JPH0729834U - Ｘ−ｙ移動テーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 省スペース化と高速化とを同時に図ることが
できるＸ−Ｙ移動テーブルを提供する。 【構成】 ベース２にＹ軸方向に延在するガイドレール
１４を設け、これにＹ軸プレート１５を移動自在に連結
する。Ｘ軸方向に延在するガイドレール３４を、Ｙ軸プ
レート１５と立体的に交差するようベース２に設け、こ
れにＸ軸プレート３５を移動自在に連結する。Ｘ軸プレ
ート３５の相対向する側縁にスライダー３８を設け、Ｘ
軸プレート３５の上面側にトッププレート４１をＹ軸方
向へ移動自在に取り付ける。Ｙ軸プレート１５の一側辺
側にＸ軸方向へ延在する可動レール１８を設け、これに
トッププレート４１をランナー４３を介して移動自在に
連結する。Ｙ軸側送りねじ８に螺合するボールナット７
とＹ軸プレート１５とを連結し、Ｘ軸側送りねじ２７に
螺合するボールナット２６とＸ軸プレート３５とを連結
する。Ｙ軸プレート１５及びＸ軸プレート３５の移動に
伴い、トッププレート４１だけがＸＹ方向へ移動する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えばダイボンディング装置に設けられ、リードフレームや基板等 にボンディングする半導体ペレットをセットするペレットテーブルとして用いら れるＸ−Ｙ移動テーブルに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種のＸ−Ｙ移動テーブルには、駆動軸固定型のものと積重ね型のも のとがある。

【０００３】 すなわち、図５は、駆動軸固定型のものを示す図であって、ベース５１には、 Ｘ軸方向へ移動自在に支持されたＸ軸プレート５２と、Ｙ軸方向に移動自在に支 持されたＹ軸プレート５３とがそれぞれ設けられている。双方のプレート５２， ５３は、それぞれがモータ５４，５５に連結された送りねじ５６，５７に、図示 しないボールナットを介して螺合されており、各々のモータ５４，５５の作動に よりＸ軸方向及びＹ軸方向へ移動されるようになっている。また、双方のプレー ト５２，５３の上部にはトッププレート５８が設けられている。トッププレート ５８は、Ｘ軸プレート５２に対してはＹ軸方向へ移動自在に、またＹ軸プレート ５３に対してはＸ軸方向へ移動自在に支持されている。したがって、Ｘ軸プレー ト５２とＹ軸プレート５３とが移動されると、トッププレート５８が所定の位置 に移動される。なお、トッププレート５８の移動可能な領域はＸ軸プレート５２ とＹ軸プレート５３との移動距離に依存している。

【０００４】 一方、図６は、積重ね型のものを示す図であって、積重ね型のＸ−Ｙテーブル にあっては、ベース５１に、Ｘ軸プレート５２と、これを移動するモータ５４及 び送りねじ５６が支持され、Ｘ軸プレート５２上に、Ｙ軸方向に移動自在なＹ軸 プレート５３及びこれを移動するモータ５５、駆動軸５７が支持されている。し たがって、Ｘ軸プレート５２とＹ軸プレート５３とが移動されると、Ｙ軸プレー ト５３が所定の位置に移動されるのである。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、こうした従来のＸ−Ｙ移動テーブルのうち前者にあっては、Ｘ 軸プレート５２とＹ軸プレート５３とが同一のベース５１上に存在しているため 、トッププレート５８の移動可能な領域を広げようとすると、装置自体の外形寸 法が大きくなってしまい、省スペース化に反するという問題があった。

【０００６】 一方、後者にあっては、前記問題は生じないが、Ｙ軸プレート５３及びこれを 移動するモータ５５等の重量がＸ軸プレート５２に加わる構造であるため、その 作動時には、Ｘ軸プレート５２を移動するモータ５５にかかるトルクが大きい。 このため、移動速度の高速化が図りにくいという問題があった。

【０００７】 本考案は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、省スペース化 と高速化とを同時に図ることができるＸ−Ｙ移動テーブルを提供することを目的 とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

前記課題を解決するために本考案にあっては、ベースに支持されＹ軸方向へ移 動自在なＹ軸プレートと、前記ベースに支持されＸ軸方向へ移動自在でかつ前記 Ｙ軸プレートに立体的に交差するＸ軸プレートと、前記ベースに固定され前記Ｙ 軸プレートを移動するＹ軸側駆動手段と、前記ベースに固定され前記Ｘ軸プレー トを移動するＸ軸側駆動手段と、前記Ｘ軸プレートにＹ軸方向へ移動自在に支持 されるとともに、前記Ｙ軸プレートにＸ軸方向へ移動自在に支持されたトッププ レートとを備えたことを特徴としている。

