JPH0727819A - 加熱、冷却、保温機能手段を有するキャリアボード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 オートハンドラのキャリアボード上に、加
熱、冷却、保温機能手段を設けた、ＩＣテスト装置にお
いて、低、高温テストを効率良く行うことができるキャ
リアボード。 【構成】 ローダに格納された被測定ＩＣ１２を順次取
出して、ＩＣテスト装置で測定した後アンローダに格納
するＩＣオートハンドラのキャリアボード１０１におい
て、該キャリアボード１０１に被測定ＩＣ１２の加熱、
冷却並びに保温機能を有する断熱箱５を設けたキャリア
ボード。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はＩＣの機能テストに用い
られるオートハンドラ（Ａｕｔｏ ｈａｎｄｌｅｒ）用
のキャリアボード（Ｃａｒｒｉｅｒ ｂｏａｒｄ）（以
下キャリアボードという）に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、オートハンドラにおける被測定Ｉ
Ｃの機能テストは常温雰囲気内でのテスト（常温テス
ト）、高温雰囲気内でのテスト（高温テスト）、低温雰
囲気内でのテスト（低温テスト）等がおこなわれてお
り、該オートハンドラは高温テスト、低温テストに対応
する雰囲気を作る為、高温の場合には被測定ＩＣを加熱
しながら所定の箇所に搬送する加熱レールを経由して恒
温槽内に該ＩＣを保持する方法や、低温の場合には該Ｉ
Ｃを冷却出来る恒温槽内に収納し、一定時間保持させる
事で被測定ＩＣを所定の温度にした後、ＩＣテスト装置
の測定部に必要時供給していく方法がとられており、ま
た従来、この様な分野の技術としては、当出願人発明の
特開昭６４−８００３５に開示された（ＩＣオートハン
ドラにおけるＩＣの搬送・測定方法およびその装置）内
容に記載された発明があって、その発明に係る構造は図
１４に示す如く、ローダ８１０より順次とりだしたＩＣ
８７２を夫々適合するキャリアプレート８７０に搭載し
て、該キャリアプレート８７０毎に加熱部８２０の搬送
経路上を搬送するとともに、キャリアプレート８７０に
搭載したＩＣの電気的特性を測定するように構成したこ
とを特徴とするＩＣハンドラにおけるＩＣ搬送・測定方
法および装置というものがある。

【０００３】従来の図１４に示す如きローダ８１０に格
納された被測定ＩＣ８７２を順次取り出し、ＩＣテスト
装置８３１で測定した後、アンローダ８６０に格納する
オートハンドラでは、高温テストを行う場合には、〔０
００２〕の文中に述べた如く、レール加熱機構か恒温槽
を装備し、又低温テストに使用されるオートハンドラは
必ず大型の恒温槽を装備していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】その為、このレール加
熱機構や恒温槽によってオートハンドラは大きくなり、
レイアウト上不利になるばかりでなく、被測定ＩＣを順
次送り込みながら温度を加えるため、恒温槽内でのジャ
ム（部品搬送状態の時の目詰り）が発生する機会が多
く、そのためオートハンドラによる被測定ＩＣを恒温槽
に送り込む場合の取扱いを難しくし、また、内部点検の
ため恒温槽を開ける必要が生ずる。一度恒温槽の扉を開
けると、元の温度に戻すために長い時間を必要とする
し、且つ低温測定の場合は、恒温槽の扉を開けると槽内
に結露が生じて、オートハンドラの運転再開までには、
高温時とは比較にならない位、長い時間が必要になる等
の問題があった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記問題点を解決するた
め本発明においては、ハンドラーに装備する大型の恒温
槽を設ける代りに、請求項１においてキャリアボード上
に断熱部材にて断熱体枠並びに断熱扉により断熱箱を形
成するか、或いは断熱箱の中にキャリアボードを構成す
る。該キャリアボードには被測定ＩＣを搭載できる形状
とし、断熱箱の上面を断熱扉にするか、或いは該キャリ
アボードと断熱体枠を分離できる形状とすると共に、加
熱、冷却並びに保温機能手段を設けたキャリアボードを
構成した。

