JPH072960U - エリプソメータによる溶液中試料測定法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 エリプソメータによる溶液中の試料の測定は、溶液外か
ら光を当てる装置では、溶液表面で偏光特性が変化し測
定不可能に近く、測定用の容器を使用する方法では一容
器一角度の測定しかできない、本考案は光源部側、受光
部側の防液構造として鏡筒を直接溶液に液浸させて測定
する。 【目的】エリプソメータによる溶液中の試料の測定を自
由な角度で可能にする。 【構成】光源側鏡筒（１）及び受光部側鏡筒（３）にそ
れぞれ窓ガラス（２），（４）をとりつけ防液構造と
し、溶液（６）中に筒先をいれて試料（５）を測定す
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案によるエリプソメータによれば、溶液中の試料の表面の薄膜の物性を測 定をすることができる、例えば、水没中のＩＣウエハー・ステンレス板等の表面 の酸化膜の屈折率と膜厚測定がより容易に行うことができる。

【０００２】

【従来の技術】

エリプソメータによる溶液中の試料の測定は、溶液外から光を当てる方法では 、入射角により溶液表面で偏光特性が変化し測定不可能になるために、従来は溶 液中に試料が固定された容器を使用した。容器には光の入射角により溶液に光が 入る時、溶液表面で屈折・反射がおこるのを避けるために光軸に直角になるよう 窓を設けてあり、この容器中に試料を置いて溶液を満たし測定している。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

エリプソメータによる測定はその測定原理から光を試料に対し入射角度をつけ る必要があり、この為に光が溶液に入る溶液表面で反射、屈折し偏光特性に変化 が起こり測定不可能であった。

【０００４】

【課題を解決しようとするための手段】

本考案では光源部側、受光部側とも鏡筒の先に液浸用の保護窓をもうけ、これ を液中に入れることによって光の反射、及び屈折による偏光特性の変化を無くし 光源側鏡筒から試料に、更に試料で反射された光を受光部側鏡筒へと直進させ溶 液中の測定を可能にした。

【０００５】

【作 用】

このような手段を講ずることにより、光は溶液の表面を直接通過することがな くなり、光は保護用の窓ガラスを経て溶液内に直進するので、偏光特性の変化の 問題はなくなり、又光量も減ることなく試料に到達し測定可能となった。

【０００６】

【実施例】

図１は本考案の実施例であって、エリプソメータの光源部側鏡筒（１）より導 かれた光は窓ガラス（２）を経て直角に溶液（６）に導かれ、溶液中の試料（５ ）に反射されて受光部側鏡筒（３）にもうけられた窓ガラス（４）を経て溶液か ら脱することによって、溶液表面での偏光特性の変化を避けることができる。 図２は従来のエリプソメータで測定する場合の光路図で、この場合エリプソメ ータの光源部側鏡筒（１）より導かれた光が溶液にはいる時、溶液表面で偏光特 性の変化をきたし、溶液中の試料（５）で反射され、受光部側鏡筒（３）に達っ した光では正しい測定は不可能となる。 図３は従来エリプソメータによる溶液中の試料の測定に使用している容器の一 例である、必要な入射角に対し光が反射・屈折せぬよう光軸に直角に配置された 窓（７），（８）を有した容器（９）の中に溶液（６）は満たされており、その 溶液中に試料（５）は固定されており、光源部側鏡筒（１）より出た光は窓（７ ）に直角に入射され、溶液中に入り、試料で反射された光は窓（８）にこれも直 角に通過し受光部側鏡筒（３）に導かれる構成になっているため、反射・屈折は 起こらない、なお一容器では設定された一角度しか測定できず、測定角度ごとに 窓の角度を変えた容器を準備しなければならなかった。

【０００７】

【考案の効果】

本考案により溶液中の試料測定が容易にできるようになり、且つ自由な角度で 測定できるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の実施例

【図２】 溶液外から測定する場合の構成

【図３】 容器を用いた測定法

【符号の説明】

（１）は光源側鏡筒 （２）は窓ガラス （３）は受光
部側鏡筒 （４）は窓ガラス （５）は試料 （６）は
溶液 （７）は窓ガラス （８）は窓ガラス （９）は容器

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 エリプソメータで溶液中にある試料を測
   定するために光源部側、受光部側の鏡筒の先端に光学窓
   をつけ、且つ防液構造とし、直接溶液に液浸させること
   によって、溶液中の試料の測定を可能にする方法。