明によれば、前記光プローブは、
電気光学効果を有する基板と；該基板上に配列された光
導波路素子と；を有することを特徴とする電磁ノイズま
たは電磁漏洩波の検出方法が得られる。
電気光学効果を有する基板と；該基板上に配列された光
導波路素子と；を有することを特徴とする電磁ノイズま
たは電磁漏洩波の検出方法が得られる。
【００１３】また本発明によれば、光導波路の一端面に
入射した入射光が該光導波路の他端面で反射して前記一
端面から出射光として出射する構造を有し、前記出射光
の強度が、印加電界の強度に依存するように構成された
光プローブと；光を発生する光源と；光ファイバと；光
を電気信号に変換する光電変換器と；前記光源からの光
を前記光ファイバに導いて、前記光プローブに前記入射
光として与えると共に、前記光ファイバを介して受けた
前記光プローブからの前記出射光を前記光電変換器に与
えるサーキュレータと；前記光電変換器からの電気信号
を計測あるいは／および表示する計測器と；を有する電
磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出装置を用いて、前記光
プローブを電磁ノイズまたは漏洩波発生源に接触するこ
となくその近傍に設置することによって電磁ノイズまた
は電磁漏洩波を光強度変化として検出することを特徴と
する電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出方法が得られ
る。
入射した入射光が該光導波路の他端面で反射して前記一
端面から出射光として出射する構造を有し、前記出射光
の強度が、印加電界の強度に依存するように構成された
光プローブと；光を発生する光源と；光ファイバと；光
を電気信号に変換する光電変換器と；前記光源からの光
を前記光ファイバに導いて、前記光プローブに前記入射
光として与えると共に、前記光ファイバを介して受けた
前記光プローブからの前記出射光を前記光電変換器に与
えるサーキュレータと；前記光電変換器からの電気信号
を計測あるいは／および表示する計測器と；を有する電
磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出装置を用いて、前記光
プローブを電磁ノイズまたは漏洩波発生源に接触するこ
となくその近傍に設置することによって電磁ノイズまた
は電磁漏洩波を光強度変化として検出することを特徴と
する電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出方法が得られ
る。
【００１４】更に本発明によれば、電気回路の信号線と
アースの間に印加される漏洩電界を、前記光プローブに
より非接触で検出することを特徴とする電磁ノイズまた
は電磁漏洩波の検出方法が得られる。
アースの間に印加される漏洩電界を、前記光プローブに
より非接触で検出することを特徴とする電磁ノイズまた
は電磁漏洩波の検出方法が得られる。
【００１５】また本発明によれば、印加された電界の強
度に依存して、透過する光波の強度が変化するように構
成された光プローブと；光波を発生する光源と；該光源
からの光波を前記光プローブに導き入射させる第１の光
ファイバと；光波を電気信号に変換する光電変換器と；
前記光プローブを透過した光波を前記光電変換器に導き
入射させる第２の光ファイバと；前記光電変換器からの
電気信号を計測あるいは／および表示する計測器と；を
有し、前記光プローブを電磁ノイズまたは漏洩波発生源
に接触することなくその近傍に設置することによって電
磁ノイズまたは電磁漏洩波を光強度変化として検出する
ことを特徴とする電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出装
置が得られる。
度に依存して、透過する光波の強度が変化するように構
成された光プローブと；光波を発生する光源と；該光源
からの光波を前記光プローブに導き入射させる第１の光
ファイバと；光波を電気信号に変換する光電変換器と；
前記光プローブを透過した光波を前記光電変換器に導き
入射させる第２の光ファイバと；前記光電変換器からの
電気信号を計測あるいは／および表示する計測器と；を
有し、前記光プローブを電磁ノイズまたは漏洩波発生源
に接触することなくその近傍に設置することによって電
磁ノイズまたは電磁漏洩波を光強度変化として検出する
ことを特徴とする電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出装
置が得られる。
【００１６】更に本発明によれば、前記光プローブは、
電気光学効果を有する基板と；該基板上に配列された光
導波路素子と；を有することを特徴とする電磁ノイズま
たは電磁漏洩波の検出装置が得られる。
