JPH07296732A - 画像表示装置の製造方法および画像表示装置 - Google Patents
画像表示装置の製造方法および画像表示装置Info
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- JPH07296732A JPH07296732A JP9079494A JP9079494A JPH07296732A JP H07296732 A JPH07296732 A JP H07296732A JP 9079494 A JP9079494 A JP 9079494A JP 9079494 A JP9079494 A JP 9079494A JP H07296732 A JPH07296732 A JP H07296732A
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- getter
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 画質が安定し、耐久性を向上することのでき
る画像表示装置の製造方法を実現すること。 【構成】 画像表示部材と排気管と複数のゲッタ材とが
設けられた画像表示装置の製造方法であって、前記画像
表示装置を前記排気管を介して真空排気しながら前記複
数のゲッタ材をガス吸着力を有するゲッタ材とする第１
の工程と、内部の真空を維持するために前記排気管を封
止する第２の工程とを備え、前記第１の工程における、
複数のゲッタ材をガス吸着力を有するゲッタ材とするこ
とを、排気管取り付け部分からの距離が長いゲッタ材か
ら順番に行うことを特徴とする。
る画像表示装置の製造方法を実現すること。 【構成】 画像表示部材と排気管と複数のゲッタ材とが
設けられた画像表示装置の製造方法であって、前記画像
表示装置を前記排気管を介して真空排気しながら前記複
数のゲッタ材をガス吸着力を有するゲッタ材とする第１
の工程と、内部の真空を維持するために前記排気管を封
止する第２の工程とを備え、前記第１の工程における、
複数のゲッタ材をガス吸着力を有するゲッタ材とするこ
とを、排気管取り付け部分からの距離が長いゲッタ材か
ら順番に行うことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数のゲッタを設置し
た画像表示装置の製造方法および画像表示装置に関する
ものである。
た画像表示装置の製造方法および画像表示装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、画像表示装置として蛍光表示
管、電界放出型および表面伝導型の電子放出素子を用い
た表示装置など、主に電子源からの電子ビームにより蛍
光体を励起して発光させる画像表示装置は、平面でかつ
明るく見やすいなどの利点を有しており、産業上積極的
に応用または期待されている。
管、電界放出型および表面伝導型の電子放出素子を用い
た表示装置など、主に電子源からの電子ビームにより蛍
光体を励起して発光させる画像表示装置は、平面でかつ
明るく見やすいなどの利点を有しており、産業上積極的
に応用または期待されている。
【０００３】電子源として、表面伝導型電子放出素子を
用い、電子ビームを加速し蛍光体に照射し発光させ画像
を表示させる薄型の画像表示装置の斜視図を図５に、そ
の断面図を図６にそれぞれ示す。
用い、電子ビームを加速し蛍光体に照射し発光させ画像
を表示させる薄型の画像表示装置の斜視図を図５に、そ
の断面図を図６にそれぞれ示す。
【０００４】図５、図６において、５００は画像表示装
置内部を排気するための排気管で、５０１は電子放出素
子を構成した青板ガラスからなるバックプレート、５０
２と５０３は一定の間隔を隔て設置された電極、５０４
は電子放出部を含む薄膜、５０６は電子通過孔、５０７
はグリッド、５０８はメタルバック５０９および蛍光体
５１０を形成した青板ガラスからなるフェースプレー
ト、５１１は外枠であり、５１４Ａ，５１４Ｂ，５１４
Ｃ，５１４Ｄはゲッタ材を内包したゲッタ材コンテナで
ある。各ゲッタ材コンテナ５１４Ａ〜５１４Ｄは、それ
ぞれ通電用のデュメット線５１５と溶接され、デュメッ
ト線５１５は外枠５１１の孔加工部を通して外部に引き
出されている。５１３はゲッタ材飛散防止板である。
置内部を排気するための排気管で、５０１は電子放出素
子を構成した青板ガラスからなるバックプレート、５０
２と５０３は一定の間隔を隔て設置された電極、５０４
は電子放出部を含む薄膜、５０６は電子通過孔、５０７
はグリッド、５０８はメタルバック５０９および蛍光体
５１０を形成した青板ガラスからなるフェースプレー
ト、５１１は外枠であり、５１４Ａ，５１４Ｂ，５１４
Ｃ，５１４Ｄはゲッタ材を内包したゲッタ材コンテナで
ある。各ゲッタ材コンテナ５１４Ａ〜５１４Ｄは、それ
ぞれ通電用のデュメット線５１５と溶接され、デュメッ
ト線５１５は外枠５１１の孔加工部を通して外部に引き
出されている。５１３はゲッタ材飛散防止板である。
【０００５】図５および図６を参照して画像表示装置の
製造方法を説明する。
製造方法を説明する。
【０００６】気密容器内は排気管５００を通して真空排
気され、さらにベーキングにより画像表示装置の内壁等
のアウトガス、および各ゲッタ材コンテナ５１４Ａ〜５
１４Ｄを予備加熱（プレヒート：通電加熱によって蒸着
前まで加熱）して、各ゲッタ材コンテナ５１４Ａ〜５１
４Ｄおよびデュメット線５１５等のアウトガスを行った
後、各ゲッタ材コンテナ５１４Ａ〜５１４Ｄを加熱して
内部に収納した蒸発型ゲッタ材を蒸着する。最後に排気
管５１５の一部を加熱して融解させ、該部を封じ切る
（閉塞、切断）ことによって、画像表示装置を完成させ
る。この際に蒸発型ゲッタ材を蒸着する順番は定められ
ていない。
気され、さらにベーキングにより画像表示装置の内壁等
のアウトガス、および各ゲッタ材コンテナ５１４Ａ〜５
１４Ｄを予備加熱（プレヒート：通電加熱によって蒸着
前まで加熱）して、各ゲッタ材コンテナ５１４Ａ〜５１
４Ｄおよびデュメット線５１５等のアウトガスを行った
後、各ゲッタ材コンテナ５１４Ａ〜５１４Ｄを加熱して
