JPH07294122A - セラミックグリーンシート乾燥装置及びセラミックグリーンシート乾燥方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】押し出し成形法により作られるセラミックグリ
ーンシートを効率よく、且つ、均一に乾燥することで、
セラミックグリーンシートの内部応力を低減させ、セラ
ミックグリーンシートを焼成した際の反り等の変形によ
る形状不良を低減することにある。 【構成】本発明のセラミックグリーンシート乾燥装置２
１は、セラミックグリーンシートＳを乾燥させる乾燥室
と、前記セラミックグリーンシートを、この乾燥室内を
移送させる搬送手段３とを備え、前記乾燥室は、前記搬
送手段３により移送されるセラミックグリーンシートＳ
をマイクロ波加熱するマイクロ波加熱ゾーンを有し、こ
のマイクロ波加熱ゾーン２６に温風供給加熱装置を備え
ることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、セラミックグリーンシ
ートの内部及び上下面を均一に乾燥するためのセラミッ
クグリーンシート乾燥装置及びセラミックグリーンシー
ト乾燥方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のセラミックグリーンシート乾燥装
置及びセラミックグリーンシート乾燥方法について、外
部加熱を用いたセラミックグリーンシート乾燥装置を例
にして、図３を参照して説明する。セラミックグリーン
シート乾燥装置１は、乾燥室２とセラミックグリーンシ
ートＳが乾燥室２を水平方向に通過可能な搬送手段３か
らなっている。

【０００３】乾燥室２は、水平方向に貫通孔４を有し、
その貫通孔４上方に、例えば、赤外線加熱ヒータからな
る外部加熱ヒータ７が設置された、外部加熱ゾーン８を
有している。

【０００４】搬送手段３は、乾燥室２の入口９と出口１
０に回転ローラ１１，１２を有し、その間をベルト１３
を掛け渡し、回転ローラ１１又は１２をモータＭを用い
て回転させることにより、ベルト１３を所定方向Ｘに回
転移動させるベルトコンベアであり、乾燥室２の入口９
から貫通孔４を通過して出口１０まで、セラミックグリ
ーンシートＳを移送することができるものである。

【０００５】かかる構成のセラミックグリーンシート乾
燥装置１を用いてセラミックグリーンシートＳを乾燥さ
せる方法を説明する。

【０００６】乾燥前のセラミックグリーンシートＳを、
セラミックグリーンシート乾燥装置１の入口９側のベル
ト１３上に乗せる。ベルト１３上のセラミックグリーン
シートＳは、ベルト１３の回転移動に伴って、貫通孔４
内をＸ方向に移送される。そして外部加熱ゾーン８を通
過する際に、外部加熱により、セラミックグリーンシー
トＳはその上面部から乾燥されて、出口１０側へ移送さ
れる。

【０００７】尚、セラミックグリーンシート乾燥装置１
の加熱手段が外部加熱に代わってマイクロ波加熱や温風
供給加熱であっても、セラミックグリーンシートを乾燥
させることができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
セラミックグリーンシートの乾燥装置及び乾燥方法にお
いて、次のような問題点を有していた。

【０００９】１．乾燥室の貫通孔には、その下方にセラ
ミックグリーンシート移送用のベルト等の搬送手段があ
るため、外部加熱ヒータは、加熱効率上貫通孔の上方に
設置されていた。そのため、乾燥室を通過して乾燥中の
セラミックグリーンシートは、その上面側と下面側とで
乾燥される温度差による乾燥に差ができ、この差によっ
てセラミックグリーンシートに内部応力が残留すること
になる。そして、この内部応力を持つセラミックグリー
ンシートを焼成すると、セラミックスに反りが発生する
ことがあった。

【００１０】２．外部加熱では、セラミックグリーンシ
ートは上面部から順に内部方向に乾燥されるため、乾燥
に長時間を要し乾燥効率が悪かった。

【００１１】３．乾燥室の貫通孔は、加熱効率を高める
ため、その断面積（乾燥室の貫通孔の容積）を大きくし
難い。したがって、外部加熱によるセラミックグリーン
シートの乾燥に伴い発生する水蒸気等の蒸発物は断面積
が小さい貫通孔内に充満して、乾燥に長時間を要して乾
燥効率が悪かった。

