JPH07299410A - 塗布層縁部の吸引処理を行う吸引ノズル - Google Patents
塗布層縁部の吸引処理を行う吸引ノズルInfo
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- JPH07299410A JPH07299410A JP7033124A JP3312495A JPH07299410A JP H07299410 A JPH07299410 A JP H07299410A JP 7033124 A JP7033124 A JP 7033124A JP 3312495 A JP3312495 A JP 3312495A JP H07299410 A JPH07299410 A JP H07299410A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】厚塗り量の少ないより薄層の塗布において、塗
布層縁部の吸引処理がウエブ及びパスローラの汚染を伴
うことなく、かつ吸引配管を閉塞あるいはノズルヘッド
の洗浄不足による閉塞をおこすことなく、確実に厚塗り
部を除去する装置を提供する。 【構成】ウエブ２が液状塗布組成物１を塗布されて連続
的に走行しており、ウエブの幅方向両縁部の塗布厚膜部
３の厚塗液状塗布組成物を本発明による吸引ノズル４に
より除去処理する。吸引ノズル４は二重管構造よりな
り、二重管の中心軸部に設けられた洗浄液の噴出管７の
噴出孔５ｎは該噴出管７の先端及び管壁より吸引ノズル
の内壁にむけて複数個設けられ、ウエブ１，液状塗布組
成物２，塗布厚膜部３に直接洗浄液が当たらないように
してある。
布層縁部の吸引処理がウエブ及びパスローラの汚染を伴
うことなく、かつ吸引配管を閉塞あるいはノズルヘッド
の洗浄不足による閉塞をおこすことなく、確実に厚塗り
部を除去する装置を提供する。 【構成】ウエブ２が液状塗布組成物１を塗布されて連続
的に走行しており、ウエブの幅方向両縁部の塗布厚膜部
３の厚塗液状塗布組成物を本発明による吸引ノズル４に
より除去処理する。吸引ノズル４は二重管構造よりな
り、二重管の中心軸部に設けられた洗浄液の噴出管７の
噴出孔５ｎは該噴出管７の先端及び管壁より吸引ノズル
の内壁にむけて複数個設けられ、ウエブ１，液状塗布組
成物２，塗布厚膜部３に直接洗浄液が当たらないように
してある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は写真用フィルム・印画紙
等の写真感光材料や写真製版材料、磁気録音テープ等の
磁気記録材料、感圧記録紙・感熱記録紙等材料の製造に
おいて連続走行する長尺可撓性支持体（以下「ウエブ」
と称する）に液状塗布組成物（以下塗布液とも称する）
を塗布する工程の改良に関し、更に詳しくは塗布層縁部
の処理装置に関するものである。
等の写真感光材料や写真製版材料、磁気録音テープ等の
磁気記録材料、感圧記録紙・感熱記録紙等材料の製造に
おいて連続走行する長尺可撓性支持体（以下「ウエブ」
と称する）に液状塗布組成物（以下塗布液とも称する）
を塗布する工程の改良に関し、更に詳しくは塗布層縁部
の処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】上記の如き塗布工程に於ては、塗布液の
表面張力の作用により、ウエブの幅方向両縁部に塗布厚
膜部が発生し、この厚膜部は後の乾燥工程において、乾
燥の不均一を生ずる原因となるので乾燥工程前に除去す
ることが望まれる。米国特許第２，８９９，３３９号明
細書にはこのような工程において、前記ウエブの幅方向
両縁部に塗布液を吸取るためのノズルを設け、該ノズル
はＬ字型の２重管構造であり、その外周部から希釈液・
溶剤の噴霧液又はジェット流を供給し、中央部から塗布
液を希釈液・溶剤と共に吸取る装置が開示されている。
表面張力の作用により、ウエブの幅方向両縁部に塗布厚
膜部が発生し、この厚膜部は後の乾燥工程において、乾
燥の不均一を生ずる原因となるので乾燥工程前に除去す
ることが望まれる。米国特許第２，８９９，３３９号明
細書にはこのような工程において、前記ウエブの幅方向
両縁部に塗布液を吸取るためのノズルを設け、該ノズル
はＬ字型の２重管構造であり、その外周部から希釈液・
溶剤の噴霧液又はジェット流を供給し、中央部から塗布
