JPH0728055A - 液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents

液晶表示装置及びその製造方法

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JPH0728055A
JPH0728055A JP5170280A JP17028093A JPH0728055A JP H0728055 A JPH0728055 A JP H0728055A JP 5170280 A JP5170280 A JP 5170280A JP 17028093 A JP17028093 A JP 17028093A JP H0728055 A JPH0728055 A JP H0728055A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】光源の位置に係わらず視野角が広く、しかも優
れた表示画面で表示欠陥の生じ難い信頼性の高い反射型
液晶表示装置とその製造方法を提供すること。 【構成】走査側電極板1の基板11上にパターン状の金
属薄膜12とこの金属薄膜12を覆って配置された透明
薄膜13との二層から成る電極を備え、他方、信号側電
極板2の基板21上に透明電極25と光散乱層24とを
備える。金属薄膜12からの反射光が光散乱層24で散
乱されるため視野角が増大する。また、金属薄膜12が
透明薄膜13で被覆されているためその劣化を防止して
信頼性が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は反射型液晶表示装置とそ
の製造方法に関し、特に光源の位置によらず視野角を拡
大すると共に優れた表示画面で画面表示の信頼性を向上
させた液晶表示装置とその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶表示装置は、一般に、透明電極を備
える二枚の電極板の間に液晶を挟持させて構成されるも
ので、この透明電極間に電圧を印加して液晶を駆動させ
てこの液晶を透過する光の偏光面を制御し、偏光膜によ
ってその透過・不透過を制御して画面表示するものであ
る。
【0003】そして、このような液晶表示装置の表示に
充分な明るさを得るため、液晶表示装置の面ないし側面
に光源(ランプ)を配置したバックライト型やライトガ
イド型のランプ内蔵式の透過型液晶表示装置が広く利用
されている。
【0004】この透過型液晶表示装置は、ランプによる
電力の消費が大きく、液晶表示装置以外の他の表示装置
(CRT、PDP等)と大差ない消費電力となってお
り、低消費電力でしかも携帯可能であるという液晶表示
装置本来の特徴を損なっている。
【0005】一方、反射型液晶表示装置は、液晶表示装
置の透過光として室内光や外来光を使用するもので、ラ
ンプを内蔵しておらず、低消費電力の理想的な表示装置
となっており、軽量で携帯用としても便利なものであ
る。
【0006】このような反射型液晶表示装置において
は、この表示装置を観察する観察者の位置とは反対側の
電極板(走査側電極板)の基板上の全面に一様に上記室
内光や外来光の反射する金属薄膜を備えるか、あるいは
反射膜を別の基板上の全面に一様に設けて上記基板裏面
に配置することが普通である。例えば、カラー表示液晶
ディスプレイにおいては、上記走査側電極板の基材上に
金属反射膜を設け、この金属反射膜上に、透過光を着色
するカラーフィルター層を介して透明電極を設けて上記
走査側電極板としていた。
【0007】また、金属反射膜を、液晶駆動のための上
記電極と同一パターンに構成し、この液晶駆動用電極と
して利用する方法も提案されている。
【0008】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、走査
側電極板の基板上の全面に一様に金属反射膜を備える背
面電極板においては、上記カラーフィルター層の微小欠
陥を通して金属反射膜と透明電極との導通が生じやす
く、複数の透明電極が金属反射膜と導通した場合には、
その一方の電極に電圧を印加すると上記金属反射膜を介
して他方の電極も駆動されて表示欠陥を生じるという問
題点を有していた。
【0009】また、走査側電極板の裏面に金属反射膜を
形成した場合にも、電極板の製造工程や液晶表示装置の
製造工程でこの金属反射膜に傷が付きやすく、この傷が