【００１２】４．外部加熱に代わって温風でセラミック
グリーンシートを乾燥させる場合、従来例の外部加熱と
同様に、セラミックグリーンシートは上面部から順に内
部方向に乾燥されるため、乾燥効率が悪かった。

【００１３】５．外部加熱に代わってマイクロ波加熱で
セラミックグリーンシートを乾燥させる場合、従来例の
外部加熱と同様に、マイクロ波加熱によってセラミック
グリーンシートが乾燥されるに伴い発生する水蒸気等の
蒸発物は、貫通孔内の換気が十分になされないため、貫
通孔内に充満して結露したり、又、乾燥に長時間を要し
ていた。また、マイクロ波加熱では、セラミックグリー
ンシートの内部から加熱されるが、乾燥を早めるために
電力を上げるとセラミックグリーンシート内部で溶媒が
突沸し、セラミックグリーンシートが爆裂することがあ
った。

【００１４】本発明の目的は、上述の問題点を解消すべ
くなされたもので、例えば、押し出し成形法により作ら
れるセラミックグリーンシートを効率よく、且つ、均一
に乾燥することで、セラミックグリーンシートの内部応
力を低減させ、セラミックグリーンシートを焼成した際
の反り等の変形による形状不良を低減することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のセラミックグリーンシート乾燥装置は、セ
ラミックグリーンシートを乾燥させる乾燥室と、前記セ
ラミックグリーンシートを、この乾燥室内を移送させる
搬送手段とを備え、前記乾燥室は、前記搬送手段により
移送されるセラミックグリーンシートをマイクロ波加熱
するマイクロ波加熱ゾーンを有し、このマイクロ波加熱
ゾーンに温風供給加熱装置を備えることを特徴とする。

【００１６】また、セラミックグリーンシートを乾燥さ
せる乾燥室と、前記セラミックグリーンシートを、この
乾燥室内を移送させる搬送手段とを備え、前記乾燥室
は、前記搬送手段により移送されるセラミックグリーン
シートを、マイクロ波加熱するマイクロ波加熱ゾーン及
び外部から加熱する外部加熱ゾーンを有し、このマイク
ロ波加熱ゾーン及び外部加熱ゾーンに、温風供給加熱装
置を備えることを特徴とする。

【００１７】そして、前記搬送手段は、前記セラミック
グリーンシートの上下面を反転させる手段を備えている
ことを特徴とする。

【００１８】また、前記搬送手段は、上下に少なくとも
二段から構成され、この上下二段の搬送手段の搬送方向
は互いに反対方向であり、前記セラミックグリーンシー
トが、前記上段の搬送手段により一方向に移送され、前
記上段の搬送手段の最終端でこの搬送手段から前記下段
の搬送手段に移され、この下段の搬送手段により逆方向
に移送されることにより、前記セラミックグリーンシー
トの上下面を反転させることを特徴とする。

【００１９】更に、セラミックグリーンシートを乾燥さ
せる乾燥室と、前記セラミックグリーンシートを、この
乾燥室内を移送させる搬送手段とを備え、前記乾燥室
は、前記搬送手段により移送されるセラミックグリーン
シートを、マイクロ波加熱するマイクロ波加熱ゾーン及
び外部から加熱する外部加熱ゾーンを有し、このマイク
ロ波加熱ゾーン及び外部加熱ゾーンに、温風供給加熱装
置を備え、前記搬送手段は上下に少なくとも二段から構
成されていることを特徴とする。

【００２０】そして上述の乾燥室は、この乾燥室の出口
近傍に冷却ゾーンを有することを特徴とする。

【００２１】本発明によるセラミックグリーンシートの
乾燥方法は、セラミックグリーンシート移送用の搬送手
段により移送されるセラミックグリーンシートを、マイ
クロ波加熱するとともに温風供給加熱をして乾燥するこ
とを特徴とする。

【００２２】また、セラミックグリーンシート移送用の
搬送手段により移送されるセラミックグリーンシート
を、マイクロ波加熱するとともに温風供給加熱をして乾
燥し、次に、外部加熱するとともに温風供給加熱をして
乾燥することを特徴とする。

【００２３】そして、前記セラミックグリーンシート
を、乾燥するための移送中に上下面を反転させて乾燥す
ることを特徴とする。

【００２４】また、前記セラミックグリーンシートを、
上下少なくとも二段の搬送手段を用い、上段の搬送手段
上で前記セラミックグリーンシートを加熱させ、下段の
搬送手段に移送する際に、前記セラミックグリーンシー
トの上下面を反転させ、下段の搬送手段上で前記セラミ
ックグリーンシートを加熱させることを特徴とする。