液を希釈液・溶剤と共に吸取る装置が開示されている。
【０００３】更に特公昭５２−３８４０７号公報では塗
布層縁部の塗布液を周囲より加温された吸引ノズルによ
ってだけ吸引する方法が開示され、又特開昭５６−７３
５７９号公報では同じく二重管構造の吸引ノズルの中央
部から液体を塗布厚膜部に噴出させ、この液体と塗布厚
膜部の塗布液とを併せて吸引ノズルに吸引することを特
徴とする塗布物の製造方法が提案されている。 更に、
実開昭６０−４９９４９号公報では、先端部に洗浄液の
噴出口と吸引口とを設けた二重管構造の吸引ノズルにお
いて、該噴出口は該二重管の軸芯から外れた位置に該軸
芯と３０度ないし８５度の角度をなす如く設け、該吸引
口は該二重管の中心軸部に設けたことを特徴とする吸引
ノズルが開示されている。
布層縁部の塗布液を周囲より加温された吸引ノズルによ
ってだけ吸引する方法が開示され、又特開昭５６−７３
５７９号公報では同じく二重管構造の吸引ノズルの中央
部から液体を塗布厚膜部に噴出させ、この液体と塗布厚
膜部の塗布液とを併せて吸引ノズルに吸引することを特
徴とする塗布物の製造方法が提案されている。 更に、
実開昭６０−４９９４９号公報では、先端部に洗浄液の
噴出口と吸引口とを設けた二重管構造の吸引ノズルにお
いて、該噴出口は該二重管の軸芯から外れた位置に該軸
芯と３０度ないし８５度の角度をなす如く設け、該吸引
口は該二重管の中心軸部に設けたことを特徴とする吸引
ノズルが開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記米国
特許第２，８９９，３３９号明細書に開示された方法
は、吸引ノズルの外周部から供給される希釈液・溶剤の
噴霧液又はジェット流がノズル先端迄届かずに吸取られ
てしまい、所期の塗布層縁部の処理が充分に行われず、
特公昭５２−３８４０７号公報による方法は吸引管内に
吸引された塗布液が管内に凝固して詰りを生じ、特開昭
５６−７３５７９号公報による方法は吸引ノズルの中央
部から噴出する液体がウエブの裏側すなわち反塗布面に
回り込んだり、周辺のパスローラを汚すと言った不都合
が生じる。
特許第２，８９９，３３９号明細書に開示された方法
は、吸引ノズルの外周部から供給される希釈液・溶剤の
噴霧液又はジェット流がノズル先端迄届かずに吸取られ
てしまい、所期の塗布層縁部の処理が充分に行われず、
特公昭５２−３８４０７号公報による方法は吸引管内に
吸引された塗布液が管内に凝固して詰りを生じ、特開昭
５６−７３５７９号公報による方法は吸引ノズルの中央
部から噴出する液体がウエブの裏側すなわち反塗布面に
回り込んだり、周辺のパスローラを汚すと言った不都合
が生じる。
【０００５】更に実開昭６０−４９９４９号公報による
吸引ノズルは噴出する液体によりウエブの裏側に廻り込
んだりあるいは周辺のパスローラを汚すといった不都合
を防止し、確実な塗布層縁部の処理を行うことができる
が、下記のような問題が新たに生じた。即ち、より薄層
の塗布においては塗布層縁部の厚塗り量も少なくなり、
従来よりノズルヘッドでの減圧及び排気量が要求される
が、前記考案では中心部より吸引しているためノズル先
端部での抵抗が大きく高減圧，高排気量が困難である。
その対策として特開昭５６−７３５７９号公報に開示さ
ている方法を用いると、洗浄液が被吸引物である塗布層
縁部に直接あたり塗布層縁部が乱れたり、既に述べたご
とくウエブの裏側に洗浄液が廻り込んだり，周辺のパス
ローラを汚すといった不都合が生じ好ましくない。
吸引ノズルは噴出する液体によりウエブの裏側に廻り込
んだりあるいは周辺のパスローラを汚すといった不都合
を防止し、確実な塗布層縁部の処理を行うことができる
が、下記のような問題が新たに生じた。即ち、より薄層
の塗布においては塗布層縁部の厚塗り量も少なくなり、
従来よりノズルヘッドでの減圧及び排気量が要求される
が、前記考案では中心部より吸引しているためノズル先
端部での抵抗が大きく高減圧，高排気量が困難である。
その対策として特開昭５６−７３５７９号公報に開示さ
ている方法を用いると、洗浄液が被吸引物である塗布層
縁部に直接あたり塗布層縁部が乱れたり、既に述べたご
とくウエブの裏側に洗浄液が廻り込んだり，周辺のパス
ローラを汚すといった不都合が生じ好ましくない。
【０００６】また別の問題として、塗布液が水溶性の液
