JPH07278802A - 黒鉛ルツボ装置 - Google Patents
黒鉛ルツボ装置Info
- Publication number
- JPH07278802A JPH07278802A JP9558294A JP9558294A JPH07278802A JP H07278802 A JPH07278802 A JP H07278802A JP 9558294 A JP9558294 A JP 9558294A JP 9558294 A JP9558294 A JP 9558294A JP H07278802 A JPH07278802 A JP H07278802A
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- crucible
- graphite
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被溶解物を収容した黒鉛ルツボを高効率で加
熱することができ、更に前記黒鉛ルツボを安定して拘持
することができる黒鉛ルツボ装置を提供することにあ
る。 【構成】 被溶解物を収容するための黒鉛ルツボの少な
くとも外周側面を、その外側に設けた被誘導加熱部材の
内周面をテーパー形状にして拘持した。
熱することができ、更に前記黒鉛ルツボを安定して拘持
することができる黒鉛ルツボ装置を提供することにあ
る。 【構成】 被溶解物を収容するための黒鉛ルツボの少な
くとも外周側面を、その外側に設けた被誘導加熱部材の
内周面をテーパー形状にして拘持した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばアルミニウム、
銀等の金属を溶融させてシート状物の表面に蒸着する際
に用いられる黒鉛ルツボ装置に関するものである。
銀等の金属を溶融させてシート状物の表面に蒸着する際
に用いられる黒鉛ルツボ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の黒鉛ルツボ装置として
は、特開平４−１０１３８５号公報に開示され図３に示
すように、外周に誘導コイル３１を配設した耐火ルツボ
３２の内側に断熱材３３ａ介して被誘導加熱部材である
黒鉛筒状体３４を固定し、そして前記黒鉛筒状体３４の
内側に所定の隙間を保ちガラス状炭素からなり内部に被
溶解物３５を収容した黒鉛ルツボ３６を前記耐火ルツボ
３２の底部断熱材３３ｂ上に設置固定し、前記黒鉛筒状
体３４を誘導加熱することで前記ガラス状炭素からなる
黒鉛ルツボ３６を加熱し、被溶解物３５を溶融させる黒
鉛ルツボ装置３０が提案されている。
は、特開平４−１０１３８５号公報に開示され図３に示
すように、外周に誘導コイル３１を配設した耐火ルツボ
３２の内側に断熱材３３ａ介して被誘導加熱部材である
黒鉛筒状体３４を固定し、そして前記黒鉛筒状体３４の
内側に所定の隙間を保ちガラス状炭素からなり内部に被
溶解物３５を収容した黒鉛ルツボ３６を前記耐火ルツボ
３２の底部断熱材３３ｂ上に設置固定し、前記黒鉛筒状
体３４を誘導加熱することで前記ガラス状炭素からなる
黒鉛ルツボ３６を加熱し、被溶解物３５を溶融させる黒
鉛ルツボ装置３０が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の黒鉛ルツボ装置３０にあっては、前記黒鉛ルツボ３
６は前記黒鉛筒状体３４と隙間を保ち断熱材３３ｂの上
に固定されている。このため誘導加熱により加熱された
前記黒鉛筒状体３４の熱が効率良く前記黒鉛ルツボ３６
に伝わり難く、被溶解物３５の溶解に時間がかかる。ま
た、前記黒鉛ルツボ３６を断熱材３３ｂの上に固定して
いるため、前記黒鉛ルツボ装置３０の可動中に不安定に
なり易く前記黒鉛ルツボ３６が傾き被溶解物３５がこぼ
れることがあるという問題があった。
来の黒鉛ルツボ装置３０にあっては、前記黒鉛ルツボ３
６は前記黒鉛筒状体３４と隙間を保ち断熱材３３ｂの上
に固定されている。このため誘導加熱により加熱された
前記黒鉛筒状体３４の熱が効率良く前記黒鉛ルツボ３６
に伝わり難く、被溶解物３５の溶解に時間がかかる。ま