【０００６】また、請求項２における被測定ＩＣに加え
る温度の精度の向上を可能にできる手段を備えたヒート
パイプを設定した該キャリアボードを構成した。

【０００７】更に請求項３において、キャリアボードの
外に温度センサ端子を出さなくてもよく、かつ断熱箱内
の温度制御を可能にする温度コントローラを搭載したキ
ャリアボードを構成した。

【０００８】請求項４において、断熱箱内に、加熱、保
温の電源を印加しなくても、被測定ＩＣに温度を加える
ことが可能である電磁誘導加熱を利用する部材を設けた
キャリアボードを構成した。

【０００９】請求項５において、ペルチエ素子に直流電
圧を印加し、低温測定の場合被測定ＩＣを所定の温度に
保持することができ、低温測定後該ペルチエ素子に印加
する直流電圧の極性を一時的に逆にして、断熱扉を開放
しても、断熱箱内に結露せずに、常温に近い状態で被測
定ＩＣを取出せるように、ペルチエ素子を設定したキャ
リアボードを構成した。また、ペルチエ素子へ印加する
プラス・マイナスを一定間隔で変換し、被測定ＩＣに対
し高温、低温のサイクルテストができる該ペルチエ素子
を設定したキャリアボードを構成した。

【００１０】請求項６において、断熱箱内に被測定ＩＣ
が、設定温度に達する時間の短縮と設定温度の雰囲気の
保持が可能になる吸気口と、排気口を設けたキャリアボ
ードを構成した。

【００１１】以上請求項の第２乃至第６項の単独又は、
組合せを含む手段と、請求項１記載の加熱、冷却並びに
保温機能手段により課題を解決するためのキャリアボー
ドを構成した。

【００１２】

【作用】前記の通り、本発明のキャリアボードを構成し
たので、被測定ＩＣを搭載する作業は常温内で行い、加
熱或いは冷却後、被測定ＩＣの機能測定が完了するまで
は、断熱扉の開閉等を行う必要は無く、また被測定ＩＣ
の熱容量は非常に小さいので、キャリアボード上の加熱
又は冷却機器も従来のオートハンドラに付随する大型の
恒温槽の加熱或いは冷却装置の場合に比べれば、はるか
に小さくて済むため、短い加熱時間で、断熱箱内を測定
に必要な温度まで加熱することができる。従ってＩＣテ
スト装置の測定の立上り時間を短くする事を可能にし、
キャリアボードの断熱箱等の内部点検、並びに保守もハ
ンドラーとは別の場所で行うことが可能になる。

【００１３】

【実施例】以下図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。図１は上面の１部を切り欠いた本発明の一実施例を
示すキャリアボード１０１の斜視図である。１はキャリ
アボード用基板、２は断熱体枠、２ａは断熱体側壁、３
は断熱扉で、該断熱体側壁２ａの４面と該断熱扉３で断
熱箱５を構成しキャリアボード用基板１の上に配設され
る。

【００１４】図１は断熱扉３が閉ざされた状態を示し、
断熱箱５の内部の所定位置に被測定ＩＣ１２がセットさ
れる。被測定ＩＣ１２には加熱用の上側加熱ブロック４
及び下側加熱ブロック９０４が設置され、該上側加熱ブ
ロック４は該断熱箱５の上部に、該下側加熱ブロック９
０４は該断熱箱５の下部に設置されている。上側加熱ブ
ロック４及び下側加熱ブロック９０４の夫々の内部に
は、夫々に加熱用ヒータ６及び加熱用ヒータ９０６が組
込まれている。被測定ＩＣ１２はＩＣソケット１０にキ
ャリアボードの長手方向に次々に挿入出来る構造になっ
ており、上側加熱ブロック４及び下側加熱ブロック９０
４によって該ＩＣ１２を上下からサンドイッチ状に挟ん
で加熱する構造を形成している。

