JPH07280503A - 表面皮膜厚測定装置 - Google Patents
表面皮膜厚測定装置Info
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- JPH07280503A JPH07280503A JP6617194A JP6617194A JPH07280503A JP H07280503 A JPH07280503 A JP H07280503A JP 6617194 A JP6617194 A JP 6617194A JP 6617194 A JP6617194 A JP 6617194A JP H07280503 A JPH07280503 A JP H07280503A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 走行する金属帯等の表面皮膜の厚さを測定す
る装置を提供する。 【構成】 金属帯４の表面皮膜５に電極を接触させて静
電容量を計測し表面皮膜の厚さを測定する静電容量型の
表面皮膜厚測定装置において、少なくとも１つの電極１
の構造が回転可能な円筒型であることを特徴とする表面
皮膜厚測定装置。更に、電極１が２つ備えられているこ
とを特徴とする表面皮膜厚測定装置。 【効果】 走行中の金属帯に電極を接触させることによ
り、オンラインで静電容量方式の表面皮膜厚の測定が可
能となる。
る装置を提供する。 【構成】 金属帯４の表面皮膜５に電極を接触させて静
電容量を計測し表面皮膜の厚さを測定する静電容量型の
表面皮膜厚測定装置において、少なくとも１つの電極１
の構造が回転可能な円筒型であることを特徴とする表面
皮膜厚測定装置。更に、電極１が２つ備えられているこ
とを特徴とする表面皮膜厚測定装置。 【効果】 走行中の金属帯に電極を接触させることによ
り、オンラインで静電容量方式の表面皮膜厚の測定が可
能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、走行する金属帯等の
表面に塗布された絶縁性の表面皮膜の厚さを測定するた
めの装置に関する。
表面に塗布された絶縁性の表面皮膜の厚さを測定するた
めの装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属帯等の導電性材料の表面に塗布され
た絶縁性の表面皮膜の厚さを測定する手法としては、各
種の手法が提案されている。それらの中でも、静電容量
の計測技術を応用した手法は、簡便なため広く用いられ
ている。これは、平板状の電極を被検体の表面皮膜に接
触させ、被検体の本体（金属帯等）をもう一方の電極と
見立て、これら２つの電極の間の静電容量を計測するも
のである。
た絶縁性の表面皮膜の厚さを測定する手法としては、各
種の手法が提案されている。それらの中でも、静電容量
の計測技術を応用した手法は、簡便なため広く用いられ
ている。これは、平板状の電極を被検体の表面皮膜に接
触させ、被検体の本体（金属帯等）をもう一方の電極と
見立て、これら２つの電極の間の静電容量を計測するも
のである。
【０００３】図３は、従来の測定装置の構成を示す図で
ある。図中、１は電極、４は金属帯、５は表面皮膜、６
は静電容量計測端子をそれぞれ示す。ここで、被検体と
なる金属帯４（および金属帯の表面皮膜５）は、平板状
の電極１より十分大きく採取する。平板状の電極１の接
触面積をＳ、皮膜５の比誘電率をε、真空（空気）の誘
電率をε0 、計測された静電容量をＣとすれば、皮膜５
の厚さｔは、 ｔ＝ε・ε0 ・Ｓ／Ｃ と表される。皮膜５の比誘電率εが既知であれば、この
式より皮膜５の厚さｔが計算できる。
ある。図中、１は電極、４は金属帯、５は表面皮膜、６
は静電容量計測端子をそれぞれ示す。ここで、被検体と
なる金属帯４（および金属帯の表面皮膜５）は、平板状
の電極１より十分大きく採取する。平板状の電極１の接
触面積をＳ、皮膜５の比誘電率をε、真空（空気）の誘
