JPH0729848B2 - 誘電体共振器材料の製造方法 - Google Patents
誘電体共振器材料の製造方法Info
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- JPH0729848B2 JPH0729848B2 JP30089786A JP30089786A JPH0729848B2 JP H0729848 B2 JPH0729848 B2 JP H0729848B2 JP 30089786 A JP30089786 A JP 30089786A JP 30089786 A JP30089786 A JP 30089786A JP H0729848 B2 JPH0729848 B2 JP H0729848B2
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はマイクロ波用の誘電体共振器材料を製造する方
法に関するものである。
法に関するものである。
［従来技術］ マイクロ波用の誘電体共振器材料にはＱ値の高いものが
要求されるが、衛星通信等においては特に高いＱ値が要
求される。
要求されるが、衛星通信等においては特に高いＱ値が要
求される。
Ｑ値の高い材料として（ZrｘSn１−ｘ）TiO4系セラミッ
クス（但し0.6＜ｘ＜1.0）がある。
クス（但し0.6＜ｘ＜1.0）がある。
このセラミックス材料は一般に、ZrO2、SnO2、TiO2を主
成分とする混合粉末を焼成することにより製造されてい
るが、難焼結性で、期待される高誘電率およびＱ値が得
られていない。
成分とする混合粉末を焼成することにより製造されてい
るが、難焼結性で、期待される高誘電率およびＱ値が得
られていない。
［本発明が解決しようとする問題点］ 本発明は上記の実情に鑑み、組織が緻密で、誘電率およ
びＱ値が向上された（Zr、Sn）TiO4系セラミックスを製
造する方法を提供することを目的とするものである。
びＱ値が向上された（Zr、Sn）TiO4系セラミックスを製
造する方法を提供することを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は（ZrｘSn１−ｘ）TiO4系セラミックを製造する
のに際し、先ず第１工程としてZr以外の少なくとも１成
分とZr溶液との混合液、およびSn以外の少なくとも１成
分とSn溶液との混合液のいずれかを作り、加水分解反応
を行なってゾルを生成せしめ、乾燥後700℃〜1300℃で
仮焼する。
のに際し、先ず第１工程としてZr以外の少なくとも１成
分とZr溶液との混合液、およびSn以外の少なくとも１成
分とSn溶液との混合液のいずれかを作り、加水分解反応
を行なってゾルを生成せしめ、乾燥後700℃〜1300℃で
仮焼する。
次に第２工程として上記により得られた仮焼物粉末と目
的とする組成の残りの成分の粉末とを混合して700℃〜1
300℃で仮焼する。
的とする組成の残りの成分の粉末とを混合して700℃〜1
300℃で仮焼する。
そして第３工程として、得られた仮焼物粉末を成形し、
1200℃〜1700℃で焼成する。
1200℃〜1700℃で焼成する。
第１工程において、Zr溶液、Sn溶液、Ti溶液としては、
オキシ塩化ジルコニウム、硝酸ジルコニウム、金属ジル
コニウム、塩化スズ、臭化スズ、フッ化スズ、硫酸ス
ズ、塩化チタン等の水溶液またはアルコール溶液が用い
られ得る。
オキシ塩化ジルコニウム、硝酸ジルコニウム、金属ジル
コニウム、塩化スズ、臭化スズ、フッ化スズ、硫酸ス
ズ、塩化チタン等の水溶液またはアルコール溶液が用い
られ得る。
加水分解反応は混合液を100℃程度に加熱保持すること
によりなされる。ゾルを仮焼したものは容易に粉砕する
ことができ、サブミクロン級の微細粉末が得られる。
によりなされる。ゾルを仮焼したものは容易に粉砕する
ことができ、サブミクロン級の微細粉末が得られる。
（ZrｘSn１−ｘ）とTiのモル比は1.0ないし、それに近
似した値とする。
似した値とする。
しかして第１工程において、共沈体を仮焼することによ
り分散性のよいサブミクロン級の微細粉末が得られる。
り分散性のよいサブミクロン級の微細粉末が得られる。
第２工程では、上記仮焼物粉末と目的とするセラミック
組成を構成するに必要な残りの成分の粉末を混合し、仮
焼する。この残りの成分の粉末は、上記仮焼物粉末とほ
ぼ同じ粒度のものを用いることが望ましい。
