JPH07281117A - Optical deflector - Google Patents

Optical deflector

Info

Publication number
JPH07281117A
JPH07281117A JP9589794A JP9589794A JPH07281117A JP H07281117 A JPH07281117 A JP H07281117A JP 9589794 A JP9589794 A JP 9589794A JP 9589794 A JP9589794 A JP 9589794A JP H07281117 A JPH07281117 A JP H07281117A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
light beam
polygon mirror
face
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP9589794A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuo Okamura
哲郎 岡村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Instruments Corp
Original Assignee
Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd filed Critical Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Priority to JP9589794A priority Critical patent/JPH07281117A/en
Publication of JPH07281117A publication Critical patent/JPH07281117A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

PURPOSE:To facilitate working of a rotary polyhedral mirror and to decrease restrictions on packaging by making the light from a light source incident on the end face of the rotary polyhedral mirror and making the reflected light from the end face incident on the deflection surface of the rotary polyhedral mirror via the mirror. CONSTITUTION:The light from a semiconductor laser unit 2 is made incident on the end face A of the rotary polyhedral mirror 1 and the reflected light from the end face A is made incident on the deflection surface D of the rotary polyhedral mirror 1 via first and second stationary mirrors B, C and, therefore, even if the rotary polyhedral mirror 1 inclines by theta, the deflection surface D eventually inclines similarly by theta and, consequently, the correction of a plane tilt is executed with good accuracy. The light beam reflected from the end face of the rotary polyhedral mirror 1 inclines by 2theta and the incident light beam on the deflection surface of the rotary polyhedral mirror 1 inclines by 2theta as well if the axis of rotation of the rotary polyhedral mirror 1 is assumed to have the theta face tilt. Since the deflection surface of the rotary polyhedral mirror 1 inclines by theta, the light beam reflected by the plane of polarization is paralleled with the light beam in the case of the absence of the plane tilt. The light beam moved in parallel is image at the same point on an image recording medium via an ftheta lens, etc., and the correction of the plane tilt is executed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光偏向装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical deflector.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、文字、図形等の画像情報を、例え
ばレーザ光を回転多面鏡(ポリゴンミラー)により偏向
し光走査することによって、感光体等の画像記録媒体に
記録する装置が知られている。この装置にあっては、光
偏向装置としての回転多面鏡が加工、組立精度等により
面倒れすることがあり、このような面倒れが生じると、
画像記録媒体上における集光スポットがずれてしまうの
で、該画像記録媒体上に集光される光ビームの位置ずれ
の補正が必要とされる。
2. Description of the Related Art Conventionally, there is known an apparatus for recording image information such as characters and figures on an image recording medium such as a photoconductor by deflecting a laser beam by a rotating polygon mirror (polygon mirror) and scanning the image information. ing. In this device, the rotary polygon mirror as the optical deflector may be tilted due to processing, assembling accuracy, etc. When such tilting occurs,
Since the focused spot on the image recording medium is displaced, it is necessary to correct the positional deviation of the light beam focused on the image recording medium.

【0003】この補正方法としては、走査結像光学系に
fθレンズ等を用いて補正する方法が一般的に広く知ら
れているが、最近にあっては、この走査結像光学系のf
θレンズを省き走査光学系にて補正を行う提案が、例え
ば特開昭61−70522号公報や特開平2−1119
13号公報等になされている。
As this correction method, a method of making correction using an fθ lens or the like in a scanning image forming optical system is widely known, but in recent years, f of this scanning image forming optical system is corrected.
Proposals for making corrections with a scanning optical system by omitting the θ lens are disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-70522 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-1119.
No. 13, for example.

【0004】特開昭61−70522号公報記載の光偏
向装置は、回転式の抜き勾配多角形体を用い、無限共役
光ビームの二重反射によって多角形体の面倒れによる光
ビームの位置ずれを補正するというものであり、特開平
2−111913号公報記載の光偏向装置は、回転多面
鏡に対して直角プリズムを設け、該回転多面鏡に光ビー
ムを入射し、そこからの反射光を該直角プリズムに入射
し、この直角プリズムからの出射光を再度回転多面鏡に
入射し、これによる反射光をfθレンズを介して画像記
録媒体上に結像するようにして、回転多面鏡の面倒れに
よる光ビームの位置ずれを補正するというものである。
The optical deflector described in Japanese Patent Laid-Open No. 61-70522 uses a rotary draft polygon, and corrects the positional deviation of the light beam due to the surface tilt of the polygon due to double reflection of an infinite conjugate light beam. The optical deflector disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2-111913 is provided with a right-angled prism for a rotating polygon mirror, a light beam is incident on the rotating polygon mirror, and reflected light from the prism is reflected at the right angle. The light incident on the prism is incident on the rotating polygonal mirror again, and the light reflected by the prism is focused on the image recording medium via the fθ lens. This is to correct the positional deviation of the light beam.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記各
提案装置においては、以下の問題点がある。すなわち、
特開昭61−70522号公報記載の装置にあっては、
抜き勾配を有する多角形体の加工が非常に難しいといっ
た問題がある。
However, the above-mentioned proposed devices have the following problems. That is,
In the device described in JP-A-61-70522,
There is a problem that it is very difficult to process a polygonal body having a draft.

【0006】また、特開平2−111913号公報記載
の装置にあっては、回転多面鏡の回転に伴って直角プリ
ズムも走査されることになるので、プリズムの幅を大き
くしなければならず、実装上の制約が大きくなるといっ
た問題がある。
Further, in the apparatus described in Japanese Patent Laid-Open No. 2-111913, since the right angle prism is also scanned as the rotary polygon mirror rotates, the width of the prism must be increased, There is a problem that the restrictions on implementation become large.

【0007】さらにまた、上記両公報記載の装置にあっ
ては、偏向面への光ビームの入射角が直角ではないため
に、回転多面鏡の回転時に偏向面より反射される光ビー
ムに捩じれが生じ、直線走査を行うことが難しくなると
いった問題もある。
Furthermore, in the devices described in both of the above publications, since the incident angle of the light beam on the deflecting surface is not a right angle, the light beam reflected from the deflecting surface is twisted when the rotating polygon mirror rotates. There is also a problem in that it becomes difficult to perform linear scanning.

【0008】そこで本発明は、回転多面鏡の加工が容易
になされると共に、実装上の制約が低減される光偏向装
置を提供することを第1の目的とする。
Therefore, it is a first object of the present invention to provide an optical deflector in which the processing of a rotary polygon mirror is facilitated and the restrictions on mounting are reduced.

【0009】また、本発明は、上記第1の目的に加え
て、良好な直線走査がなされる光偏向装置を提供するこ
とを第2の目的とする。
A second object of the present invention is to provide, in addition to the above-mentioned first object, an optical deflecting device capable of excellent linear scanning.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】請求項1の光偏向装置
は、上記第1の目的を達成するために、光源からの光を
回転多面鏡の端面に入射し、この端面からの反射光をミ
ラーを介して前記回転多面鏡の偏向面に入射してなる。
In order to achieve the first object, a light deflector according to a first aspect of the present invention makes light from a light source incident on an end face of a rotary polygon mirror and reflects light reflected from the end face. It is incident on the deflecting surface of the rotary polygon mirror via a mirror.

【0011】請求項2の光偏向装置は、上記第2の目的
を達成するために、請求項1に加えて、ミラーからの光
ビームとこの光ビームを反射する回転多面鏡の偏向面と
が、該光ビームを含む回転多面鏡の軸方向断面において
略90°をなすように、ミラーを配置してなる。
In order to achieve the above-mentioned second object, the optical deflecting device of claim 2 is characterized in that, in addition to claim 1, the optical beam from the mirror and the deflecting surface of the rotary polygon mirror for reflecting this optical beam are provided. The mirrors are arranged so that the rotating polygon mirror including the light beam forms an angle of about 90 ° in the axial cross section.