た、前記黒鉛ルツボ３６を断熱材３３ｂの上に固定して
いるため、前記黒鉛ルツボ装置３０の可動中に不安定に
なり易く前記黒鉛ルツボ３６が傾き被溶解物３５がこぼ
れることがあるという問題があった。
【０００４】本発明は上記問題に対処するためになされ
たもので、その目的は、被溶解物を収容した黒鉛ルツボ
を高効率で加熱することができ、更に前記黒鉛ルツボを
安定して拘持することができる黒鉛ルツボ装置を提供す
ることにある。
たもので、その目的は、被溶解物を収容した黒鉛ルツボ
を高効率で加熱することができ、更に前記黒鉛ルツボを
安定して拘持することができる黒鉛ルツボ装置を提供す
ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の構成上の特徴は、被溶解物を収容するため
の黒鉛ルツボと、前記黒鉛ルツボの外側に配設した被誘
導加熱部材と、前記被誘導加熱部材の周囲に配設した誘
導コイルとから構成される黒鉛ルツボ装置において、前
記被誘導加熱部材を円筒形状あるいはルツボ形状に形成
するとともに、前記黒鉛ルツボの外周側面と前記被誘導
加熱部材の内周側面とをテーパー形状にして嵌合させ、
前記黒鉛ルツボを前記被誘導加熱部材が支持するように
したことにある。
に、本発明の構成上の特徴は、被溶解物を収容するため
の黒鉛ルツボと、前記黒鉛ルツボの外側に配設した被誘
導加熱部材と、前記被誘導加熱部材の周囲に配設した誘
導コイルとから構成される黒鉛ルツボ装置において、前
記被誘導加熱部材を円筒形状あるいはルツボ形状に形成
するとともに、前記黒鉛ルツボの外周側面と前記被誘導
加熱部材の内周側面とをテーパー形状にして嵌合させ、
前記黒鉛ルツボを前記被誘導加熱部材が支持するように
したことにある。
【０００６】
【発明の作用及び効果】上記のように構成した本発明の
黒鉛ルツボ装置においては、被溶解物を収容するための
黒鉛ルツボの少なくとも外周側面と、円筒形状あるいは
ルツボ形状である被誘導加熱部材の内周側面とをテーパ
ー形状にして嵌合させた。このため被誘導加熱部材が誘
導発熱すると前記黒鉛ルツボを効率良く加熱することが
でき、短時間で前記黒鉛ルツボ内部の被溶解物を溶解さ
せることができる。また、前記黒鉛ルツボと前記被誘導
加熱部材との間の隙間が無くなることから生じる前記黒
鉛ルツボの脱着性を、前記テーパー形状で嵌合させたこ
とで、低下させることなく前記黒鉛ルツボを被誘導加熱
部材が安定、支持することができる。この結果、定期的
な点検、交換が必要となる前記黒鉛ルツボのメンテナン
スを容易にすることができ、前記黒鉛ルツボ装置の可動
率を上げることができ生産性を向上させることができ
た。
黒鉛ルツボ装置においては、被溶解物を収容するための
黒鉛ルツボの少なくとも外周側面と、円筒形状あるいは
ルツボ形状である被誘導加熱部材の内周側面とをテーパ
ー形状にして嵌合させた。このため被誘導加熱部材が誘
導発熱すると前記黒鉛ルツボを効率良く加熱することが
でき、短時間で前記黒鉛ルツボ内部の被溶解物を溶解さ
せることができる。また、前記黒鉛ルツボと前記被誘導
加熱部材との間の隙間が無くなることから生じる前記黒
鉛ルツボの脱着性を、前記テーパー形状で嵌合させたこ
とで、低下させることなく前記黒鉛ルツボを被誘導加熱
部材が安定、支持することができる。この結果、定期的
な点検、交換が必要となる前記黒鉛ルツボのメンテナン
スを容易にすることができ、前記黒鉛ルツボ装置の可動
率を上げることができ生産性を向上させることができ
た。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づき説明する。 実施例１
【０００８】図１は本発明の実施例に係る黒鉛ルツボ装
置１０の概略断面構造を示している。この黒鉛ルツボ装
置１０は、被溶解物１１を収容するための黒鉛ルツボ１
２と、前記黒鉛ルツボ１２を嵌合、支持するための被誘
導加熱部材である黒鉛円筒部材１３と、前記黒鉛円筒部
材１３を内部に収容し、外周に誘導コイル１４を配設し
た耐火ルツボ１５と、前記黒鉛ルツボ１２及び黒鉛円筒
部材１３と耐火ルツボ１５の間の断熱材１６とを備えて
いる。
置１０の概略断面構造を示している。この黒鉛ルツボ装
置１０は、被溶解物１１を収容するための黒鉛ルツボ１
２と、前記黒鉛ルツボ１２を嵌合、支持するための被誘
導加熱部材である黒鉛円筒部材１３と、前記黒鉛円筒部
材１３を内部に収容し、外周に誘導コイル１４を配設し
た耐火ルツボ１５と、前記黒鉛ルツボ１２及び黒鉛円筒
部材１３と耐火ルツボ１５の間の断熱材１６とを備えて
いる。
【０００９】この黒鉛ルツボ装置１０において、前記黒
鉛ルツボ１２は、厚さ約３ｍｍで外周側面を５度のテー
パー形状に成形したガラス状炭素から形成される。また
前記黒鉛円筒部材１３は、厚さ約７ｍｍで、前記黒鉛ル
ツボ１２の外周側面１７テーパーと嵌合するようにし
て、被誘導加熱部材として優れた等方性黒鉛から形成さ
れる。次に、耐火ルツボ１５は、多孔質アルミナから形
成し、外周に図示していない高周波電源に接続された誘
導コイル１４を配設してなる。
鉛ルツボ１２は、厚さ約３ｍｍで外周側面を５度のテー
パー形状に成形したガラス状炭素から形成される。また
前記黒鉛円筒部材１３は、厚さ約７ｍｍで、前記黒鉛ル
ツボ１２の外周側面１７テーパーと嵌合するようにし
て、被誘導加熱部材として優れた等方性黒鉛から形成さ
れる。次に、耐火ルツボ１５は、多孔質アルミナから形
成し、外周に図示していない高周波電源に接続された誘
導コイル１４を配設してなる。
【００１０】そして、前記耐火ルツボ１５の内部に、前
記黒鉛円筒部材１３を収容し、その間にカーボファイバ
ーとアルミナセメントを充填することで前記黒鉛円筒部
材１３を耐火ルツボ１５内に固定した。次いでこの前記
黒鉛円筒部材１３に被溶解物を収容した前記黒鉛ルツボ
１２を、脱着自在に支持されるよう嵌合させた。
記黒鉛円筒部材１３を収容し、その間にカーボファイバ
ーとアルミナセメントを充填することで前記黒鉛円筒部
材１３を耐火ルツボ１５内に固定した。次いでこの前記
黒鉛円筒部材１３に被溶解物を収容した前記黒鉛ルツボ
１２を、脱着自在に支持されるよう嵌合させた。
【００１１】耐火ルツボ１５は、非導電性であることが
好ましく、断熱材１６は、炭素繊維の他に炭素粒子（カ
ーボンブラック）や無機物質（アルミナ繊維など）であ
ってもよい。また前記黒鉛円筒部材１３は、異方性黒鉛
であってもよい。
好ましく、断熱材１６は、炭素繊維の他に炭素粒子（カ
ーボンブラック）や無機物質（アルミナ繊維など）であ
ってもよい。また前記黒鉛円筒部材１３は、異方性黒鉛
であってもよい。
【００１２】上記のように構成した黒鉛ルツボ装置１０
に、図示していない高周波電源より適宜の高周波電流を
供給すると前記黒鉛円筒部材１３のに誘導電流が流れ、
発熱する。これに伴って、前記ガラス状炭素からなる黒
鉛ルツボ１２が加熱され、収容された被溶解物１１が溶
解する。
に、図示していない高周波電源より適宜の高周波電流を
供給すると前記黒鉛円筒部材１３のに誘導電流が流れ、
発熱する。これに伴って、前記ガラス状炭素からなる黒
鉛ルツボ１２が加熱され、収容された被溶解物１１が溶
解する。
【００１３】次に、本発明に係るガラス状炭素からなる
黒鉛ルツボ１２の製造要領を説明する。第一に、前記ガ
ラス状炭素からなる黒鉛ルツボ１２は、フェーノール樹
脂あるいはフルフリルアルコール樹脂など熱硬化性樹脂
もしくは熱硬化性樹脂の材料（例えばフルフルリアルコ
ールなど）を出発材料として製造する。すなわち、たと
えばフェノール樹脂を出発材料として作成する場合、そ
の粉末を加熱しつつ加圧成形してルツボ形状の成形体を
作成する。またフルフリルアルコールを出発材料とする
場合、それを必要に応じ触媒とともに金属成形型に収容
し硬化せしめてルツボ形状の成形体を作成する。そして
上記それぞれのルツボ状の成形体を、不活性ガス雰囲気
中で炭化し必要に応じて加工し、加熱処理することによ
り、前記ガラス状炭素からなる黒鉛ルツボ１２を製造す
る。
黒鉛ルツボ１２の製造要領を説明する。第一に、前記ガ
ラス状炭素からなる黒鉛ルツボ１２は、フェーノール樹
脂あるいはフルフリルアルコール樹脂など熱硬化性樹脂
もしくは熱硬化性樹脂の材料（例えばフルフルリアルコ
ールなど）を出発材料として製造する。すなわち、たと