電気光学効果を有する基板と；該基板上に配列された光
導波路素子と；を有することを特徴とする電磁ノイズま
たは電磁漏洩波の検出装置が得られる。
【００１７】また本発明によれば、光導波路の一端面に
入射した入射光が該光導波路の他端面で反射して前記一
端面から出射光として出射する構造を有し、前記出射光
の強度が、印加電界の強度に依存するように構成された
光プローブと；光を発生する光源と；光ファイバと；光
を電気信号に変換する光電変換器と；前記光源からの光
を前記光ファイバに導いて、前記光プローブに前記入射
光として与えると共に、前記光ファイバを介して受けた
前記光プローブからの前記出射光を前記光電変換器に与
えるサーキュレータと；前記光電変換器からの電気信号
を計測あるいは／および表示する計測器と；を有し、前
記光プローブを電磁ノイズまたは漏洩波発生源に接触す
ることなくその近傍に設置することによって電磁ノイズ
または電磁漏洩波を光強度変化として検出することを特
徴とする電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出装置が得ら
れる。
入射した入射光が該光導波路の他端面で反射して前記一
端面から出射光として出射する構造を有し、前記出射光
の強度が、印加電界の強度に依存するように構成された
光プローブと；光を発生する光源と；光ファイバと；光
を電気信号に変換する光電変換器と；前記光源からの光
を前記光ファイバに導いて、前記光プローブに前記入射
光として与えると共に、前記光ファイバを介して受けた
前記光プローブからの前記出射光を前記光電変換器に与
えるサーキュレータと；前記光電変換器からの電気信号
を計測あるいは／および表示する計測器と；を有し、前
記光プローブを電磁ノイズまたは漏洩波発生源に接触す
ることなくその近傍に設置することによって電磁ノイズ
または電磁漏洩波を光強度変化として検出することを特
徴とする電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出装置が得ら
れる。
【００１８】更に本発明によれば、電気回路の信号線と
アースの間に印加される漏洩電界を、前記光プローブに
より非接触で検出することを特徴とする電磁ノイズまた
は電磁漏洩波の検出装置が得られる。
アースの間に印加される漏洩電界を、前記光プローブに
より非接触で検出することを特徴とする電磁ノイズまた
は電磁漏洩波の検出装置が得られる。
【００１９】
【作用】本発明による電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検
出方法及び装置は、電界の強度に依存して、光プローブ
を透過する光波の強度変化として検出するものである。
すなわち電磁ノイズまたは電磁漏洩波が光の強度変化と
して検出される。本検出方法及び装置においては、電磁
ノイズまたは電磁漏洩波を光に変換して検出し、光ファ
イバによって光電変換器に伝達され、ここで初めて電気
信号として計測器に伝達される。それゆえ光ファイバを
使ったこの伝達線路系においては電磁ノイズまたは電磁
漏洩波の発信、受信はなく、さらにこの測定系の存在自
体が被測定系に影響をおよぼすおそれもない。
出方法及び装置は、電界の強度に依存して、光プローブ
を透過する光波の強度変化として検出するものである。
すなわち電磁ノイズまたは電磁漏洩波が光の強度変化と
して検出される。本検出方法及び装置においては、電磁
ノイズまたは電磁漏洩波を光に変換して検出し、光ファ
イバによって光電変換器に伝達され、ここで初めて電気
信号として計測器に伝達される。それゆえ光ファイバを
使ったこの伝達線路系においては電磁ノイズまたは電磁
漏洩波の発信、受信はなく、さらにこの測定系の存在自
体が被測定系に影響をおよぼすおそれもない。
【００２０】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
【００２１】［実施例１］図１は本発明の一実施例によ
る電磁ノイズまたは電磁漏洩波（以下単にノイズとい
う）検出方法を実施するにあたって使用した装置の構成
を示す。図２は図１における光プローブ１００を拡大
し、入力光および出力光の変化を併せて示す。
る電磁ノイズまたは電磁漏洩波（以下単にノイズとい
う）検出方法を実施するにあたって使用した装置の構成
を示す。図２は図１における光プローブ１００を拡大
し、入力光および出力光の変化を併せて示す。
【００２２】光プローブ１００は電気光学結晶であるニ
オブ酸リチウム結晶基板２に光導波路が構築され、その
近傍に電極３を形成し、光プローブ１００と一体になっ
たアンテナ４に接続されている。半導体レーザ１からの
レーザ光は光ファイバ８によって光プローブの入射導波
路５に導入される。光プローブ１００の出力は別途接続
