JPH07287827A - 磁気ディスク記憶装置のヘッド組立体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ヘッドが小型化しても、製作を簡単にかつ低
コストでおこなえる磁気ディスク記憶装置のヘッド組立
体を得ることにある。 【構成】 スライダが電磁変換素子形成面とアーム部材
への固定面とよって形成される稜線を含む領域を削除す
ることによって形成されたへこみをもち、電極がへこみ
に配置されかつへこみにおいて端子に接続され、あるい
はアーム部材におけるヘッドに固定される部分が信号線
の端子よりもたかい位置に配置されている。ヘッドをア
ーム部材上に配置すると、端子と電極とが一致するた
め、端子に低融点はんだを被覆し、外部から溶かすだけ
で信号線とヘッドとの接続をおこなえるばかりか、端子
が支持ばねにおけるヘッド固定面から突出しないため、
支持ばねにたいするヘッドの固定を傾かせずにおこな
え、組み立て後にヘッド姿勢の修正を必要としない。ま
た、支持ばねがヘッドを固定される部分に貫通孔を形成
されていて、貫通孔から接着剤を注入し、外部から紫外
線を接着剤に照射しかつ硬化させるだけで、支持ばねに
たいするヘッドの固定をおこなえる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は磁気ディスク記憶装置
におけるヘッド組立体の改良に関している。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク装置では、磁気記録媒体の
回転によって生じる動圧を利用して、磁気記録媒体との
間に微小な隙間を保って浮上するヘッド組立体が広く用
いられている。近年、磁気記録の高密度化に対応するた
めに、この微小隙間がさらに狭小化し、スライダの大き
さもますます小さくなる傾向にある。スライダの小型化
および軽量化は、ヘッドに加えているヘッド荷重の低減
化と合わせて、磁気ヘッドおよび磁気記録媒体の耐摺動
にたいする信頼性の向上に非常に有利であるため、スラ
イダサイズは今後ますます小型化、軽量化するものと予
想される。

【０００３】スライダサイズが小型化かつ軽量化される
にともなって、スライダに設けられている電極の大きさ
も小型化され、ヘッドにたいする信号線の接合が困難に
なってきている。また、磁気変換素子として磁気抵抗効
果素子をもちいたヘッドが多くもちいられるようになっ
ているが、このヘッドはインダクティブ素子を含むデュ
アル構造の磁気変換素子となるため、電極が増加し、こ
れにともなう信号線本数の増加によって、信号線の剛性
がたかくなり、ヘッド浮上の信頼性の低下をもまねくな
るようなってきている。

【０００４】このような問題を解決するために、たとえ
ば特開平４−２１９６１８号公報には、スライダの小型
化にともなう、信号線を接続するうえでの問題を解決す
ることができる、磁気ディスク記憶装置のためのヘッド
組立体が記載されている。このヘッド組立体では、ヘッ
ドが磁気ディスクに対面する面と反対の面に電極を形成
され、アーム部材が金属薄板とフレキシブル印刷配線板
との積層物からなるとともに、印刷配線板がヘッドの電
極に対応して配列された端子をもっていて、電極を端子
に一致させてヘッドをアーム部材上に配置し、あらかじ
め電極に被覆されたはんだを溶融することによって、ヘ
ッドと印刷配線板の導体との接続がなされると同時に、
アーム部材にたいするヘッドの固定もなされるようにし
て、信号線とヘッドとの接続を簡単させるとともに、信
号線の剛性にもとづくヘッド浮上特性の影響を最小にさ
せている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
４−２１９６１８号公報に記載されているヘッド組立体
は、はんだが端子ごとに均一な厚みでもって被覆されて
いないと、ヘッドが傾いてアーム部材に固定され、組み
立て後にヘッド姿勢の調整作業が必要である。このヘッ
ド姿勢調整作業は、スライダがたとえば長手方向の長さ
が１．６ｍｍ以下という小型なものになるときわめて困
難になり、熟達した作業者であってもかなりの手間を必
要とし、製品歩留りもいちじるしく低下することをさけ
られない。

【０００６】本発明の目的は、小型化されたスライダを
アーム部材に接続する作業を比較的簡単におこなうこと
ができる、ヘッド組立体を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る磁気ディスク記憶装置のヘッド組立
体は、磁気記録媒体と対向する面と反対側に位置するス
ライダの固定面に電極および素子形成面に電磁変換素子
を形成したヘッドと、ヘッドを担持するアーム部材とを
備え、該電極に対応してアーム部材上に端子を配置し、
該端子に信号線を接続したヘッド組立体において、アー
ム部材の所定領域に、弾性ある部材からなるとともに、
この領域の一部を切り取ることによって支持ばねを形成
し、ヘッドを支持ばねに固定するとともに、素子形成面
と固定面とにおけるこれらの面によって形成される稜線
を含む領域を削除することによってへこみを形成し、電
極をへこみに配置し、へこみにおいて端子に接続されて
いる。