内部に収納した蒸発型ゲッタ材を蒸着する。最後に排気
管５１５の一部を加熱して融解させ、該部を封じ切る
（閉塞、切断）ことによって、画像表示装置を完成させ
る。この際に蒸発型ゲッタ材を蒸着する順番は定められ
ていない。
【０００７】一般にゲッタには蒸発型ゲッタと非蒸発型
ゲッタがある。一般に蒸発型ゲッタの場合、そのコンテ
ナは、一部が解放された金属管の内部にＢａを主成分と
する蒸発型ゲッタ材を収納したもので、形状として直
線、リング状のものがある。蒸発型ゲッタ材は誘導加熱
あるいは通電加熱によってフラッシュされることにより
画像表示装置内面に付着され、これによりガスが吸着さ
れてパネル内の真空維持作用が生じる。
ゲッタがある。一般に蒸発型ゲッタの場合、そのコンテ
ナは、一部が解放された金属管の内部にＢａを主成分と
する蒸発型ゲッタ材を収納したもので、形状として直
線、リング状のものがある。蒸発型ゲッタ材は誘導加熱
あるいは通電加熱によってフラッシュされることにより
画像表示装置内面に付着され、これによりガスが吸着さ
れてパネル内の真空維持作用が生じる。
【０００８】一方、一般に非蒸発型ゲッタはＶ，Ｆｅあ
るいはそれらの合金等から成り、真空中で、３００℃程
度に加熱されると、ガス吸着能力を持ち、パネル内真空
維持作用を持つ。
るいはそれらの合金等から成り、真空中で、３００℃程
度に加熱されると、ガス吸着能力を持ち、パネル内真空
維持作用を持つ。
【０００９】ここで、表面伝導型電子放出素子について
述べる。図７は、表面伝導型電子放出素子の該略上面図
および断面図を示す。同図において７０１は青板ガラス
等の絶縁材で構成されるバックプレート、７０２と７０
３は一定の間隔を隔て設置された電極、７０４は電子放
出部を含む薄膜、７０５は電子放出部である。この場合
は、電子放出部を含む薄膜７０４として有機Ｐｄ（ＣＣ
Ｐ４２３０ 奥野製薬株式会社製）を塗布、焼成後、電
極７０２，７０３間に電圧を印加し通電処理を行い、電
子放出部７０５を形成した。素子電極間隔Ｌ1は３μｍ
とし、素子電極の幅Ｗ1を５００μｍ、その厚さｄを１
０００Åとした。
述べる。図７は、表面伝導型電子放出素子の該略上面図
および断面図を示す。同図において７０１は青板ガラス
等の絶縁材で構成されるバックプレート、７０２と７０
３は一定の間隔を隔て設置された電極、７０４は電子放
出部を含む薄膜、７０５は電子放出部である。この場合
は、電子放出部を含む薄膜７０４として有機Ｐｄ（ＣＣ
Ｐ４２３０ 奥野製薬株式会社製）を塗布、焼成後、電
極７０２，７０３間に電圧を印加し通電処理を行い、電
子放出部７０５を形成した。素子電極間隔Ｌ1は３μｍ
とし、素子電極の幅Ｗ1を５００μｍ、その厚さｄを１
０００Åとした。
【００１０】電子放出部を含む薄膜７０４の材質はＰｄ
のみに制限されず、Ｒｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｔｉ，Ｉｎ，Ｃ
ｕ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｔａ，Ｗ，Ｐｂ等の金
属、ＰｄＯ，ＳｎＯ2，Ｉｎ2Ｏ3，ＰｄＯ，Ｓｂ2Ｏ3等
の酸化物、ＨｆＢ2，ＺｒＢ2，ＬａＢ6，ＣｅＢ6，ＹＢ
4，ＧｄＢ4等の硼化物、ＴｉＣ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，Ｓｉ
Ｃ，ＷＣ等の炭化物、ＴｉＮ，ＺｒＮ，ＨｆＮ等の窒化
物、Ｓｉ，Ｇｅ等の半導体、カーボン、ＡｇＭｇ，Ｎｉ
Ｃｕ，Ｐｂ，Ｓｎ等でも良い。さらに電子放出部を含む
薄膜７０４の形成法は真空蒸着法、スパッタ法、化学気
相堆積法、ディッピング法、スピナー法等が適用可能
で、要するに薄膜が形成できれば特に問わない。
のみに制限されず、Ｒｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｔｉ，Ｉｎ，Ｃ
ｕ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｔａ，Ｗ，Ｐｂ等の金
属、ＰｄＯ，ＳｎＯ2，Ｉｎ2Ｏ3，ＰｄＯ，Ｓｂ2Ｏ3等
の酸化物、ＨｆＢ2，ＺｒＢ2，ＬａＢ6，ＣｅＢ6，ＹＢ
4，ＧｄＢ4等の硼化物、ＴｉＣ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，Ｓｉ
Ｃ，ＷＣ等の炭化物、ＴｉＮ，ＺｒＮ，ＨｆＮ等の窒化
物、Ｓｉ，Ｇｅ等の半導体、カーボン、ＡｇＭｇ，Ｎｉ
Ｃｕ，Ｐｂ，Ｓｎ等でも良い。さらに電子放出部を含む
薄膜７０４の形成法は真空蒸着法、スパッタ法、化学気
相堆積法、ディッピング法、スピナー法等が適用可能
で、要するに薄膜が形成できれば特に問わない。
【００１１】この他表面伝導型電子放出素子として薄膜
としてＳｎＯ2膜を用いたもの、Ａｕ薄膜によるもの
［Ｇ．Ｄｉｔｔｍｅｒ：“Ｔｈｉｎ Ｓｏｌｉｄ Ｆｉ
ｌｍｓ”９，３１７（１９７２）］、Ｉｎ2Ｏ3／ＳｎＯ
2薄膜によるもの［Ｍ．Ｈａｒｔｗｅｌｌ ａｎｄ
Ｃ．Ｇ．Ｆｏｎｓｔａｄ：“ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．Ｅ
ＤＣｏｎｆ．”、５１９（１９７５）］、カーボン薄膜
によるもの［荒木久 他：真空、第２６巻、第１号、２
２頁（１９８３）］等が報告されている。尚電子源とし
て表面伝導型電子放出素子のほか熱カソードを用いた熱
電子源、電界放出型電子放出素子（Ｗ．Ｐ．Ｄｙｋｅ
＆ Ｗ．Ｗ．Ｄｏｌａｎ、“Ｆｉｅｌｄｅｍｉｓｓｉｏ
ｎ”、Ａｄｖａｎｃｅ ｉｎ Ｅｌｅｃｒｏｎ Ｐｈｙ
ｓｉｃｓ、８、８９（１９５６）やＣ．Ａ．Ｓｐｉｎｄ
ｔ、“Ｐｈｙｓｉｃａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ
ｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ ｆｉｅｌｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ
ｃａｔｈｏｄｅｓ ｗｉｔｈ ｍｏｌｙｂｄｅｎｕｍ
ｃｏｎｅｓ”、Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．、４７、５２