【００２５】

【作用】本発明では、上述のような構成の加熱ゾーンを
有するセラミックグリーンシート乾燥装置及びセラミッ
クグリーンシート乾燥方法では、温風供給加熱による温
風が、マイクロ波加熱又は外部加熱によるセラミックグ
リーンシートから蒸発する蒸発物を、乾燥室から排出す
るために乾燥効率が高くなる。また、マイクロ波加熱又
は／及び外部加熱に、温風供給加熱を併用することによ
り、セラミックグリーンシートを先ず内部から乾燥をさ
せ、次に上面部を乾燥させることができ、乾燥を効率よ
くすることができる。この乾燥の際に、マイクロ波加熱
により発生する蒸発物が温風とともに乾燥室から排出さ
れるため、乾燥室内部に発生する結露を防止することが
できる。

【００２６】そして、セラミックグリーンシートを、乾
燥室を移送中に上面側と下面側を反転させることによ
り、セラミックグリーンシートの上下面をより均一に乾
燥させ、セラミックグリーンシートの内部に応力が残留
することを防ぐ。

【００２７】

【実施例】以下に、本発明の第１実施例を図１にもとづ
いて説明する。但し、前述の従来例と同一部分について
は、同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。

【００２８】セラミックグリーンシート乾燥装置２１
は、上下２段の乾燥室２２ａ，２２ｂとセラミックグリ
ーンシートＳが乾燥室２２ａ，２２ｂを水平方向に移送
させる搬送手段３，３からなっている。

【００２９】乾燥装置２１の上段に設けられた乾燥室２
２ａは、水平方向に貫通孔２４ａを有し、その貫通孔２
４ａ上方にマイクロ波加熱装置２５が設置された、マイ
クロ波加熱ゾーン２６を有している。また、乾燥室２２
ａには温風供給加熱装置（図示せず）が設置され、温風
供給加熱装置からの温風は、例えば、乾燥室２２ａ内に
設けられたファン（図示せず）等により貫通孔２４ａの
右側の出口３０ａ近傍から左側の入口２９ａ方向に流さ
れ、入口２９ａから排出される。乾燥装置２１の下段に
設けられた乾燥室２２ｂは、水平方向に貫通孔２４ｂを
有し、乾燥室２２ｂには温風供給加熱装置（図示せず）
が設置され、そこから供給される温風は上述と同様に乾
燥室２２ｂの左側の出口３０ｂ近傍から右側の入口２９
ｂ方向に流され、入口２９ｂから排出される。

【００３０】乾燥室２２ａに設けられた搬送手段３は、
乾燥室２２ａの入口２９ａと出口３０ａに回転ローラ１
１，１２を有し、その間をベルト１３を掛け渡し、回転
ローラ１１又は１２をモータＭを用いて回転させること
により、ベルト１３をＸ方向に回転移動させるベルトコ
ンベアであり、乾燥室２２ａの入口２９ａから貫通孔２
４ａを通過して出口３０ａまで、左から右方向へセラミ
ックグリーンシートＳを移送することができるものであ
る。乾燥室２２ｂに設けられた搬送手段３は、上段の搬
送手段３と同様に、ベルト１３をＹ方向に回転移動させ
て，乾燥室２２ｂの入口２９ｂから貫通孔２４ｂを通過
して出口３０ｂまで、セラミックグリーンシートＳを右
から左方向へ移送することができるものである。

【００３１】かかる構成のセラミックグリーンシート乾
燥装置２１を用いてセラミックグリーンシートＳを乾燥
させる方法を説明する。

【００３２】乾燥前のセラミックグリーンシートＳを、
セラミックグリーンシート乾燥装置２１の上段の入口２
９ａ側のベルト１３上に乗せる。セラミックグリーンシ
ートＳは、ベルト１３の回転移動に伴って、貫通孔２４
ａ内をＸ方向に移送される。そしてマイクロ波加熱ゾー
ン２６を通過する際に、マイクロ波加熱により、セラミ
ックグリーンシートＳはその内部から乾燥されるととも
に、温風供給加熱装置からの温風によりその上面側にな
るＡ面からも乾燥される。その際に発生するセラミック
グリーンシートＳからの蒸発物は、温風の流れＷととも
に乾燥室２２ａをＷ方向に流されて入口２９ａから排出
される。