電率をε0 、計測された静電容量をＣとすれば、皮膜５
の厚さｔは、 ｔ＝ε・ε0 ・Ｓ／Ｃ と表される。皮膜５の比誘電率εが既知であれば、この
式より皮膜５の厚さｔが計算できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来技術は、安価で比
較的精度の高い方法であるが、これを金属帯の製造ライ
ンのように、走行する金属帯の表面皮膜の測定に適用す
るのは困難である。
較的精度の高い方法であるが、これを金属帯の製造ライ
ンのように、走行する金属帯の表面皮膜の測定に適用す
るのは困難である。
【０００５】まず、走行する金属帯表面に電極を接触さ
せるためには、電極を金属帯の走行に完全に追随させる
必要があり、そのための機構および駆動装置が複雑とな
る。また、仮に追随装置を作成しても、金属帯表面と電
極の間に僅かでも隙間があると静電容量が低下し、表面
皮膜厚さが過大に測定されることになる。
せるためには、電極を金属帯の走行に完全に追随させる
必要があり、そのための機構および駆動装置が複雑とな
る。また、仮に追随装置を作成しても、金属帯表面と電
極の間に僅かでも隙間があると静電容量が低下し、表面
皮膜厚さが過大に測定されることになる。
【０００６】次に、走行する金属帯と小さいギャップを
あけて対向させることも考えられるが、ギャップを一定
に保つことは困難である。それは、一般に、金属帯を走
行させる製造ラインでは、バタツキ又はライン振動と呼
ばれる金属帯の振動が避けられないことによる。また、
このライン振動は金属帯の張力や走行速度によっては、
振幅が拡大することがあり、測定はおろか検出器自体が
損傷する可能性があるので、結局のところ実用性に乏し
い。
あけて対向させることも考えられるが、ギャップを一定
に保つことは困難である。それは、一般に、金属帯を走
行させる製造ラインでは、バタツキ又はライン振動と呼
ばれる金属帯の振動が避けられないことによる。また、
このライン振動は金属帯の張力や走行速度によっては、
振幅が拡大することがあり、測定はおろか検出器自体が
損傷する可能性があるので、結局のところ実用性に乏し
い。
【０００７】この発明は、従来技術を走行する金属帯に
適用する場合予想されるこれらの問題を解決し、オンラ
インで適用可能な表面皮膜の測定装置を提供する。
適用する場合予想されるこれらの問題を解決し、オンラ
インで適用可能な表面皮膜の測定装置を提供する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、金属
帯の表面皮膜に電極を接触させて静電容量を計測し表面
皮膜の厚さを測定する静電容量型の表面皮膜厚測定装置
において、少なくとも１つの電極の構造が回転可能な円
筒型であることを特徴とする表面皮膜厚測定装置であ
る。請求項２の発明は、請求項１の発明において、電極
を２つ備えていることを特徴とする表面皮膜厚測定装置
である。
帯の表面皮膜に電極を接触させて静電容量を計測し表面
皮膜の厚さを測定する静電容量型の表面皮膜厚測定装置
において、少なくとも１つの電極の構造が回転可能な円
筒型であることを特徴とする表面皮膜厚測定装置であ
る。請求項２の発明は、請求項１の発明において、電極
を２つ備えていることを特徴とする表面皮膜厚測定装置
である。
【０００９】
【作用】この発明では、円筒型の電極を金属帯の表面皮
膜に接触させると、電極は回転し、金属帯の走行中でも
電極と金属帯の幾何学的な位置関係が、常に一定に保た
れる。電極と金属帯は表面皮膜を挟む静電容量を構成し
ており、その値は、表面皮膜の厚さと誘電率（比誘電
率）により決まる。この静電容量は、表面皮膜の誘電率
が一定であれば、表面皮膜の厚さと一対一に対応する。
従って、この静電容量を計測することにより、表面皮膜
の厚さが測定できる。
膜に接触させると、電極は回転し、金属帯の走行中でも
電極と金属帯の幾何学的な位置関係が、常に一定に保た
れる。電極と金属帯は表面皮膜を挟む静電容量を構成し
