JPH07296731A

JPH07296731A - 画像表示装置の製造方法

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Publication number: JPH07296731A
Application number: JP9079394A
Authority: JP
Inventors: Yoshikazu Sakano; 嘉和坂野; Shinichi Kawate; 信一河手
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-04-28
Filing date: 1994-04-28
Publication date: 1995-11-10
Anticipated expiration: 2015-12-25
Also published as: JP3121200B2

Abstract

(57)【要約】【目的】真空排気時のアウトガスを充分なものとし、
画像表示装置の画質を向上することができ、長寿命とす
ることのできる画像表示装置の製造方法を実現するこ
と。【構成】外部と挿通する排気管を具備し、内部には画
像表示部材が配設された外囲器を、前記排気管を介して
真空排気しながらベークする第１の工程と、前記第１の
工程により真空排気された後に、内部の空間を真空維持
するために前記排気管を封止する第２の工程とを有する
画像表示装置の製造方法において、前記第１の工程にお
ける排気管のベーク温度が、外囲器のベーク温度以上で
あることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は平面型の画像表示装置の
製造方法に関し、特に、表面伝導型電子放出素子を用い
た平面型の画像表示装置の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、画像形成を行なう蛍光表示管、プ
ラズマディスプレイ、電界放出型のスピントタイプの電
子線発生装置を用いた表示装置、古典的な従来の表面伝
導形電子放出素子を用いた表示装置など、蛍光体を励起
し発光表示させる画像表示装置は、平面でかつ明るく見
やすいなどの利点を有しており、産業上、積極的に応用
され、かつ、期待されている。

【０００３】例として、図５に従来の蛍光表示管、図６
に従来のプラズマディスプレイ、図６を示す。

【０００４】図５に示す蛍光表示管は、リアプレート５
２１とフェースプレート５２８とが対向配置されるもの
で、リアプレート５２１上には、絶縁膜５３４、電極５
２２，５２３、蛍光体５２４、表示部５２５が設けら
れ、フェースプレート６２８のリアプレート５２１側と
なる面には透明導電膜５２９が設けられ、また、リアプ
レート５２１とフェースプレート５２８との間には、グ
リッド５２６とフィラメント５２７が設けられている。

【０００５】図６に示すプラズマディスプレイは、リア
プレート６２１とフェースプレート６２８とが対向配置
される。リアプレート６２１には、フェースプレート６
２８側に向けて、電極６２３、絶縁膜６３４および電極
６２２が順に設けられ、フェースプレート６２８にはリ
アプレート６２１側に向けて透明導電膜６２９と蛍光体
６２４とが順に設けられている。

【０００６】図５および図６にそれぞれ示した蛍光表示
管、プラズマディスプレイにおいて、リアプレート５２
１，６２１とフェースプレート５２８，６２８は、枠部
材５３３，６３３と封着材５３２，６３２により一体的
に封着されている。図５に示した蛍光表示管において
は、外部信号を伝達するためのリード５３０が封着材５
３１を通って電極５２２に接続している。

【０００７】製造方法としては、図５に示す蛍光表示
管、図６に示すプラズマディスプレイのリアプレート５
２１，６２１に電極５２２，５２３，６２２，６２３、
絶縁膜５３４，６３４を形成する。図５に示す蛍光表示
管においては、制御電極となるグリッド５２６、フィラ
メント５２７等を形成する。次に、フェースプレート５
２８，６２８に透明導電膜５２９，６２９、蛍光体５２
４，６２４等を形成し、枠部材５３３，６３３に排気管
５３１，６３１を形成し、リアプレート５２１，６２１
と枠部材５３３，６３３とフェースプレート５２８，６
２８とを封着材５３２，６３２を介して積層し、加圧し
ながら加熱焼成を行うことによって、リアプレート５２
１，６２１、フェースプレート５２８，６２８、枠部材
５３３，６３３および封着材５３２，６３２により気密
封着された外囲器を形成する。