体の場合には洗浄液として水を用いることになるが、洗
浄液を吸引ノズルの中心から流すのみでは特に配管途中
等で配管の拡大あるいはバルブ等の後方での実質的な管
径の拡大部等で断熱膨張等の作用で温度が下がり水が凍
結をおこす等により配管を閉塞するために吸引を連続し
て行うことが不可能となる。特に薄層塗布の場合問題で
あった。また更にノズル内あるいは配管内の洗浄法にお
いては、洗浄液が常温の液体では洗浄も不十分で閉塞を
おこすことが多い。
体の場合には洗浄液として水を用いることになるが、洗
浄液を吸引ノズルの中心から流すのみでは特に配管途中
等で配管の拡大あるいはバルブ等の後方での実質的な管
径の拡大部等で断熱膨張等の作用で温度が下がり水が凍
結をおこす等により配管を閉塞するために吸引を連続し
て行うことが不可能となる。特に薄層塗布の場合問題で
あった。また更にノズル内あるいは配管内の洗浄法にお
いては、洗浄液が常温の液体では洗浄も不十分で閉塞を
おこすことが多い。
【０００７】本発明の目的は、上記従来技術の問題点を
解消し厚塗り量の少ないより薄層の塗布において、塗布
層縁部の吸引処理がウエブ及びパスローラの汚染を伴う
ことなく、かつ吸引配管を閉塞あるいはノズルヘッドの
洗浄不足による閉塞をおこすことなく、確実に厚塗り部
を除去する装置を提供することにある。
解消し厚塗り量の少ないより薄層の塗布において、塗布
層縁部の吸引処理がウエブ及びパスローラの汚染を伴う
ことなく、かつ吸引配管を閉塞あるいはノズルヘッドの
洗浄不足による閉塞をおこすことなく、確実に厚塗り部
を除去する装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明の上記目
的は、（１） 連続走行するウエブに液状塗布組成物を
施した後、ウエブの幅方向両縁部の塗布厚膜部の厚塗液
状塗布組成物を吸引する塗布層縁部の吸引ノズルにおい
て、該吸引ノズルが外周部の吸引ノズルと中央部の洗浄
液の噴出管の二重管構造よりなり、二重管の中心軸部に
設けられた洗浄液の噴出管の噴出孔が該噴出管の先端部
及び管壁より吸引ノズル内壁に向けて複数ケ設けられて
いることを特徴とする吸引ノズル。によって達成され
る。
的は、（１） 連続走行するウエブに液状塗布組成物を
施した後、ウエブの幅方向両縁部の塗布厚膜部の厚塗液
状塗布組成物を吸引する塗布層縁部の吸引ノズルにおい
て、該吸引ノズルが外周部の吸引ノズルと中央部の洗浄
液の噴出管の二重管構造よりなり、二重管の中心軸部に
設けられた洗浄液の噴出管の噴出孔が該噴出管の先端部
及び管壁より吸引ノズル内壁に向けて複数ケ設けられて
いることを特徴とする吸引ノズル。によって達成され
る。
【０００９】本発明の塗布層縁部の吸引処理方法は吸引
を主体とする。本発明においては加温された洗浄液によ
り該吸引ノズルの内壁を洗浄することが好ましい。洗浄
液は塗布層縁部に噴出させるものでなく、吸引ノズル内
に吸引された液状塗布組成物が吸引ノズル内壁に固着す
ることのない様、吸引ノズルの内壁に向けて噴射するこ
とにより、内壁に付着したり、しようとする液状塗布組
成物を凝固点降下剤を加えかつ加温された洗浄液により
溶解洗浄することが好ましい。その為吸引ノズルは二重
管構造よりなり二重管の中心軸部に設けられた洗浄液の
噴出管の噴出孔が該噴出管の先端部及び管壁より吸引ノ
ズル内壁に向けて複数ケ設けられているのである。
を主体とする。本発明においては加温された洗浄液によ
り該吸引ノズルの内壁を洗浄することが好ましい。洗浄
液は塗布層縁部に噴出させるものでなく、吸引ノズル内
に吸引された液状塗布組成物が吸引ノズル内壁に固着す
ることのない様、吸引ノズルの内壁に向けて噴射するこ
とにより、内壁に付着したり、しようとする液状塗布組
成物を凝固点降下剤を加えかつ加温された洗浄液により
溶解洗浄することが好ましい。その為吸引ノズルは二重
管構造よりなり二重管の中心軸部に設けられた洗浄液の
噴出管の噴出孔が該噴出管の先端部及び管壁より吸引ノ
ズル内壁に向けて複数ケ設けられているのである。
【００１０】本発明において、加温された洗浄液とは、
通常の場合３５℃以上に加温することであり、これによ
って吸引管内における液状組成物の洗浄が容易に行わ
れ、更に洗浄後の液の排気管内への固着及び凍結を防ぐ
ことが出来る。本発明における洗浄液とは、液状塗布組