えばフェノール樹脂を出発材料として作成する場合、そ
の粉末を加熱しつつ加圧成形してルツボ形状の成形体を
作成する。またフルフリルアルコールを出発材料とする
場合、それを必要に応じ触媒とともに金属成形型に収容
し硬化せしめてルツボ形状の成形体を作成する。そして
上記それぞれのルツボ状の成形体を、不活性ガス雰囲気
中で炭化し必要に応じて加工し、加熱処理することによ
り、前記ガラス状炭素からなる黒鉛ルツボ１２を製造す
る。
【００１４】次に、等方性黒鉛円筒部材１３の製造要領
を説明する。等方性黒鉛円筒部材１３は、ピッチを含む
炭素の微粒子を冷間静水圧プレスによりブロック形状に
加圧成形する。そして、その成形体を不活性雰囲気中で
焼結させ等方性黒鉛ブロックを得る。そして、前記等方
性黒鉛ブロックを、ＮＣ旋盤にてルツボ形状に切削加工
し黒鉛円筒部材１３を製作した。このとき黒鉛円筒部材
１３の内周側面１８は前記黒鉛ルツボ１２の外周側面１
７と嵌合し、支持するようテーパ形状に加工した。
を説明する。等方性黒鉛円筒部材１３は、ピッチを含む
炭素の微粒子を冷間静水圧プレスによりブロック形状に
加圧成形する。そして、その成形体を不活性雰囲気中で
焼結させ等方性黒鉛ブロックを得る。そして、前記等方
性黒鉛ブロックを、ＮＣ旋盤にてルツボ形状に切削加工
し黒鉛円筒部材１３を製作した。このとき黒鉛円筒部材
１３の内周側面１８は前記黒鉛ルツボ１２の外周側面１
７と嵌合し、支持するようテーパ形状に加工した。
【００１５】アルミニウム塊を約１４５０℃に溶解させ
シート紙材表面に連続的に蒸着させることに、本発明
の、ガラス状炭素からなる黒鉛ルツボ１２の外周側面１
７と黒鉛円筒部材１３の内周側面１８とをテーパーで嵌
合させ支持した黒鉛ルツボ装置１０と、ガラス状炭素か
らなる黒鉛ルツボ３６とその外周に所定の隙間を保ち配
設された黒鉛円筒部材３４を備えた従来技術による黒鉛
ルツボ装置３０とを用いて被溶解物の加熱、冷却のサイ
クルを繰り返し、その結果を表１に示した。
シート紙材表面に連続的に蒸着させることに、本発明
の、ガラス状炭素からなる黒鉛ルツボ１２の外周側面１
７と黒鉛円筒部材１３の内周側面１８とをテーパーで嵌
合させ支持した黒鉛ルツボ装置１０と、ガラス状炭素か
らなる黒鉛ルツボ３６とその外周に所定の隙間を保ち配
設された黒鉛円筒部材３４を備えた従来技術による黒鉛
ルツボ装置３０とを用いて被溶解物の加熱、冷却のサイ
クルを繰り返し、その結果を表１に示した。
【００１６】
【表１】
【００１７】この結果によると、本発明の黒鉛ルツボ装
置１０は、従来の前記黒鉛ルツボ装置３０に対し短時間
でアルミニウム塊を１４５０℃までに溶解させることが
でき、サイクルタイムの短縮による生産性の向上及び消
費電力の低減を可能とした。又、そのときの黒鉛ルツボ
１２の内部はより均一に加熱され、前記内側黒鉛ルツボ
１２内の溶融したアルミニウムの残留を少なくすること
ができ、材料の歩留まりを改善することができた。
置１０は、従来の前記黒鉛ルツボ装置３０に対し短時間
でアルミニウム塊を１４５０℃までに溶解させることが
でき、サイクルタイムの短縮による生産性の向上及び消
費電力の低減を可能とした。又、そのときの黒鉛ルツボ
１２の内部はより均一に加熱され、前記内側黒鉛ルツボ
１２内の溶融したアルミニウムの残留を少なくすること
ができ、材料の歩留まりを改善することができた。
【００１８】さらに、被溶解物１１を収容するための黒
鉛ルツボ１２の外周側面１７と黒鉛円筒部材１３の内周
側面１８を、テーパー形状で嵌合させていることから定
期的なメンテナンスを必要とする黒鉛ルツボ１２を容易
に脱着自在とすることができ、作業性を大幅に向上させ
ることができた。
鉛ルツボ１２の外周側面１７と黒鉛円筒部材１３の内周
側面１８を、テーパー形状で嵌合させていることから定
期的なメンテナンスを必要とする黒鉛ルツボ１２を容易
に脱着自在とすることができ、作業性を大幅に向上させ
ることができた。
【００１９】実施例２ 図２は、本発明の第二の実施例に係る黒鉛ルツボ装置２
０の概略断面構造を示している。この黒鉛黒鉛ルツボ装
置２０は、被溶解物２１を収容するための内側黒鉛ルツ
