JPH07294846A - フレネルレンズ及びそれを用いた露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 感光材料に照射される光の照度分布が均一
で、感光材料の端部付近の光量不足を解消でき、装置の
小型化、軽量化が達成できる露光装置を提供する。 【構成】 感光材料１３の中心部の直下に無電極ランプ
２２を設ける。無電極ランプ２２とガラス板１４との間
の無電極ランプ２２近傍に支持体２３上支持された耐熱
性シリコーン樹脂、好ましくは、信越化学工業社製の半
導体コーティング用シリコーンＫＪＲ−６３２で形成さ
れた凸フレネルレンズ２４を配置する。無電極ランプ２
２から照射された光は全てフレネルレンズ２４を通過し
て集光されることになり、感光材料１３に照射される光
の照度分布が均一となり、露光領域１６端部付近の光量
不足が解消される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、耐熱性で光源装置等に
公的に使用されるフレネルレンズ及びそれを用いたＰＳ
版や熱現像感光材料等の感光材料に画像を焼き付けるた
めの露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＰＳ版や熱現像感光材料等の感光材料に
原稿フィルムを密着させ、原稿フィルム側から光を照射
して感光材料に画像を焼き付ける露光装置がある。

【０００３】図４に示すように、従来の露光装置１００
には、原稿フィルム１０２を載置するガラス板１０４が
設けられており、原稿フィルム１０２の上にはＰＳ版や
熱現像感光材料等の感光材料１０６が重ねられるように
なっている。

【０００４】感光材料１０６の下方には、感光材料１０
６の中心部から所定寸法離れた位置に光源１０８が配置
されている。

【０００５】光源１０８は、ランプ１１２と、このラン
プ１１２から照射される光を所定方向へ反射する略円弧
状（または略放物面）のリフレクター１１０とを備えて
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、感光材料１
０６の中心部では光源１０８からの光が垂直に入射する
が、感光材料１０６の端部では光源１０８からの光が傾
斜して入射する。感光材料１０６に立てた垂直線に対す
る光の入射角度をθとすると、感光材料１０６の単位面
積当たりの光量は（ｃｏｓθ）² に比例する。

【０００７】このため、感光材料１０６の四隅の角部は
中央部に比較して受ける光量が低いこととなる。

【０００８】光源１０８のリフレクター１１０はランプ
１１２の近傍にあって大きさに制限があり、このため、
従来の露光装置１００では、感光材料１０６全体に渡っ
て光量を一定とするように光量分布が補正できていなか
った。さらに、感光材料１０６の端部よりも外側へ多く
の光が散逸していた。

【０００９】露光面において光量分布が一定でないと、
ラチュードの狭い感光材料を使用することができず、使
用できる感光材料の制限が生じる。また、大きな感光材
料を用いた場合、角部が光源１０８から更に遠くなり、
（ｃｏｓθ）² に比例して光量が極端に低下するため、
大きな感光材料の使用に適さないという問題もあった。

【００１０】特に、カラー印刷に使用する感光材料に露
光ムラがあると、印刷物に濃度及び色調のムラが生じ、
画像品質に大きな影響を及ぼす。

【００１１】これらの問題を解決するため、リフレクタ
ー１１０に加えて、ランプ１１２近傍に、光源から照射
される光を所定方向へ集光するための耐熱ガラス製凸レ
ンズ１１４が配置されている図５に示される如き露光装
置が提案されている。耐熱ガラス製凸レンズ１１４は、
例えば、直径５インチ、高さ３０ｍｍ程度の凸レンズで
あり、光源１０８からの光の方向を制御している。凸レ
ンズ１１４はランプ１１２近傍に設置するため、凸レン
ズ１１４の素材は高い耐熱性が必要であり、通常は素材
として、例えば、石英ガラス等の耐熱ガラスが使用され
ているが、重量が大きく、加工が困難であり、しかも、
高価であるという問題点があった。