【００３３】そしてセラミックグリーンシートＳは、乾
燥されながら出口３０ａ側へ移送され、ベルト１３の終
端に達したセラミックグリーンシートＳは、垂直下方に
落下し、移送方向が右から左方向の下段の搬送手段３の
ベルト１３の右側の始端上に乗る。この上段の搬送手段
３から下段の搬送手段３に移り変わる際、上段の貫通孔
２４ａ内を移送中のセラミックグリーンシートＳのＡ面
が、下段の貫通孔２４ｂ内を移送中には下面側になる。
つまり、乾燥室２２ａから乾燥室２２ｂに移送されるセ
ラミックグリーンシートＳは上下面が反転することにな
る。

【００３４】上下面が反転したセラミックグリーンシー
トＳは、乾燥室２２ａの入口２９ｂから搬入され、貫通
孔２４ｂを移送中に温風供給加熱装置からの温風により
Ａ面と反対面になる上面側であるＢ面から乾燥されなが
ら、出口３０ｂから排出される。

【００３５】次に、本発明の第２実施例を図２にもとづ
いて説明する。セラミックグリーンシート乾燥装置４１
は、上中下３段の乾燥室４２ａ，４２ｂ，４２ｃとセラ
ミックグリーンシートＳを乾燥室４２ａ，４２ｂ，４２
ｃ内を水平方向に移送させる搬送手段３，３，３からな
っている。

【００３６】乾燥装置４１の上段に設けられた乾燥室４
２ａは、水平方向に貫通孔４４ａを有し、その貫通孔４
４ａ上方にマイクロ波加熱装置２５が設置されたマイク
ロ波加熱ゾーン４６及びマイクロ波加熱ゾーン４６の次
に、例えば、乾燥室内上方に設置された遠赤外線ヒータ
又は近赤外線ヒータ，乾燥室内周囲に設置された抵抗ヒ
ータ等からなる外部加熱ヒータ４７ａが設置された外部
加熱ゾーン４８ａを有している。また、乾燥室４２ａに
は温風供給加熱装置（図示せず）が設置され、そこから
供給される温風は前述の第１実施例と同様に乾燥室４２
ａの右側の出口５０ａ近傍から左側の入口４９ａ方向に
流され、入口４９ａから排出される。

【００３７】乾燥装置４１の中段に設けられた乾燥室４
２ｂは、水平方向に貫通孔４４ｂを有し、外部加熱ヒー
タ４７ｂが設置された外部加熱ゾーン（図示せず）を有
している。また、乾燥室４２ｂには温風供給加熱装置
（図示せず）が設置され、そこから供給される温風は上
述と同様に乾燥室４２ｂの左側の出口５０ｂ近傍から右
側の入口４９ｂ方向であるＷ方向に流され、入口４９ｂ
から排出される。

【００３８】乾燥装置４１の下段に設けられた乾燥室４
２ｃは、水平方向に貫通孔４４ｃを有し、外部加熱ヒー
タ４７ｃが設置された外部加熱ゾーン（図示せず）を有
している。また、乾燥室４２ｃには温風供給加熱装置
（図示せず）が設置され、そこから供給される温風は上
述と同様に乾燥室４２ｃの右側の出口５０ｃ近傍から左
側の入口４９ｃ方向であるＷ方向に流され、入口４９ｃ
から排出される。

【００３９】乾燥室４２ａに設けられた搬送手段３は、
前述と同様に、ベルト１３をＸ方向に回転移動させるベ
ルトコンベアであり、乾燥室４２ａの入口４９ａから貫
通孔４４ａを通過して出口５０ａまで、Ｘ方向へセラミ
ックグリーンシートＳを移送することができる。中段の
乾燥室４２ｂに設けられた搬送手段３は、乾燥室４２ｂ
の入口４９ｂから貫通孔４４ｂを通過して出口５０ｂま
で、セラミックグリーンシートＳをＹ方向へ移送するこ
とができる。下段の乾燥室４２ｃに設けられた搬送手段
３は、乾燥室４２ｃの入口４９ｃから貫通孔４４ｃを通
過して出口５０ｃまで、セラミックグリーンシートＳを
Ｘ方向へ移送することができる。