ており、その値は、表面皮膜の厚さと誘電率（比誘電
率）により決まる。この静電容量は、表面皮膜の誘電率
が一定であれば、表面皮膜の厚さと一対一に対応する。
従って、この静電容量を計測することにより、表面皮膜
の厚さが測定できる。
【００１０】請求項２の発明は、円筒型の電極を２つ備
えているので、走行する金属帯の本体の金属部を電気的
に接続せずに静電容量を計測できる。この発明では、金
属帯とこれらの２つの電極により構成される２つの静電
容量は、電気回路的には金属帯により直列に接続されて
いる。これら２つの静電容量は、表面皮膜の誘電率が一
定であれば、表面皮膜の厚さと一対一に対応するので、
これらを直列に接続した合成の静電容量も、表面皮膜の
厚さと一対一に対応する。
えているので、走行する金属帯の本体の金属部を電気的
に接続せずに静電容量を計測できる。この発明では、金
属帯とこれらの２つの電極により構成される２つの静電
容量は、電気回路的には金属帯により直列に接続されて
いる。これら２つの静電容量は、表面皮膜の誘電率が一
定であれば、表面皮膜の厚さと一対一に対応するので、
これらを直列に接続した合成の静電容量も、表面皮膜の
厚さと一対一に対応する。
【００１１】
【実施例】図１は、発明の測定装置の１実施例を示す図
である。図中、１は電極、２は集電子、３は慴動子、４
は金属帯、５は表面皮膜、６は計測端子、１０は静電容
量計測装置、１１は交流電源、１２、１３は第１、第２
の乗算器、１４、１５は第１、第２の積分器、１６は除
算器、１７は参照用インピーダンス、１８は移相器をそ
れぞれ示す。
である。図中、１は電極、２は集電子、３は慴動子、４
は金属帯、５は表面皮膜、６は計測端子、１０は静電容
量計測装置、１１は交流電源、１２、１３は第１、第２
の乗算器、１４、１５は第１、第２の積分器、１６は除
算器、１７は参照用インピーダンス、１８は移相器をそ
れぞれ示す。
【００１２】電極１にはそれぞれ集電子２が取り付けら
れており、集電子２は慴動子３と接触している。慴動子
３は計測端子６に接続されており、このようにして電極
１と計測端子６が電気的に接続されている。電極１を金
属帯４の表面皮膜５に接触させた状態で、計測端子６の
静電容量を静電容量計測装置１０で計測する。
れており、集電子２は慴動子３と接触している。慴動子
３は計測端子６に接続されており、このようにして電極
１と計測端子６が電気的に接続されている。電極１を金
属帯４の表面皮膜５に接触させた状態で、計測端子６の
静電容量を静電容量計測装置１０で計測する。
【００１３】このようにして求めた静電容量Ｃから表面
皮膜の厚さｔを測定するには、両者の関係を予め実測し
て求めておくのがよいが、理論的に扱ってもよい。図２
ａ，ｂは、電極と金属帯とで構成される静電場を考える
ための模式図である。まず、図２ａは、金属帯とそれぞ
れの電極の幾何学的配置を示す。一方の電極の周辺の電
場に着目すると、金属帯は導体なので電位は等しい。従
って、金属帯４と表面皮膜５の界面は、等電位面とな
る。他の電極についても同様に金属帯４と表面皮膜５の
界面が等電位面となる。
皮膜の厚さｔを測定するには、両者の関係を予め実測し
て求めておくのがよいが、理論的に扱ってもよい。図２
ａ，ｂは、電極と金属帯とで構成される静電場を考える
ための模式図である。まず、図２ａは、金属帯とそれぞ
れの電極の幾何学的配置を示す。一方の電極の周辺の電
場に着目すると、金属帯は導体なので電位は等しい。従
って、金属帯４と表面皮膜５の界面は、等電位面とな
る。他の電極についても同様に金属帯４と表面皮膜５の
界面が等電位面となる。
【００１４】図２ｂは、これら２つの電極に関する等電
位面の位置で、背中合わせにした配置図である。図中、
４５は等電位面を示す。結局、この図のように、２つの
電極の間に厚さ２ｔの誘電体が挟まれた配置について、
電場を考えればよいことになる。
位面の位置で、背中合わせにした配置図である。図中、
４５は等電位面を示す。結局、この図のように、２つの