【００１２】凸レンズ１１４の上記問題点を解決し、軽
量化を実現し、加工性を改良するため、その素材とし
て、レンズに汎用のポリカーボネート、ポリメチルメタ
クリレート等の合成樹脂を使用することも試みられてい
るが、ポリカーボネートは、外観が透明であるが、光デ
ィスク等に用いられるグレードのものであっても、波長
４００ｎｍ以下の光の透過率が悪く、マゼンタ、イエロ
ーにたいする露光効率が悪化する虞があり、ポリメチル
メタクリレート等のアクリル樹脂は紫外線透過率は良好
であるものの、耐熱性に問題があり、いずれも使用に適
さなかった。

【００１３】本発明の目的は上記事実を考慮し、感光材
料等に照射される光の照度分布を均一にしうる光源装置
に好適に用いられるフレネルレンズを提供すること及び
そのフレネルレンズを用いた、感光材料に照射される光
の照度分布が均一で、感光材料の端部付近の光量不足を
解消でき、装置の小型化、軽量化が達成できる露光装置
を提供することである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のフレネ
ルレンズは、耐熱性のシリコーン樹脂で形成されている
ことを特徴とする。

【００１５】請求項２に記載の露光装置は、感光材料の
中心部から所定寸法離間して配置され、光の照射範囲が
前記感光材料よりも所定量広範囲とされた光源と、前記
光源と前記感光材料との間の光源近傍に配置され、前記
感光材料に光を集光する耐熱性シリコーン樹脂で形成さ
れたフレネルレンズと、を有することを特徴とする。

【００１６】

【作用】本発明のフレネルレンズは、耐熱性のシリコー
ン樹脂で形成されているため、任意の形状が簡単に作成
でき、所望の集光条件を容易に達成できる。また、長時
間高温度で使用しても、温度による寸法誤差を生じるこ
とはなく、光源装置等への使用に適する。

【００１７】また、請求項２に記載の露光装置によれ
ば、光源から発せられた光は、感光材料よりも外側に向
かった光も含めて全て光源近傍に配置された耐熱性シリ
コーン樹脂で形成されたフレネルレンズによって集光さ
れ、前記感光材料に照射される。前記フレネルレンズ
は、その平面視による面積が、フレネルレンズ配置位置
における光源から照射された光路の面積以上であるた
め、感光材料よりも外側に向かって分散して照射された
光も全て集光され、感光材料の端部付近も含め充分な光
量で、照度分布が均一に光が照射される。また、前記フ
レネルレンズは、耐熱性シリコーン樹脂で形成されてい
るため、加工が簡単で透明性に優れ、小型で軽量であ
る。さらに、シリコーン樹脂は耐熱性が高く、高熱にお
ける寸法安定性に優れているため、樹脂製フレネルレン
ズの欠点である、熱による経時的な焦点の誤差を生じる
ことはない。また、凸レンズに比較して、薄く軽量であ
るため、装置の高さを低くすることができ、装置の小型
が可能になる。

【００１８】

【実施例】以下に本発明の露光装置の一実施例を図に基
づいて説明する。

【００１９】図１に示すように、露光装置１０の箱状の
ケーシング１２は、上部に透明のガラス板１４が取り付
けられており、原稿フィルム１１及びＰＳ版や熱現像感
光材料等の感光材料１３（本実施例では、８６０ｍｍ×
６６０ｍｍ）を載置できるようになっている。なお、ガ
ラス板１４には、露光領域１６が設定されており、この
露光領域１６の寸法は、９００ｍｍ×７００ｍｍとなっ
ている。

【００２０】図１に示すように、ケーシング１２の内部
には、底部１２Ａの中央部に無電極光源１８（原理及び
基本構成は、印刷雑誌 １９８４（Ｖｏｌ．６７）１１
頁〜１８頁に記載されている。）が配置されている。

【００２１】本実施例の無電極光源１８は、断面略円弧
状を呈したリフレクター２０と球形の無電極ランプ２２
を備えている。

【００２２】なお、この無電極光源１８の真上方向には
露光領域１６の中央部が位置している。また、無電極光
源１８自体の光の照射範囲は露光領域１６よりも大きな
円形状となっている。

【００２３】本実施例では、無電極ランプ２２から露光
領域１６の中央部までの距離が８１３ｍｍとなってお
り、無電極光源１８自体の光の照射範囲が露光領域１６
の位置において直径約１３００ｍｍの円形状となってい
る。

【００２４】無電極光源１８の上側には、ガラス製の支
持体２３上にシリコーン樹脂製の凸フレネルレンズ２４
が配置されている。無電極ランプ２２からフレネルレン
ズ２４の中央部下端までの距離が４０ｍｍとなってお
り、フレネルレンズ２４下端における無電極光源１８の
光の照射範囲は直径約２００ｍｍの円形状となってい
る。フレネルレンズ２４の直径は２２０ｍｍであるた
め、無電極光源１８の照射光はすべてフレネルレンズ２
４を通過して集光されることになる。フレネルレンズ２
４の厚みは２ｍｍである。

【００２５】フレネルレンズ２４の上側には、干渉フィ
ルタユニット２６のターレット２８が配置されている。
ターレット２８は円盤状とされ、モータ２７で回転され
るようになており、軸心回りに複数の円孔３０が形成さ
れている。これらの円孔３０には、イエロー、マゼンタ
及びシアンを発色する感光材料用の干渉フィルタ３２が
順に取り付けられており、ターレット２８を回転させる
ことによって、各干渉フィルタ３２を無電極光源１８と
露光領域１６との間に選択して配置できるようになって
いる。

【００２６】無電極光源１８近傍は高温になるため、フ
レネルレンズ２４の素材は、約２００〜３００℃の耐熱
性が必要となる。さらに、感光材料１３を効率的に露光
するためにフレネルレンズは光透過性、特に、波長３０
０〜４５０ｎｍの紫外線の透過性が高いことが好まし
い。本実施例においては、フレネルレンズ２４の素材と
して、信越化学工業社製の半導体コーティング用シリコ
ーンＫＪＲ−６３２を用いている。

【００２７】図２は、本発明の露光装置のカラー印刷に
好適な別の実施例を表す。露光装置３４のケーシング１
２上部にはガラス板１４が配置されており、その上に原
稿フィルム１１と感光材料１３が重ねられ露光されるよ
うになっている。ケーシング１２下方には、光源である
無電極光源１８が配置されている。この無電極光源１８
は略半球状とされたリフレクター２０を備えており、リ
フレクター２０の焦点から、ガラス板１４の反対側（下
方）へ若干ずれた位置が無電極光源１８の発光点２２と
されている。従って、発光点２２から照射された光の一
部は直接光としてガラス板１４方向へ照射されるととも
に、発光点２２から照射された光の一部はリフレクター
２０によって反射された反射光としてガラス板１４方向
へ照射されるようになっている。

【００２８】無電極光源１８とガラス板１４との間の無
電極光源１８近傍には、干渉フィルタユニット３６が配
置されている。この干渉フィルタユニット３６は、円盤
状のターレット３８と、このターレット３８の軸心に駆
動軸が連結された駆動モータ３７とで構成されている。
ターレット３８には、軸心廻り略等間隔に円孔４０が４
個穿設されており、これらの円孔４０には、Ｙ版、Ｍ
版、Ｃ版、ＢＫ（スミ）版の原稿フィルムを各々露光す
るための３枚の干渉フィルタ４２と透明ガラス４３とが
取り付けられている。

【００２９】なお、本実施例では、ポジ型感光材料の場
合は、原稿フイルム１１としてＹ版にＢＫ（スミ）版、
Ｍ版にＢＫ（スミ）版、Ｃ版にＢＫ（スミ）版をそれぞ
れ重ねて感光材料に順次密着させ、無電極光源１８によ
って発生された紫外光を、各々シアン（Ｃ）、マゼンタ
（Ｍ）、イエロー（Ｙ）に対応する感光材料の感光波長
領域（Ｃ＝４００〜４３５nm、Ｍ＝３６５〜４００nm、
Ｙ＝３３０〜３６５nm）に、干渉フィルタ４２によって
分解して３回露光を行う（図２の状態）。また、ネガ型
感光材料の場合は、原稿フィルム１１としてＹ版、Ｍ
版、Ｃ版、ＢＫ（スミ）版を感光材料１４に順次密着さ
せ、無電極光源１８によって発生された紫外光を、各々
シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）に対応
する感光材料の感光波長領域に、干渉フィルタ４２によ
って分解すると共に、ＢＫ（スミ）に対応して感光材料
の感光全波長領域の紫外光を通過させる透明ガラス３７
によって露光を行う。また、透明ガラスを用いずフィル
タ挿入孔のみでもよく、また、中性灰色フィルタを用い
てもよい。なお、このＢＫに対応する露光に際しては、
透明ガラス４３または中性灰色フィルタの代わりに、紫
外感光域に分光感度を補正するために紫外部に吸収を有
する補正フィルタを用いてもよい。

【００３０】なお、干渉フィルタ４２としては、各透過
波長域に対して１枚でもよいが、２枚以上組合わせて半
値幅を狭くすることが好ましい。

【００３１】駆動モータ３７は、ステッピングモータで
構成されており、制御手段４４からの信号によって、タ
ーレット３８を所定角度回転し、無電極光源１８とガラ
ス板１４との間の光路上に、各干渉フィルタ４２と透明
ガラス４３とを選択的に出し入れするようになってい
る。また、制御手段４４には、ケーシング１２の露光部
１６の手前側に設けられたフィルタ選択ボタン４６に接
続されており、制御手段４４は、フィルタ選択ボタン４
６によって選択された、干渉フィルタが無電極光源１８
とガラス板１４との間の光路上に挿入されるように、駆
動モータ３７を回転制御するようになっている。

【００３２】また、フィルタ選択ボタン４６は、原稿フ
ィルムの種類であるＣ版、Ｍ版、Ｙ版原稿フィルム１１
の各々に対応するフィルタ選択ボタン４６Ａ、４６Ｂ、
４６Ｃ及びネガ型感光材料の場合の、ＢＫ（スミ）版原
稿フィルム１１用のフィルタ選択ボタン４６Ｄから構成
されている。

【００３３】フィルタ選択ボタン４６の近傍には、露光
スタートボタン４７と露光ストップボタン４８とが設け
られており、この露光スタートボタン４７と露光ストッ
プボタン４８とは、夫々制御装置４４に接続されてい
る。

【００３４】干渉フィルタ４２と光源１８との間には、
ガラス製の支持体２３上にシリコーン樹脂製の凸フレネ
ルレンズ２４が配置されている。フレネルレンズ２４の
平面視による面積は、フレネルレンズ２４配置位置にお
ける照射光の光路面積より大きくなしてあり、光源１８
から照射された光はリフレクター２０による反射光も含
めてすべてフレネルレンズ２４によって集光されるよう
になっている。

【００３５】フレネルレンズ２４と光源１８との間には
防熱フィルタ５０が配置されており、これによりフレネ
ルレンズ２４及び干渉フィルタ４２の昇温を防止してい
る。また、干渉フィルタ４２の近傍には送風機５２の送
風口が開口しており、送風機５２からの送風によって干
渉フィルタ４２の温度上昇を防止している。

【００３６】また、各干渉フィルタ４２には、温度セン
サ５４が取付られている。これらの温度センサ５４は、
制御装置４４に接続されており、干渉フィルタ４２の温
度が所定値を超えた場合には、制御装置３８によって、
露光処理の開始が禁止されると共に、干渉フィルタ４２
の温度が所定温度以下となった場合には、制御装置４４
によって、露光処理の開始が可能とされるようになって
いる。また、ケーシング１２の露光部１６の手前側に
は、温度上昇を警告するためのランプ５６が設けられて
おり、制御装置４４の出力によって、点滅するようにな
っている。フレネルレンズ２４自体は耐熱性を有する
が、干渉フィルタ４２の温度上昇により紫外線の透過率
が変化することを未然に防ぐためである。

【００３７】次に、２枚のフレネルレンズ２４ａ、２４
ｂを配置した第３の実施例について説明する。図３に示
すように、露光装置５８の箱状のケーシング１２は、上
部に透明のガラス板１４が取り付けられており、原稿フ
ィルム１１及びＰＳ版や熱現像感光材料等の感光材料１
３を載置できるようになっている。なお、ガラス板１４
には、露光領域１６が設定されている。ケーシング１２
の内部には、底部１２Ａの中央部に無電極光源１８が配
置されている。本実施例においても無電極光源１８は、
断面略円弧状を呈したリフレクター２０と球形の無電極
ランプ２２を備えている。

【００３８】無電極光源１８の上側には、ガラス製の支
持体２３上にシリコーン樹脂製の凸フレネルレンズ２４
ａ（これを第一のフレネルレンズと称する）が配置され
ている。フレネルレンズ２４ａ下端における無電極光源
１８の光の照射範囲は直径約１８０ｍｍの円形状となっ
ている。フレネルレンズ２４ａの直径は２００ｍｍであ
るため、無電極光源１８の照射光はすべてフレネルレン
ズ２４ａを通過して集光されることになる。

【００３９】フレネルレンズ２４ａの上側には、干渉フ
ィルタユニット２６のターレット２８が配置されてい
る。ターレット２８は円盤状とされ、モータ２７で回転
されるようになており、軸心回りに複数の円孔３０が形
成されている。これらの円孔３０には、イエロー、マゼ
ンタ及びシアンを発色する感光材料用の干渉フィルタ３
２が順に取り付けられており、ターレット２８を回転さ
せることによって、各干渉フィルタ３２を無電極光源１
８と露光領域１６との間に選択して配置できるようにな
っている。

【００４０】干渉フィルタユニット２６の上部（干渉フ
ィルタユニット２６と感光材料１３との間）には、干渉
フィルタユニット２６に隣接して第２のフレネルレンズ
２４ｂが配置されている。第２のフレネルレンズ２４ｂ
は凹フレネルレンズであり、その直径は２８０ｍｍであ
り、第１のフレネルレンズ２４ａによって集光された照
射光の第２のフレネルレンズ２４ｂにおける光路直径
（２５０ｍｍ）よりも大きくなくしてあるため、第１の
フレネルレンズ２４ａを通過して照度分布を調整された
照射光は、さらに、第２のフレネルレンズ２４ｂを通過
することにより、さらなる照度の均一化及び光量の調整
が行われ、露光部１６に照射されることになる。

【００４１】つぎに、本実施例の作用を説明する。本実
施例の露光装置１０では、露光領域１６に照射される無
電極光源１８の光は、図１に示すように、無電極光源１
８からの光（詳しくは、無電極ランプ２２からの直接光
と無電極ランプ２２の光がリフレクター２０に反射した
反射光とを合わせたもの。）が、照射光の光路よりも面
積が大きいフレネルレンズ２４によて集光されて露光領
域１６に照射され、特に、周囲に分散した光が露光領域
１６端部に集光されて照射されるため、感光材料の露光
領域１６全体にわたって均一の光が照射され、露光領域
１６端部付近の光量不足が解消され、露光領域１６内の
光量分布が良くなる。また、シリコーン樹脂製のフレネ
ルレンズ２４は、耐熱性、高温における寸法安定性に優
れ、高温による経時的な焦点の誤差もなく、紫外線透過
率も高いため露光効率も優れている。

【００４２】これにより、従来よりも露光ムラの少ない
高品質な（露光済）感光材料１３を長期にわたって得る
ことができる。

【００４３】また、本実施例の各露光装置１０、３４、
５８には、イエロー、マゼンタ及びシアンの干渉フィル
タ３２、４２と透明ガラス４３（露光装置３４のみ）を
設置した干渉フィルタユニット２４、３６を備えている
ので、カラー印刷用の感光材料１３の露光を行うことが
できる。

【００４４】また、本実施例の露光装置５８には、光源
１８からの照射光を集光するフレネルレンズ２４ａ、２
４ｂが２箇所に配置されているので、照度分布の均一
性、感光材料端部における光量不足の改良効果が高く、
さらに露光ムラの少ない高品質な（露光済）感光材料１
３を得ることができる。

【００４５】なお、本発明において、フレネルレンズ２
４の設置位置、即ち、無電極ランプ２２からフレネルレ
ンズ２４の中央部下端までの距離は任意であるが、その
設置位置において、露光領域１６の外方へ照射される無
電極光源１８の光をも集光するためにフレネルレンズの
面積は、レンズ設置位置における照射光の光路面積より
も大きくする必要がある。このため、フレネルレンズ２
４はできる限り無電極ランプ２２の近傍に配置すること
が、形状を小型化できるため好ましいが、光源との距離
が短すぎる場合、露光領域１６全体にわたって均一な光
を照射することが困難となるため、この距離は、４０〜
１６０ｍｍ（光源と感光材料との間の距離の１／２０〜
１／５）程度が好ましい。

【００４６】フレネルレンズ２４は、周囲の光をより集
光するタイプが好ましく、その寸法は、露光装置の大き
さ、必要とされる光照射範囲により異なるが、好ましく
は直径１５０〜３００ｍｍ、厚さ１〜５ｍｍ程度であ
る。本実施例では、フレネルレンズは円形の平板状レン
ズを用いているが、光源からの照射光を感光材料に、光
量分布が均一で、且つ、光量が充分に照射できるもので
あれば、正方形又は長方形の平板状レンズであっても、
第三の実施例の如く複数枚のレンズを組み合わせて構成
したものであってもよい。

【００４７】ここで、本発明のフレネルレンズ２４につ
いて説明する。本実施例の露光装置に用いられる凸フレ
ネルレンズ２４は、レンズの界面の働きにより凸レンズ
の役割を果たすものであるが、従来の凸レンズに比較し
て極めて薄く作られているため、熱的な影響で誤差が生
じ易くなっている。従来、光源近傍で光の照射方向を調
整するためのレンズは耐熱ガラスで作製されていたが、
加工性、重量、高温度における寸法安定性、価格の点で
問題があった。本発明は、物性が安定していて、加工性
も良好なシリコーン樹脂に着目し、耐熱性のシリコーン
樹脂でフレネルレンズ２４を作製したものである。フレ
ネルレンズに用いられるシリコーン樹脂は、耐熱性、高
温時における寸法安定性及び光透過性が良好であること
が必要である。このため、ジメチルポリシロキサンの基
本骨格を有し、縮合又は付加反応によって三次元架橋硬
化するものであって、硬化後の硬さが少なくともショア
ー硬度（Ｄ）で５０以上あることが好ましい。本実施例
においてはシリコーン樹脂製フレネルレンズは支持体上
に配置されているが、レンズの硬度が実際に使用される
温度領域にわたって充分であれば特に支持体を設けなく
てもよい。

【００４８】本発明のフレネルレンズは、前記の如く加
工性に優れているため、任意の形状を安価な金型によっ
て作成することができる。このため、例えば、照射光の
周囲の光のみを感光材料周辺部に集中させるのに適する
非球面レンズや中央部が開口しているくり抜き形状レン
ズ等も容易に作成することができる。このように、中央
部の光は直接感光材料へ照射させ、光量が不足する露光
領域周辺部の光のみを集光するような照度均一化を効果
的に行いうる複雑なレンズも容易にえられるのである。
該非球面レンズは、傾斜面の傾きを調整するのみで任意
の集光条件のレンズを容易に得ることができる。

【００４９】また、板状に成形した後の加工もガラスレ
ンズに比較して容易に行なうことができる。これに対し
て、従来のガラスレンズは球面研磨を要するため、自由
度が低く、一部をくり抜く加工も困難である。

【００５０】本発明に用いられるフレネルレンズの最も
重要な性質に、紫外線透過性がある。感光材料露光のた
めには、特に、約３００〜４５０ｎｍの紫外線の透過率
が８０％以上が好ましく、さらに、９０％以上であるこ
とが好ましい。透過率は１００％に近づくほど露光効率
が向上するため、透過率に特に上限はなく、可能なかぎ
り高いことが好ましい。この波長の紫外線透過率が８０
％未満であると、光源から照射された光が感光材料を露
光する前に減少してしまい、効率的な露光が不可能とな
り好ましくない。