４８（１９７６）等）、金属／絶縁層／金属型電子放出
素子（Ｃ．Ａ．Ｍｅａｄ、“Ｔｈｅ ｔｕｎｎｅｌ−ｅ
ｍｉｓｓｉｏｎａｍｐｌｉｆｉｅｒ、Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐ
ｈｙｓ．、３２、６４６（１９６１）等）が知られてい
る。
としてＳｎＯ2膜を用いたもの、Ａｕ薄膜によるもの
［Ｇ．Ｄｉｔｔｍｅｒ：“Ｔｈｉｎ Ｓｏｌｉｄ Ｆｉ
ｌｍｓ”９，３１７（１９７２）］、Ｉｎ2Ｏ3／ＳｎＯ
2薄膜によるもの［Ｍ．Ｈａｒｔｗｅｌｌ ａｎｄ
Ｃ．Ｇ．Ｆｏｎｓｔａｄ：“ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．Ｅ
ＤＣｏｎｆ．”、５１９（１９７５）］、カーボン薄膜
によるもの［荒木久 他：真空、第２６巻、第１号、２
２頁（１９８３）］等が報告されている。尚電子源とし
て表面伝導型電子放出素子のほか熱カソードを用いた熱
電子源、電界放出型電子放出素子（Ｗ．Ｐ．Ｄｙｋｅ
＆ Ｗ．Ｗ．Ｄｏｌａｎ、“Ｆｉｅｌｄｅｍｉｓｓｉｏ
ｎ”、Ａｄｖａｎｃｅ ｉｎ Ｅｌｅｃｒｏｎ Ｐｈｙ
ｓｉｃｓ、８、８９（１９５６）やＣ．Ａ．Ｓｐｉｎｄ
ｔ、“Ｐｈｙｓｉｃａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ
ｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ ｆｉｅｌｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ
ｃａｔｈｏｄｅｓ ｗｉｔｈ ｍｏｌｙｂｄｅｎｕｍ
ｃｏｎｅｓ”、Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．、４７、５２
４８（１９７６）等）、金属／絶縁層／金属型電子放出
素子（Ｃ．Ａ．Ｍｅａｄ、“Ｔｈｅ ｔｕｎｎｅｌ−ｅ
ｍｉｓｓｉｏｎａｍｐｌｉｆｉｅｒ、Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐ
ｈｙｓ．、３２、６４６（１９６１）等）が知られてい
る。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例の画像表示装置の製造方法では以下のような問題点が
あった。
例の画像表示装置の製造方法では以下のような問題点が
あった。
【００１３】一般に、上記従来例では、蒸発型ゲッタ材
を蒸着する前に、予備加熱（プレヒート）と呼ばれるゲ
ッタ材コンテナ等のアウトガスを行う。この予備加熱で
は、誘導加熱あるいは通電加熱によって蒸発型ゲッタ材
を蒸着する直前まで加熱するが、蒸発型ゲッタ材は、こ
の後のフラッシュ時にはさらに高温とされるので、新た
なアウトガスが生じてしまう。
を蒸着する前に、予備加熱（プレヒート）と呼ばれるゲ
ッタ材コンテナ等のアウトガスを行う。この予備加熱で
は、誘導加熱あるいは通電加熱によって蒸発型ゲッタ材
を蒸着する直前まで加熱するが、蒸発型ゲッタ材は、こ
の後のフラッシュ時にはさらに高温とされるので、新た
なアウトガスが生じてしまう。
【００１４】画像表示装置内に複数の蒸発型ゲッタ材が
設けられ、画像表示装置内面に予め蒸着されたゲッタ材
がある場合、新たに蒸発型ゲッタ材をフラッシュすると
その際に発生した新たなアウトガスが、蒸着されたゲッ
タ材に吸着するためにその吸着分だけ、蒸着されたゲッ
タ材のガス吸着能力が劣化してしまい、内部の真空度を
維持する能力が低下し、真空度も低下してしまう。
設けられ、画像表示装置内面に予め蒸着されたゲッタ材
がある場合、新たに蒸発型ゲッタ材をフラッシュすると
その際に発生した新たなアウトガスが、蒸着されたゲッ
タ材に吸着するためにその吸着分だけ、蒸着されたゲッ
タ材のガス吸着能力が劣化してしまい、内部の真空度を
維持する能力が低下し、真空度も低下してしまう。
【００１５】また、非蒸発型ゲッタ材もその表面のアウ
トガスを目的として予備加熱（プレヒート）を行う。こ
の後のガス吸着能力を持たせる加熱時には、さらに高温
とされるために、その分新たなアウトガスが生じてしま
う。
トガスを目的として予備加熱（プレヒート）を行う。こ
の後のガス吸着能力を持たせる加熱時には、さらに高温
とされるために、その分新たなアウトガスが生じてしま
う。
【００１６】画像表示装置内に複数の非蒸発型ゲッタ材
が設けられ、画像表示装置内面に予めゲッタ材がある場
合、新たな蒸発型ゲッタ材に対してガス吸着能力を持た
せる加熱するとその際に発生した新たなアウトガスが、
ガス吸着能力を持たせたゲッタ材に吸着するために、そ
の吸着分だけゲッタ材のガス吸着能力が劣化してしま
い、内部の真空度を維持する能力が低下し、真空度も低
下してしまう。
が設けられ、画像表示装置内面に予めゲッタ材がある場
合、新たな蒸発型ゲッタ材に対してガス吸着能力を持た
せる加熱するとその際に発生した新たなアウトガスが、
ガス吸着能力を持たせたゲッタ材に吸着するために、そ
の吸着分だけゲッタ材のガス吸着能力が劣化してしま
い、内部の真空度を維持する能力が低下し、真空度も低
下してしまう。
【００１７】上記のようにいずれの場合においても内部
の真空度が低下するために、以下に掲げる欠点があっ
た。
の真空度が低下するために、以下に掲げる欠点があっ
た。
【００１８】（１）画像表示装置の真空度が低下するこ
とからフェースプレートとリアプレートとの間に印加さ
れた高電圧の耐圧が低下して内部で放電等が発生し、装
置が劣化し、最悪の場合には破壊されてしまう。特にフ
ェースプレートとリアプレートとの距離を近くした極め
て薄い平面型の画像表示装置や高電圧を印加して高輝度
発光部を形成させる画像表示装置においてこのような問
題が顕著であった。
とからフェースプレートとリアプレートとの間に印加さ
れた高電圧の耐圧が低下して内部で放電等が発生し、装
置が劣化し、最悪の場合には破壊されてしまう。特にフ
ェースプレートとリアプレートとの距離を近くした極め
て薄い平面型の画像表示装置や高電圧を印加して高輝度