表示欠陥の原因となっていた。
【0010】また、金属反射膜を、液晶駆動のための上
記電極と同一パターンに構成し、この液晶駆動用電極と
して利用する場合には、室内光や外来光がパターン状の
金属反射膜で正反射し、金属反射膜の存在しない部位で
は反射光を生じないため、その入射角度と観察者の位置
によって反射光が観察できず表示画面が暗くなる場合が
あり、この結果視野角が制限されるという問題点を有し
ていた。また、金属反射膜として安価なアルミニウム薄
膜を利用する場合には、このアルミニウムが水和物や酸
化物を作って表示欠陥を生じやすいため、耐湿性等の点
で信頼性に欠けるものであった。
【0011】更にまた、反射膜が観察者の位置とは反対
側の走査側電極板上に設けられているため、液晶によっ
て形成された画面が上記反射膜に映って二重に見えると
いう問題点をも有していた。
【0012】本発明はこのような問題点に着目してなさ
れたもので、本発明の課題とするところは、光源の位置
に係わらず視野角が広く、しかも優れた表示画面で表示
欠陥の生じ難い信頼性の高い反射型液晶表示装置とその
製造方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】すなわち、請求項1に係
る発明は、液晶を駆動するための走査側電極を配設した
電極板と、信号側の電極を配設したもう一方の電極板
と、これら両電極板の間に挟持された液晶とから構成さ
れる液晶表示装置において、上記走査側電極板が、基板
上にパターン状の金属薄膜とこの金属薄膜を覆って配置
された透明薄膜との二層から成る電極を備え、他方、上
記信号側電極板が、基板上に透明電極と光散乱層との二
層を備えることを特徴とするとするものである。
【0014】このような液晶表示装置においては、室内
光や外来光等の入射光は上記パターン状金属薄膜で反射
され、信号側基板の光散乱層で散乱されて出射する。こ
のため、入射光源の位置によらず上記散乱光を観察可能
となり、視野角が著しく増大するものである。
【0015】また、この金属薄膜は透明薄膜により被覆
されているため、金属薄膜が劣化することがなく、従っ
て表示欠陥を生じることもなく、著しく液晶表示装置の
信頼性を増大させることが可能となる。尚、この他、透
明薄膜が金属薄膜と接触導通しているため、その抵抗値
を著しく低下させることが可能となり、電極間のクロス
トークを防止して表示の均質性を向上させることも可能
となる。
【0016】請求項2及び3はこのような技術的理由に
より発明されたものである。すなわち、請求項2に係る
発明は、請求項1記載の液晶表紙装置において、液晶表
示装置の有効表示領域において、金属薄膜が透明薄膜と
同一のパターンを有することを特徴とするものであり、
他方、請求項2に係る発明は、請求項1記載の液晶表示
装置において、液晶表示装置の有効表示領域において、
金属薄膜が規則的に配列された多数の矩形パターンから
成ることを特徴とするものである。
【0017】請求項1〜3に係る発明において、走査側
電極板の基材としては、ガラス、セラミック、プラスチ
ックフィルム、プラスチックボード等が利用でき、透明
であってもよく、黒色、白色その他の色に着色させたも
のであってもよい。尚、基板として黒色のものを利用す
れば、ブラックストライプを形成することなく、上記金
属薄膜の存在しない部位に入射した光線の反射を防止し
て表示画面のコントラストの向上を図ることが可能とな
る。特に、金属薄膜が画素と同じ矩形パターンに形成さ
れている場合には、この画素以外の部位からの反射光を
完全に防止することが可能となる。また、室内光の少な
い暗い暗室で使用する場合に備えて液晶表示装置内部に
ランプを内蔵する半透過型の反射型液晶表示装置の場合
には、透明なものが好ましい。
【0018】また、請求項1〜3に係る発明において、
金属薄膜としては、単層のものの他、二種以上の金属を
積層して構成される多層構造の薄膜が利用可能である。
単層の薄膜を構成する金属としては、安価なアルミニウ
ムの他、銀、アルミニウム合金、マグネシウム、ニッケ
ル合金等の可視光の反射率の高い金属薄膜が利用でき
る。また、上記アルミニウム薄膜上にクロム等の薄膜を
積層して、透明薄膜との密着性を向上させることも可能
である。
【0019】また、請求項1〜3に係る発明において、
光散乱層としては、透明樹脂と、この透明樹脂中に分散
され且つこの透明樹脂の屈折率の異なる屈折率を有する