成物が水溶性の場合は水，溶剤系の場合はその組成物を
溶解出来る溶剤を言う。
通常の場合３５℃以上に加温することであり、これによ
って吸引管内における液状組成物の洗浄が容易に行わ
れ、更に洗浄後の液の排気管内への固着及び凍結を防ぐ
ことが出来る。本発明における洗浄液とは、液状塗布組
成物が水溶性の場合は水，溶剤系の場合はその組成物を
溶解出来る溶剤を言う。
【００１１】本発明において当該洗浄液に該液の凝固点
を上昇させる添加物を加えるということは、例えば、洗
浄液の噴出管に供給する洗浄液に水を用いる場合、図３
に示すような排気配管１６において、配管途中に数分後
に凍結がおこる。この凍結は配管径が拡大している部位
におこりやすく、流量を上げても凍結をおさえることは
できない。この凍結は断熱膨張作用に基づくものと考え
られるが、それを防止するために前述の如く供給洗浄水
の温度を３５℃以上に加温することの外に、洗浄水供給
タンク２０中にエチレングリコール，ジエチレングリコ
ール，エチレングリコールモノエチルエーテル，ジエチ
レングリコールモノメチルエーテル，酢酸メチル，メタ
ノール，アセトン，メチルエチルケトン等の凝固点を降
下させる有機添加物を０．５〜１０重量％くらい、又
は、塩化カルシウム，硫酸マグネシウム，塩化カリウ
ム，炭酸マグスシウム等の凝固点を降下させる無機物質
（洗浄絵が水を主体とする場合には上記水に溶解性のあ
る縁等）を０．０５〜５重量％くらい添加することをい
う。
を上昇させる添加物を加えるということは、例えば、洗
浄液の噴出管に供給する洗浄液に水を用いる場合、図３
に示すような排気配管１６において、配管途中に数分後
に凍結がおこる。この凍結は配管径が拡大している部位
におこりやすく、流量を上げても凍結をおさえることは
できない。この凍結は断熱膨張作用に基づくものと考え
られるが、それを防止するために前述の如く供給洗浄水
の温度を３５℃以上に加温することの外に、洗浄水供給
タンク２０中にエチレングリコール，ジエチレングリコ
ール，エチレングリコールモノエチルエーテル，ジエチ
レングリコールモノメチルエーテル，酢酸メチル，メタ
ノール，アセトン，メチルエチルケトン等の凝固点を降
下させる有機添加物を０．５〜１０重量％くらい、又
は、塩化カルシウム，硫酸マグネシウム，塩化カリウ
ム，炭酸マグスシウム等の凝固点を降下させる無機物質
（洗浄絵が水を主体とする場合には上記水に溶解性のあ
る縁等）を０．０５〜５重量％くらい添加することをい
う。
【００１２】以下添付図面によって本発明の内容を更に
詳細に説明する。図１は本発明の吸引ノズルの１実施例
の側面一部断面図である。図１においてウエブ２が液状
塗布組成物１を塗布されて連続的に走行しており、ウエ
ブの幅方向両縁部の塗布厚膜部３の厚塗液状塗布組成物
を本発明による吸引ノズル４により除去処理する。吸引
ノズル４は二重管構造よりなり、二重管の中心軸部に設
けられた洗浄液の噴出管７の噴出孔５ｎは該噴出管７の
先端及び管壁より図２に示すように吸引ノズルの内壁に
向けて複数個設けられ、ウエブ１，液状塗布組成物２，
塗布厚塗部３に直接洗浄液が当たらないようにしてあ
る。先端部の孔の角度θは、ノズルの構造にもよるが噴
出管の中心軸に対して、２０°以上、好ましくは３０°
以上が使いやすい。孔径は０．２〜３ｍｍくらい、より
好ましくは０．７〜１．５ｍｍぐらいがよい。また、噴
出管７の先端径は３〜１０ｍｍくらい。より好ましくは
４〜８ｍｍくらいがよい。
詳細に説明する。図１は本発明の吸引ノズルの１実施例
の側面一部断面図である。図１においてウエブ２が液状
塗布組成物１を塗布されて連続的に走行しており、ウエ
ブの幅方向両縁部の塗布厚膜部３の厚塗液状塗布組成物
を本発明による吸引ノズル４により除去処理する。吸引
ノズル４は二重管構造よりなり、二重管の中心軸部に設
けられた洗浄液の噴出管７の噴出孔５ｎは該噴出管７の
先端及び管壁より図２に示すように吸引ノズルの内壁に
向けて複数個設けられ、ウエブ１，液状塗布組成物２，
塗布厚塗部３に直接洗浄液が当たらないようにしてあ
る。先端部の孔の角度θは、ノズルの構造にもよるが噴
出管の中心軸に対して、２０°以上、好ましくは３０°
以上が使いやすい。孔径は０．２〜３ｍｍくらい、より
好ましくは０．７〜１．５ｍｍぐらいがよい。また、噴
出管７の先端径は３〜１０ｍｍくらい。より好ましくは
