JPH07296748A - 画像表示装置およびその製造方法 - Google Patents
画像表示装置およびその製造方法Info
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- JPH07296748A JPH07296748A JP9079194A JP9079194A JPH07296748A JP H07296748 A JPH07296748 A JP H07296748A JP 9079194 A JP9079194 A JP 9079194A JP 9079194 A JP9079194 A JP 9079194A JP H07296748 A JPH07296748 A JP H07296748A
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- Japan
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- getter material
- exhaust pipe
- image display
- display device
- vacuum
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 画像表示装置内部の真空度が低下することが
なく、画質が安定し、耐久性に優れた画像表示装置とそ
の製造方法を実現すること。 【構成】 蛍光部材および高電圧印加手段からなる画像
表示部材と、フェースプレートと、リアプレートと、排
気管と、第１のゲッタ材と、を具備し、前記排気管を介
して真空排気しながらベーキングを行った後に該排気管
を封じ切ることにより内部の真空維持が図られる画像表
示装置において、前記排気管の内壁に形成された第２の
ゲッタ材を有することを特徴とする。
なく、画質が安定し、耐久性に優れた画像表示装置とそ
の製造方法を実現すること。 【構成】 蛍光部材および高電圧印加手段からなる画像
表示部材と、フェースプレートと、リアプレートと、排
気管と、第１のゲッタ材と、を具備し、前記排気管を介
して真空排気しながらベーキングを行った後に該排気管
を封じ切ることにより内部の真空維持が図られる画像表
示装置において、前記排気管の内壁に形成された第２の
ゲッタ材を有することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平面型の画像表示装置
とその製造方法に関し、特に、内部にゲッタが設置され
た画像表示装置とその製造方法に関する。
とその製造方法に関し、特に、内部にゲッタが設置され
た画像表示装置とその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、画像表示装置として蛍光表示
管、電界放出型及び表面伝導型の電子放出素子を用いた
表示装置など、主に蛍光体を励起して発光させる画像表
示装置は、平面でかつ明るく見やすいなどの利点を有し
ており、産業上積極的に応用され、また、期待されてい
る。
管、電界放出型及び表面伝導型の電子放出素子を用いた
表示装置など、主に蛍光体を励起して発光させる画像表
示装置は、平面でかつ明るく見やすいなどの利点を有し
ており、産業上積極的に応用され、また、期待されてい
る。
【０００３】電子ビーム発生源として、表面伝導型電子
放出素子を用い、電子ビームを加速し蛍光体に照射し発
光させ画像を表示させる薄型の画像表示装置が本出願人
より出願されている（特開平３−２６１０２４号公報
等）。
放出素子を用い、電子ビームを加速し蛍光体に照射し発
光させ画像を表示させる薄型の画像表示装置が本出願人
より出願されている（特開平３−２６１０２４号公報
等）。
【０００４】図３および図４のそれぞれは、上記公報に
開示されている画像表示装置の断面図および斜視図であ
る。図３および図４において、３００は蛍光表示管内部
を排気するための排気管（図は封じ切り後の状態を示し
ている）で、３０１は電子放出素子を構成した青板ガラ
スからなるバックプレート、３０２と３０３は一定の間
隔を隔て設置された電極、３０４は電極３０２，３０３
間に設けられた電子放出部を含む薄膜、３０６は電子通
過孔、３０７はグリッド、３０８はメタルバック３０９
及び蛍光体３１０が形成された青板ガラスからなるフェ
ースプレート、３１１は外枠であり、３１４はゲッタ材
コンテナである。ゲッタ材コンテナ３１４はゲッタ材コ
ンテナ固定治具３１３に固定されており、内部にはパネ
ル内の真空を維持するという通常目的の蒸発型ゲッタ材
を収納するもので、蒸発型ゲッタ材はバックプレート３
０１に蒸着される。
開示されている画像表示装置の断面図および斜視図であ
る。図３および図４において、３００は蛍光表示管内部
を排気するための排気管（図は封じ切り後の状態を示し
ている）で、３０１は電子放出素子を構成した青板ガラ
スからなるバックプレート、３０２と３０３は一定の間
隔を隔て設置された電極、３０４は電極３０２，３０３
間に設けられた電子放出部を含む薄膜、３０６は電子通
過孔、３０７はグリッド、３０８はメタルバック３０９