【０００９】

【作用】

前記構成において、トッププレートは、Ｘ軸プレートが移動すればＸ軸方向へ 、またＹ軸プレートが移動すればＹ軸方向へそれぞれ移動される。したがって、 Ｙ軸側駆動手段とＸ軸側駆動手段とを作動させることにより、トッププレートを 任意の位置へ移動することができる。

【００１０】 ここで、Ｘ軸プレートはＹ軸プレートと立体的に交差するものであることから 、装置自体の外形寸法を余り大きくすることなく双方のプレートの移動距離を大 きく確保することができる。しかも、双方のプレートの各々がベースに支持され ているため、前記双方のプレートのうちの一方側に他方側の重量が加わることが ない。

【００１１】

【実施例】

以下、本考案の一実施例を図にしたがって説明する。図１〜図３及び図４（参 考図）は、本考案にかかるＸ−Ｙ移動テーブル１を示す図であって、図１に示す ように、Ｘ−Ｙ移動テーブル１は、ダイボンダ等に固定支持されるベース２を有 している。ベース２は、相対向してＸ軸方向へ延在する短辺２ａ，２ａと、相対 向してＹ軸方向へ延在する長辺２ｂ，２ｂとを有した矩形状の板材であって、そ の上面には両短辺２ａ，２ａの一方側から他方側に亙ってＹ軸方向に延在する長 尺状の下段側支持台３が取り付けられている。

【００１２】 下段側支持台３は、図２及び図３に示すように、上方側に開口する断面コ字型 であって、前記長辺２ｂ，２ｂと平行する両側縁に一対の壁４，４を有している 。壁４，４の間には、下段側支持台３の一端に第１の軸受５が、またその他端側 に第２の軸受６がそれぞれ立設されており、第１及び第２の軸受５，６に、ボー ルナット７が螺合するＹ軸側送りねじ８が回転自在に支持されている。さらに、 下段側支持台３の他端部にはブラケット９を介してモータ１０が固定されており 、モータ１０の回転軸１１がカップリング１２を介して前記Ｙ軸側送りねじ８に 連結されている。なお、前記ボールナット７、Ｙ軸側送りねじ８、モータ１０に よってＹ軸側駆動手段が構成されている。

【００１３】 また、前記一対の壁４，４の上部にはガイドレール１４がそれぞれ取り付けら れている。ガイドレール１４，１４上には、Ｙ軸プレート１５が、その下面に設 けられた脚１６，１６を介してＹ軸方向へ移動自在に支持されている。Ｙ軸プレ ート１５の下面側には前記ボールナット７がブラケット１９を介して連結されて おり、その上面側には、前記モータ１０の反対側に位置する側縁に沿ってレール ブラケット１７が設けられている。レールブラケット１７は断面Ｌ字型であって 、Ｙ軸プレート１５の側縁に連続する側壁の上部には、Ｘ軸に沿って延在する可 動レール１８が取り付けられている。

【００１４】 一方、前記ベース２には長辺２ｂ，２ｂに沿って断面コ字型の台座２１，２１ が設けられている。双方の台座２１，２１上には、Ｘ軸に沿って延在する上段側 支持台２２が、前記Ｙ軸プレート１５と立体的に交差するよう架設されている（ 図３，４）。なお、上段側支持台２２の下面側は、長手方向の中程部分、すなわ ち前記Ｙ軸プレート１５と交差する部分に凹部２２ａが形成されている。上段側 支持台２２は、前述した下段側支持台３と同様に、その両側縁に一対の壁２３， ２３を有している。

【００１５】 図４に示すように、前記一対の壁２３，２３の間には、上段側支持台２２の一 端側に第３の軸受２４が、またその他端に第４の軸受２５がそれぞれ立設されて おり、第３及び第４の軸受２４，２５に、ボールナット２６が螺合するＸ軸側送 りねじ２７が回転自在に支持されている。さらに、上段側支持台２２の一端部に はブラケット２８を介してモータ２９が固定されており、モータ２９の回転軸３ ０がカップリング３１を介して前記Ｘ軸側送りねじ２７に連結されている。なお 、前記ボールナット７、Ｙ軸側送りねじ８、モータ１０によってＹ軸側駆動手段 が構成されている。

【００１６】 また、前記一対の壁２３，２３の上部にはガイドレール３４，３４がそれぞれ 取り付けられており、その上部には、Ｘ軸プレート３５が、その下面に設けられ た脚３６，３６を介してＸ軸方向へ移動自在に支持されている（図２）。Ｘ軸プ レート３５の下面側には前記ボールナット２６がブラケット３７を介して連結さ れている。Ｘ軸プレート３５のＹ軸に沿う両側辺にはフランジ３５ａ，３５ａが 形成されており（図１，３）、Ｘ軸プレート３５の上面側には、そのフランジに ３５ａ，３５ａに沿って取り付けられたスライダー３８，３８を介して、矩形状 のトッププレート４１がＹ軸方向へ移動自在に支持されている。