光ファイバ９を通して光電変換器１０に伝送され、ここ
で電気信号に変換され、さらに計測器１１によるノイズ
の計測と表示ができるようにノイズ検出装置が構成され
ている。
オブ酸リチウム結晶基板２に光導波路が構築され、その
近傍に電極３を形成し、光プローブ１００と一体になっ
たアンテナ４に接続されている。半導体レーザ１からの
レーザ光は光ファイバ８によって光プローブの入射導波
路５に導入される。光プローブ１００の出力は別途接続
光ファイバ９を通して光電変換器１０に伝送され、ここ
で電気信号に変換され、さらに計測器１１によるノイズ
の計測と表示ができるようにノイズ検出装置が構成され
ている。
【００２３】詳細には、光プローブ１００は、入射光導
波路５からいったん二つの位相シフト光導波路６に分岐
した後、再び結合した光導波路と、これらの位相シフト
光導波路６の近傍に設置した電極３に接続したアンテナ
４から構成される。アンテナ４に捕捉されたノイズは位
相シフト光導波路６に電界を発生し、局部的に屈折率の
変化をもたらすため、二つの位相シフト光導波路６間に
おいて伝搬する光波に位相差を生じ、出射光導波路７の
出力端において光強度の変化として検出される。
波路５からいったん二つの位相シフト光導波路６に分岐
した後、再び結合した光導波路と、これらの位相シフト
光導波路６の近傍に設置した電極３に接続したアンテナ
４から構成される。アンテナ４に捕捉されたノイズは位
相シフト光導波路６に電界を発生し、局部的に屈折率の
変化をもたらすため、二つの位相シフト光導波路６間に
おいて伝搬する光波に位相差を生じ、出射光導波路７の
出力端において光強度の変化として検出される。
【００２４】光プローブ１００の電界の検出感度はアン
テナ４の長さが短いほど低下するが、アンテナ長１４ｍ
ｍのときの最小感度は１ｍＶ／ｍであり、１０Ｖ／ｍ以
上の電界も測定可能であった。また、アンテナ長を短く
した場合は感度は低下するが高電界の測定が可能とな
る。
テナ４の長さが短いほど低下するが、アンテナ長１４ｍ
ｍのときの最小感度は１ｍＶ／ｍであり、１０Ｖ／ｍ以
上の電界も測定可能であった。また、アンテナ長を短く
した場合は感度は低下するが高電界の測定が可能とな
る。
【００２５】図３は前記構成のノイズ検出装置をガソリ
ンエンジン搭載自動車が放射するノイズの測定に適用し
た例を示す。半導体レーザ１からなるレーザ光源に接続
された光ファイバ８の先端に光プローブ１００が接続さ
れ、光プローブ１００からの出射光は光ファイバ９によ
り光電変換器（光検出器）１０に接続され、計測器（測
定器）１１により検出されたノイズ波形が表示される。
エンジンルーム内、マイクロコンピュータ搭載の制御ユ
ニット内それぞれのノイズレベルを測定し、その電磁波
ノイズの波形を忠実に検出できることを確認した。
ンエンジン搭載自動車が放射するノイズの測定に適用し
た例を示す。半導体レーザ１からなるレーザ光源に接続
された光ファイバ８の先端に光プローブ１００が接続さ
れ、光プローブ１００からの出射光は光ファイバ９によ
り光電変換器（光検出器）１０に接続され、計測器（測
定器）１１により検出されたノイズ波形が表示される。
エンジンルーム内、マイクロコンピュータ搭載の制御ユ
ニット内それぞれのノイズレベルを測定し、その電磁波
ノイズの波形を忠実に検出できることを確認した。
【００２６】また、電気光学結晶であるタンタル酸リチ
ウム結晶基板に光導波路を構築した光プローブを併せて
使用した。その結果電界強度の検出感度はニオブ酸リチ
ウム結晶基板上に構成した光プローブの場合と同等であ
った。
ウム結晶基板に光導波路を構築した光プローブを併せて
使用した。その結果電界強度の検出感度はニオブ酸リチ
ウム結晶基板上に構成した光プローブの場合と同等であ
った。
【００２７】［実施例２］図４は本発明によるノイズ検
出の他の方法を実施するにあたって使用した装置の構成
を示す。
出の他の方法を実施するにあたって使用した装置の構成
を示す。
【００２８】本実施例では光プローブ１００´は反射型
で、位相シフト光導波路の端面には全反射膜２０が配備
された。入射光および反射光による出力は一本の偏波保
持光ファイバ２１によって伝送され、光導波路２２近傍
に形成された電極２３がアンテナの役割を兼ねた。サー
キュレータ２４は、半導体レーザ１からなるレーザ光源
からの光を光ファイバ２１に導いて、光プローブ１００
´に入射光として与えると共に、光ファイバ２１を介し
て受けた光プローブ１００´からの出射光を光電変換器
１０に与える。２５及び２６はレンズである。本実施例
において使用した光プローブ１００´の寸法は３×２５
×０．２ｍｍであった。
で、位相シフト光導波路の端面には全反射膜２０が配備
された。入射光および反射光による出力は一本の偏波保