【０００８】続いて、上記のようにして形成された外囲
器を封止する。図７は封止時に行われる加熱工程時の状
態を示す図である。

【０００９】図７に示すように、加熱装置７３５上に上
記のごとく作製された外囲器である画像表示装置７３６
を配置し、加熱装置７３５により画像表示装置７３６を
ベークしつつ排気管７３１より内部を真空排気し、所望
の真空度、雰囲気を形成したうえで、排気管７３１をさ
らに加熱し、融解させて封止し、画像表示装置を製造す
る。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来例の蛍光表示管、プラズマディスプレイなどの画
像表示装置の製造方法では、画像表示装置の内部を真空
排気する際の画像表示装置のベーク時に、排気管を画像
表示装置とともにベークする方法である。排気管はベー
ク後、封止のためにさらに融解温度まで加熱される。こ
のため、排気管が充分ベークされない状態で内部を真空
排気して所望の雰囲気を形成し、排気管を封止すること
があり、このような場合には、製造される画像表示装置
には以下のような問題点が生じる。

【００１１】（１）排気管からのアウトガスにより、画
像表示装置内部の真空度が低下することから、リアプレ
ートとフェースプレートとの間に印加された高電圧の耐
圧が低下し、内部で放電等が発生し装置が劣化、破壊さ
れる。また、特にリアプレートとフェースプレートとの
間の距離を小さくした極めて薄い平面型の画像表示装置
や、高電圧を印加して高輝度な発光部を形成することが
要求される平面型の画像表示装置において、このような
問題が顕著である。

【００１２】（２）排気管からのアウトガスにより、画
像表示装置内部の雰囲気が変化することから、装置の駆
動開始電圧が変化し、耐久性が劣化する。

【００１３】以上の問題点があるために画像表示装置を
駆動、動作させると、経過時間とともに表示画像の品位
が低下するばかりか、異常放電等が発生し、最悪の場合
には画像表示装置が故障してしまうという問題点があ
る。

【００１４】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたものであって、真空排気時の
アウトガスを充分なものとし、画像表示装置の画質を向
上することができ、長寿命とすることのできる画像表示
装置の製造方法を実現することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明の画像表示装置の
製造方法は、外部と挿通する排気管を具備し、内部には
画像表示部材が配設された外囲器を、前記排気管を介し
て真空排気しながらベークする第１の工程と、前記第１
の工程により真空排気された後に、内部の空間を真空維
持するために前記排気管を封止する第２の工程とを有す
る画像表示装置の製造方法において、前記第１の工程に
おける排気管のベーク温度が、外囲器のベーク温度以上
であることを特徴とする。

【００１６】この場合、排気管のベーク温度が排気管の
軟化点以下としてもよい。

【００１７】

【作用】本発明においては、第１の工程で真空排気しな
がら行われるベークが、外囲器のみならず排気管に対し
てもなされ、このときのベーク温度が外囲器に対するベ
ーク温度より高くされるので、排気管を封止するときの
アウトガスにより、画像表示装置内部の真空度が低下す
ることおよび雰囲気が変化することはない。

【００１８】排気管の温度は排気管の軟化点以上とする
と、排気管に変形が生じ、その後の封止作業の妨げとな
るが、軟化点近傍であり、かつ、軟化点以下とすること
によりアウトガスの発生を最も少なくすることができる
とともに封止作業の容易性を損なうことの防止を図るこ
とができる。

【００１９】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００２０】図１は本発明の製造方法により作製される
画像表示装置の構成を示す断面図である。

【００２１】図１において、１０６は透明導電膜１０
７、蛍光体１０８およびメタルバック１０９が形成され
たフェースプレート、１０１は、素子電極１０４と、該
素子電極１０４の間に設けられた微粒子膜１０５からな
る電子線発生装置が複数形成された絶縁性基体からなる
リアプレートであり、フェースプレート１０６とともに
画像表示部材を構成する。リアプレート１０１は制御用
の電極１０２および絶縁層１０３を介して上記の複数の
電子線発生装置を搭載している。１１１は外囲器を形成
するための枠部材であり、封着材１１２を介してフェー
スプレート１０６およびリアプレート１０１と溶着され
て外囲器を形成する。また、１１０は真空排気するため
の排気管であり、枠部材１１１を通って外囲器内に挿通
している。