散乱材とを主成分として含有するものが利用でき、この
光散乱層に入射した光線は透明樹脂と散乱材との界面で
屈折と反射とを生じてその出射方向を変化させる。そし
て、微粒子状の散乱材が透明樹脂中に分散されている場
合には、この屈折と反射とが繰り返されるため、全体と
してあらゆる方向に実質的に均一に出射されるのであ
る。
【0020】請求項4〜5に係る発明はこのような技術
的背景に基づいてなされた物である。すなわち、請求項
4に係る発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の液晶
表示装置において、光散乱層が、透明樹脂と、この透明
樹脂中に分散され且つこの透明樹脂の屈折率と異なる屈
折率の光散乱材とを主成分として含有することを特徴と
するものであり、また、請求項5に係る発明は、請求項
4に記載の液晶表示装置において、光散乱材が径1μm
以下の微粒子から成ることを特徴とするものである。
【0021】請求項4又は5に係る発明において、透明
樹脂としては、液晶表示装置製造時の熱等に耐え、可視
光透過率の高い樹脂が望ましく、例えば、アクリル系、
エポキシ系、ウレタン系の樹脂等が使用でき、具体的に
はポリメチルアクリレート樹脂が利用できる。また、後
述するように、この光散乱層中に色材を含む場合にはフ
ォトリソグラフィの手法でパターニングできることが望
ましく、このような樹脂としては感光性を付与したアク
リル系やエポキシ系の樹脂が例示できる。
【0022】また、光散乱材としては、酸化チタン、酸
化ジルコニウム、酸化鉛、酸化アルミニウム、酸化珪
素、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、硫酸バリウム等の無
機微粒子の他、上記透明樹脂の屈折率と異なる屈折率を
有する樹脂微粒子等が仕様できる。
【0023】尚、この光散乱材と透明樹脂との界面で屈
折して光散乱材中を透過する光の偏光面が回転して液晶
表示装置の表示品位を低下させる(偏光面の回転により
表示装置前面の偏光膜の光透過率が変化し、画面のコン
トラストが低下する)ことを防止するため、上記光散乱
材として複屈折のない非晶質材料が望ましい。
【0024】請求項6に係る発明はこのような事情によ
りなされたもので、すなわち、請求項6に係る発明は、
請求項4又は5に記載の液晶表示装置において、光散乱
材が非晶質材料から成ることを特徴とするものである。
【0025】このような非晶質材料としては、例えば、
ポリビニルベンゼン、ポリ4フッ化エチレン等が例示で
きる。
【0026】尚、請求項1〜6に係る液晶表示装置にお
いて、カラー表示する場合には、透過光を着色するカラ
ーフィルター層を上記信号側電極板に備えればよい。こ
の際、上記光散乱層に色材を添加してこ光散乱層をその
ままカラーフィルター層として機能させることもできる
し、光散乱層とは別にカラーフィルター層を設けること
も可能である。
【0027】そして、請求項7及び8はこのような要請
に応えるべく発明されたもので、請求項7に係る発明
は、請求項4〜6のいずれかに記載の液晶表示装置にお
いて、光散乱層が透過光を着色する色材を含有すること
を特徴とするものであり、他方、請求項8に係る発明
は、 請求項1〜6のいずれかに記載の液晶表示装置に
おいて、光散乱層と透明電極との間に、透過光を着色す
るカラーフィルター層を備えることを特徴とするもので
ある。
【0028】請求項7に係る発明において、色材として
は、従来カラーフィルター層に適用されていた周知の有
機顔料が適用でき、例えば、緑色顔料としてフタロシア
ニングリーン等が使用できる。
【0029】また、請求項8に係る発明において、カラ
ーフィルター層はは周知のカラーフィルター層が適用で
きる。例えば、有機顔料を分散した感光性樹脂とフォト
リソグラフィプロセスを利用して形成した顔料分散法カ
ラーフィルター、染料で樹脂を染色して形成した染色法
カラーフィルター、オフセット印刷法や凹版オフセット
印刷法あるいはフレキソ印刷法等の印刷法で形成した印
刷法カラーフィルター等である。尚、必要に応じてこの
カラーフィルター層上に有機樹脂や酸化珪素等のオーバ
ーコート層を形成してもよい。
【0030】また、請求項7及び8に係る発明におい
て、色材又はカラーフィルター層は、光の三原色である
赤色、緑色、青色の三色を利用することができるが、こ