【０００８】また、本発明のヘッド組立体は、磁気記録
媒体と対向する面と反対側に位置するスライダの固定面
に電極および素子形成面に電磁変換素子を形成したヘッ
ドと、ヘッドを担持するアーム部材とを備え、該電極に
対応してアーム部材上に端子を配置し、該端子に信号線
を接続したヘッド組立体において、アーム部材の所定領
域に、弾性ある部材からなるとともに、この領域の一部
を切り取ることによって支持ばねを形成し、支持ばねに
おけるヘッドの固定面に接触している部分を信号線の端
子よりもたかい位置に配置してなる。

【０００９】さらに、本発明のヘッド組立体は、スライ
ダの所定部に信号線を接続するための電極およびその端
部に電磁変換素子を形成されたヘッドと、ヘッドを支持
するアーム部材とを備えたヘッド組立体において、該ア
ーム部材と同一部材上に弾性力を有する支持ばねを形成
し、この支持ばねに貫通孔を形成し、この貫通孔からは
いり込んだ接着剤によって支持ばねにスライダを固定し
てなる。

【００１０】

【作用】最初のヘッド組立体において、組み立てはヘッ
ドを支持ばねの上に置き、固定面を支持ばねに固定する
とともに、電極と信号線とを接続することによってなさ
れる。このときに、支持ばねがアーム部材の一部を切り
取ることによって形成されているため、アーム部材にた
いする支持ばねの組み付け作業を必要とせず、信号線と
ヘッドとの接続も信号線が端子を電極に対応させてアー
ム部材の上に配置されていて、ヘッドを支持ばねに置く
と、端子と電極とが一致するため、たとえばあらかじめ
低融点はんだを端子あるいは電極に被覆し、このはんだ
を外部から溶融するだけでおこなえるばかりか、ヘッド
が素子形成面および固定面におけるこれらの面によって
形成される稜線を含む領域を削除することによって形成
されたへこみをもっていて、ヘッドを支持ばね上に配置
すると、端子および端子あるいは電極に被覆されたはん
だがへこみに収容され、支持ばねにおけるヘッドの固定
面に固定される面から突出しないので、傾かせずに支持
ばねにたいするヘッドの固定をおこなえる。そして、へ
こみの形成は、たとえば、側面に突出して形成された第
二の切刃部分をもつカッティングホイールを準備し、電
磁変換素子形成面をカッティングホイールに対面させて
ウェハを配置して、カッティングホイールが各々のヘッ
ドの分離をおこなうときに、第二の切刃部分に各々のヘ
ッドにおける電磁変換素子を形成される面とアーム部材
に固定される面との一部をこれらの面によって形成され
る稜線を含めて切除をおこなわせることによってなせ
る、つまりウェハの切断と同時におこなえる。

【００１１】二番目のヘッド組立体においても、組み立
てはヘッドを支持ばねの上に置き、固定面を支持ばねに
固定するとともに、電極と信号線とを接続することによ
ってなされる。が、このヘッド組立体においても、支持
ばねがアーム部材の一部を切り取ることによって形成さ
れているため、アーム部材にたいする支持ばねの組み付
け作業を必要とせず、信号線が端子を電極に対応させて
アーム部材上に配置されていて、ヘッドを支持ばねに置
くと、信号線における端子と電極とが一致するため、た
とえばあらかじめ低融点はんだを端子あるいは電極に被
覆し、このはんだを外部から溶かすだけでもって信号線
とヘッドとの接続をおこなえる。このときに、支持ばね
におけるヘッドに固定される面が信号線の端子よりもた
かい位置に配置され、信号線の端子および端子あるいは
電極に被覆されたはんだが支持ばねにおけるヘッドに固
定される面の下部に位置し、この面から突出しないの
で、ヘッドを傾かせずに支持ばねに固定することができ
るため、ヘッドの浮上特性にばらつきを生じさせずに組
み立てをおこなえる。そして、支持ばねにおけるヘッド
に固定される面を信号線よりもたかい位置へ配置するこ
とは、たとえば、アーム部材をプレス成形するときにい
っしょにおこなえる。

【００１２】これらのヘッド組立体において、へこみは
素子形成面と固定面とにおけるこれらの面によって形成
される稜線を含む領域を素子形成面と固定面とに平行に
削除することによって形成された段の形態を具備してい
ても、素子形成面と固定面とにおけるこれらの面によっ
て形成される稜線を含む領域を斜めに削除することによ
って形成された形態をもっていてもよい。