電極の間に厚さ２ｔの誘電体が挟まれた配置について、
電場を考えればよいことになる。
【００１５】表面皮膜の厚さをｔ、その比誘電率をεと
すると、厚さ２ｔで比誘電率εの誘電体は、静電容量と
しては厚さ２ｔ／εの真空（空気）と等価である。従っ
て、隙間２ｔ／εを隔てて配置された直径Ｄ、幅Ｌの２
つの円筒状の導体の間の静電容量を求めればよいことに
なる。
すると、厚さ２ｔで比誘電率εの誘電体は、静電容量と
しては厚さ２ｔ／εの真空（空気）と等価である。従っ
て、隙間２ｔ／εを隔てて配置された直径Ｄ、幅Ｌの２
つの円筒状の導体の間の静電容量を求めればよいことに
なる。
【００１６】電極の幅（Ｌとする）が直径（Ｄとする）
より十分大きく、電場が２次元電場とみなせる場合即ち
長さが無限の円筒については、２つの円筒の間の静電容
量Ｃは理論的に求まり、Ｘ＝ｔ／（ε・Ｄ）と表すと、 Ｃ＝π・ε0 ・Ｌ／ｌｎ〔１＋Ｘ＋(2Ｘ＋Ｘ2)1/2 〕 となる。従って、静電容量ＣからＸを求め、ｔを計算す
ることができる。
より十分大きく、電場が２次元電場とみなせる場合即ち
長さが無限の円筒については、２つの円筒の間の静電容
量Ｃは理論的に求まり、Ｘ＝ｔ／（ε・Ｄ）と表すと、 Ｃ＝π・ε0 ・Ｌ／ｌｎ〔１＋Ｘ＋(2Ｘ＋Ｘ2)1/2 〕 となる。従って、静電容量ＣからＸを求め、ｔを計算す
ることができる。
【００１７】また、通常、表面皮膜の厚さｔは数１０μ
ｍに対し、電極の径Ｄは数１０ｍｍ以上であり、ｔ＜＜
Ｄであるから、更に近似を進めて、 Ｃ＝π・ε・ε0 ・Ｌ・Ｄ／ｔ としてもよい。
ｍに対し、電極の径Ｄは数１０ｍｍ以上であり、ｔ＜＜
Ｄであるから、更に近似を進めて、 Ｃ＝π・ε・ε0 ・Ｌ・Ｄ／ｔ としてもよい。
【００１８】なお、２つの電極１、１は金属帯の表面皮
膜５に確実に接触している必要がある。そのためには、
ガイドロール等で金属帯の表面皮膜を電極に接触させれ
ばよい。その際、金属帯が電極に巻き付くようになる
と、金属帯の表面皮膜と電極が面接触することになり静
電容量が変わるので、静電容量による表面皮膜厚の測定
が不可能となる。また、測定精度以外の問題として、電
極に大きな力がかかり装置が破損する危険性もある。
膜５に確実に接触している必要がある。そのためには、
ガイドロール等で金属帯の表面皮膜を電極に接触させれ
ばよい。その際、金属帯が電極に巻き付くようになる
と、金属帯の表面皮膜と電極が面接触することになり静
電容量が変わるので、静電容量による表面皮膜厚の測定
が不可能となる。また、測定精度以外の問題として、電
極に大きな力がかかり装置が破損する危険性もある。
【００１９】従って、電極は金属帯の表面皮膜と常に線
接触を保つように調整する必要がある。そのためには、
電極の前後にガイドロールを設けたり、電極と抑えロー
ルで金属帯を挟むような配置等、種々の配置が有効であ
る。また、この発明で用いる電極は導体であればよく、
金属帯の表面皮膜と接触する部分が円筒型であれば、中
空であっても中実であってもよい。
接触を保つように調整する必要がある。そのためには、
電極の前後にガイドロールを設けたり、電極と抑えロー
ルで金属帯を挟むような配置等、種々の配置が有効であ
る。また、この発明で用いる電極は導体であればよく、
金属帯の表面皮膜と接触する部分が円筒型であれば、中
空であっても中実であってもよい。
【００２０】なお、このようにして得た計測端子６の静
電容量は、正確には２つの電極の間の静電容量Ｃ0 を加
えたＣ＋Ｃ0 の値であるから、実際はＣ0 の値を差し引
いた値を計測端子６の静電容量Ｃとすればよい。
電容量は、正確には２つの電極の間の静電容量Ｃ0 を加
えたＣ＋Ｃ0 の値であるから、実際はＣ0 の値を差し引
いた値を計測端子６の静電容量Ｃとすればよい。
【００２１】ここで、Ｃ0 は、２つの円筒導体間の静電
容量として計算することもできるが、被検体が無い場合
の計測端子６の静電容量でもある。従って、被検体が無
い場合の計測端子６の静電容量を測定しておき、測定装