【００１５】該ＩＣソケット１０が所要の数だけ数列配
置されて設定されたキャリアボード用基板１上に、断熱
箱５が形成され断熱扉３が片側をヒンジとして取付けら
れる。開閉可能な断熱扉３は断熱箱５の上蓋を構成して
いる。この様に構成し該キャリアボード用基板１上で恒
温機能を維持することができる。他の方法として断熱箱
５を断熱部材により構成し該断熱箱５の内部に該基板を
設定することもできる。

【００１６】キャリアボード１０１のＡ矢視正面の側
部、断熱箱５の断熱体側壁２ａ上に加熱用ヒータ６並び
に９０６に給電する給電用端子１０７及び図１には図示
してないが、断熱箱５内の温度を監視するセンサからの
信号を出力する温度監視センサ用端子１０８が設けてあ
る。

【００１７】図１には図示してないが直交ロボット等の
ＩＣ搭載手段により、断熱扉３を開放した状態で被測定
ＩＣ１２が搭載され搭載後断熱扉３が閉じられた断熱箱
５を有するキャリアボード１０１は搬送手段によりＩＣ
テスタ装置の測定部付近に運ばれる。加熱、冷却、保温
機能手段を有するキャリアボード１０１は図１に図示し
てないが、予め設定してある位置でＩＣオートハンドラ
の制御部門から給電用端子１０７を経て加熱用ヒータ６
及び９０６に給電され、又図示してないが断熱箱５内の
温度センサから温度監視センサ用端子１０８を経てＩＣ
ハンドラの制御部門に接続され、断熱箱５の加熱、保温
が行われ該断熱箱５内の素子温度が定められた測定温度
に達した時キャリアボード１０１を測定位置にセットす
る。該キャリアボードの下部に設定してある接触部位９
（図示せず）からテストボード２０１に配設された測定
用端子２０２に接触により接続されテスト信号などの電
気信号はキャリアボード１０１とテストボード２０１間
で授受される。

【００１８】図２は図１のキャリアボード１０１に搭載
する被測定ＩＣ１２の設置ブロックの一実施例を示す。
ＩＣソケット１０はキャリアボード用基板１から断熱板
を介して加熱用ヒータ９０６により加熱された下側加熱
ブロック９０４が設置され、該被測定ＩＣ１２に該ＩＣ
ソケット１０に挿入された状態で加熱されるようにソケ
ット台座１１によって保持されている。また該被測定Ｉ
Ｃ１２の上側には、加熱用ヒータ６により加熱されてい
る上側加熱ブロック４が配設されている。即ち該ＩＣソ
ケット１０には被測定ＩＣ１２が挿入され、上側加熱ブ
ロック４、下側加熱ブロック９０４によって上下からサ
ンドイッチ状に加熱できるブロック構造を形成してい
る。また図７に示してあるが、被測定ＩＣの形状、種別
によって、ソケット台座１１の上にＩＣソケットボード
２１を設定しＩＣソケット１０を該ＩＣソケットボード
２１に配設し被測定ＩＣ１２を挿入し、効果ある加熱、
保温の状態で測定を行うことができる。

【００１９】図３は図１のキャリアボード１０１のａ矢
視正面図を示す。断熱扉３を閉じた状態を示し、内部構
造はＢ−ｂ断面を点線で示してある。断熱箱５のａ矢視
正面には赤外線温度センサ用測定穴１５が設定され、該
断熱箱５の内部温度監視が可能である。該穴１５はガラ
スで覆われて断熱箱５の内外の空気は遮断されている。

【００２０】図４は図１のキャリアボード１０１のａ矢
視のＢ−ｂ断面構造図で、図１にて説明した断熱扉３は
片端をヒンジとして開放した状態を点線で示している。
上側加熱ブロック４上部の断熱スペーサ５８は断熱扉３
に固着されている。キャリアボード用基板１に被測定Ｉ
Ｃ１２を着脱する場合は当該扉３を開放すればよい。該
断熱扉３は必ずしも片端をヒンジとして蝶着の必要はな
く、閉じた状態で断熱箱５が形状を維持し断熱機能を損
ねることなく取付け取外しの出来る扉であればよい。