及び蛍光体３１０が形成された青板ガラスからなるフェ
ースプレート、３１１は外枠であり、３１４はゲッタ材
コンテナである。ゲッタ材コンテナ３１４はゲッタ材コ
ンテナ固定治具３１３に固定されており、内部にはパネ
ル内の真空を維持するという通常目的の蒸発型ゲッタ材
を収納するもので、蒸発型ゲッタ材はバックプレート３
０１に蒸着される。
【０００５】図３及び図４を参照して、画像表示装置の
製造方法を説明する。
製造方法を説明する。
【０００６】気密容器内は排気管３００を通して真空排
気され、さらにベ−キングにより脱ガスを行った後、排
気管の一部を加熱して融解させ、封じ切る（閉塞、切
断）。最後に気密容器内部の一端に設置された通常目的
のゲッタ材が収納されたゲッタ材コンテナ３１４を加熱
して、収納された蒸発型ゲッタ材をバックプレート３０
１に蒸着することによって、画像表示装置を完成させ
る。
気され、さらにベ−キングにより脱ガスを行った後、排
気管の一部を加熱して融解させ、封じ切る（閉塞、切
断）。最後に気密容器内部の一端に設置された通常目的
のゲッタ材が収納されたゲッタ材コンテナ３１４を加熱
して、収納された蒸発型ゲッタ材をバックプレート３０
１に蒸着することによって、画像表示装置を完成させ
る。
【０００７】一般にゲッタ材コンテナは、一部が解放さ
れた金属管の内部にＢａを主成分とする蒸発型ゲッタ材
を収納したもので、形状として直線、リング状のものが
ある。
れた金属管の内部にＢａを主成分とする蒸発型ゲッタ材
を収納したもので、形状として直線、リング状のものが
ある。
【０００８】通常目的のゲッタ材は誘導加熱あるいは通
電加熱によってフラッシュし、ゲッタ材を画像表示装置
内面に付着させ、ガスを吸着して、パネル内真空維持作
用を持つ。
電加熱によってフラッシュし、ゲッタ材を画像表示装置
内面に付着させ、ガスを吸着して、パネル内真空維持作
用を持つ。
【０００９】一方、一般に非蒸発型ゲッタはＺｒ、Ｖ、
Ｆｅ合金等から成り、真空中で、３００℃程度に加熱さ
れると、ガス吸着能力を持ち、パネル内真空維持作用を
持つ。
Ｆｅ合金等から成り、真空中で、３００℃程度に加熱さ
れると、ガス吸着能力を持ち、パネル内真空維持作用を
持つ。
【００１０】ここで、表面伝導型電子放出素子について
述ベる。図５は、表面伝導型電子放出素子の該略上面図
及び断面図を示す。
述ベる。図５は、表面伝導型電子放出素子の該略上面図
及び断面図を示す。
【００１１】同図において５０１は青板ガラス等の絶縁
材で構成されるバックプレート、５０２と５０３は一定
の問隔を隔て設置された電極、５０４は電子放出部を含
む薄膜、５０５は電子放出部である。この場合は、電子
放出部を含む薄膜５０４として有機Ｐｄ（ＣＣＰ４２３
０奥野製薬株式会社製）を塗布、焼成後、電極５０２、
５０３間に電圧を印加し通電処理を行い、電子放出部５
０５を形成した。
材で構成されるバックプレート、５０２と５０３は一定
の問隔を隔て設置された電極、５０４は電子放出部を含
む薄膜、５０５は電子放出部である。この場合は、電子
放出部を含む薄膜５０４として有機Ｐｄ（ＣＣＰ４２３
０奥野製薬株式会社製）を塗布、焼成後、電極５０２、
５０３間に電圧を印加し通電処理を行い、電子放出部５
０５を形成した。
【００１２】電子放出部を含む薄膜５０４の材質はＰｄ
のみに制限されず、Ｒｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｉｎ、Ｃ
ｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｂ等の金
属、ＰｄＯ、ＳｎＯ2、Ｉｎ2Ｏ3、ＰｂＯ、Ｓｂ2Ｏ3等
の酸化物、ＨｆＢ2、ＺｒＢ2、ＬａＢ6、ＣｅＢ6、ＹＢ
4、ＧｄＢ4等の硼化物、ＴｉＣ、ＺｒＣ、ＨｆＣ、Ｔａ
Ｃ、ＳｉＣ、ＷＣ等の炭化物、ＴｉＮ、ＺｒＮ、ＨｆＮ
等の窒化物、Ｓｉ、Ｇｅ等の半導体、カーボン、ＡｇＭ
ｇ、ＮｉＣｕ、Ｐｂ、Ｓｎ等でも良い。
のみに制限されず、Ｒｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｉｎ、Ｃ
ｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｂ等の金
属、ＰｄＯ、ＳｎＯ2、Ｉｎ2Ｏ3、ＰｂＯ、Ｓｂ2Ｏ3等
の酸化物、ＨｆＢ2、ＺｒＢ2、ＬａＢ6、ＣｅＢ6、ＹＢ
4、ＧｄＢ4等の硼化物、ＴｉＣ、ＺｒＣ、ＨｆＣ、Ｔａ
Ｃ、ＳｉＣ、ＷＣ等の炭化物、ＴｉＮ、ＺｒＮ、ＨｆＮ
等の窒化物、Ｓｉ、Ｇｅ等の半導体、カーボン、ＡｇＭ
ｇ、ＮｉＣｕ、Ｐｂ、Ｓｎ等でも良い。
【００１３】更に電子放出部を含む薄膜５０４の形成法
は、真空蒸着法、スパッタ法、化学的気相堆積法、分散
塗布法、ディッピング法、スピナー法等が適用可能で、
要するに薄膜が形成できれば特に問わない。
は、真空蒸着法、スパッタ法、化学的気相堆積法、分散
塗布法、ディッピング法、スピナー法等が適用可能で、
要するに薄膜が形成できれば特に問わない。
【００１４】この他表面伝導型電子放出素子の薄膜とし
て、ＳｎＯ2膜を用いたもの、Ａｕ薄膜によるもの
［Ｇ．Ｄｉｔｔｍｅｒ：“Ｔｈｉｎ Ｓｏｌｉｄ Ｆｉ