【００４０】かかる構成のセラミックグリーンシート乾
燥装置４１を用いてセラミックグリーンシートＳを乾燥
させる方法を説明する。

【００４１】乾燥前のセラミックグリーンシートＳを、
セラミックグリーンシート乾燥装置４１の上段の入口４
９ａ側のベルト１３上に乗せる。セラミックグリーンシ
ートＳは、ベルト１３の回転移動に伴って、貫通孔４４
ａ内をＸ方向に移送される。そしてマイクロ波加熱ゾー
ン４６を通過する際に、マイクロ波加熱により、セラミ
ックグリーンシートＳはその内部から乾燥されるととも
に、温風供給加熱装置からの温風によりその上面側であ
るＡ面からも乾燥される。その際に発生するセラミック
グリーンシートＳからの蒸発物は、温風供給加熱装置か
ら供給される温風の流れＷとともに乾燥室４２ａをＷ方
向に流されて入口４９ａから排出される。次に、外部加
熱ゾーン４８ａを通過する際に、外部加熱及び温風供給
加熱により、セラミックグリーンシートＳは主にそのＡ
面から乾燥される。その際に発生するセラミックグリー
ンシートＳからの蒸発物は温風供給加熱装置から供給さ
れる温風の流れＷとともに乾燥室４２ａをＷ方向に流さ
れて入口４９ａから排出される。

【００４２】そしてセラミックグリーンシートＳは、乾
燥されながら出口５０ａ側へ移送され、ベルト１３の終
端に達したセラミックグリーンシートＳは、垂直下方に
落下し、中段の移送方向が逆の搬送手段３のベルト１３
の右側の始端上に乗る。この上段の搬送手段３から中段
の搬送手段３に移り変わる際、乾燥室４２ａから乾燥室
４２ｂに移送されるセラミックグリーンシートＳは上下
面が逆転し、Ａ面が下面側になる。

【００４３】上下面が反転したセラミックグリーンシー
トＳは、中段の搬送手段３により乾燥室４２ｂの入口４
９ｂから搬入され、貫通孔４４ｂ内をＹ方向に移送され
る。貫通孔４４ｂの外部加熱ゾーン４８ｂを通過する際
に、外部加熱及び温風供給加熱により、セラミックグリ
ーンシートＳは主にＡ面と反対面になる上面側であるＢ
面から乾燥される。その際に発生するセラミックグリー
ンシートＳからの蒸発物は温風供給加熱装置から供給さ
れる温風の流れＷとともに乾燥室４２ｂをＷ方向に流さ
れて入口４９ｂから排出される。

【００４４】そしてセラミックグリーンシートＳは、乾
燥されながら出口５０ｂ側へ移送され、ベルト１３の終
端に達したセラミックグリーンシートＳは、垂直下方に
落下し、下段の搬送手段３のベルト１３上に乗る。この
中段の搬送手段３から下段の搬送手段３に移り変わる
際、セラミックグリーンシートＳは再び上下面が逆転す
ることになる。

【００４５】再び、上下面が反転したセラミックグリー
ンシートＳは、下段の搬送手段３により乾燥室４２ｃの
入口４９ｃから搬入され、貫通孔４４ｃ内をＸ方向に移
送される。貫通孔４４ｃの外部加熱ゾーンを通過する際
に、外部加熱及び温風供給加熱により、セラミックグリ
ーンシートＳは主にその上面側になるＡ面から乾燥され
る。その際に発生するセラミックグリーンシートＳから
の蒸発物は温風供給加熱装置から供給される温風の流れ
Ｗとともに乾燥室４２ｃをＷ方向に流されて入口４９ｃ
から排出される。

【００４６】以上のようにして、セラミックグリーンシ
ートＳは、乾燥室内を上下面を反転させながらより均一
に早く乾燥される。

【００４７】ここで、従来例のセラミックグリーンシー
ト乾燥装置と本発明によるセラミックグリーンシート乾
燥装置とを用いてセラミックグリーンシートを乾燥させ
た比較実験の一例を挙げる。

【００４８】乾燥前の含水量が１６．７wt％のセラミッ
クグリーンシートを、０．２kwのマイクロ波加熱をして
乾燥すると含水量は１３．０wt％に乾燥され，１１０℃
の温風供給加熱をして乾燥すると含水量は１１．０wt％
に乾燥されたのに対し、０．２kwのマイクロ波加熱と１
１０℃の温風供給加熱とを併用して乾燥すると含水量は
５．３５wt％に乾燥された。したがって、単独加熱によ
る乾燥方法に比べて本発明によるセラミックグリーンシ
ート乾燥装置を用いた乾燥方法では、セラミックグリー
ンシートの含水量は１／２以下にまで乾燥され、乾燥時
間を１／２以下に短縮することができた。