発光部を形成させる画像表示装置においてこのような問
題が顕著であった。
【００１９】（２）画像表示装置内部の雰囲気が変化す
ることから、装置の駆動開始電圧が変化して画質が安定
せず、また、耐久性が劣化してしまう。
ることから、装置の駆動開始電圧が変化して画質が安定
せず、また、耐久性が劣化してしまう。
【００２０】本発明は、上述したような従来の技術が有
する問題点に鑑みてなされたものであって、画質が安定
し、耐久性を向上することのできる画像表示装置の製造
方法を実現することを目的とする。
する問題点に鑑みてなされたものであって、画質が安定
し、耐久性を向上することのできる画像表示装置の製造
方法を実現することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、従来の画
像表示装置の製造方法における上述の諸問題を解決して
本発明の目的を達成すべく、鋭意研究を重ねた結果完成
に至ったものであり、本発明によって提供される画像表
示装置の製造方法および画像表示装置は以下のものであ
る。
像表示装置の製造方法における上述の諸問題を解決して
本発明の目的を達成すべく、鋭意研究を重ねた結果完成
に至ったものであり、本発明によって提供される画像表
示装置の製造方法および画像表示装置は以下のものであ
る。
【００２２】本発明の画像表示装置の製造方法は、画像
表示部材と排気管と複数のゲッタ材とが設けられた画像
表示装置の製造方法であって、前記画像表示装置を前記
排気管を介して真空排気しながら前記複数のゲッタ材を
ガス吸着力を有するゲッタ材とする第１の工程と、内部
の真空を維持するために前記排気管を封止する第２の工
程とを備え、前記第１の工程における、複数のゲッタ材
をガス吸着力を有するゲッタ材とすることを、排気管取
り付け部分からの距離が長いゲッタ材から順番に行うこ
とを特徴とする。
表示部材と排気管と複数のゲッタ材とが設けられた画像
表示装置の製造方法であって、前記画像表示装置を前記
排気管を介して真空排気しながら前記複数のゲッタ材を
ガス吸着力を有するゲッタ材とする第１の工程と、内部
の真空を維持するために前記排気管を封止する第２の工
程とを備え、前記第１の工程における、複数のゲッタ材
をガス吸着力を有するゲッタ材とすることを、排気管取
り付け部分からの距離が長いゲッタ材から順番に行うこ
とを特徴とする。
【００２３】この場合、複数のゲッタ材がゲッタ材コン
テナにそれぞれ収容された蒸発型ゲッタ材であり、ガス
吸着力を有するゲッタ材の形成が、蒸発型ゲッタ材を収
納したゲッタ材コンテナの加熱により行われてもよい。
テナにそれぞれ収容された蒸発型ゲッタ材であり、ガス
吸着力を有するゲッタ材の形成が、蒸発型ゲッタ材を収
納したゲッタ材コンテナの加熱により行われてもよい。
【００２４】また、複数のゲッタ材が非蒸発型ゲッタ材
であり、ガス吸着力を有するゲッタ材の形成が、非蒸発
型ゲッタ材の加熱により行われてもよい。
であり、ガス吸着力を有するゲッタ材の形成が、非蒸発
型ゲッタ材の加熱により行われてもよい。
【００２５】本発明の画像表示装置は、画像表示部材と
排気管と複数のゲッタ材とを有し、該排気管の封止によ
り内部の真空維持が図られる画像表示装置において、上
述した製造方法のいずれかを用いて製造されたことを特
徴とする。
排気管と複数のゲッタ材とを有し、該排気管の封止によ
り内部の真空維持が図られる画像表示装置において、上
述した製造方法のいずれかを用いて製造されたことを特
徴とする。
【００２６】
【作用】上記のように、ゲッタ材を蒸着する際に、該排
気管取り付け部分からの距離がより長いゲッタ材から順
番にガス吸着力を有するゲッタ材とすることによって、
かかる前述課題を解決した画像表示装置を提供すること
ができる。すなわち、蒸着型ゲッタ材の場合には、前記
距離がより長いゲッタ材コンテナから順番にゲッタ材を
蒸着することによって、第１番目に蒸着するゲッタから
生じる新たなアウトガスは排気管から排気され、第２番
目に蒸着するゲッタから生じる新たなアウトガスは、気
体の流れは排気管の方向に向いているために、それ以前
に蒸着された第１番目のゲッタ材にほとんど吸着される
ことなく、排気管から排気される。以下同様に、引き続
き生じるゲッタ材蒸着時の新たなアウトガスは、それ以
前に蒸着されたゲッタ材にほとんど吸着されることな
く、排気管から排気される。
気管取り付け部分からの距離がより長いゲッタ材から順
番にガス吸着力を有するゲッタ材とすることによって、
かかる前述課題を解決した画像表示装置を提供すること
ができる。すなわち、蒸着型ゲッタ材の場合には、前記
距離がより長いゲッタ材コンテナから順番にゲッタ材を
蒸着することによって、第１番目に蒸着するゲッタから
生じる新たなアウトガスは排気管から排気され、第２番
目に蒸着するゲッタから生じる新たなアウトガスは、気
体の流れは排気管の方向に向いているために、それ以前
に蒸着された第１番目のゲッタ材にほとんど吸着される
ことなく、排気管から排気される。以下同様に、引き続
き生じるゲッタ材蒸着時の新たなアウトガスは、それ以
前に蒸着されたゲッタ材にほとんど吸着されることな
く、排気管から排気される。
【００２７】一方、非蒸着型ゲッタ材の場合も前記距離
がより長いゲッタ材から順番にゲッタ材に活性化を行う
ことにより、引き続き生じるゲッタ材からのアウトガス
は、それ以前に活性化されたゲッタ材にほとんど吸着さ
れることなく、排気管から排気される。このようにし
て、全てのゲッタ材形成を行い、排気管を封じ切り、画
像表示装置を完成させれば、かかる装置内部の真空度が
低下することがないため、上記従来技術の欠点を解決す
ることができる。
がより長いゲッタ材から順番にゲッタ材に活性化を行う
ことにより、引き続き生じるゲッタ材からのアウトガス
は、それ以前に活性化されたゲッタ材にほとんど吸着さ
れることなく、排気管から排気される。このようにし
て、全てのゲッタ材形成を行い、排気管を封じ切り、画
像表示装置を完成させれば、かかる装置内部の真空度が
低下することがないため、上記従来技術の欠点を解決す
ることができる。
【００２８】以下に、蛍光表示管および表面伝導型の電