ｌｍｓ”、９、３１７（１９７２）］、Ｉｎ2０3／Ｓｎ
Ｏ2薄膜によるもの［Ｍ．Ｈａｒｔｗｅｌｌ ａｎｄ
Ｃ．Ｇ．Ｆｏｎｓｔａｄ：“ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．Ｅ
ＤＣｏｎｆ．”、５１９（１９７５）］、カーボン薄膜
によるもの［荒木久 他：真空、第２６巻、第１号、２
２頁（１９８３）］等が報告されている。
て、ＳｎＯ2膜を用いたもの、Ａｕ薄膜によるもの
［Ｇ．Ｄｉｔｔｍｅｒ：“Ｔｈｉｎ Ｓｏｌｉｄ Ｆｉ
ｌｍｓ”、９、３１７（１９７２）］、Ｉｎ2０3／Ｓｎ
Ｏ2薄膜によるもの［Ｍ．Ｈａｒｔｗｅｌｌ ａｎｄ
Ｃ．Ｇ．Ｆｏｎｓｔａｄ：“ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．Ｅ
ＤＣｏｎｆ．”、５１９（１９７５）］、カーボン薄膜
によるもの［荒木久 他：真空、第２６巻、第１号、２
２頁（１９８３）］等が報告されている。
【００１５】尚、電子源として表面伝導型電子放出素子
のほか熱カソードを用いた熱電子源、電界放出型電子放
出素子（Ｗ．Ｐ．Ｄｙｋｅ＆Ｗ．Ｗ．Ｄｏｌａｎ、“Ｆ
ｉｅｌｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ”、Ａｄｖａｎｃｅ ｉｎ
Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｐｈｙｓｉｃｓ、８、８９（１９
５６）やＣ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔ、“Ｐｈｙｓｉｃａｌｐ
ｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ ｆｉ
ｅｌｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｃａｔｈｏｄｅｓ ｗｉｔ
ｈ ｍｏｌｙｂｄｅｎｕｍ ｃｏｎｅｓ”、Ｊ．Ａｐｐ
ｌ．Ｐｈｙｓ．、４７、５２４８（１９７６）等）、金
属／絶縁層／金属型電子放出素子（Ｃ．Ａ．Ｍｅａｄ、
“Ｔｈｅ ｔｕｎｎｅｌ−ｅｍｉｓｓｉｏｎ ａｍｐｌ
ｉｆｉｅｒ、Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．、３２、６４６
（１９６１）等）が知られている。
のほか熱カソードを用いた熱電子源、電界放出型電子放
出素子（Ｗ．Ｐ．Ｄｙｋｅ＆Ｗ．Ｗ．Ｄｏｌａｎ、“Ｆ
ｉｅｌｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ”、Ａｄｖａｎｃｅ ｉｎ
Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｐｈｙｓｉｃｓ、８、８９（１９
５６）やＣ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔ、“Ｐｈｙｓｉｃａｌｐ
ｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ ｆｉ
ｅｌｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｃａｔｈｏｄｅｓ ｗｉｔ
ｈ ｍｏｌｙｂｄｅｎｕｍ ｃｏｎｅｓ”、Ｊ．Ａｐｐ
ｌ．Ｐｈｙｓ．、４７、５２４８（１９７６）等）、金
属／絶縁層／金属型電子放出素子（Ｃ．Ａ．Ｍｅａｄ、
“Ｔｈｅ ｔｕｎｎｅｌ−ｅｍｉｓｓｉｏｎ ａｍｐｌ
ｉｆｉｅｒ、Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．、３２、６４６
（１９６１）等）が知られている。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例の画像表示装置の製造方法では以下のような問題点が
あった。
例の画像表示装置の製造方法では以下のような問題点が
あった。
【００１７】すなわち、上記従来例のベーキングによる
脱ガスエ程では、排気管を含む画像表示装置のベーキン
グ温度は、排気を行いつつベーキングがなされるので、
当然のことながら排気管を封じ切る際の加熱温度よりも
低い温度となる。このため、排気管を封じ切る際には、
封じ切り部分から新たなるアウトガスが生じることとな
り、封じ切り部分が融解し、閉塞するとアウトガスは真
空ポンブ等によって排気されず、画像表示装置内部に侵
入し、内部の真空度が低下してしまう。このような製造
方法で作製された従来の画像表示装置には、内部の真空
度が低下することにより、以下に掲げる欠点があった。
脱ガスエ程では、排気管を含む画像表示装置のベーキン
グ温度は、排気を行いつつベーキングがなされるので、
当然のことながら排気管を封じ切る際の加熱温度よりも
低い温度となる。このため、排気管を封じ切る際には、
封じ切り部分から新たなるアウトガスが生じることとな
り、封じ切り部分が融解し、閉塞するとアウトガスは真
空ポンブ等によって排気されず、画像表示装置内部に侵
入し、内部の真空度が低下してしまう。このような製造
方法で作製された従来の画像表示装置には、内部の真空
度が低下することにより、以下に掲げる欠点があった。