置自体の装置定数とするのが最も正確である。但し、電
極間の距離を皮膜厚さに比べてはるかに大きくとれば、
その静電容量Ｃ0 は皮膜の静電容量Ｃに対して無視して
もよい。
容量として計算することもできるが、被検体が無い場合
の計測端子６の静電容量でもある。従って、被検体が無
い場合の計測端子６の静電容量を測定しておき、測定装
置自体の装置定数とするのが最も正確である。但し、電
極間の距離を皮膜厚さに比べてはるかに大きくとれば、
その静電容量Ｃ0 は皮膜の静電容量Ｃに対して無視して
もよい。
【００２２】なお、図１の実施例は電極を２つ用いてい
るが、１つの電極と金属帯の間の静電容量を計測しても
よい。その場合、図１の計測端子６には、１つの電極と
金属帯の金属部本体４を、それぞれ電気的に接続する。
ここで、金属帯の表面皮膜が片面であれば、金属帯は搬
送ロール等でアースされているので、金属帯の電位とし
てアース電位を用いてもよい。また、直接接続しなくて
も、電気的に接続されていればよく、例えば、デフレク
タロール等広い面積で金属帯の表面皮膜と接触するロー
ルと、金属帯との容量結合を利用してもよい。
るが、１つの電極と金属帯の間の静電容量を計測しても
よい。その場合、図１の計測端子６には、１つの電極と
金属帯の金属部本体４を、それぞれ電気的に接続する。
ここで、金属帯の表面皮膜が片面であれば、金属帯は搬
送ロール等でアースされているので、金属帯の電位とし
てアース電位を用いてもよい。また、直接接続しなくて
も、電気的に接続されていればよく、例えば、デフレク
タロール等広い面積で金属帯の表面皮膜と接触するロー
ルと、金属帯との容量結合を利用してもよい。
【００２３】静電容量計測装置については種々の計測装
置があるが、ここでは、簡便で表面皮膜厚さの変動への
応答性の良い回路を用いた。図１で、計測端子６は、参
照用インピーダンス１７を経由して、交流電源１１に接
続されており、計測端子間の静電容量に電流を供給す
る。
置があるが、ここでは、簡便で表面皮膜厚さの変動への
応答性の良い回路を用いた。図１で、計測端子６は、参
照用インピーダンス１７を経由して、交流電源１１に接
続されており、計測端子間の静電容量に電流を供給す
る。
【００２４】計測端子および参照用インピーダンスに
は、それぞれの交流抵抗値（Ｚ，Ｚｒとする）と電流
（Ｉとする）の積（Ｉ・Ｚ，Ｉ・Ｚｒ）に等しい電圧が
発生する。第１および第２の乗算器１２、１３により、
これら２つのの電圧の積（Ｉ2 ・Ｚ・Ｚｒ）およびどち
らか一方の２乗（Ｉ2 ・Ｚ2 又はＩ2 ・Ｚｒ2 ）が出力
として得られる。
は、それぞれの交流抵抗値（Ｚ，Ｚｒとする）と電流
（Ｉとする）の積（Ｉ・Ｚ，Ｉ・Ｚｒ）に等しい電圧が
発生する。第１および第２の乗算器１２、１３により、
これら２つのの電圧の積（Ｉ2 ・Ｚ・Ｚｒ）およびどち
らか一方の２乗（Ｉ2 ・Ｚ2 又はＩ2 ・Ｚｒ2 ）が出力
として得られる。
【００２５】ここで、乗算器１２、１３の出力（Ｉ2 ・
Ｚ・Ｚｒ、Ｉ2 ・Ｚ2 又はＩ2 ・Ｚｒ2 ）について比を
とれば、電流の２乗（Ｉ2 ）が約分され、２つの交流抵
抗値（Ｚ，Ｚｒ）の比が得られる。
Ｚ・Ｚｒ、Ｉ2 ・Ｚ2 又はＩ2 ・Ｚｒ2 ）について比を
とれば、電流の２乗（Ｉ2 ）が約分され、２つの交流抵
抗値（Ｚ，Ｚｒ）の比が得られる。
【００２６】移相器１８および第１および第２の積分器
１４、１５は、交流信号の振幅を求めている。積分器１
４、１５では、電流実効値の２乗（Ｉ2 ）の積分と２つ
の交流抵抗値の積（Ｚ・Ｚｒ）との積、および電流実効
値の２乗（Ｉ2 ）の積分とどちらか一方の２乗（Ｚ2 又
はＺｒ2 ）との積が、積分値として得られる。
１４、１５は、交流信号の振幅を求めている。積分器１
４、１５では、電流実効値の２乗（Ｉ2 ）の積分と２つ
の交流抵抗値の積（Ｚ・Ｚｒ）との積、および電流実効
値の２乗（Ｉ2 ）の積分とどちらか一方の２乗（Ｚ2 又
はＺｒ2 ）との積が、積分値として得られる。