子放出素子を用いた表示装置に、本発明を用いた実施例
を説明するが、本発明を用いた画像表示装置は、排気管
と、複数のゲッタ材とを有するものであれば、これらの
画像表示装置に限定されるものではない。
子放出素子を用いた表示装置に、本発明を用いた実施例
を説明するが、本発明を用いた画像表示装置は、排気管
と、複数のゲッタ材とを有するものであれば、これらの
画像表示装置に限定されるものではない。
【００２９】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００３０】［実施例１］本発明の第１の実施例とし
て、表面伝導型電子放出素子を用い、電子ビームを加速
し、蛍光体に照射して発光させ、画像を表示させる薄型
の画像表示装置に適用した例について説明する。
て、表面伝導型電子放出素子を用い、電子ビームを加速
し、蛍光体に照射して発光させ、画像を表示させる薄型
の画像表示装置に適用した例について説明する。
【００３１】図１は本発明の第１の実施例の構成を示す
斜視図、図２はその断面図である。
斜視図、図２はその断面図である。
【００３２】本実施例は図５および図６に示した従来例
と同様の構成を有するものであり、ゲッタ材を蒸着する
際の順番を規定したものである。図１および図２中の、
排気管１００、バックプレート１０１、電極１０２，１
０３、薄膜１０４、電子通過孔１０６、グリッド１０
７、フェースプレート１０８、メタルバック１０９、蛍
光体１１０、外枠１１１、ゲッタ材飛散防止板１１３、
ゲッタ材コンテナ１１４Ａ〜１１４Ｄ、デュメット線１
１５のそれぞれは、図５および図６中の、排気管５０
０、バックプレート５０１、電極５０２，５０３、薄膜
５０４、電子通過孔５０６、グリッド５０７、フェース
プレート５０８、メタルバック５０９、蛍光体５１０、
外枠５１１、ゲッタ材飛散防止板５１３、ゲッタ材コン
テナ５１４Ａ〜５１４Ｄ、デュメット線５１５と同じも
のであるために説明は省略する。本実施例における画像
表示部材は電極１０２，１０３、薄膜１０４、電子通過
孔１０６、グリッド１０７、フェースプレート１０８、
メタルバック１０９、蛍光体１１０より構成されてい
る。
と同様の構成を有するものであり、ゲッタ材を蒸着する
際の順番を規定したものである。図１および図２中の、
排気管１００、バックプレート１０１、電極１０２，１
０３、薄膜１０４、電子通過孔１０６、グリッド１０
７、フェースプレート１０８、メタルバック１０９、蛍
光体１１０、外枠１１１、ゲッタ材飛散防止板１１３、
ゲッタ材コンテナ１１４Ａ〜１１４Ｄ、デュメット線１
１５のそれぞれは、図５および図６中の、排気管５０
０、バックプレート５０１、電極５０２，５０３、薄膜
５０４、電子通過孔５０６、グリッド５０７、フェース
プレート５０８、メタルバック５０９、蛍光体５１０、
外枠５１１、ゲッタ材飛散防止板５１３、ゲッタ材コン
テナ５１４Ａ〜５１４Ｄ、デュメット線５１５と同じも
のであるために説明は省略する。本実施例における画像
表示部材は電極１０２，１０３、薄膜１０４、電子通過
孔１０６、グリッド１０７、フェースプレート１０８、
メタルバック１０９、蛍光体１１０より構成されてい
る。
【００３３】図１および図２を参照して、本実施例にお
ける画像表示装置の製造方法を説明する。
ける画像表示装置の製造方法を説明する。
【００３４】気密容器内は排気管１００を通して真空排
気し、さらにベーキングおよびゲッタ予熱加熱によりア
ウトガスを行った後、排気を行いつつ、ゲッタ材コンテ
ナ１１４に収納されたゲッタ材の蒸着を行った。
気し、さらにベーキングおよびゲッタ予熱加熱によりア
ウトガスを行った後、排気を行いつつ、ゲッタ材コンテ
ナ１１４に収納されたゲッタ材の蒸着を行った。
【００３５】上記のゲッタ材の蒸着においては、排気管
１００の取り付け部分からの距離がより長いゲッタ材コ
ンテナから順番に、すなわち、ゲッタ材コンテナ１１４
Ｂ，１１４Ａ，１１４Ｃ，１１４Ｄの順番に行った。最
後に、排気管１００の一部を加熱して融解させ、該部分
を封じ切る（閉塞、切断）ことによって、画像表示装置
を完成させた。
１００の取り付け部分からの距離がより長いゲッタ材コ
ンテナから順番に、すなわち、ゲッタ材コンテナ１１４
Ｂ，１１４Ａ，１１４Ｃ，１１４Ｄの順番に行った。最
後に、排気管１００の一部を加熱して融解させ、該部分
を封じ切る（閉塞、切断）ことによって、画像表示装置
を完成させた。
【００３６】上記のように、本実施例によれば、ゲッタ
材を蒸着する際に、排気管１００の取り付け部分からの
距離がより長いゲッタ材コンテナから順番にゲッタ材が
蒸着されるため、引き続き行われる他のゲッタ材蒸着時
に生じる新たなアウトガスは、それ以前に蒸着されたゲ
ッタ材に吸着されることがほとんどなくなる。これによ
り、画像表示装置内部の真空度が低下することがないた
め、バックプレート１０１とフェースプレート１０８と
の間に高電圧を印加して、駆動、動作させても放電が発
生することなく、また、耐久性の優れたものとなった。
材を蒸着する際に、排気管１００の取り付け部分からの
距離がより長いゲッタ材コンテナから順番にゲッタ材が
蒸着されるため、引き続き行われる他のゲッタ材蒸着時
に生じる新たなアウトガスは、それ以前に蒸着されたゲ
ッタ材に吸着されることがほとんどなくなる。これによ
り、画像表示装置内部の真空度が低下することがないた
め、バックプレート１０１とフェースプレート１０８と
の間に高電圧を印加して、駆動、動作させても放電が発
生することなく、また、耐久性の優れたものとなった。
【００３７】比較例として、ゲッタ材コンテナ１１４Ａ
〜１１４Ｄに収納された各ゲッタ材の蒸着を、ゲッタ材
コンテナ１１４Ｄ，１１４Ｃ，１１４Ｂ，１１４Ａの順
番に行った他は、実施例１と同様にして画像表示装置を
作製したところ、特に、ゲッタ材コンテナ１１４Ｄから
蒸着したゲッタ材に、ゲッタ材コンテナ１１４Ｃ，１１
４Ｂ，１１４Ａからのゲッタ材蒸着時のアウトガスが吸
着して、劣化してしまった。このため、バックプレート
１０１とフェースプレート１０８との間に高電圧を印加
して、長時間、駆動、動作させたところ画像の劣化がみ