【００１３】三番目のヘッド組立体においても、組み立
てはヘッドを支持ばねの上に置き、固定面を支持ばねに
固定するとともに、電極と信号線とを接続することによ
ってなされる。が、支持ばねがアーム部材の一部を切り
取ることによって形成され、アーム部材にたいする支持
ばねの組み付け作業を必要とせず、信号線が端子を電極
に対応させてアーム部材上に配置され、ヘッドを支持ば
ねに置くと、信号線における端子と電極とが一致し、た
とえばあらかじめ低融点はんだを端子あるいは電極に被
覆し、このはんだを外部から溶かすだけでもって信号線
とヘッドとの接続をおこなえるばかりか、たとえば紫外
線硬化形樹脂からなる接着剤を貫通孔から注入し、外部
から紫外線を接着剤に照射するとともに、接着剤を硬化
させるだけでもって、支持ばねにたいするヘッドの固定
をおこなえる。そして、支持ばねの貫通孔の形成も、た
とえばアーム部材をプレス成形するときにいっしょにお
こなえる。

【００１４】

【実施例】このヘッド組立体は、図１および図２に示す
ように、ヘッド１０と、ヘッドに浮上荷重をあたえると
ともに、浮上に必要な運動をヘッドにあたえる支持ばね
をもつアーム部材２０と、ヘッドと外部機器とを接続す
る信号線３０とをもっている。

【００１５】ヘッド１０はスライダ１１を具備してい
る。スライダ１１はほぼ長方形の形態をもつもので、下
面が浮上のためのレールをもつ浮上面１２となっている
とともに、上面がアーム部材２０にたいして固定される
固定面１３となっている。電磁変換素子１４は、たとえ
ばＭＲ素子とインダクティブ素子とをもつデュアルヘッ
ドからなっていて、電極１５とともに浮上面１２と固定
面１３とにはさまれた面１６に形成されているが、電極
１５は固定面１３と素子形成面１６とによって形成され
る稜線にそって一列に並んでいるように成膜されてい
る。が、このヘッドにおいて、スライダ１１にはへこみ
１７が素子形成面１６と固定面１３とのあいだに設けら
れ、電極１５がこのへこみ１７の内部に配置されてい
る。へこみ自体は、素子形成面１６と平行な面１７ａと
固定面１３に平行な面１７ｂとからなる段の形態をもつ
もので、固定面１３および素子形成面１６に平行にこれ
らの面によって形成される稜線を含めて削除することに
よって形成されている。電極１５はへこみ１７における
固定面１３と平行な面１７ｂに位置するように素子形成
面１６に形成されている。なお、へこみ１７における固
定面１３からの深さは、たとえば０．００５ｍｍ〜０．
１ｍｍとなっている。

【００１６】アーム部材２０は、磁気ディスク上で安定
した浮上姿勢をヘッドにあたえる支持ばねの機能と、ヘ
ッド１０にたいして浮上荷重を印加するためのロードビ
ーム機能とを兼ね備えるとともに、このヘッドアッセン
ブリを磁気ディスク記憶装置に実装したときにヘッド１
０を記録再生制御回路に電気的に接続するための信号線
を含む回路を取り付けるためにディンプルをもたない構
造となっている。

【００１７】アーム部材自体はステンレス鋼の薄板のよ
うな弾性ある薄板からなる本体２１をもっている。この
本体２１には支持ばねがコの字形をなす二組の溝２２，
２３によって形成されている。支持ばね自体は枠形をな
す部分２４、スライダ１１が固定される支持部分２５、
枠形部分２４と本体２１とをつなぐ架橋部分２６および
支持部分２５と枠形部分２４とをつなぐ架橋部分２６と
からなっている。枠形部分２４は本体２１につながる架
橋部分２６を残して本体２１に設けた溝２２によって、
支持部分２５は架橋部分２７を残して本体２１に設けら
れた溝２３によってそれぞれ形成されている。架橋部分
２６はアーム部材２０の長手方向中心軸上に位置するよ
うに、架橋部分２７は架橋部分２６，２７に直交するよ
うに本体２１にそれぞれ形成されていて、支持部分２５
が架橋部分２６，２７によってアーム部材２０の長手方
向中心に位置する仮想軸を中心とする回動運動およびア
ーム部材２０の長手方向中心軸に直交する仮想軸を中心
とする回動運動をおこなえるようにさせている。支持部
分２５の中央には、のちに説明するように、ヘッド１０
を固定するときに利用する貫通孔２５ａが設けられてい
る。

【００１８】ヘッドと記録再生制御回路とを接続する回
路は、図３によく示されているように、端子２８、端子
２９および信号線３０からなっている。端子２８はアー
ム部材２０における支持部分２５を形成されている端部
と反対側にある端部の上面に配置され、端子２９は支持
部分２５の下面に配置され、信号線３０はこれらの端子
をつなぐように本体２１の下面に配置されている。が、
端子２９は、スライダ１１が支持部分２に固定されたと
きに、ヘッド１０の電極１５の各々に対面するように支
持部分２５に配置されている。これらの端子および信号
線は、アーム部材２０のジンバル機能およびロードビー
ムとしての機能に極力影響を与えないために、図１に示
すように、厚みが３〜２０μｍの薄い銅箔からなる導体
３１によって形成されているとともに、厚みが５〜２０
μｍのポリイミド樹脂のフィルムあるいはポリプロピレ
ン樹脂のフィルムからなる非常に薄い絶縁層３２によっ
てサンドイッチされたフレキシブル印刷配線板からなっ
ている。そして、導体３１における端子２９となる部分
には低融点のはんだ３３が被覆されている。はんだ自体
はたとえばインジウムを含む温度１５０゜Ｃ程度の融点
をもつものからなっている。