【００２７】除算器１６では、これら２つの積分値の比
を出力するが、電流実効値の２乗（Ｉ2 ）の積分につい
ては約分され、その結果、２つの交流抵抗値の相互の積
とどちらか一方の２乗の比（Ｚ・Ｚｒ／Ｚ2 又はＺ・Ｚ
ｒ／Ｚｒ2 ）が残る。これは更に約分され、結局、除算
器で出力される比は、交流抵抗値の比（Ｚｒ／Ｚ又はＺ
／Ｚｒ）に等しくなる。参照用インピーダンス１７の交
流抵抗（Ｚｒ）は既知であるから、この比から計測端子
６の交流抵抗（Ｚ）が容易にわかり、交流抵抗を静電容
量に換算すれば、表面皮膜の厚さを測定することができ
る。
を出力するが、電流実効値の２乗（Ｉ2 ）の積分につい
ては約分され、その結果、２つの交流抵抗値の相互の積
とどちらか一方の２乗の比（Ｚ・Ｚｒ／Ｚ2 又はＺ・Ｚ
ｒ／Ｚｒ2 ）が残る。これは更に約分され、結局、除算
器で出力される比は、交流抵抗値の比（Ｚｒ／Ｚ又はＺ
／Ｚｒ）に等しくなる。参照用インピーダンス１７の交
流抵抗（Ｚｒ）は既知であるから、この比から計測端子
６の交流抵抗（Ｚ）が容易にわかり、交流抵抗を静電容
量に換算すれば、表面皮膜の厚さを測定することができ
る。
【００２８】図１において、参照用インピーダンス１７
に抵抗器を用いた場合について説明する。計測端子６に
おける電流をＩ、その周波数をω、抵抗器の抵抗値を
Ｒ、計測端子６の静電容量をＣとする。まず、計測端子
６の電圧はＩ／ｊωＣとなり、これが移相器１８により
９０°位相をずらされ、Ｉ／ωＣとなる。次に、参照用
インピーダンス（抵抗器）１７の電圧はＩ・Ｒとなる。
に抵抗器を用いた場合について説明する。計測端子６に
おける電流をＩ、その周波数をω、抵抗器の抵抗値を
Ｒ、計測端子６の静電容量をＣとする。まず、計測端子
６の電圧はＩ／ｊωＣとなり、これが移相器１８により
９０°位相をずらされ、Ｉ／ωＣとなる。次に、参照用
インピーダンス（抵抗器）１７の電圧はＩ・Ｒとなる。
【００２９】これらの電圧が第１、第２の乗算器の入力
となるので、乗算器の出力はそれぞれ、Ｉ2 ・Ｒ／ω
Ｃ、およびＩ2 ・Ｒ2 となる。これより、積分後の出力
の比は１／ωＣ・Ｒとなり、Ｒの値は既知なので表面皮
膜の静電容量Ｃが求まる。
となるので、乗算器の出力はそれぞれ、Ｉ2 ・Ｒ／ω
Ｃ、およびＩ2 ・Ｒ2 となる。これより、積分後の出力
の比は１／ωＣ・Ｒとなり、Ｒの値は既知なので表面皮
膜の静電容量Ｃが求まる。
【００３０】また、参照用インピーダンス１７に、コン
デンサを用いてもよい。その場合、移相器１８の位相の
ずらし量は０°とするか、あるいは移相器自体を省略で
きる。参照用インピーダンス（コンデンサ）の容量をＣ
ｒとすると、その電圧はＩ／ｊωＣｒとなる。
デンサを用いてもよい。その場合、移相器１８の位相の
ずらし量は０°とするか、あるいは移相器自体を省略で
きる。参照用インピーダンス（コンデンサ）の容量をＣ
ｒとすると、その電圧はＩ／ｊωＣｒとなる。
【００３１】この電圧と計測端子６の電圧Ｉ／ｊωＣ
が、第１、第２の乗算器の入力となるので、乗算器の出
力はそれぞれ、位相（電流Ｉに対し９０°のずれ）を除
き、Ｉ 2 ／（ω2 Ｃ・Ｃｒ）、Ｉ2 ／（ω2 Ｃｒ2 ）と
なる。これより、積分後の出力の比はＣｒ／ＣとなりＣ
ｒは既知なので、表面皮膜の静電容量Ｃが求まる。
が、第１、第２の乗算器の入力となるので、乗算器の出
力はそれぞれ、位相（電流Ｉに対し９０°のずれ）を除
き、Ｉ 2 ／（ω2 Ｃ・Ｃｒ）、Ｉ2 ／（ω2 Ｃｒ2 ）と
なる。これより、積分後の出力の比はＣｒ／ＣとなりＣ
ｒは既知なので、表面皮膜の静電容量Ｃが求まる。
【００３２】
【発明の効果】この発明は、回転可能な円筒型の電極を
用いているので、走行中の金属帯の表面皮膜に接触させ
ることにより、オンラインでの表面皮膜厚の測定が可能
となる。
用いているので、走行中の金属帯の表面皮膜に接触させ
ることにより、オンラインでの表面皮膜厚の測定が可能
となる。
【図１】発明の測定装置の１実施例を示す図。