【0012】請求項3の光偏向装置は、上記第2の目的
を達成するために、請求項1に加えて、回転多面鏡の端
面と偏向面とは略90°をなし、ミラーは、回転多面鏡
の端面より反射された光ビームを反射する第1のミラー
と、この第1のミラーにより反射された光ビームを回転
多面鏡の偏向面へ反射する第2のミラーと、からなり、
回転多面鏡の端面と入射光とのなす角をα、第1のミラ
ーと第2のミラーとのなす角度をβ、とした時に、β=
(180°−α)/2を満足するように、第1及び第2
のミラーを配置してなる。
In order to achieve the second object, the optical deflecting device of claim 3 is the same as that of claim 1 except that the end face of the rotary polygon mirror and the deflecting surface form approximately 90 °, and the mirror rotates. A first mirror that reflects the light beam reflected from the end face of the polygon mirror; and a second mirror that reflects the light beam reflected by the first mirror to the deflection surface of the rotating polygon mirror,
When the angle between the end face of the rotary polygon mirror and the incident light is α and the angle between the first mirror and the second mirror is β, β =
To satisfy (180 ° -α) / 2, the first and second
The mirror is placed.

【0013】[0013]

【作用】このような請求項1における光偏向装置によれ
ば、例えば回転多面鏡の回転軸がθ面倒れしたとする
と、回転多面鏡の端面より反射する光ビームは2θ傾
き、ミラーを介して回転多面鏡の偏向面に入射する光ビ
ームも2θ傾くことになるが、回転多面鏡の偏向面もθ
傾いているので、該偏向面にて反射する光ビームは、面
倒れしていない場合の光ビームに対して平行になる。従
って、この平行移動した光ビームは、例えばfθレンズ
等を介して画像記録媒体上の同一点に結像され、面倒れ
の補正がなされる。このような回転多面鏡としては、一
般的な回転多面鏡を用いることができ、従ってその加工
は容易になされる。また、ミラーには回転多面鏡の端面
からの反射光が入射されるので、回転多面鏡が回転して
もミラーが走査されることはなく、従ってミラーは光ビ
ームの太さをカバーできる小型のもので良く、実装上の
制約の低減がなされる。
According to the optical deflecting device of the present invention, for example, when the rotation axis of the rotary polygon mirror is tilted by the θ plane, the light beam reflected from the end face of the rotary polygon mirror is tilted by 2θ and passes through the mirror. The light beam incident on the deflecting surface of the rotary polygon mirror is also inclined by 2θ, but the deflecting surface of the rotary polygon mirror is also θ.
Since it is tilted, the light beam reflected by the deflecting surface becomes parallel to the light beam when the surface is not tilted. Therefore, the parallel-moved light beam is imaged at the same point on the image recording medium via, for example, the fθ lens, and the surface tilt is corrected. As such a rotary polygon mirror, a general rotary polygon mirror can be used, and therefore its processing is facilitated. Further, since the reflected light from the end face of the rotary polygon mirror is incident on the mirror, the mirror is not scanned even when the rotary polygon mirror rotates, and therefore the mirror is a small-sized one capable of covering the thickness of the light beam. However, the restrictions on implementation are reduced.

【0014】また、請求項2、3における光偏向装置に
よれば、ミラーからの光ビームとこの光ビームを反射す
る回転多面鏡の偏向面とが、該光ビームを含む回転多面
鏡の軸方向断面において略90°をなすので、回転多面
鏡の回転時に偏向面より反射される光ビームが捩じれる
ことがなく、良好な直線走査がなされる。
According to the optical deflecting device of the second and third aspects, the light beam from the mirror and the deflecting surface of the rotary polygon mirror that reflects the light beam are arranged in the axial direction of the rotary polygon mirror including the light beam. Since the cross section forms approximately 90 °, the light beam reflected from the deflection surface is not twisted when the rotary polygon mirror is rotated, and good linear scanning is performed.