【００１９】アーム部材２０にたいするヘッド１０の組
み付けはスライダ１１の固定面１３をアーム部材の支持
部分２５に配置し、端子２９を電極１５に接合したあ
と、スライダ１１を支持部分２５に固定することによっ
てなされている。

【００２０】端子２９と電極１５との接合は、赤外線集
光ランプなどをもちいて端子２９に被覆されている低融
点はんだ３３を外部から溶融することによってなされ
る。支持部分２５にたいするヘッド１０の固定は、スラ
イダ１１を支持ばねにおける支持部分２５に載せ、紫外
線硬化形樹脂からなる接着剤３４を貫通孔２５ａに注入
し、外部から紫外線を接着剤３４に照射し、接着剤３４
を硬化させ、接着剤３４によってスライダ１１と支持部
分２５とを一体化させることでもってなされる。

【００２１】本発明によるヘッド組立体は、このよう
に、電極１５と端子２９との接続に際して、ヘッド１０
を支持部分２５の上に置くと、電極１５と端子２９とが
一致して、信号線の引き回しなどの作業を必要とするこ
となしに、ヘッド１０と信号線３０との接続をおこなえ
るばかりか、電極１５と端子２９とのあいだに微小なず
れがあっても、低融点はんだ３３が溶融したときにに生
じる表面張力によって補正位置決めされる。そして、ア
ーム部材２０にたいするヘッド１０の固定も、ヘッド１
０を支持部分２５に置くと、アーム部材２０の下面にあ
る端子２９およびこれに被覆された低融点はんだ３３を
含む突出部分がへこみ１７にはまり込み、端子２９や低
融点はんだ３３などがスライダ１１に干渉しない、つま
り傾かせることなしにヘッド１０を支持部分２５に固定
することができるため、組み立て後におけるヘッド姿勢
の修正作業を必要とせず、支持ばねを構成している支持
部分２５の貫通孔２５ａから接着剤３４を注入し、低融
点はんだ３３を外部から溶融するだけでもって、アーム
部材２０へのヘッド１０の固定および電極１５と端子２
９との接続をおこなえるため、ヘッド１０を傾かせるこ
となしに支持部分２５に固定することができることとあ
いまって、長手方向の長さがわずか１．６ｍｍ以下とい
うスライダをもつヘッドであっても、支持ばねにたいす
る固定および信号線との接続を確実かつ簡単におこなえ
る。なお、アーム部材２０における端子２９とヘッド１
０における電極１５との接合は、ヘッド１０をアーム部
材２０に固定した状態でもって全体を加熱炉にいれ、炉
内で低融点はんだ３３を溶融することによってもおこな
える。この場合に、加熱温度が１５０〜１８０゜Ｃ以上
になると、電磁変換素子１４を形成するために使用され
ている樹脂や電磁変化素子１４を構成している保護膜を
膨張させて、電磁変換素子１４を変形させることになる
ため、加熱温度は１５０゜Ｃ以下であることが望まし
い。

【００２２】ヘッドの製造は、従来のヘッドと同様に、
ウェハに多数のヘッドを形成し、ダイヤモンドカッティ
ングホイールによってウェハを切断して各々のヘッドを
分離し、各々のヘッドをアーム部材２０に固定しかつ各
々のヘッドにある電磁変換素子１４を信号線３０に接続
することによってなされる。詳しく説明する。

【００２３】ヘッド１０は、図４に示すように、ウェハ
４０における図面の紙面と平行な面４１にスパッタリン
グによって電磁変換素子、電極などを形成し、切断線４
２，４３にそってダイヤモンドカッティングホイールに
よってウェハ４０を切断することによって分離される。
が、へこみ１７は、ダイヤモンドカッティングホイール
によってウェハ４０の切断をおこなうときに、素子形成
面１６と固定面１３との隣接領域における稜線を含む部
分をいっしょに切除することによって形成されている。

【００２４】図５はウェハ４０の切断状態を示してい
る。ダイヤモンドカッティングホイール４４は直径の異
なっている二つの切刃部分４５，４６をもっている。切
刃部分４５はウェハ４０の厚みよりおおきな半径からな
る、周面と側面とが直角に配置された円板の形態を具備
している。切刃部分４６はウェハ４０の厚みよりも小さ
い半径からなる、周面と側面とが直角に配置された円板
の形態をもつもので、ダイヤモンドカッティングホイー
ル４５の表面に突出しかつダイヤモンドカッティングホ
イール４５と一体に形成されている。