【００１８】（１）画像表示装置内部の真空度が低下す
ることから、フェースプレートとリアプレートとの間に
印加された高電圧の耐圧が低下し、内部で放電等が発生
して画質および装置が劣化し、最悪の場合には破壊され
てしまう。特にフェースプレートとリアブレートとの距
離を近づけた、極めて薄い平面型の画像形成装置や、高
電圧を印加して高輝度発光部を形成させる画像表示装置
においてこのような問題が顕著であった。
ることから、フェースプレートとリアプレートとの間に
印加された高電圧の耐圧が低下し、内部で放電等が発生
して画質および装置が劣化し、最悪の場合には破壊され
てしまう。特にフェースプレートとリアブレートとの距
離を近づけた、極めて薄い平面型の画像形成装置や、高
電圧を印加して高輝度発光部を形成させる画像表示装置
においてこのような問題が顕著であった。
【００１９】（２）画像表示装置内部の雰囲気が変化す
ることから、装置の駆動開始電圧が変化し、また耐久性
が劣化してしまう。
ることから、装置の駆動開始電圧が変化し、また耐久性
が劣化してしまう。
【００２０】これら上記の欠点は、アウトガスがより多
く発生する排気管を含む画像表示装置のベーキング温度
が低い場合や排気管が太い場合に顕著であった。
く発生する排気管を含む画像表示装置のベーキング温度
が低い場合や排気管が太い場合に顕著であった。
【００２１】本発明は、上述したような従来の技術が有
する問題点に鑑みてなされたものであって、画像表示装
置内部の真空度が低下することがなく、画質が安定し、
耐久性に優れた画像表示装置とその製造方法を実現する
ことを目的とする。
する問題点に鑑みてなされたものであって、画像表示装
置内部の真空度が低下することがなく、画質が安定し、
耐久性に優れた画像表示装置とその製造方法を実現する
ことを目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、従来の画
像表示装置の製造方法における上述の諸問題を解決して
本発明の目的を達成すべく、鋭意研究を重ねた結果完成
に至ったものであり、本発明によって提供される画像表
示装置の製造方法及び画像表示装置は以下のものであ
る。
像表示装置の製造方法における上述の諸問題を解決して
本発明の目的を達成すべく、鋭意研究を重ねた結果完成
に至ったものであり、本発明によって提供される画像表
示装置の製造方法及び画像表示装置は以下のものであ
る。
【００２３】本発明の画像表示装置は、蛍光部材および
高電圧印加手段からなる画像表示部材と、フェースプレ
ートと、リアプレートと、排気管と、第１のゲッタ材
と、を具備し、前記排気管を介して真空排気しながらベ
ーキングを行った後に該排気管を封じ切ることにより内
部の真空維持が図られる画像表示装置において、前記排
気管の内壁に形成された第２のゲッタ材を有することを
特徴とする。
高電圧印加手段からなる画像表示部材と、フェースプレ
ートと、リアプレートと、排気管と、第１のゲッタ材
と、を具備し、前記排気管を介して真空排気しながらベ
ーキングを行った後に該排気管を封じ切ることにより内
部の真空維持が図られる画像表示装置において、前記排
気管の内壁に形成された第２のゲッタ材を有することを
特徴とする。
【００２４】この場合、第２のゲッタ材は、前記排気管
内に配置されたゲッタ材コンテナに収容された蒸発型ゲ
ッタ材を蒸着したものであってもよい。
内に配置されたゲッタ材コンテナに収容された蒸発型ゲ
ッタ材を蒸着したものであってもよい。
【００２５】また、第２のゲッタ材は、前記排気管の内
壁に予め設けられた非蒸発型ゲッタ材を活性化したもの
であてもよい。
壁に予め設けられた非蒸発型ゲッタ材を活性化したもの
であてもよい。
【００２６】本発明の画像表示装置の製造方法は、蛍光
部材および高電圧印加手段からなる画像表示部材と、フ
ェースプレートと、リアプレートと、排気管と、第１の
ゲッタ材と、を具備する画像表示装置の製造方法であっ
て、前記排気管を介して真空排気しながらベーキングを
行う第１の工程と、前記排気管の内壁に第２のゲッタ材
を形成する第２の工程と、内部の真空を維持するために
前記排気管を封じ切る第３の工程とを有することを特徴
とする。
部材および高電圧印加手段からなる画像表示部材と、フ
ェースプレートと、リアプレートと、排気管と、第１の
ゲッタ材と、を具備する画像表示装置の製造方法であっ
て、前記排気管を介して真空排気しながらベーキングを
行う第１の工程と、前記排気管の内壁に第２のゲッタ材
を形成する第２の工程と、内部の真空を維持するために
前記排気管を封じ切る第３の工程とを有することを特徴
とする。
【００２７】この場合、第２の工程における第２のゲッ
タ材が、前記排気管内に配置したゲッタ材コンテナに収
納された蒸発型ゲッタ材を蒸着することにより形成して
もよい。
タ材が、前記排気管内に配置したゲッタ材コンテナに収
納された蒸発型ゲッタ材を蒸着することにより形成して
もよい。
【００２８】また、第２の工程における第２のゲッタ材
が、前記排気管の内壁に予め設けられた非蒸発型ゲッタ
材を活性化することにより形成してもよい。
が、前記排気管の内壁に予め設けられた非蒸発型ゲッタ