持光ファイバ２１によって伝送され、光導波路２２近傍
に形成された電極２３がアンテナの役割を兼ねた。サー
キュレータ２４は、半導体レーザ１からなるレーザ光源
からの光を光ファイバ２１に導いて、光プローブ１００
´に入射光として与えると共に、光ファイバ２１を介し
て受けた光プローブ１００´からの出射光を光電変換器
１０に与える。２５及び２６はレンズである。本実施例
において使用した光プローブ１００´の寸法は３×２５
×０．２ｍｍであった。
【００２９】前記構成のノイズ検出装置を、回路基板を
実装稼働している装置内のノイズ測定に適用した。電気
回路が構成された多数のプリント基板の間に光プローブ
を挿入し、基板の間の狭い空間の電界、ノイズの測定を
行いその有用性を確認した。
実装稼働している装置内のノイズ測定に適用した。電気
回路が構成された多数のプリント基板の間に光プローブ
を挿入し、基板の間の狭い空間の電界、ノイズの測定を
行いその有用性を確認した。
【００３０】［実施例３］図４に示す装置の構成のもと
に、プリント基板上に構成された電気回路の信号線とア
ースの間に印加される漏洩電界の信号波形を、本発明の
光プローブ１００´により非接触で検出した。本光プロ
ーブ１００´では測定周波数がＤＣから数ＧＨｚ程度ま
で平坦な感度特性をもつので、その帯域内の信号波形を
忠実に再現できる。また通常のプリント板上の信号線又
は電気部品とアース線の間の距離は数ｍｍ以下であるの
でプリント基板表面の微小領域の電界強度は０．１Ｖ／
ｍ〜１０ＫＶ／ｍとなり、アンテナを電極で兼ねた実効
的なアンテナ長の短いプローブであっても十分検出可能
である。図２に示す光プローブ１００を用いても、同様
に、プリント基板上に構成された電気回路の信号線とア
ースの間に印加される漏洩電界の信号波形を非接触で検
出することができる。
に、プリント基板上に構成された電気回路の信号線とア
ースの間に印加される漏洩電界の信号波形を、本発明の
光プローブ１００´により非接触で検出した。本光プロ
ーブ１００´では測定周波数がＤＣから数ＧＨｚ程度ま
で平坦な感度特性をもつので、その帯域内の信号波形を
忠実に再現できる。また通常のプリント板上の信号線又
は電気部品とアース線の間の距離は数ｍｍ以下であるの
でプリント基板表面の微小領域の電界強度は０．１Ｖ／
ｍ〜１０ＫＶ／ｍとなり、アンテナを電極で兼ねた実効
的なアンテナ長の短いプローブであっても十分検出可能
である。図２に示す光プローブ１００を用いても、同様
に、プリント基板上に構成された電気回路の信号線とア
ースの間に印加される漏洩電界の信号波形を非接触で検
出することができる。
【００３１】
【発明の効果】従来ノイズを電気的方法によって検出し
電気信号として計測する従来の方法に対して、本発明は
電界の強度に依存して、光プローブを透過する光波の強
度変化として検出し、検出系から計測系までは光波信号
で伝送する。このことは非接触検出を可能にし、検出器
の小型化をもたらし、さらにワイヤケーブルに代わって
ガラスファイバを使うために伝送路がノイズを発信し、
あるいは受信することをなくした。またワイヤケーブル
の存在が系の電界分布に変化をもたらす従来の弊害を一
掃することができた。
電気信号として計測する従来の方法に対して、本発明は
電界の強度に依存して、光プローブを透過する光波の強
度変化として検出し、検出系から計測系までは光波信号
で伝送する。このことは非接触検出を可能にし、検出器
の小型化をもたらし、さらにワイヤケーブルに代わって
ガラスファイバを使うために伝送路がノイズを発信し、
あるいは受信することをなくした。またワイヤケーブル
の存在が系の電界分布に変化をもたらす従来の弊害を一
掃することができた。
【００３２】またプリント基板上等に構成された電気回
路の信号線とアースの間に印加される漏洩電界を非接触
で検出でき、その結果を随時回路設計に応用することが
できる。
路の信号線とアースの間に印加される漏洩電界を非接触
で検出でき、その結果を随時回路設計に応用することが
できる。
【００３３】これらはノイズ検出技術の信頼性を飛躍的
に高めるものである。
に高めるものである。
【００３４】本発明は社会的な要請である電磁ノイズ低
減技術の進展と、社会の意識高揚に寄与するものであ
る。
減技術の進展と、社会の意識高揚に寄与するものであ
る。
【図１】本発明の一実施例による電磁ノイズまたは電磁
漏洩波の検出方法を実施するための装置のブロック図。
漏洩波の検出方法を実施するための装置のブロック図。
【図２】図１における光プローブを拡大して示し、入力
光及び出力光の変化を併せて示した図。
光及び出力光の変化を併せて示した図。
【図３】図１の装置をガソリンエンジン搭載自動車が放
射するノイズの測定に適用した例を示す図。