組成を構成するに必要な残りの成分の粉末を混合し、仮
焼する。この残りの成分の粉末は、上記仮焼物粉末とほ
ぼ同じ粒度のものを用いることが望ましい。
なお、製造の工程において微量の焼結助剤を添加するこ
とができる。焼結助剤としては、Zr、Mg、Sc、Hf、Th、
Ｗ、Nb、Ta、Cr、Mo、Ti、Mn、Fe、Co、Ni、Cd、Al、S
n、As、Bi、Zn、La、Ce、Sr等が用いられ得る。
とができる。焼結助剤としては、Zr、Mg、Sc、Hf、Th、
Ｗ、Nb、Ta、Cr、Mo、Ti、Mn、Fe、Co、Ni、Cd、Al、S
n、As、Bi、Zn、La、Ce、Sr等が用いられ得る。
本発明の第１工程において、ゾルの仮焼温度は700℃よ
り低いと凝集が生じ、1300℃を越えると粉末粒子が粗大
化する。
り低いと凝集が生じ、1300℃を越えると粉末粒子が粗大
化する。
また第２工程において、仮焼温度は、固相反応がほぼま
たは完全に完了する最低温度以上で、顕著な粒子成長が
生じない最高温度範囲内であることが必要で、700℃〜1
300℃が望ましい。第３工程における焼成温度は、1200
℃より低いと全体の焼結が不充分であり、1700℃を越え
ると粒子が粗大化したり、構成成分の揮発が起きる。
たは完全に完了する最低温度以上で、顕著な粒子成長が
生じない最高温度範囲内であることが必要で、700℃〜1
300℃が望ましい。第３工程における焼成温度は、1200
℃より低いと全体の焼結が不充分であり、1700℃を越え
ると粒子が粗大化したり、構成成分の揮発が起きる。
［作用効果］ しかして本発明では、第１工程で極めて分散性のよいサ
ブミクロン級の変成原料粉末を得、これと他の原料粉末
を混合して目的とする組成物原料となし、これを焼成す
ることで、緻密で、誘電率およびＱ値の高い（Zr、Sn）
TiO4系セラミックスを得ることができ、誘電体共振器材
料として好適に使用することができる。
ブミクロン級の変成原料粉末を得、これと他の原料粉末
を混合して目的とする組成物原料となし、これを焼成す
ることで、緻密で、誘電率およびＱ値の高い（Zr、Sn）
TiO4系セラミックスを得ることができ、誘電体共振器材
料として好適に使用することができる。
［実施例］ 塩化チタン水溶液（1.3317/mol 濃度）43.57ccと、
オキシ塩化ジルコニウム水溶液（1.146/mol 濃度）1
50ccしを混合した。この水溶液を、100℃で100時間保持
することで加水分解を行ない、Ti4+とZr4+を含むゾルを
得た。これを洗浄、乾燥した後、1100℃で仮焼して（Zr
0.8Ti0.2）O2粉末を得た。粉末の平均粒径は0.32μｍで
あった。
オキシ塩化ジルコニウム水溶液（1.146/mol 濃度）1
50ccしを混合した。この水溶液を、100℃で100時間保持
することで加水分解を行ない、Ti4+とZr4+を含むゾルを
得た。これを洗浄、乾燥した後、1100℃で仮焼して（Zr
0.8Ti0.2）O2粉末を得た。粉末の平均粒径は0.32μｍで
あった。
上記により得られた粉末3.5779gと、市販のTiO2微粉末
1.9963g、SnO2微粉末4.7065gとを混合して（Zr0.8S
n0.2）TiO4組成となるように配合し、ボールミルで一昼
夜混合した後、1000℃で１時間仮焼して（Zr0.8Sn0.2）
TiO4粉末を作成した。平均粒径は0.36μｍであった。
1.9963g、SnO2微粉末4.7065gとを混合して（Zr0.8S
n0.2）TiO4組成となるように配合し、ボールミルで一昼
夜混合した後、1000℃で１時間仮焼して（Zr0.8Sn0.2）
TiO4粉末を作成した。平均粒径は0.36μｍであった。
得られた粉末を1t/cm2で成形し、1450℃で２時間焼成し
た。
た。
得られたセラミックス焼結体の密度は4.79g/cm3、9G K
Hzにおける誘電率は37.0、Ｑ値は6000であった。
Hzにおける誘電率は37.0、Ｑ値は6000であった。
［比較例］ 市販のZrO2、SnO2、TiO2粉末を（Zr0.8Sn0.2）TiO4の組
成となるように、ZrO29.858g、SnO23.014g、TiO27.990g
を配合し、ボールミルで一昼夜混合した後1200℃で１時
間仮焼した。仮焼粉末の平均粒径は約2.1μｍであっ
た。
成となるように、ZrO29.858g、SnO23.014g、TiO27.990g