【００２１】図５は本発明の一実施例を示す加熱ブロッ
ク及び加熱用ヒータを分割設定し、上面の一部を切り欠
いたキャリアボード１０１の斜視図である。キャリアボ
ード用基板１上の断熱箱５の内部に加熱用ヒータ６およ
び９０６を上側加熱ブロック４、下側加熱ブロック９０
４に夫々装着し、被測定ＩＣ１２の配列を分割し、上側
加熱ブロック４、下側加熱ブロック９０４を夫々該被測
定ＩＣ１２に対応して分割することにより、該被測定Ｉ
Ｃ１２への加熱温度の精度を高めるよう設定されてい
る。

【００２２】又図５は図１に示した給電用端子１０７、
温度監視センサ用端子１０８を設けず、ＩＣテスト装置
の給電ボード７０の給電用端子７１、温度監視用端子７
２、温度制御用端子７３から、キャリアボード用端子１
の接触部位７９（図示せず）を通してキャリアボード１
０１からの温度センサによる信号受、又該給電ボード７
０から、温度制御信号により制御された断熱箱加熱用ヒ
ータ６、９０６への給電等の授受を行うことが可能であ
る。

【００２３】更に図５では、上側加熱ブロック４、下側
加熱部ブロック９０４を分割しているので、温度センサ
も分割した加熱ブロック毎に設ける必要があるが、該キ
ャリアボート１０１上に温度コントローラ１９を搭載す
ることにより、該キャリアボード１０１外への温度セン
サ等の接続端子数を減らすことができるし、該温度コン
トローラ１９の電源を加熱用ヒータの電源と共用にする
こともできる。

【００２４】図６は、本発明の一実施例を示すヒートパ
イプと集中配置したヒータを併用し、上面の一部を切り
欠いたキャリアボード１０１の斜視図である。キャリア
ボード用基板１上に設定した断熱箱５内に、上側セント
ラル加熱用ヒータ１６、下側セントラル加熱用ヒータ９
１６により夫々セントラルヒートブロック２０、９２０
を加熱した状態で、断熱箱５内のＡ矢視側に集中配置さ
れている。該セントラルヒートブロック２０、９２０夫
々に熱的に結合された上側ヒートパイプ１８、下側ヒー
トパイプ９１８により、被測定ＩＣ１２への加熱温度を
高い精度で伝達し温度設定をすることができる。

【００２５】図７は図６のキャリアボード１０１に搭載
する被測定ＩＣ１２の設置ブロックの一実施例を示す斜
視図である。ＩＣソケット１０に挿入されているＩＣ１
２は加熱用ヒータ６が上側加熱ブロック４を加熱、加熱
用ヒータ９０６が下側加熱ブロック９０４を加熱、夫々
の加熱ブロックには上側ヒートパイプ１８、下側ヒート
パイプ９１８が装着されており、該ヒートパイプの熱伝
導性の良好な点を利用し、被測定ＩＣ１２を温度精度の
高い状態で加熱することが可能である。また上側の断熱
扉３側に上側断熱板５９、加熱用ヒータ９０６の下側に
はキャリアボード用基板１側に断熱板９５９を設け、加
熱用ヒータの熱が断熱箱５の筐体外側に伝わるのを減少
する構造になっている。

【００２６】ソケットボード２１上にＩＣソケット１０
を使用、異なった種別のＩＣを同じ断熱箱５内に搭載す
ることによって、キャリアボード１０１における被測定
ＩＣ１２の種別増を考慮している。また同一断熱箱５内
においてＩＣのブロックを分割設定することができるの
は「００２１」に述べた通である。別種類のパッケージ
形状の異なるＩＣを同一キャリアボード１０１に搭載し
て小量多品種使用の場合でも、各種テストに対応するこ
とも出来、効率の良いキャリアボードの運用が達成でき
る。