射するノイズの測定に適用した例を示す図。
【図４】本発明の他の実施例による電磁ノイズまたは電
磁漏洩波の検出方法を実施するための装置のブロック
図。
磁漏洩波の検出方法を実施するための装置のブロック
図。
【図５】従来の電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出方法
を実施するための装置のブロック図。
を実施するための装置のブロック図。
１ 半導体レーザ ２ ニオブ酸リチウム結晶基板 ３ 電極 ４ アンテナ ５ 入射光導波路 ６ 位相シフト光導波路 ７ 出射光導波路 ８、９ 光ファイバ １０ 光電変換器 １１ 計測器 １２ ワイヤケーブル ２０ 全反射膜 ２１ 偏波保持光ファイバ ２２ 光導波路 ２３ 電極 ２４ サーキュレータ ２５、２６ レンズ
Claims (8)
- 【請求項１】 印加された電界の強度に依存して、透過
する光波の強度が変化するように構成された光プローブ
と；光波を発生する光源と；該光源からの光波を前記光
プローブに導き入射させる第１の光ファイバと；光波を
電気信号に変換する光電変換器と；前記光プローブを透
過した光波を前記光電変換器に導き入射させる第２の光
ファイバと；前記光電変換器からの電気信号を計測ある
いは／および表示する計測器と；を有する電磁ノイズま
たは電磁漏洩波の検出装置を用いて、前記光プローブを
電磁ノイズまたは漏洩波発生源に接触することなくその
近傍に設置することによって電磁ノイズまたは電磁漏洩
波を光強度変化として検出することを特徴とする電磁ノ
イズまたは電磁漏洩波の検出方法。 - 【請求項２】 前記光プローブは、電気光学効果を有す
る基板と；該基板上に配列された光導波路素子と；を有
することを特徴とする請求項１に記載の電磁ノイズまた
は電磁漏洩波の検出方法。 - 【請求項３】 光導波路の一端面に入射した入射光が該
光導波路の他端面で反射して前記一端面から出射光とし
て出射する構造を有し、前記出射光の強度が、印加電界
の強度に依存するように構成された光プローブと；光を
発生する光源と；光ファイバと；光を電気信号に変換す
る光電変換器と；前記光源からの光を前記光ファイバに
導いて、前記光プローブに前記入射光として与えると共
に、前記光ファイバを介して受けた前記光プローブから
の前記出射光を前記光電変換器に与えるサーキュレータ
と；前記光電変換器からの電気信号を計測あるいは／お
よび表示する計測器と；を有する電磁ノイズまたは電磁
漏洩波の検出装置を用いて、前記光プローブを電磁ノイ
ズまたは漏洩波発生源に接触することなくその近傍に設
置することによって電磁ノイズまたは電磁漏洩波を光強
度変化として検出することを特徴とする電磁ノイズまた
は電磁漏洩波の検出方法。 - 【請求項４】 電気回路の信号線とアースの間に印加さ
れる漏洩電界を、前記光プローブにより非接触で検出す
ることを特徴とする請求項１、２、及び３のいずれかに
記載の電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出方法。 - 【請求項５】 印加された電界の強度に依存して、透過
する光波の強度が変化するように構成された光プローブ
と；光波を発生する光源と；該光源からの光波を前記光
プローブに導き入射させる第１の光ファイバと；光波を
電気信号に変換する光電変換器と；前記光プローブを透
過した光波を前記光電変換器に導き入射させる第２の光
ファイバと；前記光電変換器からの電気信号を計測ある
いは／および表示する計測器と；を有し、前記光プロー
ブを電磁ノイズまたは漏洩波発生源に接触することなく
その近傍に設置することによって電磁ノイズまたは電磁
漏洩波を光強度変化として検出することを特徴とする電
磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出装置。 - 【請求項６】 前記光プローブは、電気光学効果を有す
る基板と；該基板上に配列された光導波路素子と；を有
することを特徴とする請求項５に記載の電磁ノイズまた
は電磁漏洩波の検出装置。 - 【請求項７】 光導波路の一端面に入射した入射光が該
光導波路の他端面で反射して前記一端面から出射光とし
て出射する構造を有し、前記出射光の強度が、印加電界
の強度に依存するように構成された光プローブと；光を
発生する光源と；光ファイバと；光を電気信号に変換す
る光電変換器と；前記光源からの光を前記光ファイバに
導いて、前記光プローブに前記入射光として与えると共
に、前記光ファイバを介して受けた前記光プローブから
の前記出射光を前記光電変換器に与えるサーキュレータ
と；前記光電変換器からの電気信号を計測あるいは／お
よび表示する計測器と；を有し、前記光プローブを電磁