【００２５】ウェハ４０の切断は、あるヘッド列におけ
る素子形成面１６がダイヤモンドカッティングホイール
４４に対面するようにウェハ４０を配置し、ダイヤモン
ドカッティングホイール４４を回転させ、切刃部分４５
があるヘッド列を構成する各々のヘッドの固定面１３と
このヘッド列に隣接しているヘッド列における各々のヘ
ッドの浮上面１２とのあいだに位置するようにウェハ４
０の位置決めをおこない、ダイヤモンドカッティングホ
イール４４にむかってウェハ４０を上昇させ、ウェハ４
０を直線移動させて図４に参照符号４２によって示され
ている切断線にそう切断を切刃部分４５によっておこな
わせたあと、ウェハ４０を下降させ、ウェハ４０をダイ
ヤモンドカッティングホイール４４から逃がすととも
に、浮上面１２と固定面１３との距離に関連する距離の
平行移動をなせたあと、ふたたびウェハ４０を上昇させ
かつ直線移動をさせて、つぎのヘッド列を構成するヘッ
ドの固定面と三番目のヘッド列を構成するヘッドの固定
面のあいだ、つまり図４におけるつぎの切断線４２にそ
うウェハ４０の切断を切刃部分４５におこなわせ、これ
らをくり返して切断線４２のすべてにそう切断をおこな
い、それから、ウェハ４０をダイヤモンドカッティング
ホイール４４から逃がすとともに角度９０゜の回転をな
させ、ダイヤモンドカッティングホイール４４の切刃部
分４５があるヘッド列を構成する各々のヘッドとこれに
隣接するヘッド列を構成する各々のヘッドにおける固定
面１３および浮上面１２に直交する面、つまり隣接する
ヘッド列の各々のヘッドの長手方向側面のあいだに位置
するようにウェハ４０の位置決めをおこなってから、ウ
ェハ４０をダイヤモンドカッティングホイール４４にむ
かって上昇させるとともに直線移動をなさせて、切刃部
分４５によって図４における切断線４３にそってウェハ
４０を切断させてから、ウェハ４０を逃がしかつ平行移
動をなさせてから、ふたたび上昇および直線移動をなさ
せて、つぎの切断線４３にそうウェハ４０の切断をダイ
ヤモンドカッティングホイール４４におこなわせ、これ
らをくり返し、すべての切断線４３にそう切断をおこな
うことによってなされている。が、切断線４３にそうウ
ェハ４０の切断をおこなうときに、ウェハ４０をさらに
上昇させてから、ダイヤモンドカッティングホイール４
４が切断線４３にそって直線移動をなすようにウェハ４
０を移動させることによって、へこみ１７を各々のヘッ
ドにおける面１３，１６に形成することができる。すな
わち、ダイヤモンドカッティングホイール４４の切刃部
分４５がウェハ４０を切断したあとに、へこみ１７の深
さ０．００５ｍｍ〜０．１ｍｍに関連する上昇と直線移
動とをウェハ４０になさせて、ダイヤモンドカッティン
グホイール４４がさらに深い位置での切断線４３にそう
移動をおこなわせることによって、切刃部分４６におけ
る周面および側面が各々のヘッドの素子形成面１６と固
定面１３との一部を切除して、図６に示すように、へこ
み１７が各々ヘッドにおける固定面１３および素子形成
面１６に形成される。

【００２６】ヘッドにおけるへこみは他の形態に形成さ
れていてもよい。図７はそのようなへこみをもつヘッド
組立体を示している。

【００２７】このヘッド組立体もへこみ１１７をもつヘ
ッド１１０およびほぼフラットな形態をもち、支持ばね
を一体に形成されているアーム部材１２０を具備してい
る。

【００２８】ヘッド１１０は、図１ないし図３に関連し
て説明したヘッド組立体と同様に、上面が浮上面１１
２、浮上面１１２と反対となる面がアーム部材１２０に
たいして固定される面１１３となっているとともに、こ
れらの面にはさまれた面１１６にＭＲ素子とインダクテ
ィブ素子とからなる電磁変換素子を形成された、ほぼ長
方形の形態をもつスライダ１１０を具備している。へこ
み１１７がこのスライダの素子形成面１１６と固定面１
１３とのあいだに形成され、電極がへこみ１１７に配置
されているが、へこみ１１７は素子形成面１１６と固定
面１１３との隣接領域をこれらの面によって形成される
稜線を含めて斜めに削除することによって形成され、電
極はこの斜面上に素子形成面１１６と固定面１１３とに
よって形成される稜線にそって一列にならぶように素子
形成面１６に形成されている。