【００２７】図８は図６に示したキャリアボード１０１
のｂ矢視のＡ−ａ断面図である。図示する如く断熱箱５
内の上下に、上側セントラル加熱用ヒータ１６、下側セ
ントラル加熱用ヒータ９１６を取り付けたセントラルヒ
ートブロックは、該加熱用ヒータに対応して夫々２０、
９２０と分れており、ヒートパイプと同様に分離されて
いるので断熱扉３により上側を分離でき、被測定ＩＣ１
２の取付け取外しや該断熱箱５の内部点検も容易にでき
る。５４は上側熱伝導ブロックで上側ヒートパイプ１８
から被測定ＩＣ１２に対し熱伝達が速やかに行い得る構
造になっている。

【００２８】図９は図６に示したキャリアボード１０１
のＡ矢視Ｂ−ｂ断面図である。上側熱伝導ブロック５
４、下側熱伝導ブロック９５４の夫々が、上側ヒートパ
イプ１８、下側ヒートパイプ９１８より夫々セントラル
ヒートブロック２０、９２０（図示せず）からの熱を伝
えられ、被測定ＩＣ１２を上下から加熱する。上側断熱
スペーサ５８、下側断熱スペーサ９５８が断熱箱５の外
側に熱のリークを減少させるものである。上側熱伝導ブ
ロック５４、上側ヒートパイプ１８、上側断熱スペーサ
５８は、セントラルヒートブロック２０と共に断熱扉３
に取付けられた構造である。

【００２９】図１０は本発明の一実施例を示す電磁誘導
加熱用部材を配置し、上面の一部を切り欠いたキャリア
ボード１０１の斜視図である。上側ヒートパイプ１８、
下側ヒートパイプ９１８の夫々片側に電気抵抗の高い金
属ブロック２９、９２９を固定し、ここでは図示してな
いが、オートハンドラのＩＣテスト装置上でキャリアボ
ード外で該金属ブロック２９、９２９の正面位置にセッ
トされ配設された電磁誘導コイル３１、９３１（図１０
のＡ矢視正面に２点破線で示す）に電源を供給すること
により、断熱箱５の内部に直接加熱用給電をすることな
く、該断熱箱５内部の加熱及び保温が可能である。図１
０には図示してないが夕赤外線温度センサ用測定穴を通
して断熱箱５の内部温度を検出し、該電磁誘導コイル３
１、９３１への印加電流を調整する誘導コイル３１、９
３１への印加電流を調整することで上側ヒートパイプ１
８、下側ヒートパイプ９１８を通じて被測定ＩＣ１２に
対しての加熱、保温の温度制御が可能である。被測定Ｉ
Ｃ１２に対しては「００２１」図５に示す如く、分割加
熱も可能である。この電磁誘導加熱によりヒータへの電
源供給、温度制御器への電源供給も可能であり、キャリ
アボード１０１に対して種々の運用が可能である。

【００３０】図１１は本発明の一実施例を示すペルチエ
素子を設置し、上面の１部を切り欠いたキャリアボード
１０１の斜視図である。ペルチエ素子（商品名サーモモ
ジュール）３２、９３２の高温側と低温側との温度差は
無負荷時で６５℃迄可能なため、常温より低い温度での
被測定ＩＣ１２の測定時の低温環境を保つことは出来る
が、ペルチエ素子の反対面側は高温になるため、放熱器
を断熱箱５の外側に設け、強制空冷等の手段により放熱
を行うことも必要となる。

【００３１】該ペルチエ素子３２、９３２は、上側ヒー
トパイプ１８、下側ヒートパイプ９１８を通じ上側放熱
器４３、下側放熱器９４３に夫々熱的に結合されてい
る。また、ヒートパイプを使用せず熱伝導の良い金属で
熱伝達することもできる。更に、この放熱を利用し低温
時の被測定ＩＣ１２の機能測定終了後、当該ＩＣ１２を
取出す場合断熱扉３を開放するので、断熱箱５内の結露
を防ぐため一時的に印加直流電圧の極性を換えて該断熱
箱５内のＩＣブロック温度を常温近くに戻し、当該ＩＣ
１２を取出すことができる。