ノイズまたは漏洩波発生源に接触することなくその近傍
に設置することによって電磁ノイズまたは電磁漏洩波を
光強度変化として検出することを特徴とする電磁ノイズ
または電磁漏洩波の検出装置。 - 【請求項８】 電気回路の信号線とアースの間に印加さ
れる漏洩電界を、前記光プローブにより非接触で検出す
ることを特徴とする請求項５、６、及び７のいずれかに
記載の電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出装置。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5168018A JPH0727806A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出方法及び電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出装置 |
| EP94919872A EP0664460B1 (en) | 1993-07-07 | 1994-07-07 | Electric field sensor |
| PCT/JP1994/001113 WO1995002194A1 (en) | 1993-07-07 | 1994-07-07 | Electric field sensor |
| DE69427219T DE69427219T2 (de) | 1993-07-07 | 1994-07-07 | Fühler für elektrische felder |
| KR1019950700891A KR100243779B1 (ko) | 1993-07-07 | 1994-07-07 | 전계센서 |
| CN94190476A CN1052070C (zh) | 1993-07-07 | 1994-07-07 | 电场传感器 |
| CA002144080A CA2144080C (en) | 1993-07-07 | 1994-07-07 | Electric field sensor |
| US08/703,617 US5781003A (en) | 1993-07-07 | 1996-08-27 | Electric field sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5168018A JPH0727806A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出方法及び電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727806A true JPH0727806A (ja) | 1995-01-31 |
Family
ID=15860287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5168018A Pending JPH0727806A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出方法及び電磁ノイズまたは電磁漏洩波の検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727806A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008203256A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Xerox Corp | 電界プローブおよびその製造方法 |
| WO2019021424A1 (ja) * | 2017-07-27 | 2019-01-31 | 三菱電機株式会社 | 電磁界計測装置および電磁界計測方法 |
-
1993
- 1993-07-07 JP JP5168018A patent/JPH0727806A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008203256A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Xerox Corp | 電界プローブおよびその製造方法 |
| WO2019021424A1 (ja) * | 2017-07-27 | 2019-01-31 | 三菱電機株式会社 | 電磁界計測装置および電磁界計測方法 |
| JP6532632B1 (ja) * | 2017-07-27 | 2019-06-19 | 三菱電機株式会社 | 電磁界計測装置および電磁界計測方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020130 |