られるようになった。
〜１１４Ｄに収納された各ゲッタ材の蒸着を、ゲッタ材
コンテナ１１４Ｄ，１１４Ｃ，１１４Ｂ，１１４Ａの順
番に行った他は、実施例１と同様にして画像表示装置を
作製したところ、特に、ゲッタ材コンテナ１１４Ｄから
蒸着したゲッタ材に、ゲッタ材コンテナ１１４Ｃ，１１
４Ｂ，１１４Ａからのゲッタ材蒸着時のアウトガスが吸
着して、劣化してしまった。このため、バックプレート
１０１とフェースプレート１０８との間に高電圧を印加
して、長時間、駆動、動作させたところ画像の劣化がみ
られるようになった。
【００３８】［実施例２］本発明の第２の実施例とし
て、本発明を用いた蛍光表示管について説明する。
て、本発明を用いた蛍光表示管について説明する。
【００３９】図３（ａ），（ｂ）のそれぞれは、本実施
例の蛍光表示管の一例を示す上面図および断面図であ
る。
例の蛍光表示管の一例を示す上面図および断面図であ
る。
【００４０】図３において、３００は蛍光表示管内部を
排気するための排気管であり、３０１は表示面となるガ
ラス板などの透明な基板であるフェースプレート、３０
２はこのフェースプレートの周縁部において互いに接着
されたカップ状のバックプレートである。フェースプレ
ート３０１には陽極パターン３０４、コントロールグリ
ッド３０５、およびフィラメント３０６から構成された
複数の表示部が並置されており、誘導加熱用リング状ゲ
ッタ材コンテナ３１４がゲッタ材飛散防止板３１３に固
定されている。
排気するための排気管であり、３０１は表示面となるガ
ラス板などの透明な基板であるフェースプレート、３０
２はこのフェースプレートの周縁部において互いに接着
されたカップ状のバックプレートである。フェースプレ
ート３０１には陽極パターン３０４、コントロールグリ
ッド３０５、およびフィラメント３０６から構成された
複数の表示部が並置されており、誘導加熱用リング状ゲ
ッタ材コンテナ３１４がゲッタ材飛散防止板３１３に固
定されている。
【００４１】上記のように構成された本実施例におい
て、ゲッタ材の蒸着は、排気管３００が取り付けられた
部分からの距離がより長いゲッタ材コンテナから順番に
ゲッタ材が蒸着される。これにより、引き続き行われる
他のゲッタ材蒸着時に生じる新たなアウトガスは、それ
以前に蒸着されたゲッタ材に吸着されることがほとんど
なくなる。これにより、画像表示装置内部の真空度が低
下することがないため、実施例１と同様に画像表示装置
内部の真空度が低下することのない画像表示装置を作製
することができた。
て、ゲッタ材の蒸着は、排気管３００が取り付けられた
部分からの距離がより長いゲッタ材コンテナから順番に
ゲッタ材が蒸着される。これにより、引き続き行われる
他のゲッタ材蒸着時に生じる新たなアウトガスは、それ
以前に蒸着されたゲッタ材に吸着されることがほとんど
なくなる。これにより、画像表示装置内部の真空度が低
下することがないため、実施例１と同様に画像表示装置
内部の真空度が低下することのない画像表示装置を作製
することができた。
【００４２】［実施例３］本発明の第１の実施例とし
て、表面伝導型電子放出素子を用い、電子ビームを加速
し、蛍光体に照射して発光させ、画像を表示させる薄型
の画像表示装置に適用した例について説明する。図１お
よび図２に示した第１の実施例においては、蒸発型のゲ
ッタ材を用いたが、本実施例においては非蒸発型のゲッ
タ材を用いている。
て、表面伝導型電子放出素子を用い、電子ビームを加速
し、蛍光体に照射して発光させ、画像を表示させる薄型
の画像表示装置に適用した例について説明する。図１お
よび図２に示した第１の実施例においては、蒸発型のゲ
ッタ材を用いたが、本実施例においては非蒸発型のゲッ
タ材を用いている。
【００４３】図４を参照して本実施例の画像表示装置の
製造方法を説明する。
製造方法を説明する。
【００４４】本実施例は、図１および図２に示した蒸発
型のゲッタ材を収容するゲッタ材コンテナ１１４Ａ〜１
１４Ｄの代わりに非蒸発型のゲッタ材４１６Ａ，４１６
Ｂ，４１６Ｃ，４１６Ｄを配置したものである。この他
の排気管４００、バックプレート４０１、電極４０２，
４０３、薄膜４０４、電子通過孔４０６、グリッド４０
７、フェースプレート４０８、メタルバック４０９、蛍
光体４１０、外枠４１１、ゲッタ材飛散防止板４１３の
それぞれは、図１および図２中の、排気管１００、バッ
クプレート１０１、電極１０２，１０３、薄膜１０４、
電子通過孔１０６、グリッド１０７、フェースプレート
１０８、メタルバック１０９、蛍光体１１０、外枠１１
１、ゲッタ材飛散防止板１１３、ゲッタ材コンテナ１１
４Ａ〜１１４Ｄと同様であるために説明は省略する。
型のゲッタ材を収容するゲッタ材コンテナ１１４Ａ〜１
１４Ｄの代わりに非蒸発型のゲッタ材４１６Ａ，４１６
Ｂ，４１６Ｃ，４１６Ｄを配置したものである。この他
の排気管４００、バックプレート４０１、電極４０２，
４０３、薄膜４０４、電子通過孔４０６、グリッド４０
７、フェースプレート４０８、メタルバック４０９、蛍
光体４１０、外枠４１１、ゲッタ材飛散防止板４１３の
それぞれは、図１および図２中の、排気管１００、バッ
クプレート１０１、電極１０２，１０３、薄膜１０４、
電子通過孔１０６、グリッド１０７、フェースプレート
１０８、メタルバック１０９、蛍光体１１０、外枠１１
１、ゲッタ材飛散防止板１１３、ゲッタ材コンテナ１１
４Ａ〜１１４Ｄと同様であるために説明は省略する。
【００４５】本実施例において、ゲッタ材４１６Ａ〜４
１６Ｄは予め形成したＺｒ，Ｖ，Ｆｅ三合金から成る非
蒸発型のゲッタ材である。気密容器内に排気管４００を
通して真空排気され、さらにベーキングおよびゲッタ予
熱加熱によりアウトガスを行った後、排気を行いつつ、
非蒸発型ゲッタ材４１６Ａ〜４１６Ｄの活性化（真空中
で、３００℃程度に１５分間加熱して、ガス吸着力を持
たせる）を、排気管４００の取り付け部分からの距離が
より長いゲッタ材から順番に、すなわちゲッタ材４１６
Ｂ，４１６Ａ，４１６Ｃ，４１６Ｄの順番に行った。最
後に、排気管の一部を加熱して融解させ、該部を封じ切
る（閉塞、切断）ことによって、画像表示装置を完成さ
せた。