【００３２】従ってキャリアボード１０１の断熱箱５内
の被測定ＩＣ１２は有効に所定の温度に冷却され、保温
された状態で該キャリアボード１０１に搭載した状態の
まま低温雰囲気での試験が可能である。更に高温加熱を
行うことも可能である。そのため従来のオートハンドラ
では出来なかった熱サイクルテスト（一定の間隔で高温
テスト、低温テストを繰返すテスト）も、ペルチエ素子
３２、９３２に印加する電源の直流電流の極性を一定の
間隔で変換することにより可能である。

【００３３】図１２は〔００３０〕図１１のキャリアボ
ード１０１のｂ矢視側面よりのＡ−ａ断面図を示してあ
り、上側ヒートパイプ１８、下側ヒートパイプ９１８に
夫々熱的に結合された上側放熱器４３、下側放熱器９４
３の構成を示してある。温度コントローラ１９はキャリ
アボード用基板１の上に断熱箱５の外側に設置され、給
電用ボーヒド７０から給電される。内容は〔００２２〕
図５の場合と同様であるので省略する。

【００３４】図１３は本発明の一実施例を示す吸気口と
排気口を配置したキャリアボード１０１の側断面図であ
る。吸気口１３、排気口１４には夫々吸気弁９１３、排
気弁９１４が設けてある。断熱箱５には図示してないが
外部から温風又は冷風を吹き込むことにより、キャリア
ボード内の被測定ＩＣ１２が設定温度に達するまでの時
間の短縮、並びにテスト時間が長くかかる被測定ＩＣ１
２の性能テスト時に、図示してないが断熱箱５の内部に
外部から一定温度に規制した空気を挿入し、該断熱箱５
の内部の測定時の雰囲気を維持することが可能である。
該吸気口１３並びに排気口１４は図示の位置に固定する
必要は無く断熱体側壁２ａ上に設置してもよい。また、
キャリアボード１０１上において、加熱、冷却、保温機
能手段を有する本発明に必要とする他の機器と併用して
置くこともを可能である。

【００３５】図１４は特開昭６４−８００３５に開示さ
れた（ＩＣオートハンドラにおけるＩＣ搬送・測定方法
および装置）の従来用いられたオートハンドラの一実施
例の斜視図である。即ちローダ８１０からキャリアプレ
ート８７０に装着された被測定ＩＣ１２が加熱部８２０
を経由して、テストヘッド８３１にてテストされた後ア
ンローダ８６０に搭載される構成を示している。

【００３６】

【発明の効果】実施例からも理解できるように、従来の
オートハンドラのキャリアプレート（本発明で示すキャ
リアボード）に断熱機能、冷却又は加熱機能、吸熱機
能、温度制御機能及び電源の供給の手段を要求に応じて
組み合せて構成した事で、オートハンドラに従来のよう
な大型の恒温槽を設ける必要がなく、レイアウトの面か
ら有利になる他、被測定ＩＣを搭載したままのキャリア
ボードで、温度条件の異なる測定でも、同じオートハン
ドラを使用できるので測定温度切り替えの待ち時間が不
要になりテストシステムの稼動率が大幅に向上し、生産
性の向上にも大きい効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のキャリアボードの一実施例の斜視図