４〜８ｍｍくらいがよい。
【００１３】塗布層縁部は吸引ノズル先端６から吸引さ
れ、吸引された液状塗布組成物は洗浄液の噴出管７から
吸引ノズル内壁に向って噴出する洗浄液と共に吸引管８
より排出される。排気能力を高めるためには吸引ノズル
の内径は先端部より徐々に拡大するか、もしくは図１に
示すように段階的に拡大し、圧力損失をなるべく少なく
した方がよい。このような構造は軸芯に洗浄液を供給す
る本発明の型式により可能である。
れ、吸引された液状塗布組成物は洗浄液の噴出管７から
吸引ノズル内壁に向って噴出する洗浄液と共に吸引管８
より排出される。排気能力を高めるためには吸引ノズル
の内径は先端部より徐々に拡大するか、もしくは図１に
示すように段階的に拡大し、圧力損失をなるべく少なく
した方がよい。このような構造は軸芯に洗浄液を供給す
る本発明の型式により可能である。
【００１４】
【実施例】本発明の効果を一層明確にするために、以下
に実施例を掲げる。 （実施例−１）水溶性液状塗布組成物の塗布を１２ｃｃ
／ｍ2 の塗布速度５０ｍ／min で行った。吸引ノズル４
の構造は図１及び図２で示す様な構造で、吸引ノズル先
端６は塗布層縁部の塗布厚塗部３に対向し、余分の液状
塗布組成物１を吸引する吸引管８は図３の示すように排
気配管１６に連結されており排気タンク１７を経て排気
ポンプ１８で排出される。排気タンク１７は吸引された
空気と、余分の液状塗布組成物と一緒になった洗浄液と
を分離する役目をもっている。排気ポンプ１８としては
２ｍ3 ／ｍｉｎ×５０ｃｍＨｇを用いた。洗浄液の噴出
管７には洗浄水供給タンク２０より洗浄液として５０〜
５００ｃｃ／ｍｉｎの純水を送り、温度を５０℃に上昇
させ洗浄水供給配管１９によって洗浄液の噴出管７に補
給し、洗浄液の噴出管７の先端部及び該管壁より吸引ノ
ズル内壁に向けて計６ケの噴出孔より噴出させ吸引ノズ
ル内壁の洗浄を行った。吸引開始後１２０分まで凍結を
おこさず安定した吸引を行うことができた。この場合の
塗布層縁部の厚塗率ｃを吸引ノズルを使用しない場合
ａ，実開昭６０−４９９４９号公報に示す吸引ノズルを
用いた場合ｂと比較した図表を図４（ａ）に示す。尚塗
布量の確認は液状塗布組成物に含まれる染料の濃度によ
って測定した。図４に示すように従来の吸引ノズルによ
る厚塗率約５０％を本発明のノズルにより１５％程度に
まで減らすことが出来た。尚、厚塗り率％＝｛(a−ｂ）
／ｂ｝×１００、但し、ａは厚塗り部の塗布量，ｂは平
常部の塗布量である。
に実施例を掲げる。 （実施例−１）水溶性液状塗布組成物の塗布を１２ｃｃ
／ｍ2 の塗布速度５０ｍ／min で行った。吸引ノズル４
の構造は図１及び図２で示す様な構造で、吸引ノズル先
端６は塗布層縁部の塗布厚塗部３に対向し、余分の液状
塗布組成物１を吸引する吸引管８は図３の示すように排
気配管１６に連結されており排気タンク１７を経て排気
ポンプ１８で排出される。排気タンク１７は吸引された
空気と、余分の液状塗布組成物と一緒になった洗浄液と
を分離する役目をもっている。排気ポンプ１８としては
２ｍ3 ／ｍｉｎ×５０ｃｍＨｇを用いた。洗浄液の噴出
管７には洗浄水供給タンク２０より洗浄液として５０〜
５００ｃｃ／ｍｉｎの純水を送り、温度を５０℃に上昇
させ洗浄水供給配管１９によって洗浄液の噴出管７に補
給し、洗浄液の噴出管７の先端部及び該管壁より吸引ノ
ズル内壁に向けて計６ケの噴出孔より噴出させ吸引ノズ
ル内壁の洗浄を行った。吸引開始後１２０分まで凍結を
おこさず安定した吸引を行うことができた。この場合の
塗布層縁部の厚塗率ｃを吸引ノズルを使用しない場合
ａ，実開昭６０−４９９４９号公報に示す吸引ノズルを
用いた場合ｂと比較した図表を図４（ａ）に示す。尚塗
布量の確認は液状塗布組成物に含まれる染料の濃度によ
って測定した。図４に示すように従来の吸引ノズルによ
る厚塗率約５０％を本発明のノズルにより１５％程度に
まで減らすことが出来た。尚、厚塗り率％＝｛(a−ｂ）
／ｂ｝×１００、但し、ａは厚塗り部の塗布量，ｂは平
常部の塗布量である。
【００１５】（実施例−２）実施例−１と同様な装置及
び液状塗布組成物を用い塗布量８ｃｃ／ｍ2 ，塗布速度
４０ｍ分で塗布を行い、塗布層縁部を実施例−１と同様
な吸引ノズルで吸引し平滑化し、ノズル未使用のものと
従来のノズル使用のものとを比較した結果を図４（ｂ）