１６Ｄは予め形成したＺｒ，Ｖ，Ｆｅ三合金から成る非
蒸発型のゲッタ材である。気密容器内に排気管４００を
通して真空排気され、さらにベーキングおよびゲッタ予
熱加熱によりアウトガスを行った後、排気を行いつつ、
非蒸発型ゲッタ材４１６Ａ〜４１６Ｄの活性化（真空中
で、３００℃程度に１５分間加熱して、ガス吸着力を持
たせる）を、排気管４００の取り付け部分からの距離が
より長いゲッタ材から順番に、すなわちゲッタ材４１６
Ｂ，４１６Ａ，４１６Ｃ，４１６Ｄの順番に行った。最
後に、排気管の一部を加熱して融解させ、該部を封じ切
る（閉塞、切断）ことによって、画像表示装置を完成さ
せた。
【００４６】上記のように、本実施例によれば、非蒸発
型ゲッタ材の活性化を行う際に、排気管取り付け部分か
らの距離がより長いゲッタ材から順番に活性化を行うこ
とによって、引き続き行われる他のゲッタ材蒸着時に生
じる新たなアウトガスは、それ以前に蒸着されたゲッタ
材に吸着されることがほとんどなくなる。これにより、
画像表示装置内部の真空度が低下することがないため、
バックプレート４０１とフェースプレート４０８との間
に高電圧を印加して、駆動、動作させても放電が発生す
ることなく、また、耐久性の優れたものとなった。
型ゲッタ材の活性化を行う際に、排気管取り付け部分か
らの距離がより長いゲッタ材から順番に活性化を行うこ
とによって、引き続き行われる他のゲッタ材蒸着時に生
じる新たなアウトガスは、それ以前に蒸着されたゲッタ
材に吸着されることがほとんどなくなる。これにより、
画像表示装置内部の真空度が低下することがないため、
バックプレート４０１とフェースプレート４０８との間
に高電圧を印加して、駆動、動作させても放電が発生す
ることなく、また、耐久性の優れたものとなった。
【００４７】比較例として、非蒸発型ゲッタ材４１６
Ａ，４１６Ｂ，４１６Ｃ，４１６Ｄの活性化を、４１６
Ｄ，４１６Ｃ，４１６Ｂ，４１６Ａの順番に行った他
は、実施例３と同様にして画像表示装置を作製したとこ
ろ、特に、ゲッタ材４１６Ｄが、ゲッタ材４１６Ｃ，４
１６Ｂ，４１６Ａからのゲッタ材活性化時のアウトガス
が吸着して、劣化してしまったために、バックプレート
４０１とフェースプレート４０８との間に高電圧を印加
して、長時間、駆動、動作させたところ画像の劣化がみ
られるようになった。
Ａ，４１６Ｂ，４１６Ｃ，４１６Ｄの活性化を、４１６
Ｄ，４１６Ｃ，４１６Ｂ，４１６Ａの順番に行った他
は、実施例３と同様にして画像表示装置を作製したとこ
ろ、特に、ゲッタ材４１６Ｄが、ゲッタ材４１６Ｃ，４
１６Ｂ，４１６Ａからのゲッタ材活性化時のアウトガス
が吸着して、劣化してしまったために、バックプレート
４０１とフェースプレート４０８との間に高電圧を印加
して、長時間、駆動、動作させたところ画像の劣化がみ
られるようになった。
【００４８】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
【００４９】請求項１乃至請求項３に記載の方法におい
ては、蒸発型ゲッタ材を蒸着する際に、該排気管取り付
け部分からの距離がより長いゲッタ材コンテナから順番
にゲッタ材を蒸着することによって、あるいは予め具備
された非蒸発型ゲッタ材を該排気管取り付け部分からの
距離が蒸発型ゲッタ材から順番に活性化してガス吸着力
を持たせることによって、新たなアウトガスは、それ以
前にガス吸着力を持たせたゲッタ材にはほとんど吸着さ
れることがない。これにより、画像表示装置内部の真空
度が低下することがないために、放電を起こすことがな
く、耐久性に優れ、画質が安定した画像表示装置が作製
できる。
ては、蒸発型ゲッタ材を蒸着する際に、該排気管取り付
け部分からの距離がより長いゲッタ材コンテナから順番
にゲッタ材を蒸着することによって、あるいは予め具備
された非蒸発型ゲッタ材を該排気管取り付け部分からの
距離が蒸発型ゲッタ材から順番に活性化してガス吸着力
を持たせることによって、新たなアウトガスは、それ以
前にガス吸着力を持たせたゲッタ材にはほとんど吸着さ
れることがない。これにより、画像表示装置内部の真空
度が低下することがないために、放電を起こすことがな
く、耐久性に優れ、画質が安定した画像表示装置が作製
できる。
【００５０】請求項４に記載のものにおいては、上記各
効果を奏する画像表示装置とすることができる効果があ
る。
効果を奏する画像表示装置とすることができる効果があ
る。
【図１】本発明の第１の実施例の構成を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明の第１の実施例の構成を示す断面図であ
る。
る。
【図３】本発明の第２の実施例の構成を示す上面図およ
び断面図である。
び断面図である。
【図４】本発明の第３の実施例の構成を示す斜視図であ
る。
る。
【図５】従来例の構成を示す斜視図である。
【図６】従来例の構成を示す断面図である。
【図７】（ａ），（ｂ）のそれぞれは、本発明に用いら
れる電子線発生装置の上面図および正面図である。
れる電子線発生装置の上面図および正面図である。
１００，３００，４００ 排気管 １０１，３０２，４０１ バックプレート １０２，１０３，４０２，４０３ 電極 １０４，４０４ 電子放出部を含む薄膜 １０６，４０６ 電子通過孔 １０７，４０７ グリッド １０８，３０１，４０８ フェースプレート １０９，４０９ メタルバック １１０，４１０ 蛍光体 １１１，４１１ 外枠 １１３，４１３ ゲッタ材飛散防止版 １１４，４１４ 蒸発型ゲッタ材コンテナ １１５ デュメット線 ４１６ 非蒸発型ゲッタ材 ３０４ 陽極パターン ３０５ コントロールグリッド ３０６ フィラメント
Claims (4)
- 【請求項１】 画像表示部材と排気管と複数のゲッタ材
とが設けられた画像表示装置の製造方法であって、 前記画像表示装置を前記排気管を介して真空排気しなが
ら前記複数のゲッタ材をガス吸着力を有するゲッタ材と
する第１の工程と、 内部の真空を維持するために前記排気管を封止する第２
の工程とを備え、 前記第１の工程における、複数のゲッタ材をガス吸着力
を有するゲッタ材とすることを、排気管取り付け部分か