ボ２２と、被誘導加熱部材としての外側黒鉛ルツボ２３
と、外周に誘導コイル２４を配設した耐火ルツボ２５
と、前記外側黒鉛ルツボ２３と耐火ルツボ２５の間の断
熱材２６とを備えている。
０の概略断面構造を示している。この黒鉛黒鉛ルツボ装
置２０は、被溶解物２１を収容するための内側黒鉛ルツ
ボ２２と、被誘導加熱部材としての外側黒鉛ルツボ２３
と、外周に誘導コイル２４を配設した耐火ルツボ２５
と、前記外側黒鉛ルツボ２３と耐火ルツボ２５の間の断
熱材２６とを備えている。
【００２０】この黒鉛ルツボ装置２０において、前記内
側黒鉛ルツボ２２は、厚さ約３ｍｍで外周側面２７を５
度のテーパーにし、ガラス状炭素から形成した。また前
記外側黒鉛ルツボ２３は、厚さ約５ｍｍで、前記内側黒
鉛ルツボ２２の外周側面２７テーパーと前記外側黒鉛ル
ツボ２３の内周側面２８とが嵌合するようし、被誘導加
熱部材として優れた等方性黒鉛から形成した。次に、外
周に図示していない高周波電源に接続された誘導コイル
２４を配設してなる耐火ルツボ２５を、多孔質アルミナ
から形成した。
側黒鉛ルツボ２２は、厚さ約３ｍｍで外周側面２７を５
度のテーパーにし、ガラス状炭素から形成した。また前
記外側黒鉛ルツボ２３は、厚さ約５ｍｍで、前記内側黒
鉛ルツボ２２の外周側面２７テーパーと前記外側黒鉛ル
ツボ２３の内周側面２８とが嵌合するようし、被誘導加
熱部材として優れた等方性黒鉛から形成した。次に、外
周に図示していない高周波電源に接続された誘導コイル
２４を配設してなる耐火ルツボ２５を、多孔質アルミナ
から形成した。
【００２１】そして、前記耐火ルツボ２５の内部に、前
記外側黒鉛ルツボ２３を収容し、その間にカーボファイ
バーとアルミナセメントを充填することで前記外側黒鉛
ルツボ２３を耐火ルツボ２５に固定した。次いでこの前
記外側黒鉛ルツボ２３に被溶解物２１を収容した前記黒
鉛ルツボ２２を、脱着自在に支持されるよう嵌合、装着
させた。
記外側黒鉛ルツボ２３を収容し、その間にカーボファイ
バーとアルミナセメントを充填することで前記外側黒鉛
ルツボ２３を耐火ルツボ２５に固定した。次いでこの前
記外側黒鉛ルツボ２３に被溶解物２１を収容した前記黒
鉛ルツボ２２を、脱着自在に支持されるよう嵌合、装着
させた。
【００２２】上記のように構成した黒鉛ルツボ装置２０
に、図示していない高周波電源により誘導電流を適宜に
供給すると前記外側黒鉛ルツボ２３に誘導電流が流れ、
発熱する。これに伴って、前記ガラス状炭素からなる内
側黒鉛ルツボ２２が加熱され、収容した被溶解物２１が
溶解する。
に、図示していない高周波電源により誘導電流を適宜に
供給すると前記外側黒鉛ルツボ２３に誘導電流が流れ、
発熱する。これに伴って、前記ガラス状炭素からなる内
側黒鉛ルツボ２２が加熱され、収容した被溶解物２１が
溶解する。
【００２３】次に、本実施例の黒鉛ルツボ装置２０を、
前述の実施例１と同様、アルミニウムを溶解、蒸着させ
ることに供して、従来の前記黒鉛ルツボ装置３０と比較
した。この結果、本発明の黒鉛ルツボ装置２０は、前述
の実施例１と同様の効果を得ることができたことに加
え、前記ガラス状炭素からなる内側黒鉛ルツボ２２が破
壊しても溶解物２１が外側黒鉛ルツボ２３より流出しな
く黒鉛ルツボ装置２０の信頼性を高めることができた。
前述の実施例１と同様、アルミニウムを溶解、蒸着させ
ることに供して、従来の前記黒鉛ルツボ装置３０と比較
した。この結果、本発明の黒鉛ルツボ装置２０は、前述
の実施例１と同様の効果を得ることができたことに加
え、前記ガラス状炭素からなる内側黒鉛ルツボ２２が破
壊しても溶解物２１が外側黒鉛ルツボ２３より流出しな
く黒鉛ルツボ装置２０の信頼性を高めることができた。
【図１】図１は、本発明による円筒状の被誘導加熱部材
とガラス状炭素からなる黒鉛ルツボとを備えた黒鉛ルツ
ボ装置を説明するための概略正断面図である。
とガラス状炭素からなる黒鉛ルツボとを備えた黒鉛ルツ
ボ装置を説明するための概略正断面図である。
【図２】図２は、本発明によるルツボ状の被誘導加熱部
材と、その内部に嵌合する黒鉛ルツボとを備えた黒鉛ル
ツボ装置を説明するための概略正断面図である。
材と、その内部に嵌合する黒鉛ルツボとを備えた黒鉛ル
ツボ装置を説明するための概略正断面図である。
【図３】図３は、従来技術による黒鉛ルツボ装置を説明
するための概略正断面図である。
するための概略正断面図である。
１０・・・黒鉛ルツボ装置 １１・・・被溶解物 １２・・・黒鉛ルツボ １３・・・被誘導加熱部材 １４・・・誘導コイル １５・・・耐火ルツボ １６・・・断熱材 １７・・・黒鉛ルツボの外周側面 １８・・・被誘導加熱部材の内周側面
Claims (2)
- 【請求項１】 被溶解物を収容するための黒鉛ルツボ
と、前記黒鉛ルツボの外側に配設した被誘導加熱部材
と、前記被誘導加熱部材の周囲に配設した誘導コイルと
から構成される黒鉛ルツボ装置において、前記被誘導加
熱部材が円筒形状あるいはルツボ形状に形成されてお
り、かつ前記黒鉛ルツボの外周側面と前記被誘導加熱部
材の内周側面とがテーパー形状で嵌合されてなることを
特徴とする黒鉛ルツボ装置。 - 【請求項２】 記黒鉛ルツボが、前記被誘導加熱部材に
より支持されていることを特徴とする請求項１に記載の
黒鉛ルツボ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9558294A JPH07278802A (ja) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | 黒鉛ルツボ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9558294A JPH07278802A (ja) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | 黒鉛ルツボ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07278802A true JPH07278802A (ja) | 1995-10-24 |
Family
ID=14141590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9558294A Pending JPH07278802A (ja) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | 黒鉛ルツボ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07278802A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100666575B1 (ko) * | 2005-01-31 | 2007-01-09 | 삼성에스디아이 주식회사 | 증발원 및 이를 이용한 증착 장치 |
| KR100700649B1 (ko) * | 2005-01-31 | 2007-03-27 | 삼성에스디아이 주식회사 | 증발원 및 증착장치 |
| JP2011060865A (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-24 | Optorun Co Ltd | リニア蒸着源とその使用方法、成膜装置並びに成膜方法 |
| CN102080931A (zh) * | 2010-12-21 | 2011-06-01 | 黄喜锤 | 铝压铸用高频感应熔铝炉 |
| KR101455851B1 (ko) * | 2013-04-24 | 2014-10-28 | 한국생산기술연구원 | 이중 도가니를 포함하는 용해로 시스템 |
| CN108130513A (zh) * | 2017-12-14 | 2018-06-08 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 蒸镀装置及蒸镀方法 |
-
1994
- 1994-04-07 JP JP9558294A patent/JPH07278802A/ja active Pending
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