材を活性化することにより形成してもよい。
【００２９】
【作用】上述したように、排気管の内壁にゲッタ材を形
成することによってかかる前述課題を解決した画像表示
装置を提供することができる。
成することによってかかる前述課題を解決した画像表示
装置を提供することができる。
【００３０】すなわち、排気管を封じ切る工程の前に排
気管の内壁にゲッタ材を蒸着することにより、排気管を
封じ切る際、封じ切り部分が融解し、閉塞して真空ポン
プ等によって排気されなくなったときに封じ切り部分か
ら新たに生じるアウトガスは、排気管内壁のゲッタ材に
吸着されて、画像表示装置内部の真空度が低下すること
がない。このため、前記従来技術の欠点を解決すること
ができる。さらに吸着能力を有していれば通常目的の真
空維持作用も兼ね備えるものである。
気管の内壁にゲッタ材を蒸着することにより、排気管を
封じ切る際、封じ切り部分が融解し、閉塞して真空ポン
プ等によって排気されなくなったときに封じ切り部分か
ら新たに生じるアウトガスは、排気管内壁のゲッタ材に
吸着されて、画像表示装置内部の真空度が低下すること
がない。このため、前記従来技術の欠点を解決すること
ができる。さらに吸着能力を有していれば通常目的の真
空維持作用も兼ね備えるものである。
【００３１】ゲッタ材の形成は、蒸発型、非蒸発型のい
ずれを用いても形成することができる。
ずれを用いても形成することができる。
【００３２】以下に、蛍光表示管及び表面伝導型の電子
放出素子を用いた表示装置に、本発明を用いた実施態様
例を説明するが、本発明を用いた画像表示装置は、排気
管を通じて気密容器内を排気した後、排気管を封じ切る
ものであれば、これらの画像表示装置に限定されるもの
ではない。￣
放出素子を用いた表示装置に、本発明を用いた実施態様
例を説明するが、本発明を用いた画像表示装置は、排気
管を通じて気密容器内を排気した後、排気管を封じ切る
ものであれば、これらの画像表示装置に限定されるもの
ではない。￣
【００３３】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００３４】実施例１ 実施例１として、表面伝導型電子放出素子を用い、電子
ビームを加速し蛍光体に照射し発光させ、面像を表示さ
せる薄型の画像表示装置に適用した例について説明す
る。
ビームを加速し蛍光体に照射し発光させ、面像を表示さ
せる薄型の画像表示装置に適用した例について説明す
る。
【００３５】図１は本実施例の画像表示装置の断面図で
ある。同図において、１００は画像表示装置内部を排気
するための排気管（図は封じ切り後の状態を示してい
る）である。１１２は排気管１００の内壁に蒸着するた
めのゲッタ材コンテナで、ゲッタ材コンテナ固定治具１
１３に取りつけられている。１０１は電子放出素子を構
成した青板ガラスからなるバックプレート、１０２と１
０３は一定の間隔を隔てて設置された電極、１０４は電
子放出部を含む薄膜、１０６は電子通過孔、１０７はグ
リッド、１０８はメタルバック１０９及び蛍光体１１０
が形成された青板ガラスからなるフェースプレート、１
１１は外枠、１１４は通常目的（パネル内真空維持）の
ゲッタ材コンテナで、ゲッタ材コンテナ固定治具１１３
に固定されている。
ある。同図において、１００は画像表示装置内部を排気
するための排気管（図は封じ切り後の状態を示してい
る）である。１１２は排気管１００の内壁に蒸着するた
めのゲッタ材コンテナで、ゲッタ材コンテナ固定治具１
１３に取りつけられている。１０１は電子放出素子を構
成した青板ガラスからなるバックプレート、１０２と１
０３は一定の間隔を隔てて設置された電極、１０４は電
子放出部を含む薄膜、１０６は電子通過孔、１０７はグ
リッド、１０８はメタルバック１０９及び蛍光体１１０
が形成された青板ガラスからなるフェースプレート、１
１１は外枠、１１４は通常目的（パネル内真空維持）の
ゲッタ材コンテナで、ゲッタ材コンテナ固定治具１１３
に固定されている。
【００３６】図１を参照して、本実施例の画像表示装置
の製造方法を説明する。
の製造方法を説明する。
【００３７】バックプレート１０１、フェースプレート
１０８および外枠１１１により形成される気密容器内
は、排気管１００を通して真空排気され、更にベーキン
グによる脱ガスが行われた後、排気管１００の内壁にゲ
ッタ材コンテナ１１２に収納された蒸発型ゲッタ材を蒸
着した後、排気管の一部を加熱して融解させ、封じ切る
（閉塞、切断）。
１０８および外枠１１１により形成される気密容器内
は、排気管１００を通して真空排気され、更にベーキン
グによる脱ガスが行われた後、排気管１００の内壁にゲ
ッタ材コンテナ１１２に収納された蒸発型ゲッタ材を蒸
着した後、排気管の一部を加熱して融解させ、封じ切る
（閉塞、切断）。
【００３８】本実施例においては、排気管を封止する際
に、排気管１００の内壁にゲッタ材コンテナ１１２に収
納された蒸発型ゲッタ材が蒸着されるため、排気管を封
じ切る際に、封じ切り部分から新たに生じるアウトガス
は排気管内壁に蒸着されたゲッタ材に吸着される。この
ように、封じ切り部分が融解し、閉塞して真空ポンプ等