【００２２】本発明の画像表示装置の製造方法における
枠部材１１１、リアプレート１０１、フェースプレート
１０６は、絶縁性を有するものであればどのような材料
で形成されていても構わないが、これらの熱膨張係数が
ほぼ同一となるように材料を選択することが好ましい。
また、特に、その材料の具体例を挙げるならば、青板、
石英などのガラス基体、Ａｌ₂Ｏ₃などのセラミックス基
体などである。

【００２３】また、封着材１１２はリアプレート１０１
とフェースプレート１０６が枠部材１１１を介して気密
封着できる材料であれば、どのような材料で構成されて
いても構わない。中でも特に、その材料の具体例を挙げ
るならば、非結晶性の低融点フリットガラス、結晶性の
低融点フリットガラスなどがあり、それらを有機溶剤と
混合したり、ニトロセルロースなどのバインダと、その
バインダを溶解させる有機溶剤とを混合させてペースト
状に調合し、少なくとも封着材１１２の塗布作業温度で
は粘着性があるものを用いる。敢えて言うまでもない
が、塗布方法に合わせて調合した封着材を用いる。

【００２４】また、封着材１１２の塗布方法は、印刷
法、スプレー法、ディスペンサー法など、どのような方
法でもよく、所望の封着材を所望の量だけ塗布形成でき
ればよい。

【００２５】次に、図示するように、電子線発生装置が
形成されたリアプレート１０１上に封着材１１２を形成
し、その上方に枠部材１１１を配置し、さらに枠部材１
１１の上方に封着材１１２を形成し、さらにその上方に
フェースプレート１０６を配置して、封着材１１２に用
いた低融点フリットガラスが溶融する温度、例えば、約
３５０℃〜６５０℃の範囲内の温度で加熱して溶着させ
る。また、必要に応じてフェースプレート１０６もしく
はリアプレート１０１側から加圧する。この後、図２ま
たは図３に示す加熱装置を用いて加熱する。

【００２６】次に、本実施例における加熱工程について
図２および図３を参照して説明する。

【００２７】図２および図３において、２１４は図１に
示すように構成された表示装置、２１３は加熱装置、２
１５は排気管加熱装置を示す。

【００２８】加熱工程時には、リアプレート１０１とフ
ェースプレート１０６と枠部材１１１から形成された表
示装置２１４を、図２および図３に示したように加熱装
置２１３により加熱し、排気管２１０（図１中の排気管
１１０）より表示装置２１４の内部を排気し、所望の真
空に排気する。

【００２９】加熱方法は、表示装置２１４と排気管２１
０の加熱温度が同程度であれば、ベーク炉、赤外線ヒー
タ、ホットプレート等所望の温度に加熱できればどの様
な装置、方法でもよい。

【００３０】また、表示装置２１４より排気管２１０を
高い温度で加熱するには、図３に示す排気管加熱装置３
１５を用い、所望の温度に加熱する。

【００３１】排気管加熱装置３１５としては、巻線ヒー
タ、リボンヒータ、誘導加熱等を用いることができる
が、所望の温度なで加熱することができるものであれば
どの様な装置、方法でもよい。

【００３２】また、表示装置２１４、排気管２１０の加
熱温度は、排気管２１０の封止時のアウトガス、封止後
の表示装置２１４の内部からのアウトガスによる真空
度、雰囲気の変化の小さい範囲の温度で加熱すればよ
く、例えば約１２０℃〜排気管の軟化点以下の範囲内の
温度で加熱させる。排気管の軟化点近傍とすることによ
り、この後、行われる排気管を融解させて封止させる際
のアウトガスを少なくすることができる。

【００３３】排気管の温度は排気管の軟化点以上とする
と、排気管に変形が生じ、その後の封止作業の妨げとな
るが、上述した、軟化点近傍であって、軟化点以下の温
度とすることによりアウトガスの発生を最も少なくする
ことができるとともに封止作業の容易性を損なうことの
防止を図ることができる。

【００３４】次に、充分に加熱、排気された排気管２１
０を加熱、融解させ、封止し、画像表示装置を製造す
る。

【００３５】以上のように、本発明の製造方法によれ
ば、排気管２１０の封止時のアウトガスの少ない画像表
示装置の真空封止が行なわれる。

【００３６】なお、図１に示したリアプレート１０１上
に形成される電子線発生装置には、フィラメント状の熱
電子源を用いた蛍光表示管、放電を用いたプラズマディ
スプレイさらにはバルク型と薄膜型に分類される冷陰極
素子などがある。

【００３７】例えばバルク型の例としては、ＦＥ［Ｗ．
Ｐ．Ｄｙｋｅ＆Ｗ．Ｗ．Ｄｏｌａｎ，”Ｆｉｅｌｄ
ｅｍｉｓｓｉｏｎ”，ＡｄｖａｎｃｅｉｎＥｌｅ
ｃｔｒｏｎＰｈｙｓｉｃｓ，８，８９（１９５６）］
や、ＡｖａｌａｎｃｈｅタイプやＮＥＡタイプの半導体
［Ｊ．Ａ．Ｂｕｒｔｏｎ，”Ｅｌｅｃｔｒｏｎｅｍｉ
ｓｓｉｏｎｆｒｏｍｓｉｌｉｃｏｎ”，Ｐｈｙｓ．
Ｒｅｖ．，１０８，１３４２（１９５７）］あるいはＭ
ｇＯ［”Ｔｕｎｇ−ｓｏｌｃｏｎｆｉｒｍｓｃｏｌｄ
ｃａｔｈｏｄｅｔｕｂｅ”，Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ
ｓＮｅｗｓ（２６，Ｊａｎ．１９５９）］、他に、ホ
トカソード等が知られている。

【００３８】一方、薄膜型の例としては、ＭＩＭ［Ｃ．
Ａ．Ｍｅａｄ，”Ｔｈｅｔｕｎｎｅｌ−ｅｍｉｓｓｉ
ｏｎａｍｐｌｉｆｉｅｒ”，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙ
ｓ．，３２，６４６（１９６１）］やスピントタイプ
［Ｃ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔ，”Ｐｈｙｓｉｃａｌｐｒｏ
ｐｅｒｔｉｅｓｏｆｔｈｉｎ−ｆｉｌｍｆｉｅｌ
ｄｅｍｉｓｓｉｏｎｃａｔｈｏｄｅｓｗｉｔｈｍ
ｏｌｙｂｄｅｎｕｍｃｏｎｅｓ”，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐ
ｈｙｓ．，４７，５２４８（１９７６）］あるいは表面
伝導形電子放出素子［Ｍ．Ｉ．Ｅｌｉｎｓｏｎ，Ｒａｄ
ｉｏＥｎｇ．ＥｌｅｃｔｒｏｎＰｈｙｓ．，１０，
（１９６５）］などがある。

【００３９】表面伝導形電子放出素子は、基板上に形成
された小面積の薄膜に、膜内に平行に電流を流すことに
より、電子放出が生じる現象を利用するものである。

【００４０】この表面伝導形電子放出素子としては、前
記エリンソンなどにより開発されたＳｎＯ₂（Ｓｂ）薄
膜を用いたもの、Ａｕ薄膜によるもの［Ｇ．Ｄｉｔｔｍ
ｅｒ：”ＴｈｉｎＳｏｌｉｄＦｉｌｍｓ”，９，３
１７（１９７２）］、ＩＴＯ薄膜によるもの［Ｍ．Ｈａ
ｒｔｗｅｌｌａｎｄＣ．Ｇ．Ｆｏｎｓｔａｄ：”Ｉ
ＥＥＥＴｒａｎｓ．ＥＤＣｏｎｆ．”，５１９（１
９７５）］、カーボン薄膜によるもの［荒木久ら：真
空、第２６巻、第１号、２２頁（１９８３）］などが報
告されている。

【００４１】また特開平１−２００５３２号公報および
特開平２−５６８２２号公報においては、電極間に微粒
子膜を配置し、これに通電処理を施すことによって電子
放出部を設ける表面伝導型電子放出素子が示されてい
る。これらどのような電子発生装置を用いても構わな
い。

【００４２】次に、本発明による製造工程について図１
〜図３を参照してより具体的に説明する。

【００４３】（実施例１）図１および図２に示した画像
表示装置を以下の通りに作製した。

【００４４】リアプレート１０１として青板ガラスを用
い、有機溶剤により充分に洗浄した後、真空蒸着技術、
フォトリソグラフィー技術により、制御用の電極１０
２、絶縁層１０３を形成した。続いて、図４（ａ），
（ｂ）の上面図および正面図に示すように、Ｎｉからな
る素子電極１０４を形成した。この時、素子電極間隔Ｌ
₁は３μｍとし、素子電極の幅Ｗ₁を５００μｍ、その厚
さｄを１０００Åとした。

【００４５】（２）次に、所定の部分に有機パラジウム
（奥野製薬（株）製、ｃｃｐ−４２３０）含有溶液を塗
布した後、３００℃で１０分間の加熱処理をして、酸化
パラジウム（ＰｄＯ）微粒子（平均粒径：７０Å）から
なる微粒子膜１０５を形成した。その幅（素子の幅）Ｗ
を３００μｍとし、素子電極のほぼ中央部に配置した。
また、膜厚は１００Å、シート抵抗値は５×１０⁴Ω／
□であった。

【００４６】なお、ここで述べる微粒子膜とは、複数の
微粒子が集合した膜であり、その微細構造として、微粒
子が個々に分散配置した状態のみならず、微粒子が互い
に隣接あるいは重なり合った状態（島状も含む）の膜を
指し、その粒径とは前記状態で粒子形状が認識可能な状
態についての径を言う。

【００４７】（３）次に、枠部材１１１として青板ガラ
スを用い、所定の位置に排気孔を形成し、青板ガラスか
らなる排気管１１０を融着し形成した。

【００４８】（４）次に、枠部材１１１のリアプレート
１０６、フェースプレート１０１とそれぞれ接する面
に、ディスペンサーを用い、低融点ガラス（日本電気硝
子（株）製、ＬＳ−３０８１）とエチルセルロースとを
溶剤に溶かして得られた溶液を塗布形成した。

【００４９】（５）次に、電子線発生装置が形成された
リアプレート１０１と枠部材１１１とフェースプレート
１０６を所定の位置に配置・積層し、上方から１ｋｇの
おもりによって加圧し、大気中で封着熱処理温度４１０
℃、封着熱処理時間６０ｍｉｎの条件下で焼成し、画像
表示装置を形成した。

【００５０】（６）次に、排気管１１０から１×１０^-6
ｔｏｒｒ程度まで真空排気し、素子電極１０４の間に電
圧を印加し、微粒子膜１０５を通電処理（フォーミング
処理）することにより、電子放出部４０１（図４参照）
を作製した。

【００５１】さらに、本発明に用いた表面伝導形電子放
出素子を詳述するならば、電子放出材料を含む微粒子膜
１０５としては、粒径が十数Åから数μｍの導電性微粒
子の膜あるいはこれら導電性微粒子が分散されたカーボ
ン薄膜などが挙げられる。中でも特に、その材料の具体
例を挙げるならば、Ｐｄ、Ａｇ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｉｎ、Ｃ
ｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｂなどの金
属；ＰｄＯ、ＳｎＯ₂、Ｉｎ₂Ｏ₃、ＰｂＯ、Ｓｂ₂Ｏ₃な
どの酸化物導電体；ＨｆＢ₂、ＺｒＢ₂、ＬａＢ ₆、Ｃｅ
Ｂ₆、ＹＢ₄、ＧｄＢ₄などの硼化物；ＴｉＣ、ＺｎＣ、
ＨｆＣ、ＴａＣ、ＳｉＣ、ＷＣなどの炭化物；ＴｉＮ、
ＺｒＮ、ＨｆＮなどの窒化物；Ｓｉ、Ｇｅなどの半導
体；カーボン；ＡｇＭｇ；ＮｉＣｕ；ＰｂＳｎなどであ
る。そしてこれらの膜は、真空蒸着法、スパッタ法、化
学的気相堆積法、分散塗布法、ディッピング法、スピナ
ー法などによって形成される。

【００５２】さらに、制御用の電極１０２の構造として
は、本実施例で作製したように、電子線発生部の裏面に
形成し制御する構造の他に、電子線発生部の上方に電子
通過孔を有した制御電極を配置する構造や、単純マトリ
ックス構造などがある。

【００５３】（７）次に、図２に示すように、上述のご
とく作製した表示装置２１４を、加熱装置２１３にベー
ク炉を用い、表示装置２１４と排気管２１０とを熱処理
温度２００℃、熱処理時間１０ｈｒの条件で、排気管２
１０より真空排気しつつ加熱処理し、排気管２１０を加
熱、融解させ、封止し、画像表示装置を形成した。

【００５４】上記のように、本発明の製造方法により作
製した画像表示装置は、装置２１４と排気管２１０を同
一温度で熱処理し、アウトガスされているため、この後
行われる排気管２１０の封止時のアウトガスを低減する
ことができ、表示装置２１４内部の真空度を低下させる
ことなく画像表示装置を形成することができた。

【００５５】また、この画像表示装置を駆動、動作させ
たところ、リアプレート１０１とフェースプレート１０
６に印加した高電圧の放電がなく、また、耐久性に優れ
た画像表示装置を得ることができた。

【００５６】（実施例２）次に、表示装置２１４より排
気管２１０を高い温度で加熱する場合について図３を参
照して説明する。

【００５７】本実施例の場合、加熱装置２１３にホット
プレートを用い、排気管２１０を排気管加熱装置２１５
により加熱処理する製造方法とした以外は実施例１と同
様に表示装置２１４を作製した。また、排気管加熱装置
２１５には巻線ヒータを用いた。

【００５８】本実施例では、表示装置２１４の加熱処理
温度を１６０℃、排気管１０の加熱処理温度を３００
℃、加熱処理時間８ｈｒの条件で行った。

【００５９】その結果、表示装置２１４の加熱処理温度
が実施例１より低いにもかかわらず、実施例１と同様の
効果が確認された。

【００６０】（実施例３）本実施例では、表示装置をフ
ィラメントを用いた蛍光表示管とした。また、加熱処理
温度３５０℃、処理時間１ｈｒとした以外は実施例１と
同様に装置を作製した（不図示）。

【００６１】その結果、リアプレート上に形成された電
子線発生装置および、加熱処理温度、処理時間の相違に
もかかわらず、実施例１と同様の効果が確認できた。

【００６２】（実施例４）本実施例では、表示装置をプ
ラズマ発生装置を用いた構造とした。また、装置の加熱
処理温度３００℃、排気管の加熱処理温度４００℃、処
理時間２ｈｒとした以外は実施例２と同様に装置を作製
した（不図示）。

【００６３】その結果、リアプレートに形成された電子
線発生装置および、加熱処理温度、処理時間の相違にも
かかわらず、実施例２と同様の効果が確認できた。

【００６４】（実施例５）本実施例では、装置および排
気管を加熱処理した後に素子電極に電圧を印加し、微粒
子膜を通電処理（フォーミング処理）して電子放出部を
形成した以外は、実施例１と同様に装置を作製した（不
図示）。