【図２】図１の被測定ＩＣの設置ブロック図

【図３】図１のａ矢視正面図

【図４】図１のＡ矢視Ｂ−ｂ断面図

【図５】本発明の一実施例を示す加熱ブロック及び加熱
用ヒータを分割設定したキャリアボードの斜視図

【図６】本発明の一実施例を示すヒートパイプと集中配
置したヒータを併用したキャリアボードの斜視図

【図７】図６の被測定ＩＣの設置ブロック図

【図８】図６のｂ矢視Ａ−ａ断面図

【図９】図ｂのＡ矢視Ｂ−ｂ断面図

【図１０】本発明の一実施例を示す電磁誘導加熱用部材
を設置したキャリアボードの斜視図

【図１１】本発明の一実施例を示すペルチエ素子を設置
したキャリアボードの斜視図

【図１２】図１１のｂ矢視Ａ−ａ断面図

【図１３】本発明の一実施例を示す吸気口と排気口を配
置したキャリアボードの側断面図

【図１４】特開昭６４−８００３５に開示された“ＩＣ
オートハンドラにおけるＩＣ搬送・測定方法および装
置”の一実施例の装置斜視図

【符号の説明】

１ キャリアボード用基板 ２ 断熱体枠 ２ａ 断熱体側壁 ３ 断熱扉 ４ 上側加熱ブロック ５ 断熱箱 ６ 加熱用ヒータ ９ 接触部位 １０ ＩＣソケット １１ ソケット台座 １２ 被測定ＩＣ １３ 吸気口 １４ 排気口 １５ 赤外線温度センサ用測定穴 １６ 上側加熱用ヒータ １８ 上側ヒートパイプ １９ 温度コントローラ ２０ セントラルヒートブロック ２１ ＩＣソケットボード ２９ 金属ブロック ３１ 電磁誘導コイル ３２ ペルチエ素子 ４３ 上側放熱器 ５４ 上側熱伝導ブロック ５８ 上側断熱スペーサ ５９ 上側断熱板 ７０ 給電用ボード ７１ 給電用端子 ７２ 温度監視用端子 ７３ 温度制御用端子 ７９ 接触部位１０１ キャリアボード １０７ 給電用端子 １０８ 温度監視センサ用端子 ２０１ テストボード ２０２ 測定用端子 ８１０ ローダ ８１２ ローダ移載手段 ８２０ 加熱部 ８３１ ＩＣテストヘッド ８６０ アンローダ ８７０ キャリアプレート ８７２ 被測定ＩＣ ９０４ 下側加熱ブロック ９０６ 加熱用ヒータ ９１３ 吸気弁 ９１４ 排気弁 ９１６ 下側セントラル加熱用ヒータ ９１８ 下側ヒートパイプ ９２０ セントラルヒートブロック ９２９ 金属ブロック ９３１ 電磁誘導コイル ９３２ ペルチエ素子 ９４３ 下側放熱器 ９５４ 下側熱伝導ブロック ９５８ 下側熱伝導スペーサ ９５９ 下側断熱板 Ａ Ａ矢視方向 Ｂ Ｂ矢視方向 ａ ａ矢視方向 ｂ ｂ矢視方向 Ａ−ａ 断面図 Ｂ−ｂ 断面図

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ローダに格納された被測定ＩＣを順次取
   り出して該ＩＣをＩＣテスト装置で測定した後、アンロ
   ーダに格納するようにしたＩＣオートハンドラのキャリ
   アボードにおいて、 該キャリアボード上に、被測定ＩＣの加熱と冷却並びに
   保温機能手段を有する、断熱部材の断熱体枠並びに断熱
   扉よりなる、断熱箱を設けた事を特徴とするキャリアボ
   ード。
2. 【請求項２】 該キャリアボード上の断熱箱内にヒート
   パイプを設定した事を特徴とする請求項１記載の加熱、
   冷却並びに保温機能手段を有するキャリアボード。
3. 【請求項３】 該キャリアボード上に温度コントローラ
   を搭載する事を特徴とする請求項１記載の加熱、冷却並
   びに保温機能手段を有するキャリアボード。
4. 【請求項４】 該キャリアボード上に電磁誘導加熱用部
   材を設け、被測定ＩＣに所定の温度を加える手段を有す
   る事を特徴とする請求項１記載の加熱並びに保温機能手
   段を有するキャリアボード。
5. 【請求項５】 該キャリアボード上に被測定ＩＣを所定
   の温度で保持するようなペルチエ素子を有する事を特徴
   とする請求項１記載の加熱、冷却保温機能手段を有する
   キャリアボード。
6. 【請求項６】 該キャリアボードにおいて、被測定ＩＣ
   の設定温度に達する時間の短縮と、設定温度の雰囲気の
   保持を可能とする吸気口並びに排気口を設定した請求項
   １記載の加熱、冷却並びに保温機能手段を有するキャリ
   アボード。