に示す。薄層塗布の場合においても前の実施例−１と同
様の良好な結果を得た。薄層塗布の場合従来のノズルで
は厚塗り率が７５％迄上昇していることが示されてい
る。
び液状塗布組成物を用い塗布量８ｃｃ／ｍ2 ，塗布速度
４０ｍ分で塗布を行い、塗布層縁部を実施例−１と同様
な吸引ノズルで吸引し平滑化し、ノズル未使用のものと
従来のノズル使用のものとを比較した結果を図４（ｂ）
に示す。薄層塗布の場合においても前の実施例−１と同
様の良好な結果を得た。薄層塗布の場合従来のノズルで
は厚塗り率が７５％迄上昇していることが示されてい
る。
【００１６】またこの時、洗浄液には純水に凝固点降下
剤としてエチレングリコールを５％混合して用いた。吸
引後１２０分まで凍結を示さず安定した吸引を行うこと
ができた。
剤としてエチレングリコールを５％混合して用いた。吸
引後１２０分まで凍結を示さず安定した吸引を行うこと
ができた。
【００１７】
【発明の効果】上記に明らかなように、本発明による塗
布層縁部の吸引処理を行う吸引ノズルにより、厚塗り量
の少ないより薄層の塗布においてもウエブ及びパスロー
ラを汚染することなく、又吸引配管の閉塞あるいはノズ
ルヘッドの洗浄不足をおこすことなく、確実に厚塗り部
の除去が可能となり、更に厚塗り率の低下が可能とな
り、更に高速塗布・薄層塗布を可能にし、生産性の向
上，品質の向上に寄与することが出来た。
布層縁部の吸引処理を行う吸引ノズルにより、厚塗り量
の少ないより薄層の塗布においてもウエブ及びパスロー
ラを汚染することなく、又吸引配管の閉塞あるいはノズ
ルヘッドの洗浄不足をおこすことなく、確実に厚塗り部
の除去が可能となり、更に厚塗り率の低下が可能とな
り、更に高速塗布・薄層塗布を可能にし、生産性の向
上，品質の向上に寄与することが出来た。
【図１】本発明の塗布層縁部の吸引処理を行う、吸引ノ
ズルの１実施例を示す側面１部断面図
ズルの１実施例を示す側面１部断面図
【図２】同じく本発明の洗浄液の噴出管の噴出孔を説明
する部分拡大図
する部分拡大図
【図３】本発明の吸引処理装置の配管系統図
【図４】（ａ），（ｂ）は本発明の実施例の厚塗り率の
比較図表である。
比較図表である。
１ 液状塗布組成物 ２ ウエブ ３ 塗布厚塗部 ４ 吸引ノズル ５ｎ 噴出管の噴出孔 ６ 吸引ノズル先端 ７ 洗浄液の噴出管 ８ 吸引管 １６ 排気配管 １７ 排気タンク １８ 排気ポンプ １９ 洗浄水供給配管 ２０ 洗浄水供給タンク
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｃ 1/74
Claims (1)
- 【請求項１】 連続走行するウエブに液状塗布組成物を
施した後、ウエブの幅方向両縁部の塗布厚膜部の厚塗液
状塗布組成物を吸引する塗布層縁部の吸引ノズルにおい
て、該吸引ノズルが外周部の吸引ノズルと中央部の洗浄
液噴出管の二重管構造よりなり、二重管の中心軸部に設
けられた洗浄液の噴出管の噴出孔が該噴出管の先端部及
び管壁より吸引ノズル内壁に向けて複数ケ設けられてい
ることを特徴とする吸引ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP7033124A JP2775236B2 (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | 連続走行するウエブの塗布層縁部の吸引処理を行う吸引ノズル |
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| JP7033124A JP2775236B2 (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | 連続走行するウエブの塗布層縁部の吸引処理を行う吸引ノズル |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63248953A Division JPH0611422B2 (ja) | 1988-10-04 | 1988-10-04 | 塗布層縁部の吸引処理方法及び吸引ノズル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07299410A true JPH07299410A (ja) | 1995-11-14 |
| JP2775236B2 JP2775236B2 (ja) | 1998-07-16 |
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ID=12377883
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7033124A Expired - Fee Related JP2775236B2 (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | 連続走行するウエブの塗布層縁部の吸引処理を行う吸引ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2775236B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008277359A (ja) * | 2007-04-25 | 2008-11-13 | Mtc:Kk | 角形被処理体のフォトレジストの除去装置 |
| JP2011177688A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-15 | Fujifilm Corp | 塗布システム、及び塗布方法 |
| CN103008179A (zh) * | 2011-09-22 | 2013-04-03 | 富士胶片株式会社 | 涂敷装置及涂敷方法 |
| JP2019030868A (ja) * | 2017-06-20 | 2019-02-28 | ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツングＳｕｓｓ ＭｉｃｒｏＴｅｃ Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ ＧｍｂＨ | ノズル先端アダプタ、ノズルアセンブリ、並びに、ノズル |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100659867B1 (ko) | 2005-11-29 | 2006-12-19 | 삼성에스디아이 주식회사 | 건조 장치의 분사 노즐 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5673579A (en) * | 1979-11-19 | 1981-06-18 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | Production of coated object |
| JPS6086467U (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-14 | ナショナル住宅産業株式会社 | 塗装用吸込ノズル |
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1995
- 1995-01-30 JP JP7033124A patent/JP2775236B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN103008179A (zh) * | 2011-09-22 | 2013-04-03 | 富士胶片株式会社 | 涂敷装置及涂敷方法 |
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| JP2019030868A (ja) * | 2017-06-20 | 2019-02-28 | ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツングＳｕｓｓ ＭｉｃｒｏＴｅｃ Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ ＧｍｂＨ | ノズル先端アダプタ、ノズルアセンブリ、並びに、ノズル |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2775236B2 (ja) | 1998-07-16 |
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