【0015】[0015]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1本発明の一実施例を示す光偏向装置の縦断面
図、図2は同上光偏向装置の平面図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is a vertical sectional view of an optical deflecting device showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the same optical deflecting device.

【0016】本実施例の光偏向装置は、端面Aと偏向面
Dとが略90°をなし、回転軸1aを中心として回動を
行う一般的な6面体の回転多面鏡であって、該端面Aが
鏡面にされている回転多面鏡1と、該端面Aに向かって
入射角(90°−α)で光を発する光源としての、例え
ば半導体レーザユニット2と、該端面Aにて反射された
光ビームを反射する第1の固定ミラーと、この第1の固
定ミラーBにより反射された光ビームを回転多面鏡1の
偏向面Dへ反射する第2の固定ミラーCと、から構成さ
れている。
The optical deflecting device of the present embodiment is a general hexahedral rotating polygonal mirror in which the end face A and the deflecting face D form approximately 90 ° and which rotates about the rotary shaft 1a. The rotary polygon mirror 1 whose end face A is a mirror surface, for example, a semiconductor laser unit 2 as a light source that emits light toward the end face A at an incident angle (90 ° -α), and is reflected by the end face A. And a second fixed mirror C for reflecting the light beam reflected by the first fixed mirror B to the deflection surface D of the rotary polygon mirror 1. There is.

【0017】上記第1の固定ミラーBと第2の固定ミラ
ーCとは、第1の固定ミラーBと第2の固定ミラーCと
のなす角度をβとした時に、β=(180°−α)/2
を満足するように、配置されている。ここで、本実施例
においては、α=45°、β=67.5°となってい
る。
When the angle between the first fixed mirror B and the second fixed mirror C is β, the first fixed mirror B and the second fixed mirror C are β = (180 ° -α ) / 2
Are arranged so as to satisfy. Here, in the present embodiment, α = 45 ° and β = 67.5 °.

【0018】従って、半導体レーザユニット2から出射
された光ビームは、回転多面鏡1の端面Aに入射角(9
0°−α)にて入射し該端面Aで反射角(90°−α)
にて反射し、第1の固定ミラーB、第2の固定ミラーC
を介して、回転多面鏡1の偏向面Dに至る。この時、第
2の固定ミラーCからの光ビームとこの光ビームを反射
する偏向面Dとは、該光ビームを含む回転多面鏡1の軸
方向断面において略90°をなす(図1参照)。
Therefore, the light beam emitted from the semiconductor laser unit 2 is incident on the end face A of the rotary polygon mirror 1 at an incident angle (9
Incident at 0 ° -α) and reflected at the end face A (90 ° -α)
Reflected by the first fixed mirror B and the second fixed mirror C
To the deflecting surface D of the rotary polygon mirror 1. At this time, the light beam from the second fixed mirror C and the deflecting surface D that reflects the light beam form approximately 90 ° in the axial cross section of the rotary polygon mirror 1 including the light beam (see FIG. 1). .

【0019】そして、偏向面Dにて反射された光ビーム
Fは、図2に示されるように、E方向に抜け、例えばf
θレンズ等を介して画像記録媒体上に集光され、該回転
多面鏡1の回転に従って画像記録媒体上が走査される。
Then, the light beam F reflected by the deflecting surface D escapes in the direction E as shown in FIG.
The image is collected on the image recording medium via the θ lens and the like, and the image recording medium is scanned as the rotary polygon mirror 1 rotates.

【0020】ここで、回転多面鏡1が何らかの理由によ
り、図3に一点鎖線で示されるようにθ面倒れしたとす
る。すると、回転多面鏡1の端面Aより反射する光ビー
ムは2θ傾き、第1、第2の固定ミラーB,Cミラーを
介して回転多面鏡1の偏向面Dに入射する光ビームも2
θ傾くことになる。しかしながら、回転多面鏡1の偏向
面Dも一点鎖線で示されるようにθ傾いているので、該
偏向面Dにて反射する光ビームGは、面倒れしていない
場合の光ビームFに対して平行になる。
Here, it is assumed that the rotary polygon mirror 1 is tilted by the θ plane as shown by the alternate long and short dash line in FIG. 3 for some reason. Then, the light beam reflected from the end surface A of the rotary polygon mirror 1 is inclined by 2θ, and the light beam incident on the deflection surface D of the rotary polygon mirror 1 through the first and second fixed mirrors B and C is also 2 degrees.
θ will be inclined. However, since the deflecting surface D of the rotary polygon mirror 1 is also inclined by θ as shown by the alternate long and short dash line, the light beam G reflected by the deflecting surface D is different from the light beam F when it is not tilted. Become parallel.

【0021】従って、この平行移動した光ビームGは、
上記fθレンズを介して画像記録媒体上の同一点に結像
され、面倒れの補正がなされるようになっている。
Therefore, the parallel-moved light beam G is
An image is formed at the same point on the image recording medium through the fθ lens, and the surface tilt is corrected.

【0022】このように、本実施例においては、半導体
レーザユニット2からの光を回転多面鏡1の端面Aに入
射し、この端面Aからの反射光を第1、第2の固定ミラ
ーB,Cを介して回転多面鏡1の偏向面Dに入射するよ
うにしたので、回転多面鏡1がθ傾いても偏向面Dも同
様にθ傾くことになり、従って面倒れ補正が精度良くな
されるようになっている。この回転多面鏡1としては、
一般的な回転多面鏡を用いているので、その加工を容易
に行い得るようになっている。その方法としては、例え
ばガラスのプリズムを表面に貼り付ける等の方法があ
る。
As described above, in this embodiment, the light from the semiconductor laser unit 2 is incident on the end face A of the rotary polygon mirror 1, and the reflected light from this end face A is reflected by the first and second fixed mirrors B, Since the light is incident on the deflecting surface D of the rotary polygon mirror 1 via C, even if the rotary polygon mirror 1 is tilted by θ, the deflecting surface D is also tilted by θ, so that the surface tilt correction can be accurately performed. It is like this. For this rotary polygon mirror 1,
Since a general rotary polygon mirror is used, its processing can be easily performed. As a method therefor, there is a method of attaching a glass prism to the surface, for example.

【0023】また、第1の固定ミラーBには回転多面鏡
1の端面Aからの反射光が入射されるようになっている
ので、回転多面鏡1が回転しても第1の固定ミラーBが
走査されることはなくなっている(勿論第2の固定ミラ
ーCも走査されることはない)。従って、第1、第2の
固定ミラーB,Cを光ビームの太さをカバーできる小型
のものとすることができるようになっており、実装上の
制約を低減することが可能となっている。
Further, since the reflected light from the end face A of the rotary polygon mirror 1 is made incident on the first fixed mirror B, even if the rotary polygon mirror 1 rotates, the first fixed mirror B is rotated. Is no longer scanned (of course, the second fixed mirror C is also not scanned). Therefore, the first and second fixed mirrors B and C can be made small so as to cover the thickness of the light beam, and mounting restrictions can be reduced. .

【0024】さらにまた、回転多面鏡1の端面Aと偏向
面Dとが略90°をなし、且つβ=(180°−α)/
2を満足するように第1、第2の固定ミラーB,Cが配
置されているので、第2の固定ミラーCからの光ビーム
とこの光ビームを反射する回転多面鏡1の偏向面Dと
が、該光ビームを含む回転多面鏡1の軸方向断面におい
て略90°をなすようになっている。従って、回転多面
鏡1の回転時に偏向面Dより反射される光ビームに捩じ
れを生ずることがなくなっており、良好な直線走査を行
うことが可能となっている。
Furthermore, the end surface A of the rotary polygon mirror 1 and the deflection surface D form an angle of approximately 90 °, and β = (180 ° -α) /
Since the first and second fixed mirrors B and C are arranged so as to satisfy 2, the light beam from the second fixed mirror C and the deflection surface D of the rotary polygon mirror 1 that reflects this light beam are However, in the axial cross section of the rotary polygon mirror 1 including the light beam, the angle becomes approximately 90 °. Therefore, the light beam reflected from the deflection surface D is not twisted when the rotary polygon mirror 1 is rotated, and good linear scanning can be performed.

【0025】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変形可能であるというのはいうまでもなく、例え
ば、上記実施例においては、回転多面鏡1を6面体とし
ているが、6面体に限定されるものではない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say, for example, although the rotary polygon mirror 1 is a hexahedron in the above embodiment, it is not limited to a hexahedron.

【0026】なお、本発明の光偏向装置は、プレオブジ
ェクト型、ポストオブジェクト型双方に適用可能であ
る。
The optical deflector of the present invention is applicable to both pre-object type and post-object type.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上述べたように、請求項1の光偏向装
置によれば、例えば回転多面鏡の回転軸がθ面倒れした
とすると、回転多面鏡の端面より反射する光ビームは2
θ傾き、ミラーを介して回転多面鏡の偏向面に入射する
光ビームも2θ傾くことになるが、回転多面鏡の偏向面
もθ傾いているので、該偏向面にて反射する光ビーム
は、面倒れしていない場合の光ビームに対して平行にな
る。従って、この平行移動した光ビームは、例えばfθ
レンズ等を介して画像記録媒体上の同一点に結像され、
面倒れの補正がなされる。このような回転多面鏡として
は、一般的な回転多面鏡を用いることができるので、そ
の加工を容易にすることが可能となる。また、ミラーに
は回転多面鏡の端面からの反射光が入射されるので、回
転多面鏡が回転してもミラーが走査されることはない。
従って、ミラーを光ビームの太さをカバーできる小型の
ものとすることができ、実装上の制約を低減することが
可能となる。
As described above, according to the optical deflecting device of the first aspect, for example, when the rotation axis of the rotary polygon mirror is tilted by the θ plane, the number of light beams reflected from the end face of the rotary polygon mirror is 2.
The light beam incident on the deflecting surface of the rotary polygon mirror through the mirror is inclined by θ, but the deflecting surface of the rotating polygon mirror is also inclined by θ, so that the light beam reflected by the deflecting surface is It becomes parallel to the light beam when it is not tilted. Therefore, the translated light beam is, for example, fθ.
An image is formed at the same point on the image recording medium via a lens,
The trouble is corrected. As such a rotary polygon mirror, a general rotary polygon mirror can be used, so that the processing can be facilitated. Further, since the reflected light from the end face of the rotary polygon mirror is incident on the mirror, the mirror is not scanned even if the rotary polygon mirror rotates.
Therefore, the mirror can be made into a small size capable of covering the thickness of the light beam, and restrictions on mounting can be reduced.

【0028】また、請求項2、3における光偏向装置に
よれば、ミラーからの光ビームとこの光ビームを反射す
る回転多面鏡の偏向面とが、該光ビームを含む回転多面
鏡の軸方向断面において略90°をなすので、回転多面
鏡の回転時に偏向面より反射される光ビームに捩じれを
生ずることがなく、従って良好な直線走査を行うことが
可能となる。
According to the optical deflecting device of the second and third aspects, the light beam from the mirror and the deflecting surface of the rotary polygon mirror that reflects the light beam are arranged in the axial direction of the rotary polygon mirror including the light beam. Since the cross section is approximately 90 °, the light beam reflected from the deflecting surface is not twisted when the rotary polygon mirror is rotated, and therefore good linear scanning can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す光偏向装置の縦断面図
である。
FIG. 1 is a vertical sectional view of an optical deflecting device showing an embodiment of the present invention.

【図2】同上光偏向装置の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the above optical deflecting device.

【図3】回転多面鏡の面倒れによるビーム位置ずれの補
正原理説明図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating a principle of correcting a beam position shift due to a surface tilt of a rotating polygon mirror.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 回転多面鏡 2 光源 A 回転多面鏡の端面 B 第1のミラー C 第2のミラー D 回転多面鏡の偏向面 1 rotating polygon mirror 2 light source A end face of rotating polygon mirror B first mirror C second mirror D deflection surface of rotating polygon mirror

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光源からの光を回転多面鏡の端面に入射
し、 この端面からの反射光をミラーを介して前記回転多面鏡
の偏向面に入射してなる光偏向装置。
1. An optical deflector in which light from a light source is incident on an end face of a rotary polygon mirror and reflected light from the end face is incident on a deflecting surface of the rotary polygon mirror via a mirror.
【請求項2】 請求項1記載の光偏向装置において、 ミラーからの光ビームとこの光ビームを反射する回転多
面鏡の偏向面とが、該光ビームを含む回転多面鏡の軸方
向断面において略90°をなすように、ミラーを配置し
てなる光偏向装置。
2. The optical deflector according to claim 1, wherein the light beam from the mirror and the deflection surface of the rotary polygon mirror that reflects the light beam are substantially in the axial cross section of the rotary polygon mirror including the light beam. An optical deflector in which mirrors are arranged so as to form 90 °.
【請求項3】 請求項1記載の光偏向装置において、 回転多面鏡の端面と偏向面とは略90°をなし、 ミラーは、回転多面鏡の端面より反射された光ビームを
反射する第1のミラーと、この第1のミラーにより反射
された光ビームを回転多面鏡の偏向面へ反射する第2の
ミラーと、からなり、 回転多面鏡の端面と入射光とのなす角をα、 第1のミラーと第2のミラーとのなす角度をβ、とした
時に、 β=(180°−α)/2 を満足するように、第1及び第2のミラーを配置してな
る光偏向装置。
3. The optical deflector according to claim 1, wherein an end face of the rotary polygon mirror and a deflection surface form an angle of about 90 °, and the mirror reflects the light beam reflected from the end face of the rotary polygon mirror. And a second mirror that reflects the light beam reflected by the first mirror to the deflecting surface of the rotating polygon mirror. The angle between the end surface of the rotating polygon mirror and the incident light is α, An optical deflecting device in which the first and second mirrors are arranged so that β = (180 ° −α) / 2 is satisfied, where β is the angle formed by the first mirror and the second mirror. .
JP9589794A 1994-04-08 1994-04-08 Optical deflector Withdrawn JPH07281117A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9589794A JPH07281117A (en) 1994-04-08 1994-04-08 Optical deflector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9589794A JPH07281117A (en) 1994-04-08 1994-04-08 Optical deflector

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07281117A true JPH07281117A (en) 1995-10-27

Family

ID=14150102

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9589794A Withdrawn JPH07281117A (en) 1994-04-08 1994-04-08 Optical deflector

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07281117A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3856881B2 (en) Optical scanning device
JPH0625828B2 (en) Scanning optics
US5757535A (en) Optical scanner
JPH07281117A (en) Optical deflector
JPH08248345A (en) Optical scanning device
JP3243013B2 (en) Optical scanning device with shading correction function
JPH11183837A (en) Optical scanner
JP2618889B2 (en) Optical scanning device
JP2574400B2 (en) Scanning light distortion correction device
JPS6355517A (en) Optical scanner
JP3069281B2 (en) Optical scanning optical system
JPH0772408A (en) Scanning optics
JP3464847B2 (en) Optical scanning device
JPH07181412A (en) Multi-beam scanning device
JP2986851B2 (en) Line image forming lens in optical scanning device
JP2001051226A (en) Optical scanner
JPS6275617A (en) Optical beam scanner
JPS5837616A (en) Optical beam scanner
JP2633560B2 (en) Optical scanning device
JP3218121B2 (en) Light beam scanning device and method of assembling light beam scanning device
JP2001021823A (en) Optical adjustment method for optical scanner
JPH0238927B2 (en)
JPH11149054A (en) Optical scanning device
JPH09179053A (en) Optical scanning device
JP2001051227A (en) Optical scanner

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20010703