【００２９】アーム部材１２０は図１ないし図３に関連
して説明したヘッド組立体のそれとおなじに構成されて
いる。すなわち、本体は弾性ある薄板からなっており、
枠型部分が本体に設けたコ字形なす二組の溝によって形
成されかつ架橋部分によって本体につながれ、ヘッド１
１０を取り付ける支持部分が枠型部分に設けられたコ字
形をなす一組の溝によって形成されかつ前述の架橋部分
と直交して配置されている架橋部分によって枠形部分に
つながれ、これらの架橋部分によってアーム部材の長手
方向中心軸を中心とする回動およびアーム部材の長手方
向中心軸に直交する軸を中心とする回動をおこなえるよ
うになっている。支持部分の中央にはヘッド１１０を接
着するときに利用する貫通孔が設けられている。図７に
はこれらのうち支持部分が参照符号１２５、貫通孔が１
２５ａでもってそれぞれ示されている。信号線１３０も
銅箔１３１とこれの両面を挟む薄い絶縁層１３２とをも
つフレキシブル印刷配線板からなっていて、ヘッド１１
０の電極に接続される端子１２９がアーム部材の支持部
分１２５の下面に位置し、もうひとつの端子がアーム部
材における支持部分１２５のある端部と反対側の端部の
上面に位置するようにアーム部材１２０の本体の下面に
配置されかつ固定されている。そして、端子１２９は、
ヘッド１１０の電極と同じ間隔に配置されているととも
に、アーム部材の支持部分１２５にスライダ１１１を固
定したときに、電極１１５の各々に対面するように支持
部分１２５に配置されている。端子１２９には低融点の
はんだ１３３が被覆されている。

【００３０】アーム部材１２０にたいするヘッド１１０
の組み付けは、スライダ１１１の固定面１１３をアーム
部材の支持部分１２５に接着し、端子１２９を電極１１
５に接合することによってなされている。

【００３１】支持部分１２５にたいするヘッド１１０の
固定は、スライダ１１１を支持ばねにおける支持部分１
２５に載せ、紫外線硬化形の樹脂からなる接着剤１３４
を孔１２５ａに注入したあと、接着剤１３４を硬化させ
て、接着剤１３４によってスライダ１１１と支持部分１
２５とを一体化させることによってなされる。また、端
子１２９と電極１１５との接合は、赤外線集光ランプな
どをもちいて外部からフレキシブル印刷配線板における
端子となる部分に被覆されている低融点はんだ１３３を
溶融することによって、あるいは加熱炉にいれてフレキ
シブル印刷配線板における端子となる部分に被覆された
低融点はんだ１３３を溶融することによってなされる。
これらに際して、ヘッド１１０を支持部分１２５に置く
と、電極１１５と銅箔１３１における端子となる部分と
が一致するため、信号線の引き回しなどの作業を必要と
せずにヘッド１１０と信号線１３０との接続をおこなえ
るばかりか、ヘッド１１０を支持部分１２５に置くと、
アーム部材１２０の下面にあるフレキシブル印刷配線板
における端子となる部分と端子に被覆された低融点はん
だ１３３とを含む突出部分がへこみ１１７にはまり込ん
で、端子１２９、低融点はんだ１３３などがスライダ１
１１に干渉しない、つまり傾かせることなしにヘッド１
１０を支持部分１２５に固定することができるため、組
み立て後におけるヘッド姿勢の修正作業を必要としな
い。そして、外部から赤外線ランプを照射してはんだ１
３３を溶融して、支持ばねにおける支持部分１２５にあ
る貫通孔１２５ａから接着剤１３４を注入しかつ外部か
ら紫外線照射することによって接着剤１３４を硬化させ
るだけで、アーム部材１２０にたいするヘッド１１０の
固定および電極１１５と端子１２９との接続をおこなえ
るため、傾かせずにヘッド１１０を支持ばねの支持部分
１２５に固定することができることとあいまって、長手
方向の長さがわずか１．６ｍｍ以下というスライダをも
っているヘッドであっても、支持ばねにたいする固定お
よび信号線との接続を確実かつ簡単におこなえる。

【００３２】また、へこみ１１７の形成も、図１ないし
図３に関連して説明したヘッド組立体と同様にウェハの
切断と同時におこなえる。この場合、隣接するヘッド１
１０は、図８に示すように、固定面１１３がたがいに向
い合うようにウェハに形成され、これを一対として浮上
面１１２が向い合うようにウェハに複数対形成されてい
る。ダイヤモンドカッティングホイール１４４は直径の
異なる二つの切刃部分１４５，１４６を具備している
が、切刃部分１４６は切刃部分１４５の両側面に配置さ
れている。そして、切刃部分１４６は、切刃部分１４５
よりも小さい半径をもつ、切刃部分１４５の表面に突出
して形成された円板の形態をもつものからなっている
が、周面が斜面となっている。ウェハの切断は、素子形
成面１１６をダイヤモンドカッティングホイール１４４
の周面に対面させてウェハを配置し、ダイヤモンドカッ
ティングホイール１４４を回転させ、切刃部分１４５が
ある対を構成しているヘッド列の固定面１１３のあいだ
に位置するようにウェハの位置決めをおこなったあと、
ウェハをダイヤモンドカッティングホイール１４４にむ
かって上昇させるとともに、ウェハを直線移動させて図
３における切断線４２に関連する切断をおこなわせ、そ
れからウェハを下降させてダイヤモンドカッティングホ
イール１４４から逃がすとともに、つぎの切断線４２に
対応する位置に移動させ、ふたたびウェハに上昇および
直線移動をなさせてダイヤモンドカッティングホイール
１４４にウェハの切断をなさせ、これらをくり返して、
図４における切断線４２のすべてに関連するウェハの切
断をおこなったあと、ウェハを下降させかつ角度９０゜
の回転をなさせて、切刃部分１４５が隣接ヘッド列にお
ける浮上面１１２と固定面１１３とに直交する側面のあ
いだに位置するようにウェハの位置決めをおこなってか
ら、ダイヤモンドカッティングホイール１４４にむかっ
てウェハを上昇させるとともに直線移動をなさせて、図
４における切断線４３に関連するウェハの切断をおこな
わせ、それからウェハを下降しかつ平行移動させ、ダイ
ヤモンドホイール１４４をつぎの切断線４３に関連する
位置に合わせてから、ふたたび上昇と直線移動とをウェ
ハになさせてダイヤモンドカッティングホイール１４４
にウェハの切断をなさせ、これらをくり返して図４にお
ける切断線４３のすべてに関連するウェハの切断をおこ
なうことによってなされている。が、このヘッドにおい
ても、へこみ１１７の形成はダイヤモンドカッティング
ホイール１４４が対を構成しているヘッド列の固定面１
１３のあいだの切断をおこなうときに、切刃部分１４５
がヘッドの分離をおこなったあと、へこみ１１７の深さ
に関連する上昇および直線移動をウェハになさせること
によっておこなわれる。二つの切刃部分１４６の周面お
よび側面は、これによって、対を構成しているヘッド列
の素子形成面１１６と固定面１１３との一部をこれらの
面によって形成される稜線を含めて切除して、対を構成
しているヘッドの各々における素子形成面１１６および
固定面１１３に断面三角形をなしているへこみ１１７を
形成する。

【００３３】図９および図１０は本発明の磁気ディスク
記憶装置にたいするヘッド組立体の他の実施例を示して
いる。

【００３４】このヘッド組立体もヘッド２１０およびヘ
ッドを支持する部材２２０を具備している。

【００３５】ヘッド２１０におけるスライダ２１１は、
図１ないし図３に関連して説明したヘッド組立体のヘッ
ドと同様に、ほぼ長方形の形態をもち、下面が浮上面２
１２となっているとともに、浮上面２１２と反対側にあ
る上面がアーム部材２２０にたいして固定される固定面
２１３となっており、そして、これらの面にはさまれた
面２１６にＭＲ素子とインダクティブ素子とからなる電
磁変換素子を成膜されている。が、スライダ２１１には
へこみが形成されておらず、電極２１５は素子形成面２
１６と固定面２１３との隣接領域をこれらの面によって
形成される稜線そって一列に並ぶように固定面２１３に
形成されている。

【００３６】アーム部材２２０は本体２２１がステンレ
ス鋼板のような弾性ある薄板からなっている。スライダ
２２１が固定される支持部分２２５は、本体２２１に設
けたコ字形なす二組の溝２２３によって形成されている
とともに、ブリッジ２２５によって本体２２１につなが
れ、アーム部材の長手方向に直交する仮想軸を中心とす
る回動をおこなえるようにさせている。スライダ２１１
を接着するための貫通孔２２５ａが支持部分２２５の中
央に設けられている。また、本体２２１の下面にはフレ
キシブル印刷配線板２３６が積層されかつこれに固定さ
れている。フレキシブル印刷配線板は、ヘッド２１０の
電極２１５に接続する端子２２９と信号線２３０とをも
つもので、アーム部材２２０の支持部分にスライダ２１
１を固定したときに、端子２２９が電極１１５の各々に
対面するようにアーム部材２２０に接着されている。そ
して、アーム部材の支持部分２２５は、スライダ２１１
を固定される表面がフレキシブル印刷配線板２３６の外
表面と同一平面内に位置するように下方へ突出させられ
ている。支持部分２２５の突出は、たとえばアーム部材
をプレス成形するときに、ブリッジ２２６をいっしょに
曲げることによってなされている。

【００３７】アーム部材２２０にたいするヘッド２１０
の組み付けは、スライダ２１１の固定面２１３をアーム
部材の支持部分２２５に接着し、端子２２９を電極２１
５に接合することによってなされている。