の他、シアン、マゼンタ、イエロー等の三色(上記光の
三原色の補色)であってもよく、またこれらにホワイト
を加えた4色もしくはそれ以上の色数のものを利用する
こともできる。
【0031】また、請求項1〜8に係る発明において、
透明薄膜としては酸化インジウムの中にドーパントとし
て酸化錫を添加して成るITO薄膜、酸化インジウムの
中に酸化ジルコニウムや酸化チタン又は酸化マグネシウ
ム等を添加して成る薄膜、あるいは酸化亜鉛の中に酸化
アルミニウムを添加した薄膜、あるいは酸化インジウム
薄膜と上記ITOとを積層した多層薄膜等が利用でき
る。そして、これら透明薄膜を形成した後、フォトリソ
プロセスに従ってエッチングしてパターニングすること
により上記電極形状に加工することができる。尚、金属
薄膜と透明薄膜とを成膜した後これら金属薄膜と透明薄
膜とをエッチングすると、金属薄膜のエッチング速度が
透明薄膜のエッチング速度より速いため金属薄膜がより
大きくエッチングされて所定のパターンが得られない場
合がある。これを避けて目的とするパターンの金属薄膜
と透明薄膜とを精度良く形成するため、基板温度を18
0℃以下の低温に保ってエッチング速度が速く且つ実質
的に非晶質の透明薄膜を成膜し、次いでこの透明薄膜を
エッチングしてパターニングし、次いでこうしてパター
ニングされた透明薄膜をエッチングレジストとして金属
薄膜をエッチングしてパターニングすることが望まし
い。尚、こうして形成された透明薄膜は、電極パターン
にパターニングした後加熱して酸化させることにより導
電率と可視光線透過率を向上させることができる。
【0032】請求項9に係る発明はこのような理由に基
づいてなされたもので、請求項1〜8に係る液晶表示装
置の製造方法に係るものである。
【0033】すなわち、請求項9に係る発明は、液晶を
駆動するための走査側電極を配設した電極板と、信号側
の電極を配設したもう一方の電極板と、これら両電極板
の間に挟持された液晶とから構成される液晶表示装置を
製造する方法において、走査側電極板の基板上に金属薄
膜を成膜し、この金属薄膜上に実質的に非晶質の透明導
電膜を成膜し、次いでフォトリソグラフィによりこれら
透明導電膜と金属薄膜を順次エッチングしてパターニン
グして走査側電極板を製造し、こうして得られた走査側
電極板と信号側電極板との間に液晶を挟持することを特
徴とするものである。
【0034】尚、請求項1〜9に係る発明において、走
査側電極板の透明薄膜や信号側電極板の透明電極上に、
絶縁膜としてSiO2 、MgO、MgF2 、ZrO2
CeO2 等の無機酸化物膜を形成してもよい。
【0035】
【作用】請求項1〜8に係る発明によれば、上記走査側
電極板が、基板上に金属薄膜とこの金属薄膜を覆って配
置された透明薄膜との二層から成る電極を備え、他方、
上記信号側電極板が、基板上に透明電極と光散乱層との
二層を備えるため、室内光や外来光等の入射光は上記パ
ターン状金属薄膜で反射され、信号側基板の光散乱層で
散乱されて出射する。このため、入射光源の位置によら
ず上記散乱光を観察可能となり、視野角が著しく増大す
る。
【0036】また、この金属薄膜は透明薄膜により被覆
されているため、金属薄膜が劣化することがなく、従っ
て表示欠陥を生じることもなく、著しく液晶表示装置の
信頼性を増大させることが可能となる。尚、この他、透
明電極が金属薄膜と接触導通しているため、その抵抗値
を著しく低下させることが可能となり、電極間のクロス
トークを防止して表示の均質性を向上させることも可能
となる。
【0037】また、請求項9に係る発明によれば、走査
側電極板の基板上に金属薄膜を成膜し、この金属薄膜上
に実質的に非晶質の透明導電膜を成膜し、次いでフォト
リソグラフィによりこれら透明電極と金属薄膜を順次エ
ッチングしてパターニングして走査側電極板を製造する
ため、目的とするパターンの金属薄膜と透明薄膜とを精
度良く形成することが可能となる。
【0038】
【実施例】
(実施例1)この実施例に係る液晶表示装置は、図1に
示すように、走査側電極板1を厚さ0.7μのガラス基
板11と、このガラス基板11上に幅310μm、ピッ
チ330μmのストライプパターン状に設けられた厚さ
0.1μのアルミニウム薄膜12と、このアルミニウム
薄膜12と同一パターンで且つこのアルミニウム薄膜1
2に位置整合して積層された厚さ0.24μmの透明薄
膜13とから構成し、一方、信号側電極板2を厚さ0.
7mmのガラス基板21と、このガラス基板21上の画
素以外の部位に幅25μmのストライプ状に設けられた
厚さ1.0μmの有機ブラックストライプ22と、それ
ぞれ赤色、緑色、青色に着色され上記有機ブラックスト
ライプの間に(但し端部は上記ブラックストライプ上に
重ねられている)ストライプ状に設けられた印刷法カラ
ーフィルター層23R、23G、23Bと、上記走査側
電極板1のアルミニウム薄膜12パターンと同一のスト
ライプ状に設けられた光散乱層24と、幅95μm、ピ
ッチ110μmのストライプ状(上記走査側電極板1の
アルミニウム薄膜12パターンと直交する方向)に設け
られた厚さ0.24μmの透明電極25とから構成し、
これら走査側電極板1と信号側電極板2とを、両者の間
に液晶3を介在させて周辺部でシールして一体化させた
ものである。
【0039】尚、上記光散乱層24は、フェノールノボ
ラックエポキシ樹脂を骨格とするネガ型の感光性樹脂中
に平均粒径0.1μmのアナターゼ構造の酸化チタン微
粒子を分散させたものである。
【0040】この実施例に係る液晶表示装置は以下のよ
うな工程で製造したものである。すなわち、まず、走査
側電極板1の基板11上にスパッタリングにより厚さ
0.1μmのアルミニウム薄膜12と厚さ0.24μm
のITO薄膜13とを全面一様に成膜した。尚、この
際、基板11は加熱することなくほぼ室温で連続的に成
膜した。次に、公知のフォトリソプロセスに従った、上
記ITO薄膜13上に走査側電極パターン状にレジスト
膜を形成し、25℃の希塩酸で上記ITO薄膜13を約
1分間でエッチングしてパターニングした。40℃のリ
ン酸/酢酸/硝酸の混酸でアルミニウム薄膜12を上記
ITO薄膜13と同一パターンにエッチグした。そし
て、この後、250℃、1時間の加熱処理を行って、上
記ITO薄膜13を酸化した。この加熱処理によりIT
O薄膜13の抵抗値が低下して面積抵抗が約0.4Ω/
□となり、加熱処理前の上記ITO薄膜13単層の場合
の1/20以下となった。またこれと共に上記ITO薄
膜13の可視光線透過率が向上し、また結晶化が生じ
た。またこの加熱処理に伴ってアルミニウム薄膜12の
端部に酸化アルミニウムが形成され、その耐食性が向上
した。
【0041】また、信号側電極板2は、ガラス基板21
上にブラックストライプ22を形成した後、東洋インキ
製造(株)製SMX−CF−SMEのそれぞれ赤色、緑
色、青色のインキを使用し、凹版オフセット印刷法で印
刷してカラーフィルター層23R、23G、23Bを形
成した。次に、フェノールノボラックエポキシ樹脂を骨
格とするネガ型の感光性樹脂中に平均粒径0.1μmの
アナターゼ構造の酸化チタン微粒子を分散させ、上記カ
ラーフィルター層23R、23G、23B上に、塗布
し、フォトマスクを介して露光・現像し、加熱して硬膜
して上記光散乱層24を形成した。次いでITO薄膜2
5をスパッタリングにより厚成膜し、フォトリソプロセ
スに従ってパターニングして透明電極25とした。
【0042】(実施例2)この実施例に係る液晶表示装
置は、図2に示すように、走査側電極板4を厚さ0.7
μのガラス基板41と、このガラス基板41上に310
μm×95μmの矩形パターン状に設けられた厚さ0.
15μのアルミニウム薄膜42と、このアルミニウム薄
膜42を覆って幅320μm、ピッチ330μmのスト
ライプパターン状に設けられた厚さ0.24μmの透明
電極43とから構成し、一方、信号側電極板4を厚さ
0.7mmのガラス基板51と、このガラス基板51上
に幅約110μmのストライプ状に設けられた膜厚約2
μmの着色光散乱層53R、53G、53Bと、幅10
0μm、ピッチ110μmのストライプ状(上記走査側
電極板4のアルミニウム薄膜42パターンと直交する方
向)に設けられた厚さ0.2μmの透明電極55とから
構成し、これら走査側電極板1と信号側電極板2とを、
両者の間に液晶3を介在させて周辺部でシールして一体
化させたものである。
【0043】尚、上記着色光散乱層53R、53G、5
3Bは、有機顔料を10〜30重量%と、光散乱材とし
て粒径0.3μm以下のポリ4フッ化エチレン微粒子を
約4重量%とを分散して含有する印刷インキから構成さ
れている。また、上記透明電極43の実効面積抵抗は約
1Ω/□である。
【0044】
【発明の効果】請求項1〜8に係る発明によれば、入射
光源の位置によらず上記散乱光を観察可能となり、視野
角が著しく増大し、また液晶表示装置の信頼性を増大さ
せることが可能となる。また、請求項9に係る発明によ
れば、金属薄膜と透明電極とを精度良く形成することが
可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の実施例に係る液晶表示装置の説
明図。
【図2】図2は本発明の実施例に係る液晶表示装置の説
明図。
【符号の説明】
1 走査側電極板 11 ガラス基板 12 アルミニウム薄膜 13 透明薄膜 2 信号側電極板 21 ガラス基板 22 有機ブラックストライプ 23 カラーフィルター層 24 光散乱層 25 透明電極 3 液晶 4 走査側電極板 41 ガラス基板 42 アルミニウム薄膜 53 透明電極 51 ガラス基板 53R、53G、53B 着色光散乱層 55 透明電極

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】液晶を駆動するための走査側電極を配設し
    た電極板と、信号側の電極を配設したもう一方の電極板
    と、これら両電極板の間に挟持された液晶とから構成さ
    れる液晶表示装置において、 上記走査側電極板が、基板上にパターン状の金属薄膜と
    この金属薄膜を覆って配置された透明薄膜との二層から
    成る電極を備え、 他方、上記信号側電極板が、基板上に透明電極と光散乱
    層との二層を備えることを特徴とする液晶表示装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載の液晶表紙装置において、 液晶表示装置の有効表示領域において、金属薄膜が透明
    薄膜と同一のパターンを有することを特徴とする液晶表
    示装置。
  3. 【請求項3】請求項1記載の液晶表示装置において、 液晶表示装置の有効表示領域において、金属薄膜が規則
    的に配列された多数の矩形パターンから成ることを特徴
    とする液晶表示装置。
  4. 【請求項4】請求項1〜3のいずれかに記載の液晶表示
    装置において、 光散乱層が、透明樹脂と、この透明樹脂中に分散され且
    つこの透明樹脂の屈折率と異なる屈折率の光散乱材とを
    主成分として含有することを特徴とする液晶表示装置。
  5. 【請求項5】請求項4に記載の液晶表示装置において、 光散乱材が径1μm以下の微粒子から成ることを特徴と
    する液晶表示装置。
  6. 【請求項6】請求項4又は5に記載の液晶表示装置にお
    いて、 光散乱材が非晶質材料から成ることを特徴とする液晶表
    示装置。
  7. 【請求項7】請求項4〜6のいずれかに記載の液晶表示
    装置において、 光散乱層が透過光を着色する色材を含有することを特徴
    とする液晶表示装置。
  8. 【請求項8】請求項1〜6のいずれかに記載の液晶表示
    装置において、 光散乱層と透明電極との間に、透過光を着色するカラー
    フィルター層を備えることを特徴とする液晶表示装置。
  9. 【請求項9】液晶を駆動するための走査側電極を配設し
    た電極板と、信号側の電極を配設したもう一方の電極板
    と、これら両電極板の間に挟持された液晶とから構成さ
    れる液晶表示装置を製造する方法において、 走査側電極板の基板上に金属薄膜を成膜し、この金属薄
    膜上に実質的に非晶質の透明導電膜を成膜し、次いでフ
    ォトリソグラフィによりこれら透明導電膜と金属薄膜を
    順次エッチングしてパターニングして走査側電極板を製
    造し、 こうして得られた走査側電極板と信号側電極板との間に
    液晶を挟持することを特徴とする液晶表示装置の製造方
    法。
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