によって排気されなくなった状態で、封じ切り部分から
新たにアウトガスが発生する場合でも、画像表示装置内
部の真空度が低下することはない。
に、排気管１００の内壁にゲッタ材コンテナ１１２に収
納された蒸発型ゲッタ材が蒸着されるため、排気管を封
じ切る際に、封じ切り部分から新たに生じるアウトガス
は排気管内壁に蒸着されたゲッタ材に吸着される。この
ように、封じ切り部分が融解し、閉塞して真空ポンプ等
によって排気されなくなった状態で、封じ切り部分から
新たにアウトガスが発生する場合でも、画像表示装置内
部の真空度が低下することはない。
【００３９】最後に気密容器内部の一端に設置された通
常目的のゲッタ材コンテナ１１４を加熱して、ゲッタ材
をバックプレート１０１に蒸着することによって、画像
表示装置を完成させた。
常目的のゲッタ材コンテナ１１４を加熱して、ゲッタ材
をバックプレート１０１に蒸着することによって、画像
表示装置を完成させた。
【００４０】上記のようにして、排気管を封じ切る際に
アウトガスが生じても、内部の真空度が低下することの
ない画像表示装置が作製できた。この画像表示装置は、
バックプレート１０１とフェースプレート１０８との間
に高電圧を印加して駆動、動作させても放電を起こすこ
とがなく、また、耐久性の優れたものであった。
アウトガスが生じても、内部の真空度が低下することの
ない画像表示装置が作製できた。この画像表示装置は、
バックプレート１０１とフェースプレート１０８との間
に高電圧を印加して駆動、動作させても放電を起こすこ
とがなく、また、耐久性の優れたものであった。
【００４１】実施例２ 実施例２として、本発明を蛍光表示管に用いた例につい
て説明する。
て説明する。
【００４２】図２は本実施例の蛍光表示管による画像表
示装置の構成を示す断面図である。
示装置の構成を示す断面図である。
【００４３】図２において２００は蛍光表示管内部を排
気するための排気管（図は封じ切り後の状態を示してい
る）であり、２０３は、予め排気管２００の内壁に形成
したＺｒ、Ｖ、Ｆｅ三合金から成る非蒸発型のゲッタ材
である。２０１は表示面となるガラス板などの透明な基
板からなるフェースプレート、２０２はこのフェースプ
レート２０１の周縁部において、互いに接着されたカッ
プ状のバックプレートである。フェースプレート２０１
には陽極パターン２０４、コントロールグリッド２０５
及びフィラメント２０６から構成された複数の表示部が
並置されており、通常目的（パネル内真空維持作用）の
ゲッタ材コンテナ２１４がゲッタ材コンテナ固定治具２
１３に固定されている。フィラメント２０６および陽極
パターン２０４は高電圧発生手段を構成するもので、該
高電圧発生手段は、コントロールグリッド２０５や、陽
極パターン２０４を形成する陽極電極の個々に対応して
設けられる蛍光体（不図示）とともに画像表示部材を構
成する。
気するための排気管（図は封じ切り後の状態を示してい
る）であり、２０３は、予め排気管２００の内壁に形成
したＺｒ、Ｖ、Ｆｅ三合金から成る非蒸発型のゲッタ材
である。２０１は表示面となるガラス板などの透明な基
板からなるフェースプレート、２０２はこのフェースプ
レート２０１の周縁部において、互いに接着されたカッ
プ状のバックプレートである。フェースプレート２０１
には陽極パターン２０４、コントロールグリッド２０５
及びフィラメント２０６から構成された複数の表示部が
並置されており、通常目的（パネル内真空維持作用）の
ゲッタ材コンテナ２１４がゲッタ材コンテナ固定治具２
１３に固定されている。フィラメント２０６および陽極
パターン２０４は高電圧発生手段を構成するもので、該
高電圧発生手段は、コントロールグリッド２０５や、陽
極パターン２０４を形成する陽極電極の個々に対応して
設けられる蛍光体（不図示）とともに画像表示部材を構
成する。
【００４４】図２を参照して、本実施例の画像表示装置
の製造方法を説明する。気密容器内を排気管２００を通
して真空ポンプ等により排気し、さらにベ―キングによ
り脱ガスを行った後、排気管２００の内壁に形成したＺ
ｒ、Ｖ、Ｆｅ三合金から成る非蒸発型のゲッタ材２０３
を真空中で、３００℃程度に１５分間加熱して、ガス吸
着能力を持たせた後、排気管の一部を加熱して融解さ
せ、封じ切る（閉塞、切断）。
の製造方法を説明する。気密容器内を排気管２００を通
して真空ポンプ等により排気し、さらにベ―キングによ
り脱ガスを行った後、排気管２００の内壁に形成したＺ
ｒ、Ｖ、Ｆｅ三合金から成る非蒸発型のゲッタ材２０３
を真空中で、３００℃程度に１５分間加熱して、ガス吸
着能力を持たせた後、排気管の一部を加熱して融解さ
せ、封じ切る（閉塞、切断）。
【００４５】本実施例においては、非蒸発型のゲッタ材
を排気管に設け、排気管自身にガス吸着能力を持たせた
ことにより、封じ切り部分から新たに生じるアウトガス
は排気管内壁に蒸着されたゲッタ材に吸着される。この
ように、封じ切り部分が融解し、閉塞して真空ポンプ等
によって排気されなくなった状態で、封じ切り部分から
新たにアウトガスが発生する場合でも、画像表示装置内
部の真空度が低下することはない。
を排気管に設け、排気管自身にガス吸着能力を持たせた