を配合し、ボールミルで一昼夜混合した後1200℃で１時
間仮焼した。仮焼粉末の平均粒径は約2.1μｍであっ
た。
この粉末を1t/cm2で成形し、上記実施例と同じ条件下で
焼成した。
焼成した。
得られたセラミックス焼結体の密度は4.22g/cm3、誘電
率は27.2、Ｑ値は2000であった。
率は27.2、Ｑ値は2000であった。
このように本発明によるときは、従来法によるよりも緻
密で、高誘電率であり、特にＱ値が格段に高い（Zr、S
n）TiO4系セラミックスを得ることができる。そして本
発明で得られたセラミックスは高いＱ値が要求される誘
電体共振器材料として好適に用いられる。
密で、高誘電率であり、特にＱ値が格段に高い（Zr、S
n）TiO4系セラミックスを得ることができる。そして本
発明で得られたセラミックスは高いＱ値が要求される誘
電体共振器材料として好適に用いられる。
Claims (1)
- 【請求項１】誘電体共振器材料用の（ZrｘSn１−ｘ）Ti
O4系セラミックス（但し0.6＜ｘ＜1.0）を製造する方法
であって、 （１）Zr以外の少なくとも１成分とZr溶液との混合液、
およびSn以外の少なくとも１成分とSn溶液とのひ混合液
のいずれかを作り、加水分解反応を行なってゾルを生成
せしめ、乾燥後700℃〜1300℃で仮焼する第一工程、 （２）得られた仮焼物粉末と、目的とする組成の残りの
成分の粉末を混合して700℃〜1300℃で焼成する工程、 （３）得られた仮焼物粉末を成形して1200℃〜1700℃で
焼成する工程、 とよりなることを特徴とする誘電体共振器材料の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30089786A JPH0729848B2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 誘電体共振器材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30089786A JPH0729848B2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 誘電体共振器材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63153871A JPS63153871A (ja) | 1988-06-27 |
| JPH0729848B2 true JPH0729848B2 (ja) | 1995-04-05 |
Family
ID=17890439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30089786A Expired - Lifetime JPH0729848B2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 誘電体共振器材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729848B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7094596B1 (ja) * | 2021-10-15 | 2022-07-04 | 庄司電気株式会社 | ペット用ヘルスケア食器 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118026666A (zh) * | 2023-12-26 | 2024-05-14 | 成都宏科电子科技有限公司 | 一种中高介电常数微波陶瓷材料及其制备方法和应用 |
-
1986
- 1986-12-17 JP JP30089786A patent/JPH0729848B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7094596B1 (ja) * | 2021-10-15 | 2022-07-04 | 庄司電気株式会社 | ペット用ヘルスケア食器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63153871A (ja) | 1988-06-27 |
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