【００４９】上述のように、本発明によるセラミックグ
リーンシート乾燥装置では、乾燥室を上下に複数段から
なる構成としているため、設置面積が狭くなり、使用面
積当たりの生産性が高くなる。

【００５０】尚、本発明によるセラミックグリーンシー
ト乾燥装置２１，４１の下段の温風供給加熱ゾーン（図
示せず）又は／及び外部加熱ゾーンと、貫通孔２２ｂ，
４２ｃの出口３０ｂ，５０ｃとの間に冷風を送風する冷
却ゾーンを設け、セラミックグリーンシート乾燥装置２
１，４１からセラミックグリーンシートＳを冷却してか
ら取り出すことが可能である。

【００５１】尚、第１実施例におけるマイクロ波加熱装
置２１によるマイクロ波加熱ゾーンに代わって外部加熱
による外部加熱ゾーンを設け、温風供給加熱と併用する
乾燥装置であってもよい。又、第２実施例のセラミック
グリーンシート乾燥装置４１において、セラミックグリ
ーンシートＳを全ての乾燥室４２ａ〜４２ｃを通過させ
て、マイクロ波加熱，外部加熱，温風供給加熱により乾
燥させる乾燥方法に限るものでなく、選択的加熱、例え
ば、マイクロ波加熱と温風供給加熱、又は、外部加熱と
温風供給加熱を選択した乾燥方法でもよい。

【００５２】又、セラミックグリーンシートＳの上下面
反転装置は、上述の実施例に限定されるものでなく、移
送途中でセラミックグリーンシートＳの長手方向で１８
０度捩じることにより、上下面を反転させてもよい。

【００５３】搬送手段３は、ベルトコンベアに限定され
るものでなく、乾燥室の貫通孔内に多数の回転ローラを
回転させて、セラミックグリーンシートＳを移送するも
のでもよい。

【００５４】第１及び第２実施例のセラミックグリーン
シート乾燥装置２１，４１において、温風供給加熱装置
から供給される温風の排出は、入口２９ａ，２９ｂ，４
９ａ〜４９ｃを通じて排出したが、好ましくは、入口２
９ａ，２９ｂ，４９ａ〜４９ｃ近傍に各々排気ダクトを
設けるのがよい。

【００５５】また、第１及び第２実施例のセラミックグ
リーンシート乾燥装置２１，４１において、温風供給加
熱装置に代わって温風循環加熱装置であってもよい。

【００５６】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によるセラミ
ックグリーンシート乾燥装置及びセラミックグリーンシ
ート乾燥方法では、以下のような効果が得られる。

【００５７】１．従来のマイクロ波加熱，外部加熱，温
風供給加熱等の単独加熱によるセラミックグリーンシー
ト乾燥方法に比べて、それらを併用加熱することにより
早く乾燥することができ、乾燥時間を短縮することがで
きる。

【００５８】２．セラミックグリーンシートの内部及び
外部、又は、セラミックグリーンシートの両表面を均一
に乾燥することができるため、乾燥済みのセラミックグ
リーンシートは乾燥むらによる波打ち現象が減少する。

【００５９】３．セラミックグリーンシートは内外部及
び両表面が均一に乾燥されることにより、乾燥済みのセ
ラミックグリーンシートに乾燥時の内部応力が生じにく
くなり、従来の片面乾燥法に比べこの乾燥方法によるセ
ラミックグリーンシートを用いたセラミック焼結体は反
り量が低減する。

【００６０】４．各加熱ゾーンに温風を流して、セラミ
ックグリーンシートからの蒸発物である水蒸気が乾燥室
から外部へ排出されるため、乾燥室内の水蒸気圧の上
昇、及び、セラミックグリーンシートの表面並びに乾燥
室内部への結露を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１実施例のセラミックグリーン
シート乾燥装置の概略を示す斜視図である。