【００１７】 トッププレート４１の下面側には、その一方の短辺に位置して断面Ｌ字型のブ ラケット４２が設けられている。また、ブラケット４２には、前述したＹ軸プレ ート１５側の可動レール１８に摺動自在に連結された断面コ字状のランナー４３ が取り付けられており、これによってトッププレート４１はＹ軸プレート１５に 、Ｘ軸方向に移動自在に支持されている。

【００１８】 以上の構成からなる本実施例において、モータ１０の作動に伴い前記Ｙ軸側送 りねじ８が回転すると、Ｙ軸プレート１５がＹ軸方向へ移動する。すると、トッ ププレート４１は、Ｘ軸プレート３５に対してスライドしつつＹ軸プレート１５ に連動してＹ軸方向へ移動する。また、モータ２９の作動に伴い前記Ｘ軸側送り ねじ２７が回転すると、Ｘ軸プレート３５がＸ軸方向へ移動する。すると、トッ ププレート４１は、Ｙ軸プレート１５に対してスライドしつつＸ軸方向へ移動す る。したがって、前記モータ１０，２９を作動させることにより、トッププレー ト４１を任意の位置へ移動することができる。

【００１９】 ここで、かかる作動時には、Ｘ軸プレート３５が上段側支持台２２、台座２１ ，２１を介して、またＹ軸プレート１５が下段側支持台３を介して、それぞれベ ース２に支持されているため、前記双方のプレート３５，１５のうちの一方側に 他方側の重量が加わることがない。よって、双方のプレート３５，１５自体を軽 量化するだけで、その重量に応じてトッププレート４１の移動速度を可及的に速 くすることができる。すなわち、高速化を容易に図ることができる。

【００２０】 一方、Ｘ軸プレート３５はＹ軸プレート１５と立体的に交差するものであるこ とから、Ｘ−Ｙ移動テーブル１の外形寸法を余り大きくすることなく双方のプレ ート３５，１５の移動距離を大きく確保することができる。つまり、トッププレ ート４１の移動可能領域をより広く確保することができる。よって、省スペース 化を図ることができる。

【００２１】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案にあっては、装置の外形寸法を余り大きくするこ となく、トッププレートを支持するＸ軸プレートとＹ軸プレートとの移動距離を 大きく確保できる構成としたことから、装置の外形寸法を余り大きくすることな く、より広い移動可能領域を確保することができる。これにより省スペース化を 図ることができる。しかも、双方のプレートの各々がベースに支持され、前記双 方のプレートのうちの一方側に他方側の重量が加わることがない構成としたこと から、トッププレートの移動速度を容易に速くすることができる。よって、省ス ペース化と高速化とを同時に図ることができるＸ−Ｙ移動テーブルの提供が可能 となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す平面図である。

【図２】同実施例を示す図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】同実施例を示す正面図である。

【図４】同実施例のトッププレート及びＸ軸プレートを
取り除いた状態を示す平面図である。

【図５】従来例を示す平面図である。

【図６】他の従来例を示す平面図である。

【符号の説明】

１ Ｘ−Ｙ移動テーブル ２ ベース ７ ボールナット（Ｙ軸側駆動手段） ８ Ｙ軸側送りねじ（Ｙ軸側駆動手段） １０ モータ（Ｙ軸側駆動手段） １５ Ｙ軸プレート １８ 可動レール ２６ ボールナット（Ｘ軸側駆動手段） ２７ Ｘ軸側送りねじ（Ｘ軸側駆動手段） ２９ モータ（Ｘ軸側駆動手段） ３５ Ｘ軸プレート ３８ スライダー ４１ トッププレート ４３ ランナー

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベースに支持されＹ軸方向へ移動自在な
   Ｙ軸プレートと、 前記ベースに支持されＸ軸方向へ移動自在でかつ前記Ｙ
   軸プレートに立体的に交差するＸ軸プレートと、 前記ベースに固定され前記Ｙ軸プレートを移動するＹ軸
   側駆動手段と、 前記ベースに固定され前記Ｘ軸プレートを移動するＸ軸
   側駆動手段と、 前記Ｘ軸プレートにＹ軸方向へ移動自在に支持されると
   ともに、前記Ｙ軸プレートにＸ軸方向へ移動自在に支持
   されたトッププレートと、 を備えたことを特徴とするＸ−Ｙ移動テーブル。