ことにより、封じ切り部分から新たに生じるアウトガス
は排気管内壁に蒸着されたゲッタ材に吸着される。この
ように、封じ切り部分が融解し、閉塞して真空ポンプ等
によって排気されなくなった状態で、封じ切り部分から
新たにアウトガスが発生する場合でも、画像表示装置内
部の真空度が低下することはない。
【００４６】最後に気密容器内部の一端に設置された通
常目的のゲッタ材コンテナ２１４を加熱して、非蒸発型
のゲッタ材を蒸着することによって、画像表示装置を完
成させた。
常目的のゲッタ材コンテナ２１４を加熱して、非蒸発型
のゲッタ材を蒸着することによって、画像表示装置を完
成させた。
【００４７】上記のようにして、排気管を封じ切る際に
アウトガスが生じても、内部の真空度が低下することの
ない画像表示装置を作製することができた。この画像表
示装置は、実施例１と同様に放電を起こすことがなく、
また、耐久性の優れたものであった。
アウトガスが生じても、内部の真空度が低下することの
ない画像表示装置を作製することができた。この画像表
示装置は、実施例１と同様に放電を起こすことがなく、
また、耐久性の優れたものであった。
【００４８】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
【００４９】請求項１に記載のものにおいては、排気管
を封じ切る際、封じ切り部分が溶解し、閉塞して真空ポ
ンプ等によって排気されなくなった場合でも、封じ切り
部分から新たに生じ始めるアウトガスが、排気管内壁の
ゲッタ材に吸着されて、画像表示装置内部の真空度が低
下することがないので、放電を起こすことがなく、また
耐久性の優れた画像表示装置とすることができる効果が
ある。
を封じ切る際、封じ切り部分が溶解し、閉塞して真空ポ
ンプ等によって排気されなくなった場合でも、封じ切り
部分から新たに生じ始めるアウトガスが、排気管内壁の
ゲッタ材に吸着されて、画像表示装置内部の真空度が低
下することがないので、放電を起こすことがなく、また
耐久性の優れた画像表示装置とすることができる効果が
ある。
【００５０】上記効果を奏する画像表示装置は、請求項
２および請求項３にそれぞれ記載したもののように蒸発
型ゲッタ材および非蒸発型ゲッタ材のいずれによって実
現してもよい。
２および請求項３にそれぞれ記載したもののように蒸発
型ゲッタ材および非蒸発型ゲッタ材のいずれによって実
現してもよい。
【００５１】請求項４乃至請求項６に記載の方法におい
ては、請求項１乃至請求項３にそれぞれ記載したものを
作製することができる。
ては、請求項１乃至請求項３にそれぞれ記載したものを
作製することができる。
【図１】本発明の実施例の画像表示装置の図である。
【図２】本発明の実施例の画像表示装置の図である。
【図３】従来の画像表示装置の図である。
【図４】従来の画像表示装置の図である。
【図５】電子放出素子の図である。
１００，２００ 排気管 １０１，２０２ バックプレ―ト １０２，１０３ 電極 １０４ 薄膜 １０６ 電子通過孔 １０７ グリッド １０８，２０１ フェースプレート １０９ メタルバック １１０ 蛍光体 １１１ 外枠 １１２，１１４，２１４ ゲッタ材コンテナ １１３，１１５，２１３ ゲッタ材コンテナ固定治具 ２０３ ゲッタ材 ２０４ 陽極パターン ２０５ コントロールグリッド ２０６ フィラメント
Claims (6)
- 【請求項１】 蛍光部材および高電圧印加手段からなる
画像表示部材と、フェースプレートと、リアプレート
と、排気管と、第１のゲッタ材と、を具備し、前記排気
管を介して真空排気しながらベーキングを行った後に該
排気管を封じ切ることにより内部の真空維持が図られる
画像表示装置において、 前記排気管の内壁に形成された第２のゲッタ材を有する
ことを特徴とする画像表示装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の画像表示装置において、 第２のゲッタ材は、前記排気管内に配置されたゲッタ材
コンテナに収容された蒸発型ゲッタ材を蒸着したもので
あることを特徴とする画像表示装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の画像表示装置において、 第２のゲッタ材は、前記排気管の内壁に予め設けられた
非蒸発型ゲッタ材を活性化したものであることを特徴と
する画像表示装置。 - 【請求項４】 蛍光部材および高電圧印加手段からなる
画像表示部材と、フェースプレートと、リアプレート
と、排気管と、第１のゲッタ材と、を具備する画像表示
装置の製造方法であって、 前記排気管を介して真空排気しながらベーキングを行う
第１の工程と、 前記排気管の内壁に第２のゲッタ材を形成する第２の工
程と、 内部の真空を維持するために前記排気管を封じ切る第３
の工程とを有することを特徴とする画像表示装置の製造
方法。 - 【請求項５】 請求項４に記載の画像表示装置の製造方
法において、 第２の工程における第２のゲッタ材が、前記排気管内に
配置したゲッタ材コンテナに収納された蒸発型ゲッタ材
を蒸着することにより形成されることを特徴とする画像