【図２】電極と金属帯とで構成される静電場を考えるた
めの模式図。
めの模式図。
【図３】従来の測定装置の構成を示す図。
１ 電極 ４ 金属帯 ５ 表面皮膜
Claims (2)
- 【請求項１】 金属帯の表面皮膜に電極を接触させて静
電容量を計測し表面皮膜の厚さを測定する静電容量型の
表面皮膜厚測定装置において、少なくとも１つの電極の
構造が回転可能な円筒型であることを特徴とする表面皮
膜厚測定装置。 - 【請求項２】 前記の電極を、２つ備えていることを特
徴とする請求項１の表面皮膜厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6617194A JPH07280503A (ja) | 1994-04-04 | 1994-04-04 | 表面皮膜厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6617194A JPH07280503A (ja) | 1994-04-04 | 1994-04-04 | 表面皮膜厚測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07280503A true JPH07280503A (ja) | 1995-10-27 |
Family
ID=13308142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6617194A Withdrawn JPH07280503A (ja) | 1994-04-04 | 1994-04-04 | 表面皮膜厚測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07280503A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007302929A (ja) * | 2006-05-10 | 2007-11-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆層の厚み計量機構およびそれを用いた被覆層形成装置 |
| JP2008216074A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Yaskawa Electric Corp | 高分子アクチュエータの伸縮量センシング方法および伸縮量センシング装置 |
-
1994
- 1994-04-04 JP JP6617194A patent/JPH07280503A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007302929A (ja) * | 2006-05-10 | 2007-11-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆層の厚み計量機構およびそれを用いた被覆層形成装置 |
| US7946247B2 (en) | 2006-05-10 | 2011-05-24 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Coating layer thickness measurement mechanism and coating layer forming apparatus using the same |
| JP2008216074A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Yaskawa Electric Corp | 高分子アクチュエータの伸縮量センシング方法および伸縮量センシング装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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