【図２】本発明に係る第２実施例のセラミックグリーン
シート乾燥装置の概略を示す斜視図である。

【図３】従来のセラミックグリーンシート乾燥装置の概
略を示す斜視図である。

【符号の説明】

３ 搬送手段 ２１，４１ セラミックグリーンシート乾燥
装置 ２２，４２ 乾燥室 ２６，４６ マイクロ波加熱ゾーン ４８ 外部加熱ゾーン Ｓ セラミックグリーンシート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 稲泉 聡 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 木曽 茂生 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 橋本 慎也 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】セラミックグリーンシートを乾燥させる乾
   燥室と、前記セラミックグリーンシートを、この乾燥室
   内を移送させる搬送手段とを備え、 前記乾燥室は、前記搬送手段により移送されるセラミッ
   クグリーンシートをマイクロ波加熱するマイクロ波加熱
   ゾーンを有し、このマイクロ波加熱ゾーンに温風供給加
   熱装置を備えることを特徴とするセラミックグリーンシ
   ート乾燥装置。
2. 【請求項２】セラミックグリーンシートを乾燥させる乾
   燥室と、前記セラミックグリーンシートを、この乾燥室
   内を移送させる搬送手段とを備え、 前記乾燥室は、前記搬送手段により移送されるセラミッ
   クグリーンシートを、マイクロ波加熱するマイクロ波加
   熱ゾーン及び外部から加熱する外部加熱ゾーンを有し、
   このマイクロ波加熱ゾーン及び外部加熱ゾーンに、温風
   供給加熱装置を備えることを特徴とするセラミックグリ
   ーンシート乾燥装置。
3. 【請求項３】前記搬送手段は、前記セラミックグリーン
   シートの上下面を反転させる手段を備えていることを特
   徴とする請求項１又は２に記載のセラミックグリーンシ
   ート乾燥装置。
4. 【請求項４】前記搬送手段は、上下に少なくとも二段か
   ら構成され、この上下二段の搬送手段の搬送方向は互い
   に反対方向であり、 前記セラミックグリーンシートが、前記上段の搬送手段
   により一方向に移送され、前記上段の搬送手段の最終端
   でこの搬送手段から前記下段の搬送手段に移され、この
   下段の搬送手段により逆方向に移送されることにより、
   前記セラミックグリーンシートの上下面を反転させるこ
   とを特徴とする請求項１又は２に記載のセラミックグリ
   ーンシート乾燥装置。
5. 【請求項５】セラミックグリーンシートを乾燥させる乾
   燥室と、前記セラミックグリーンシートを、この乾燥室
   内を移送させる搬送手段とを備え、 前記乾燥室は、前記搬送手段により移送されるセラミッ
   クグリーンシートを、マイクロ波加熱するマイクロ波加
   熱ゾーン及び外部から加熱する外部加熱ゾーンを有し、
   このマイクロ波加熱ゾーン及び外部加熱ゾーンに、温風
   供給加熱装置を備え、前記搬送手段は上下に少なくとも
   二段から構成されていることを特徴とするセラミックグ
   リーンシート乾燥装置。
6. 【請求項６】前記乾燥室は、この乾燥室の出口近傍に冷
   却ゾーンを有することを特徴とする請求項１乃至５のい
   ずれかに記載のセラミックグリーンシート乾燥装置。
7. 【請求項７】セラミックグリーンシート移送用の搬送手
   段により移送されるセラミックグリーンシートを、マイ
   クロ波加熱するとともに温風供給加熱をして乾燥するこ
   とを特徴とするセラミックグリーンシート乾燥方法。
8. 【請求項８】セラミックグリーンシート移送用の搬送手
   段により移送されるセラミックグリーンシートを、マイ
   クロ波加熱するとともに温風供給加熱をして乾燥し、次
   に、外部加熱するとともに温風供給加熱をして乾燥する
   ことを特徴とするセラミックグリーンシート乾燥方法。
9. 【請求項９】前記セラミックグリーンシートを、乾燥す
   るための移送中に上下面を反転させて乾燥することを特
   徴とする請求項７又は８に記載のセラミックグリーンシ
   ート乾燥方法。
10. 【請求項１０】前記セラミックグリーンシートを、上下
    少なくとも二段の搬送手段を用い、上段の搬送手段上で
    前記セラミックグリーンシートを加熱させ、下段の搬送
    手段に移送する際に、前記セラミックグリーンシートの
    上下面を反転させ、下段の搬送手段上で前記セラミック
    グリーンシートを加熱させることを特徴とする請求項７
    又は８に記載のセラミックグリーンシート乾燥方法。