表示装置の製造方法。 - 【請求項６】 請求項４に記載の製造方法において、 第２の工程における第２のゲッタ材が、前記排気管の内
壁に予め設けられた非蒸発型ゲッタ材を活性化すること
により形成されることを特徴とする画像表示装置の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6090791A JP3056941B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 画像表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6090791A JP3056941B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 画像表示装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07296748A true JPH07296748A (ja) | 1995-11-10 |
| JP3056941B2 JP3056941B2 (ja) | 2000-06-26 |
Family
ID=14008415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6090791A Expired - Fee Related JP3056941B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 画像表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3056941B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0780875A1 (en) * | 1995-12-19 | 1997-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus |
| US6860779B2 (en) | 1998-05-18 | 2005-03-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing airtight vessel and image-forming apparatus using airtight vessel |
| US7504773B2 (en) * | 2003-05-19 | 2009-03-17 | Panasonic Corporation | Plasma display panel having a gas adsorption member |
-
1994
- 1994-04-28 JP JP6090791A patent/JP3056941B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0780875A1 (en) * | 1995-12-19 | 1997-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus |
| US5925979A (en) * | 1995-12-19 | 1999-07-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus with getter scattering prevention |
| AU725774B2 (en) * | 1995-12-19 | 2000-10-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus |
| US6486600B1 (en) | 1995-12-19 | 2002-11-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus |
| US6860779B2 (en) | 1998-05-18 | 2005-03-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing airtight vessel and image-forming apparatus using airtight vessel |
| US7504773B2 (en) * | 2003-05-19 | 2009-03-17 | Panasonic Corporation | Plasma display panel having a gas adsorption member |
| US7758396B2 (en) | 2003-05-19 | 2010-07-20 | Panasonic Corporation | Plasma display panel having a gas absorption member |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3056941B2 (ja) | 2000-06-26 |
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