【００６５】その結果、加熱処理と通電処理の製造工程
の相違にもかかわらず、実施例１と同様の効果が確認で
きた。

【００６６】（実施例６）本実施例では、装置および排
気管を加熱処理し、排気管を封止した後に素子電極に電
圧を印加し、微粒子膜を通電処理（フォーミング処理）
して電子放出部を形成した以外は、実施例２と同様に装
置を作製した（不図示）。

【００６７】その結果、加熱処理と通電処理の製造方法
の相違にもかかわらず、実施例２と同様の効果が確認で
きた。

【００６８】（実施例７）本実施例では、排気管加熱装
置２１５にリボンヒータを用いた以外は実施例２と同様
に装置を作製した（不図示）。

【００６９】その結果、排気管加熱装置２１５の相違に
もかかわらず、実施例２と同様の効果が確認できた。

【００７０】（実施例８）本実施例では、排気管加熱装
置２１５に高周波誘導加熱装置を用いた以外は実施例２
と同様に装置を作製した（不図示）。なお、本実施例で
は、排気管２１０全体を加熱できるように高周波誘導加
熱装置の周波数を設定した。

【００７１】その結果、排気管加熱装置２１５の相違に
もかかわらず、実施例２と同様の効果が確認できた。

【００７２】なお、本実施例の場合には、設定する周波
数を調整することにより、特定のガス分子のみを加熱す
ることが可能となる。このため、排気管２１０を封止す
る際にアウトガスされるガスの種類を選択することがで
き、排気管や封着材等の構成部材の材質に応じたきめ細
かな封止作業を行うことができる効果がある。

【００７３】

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。

【００７４】請求項１に記載の方法においては、排気管
のベーク温度を装置のベーク温度と同じかそれ以上で加
熱処理した後、排気管を封止する工程により画像表示装
置を作製するため、（１）装置内部の真空度、雰囲気を低下せずに封止でき
る。（２）高電圧の放電等による装置の劣化が低減し、歩留
りが向上する。（３）装置の駆動電圧の変化、耐久性の劣化が低減し、
装置の品質安定性が向上し長寿命となる、等の効果があ
る。

【００７５】請求項２に記載の方法においては、アウト
ガスの発生を最も少なくすることができるとともに封止
作業の容易性を損なうことの防止を図ることができるた
め、上記各効果を一層向上したものとすることができる
効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法によって作製される画像表示
装置の１例の模式的断面図である。

【図２】本発明の製造方法の１例を示す模式的断面図で
ある。

【図３】本発明の製造方法の他の例を示す模式的断面図
である。

【図４】（ａ），（ｂ）のそれぞれは、本発明にて製造
される電子線発生装置の上面図および正面図である。

【図５】従来法によって製造される画像表示装置の１例
の模式的部分断面図である。

【図６】従来法によって製造される画像表示装置の他の
１例の模式的部分断面図である。

【図７】従来の製造方法の１例を示す模式的断面図であ
る。

【符号の説明】

１０１リアプレート１０２電極１０３絶縁層１０４素子電極１０５微粒子膜１０６フェースプレート１０７透明導電膜１０８蛍光体１０９メタルバック１１０排気管１１１枠部材１１２封着材２１０排気管２１３加熱装置２１４表示装置３１５排気管加熱装置４０１電子放出部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】外部と挿通する排気管を具備し、内部に
は画像表示部材が配設された外囲器を、前記排気管を介
して真空排気しながらベークする第１の工程と、前記第１の工程により真空排気された後に、内部の空間
を真空維持するために前記排気管を封止する第２の工程
とを有する画像表示装置の製造方法において、前記第１の工程における排気管のベーク温度が、外囲器
のベーク温度以上であることを特徴とする画像表示装置
の製造方法。
【請求項２】請求項１記載の画像表示装置の製造方法
において、排気管のベーク温度が排気管の軟化点以下であることを
特徴とする画像表示装置の製造方法。