【００３８】このときに、ヘッド２１０を支持部分２２
５の上に置き、支持部分２２５にある孔２２５ａから紫
外線硬化形樹脂からなる接着剤を注入し、接着剤２３４
を硬化させることによって、ヘッド２１０を支持ばねに
固定することができるとともに、ヘッド２１０を支持部
分１２５の上に置くと、電極１５とフレキシブル印刷配
線板２３６における支持部分２２５にある端子２２９と
が一致し、端子１１５に被覆されているはんだ２３３を
たとえば赤外線集光ランプによって溶融するだけで、電
極２１５と端子２２９との接続をおこなえるため、組み
立てをきわめて簡単におこなえるばかりか、ヘッド２１
０を支持部分２２５の上に置くと、たかい位置にある支
持部分２２５がヘッド２１０とフレキシブル印刷配線板
２３６との干渉を防いで、ヘッド２１０を傾かせずにア
ーム部材２２０にたいして固定することができ、しかも
支持ばねにおける支持部分２２５の孔２２５ａから接着
剤２３４を注入し、はんだ２３３を外部から溶融するだ
けで、アーム部材２２０にたいするヘッド２１０の固定
および電極２１５と端子２２９との接続をおこなえるた
め、傾かせずにヘッド２１０を支持ばねの支持部分２２
５に固定することができることとあいまって、長手方向
の長さがわずか１．６ｍｍ以下というスライダをもつヘ
ッドであっても、支持ばねにたいする固定および信号線
との接続を確実かつ簡単におこなえる。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、アーム部材に対する支
持ばねの組み付け作業を必要とせず、ヘッドと信号線と
の接続作業を簡単におこなえる。また、ヘッド姿勢の傾
きにもとづく組み立て後の調整作業も特に必要とせず、
さらにスライダに追加加工を必要としないので、スライ
ダがかなり小型化されても、簡単にかつ低コストでもっ
て製作をおこなえる磁気ディスク装置のヘッド組立体を
得ることができる。

【００４０】また、本発明によれば、アーム部材に接着
用の貫通孔を設けたので、スライダを支持ばね容易に接
着固定できる。

【００４１】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のヘッド組立体の一実施例を示す断面図
である。

【図２】図１に示すヘッド組立体の分解斜視図である。

【図３】図２におけるアーム部材を下面から見た斜視図
である。

【図４】ヘッドを成膜されたウェハの切断の仕方を示す
説明図である。

【図５】切断されたウェハの側面を拡大して示す説明図
である。

【図６】ウェハの切断手段および切断状態を示す説明図
である。

【図７】本発明のヘッド組立体の他の実施例におけるヘ
ッドの斜視図である。

【図８】図７に示すヘッド組立体におけるヘッドを成膜
されたウェハの切断手段および切断状態を示す説明図で
ある。

【図９】本発明のヘッド組立体のさらに他の実施例にお
けるヘッドまわりの下面図である。

【図１０】図９のＡ−Ａ線にそう断面図である。

【符号の説明】

１１，１１１，２１１…スライダ １２，１１２，２１２…浮上面 １３，１１３，２１３…固定面 １４…電磁変換素子 １５，２１５…電極 １６，１１６，２１６…素子形成面 １７，１１７…へこみ ２５〜２７，１２５，２２５，２２６…支持ばね ２０，１２０，２２０…アーム部材 ３０，２３０…信号線。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気記録媒体と対向する面と反対側に位
   置するスライダの固定面に電極および素子形成面に電磁
   変換素子を形成したヘッドと、ヘッドを担持するアーム
   部材とを備え、該電極に対応してアーム部材上に端子を
   配置し、該端子に信号線を接続したヘッド組立体におい
   て、アーム部材の所定領域に、弾性ある部材からなると
   ともに、この領域の一部を切り取ることによって支持ば
   ねを形成し、ヘッドを支持ばねに固定するとともに、素
   子形成面と固定面とにおけるこれらの面によって形成さ
   れる稜線を含む領域を削除することによってへこみを形
   成し、電極をへこみに配置し、へこみにおいて端子に接
   続されることを特徴とする磁気ディスク記憶装置のヘッ
   ド組立体。
2. 【請求項２】 磁気記録媒体と対向する面と反対側に位
   置するスライダの固定面に電極および素子形成面に電磁
   変換素子を形成したヘッドと、ヘッドを担持するアーム
   部材とを備え、該電極に対応してアーム部材上に端子を
   配置し、該端子に信号線を接続したヘッド組立体におい
   て、アーム部材の所定領域に、弾性ある部材からなると
   ともに、この領域の一部を切り取ることによって支持ば
   ねを形成し、支持ばねにおけるヘッドの固定面に接触し
   ている部分を信号線の端子よりもたかい位置に配置して
   なることを特徴とする磁気ディスク記憶装置のヘッド組
   立体。
3. 【請求項３】 スライダの所定部に信号線を接続するた
   めの電極およびその端部に電磁変換素子を形成されたヘ
   ッドと、ヘッドを支持するアーム部材とを備えたヘッド
   組立体において、該アーム部材と同一部材上に弾性力を
   有する支持ばねを形成し、この支持ばねに貫通孔を形成
   し、この貫通孔からはいり込んだ接着剤によって支持ば
   ねにスライダを固定してなる磁気ディスク記憶装置のヘ
   ッド組立体。