【００５１】一般に、シリコーン樹脂は、従来から透明
性即ち光透過性が良好なことから、例えば、眼鏡のプラ
スチックレンズのコート材、高透明シーラント等に使用
されている。このようなシリコーン樹脂中でも、特に、
ポリシロキサンをハイドロジェンシラン又はハイドロジ
ェンシロキサン等の架橋剤と白金系触媒とを用いて硬化
させた付加型のシリコーン樹脂が、硬化時に副生成物を
生じない、熱収縮率が小さい等の観点から好ましい。前
記樹脂は一液型の場合、保存性にやや問題があるため、
安定剤を添加するか、又は、二液型で用いることが好ま
しい。硬化は、室温で行いうるが、１００〜３００℃程
度の温度で１０分間〜１０時間処理すると、均一にしか
も短時間で硬化することができる。さらに、特開平３−
１６６２６２号公報に記載の如き、両末端にビニル基を
有する自己重合性のポリシロキサン化合物と白金触媒を
含有する半導体装置保護コート用組成物に用いられてい
るシリコーン樹脂も好適に用いることができる。好適な
シリコーン樹脂の具体例としては、信越化学工業社製の
半導体コーティング用シリコーンＫＪＲ−６３２等が挙
げられる。

【００５２】本発明のフレネルレンズは、表面に空気中
の塵や感光材料の屑等が付着することによって光透過性
が悪化するため、フレネルレンズ表面に塵埃が付着しが
たい性質を有することが好ましい。前記例示したシリコ
ーン樹脂はその点においても、表面の硬度が充分で、か
つ、表面が非接着性であるため好適に用いることができ
る。

【００５３】なお、本実施例の如くフレネルレンズ２４
が支持体２３上に配置されている場合は、必ずしも前記
の好適な硬度を有する必要はなく、比較的低架橋度で可
撓性を有するような硬度のシリコーン樹脂も使用するこ
とができる。この場合、低架橋度のシリコーンの性質で
ある表面粘着性が発現する場合は、塵埃が付着し易くな
り、長時間の使用に適さなくなるため、シリコーン樹脂
表面に親和性の低い他の高硬度シリコーン樹脂皮膜を形
成する、フッ素等による表面処理を行う、原料モノマー
に親和性の低い基を導入する等、表面の親和性を低下さ
せる処理を行うことが好ましい。

【００５４】上記露光装置の各実施例は、露光装置内に
干渉フィルタユニットを配置しているが、これはカラー
印刷用の感光材料を露光するためであり、単色の露光を
行う場合は、干渉フィルタユニットを配置しなくてもよ
い。

【００５５】本発明の露光装置は、光源から照射される
光の照度分布を均一にするため、光源近傍にフレネルレ
ンズを配置することを必須としているが、その効果をそ
こなわない限りにおいて、従来の露光装置のガラス板に
隣接して配置される、感光材料に照射される光を平行に
する目的を有する別のフレネルレンズを感光材料近傍に
配置することもできる。

【００５６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
に係るフレネルレンズは、任意の形状が簡単に作成で
き、所望の集光条件を容易に達成でき、更に、温度によ
る寸法誤差を生じさせないようにする優れた効果を有す
る。請求項２に係る露光装置は、感光材料よりも外側に
向かった光をも耐熱性シリコーン樹脂製のフレネルレン
ズによって集光するようにしたので、感光材料に照射さ
れる光の照度分布が均一で、感光材料の端部付近の光量
不足を解消でき、装置の小型化、軽量化が達成できると
いう優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る露光装置の対角線に沿
った断面図である。

【図２】本発明の第二の実施例に係る露光装置の斜視図
である。

【図３】本発明の第三の実施例に係るフレネルレンズを
２枚配置した露光装置の対角線に沿った断面図である。

【図４】リフレクターを用いた従来の露光装置の対角線
に沿った断面図である。

【図５】凸レンズを配置した従来の露光装置の対角線に
沿った断面図である。

【符号の説明】

１０、３４、５８ 露光装置 １８ 無電極光源 ２４、２４ａ、２４ｂ フレネルレンズ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 耐熱性シリコーン樹脂で形成されたこと
   を特徴とするフレネルレンズ。
2. 【請求項２】 感光材料の中心部から所定寸法離間して
   配置され、光の照射範囲が前記感光材料よりも所定量広
   範囲とされた光源と、 前記光源と前記感光材料との間の光源近傍に配置され、
   前記感光材料に光を集光する耐熱性シリコーン樹脂で形
   成されたフレネルレンズと、 を有する露光装置。