らの距離が長いゲッタ材から順番に行うことを特徴とす
る画像表示装置の製造方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の画像表示装置の製造方法
において、 複数のゲッタ材がゲッタ材コンテナにそれぞれ収容され
た蒸発型ゲッタ材であり、 ガス吸着力を有するゲッタ材の形成が、蒸発型ゲッタ材
を収納したゲッタ材コンテナの加熱により行われること
を特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 【請求項３】 請求項１記載の画像表示装置の製造方法
において、 複数のゲッタ材が非蒸発型ゲッタ材であり、 ガス吸着力を有するゲッタ材の形成が、非蒸発型ゲッタ
材の加熱により行われることを特徴とする画像表示装置
の製造方法。 - 【請求項４】 画像表示部材と排気管と複数のゲッタ材
とを有し、該排気管の封止により内部の真空維持が図ら
れる画像表示装置において、 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の製造方法を用
いて製造されたことを特徴とする画像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6090794A JP3056942B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 画像表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6090794A JP3056942B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 画像表示装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07296732A true JPH07296732A (ja) | 1995-11-10 |
| JP3056942B2 JP3056942B2 (ja) | 2000-06-26 |
Family
ID=14008498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6090794A Expired - Fee Related JP3056942B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 画像表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3056942B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0780875A1 (en) * | 1995-12-19 | 1997-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus |
| KR100424301B1 (ko) * | 2001-09-18 | 2004-03-24 | 엘지전자 주식회사 | 피디피 제조방법 |
| US7959483B2 (en) | 2008-05-22 | 2011-06-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Airtight container manufacturing method involves irradiating an electron beam to a non-evaporable type getter so as not to activate it before a sealing process |
-
1994
- 1994-04-28 JP JP6090794A patent/JP3056942B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0780875A1 (en) * | 1995-12-19 | 1997-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus |
| US5925979A (en) * | 1995-12-19 | 1999-07-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus with getter scattering prevention |
| KR100242784B1 (ko) * | 1995-12-19 | 2000-02-01 | 미다라이 후지오 | 화상 표시 장치 |
| AU725774B2 (en) * | 1995-12-19 | 2000-10-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus |
| US6486600B1 (en) | 1995-12-19 | 2002-11-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus |
| KR100424301B1 (ko) * | 2001-09-18 | 2004-03-24 | 엘지전자 주식회사 | 피디피 제조방법 |
| US7959483B2 (en) | 2008-05-22 | 2011-06-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Airtight container manufacturing method involves irradiating an electron beam to a non-evaporable type getter so as not to activate it before a sealing process |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3056942B2 (ja) | 2000-06-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |