JPH0729960A - ユニット間基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板搬送に関する単位動作の数に関係なく同
一のインターフェースで両ユニット間の基板搬送の同期
をとるとともに、両ユニットに備えられた各制御装置の
異常時に簡単な構成で制御装置の停止を図ることを目的
とする。 【構成】 各ユニットの電子制御装置で所定の単位動作
の実行がなされると、その単位動作に要した時間だけ、
中間プログラムに送る停止要求の信号と、相手方ユニッ
トに対してインターフェース信号として出力するインタ
ーロックの信号と、相手方ユニットでその中間プログラ
ムから制御プログラムに送る停止指令の信号とがそれぞ
れ順に立ち上げられ、その結果、相手方ユニットのメカ
動作の停止期間が設定され、その後、続く単位動作の実
行を開始する。更に、両ユニットでやり取りする第１お
よび第２のクロック信号から相手方ユニットの制御装置
の異常を検出して、その異常時に、前記停止指令の信号
を制御プログラムに送る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、制御装置を内部にそれ
ぞれ備えた２つのユニット間でＬＣＤ用のガラス基板、
半導体装置用のウエハのような各種の基板の受け渡しを
行う基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体ウェハやＬＣＤ用ガラス
基板等のような半導体デバイス製造用の各種基板（以
下、単に基板と呼ぶ）を処理する装置においては、プロ
セスの自由度を確保するために、単一または複数のプロ
セス処理を実行できる各種ユニットを組み合わせること
により一つの装置を構成している。こうした基板処理装
置では、それぞれ非同期で動作する独自のＣＰＵを各ユ
ニット毎に備えており、各ＣＰＵにより各ユニットのプ
ロセスをそれぞれ実行している。なお、各ＣＰＵ間は、
基板搬送の同期をとるために、インターフェースにより
互いに接続されている。

【０００３】一方、各ユニット間における基板の搬送に
は、コンベアを用いる方法，アームを用いる方法等、様
々な方法があるが、どの方法を用いるにしろ、その搬送
の形態（基板の搬送は１以上の数の単位動作の集合で構
成されるが、ここで言う搬送の形態とは、その集合の様
子を言う）は、同一装置のライン内において複数種類生
じる。これは、被搬送物である基板に対する搬送時の衝
撃によるダメージ，基板の汚染および搬送に要する時間
等をそれぞれ最小限に抑えると言った命題をクリアする
ために、それぞれのユニット間における搬送機構を最適
に構成しようとすれば、当然複数種類の搬送形態を必要
とするためである。

【０００４】このように搬送の形態が複数種類あるため
に、各ユニットのＣＰＵ間を接続するインターフェース
は、各搬送形態に最適な信号数および信号タイミングを
備えるべく、搬送形態の種類に応じた数だけ一装置内に
存在する。

【０００５】ところで、各ＣＰＵの制御プログラムを開
発する際には、装置全体のシステムを捕らえて各制御プ
ログラムを作成する技法がとられるが、こうした技法か
らみれば、前記のように同一装置上に複数種類のインタ
ーフェースが混在するようなことは好ましくなく、装置
内に存在する全ての搬送形態を包括した最小公倍数的な
唯一のインターフェースを採用し、過分な信号線への信
号はダミーとして信号のやり取りを行なうことで、イン
ターフェースの共有化を図っている。

【０００６】次に、こうした共有化が図られた従来のイ
ンターフェースを取り上げて、その信号のやりとりを、
図１８に示すタイミングチャートに基づいて具体的に説
明する。ここでのインターフェースは、基板を待機位置
から回転式の処理カップ位置に搬送するアーム機構を備
えた基板処理装置における待機位置側のユニット（以
下、上流側ユニットと呼ぶ）とカップ位置側のユニット
（以下、下流側ユニットと呼ぶ）とを接続するもので、
前述したようなインターフェースの共有化がなされたも
のである。なお、上流側ユニットは、基板搬送のための
単位動作（以下、ｓｕｂ動作とも呼ぶ）を３つ備えてお
り、下流側ユニットは、ｓｕｂ動作を３つ備えており、
合計６つのｓｕｂ動作により搬送が構成されている。

【０００７】図１８に示すように、上流側ユニットから
下流側ユニットへのインターフェースとして払出要求，
払出要求ｓｕｂおよび払出完了の３つの信号線が用意さ
れている。また、下流側ユニットから上流側ユニットへ
のインターフェースとして受取可能，受取可能ｓｕｂの
２つの信号線が用意されている。ここで言う払出要求ｓ
ｕｂとは、下流側ユニットに対して基板を払い出すため
のｓｕｂ動作の実行を促すものであり、受取可能ｓｕｂ
とは、上流側ユニットより基板を受け取るためのｓｕｂ
動作の実行を促すものである。

【０００８】図１８に示すように、まず、上流側ユニッ
トは、下流側ユニットへ送信する払出要求のインターフ
ェース信号を立ち上げる（図中、Ｔ１）。この払出要求
の立ち上げを受けた下流側ユニットは、上流側ユニット
へ送信する受取可能のインターフェース信号を立ち上げ
る（Ｔ２）。次いで、受取可能の立ち上げを受けた上流
側ユニットは、第１のｓｕｂ動作（以下、上流側ユニッ
トの第１ないし第３のｓｕｂ動作をｓｕｂ動作１１〜ｓ
ｕｂ動作１３と呼び、下流側ユニットの第１ないし第３
のｓｕｂ動作をｓｕｂ動作２１〜ｓｕｂ動作２３と呼
ぶ）の実行を開始する（Ｔ３）。その後、ｓｕｂ動作１
１の動作が終了する（Ｔ４）と、続いて、下流側ユニッ
トへ送信する払出要求ｓｕｂのインターフェース信号を
立ち上げる（Ｔ５）。

【０００９】払出要求ｓｕｂの信号は、前述したように
下流側ユニットに対してｓｕｂ動作の実行を促すもの
で、この払出要求ｓｕｂの立ち上げを受けた下流側ユニ
ットは、ｓｕｂ動作２１の実行を開始する（Ｔ６）。そ
の後、ｓｕｂ動作２１の動作が終了する（Ｔ７）と、続
いて、上流側ユニットへ送信する受取可能ｓｕｂのイン
ターフェース信号を立ち上げる（Ｔ８）。受取可能ｓｕ
ｂの信号は、前述したように上流側ユニットに対してｓ
ｕｂ動作の実行を促すもので、この受取可能要求ｓｕｂ
の立ち上げを受けた上流側ユニットは、ｓｕｂ動作１２
の実行を開始する（Ｔ９）。その後、ｓｕｂ動作１２の
動作が終了する（Ｔ１０）と、続いて、前記払出要求ｓ
ｕｂのインターフェース信号を立ち下げる（Ｔ１１）。
即ち、払出要求ｓｕｂのインターフェース信号は、立ち
上げ後、下流側ユニットでｓｕｂ動作２１が実行され、
そのｓｕｂ動作２１の実行を受けて実行される上流側ユ
ニットのｓｕｂ動作１２の終了を待って立ち下げられ
る。

【００１０】続いて、払出要求ｓｕｂの立ち下げを受け
た下流側ユニットは、ｓｕｂ動作２２の実行を開始する
（Ｔ１２）。その後、ｓｕｂ動作２２の動作が終了する
（Ｔ１３）と、続いて、前記受取可能ｓｕｂのインター
フェース信号を立ち下げる（Ｔ１４）。即ち、受取可能
ｓｕｂのインターフェース信号は、立ち上げ後、上流側
ユニットでｓｕｂ動作１２が実行され、そのｓｕｂ動作
１２の実行を受けて実行される下流側ユニットのｓｕｂ
動作２２の終了を待って立ち下げられる。

【００１１】受取可能ｓｕｂの立ち下げを受けた上流側
ユニットは、ｓｕｂ動作１３の実行を開始する（Ｔ１
５）。その後、ｓｕｂ動作１３の動作が終了する（Ｔ１
６）と、続いて、下流側ユニットへ送信する払出完了の
インターフェース信号を立ち上げる（Ｔ１７）。

【００１２】この払出完了の立ち上げを受けた下流側ユ
ニットは、ｓｕｂ動作２３の実行を開始する（Ｔ１
８）。その後、ｓｕｂ動作２３の動作が終了する（Ｔ１
９）と、続いて、上流側ユニットへ送信する受取可能の
インターフェース信号を立ち下げる（Ｔ２０）。この受
取可能の立ち下げを受けた上流側ユニットは、払出要求
のインターフェース信号を立ち下げるとともに払出完了
のインターフェース信号を立ち下げる（Ｔ２１）。

【００１３】このようにインターフェース信号を定義す
ることにより、各３つのｓｕｂ動作を互いのＣＰＵ間に
おいて同期をとりながら交互に動作させることができ、
この結果、上流側ユニットで実行されるｓｕｂ動作と下
流側ユニットで実行されるｓｕｂ動作との干渉を防いだ
ユニット間の搬送が実現される。

【００１４】なお、本例のインターフェースは、上流側
ユニットおよび下流側ユニットでそれぞれ３つのｓｕｂ
動作が実行される構成を持つ場合に適用できるようにイ
ンターフェースの共有化が図られているが、もしそれぞ
れのｓｕｂ動作において実際の搬送動作が伴わない場合
は、ダミー信号のみの応答を行なえばよく、本例のイン
ターフェースの場合には、ｓｕｂ動作がいずれか一方の
ユニットについて１のみの場合から最大６つ（各ユニッ
ト３つずつ）まで適用できる。

【００１５】上流側ユニットの第１のｓｕｂ動作１１が
実際の搬送動作を伴わずダミー信号のみの応答となって
いる場合のインターフェースによる動作を、図１９のタ
イミングチャートに示した。同図に示すように、上流側
ユニットは、下流側ユニットへ送信する払出要求のイン
ターフェース信号を立ち上げ（図中、Ｔ１０１）、この
払出要求の立ち上げを受けた下流側ユニットは、上流側
ユニットへ送信する受取可能のインターフェース信号を
立ち上げる（Ｔ１０２）。次いで、受取可能の立ち上げ
を受けた上流側ユニットは、ｓｕｂ動作１１としてダミ
ー信号のみの応答を行ない、即座に下流側ユニットへ送
信する払出要求ｓｕｂのインターフェース信号を立ち上
げる（Ｔ１０３）。この払出要求ｓｕｂの立ち上げを受
けた下流側ユニットは、ｓｕｂ動作２１の実行を開始す
る（Ｔ１０４）。その後、図１８と同様に、ｓｕｂ動作
１２，ｓｕｂ動作２２，ｓｕｂ動作１３，ｓｕｂ動作２
３と順にｓｕｂ動作を実行していく。

【００１６】また、下流側ユニットのｓｕｂ動作２３が
実際の搬送動作を伴わずダミー信号のみの応答となって
いる場合のインターフェースによる動作を、図２０のタ
イミングチャートに示した。同図に示すように、上流側
ユニットと下流側ユニットとの間で、図２０と同様にｓ
ｕｂ動作１１，ｓｕｂ動作２１，ｓｕｂ動作１２，ｓｕ
ｂ動作２２，ｓｕｂ動作１３を順に実行し、ｓｕｂ動作
１３の実行終了後（Ｔ２０１）、下流側ユニットへ送信
する払出完了のインターフェース信号を立ち上げる（Ｔ
２０２）。この払出完了の立ち上げを受けた下流側ユニ
ットは、ｓｕｂ動作１１としてダミー信号のみの応答を
行ない、即座に上流側ユニットへ送信する受取可能のイ
ンターフェース信号を立ち下げ（Ｔ２０３）、この受取
可能の立ち下げを受けた上流側ユニットは、払出要求の
インターフェース信号を立ち下げるとともに払出完了の
インターフェース信号を立ち下げる（Ｔ２０４）。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年の基板
処理装置においては、増々、省スペース化、高機能化の
要望が強く、その結果として、各ユニット間の搬送に関
してもインターフェースが増々複雑化する傾向にある。
これはとりもなおさず、先に述べた単位動作（ｓｕｂ動
作）が増加することを意味する。こうした状況下におい
て、前記従来の技術では、ｓｕｂ動作が予め設計した数
（先に述べた例では、６つ）を越えると、インターフェ
ースの設計のやり直しを要し、そのまま使用することが
できないといった問題があった。

【００１８】また、ｓｕｂ動作が予め設計した数より少
ない場合においては、余分なダミー信号の交信が必要で
あり、用意された信号を効率よく使用することができな
いといった問題があった。さらに、ｓｕｂ動作が予め設
計した数を越えない場合においては、一のインターフェ
ースで共有化を行なうことができるといったことを先に
述べたが、各ユニットのｓｕｂ動作に同期してインター
フェース信号を直接操作するために、実際は、各ユニッ
ト個別に搬送に関する制御プログラムを手直しする必要
があり、システムの開発効率は必ずしも優れたものでは
なかった。

【００１９】さらに、ｓｕｂ動作の数が増加すると、払
出要求ｓｕｂ，受取可能ｓｕｂといった、相手側ユニッ
トに対してｓｕｂ動作の実行を促すｓｕｂ信号の数も増
加し、インターフェースの信号線の数が増加するといっ
た問題も生じた。

【００２０】本発明のユニット間基板搬送装置は、こう
した問題に鑑みて発明されたもので、ｓｕｂ動作の数に
関係なく同一のインターフェースで両ユニット間の基板
搬送の同期をとることができ、ひいては、システム開発
の効率化等を図ることを目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
べく、前記課題を解決するための手段として、以下に示
す構成を取った。

【００２２】即ち、本発明のユニット間基板搬送装置
は、制御装置を内部にそれぞれ備えた２つのユニット間
に、基板の搬送機構を設け、両ユニットに備えられたい
ずれかの制御装置を用いて前記搬送機構の動作を制御す
るとともに、少なくとも前記搬送機構の動作を制御しな
い制御装置側のユニットに、前記搬送機構に基板を渡す
基板渡し機構を設け、当該ユニットの制御装置を用いて
前記基板渡し機構の動作を制御することにより、前記基
板を一方のユニットから他方のユニットに搬送するユニ
ット間基板搬送装置であって、前記両制御装置間に、両
制御装置間で信号のやり取りを行なうインターフェース
手段を設け、前記両制御装置にそれぞれ備えられた前記
搬送機構または基板渡し機構の動作の制御手順を示した
各制御プログラムに、前記インターフェース手段へのデ
ータの受け渡しの手順を示した中間プログラムをそれぞ
れ組み込むとともに、前記各制御装置は、前記制御プロ
グラムに従い、前記搬送機構または基板渡し機構の動作
を、その機構により定まる単位動作毎に実行するととも
に、その単位動作の実行時に、相手方のユニットに前記
搬送機構または基板渡し機構の動作の停止を要求する停
止要求を示すデータを前記中間プログラム内の変数とし
て中間プログラム側に転送する停止要求転送手段と、前
記中間プログラムに従い、前記停止要求転送手段から出
力された停止要求を示すデータを受け取り、停止要求を
示す信号をインターロック信号として前記インターフェ
ース手段を介して相手方のユニットの制御装置に送信す
るインターロック信号送信手段と、前記中間プログラム
に従い、前記相手方のユニットのインターロック信号送
信手段から送信されたインターロック信号を受け取り、
停止指令を示すデータを前記制御プログラム内の変数と
して制御プログラム側に転送する停止指令転送手段と、
前記制御プログラムに従い、前記停止指令転送手段から
転送された停止指令を示すデータを受け取り、該データ
に基づき前記搬送機構または基板渡し機構の動作を停止
させるとともに、その停止指令の終了を待って前記搬送
機構または基板渡し機構の動作の次の単位動作を実行す
る次動作実行制限手段とを備え、さらに、ユニット間基
板搬送装置内に、前記両ユニットの各制御装置の異常状
態を検知する異常検知手段を設けるとともに、前記各ユ
ニットの制御装置は、前記異常検知手段により相手方の
ユニットの制御装置に異常状態が検知されたとき、前記
停止指令を示すデータを自ユニット内の前記制御プログ
ラム側に転送する強制停止指令転送手段を備えたこと
を、その要旨としている。

【００２３】なお、前記ユニット間基板搬送装置であっ
て、各ユニットの制御装置は、相手方のユニットの制御
装置にクロック信号を送信するクロック信号送信手段
と、インターフェース手段を介した信号を相手方のユニ
ットから受信したとき、クロック信号送信手段から送信
するクロック信号のレベルを反転させる信号レベル反転
手段とを備え、前記異常検知手段は、各ユニットの制御
装置内にそれぞれ設けられた、インターフェース手段を
介してインターフェース信号を相手方のユニットの制御
装置に送信したとき、相手方ユニットに送る前記クロッ
ク信号の信号レベルと相手方ユニットから受ける前記ク
ロック信号の信号レベルとを比較することで前記相手方
ユニットの制御装置における前記クロック信号のレベル
の反転を確認する信号レベル反転確認手段と、インター
フェース手段を介してインターフェース信号を相手方の
ユニットの制御装置に送信した後、前記信号レベル反転
確認手段で前記クロック信号の反転が所定時間以上確認
されないとき、前記相手方のユニットの制御装置に異常
状態が検知されたと判定する判定手段とを備えた構成と
してもよい。

【００２４】

【作用】以上のように構成された本発明のユニット間基
板搬送装置では、インターフェース手段へのデータの受
け渡しの手順を示した中間プログラムが制御プログラム
内に組み込まれており、制御プログラムに従うインター
フェース手段へのデータ転送は中間プログラムにより仲
介される。このため、各ユニットの制御プログラムから
みればインターフェース手段に送る信号の数、あるいは
その送信タイミング等を意識する必要がない。

【００２５】即ち、各ユニットの制御プログラムでは、
各ユニット固有の搬送機構または基板渡し機構をシーケ
ンシャルな連続した動きとして制御し、それぞれの単位
動作の実行時に停止要求を示すデータを中間プログラム
側に転送するだけで、中間プログラムから相手方のユニ
ットの制御装置にインターロック信号が送信され、相手
方のユニットで停止指令を示すデータが中間プログラム
側から制御プログラム側に転送され、相手側ユニットに
て実行される搬送動作の実行が制限される。こうして相
手側ユニットにて実行される搬送動作との同期を図るこ
とができる。したがって、各ユニットで実行される搬送
の単位動作の数が予め予想した数より増えようと、制御
プログラムを手直しする必要もなしに、同一のインター
フェースで両ユニット間の搬送の同期を図ることができ
る。

【００２６】さらに、異常検知手段により相手方のユニ
ットの制御装置に異常状態が検知されたときは、前記中
間プログラム側から制御プログラム側に転送される停止
指令が発せられ、自ユニットの搬送の動作が強制的に停
止される。

【００２７】

【実施例】以上説明した本発明の構成・作用を一層明ら
かにするために、以下本発明の好適な実施例について説
明する。

【００２８】図１は、本発明の一実施例としてのユニッ
ト間基板搬送装置を示す概略構成図である。図示するよ
うに、このユニット間基板搬送装置は、入口待機ユニッ
ト１，スピンナーユニット２および出口待機ユニット３
の３つのユニットから構成されている。入口待機ユニッ
ト１は、上下動する入口プッシャ１１を備える構成で、
入口プッシャ１１を上方向へ移動させることで、入口プ
ッシャ１１の支持ピン上に載置された基板Ｗを所定の待
機位置（一点鎖線で描いた位置）から上方向へ移動させ
る。

【００２９】スピンナーユニット２は、回転式の処理カ
ップ２１をその中心に備え、その処理カップ２１の上部
に備えられる蓋部２２とともに処理カップ２１の内部に
処理空間を作り、その処理カップ内部に搬送される基板
Ｗに対して基板洗浄，薄膜形成等の回転処理を施すもの
である。なお、スピンナーユニット２には、入口待機ユ
ニット１で上方向に移動された基板Ｗを処理カップ２１
の内部に搬送するアーム型の第１搬送ロボット２３と、
処理カップ２１の内部に位置する基板Ｗを出口待機ユニ
ット３側に搬送するアーム型の第２搬送ロボット２４が
設けられている。

【００３０】各搬送ロボット２３（２４）は、垂直方向
の軸を中心に正逆に旋回可能かつ垂直方向に上下動可能
な可動支柱２３ａ（２４ａ）と、その可動支柱２３ａ
（２４ａ）に連結されたアーム２３ｂ（２４ｂ）とを備
えている。アーム２３ｂ（２４ｂ）の先端には、チャッ
ク２３ｃ（２４ｃ）が設けられており、チャック２３ｃ
（２４ｃ）を開閉することで基板Ｗを掴むことができ
る。

【００３１】出口待機ユニット３は、上下動する出口プ
ッシャ３１を備える構成で、出口プッシャ３１を下方向
へ移動させることで、第２搬送ロボット２４によりスピ
ンナーユニット２側から搬送された基板Ｗを所定の待機
位置（一点鎖線で描いた位置）に移動させる。

【００３２】次に、こうしたユニット間基板搬送装置の
制御系について図２を用いて説明する。図示するよう
に、入口待機ユニット１，スピンナーユニット２及び出
口待機ユニット３には、電子制御装置５１，５２，５３
がそれぞれ備えられている。

【００３３】各電子制御装置５１，５２，５３は、内部
に、ＣＰＵ５１ａ，５２ａ，５３ａと、ＲＯＭ５１ｂ，
５２ｂ，５３ｂと、ＲＡＭ５１ｃ，５２ｃ，５３ｃと、
Ｉ／Ｏポート５１ｄ，５２ｄ，５３ｄと、Ｉ／Ｏインタ
ーフェース５１ｅ，５２ｅ，５３ｅとをそれぞれ備え、
ＲＯＭ５１ｂ，５２ｂ，５３ｂに内蔵された所定の制御
プログラムに従って実行される各ＣＰＵ５１ａ，５２
ａ，５３ａの処理により、該当する各ユニット１，２，
３におけるプロセスがそれぞれ独立に実行される。

【００３４】また、入口待機ユニット１には、入口プッ
シャ１１のアクチュエータとしてのエアシリンダ５５が
設けられている。入口待機ユニット１側の電子制御装置
５１は、エアシリンダ５５への流路に設けられた電磁バ
ルブ５６を開閉制御することで、エアシリンダ５５を作
動させ、入口プッシャ１１を上下動させる。

【００３５】スピンナーユニット２には、第１搬送ロボ
ット２３のアクチュエータとして、可動支柱２３ａの旋
回を受け持つ第１のステッピングモータ５７と垂直方向
の上下動を受け持つ第２のステッピングモータ５８とア
ーム２３ｂのチャック２３ｃを開閉させるエアシリンダ
を制御するための電磁バルブ５９とが設けられている。
さらに、第２搬送ロボット２４のアクチュエータとし
て、同様に第１のステッピングモータ６０と第２のステ
ッピングモータ６１と電磁バルブ６２とが設けられてい
る。

【００３６】スピンナーユニット２側の電子制御装置５
２は、第１のステッピングモータ５７，第２のステッピ
ングモータ５８および電磁バルブ５９をそれぞれ駆動制
御することにより、第１搬送ロボット２３を作動させ
て、入口待機ユニット１で上方向に移動された基板Ｗを
処理カップ２１の内部に搬送するとともに、同様に第１
のステッピングモータ６０，第２のステッピングモータ
６１および電磁バルブ６２をそれぞれ駆動制御すること
により、第２搬送ロボット２４を作動させて、処理カッ
プ２１の内部に位置する基板Ｗを出口待機ユニット３側
に搬送する。

【００３７】出口待機ユニット３には、出口プッシャ３
１のアクチュエータとしてのエアシリンダ６５が設けら
れている。出口待機ユニット３側の電子制御装置５３
は、エアシリンダ６５への流路に設けられた電磁バルブ
６６を開閉制御することで、エアシリンダ６５を作動さ
せ、出口プッシャ３１を上下動させる。

【００３８】なお、入口待機ユニット１側の電子制御装
置５１のＩ／Ｏインターフェース５１ｅとスピンナーユ
ニット２側の電子制御装置５２のＩ／Ｏインターフェー
ス５２ｅとの間、及びスピンナーユニット２側の電子制
御装置５２のＩ／Ｏインターフェース５２ｅと出口待機
ユニット３側の電子制御装置５３のＩ／Ｏインターフェ
ース５３ｅとの間は、光ファイバの回線でそれぞれ接続
されており、前述したようにそれぞれ独立でプロセスを
実行する各電子制御装置５１，５２，５３の間で信号を
やり取りすることにより、基板Ｗの搬送時における同期
が図られる。

【００３９】以下、基板Ｗを入口待機ユニット１内の待
機位置から出口待機ユニット３内の待機位置に搬送する
制御について詳しく説明する。この基板Ｗの搬送は、入
口待機ユニット１側からスピンナーユニット２側に搬送
する前半行程と、スピンナーユニット２側から出口待機
ユニット３側に搬送する後半行程とに分けることができ
るが、まず、最初に、前半行程の搬送について説明す
る。

【００４０】この前半行程の搬送は、以下に示す複数の
ｓｕｂ動作を順に実行することにより実現される。 第１搬送ロボット２３を原点位置（図１中の２点鎖
線で示す位置）から入口待機ユニット１側の位置（図１
中の実線で示す位置）へ旋回させるアーム送り出し動
作。このアーム送り出し動作は、スピンナーユニット２
側の電子制御装置５２により第１のステッピングモータ
５７を制御することでなされる。 入口プッシャ１１を上昇させて、基板Ｗを待機位置
から所定の位置に持ち上げる動作。この入口プッシャ上
昇の動作は、入口待機ユニット１側の電子制御装置５１
により電磁バルブ５６を制御することによりなされる。

【００４１】 第１搬送ロボット２３のチャック２３
ｃを閉じて、前記の動作により所定の位置に持ち上げ
られた基板Ｗを第１搬送ロボット２３により掴む動作。
このチャックの閉動作は、スピンナーユニット２側の電
子制御装置５２により電磁バルブ５９を制御することに
よりなされる。 入口プッシャ１１を下降させる動作。この入口プッ
シャ下降の動作は、入口待機ユニット１側の電子制御装
置５１により電磁バルブ５６を制御することによりなさ
れる。

【００４２】 第１搬送ロボット２３を用いて前記
の動作により掴んだ基板Ｗを処理カップ２１内に受け取
らせる動作。この基板受け取り動作は、詳しくは、第１
搬送ロボット２３を入口待機ユニット１側の位置から原
点位置を経てスピンナーユニット２側の位置（図１中の
１点鎖線で示す位置）へ旋回させるアーム送り出し動作
と、アームを下降させるアーム下降動作と、チャック２
３ｃを開けるチャック開動作と、アームを上昇させるア
ーム上昇動作と、アームを前記スピンナーユニット２側
の位置から原点位置へ戻すアーム戻し動作とから構成さ
れる。なお、前記アーム送り出し動作およびアーム戻し
動作は、スピンナーユニット２側の電子制御装置５２に
より第１のステッピングモータ５７を制御することによ
りなされ、前記アーム下降動作およびアーム上昇動作
は、同じく電子制御装置５２により第２のステッピング
モータ５８を制御することによりなされ、前記チャック
開動作は、同じく電子制御装置５２により電磁バルブ５
９を制御することによりなされる。

【００４３】即ち、基板Ｗを入口待機ユニット１側から
スピンナーユニット２側に搬送する前半行程は、入口待
機ユニット１側の電子制御装置５１による入口プッシャ
１１の制御（前記，の動作に関する制御）と、スピ
ンナーユニット２側の電子制御装置５２による第１搬送
ロボット２３の制御（前記，，の動作に関する制
御）とにより実現される。なお、これら制御を行なう上
で、両電子制御装置５１，５２は、同期を図る必要があ
り、この同期は、前述したように、電子制御装置５１の
Ｉ／Ｏインターフェース５１ｅとスピンナーユニット２
側の電子制御装置５２のＩ／Ｏインターフェース５２ｅ
との間の回線を介して信号のやり取りを行なうことでな
される。

【００４４】以下、これらないしの動作に関する制
御が、どのようなタイミングで各電子制御装置５１，５
２で実行されるかを、両電子制御装置５１，５２間のイ
ンターフェースに着目しつつ説明する。なお、こうした
制御は、各電子制御装置５１，５２内のＲＯＭ５１ｂ，
５２ｂにそれぞれ内蔵された所定の制御プログラムＰＲ
１，ＰＲ２に従って実行されるが、詳しくは、図３に示
すように、その制御プログラムＰＲ１，ＰＲ２内には、
両電子制御装置５１，５２間のインターフェースを司る
処理を記した中間プログラムＰＲ１ａ，ＰＲ２ａが組み
込まれており、中間プログラムＰＲ１ａ，ＰＲ２ａに基
づく制御処理に従って両電子制御装置５１，５２間のイ
ンターフェースを図りつつ、前記ないしの動作が実
行される。

【００４５】図４に示すように、入口待機ユニット１
（以下、上流側ユニットと呼ぶ）においては、制御プロ
グラムＰＲ１から中間プログラムＰＲ１ａに対して払出
要求，払出完了および停止要求の３種類のフラグが渡さ
れ、また、中間プログラムＰＲ１ａから制御プログラム
ＰＲ１に対して払出中および停止指令の２種類のフラグ
が渡される。ここで、払出要求のフラグとは、上流側ユ
ニットよりスピンナーユニット２（以下、下流側ユニッ
トと呼ぶ）に対して払い出したい基板Ｗが発生したこと
を示すフラグであり、払出完了のフラグとは、下流側ユ
ニットに対する基板Ｗの払い出し動作が完了したことを
示すフラグであり、停止要求のフラグとは、下流側ユニ
ットに対してメカ動作の停止を要求するフラグである。
また、払出中のフラグとは、自ユニットに対して基板Ｗ
の払出動作の実行を直接要求するフラグであり、停止指
令とは、自ユニットに対してメカ動作の停止を直接要求
するフラグである。なお、上記メカ動作とは、基板搬送
に関するメカ動作をいい、入口待機ユニット１において
は入口プッシャ１１を動作させるメカ動作であり、スピ
ンナーユニット２においては第１搬送ロボット２３を動
作させるメカ動作である。

【００４６】また、ユニット間通信においては、上流側
ユニットから下流側ユニットに対して両Ｉ／Ｏインター
フェース５１ｅ，５２ｅ間の回線を介してインターフェ
ースとして払出要求および下流インターロックの２種類
の信号が入力され、また、下流側ユニットから上流側ユ
ニットに対して前記回線を介してインターフェースとし
て受取可能，受取完了および上流インターロックの３種
類の信号が入力される。ここで、下流インターロックの
信号とは、前記停止要求の信号と同様な信号で、下流側
ユニットに対して基板搬送に関するメカ動作の停止を要
求するインターフェース信号である。また、受取可能の
信号とは、自ユニット（下流側ユニット）が上流側ユニ
ットより基板Ｗを受け取れる状態であることを示す信号
であり、受取完了の信号とは、上流側ユニットよりの基
板Ｗの受取動作が完了したことを示す信号であり、上流
インターロックの信号とは、上流側ユニットに対して基
板搬送に関するメカ動作の停止を要求する信号である。

【００４７】下流側ユニットにおいては、中間プログラ
ムＰＲ２ａから制御プログラムＰＲ２に対して受取中お
よび停止指令の２種類のフラグが入力され。また、制御
プログラムＰＲ２から中間プログラムＰＲ２ａに対して
受取可能，受取完了および停止要求の３種類のフラグが
入力される。ここで、受取中のフラグとは、自ユニット
に対して基板Ｗの受取動作の実行を直接要求するフラグ
であり、停止指令のフラグとは、自ユニットに対して基
板搬送に関するメカ動作の停止を直接要求するフラグで
ある。また、停止要求の信号とは、前記上流インターロ
ックの信号と同様な信号で、上流側ユニットに対して基
板搬送に関するメカ動作の停止を要求する信号であり、
受取可能のフラグおよび受取完了のフラグとは、前記受
取可能の信号および受取完了の信号と同じ意味を示すフ
ラグである。

【００４８】ところで、制御プログラムＰＲ１，ＰＲ２
と中間プログラムＰＲ１ａ，ＰＲ２ａとの間でやり取り
されるのは、前述したようにフラグの形であり、ＲＡＭ
５１ｃ，５２ｃ内に予め設定されたフラグを両プログラ
ムから読み書きすることによりフラグのやり取りがなさ
れるが、ここでは、便宜上、このフラグのやり取りを両
プログラム間の信号の送受信として以下の説明を行なう
ものとする。

【００４９】前述した様々な信号がどのようなタイミン
グでオン／オフされるかを図５のタイミングチャートに
示した。図５に示すように、入口待機ユニット１（上流
側ユニット）は、その待機位置に払い出したい基板Ｗが
発生すると、まず、制御プログラムＰＲ１から中間プロ
グラムＰＲ１ａに対して送られる払出要求の信号をオフ
状態（ロウレベル）からオン状態（ハイレベル）に立ち
上げる（図中、時刻ｔ１）。この払出要求の立ち上げを
受けた上流側ユニットの中間プログラムＰＲ１ａは、下
流側ユニットに対してインターフェース信号として出力
する払出要求の信号を立ち上げる（ｔ２）。

【００５０】一方、スピンナーユニット２（下流側ユニ
ット）は、基板Ｗの受取りが可能な状態にあると、ま
ず、制御プログラムＰＲ２から中間プログラムＰＲ２ａ
に対して送られる受取可能の信号を立ち上げる。なお、
図５においてはこの受取可能の信号の立ち下げもｔ１と
同時刻に行われるように示されているが、かならずしも
同時刻である必要はない。この受取可能の立ち上げを受
けた下流側ユニットの中間プログラムＰＲ２ａは、上流
側ユニットに対してインターフェース信号として出力す
る受取可能の信号を立ち上げる。なお、図５においては
この受取可能の信号の立ち下げもｔ２と同時刻に行われ
るように示されているが、かならずしも同時刻である必
要はない。

【００５１】次いで、受取可能の立ち上げを受けるとと
もに払出要求の立ち上げを図った上流側ユニットは、中
間プログラムＰＲ１ａから制御プログラムＰＲ１に送る
払出中の信号を立ち上げる（ｔ３）。一方、払出要求の
立ち上げを受けるとともに受取可能の立ち上げを図った
下流側ユニットは、中間プログラムＰＲ２ａから制御プ
ログラムＰＲ２に送る受取中の信号を立ち上げる。な
お、図５においてはこの受取可能の信号の立ち下げもｔ
３と同時刻に行われるように示されているが、かならず
しも同時刻である必要はない。

【００５２】続いて、下流側ユニットは、その受取中の
立ち上げを制御プログラムＰＲ２内に受けると、制御プ
ログラムＰＲ２に従って第１搬送ロボット２３のアーム
送り出しの搬送動作（前述した）を開始するととも
に、制御プログラムＰＲ２から中間プログラムＰＲ２ａ
に送る停止要求の信号を立ち上げる（ｔ４）。この停止
要求の立ち上げを受けた下流側ユニットの中間プログラ
ムＰＲ２ａは、上流側ユニットに対してインターフェー
ス信号として出力する上流インターロックの信号をオン
状態からオフ状態へと立ち下げる（ｔ５）。

【００５３】続いて、前記インターフェース信号として
の上流インターロックの信号の立ち下げを受けた上流側
ユニットは、中間プログラムＰＲ１ａから制御プログラ
ムＰＲ１に送る停止指令の信号を立ち上げる（ｔ６）。

【００５４】一方、下流側ユニットでアーム送り出しの
搬送動作が終了すると、制御プログラムＰＲ２から中間
プログラムＰＲ２ａに送る停止要求の信号を立ち下げる
（ｔ７）。この停止要求の立ち下げを受けた下流側ユニ
ットの中間プログラムＰＲ２ａは、前記上流インターロ
ックの信号を立ち上げる（ｔ８）。次いで、その上流イ
ンターロックの信号の立ち上げを受けた上流側ユニット
は、中間プログラムＰＲ１ａから制御プログラムＰＲ１
に送る前記停止指令の信号を立ち下げる（ｔ９）。な
お、このｔ６からｔ９の間、即ち、制御プログラムＰＲ
１に送る停止指令の信号がオン状態となっている間が、
上流側ユニットの基板搬送に関するメカ動作を停止する
期間となる。

【００５５】上流側ユニットは、その停止指令の立ち下
げを制御プログラムＰＲ１内に受けると、制御プログラ
ムＰＲ１に従って入口プッシャ１１を上昇する動作（前
述した）を開始するとともに、制御プログラムＰＲ１
から中間プログラムＰＲ１ａに送る停止要求の信号を立
ち上げる（ｔ１０）。

【００５６】この停止要求の立ち上げを受けた上流側ユ
ニットの中間プログラムＰＲ１ａは、下流側ユニットに
対してインターフェース信号として出力する下流インタ
ーロックの信号をオン状態からオフ状態へと立ち下げる
（ｔ１１）。続いて、前記インターフェース信号として
の下流インターロックの信号の立ち下げを受けた下流側
ユニットは、中間プログラムＰＲ２ａから制御プログラ
ムＰＲ２に送る停止指令の信号を立ち上げる（ｔ１
２）。

【００５７】一方、上流側ユニットで入口プッシャの上
昇動作が終了すると、制御プログラムＰＲ１から中間プ
ログラムＰＲ１ａに送る停止要求の信号を立ち下げる
（ｔ１３）。この停止要求の立ち下げを受けた上流側ユ
ニットの中間プログラムＰＲ１ａは、下流側ユニットに
対してインターフェース信号として出力する前記下流イ
ンターロックの信号をオン状態へと立ち上げる（ｔ１
４）。

【００５８】続いて、前記インターフェース信号として
の下流インターロックの信号の立ち上げを受けた下流側
ユニットは、前記停止指令の信号を立ち下げる（ｔ１
５）。なお、このｔ１２からｔ１５の間、即ち、制御プ
ログラムＰＲ２に送る停止指令の信号がオン状態となっ
ている間が、下流側ユニットの基板搬送に関するメカ動
作を停止する期間となる。

【００５９】下流側ユニットは、その停止指令の立ち下
げを制御プログラムＰＲ２内に受けると、制御プログラ
ムＰＲ２に従って第１搬送ロボット２３のチャックを閉
じる動作（前述した）を開始する。なお、下流側ユニ
ットは、このチャックを閉じる動作の開始とともに、制
御プログラムＰＲ２から中間プログラムＰＲ２ａに送る
停止要求の信号を立ち上げる（ｔ１６）が、その後、上
流側ユニット，下流側ユニットおよび両ユニット間のイ
ンターフェースは、時刻ｔ４〜ｔ１５までの各信号の制
御と同様な信号制御を時刻ｔ１６〜ｔ２７まで実行す
る。なお、時刻ｔ２１での停止指令の立ち下げを受けた
後の搬送動作は、時刻ｔ９での停止指令の立ち下げを受
けた後の搬送動作である入口プッシャ１１を上昇する動
作に替えて、入口プッシャ１１を下降する動作とした
（前述した）。

【００６０】続いて、下流側ユニットは、時刻ｔ２７で
の停止指令の立ち下げを制御プログラムＰＲ２内に受け
ると、制御プログラムＰＲ２に従って第１搬送ロボット
２３を用いた基板Ｗの処理カップ２１内への受取動作
（前述した）を開始するとともに、制御プログラムＰ
Ｒ２から中間プログラムＰＲ２ａに送る停止要求の信号
を立ち上げる（ｔ２８）。この停止要求の立ち上げを受
けた下流側ユニットの中間プログラムＰＲ２ａは、上流
側ユニットに対してインターフェース信号として出力す
る上流インターロックの信号をオン状態からオフ状態へ
と立ち下げる（ｔ２９）。

【００６１】続いて、前記インターフェース信号として
の上流インターロックの信号の立ち下げを受けた上流側
ユニットは、中間プログラムＰＲ１ａから制御プログラ
ムＰＲ１に送る停止指令の信号を立ち上げる（ｔ３
０）。

【００６２】一方、下流側ユニットで基板受取動作が終
了すると、制御プログラムＰＲ２から中間プログラムＰ
Ｒ２ａに送る停止要求の信号を立ち下げる（ｔ３１）。
この停止要求の立ち下げを受けた下流側ユニットの中間
プログラムＰＲ２ａは、前記上流インターロックの信号
を立ち上げる（ｔ３２）。次いで、その上流インターロ
ックの信号の立ち上げを受けた上流側ユニットは、中間
プログラムＰＲ１ａから制御プログラムＰＲ１に送る前
記停止指令の信号を立ち下げる（ｔ３３）。なお、この
ｔ３０からｔ３３の間、即ち、制御プログラムＰＲ１に
送る停止指令の信号がオン状態となっている間が、上流
側ユニットの基板搬送に関するメカ動作を停止する期間
となる。

【００６３】また、時刻ｔ３１で停止要求の立ち下げを
受けた下流側ユニットの制御プログラムＰＲ２は、中間
プログラムＰＲ２ａに対して送る受取完了の信号を立ち
上げる（ｔ３２と同時刻）。この受取完了の立ち上げを
受けた下流側ユニットの中間プログラムＰＲ２ａは、上
流側ユニットに対してインターフェース信号として出力
する受取完了の信号を立ち上げる（ｔ３３と同時刻）。
前記受取完了の立ち上げを受けた上流側ユニットは、時
刻ｔ３で立ち上げられた払出中の信号を立ち下げる（ｔ
３４）。その後、上流側ユニットは、払出完了および払
出要求の各信号を立ち下げ（ｔ３５）、さらに、下流側
ユニットへのインターフェース信号としての払出要求の
信号を立ち下げる（ｔ３６）。

【００６４】続いて、その払出要求の立ち下げを受けた
下流側ユニットは、順次、受取中，受取可能および受取
完了の各信号を立ち下げ（ｔ３７，ｔ３８）、さらに、
上流側ユニットへのインターフェース信号としての受取
可能および受取完了の各信号を立ち下げる（ｔ３９）。
こうして入口待機ユニット１側の電子制御装置５１とス
ピンナーユニット２側の電子制御装置５２との同期が図
られつつ各電子制御装置５１，５２の制御を受けて、入
口待機ユニット１側からスピンナーユニット２側に基板
Ｗが搬送される。

【００６５】次に、基板Ｗをスピンナーユニット２側か
ら出口待機ユニット３側に搬送する基板搬送の後半行程
について説明する。この基板搬送の後半行程は、以下に
示す複数のｓｕｂ動作を順に実行することにより実現さ
れる。

【００６６】(1) 処理カップ２１内に載置されている基
板Ｗを第２搬送ロボット２４を用いて所定位置に待機さ
せる払出準備動作。この払出準備動作は、詳しくは、第
２搬送ロボット２４を原点位置（図１中の２点鎖線で示
す位置）からスピンナーユニット２側の位置（図１中の
一点鎖線で示す位置）へ旋回させるアーム送り出し動作
と、アームを下降させるアーム下降動作と、チャック２
４ｃを閉じるチャック閉動作と、アームを所定の待機位
置まで上昇させるアーム上昇動作とから構成される。な
お、前記アーム送り出し動作は、スピンナーユニット２
側の電子制御装置５２により第２搬送ロボット２４の第
１のステッピングモータ６０を制御することによりなさ
れ、前記アーム下降動作およびアーム上昇動作は、同じ
く電子制御装置５２により第２のステッピングモータ６
１を制御することによりなされ、前記チャック閉動作
は、同じく電子制御装置５２により電磁バルブ６２を制
御することによりなされる。

【００６７】(2) 第２搬送ロボット２４をスピンナーユ
ニット２側の位置から原点位置を介して出口待機ユニッ
ト３側の位置（図１中の実線で示す位置）へ旋回させる
アーム送り出し動作。 (3) 出口プッシャ３１を上昇させて、基板Ｗを待機位置
から所定の基板受取位置に持ち上げる動作。この出口プ
ッシャ上昇の動作は、出口待機ユニット３側の電子制御
装置５３により電磁バルブ６６を制御することによりな
される。

【００６８】(4) 第２搬送ロボット２４のチャック２
４ｃを開けて、前記(1)，(2) の動作により持ち運ばれ
た基板Ｗを第２搬送ロボット２４から出口プッシャ３１
に引き渡す動作。このチャックの開動作は、スピンナー
ユニット２側の電子制御装置５２により電磁バルブ６２
を制御することによりなされる。 (5) 出口プッシャ３１を下降させる動作。この出口プッ
シャ下降の動作は、出口待機ユニット３側の電子制御装
置５３により電磁バルブ６６を制御することによりなさ
れる。 (6) 第２搬送ロボット２４のアームを出口待機ユニット
３側の位置から原点位置へ戻すアーム戻し動作。

【００６９】以下、これら(1)ないし(6)の動作に関する
制御が、どのようなタイミングでスピンナーユニット２
側および出口待機ユニット３側の各電子制御装置５２，
５３で実行されるかを、両電子制御装置５２，５３間の
インターフェースに着目しつつ説明する。なお、こうし
た制御は、各電子制御装置５２，５３内のＲＯＭ５２
ｂ，５３ｂにそれぞれ内蔵された所定の制御プログラム
ＰＲ２，ＰＲ３に従って実行されるが、詳しくは、図６
に示すように、その電子制御装置５３の制御プログラム
ＰＲ３内には、制御プログラムＰＲ１，ＰＲ２と同様に
外部とのインターフェースを司る処理を記した中間プロ
グラムＰＲ３ａが組み込まれており、電子制御装置５２
側の中間プログラムＰＲ２ａと前記中間プログラムＰＲ
３ａに従って両電子制御装置５２，５３間のインターフ
ェースを図りつつ、前記(1)ないし(6)の動作が実行され
る。

【００７０】図７は、前記(1)ないし(6)の動作の制御タ
イミングを示すタイミングチャートである。同図に示す
ように、出口待機ユニット３（以下、下流側ユニットと
呼ぶ）は、基板Ｗの受取りが可能な状態となると、ま
ず、制御プログラムＰＲ３から中間プログラムＰＲ３ａ
に対して送られる受取可能の信号を立ち上げる（ｔ５
１）。この受取可能の立ち上げを受けた下流側ユニット
の中間プログラムＰＲ３ａは、スピンナーユニット２に
対してインターフェース信号として出力する受取可能の
信号を立ち上げる（ｔ５２）。

【００７１】一方、スピンナーユニット２（以下、上流
側ユニットと呼ぶ）は、払い出したい基板Ｗが発生する
と、まず、処理カップ２１内に載置されている基板Ｗを
第２搬送ロボット２４を用いて所定位置に待機させる払
出準備動作（前述した(1) ）を実行する。その払出準備
動作が終了すると、制御プログラムＰＲ２から中間プロ
グラムＰＲ２ａに対して送られる払出要求の信号を立ち
上げる（ｔ５３）。この払出要求の立ち上げを受けた上
流側ユニットの中間プログラムＰＲ２ａは、下流側ユニ
ットに対してインターフェース信号として出力する払出
要求の信号を立ち上げる（ｔ５４）。

【００７２】次いで、受取可能の立ち上げを受けるとと
もに払出要求の立ち上げを図った上流側ユニットは、中
間プログラムＰＲ２ａから制御プログラムＰＲ２に送る
払出中の信号を立ち上げる（ｔ５５）。一方、払出要求
の立ち上げを受けるとともに受取可能の立ち上げを図っ
た下流側ユニットは、中間プログラムＰＲ３ａから制御
プログラムＰＲ３に送る受取中の信号を立ち上げる。な
お、図７においてはこの受取中の信号の立ち上げもｔ５
５と同時刻に行われるように示されているが、かならず
しも同時刻である必要はない。上流側ユニットは、その
払出中の立ち上げを制御プログラムＰＲ２内に受ける
と、制御プログラムＰＲ２に従って第２搬送ロボット２
４のアーム送り出しの搬送動作（前述した(2) ）を開始
する。

【００７３】なお、上流側ユニットは、このアーム送り
出し動作の開始とともに、制御プログラムＰＲ２から中
間プログラムＰＲ２ａに送る停止要求の信号を立ち上げ
る（ｔ５６）が、その後、上流側ユニット，下流側ユニ
ットおよび両ユニット間のインターフェースは、図５に
基づいて先に説明した時刻ｔ１０〜ｔ３３までの各信号
の制御と同様な信号制御を時刻ｔ５６〜ｔ６０まで実行
する。なお、時刻ｔ５６〜ｔ６０における各ユニットの
搬送動作は、前記アーム送り動作に続き、下流側ユニッ
トでの出口プッシャ３１の上昇（前述した(3) ），上流
側ユニットでのチャック２４ｃの開動作（前述した(4)
）、下流側ユニットでの出口プッシャの下降（前述し
た(5) ）の各動作が順に実行される。

【００７４】さらに、時刻ｔ６０後も、停止指令の解除
を待ってアームの戻し動作が実行される（前述した(6)
）。そのアーム戻し動作の実行を受けて、その後も、
上流側ユニットで、制御プログラムＰＲ２から中間プロ
グラムＰＲ２ａに送る停止要求の信号の立ち上げ、およ
び下流側ユニットに対してインターフェース信号として
出力する下流インターロックの信号の立ち下げがなさ
れ、続いて、その下流インターロックの信号の立ち下げ
を受けた下流側ユニットで、中間プログラムＰＲ３ａか
ら制御プログラムＰＲ３に送る停止指令の信号の立ち上
げがなされ、その結果、下流側ユニットの基板搬送に関
するメカ動作が停止される。その後、各信号は初期状態
に戻され、本処理を終える。

【００７５】こうしてスピンナーユニット２側の電子制
御装置５２と出口待機ユニット３側の電子制御装置５３
との同期が図られつつ各電子制御装置５２，５３の制御
を受けて、スピンナーユニット２側から出口待機ユニッ
ト３側に基板Ｗが搬送される。

【００７６】次に、図８のタイミングチャートに示され
る搬送制御処理について説明する。この搬送制御処理
は、上流側ユニットおよび下流側ユニットで実行される
単位動作（ｓｕｂ動作）の数が幾つであっても制御可能
なものである。先に述べたように、図５のタイミングチ
ャートに示した搬送制御処理は、上流側ユニットとして
２つの単位動作（ｓｕｂ動作）を、下流側ユニットとし
て３つのｓｕｂ動作を実行しており、図７のタイミング
チャートに示した搬送制御処理は、払出準備動作の後
に、上流側ユニットとして３つのｓｕｂ動作を、下流側
ユニットとして２つのｓｕｂ動作を実行しているが、図
８のタイミングチャートに示される搬送制御処理は、前
記図５および図７で示した両搬送制御処理に対応でき
る。なお、この搬送制御処理を実行する上流側ユニット
および下流側ユニットの両電子制御装置は、前述してき
た例と同様に、それぞれの制御プログラム内に両電子制
御装置間のインターフェースを司る処理を記した中間プ
ログラムがそれぞれ組み込まれているものとする。

【００７７】図８に示すように、上流側ユニットは、払
い出したい基板Ｗが発生すると、まず、制御プログラム
から中間プログラムに対して送られる払出要求の信号を
立ち上げる（図中、時刻ｔ７１）。この払出要求の立ち
上げを受けた上流側ユニットの中間プログラムは、下流
側ユニットに対してインターフェース信号として出力す
る払出要求の信号を立ち上げる（ｔ７２）。一方、下流
側ユニットは、基板が受取可能であると、制御プログラ
ムから中間プログラムに対して送られる受取可能の信号
を立ち上げる。なお、図８においてはこの受取可能の信
号の立ち上げもｔ７１と同時刻に行われるように示され
ているが、かならずしも同時刻である必要はない。この
受取可能の立ち上げを受けた下流側ユニットの中間プロ
グラムは、上流側ユニットに対してインターフェース信
号として出力する受取可能の信号を立ち上げる。なお、
図８においてはこの受取中の信号の立ち上げもｔ７２と
同時刻に行われるように示されているが、必ずしも同時
刻である必要はない。

【００７８】次いで、受取可能の立ち上げを受けるとと
もに払出要求の立ち上げを図った上流側ユニットは、中
間プログラムから制御プログラムに送る払出中の信号を
立ち上げる（ｔ７３）。一方、払出要求の立ち上げを受
けるとともに受取可能の立ち上げを図った下流側ユニッ
トは、中間プログラムから制御プログラムに送る受取中
の信号を立ち上げる。なお、図８においてはこの受取中
の信号の立ち上げもｔ７３と同時刻に行われるように示
されているが、かならずしも同時刻である必要はない。

【００７９】続いて、上流側ユニットは、その払出中の
立ち上げを制御プログラム内に受けると、制御プログラ
ムに従って上流側の第１ｓｕｂ動作を実行する。なお、
その第１ｓｕｂ動作の実行開始に対応させて制御プログ
ラムから中間プログラムに送る停止要求の信号を立ち上
げる（ｔ７４）。この停止要求の立ち上げを受けた上流
側ユニットの中間プログラムは、下流側ユニットに対し
てインターフェース信号として出力する下流インターロ
ックの信号を立ち下げる（ｔ７５）。続いて、前記イン
ターフェース信号としての下流インターロックの信号の
立ち下げを受けた下流側ユニットは、中間プログラムか
ら制御プログラムに送る停止指令の信号を立ち上げる
（ｔ７６）。

【００８０】一方、上流側ユニットで第１ｓｕｂ動作が
終了すると、制御プログラムから中間プログラムに送る
停止要求の信号を立ち下げる（ｔ７７）。この停止要求
の立ち下げを受けた上流側ユニットの中間プログラム
は、前記下流インターロックの信号を立ち上げる（ｔ７
８）。次いで、その下流インターロックの信号の立ち上
げを受けた下流側ユニットは、中間プログラムから制御
プログラムに送る前記停止指令の信号を立ち下げる（ｔ
７９）。なお、このｔ７６からｔ７９の間、即ち、制御
プログラムに送る停止指令の信号がオン状態となってい
る間が、下流側ユニットの基板搬送に関するメカ動作を
停止する期間となる。

【００８１】続いて、下流側ユニットは、その停止指令
の立ち下げを制御プログラム内に受けると、制御プログ
ラムに従って下流側の第１ｓｕｂ動作を実行開始する
（ｔ８０）。即ち、時刻ｔ７４〜ｔ８０において、所定
のｓｕｂ動作の実行がなされると、そのｓｕｂ動作に要
した時間だけ、自ユニットの中間プログラムに送る停止
要求の信号と、相手方ユニットに対してインターフェー
ス信号として出力するインターロックの信号と、相手方
ユニットでその中間プログラムから制御プログラムに送
る停止指令の信号とがそれぞれ順に立ち上げられ（もし
くは立ち下げられ）、その結果、相手方ユニットの基板
搬送に関するメカ動作の停止期間が設定され、その後、
続くｓｕｂ動作の実行を開始する。

【００８２】本搬送制御処理では、所定のｓｕｂ動作の
実行開始から、相手方のユニットに対するメカ動作の停
止を図り、続くｓｕｂ動作の実行を開始するまでを１周
期として、ｓｕｂ動作の数だけこの周期を繰り返すこと
で、上流側の第１番目〜第ｍ番目までのｓｕｂ動作と下
流側の第１番目〜第ｎ番目までのｓｕｂ動作とをそれぞ
れ実行している。

【００８３】図８のタイミングチャートで示される搬送
制御処理を実現する制御手順について、次に詳しく説明
する。図９および図１０は、上流側ユニットの電子制御
装置において実行される払出制御ルーチンを示すフロー
チャートである。この払出制御ルーチンは、ＲＯＭに記
憶される制御プログラムとして上流側ユニットの電子制
御装置に予め格納されている。

【００８４】図９に示すように、上流側ユニットのＣＰ
Ｕは、処理が開始されると、まず、払い出したい基板Ｗ
が発生したか否かを判定する（ステップ１００）。ここ
で、基板Ｗが発生していないと判定されると、ステップ
１００を繰り返し実行し、基板Ｗが発生したと判定され
るのを待って本ステップを抜ける。続いて、上流側ユニ
ットの中間プログラムから渡される払出要求のフラグが
オフ状態か否かを判定する（ステップ１０５）。ここで
オフ状態でないと判定されると、ステップ１０５を繰り
返し実行し、オフ状態と判定されるのを待って本ステッ
プを抜ける。

【００８５】次いで、中間プログラムに渡す払出要求の
フラグをオン状態にセットする（ステップ１１０）。な
お、この時点が図８におけるｔ７１に相当する。続い
て、中間プログラムから渡される払出中のフラグがオン
状態か否かを判定する（ステップ１１５）。ここでオン
状態でないと判定されると、ステップ１１５を繰り返し
実行し、オン状態と判定されるのを待って本ステップを
抜ける。

【００８６】その後、自ユニット（上流側ユニット）で
搬送動作が起動中か否かを判定し（ステップ１２０）、
起動中でないと判定されると、自ユニットで発生する第
１のクロック信号を読み取ってそのクロック信号の値が
現在の値から反転したか否かを判定する（ステップ１２
５）。ここで、第１のクロック信号とは、自ユニットか
ら下流側ユニットに送信するクロック信号で、下流側ユ
ニットから上流側ユニットに送信する第２のクロック信
号とともに、両ユニット間におけるインターフェースを
介した交信のタイミングを図る働きをする。第１のクロ
ック信号および第２のクロック信号を用いてどのように
両ユニット間の交信のタイミングが図られるかを以下に
詳しく説明する。

【００８７】これらクロック信号は、次に定めるルール
によって制御される。 Ａ．上流側ユニットは、下流側ユニットより受信する第
２のクロック信号と自ユニットより下流側ユニットに対
して送信する第１のクロック信号とを比較し、両者の値
が等しいとき、下流側ユニットから送信されるインター
フェース信号を読み取り、自ユニットの情報をインター
フェース信号にセットし、その後、第１のクロック信号
を現在の値から反転させる。

【００８８】Ｂ．下流側ユニットは、上流側ユニットよ
り受信する第１のクロック信号と自ユニットより上流側
ユニットに対して送信する第２のクロック信号とを比較
し、両者の値が異なるとき、上流側ユニットから送信さ
れるインターフェース信号を読み取り、自ユニットの情
報をインターフェース信号にセットし、その後、第２の
クロック信号を現在の値から反転させる。

【００８９】こうしたルールに従うクロック信号のやり
取りを図１１のタイミングチャートに示した。図１１に
示すように、第１のクロック信号の値と第２のクロック
信号の値とが共にロウレベルで等しいと、時刻ｔａで、
上流側ユニットから下流側ユニットへ送信されるインタ
ーフェース信号（以下、インターフェース信号Ａと呼
ぶ）がハイまたはロウのレベルに反転される。その後、
時刻ｔｂで第１のクロック信号がハイレベルに反転され
る。次いで、第１のクロック信号と第２のクロック信号
とが異なった値となり、その結果、時刻ｔｃで下流側ユ
ニットから上流側ユニットへ送信されるインターフェー
ス信号（以下、インターフェース信号Ｂと呼ぶ）がハイ
レベルまたはロウレベルに反転される。その後、時刻ｔ
ｄで第２のクロック信号がハイレベルに反転される。こ
うした結果、第１のクロック信号の値と第２のクロック
信号の値とが共にハイレベルで等しくなり、その後、前
述した時刻ｔａから時刻ｔｄまでと同じ処理がサイクリ
ックに繰り返される。

【００９０】こうして、第１および第２のクロック信号
を各ユニットが互いにやり取りすることで、自ユニット
から送信した情報が相手側ユニットに対して確実に伝わ
ったことが確認される。

【００９１】図９のフローチャートに戻り、ステップ１
２５で、第１のクロック信号の値が反転していないと判
定されると、その判定処理を繰り返し実行する。その
後、第１のクロック信号の値の反転が確認されると、ス
テップ１２５を抜ける。この様に下流側ユニットに出力
される第１のクロック信号の反転を待つのは、これ以降
の処理において、下流側ユニットにインターフェース信
号を送信するためのタイミングを図るためである。

【００９２】ステップ１２５で第１のクロック信号の値
の反転が確認された場合、またはステップ１２０で搬送
動作が起動中であると判定された場合、次いで、変数Ｓ
１に値１をセットする（ステップ１３０）。その後、処
理は図１０に進み、中間プログラムから渡される停止指
令の変数がオン状態か否かを判定する（ステップ１３
５）。ここで、オン状態であると判定されると、ステッ
プ１３５を繰り返し実行し、オン状態でない、即ち、オ
フ状態と判定されるのを待って本ステップを抜ける。

【００９３】続いて、中間プログラムに渡す停止要求の
フラグをオン状態にセットする（ステップ１４０）。な
お、この時点が図８におけるｔ７４に相当する。その
後、下流側ユニットに送信する第１のクロック信号を読
み取ってそのクロック信号の値が現在の値から反転した
か否かを判定する（ステップ１４５）。ここで、第１の
クロック信号が反転したと判定されるまで、本ステップ
を繰り返し実行し、その後に、第１のクロック信号が反
転したと判定されると、本ステップを抜ける。なお、ス
テップ１４５で第１のクロック信号の反転を確認するま
で待機するのは、ステップ１４０でオン状態にセットさ
れた停止要求のフラグが、インターフェース信号（下流
インターロック信号）として下流側ユニットに確実に伝
わったことを確認するためである。

【００９４】続いて、ステップ１３０でセットされた変
数Ｓ１の値から定まるＳ１番目のｓｕｂ動作を実行する
（ステップ１５０）。次いで、そのｓｕｂ動作が終了し
たか否かを判定し（ステップ１５５）、ここで、未だ終
了していないと判定されると、以下の処理を実行する。

【００９５】まず、中間プログラムから渡される停止指
令の変数がオン状態か否かを判定する（ステップ１５
６）。ここで、停止指令の判定を行なうのは、Ｓ１番目
のｓｕｂ動作の実行中にそのｓｕｂ動作を停止する指令
が外部から発せられていないかを判定するためで、停止
指令の変数がオン状態であると判定されると、次いで、
Ｓ１番目のｓｕｂ動作を強制的に中断させ（ステップ１
５７）、ステップ１５６に処理を戻す。一方、ステップ
１５６で停止指令の変数がオン状態でない、即ちオフ状
態であると判定された場合には、ステップ１５０に処理
は戻り、Ｓ１番目のｓｕｂ動作の実行を継続する。一
方、ステップ１５５で、そのｓｕｂ動作が終了したと判
定されると、中間プログラムに渡される停止要求のフラ
グをオフ状態にクリアする（ステップ１６０）。なお、
この時点が図８におけるｔ７７に相当する。

【００９６】その後、下流側ユニットに送信する第１の
クロック信号を読み取ってそのクロック信号の値が現在
の値から反転したか否かを判定する（ステップ１６
５）。ここで、第１のクロック信号が反転したと判定さ
れるまで、本ステップを繰り返し実行し、その後に、第
１のクロック信号が反転したと判定されると、本ステッ
プを抜ける。なお、ステップ１６５で第１のクロック信
号の反転を確認するまで待機するのは、ステップ１６０
でオフ状態にセットされた停止要求のフラグが、インタ
ーフェース信号として下流側ユニットに確実に伝わった
ことを確認するためである。

【００９７】次いで、変数Ｓ１の値が、上流側ユニット
で実行しようとするｓｕｂ動作の数ｍと等しいか否かを
判定し（ステップ１７０）、ここで、変数Ｓ１の値がｍ
と等しくない、即ちｍより小さいと判定されると、変数
Ｓ１を値１だけインクリメントし（ステップ１７５）、
その後、処理はステップ１３５に進み、ステップ１３５
以降の処理を繰り返し実行する。一方、ステップ１７０
で変数Ｓ１の値がｍと等しいと判定された場合には、中
間プログラムに渡される払出完了のフラグをオン状態に
セットし（ステップ１８０）、その後、本処理ルーチン
の実行を終了する。

【００９８】次に、上流側ユニットの電子制御装置にお
いて実行される払出時中間プログラム処理ルーチンを図
１２および図１３のフローチャートに沿って説明する。
この払出時中間プログラム処理ルーチンは、ＲＯＭに記
憶される中間プログラムとして電子制御装置に予め格納
されている。

【００９９】図１２に示すように、上流側ユニットのＣ
ＰＵは、処理が開始されると、まず、下流側ユニットに
送信する第１のクロック信号を現在の値から反転させる
処理を行なう（ステップ２００）。この処理は、当初、
中間プログラムの起動時における初期作業として実行さ
れる。次いで、予めＣＰＵ内部に用意されたタイマを起
動し（ステップ２０１）、その後、下流側ユニットから
受信する第２のクロック信号を読み取ってそのクロック
信号とステップ２００で反転された第１のクロック信号
との値が等しいか否かを判定する（ステップ２０５）。
ここで、両クロック信号が等しくないと判定されると、
以下の処理を実行する。

【０１００】まず、ステップ２０１で起動されたタイマ
で示される時刻が所定時間ｔａを経過したか否かを判定
する（ステップ２０６）。ここで、所定時間ｔａを経過
したと判定されると、中間プログラムから制御プログラ
ムに渡される停止指令のフラグをオン状態とし（ステッ
プ２０７）、その後、ステップ２０５に処理を戻す。一
方、ステップ２０６で所定時間ｔａを経過していないと
判定された場合には、ステップ２０７の処理を実行せ
ず、そのままステップ２０５に処理を戻す。その後、ス
テップ２０５で両クロック信号が等しいと判定される
と、次いで、ステップ２０１で起動したタイマをリセッ
トする（ステップ２０８）。

【０１０１】即ち、ステップ２０１ないし２０８では、
図１１のタイミングチャートに示すように、第１のクロ
ック信号と第２のクロック信号とが異なる状態が所定時
間ｔａ以上経過した場合に、制御プログラムに渡される
停止指令のフラグをオン状態としている。こうして停止
指令のフラグがオン状態になると、制御プログラムに従
い、前述したステップ１５７により自ユニットで実行さ
れるｓｕｂ動作が強制的に中断される。

【０１０２】このように、第１のクロック信号と第２の
クロック信号とが異なる状態が所定時間ｔａ以上経過し
た場合に、自ユニットのｓｕｂ動作を強制的に中断させ
るのは、下流側ユニットから入力される第２のクロック
信号が所定時間ｔａ更新されない場合に、下流側ユニッ
トの電子制御装置が異常である（例えば、ＣＰＵが暴走
している等）とみなし、自ユニットのｓｕｂ動作を強制
的に中断させることで、下流側ユニットの搬送機構との
干渉を防止するためである。

【０１０３】ステップ２０８の実行後、次いで、中間プ
ログラムから制御プログラムに渡される停止指令のフラ
グをオフ状態にクリアする（ステップ２１０）。その
後、下流側ユニットからインターフェース信号としての
受取可能，受取完了，上流インターロックの各信号を一
括して読み取る（ステップ２１５）。

【０１０４】続いて、その読み取った上流インターロッ
クの信号がオン状態か否かを判定し（ステップ２２
０）、ここで、オン状態であると判定されると、中間プ
ログラムから制御プログラムに渡される停止指令のフラ
グをオン状態とする（ステップ２２５）。一方、ステッ
プ２２０で、上流インターロックの信号がオン状態でな
いと判定されると、制御プログラムに渡される停止指令
のフラグをオフ状態のままとする。

【０１０５】その後、ステップ２１５で読み取った受取
可能の信号は、オン状態であるか否かを判定する（ステ
ップ２３０）。ここで、オン状態であると判定される
と、以下の処理を実行する。即ち、制御プログラムから
中間プログラムに渡される払出要求のフラグがオン状態
か否かを判定し（ステップ２３５）、ここで、オン状態
であると判定されると、中間プログラムから制御プログ
ラムに渡される払出中のフラグをオン状態にセットする
（ステップ２４０）。一方、ステップ２３０で受取可能
の信号がオン状態でないと判定された場合、ステップ２
３５で払出要求のフラグがオン状態でないと判定された
場合、あるいはステップ２４０の実行後、図１３に処理
は移る。

【０１０６】図１３に処理が移ると、まず、ステップ２
１５で読み取った受取完了の信号がオン状態であるか否
かを判定する（ステップ２４５）。ここで、オン状態で
あると判定されると、以下の処理を実行する。

【０１０７】即ち、制御プログラムから中間プログラム
に渡される払出完了のフラグがオン状態か否かを判定し
（ステップ２５０）、ここで、オン状態であると判定さ
れると、中間プログラムから制御プログラムに渡される
払出中のフラグをオフ状態にクリアし（ステップ２５
５）、制御プログラム自身の払出要求のフラグをオフ状
態にクリアする（ステップ２６０）とともに、払出完了
のフラグをオフ状態にクリアする（ステップ２６５）。

【０１０８】一方、ステップ２４５で受取完了の信号が
オン状態でないと判定された場合、ステップ２５０で払
出完了のフラグがオン状態でないと判定された場合、あ
るいはステップ２６５の実行後、続いて、ステップ１４
０または１６０で制御プログラムから渡される停止要求
のフラグがオン状態であるか否かを判定する（ステップ
２７０）。ここで、オン状態であると判定されると、下
流側ユニットに送信する下流インターロック信号を示す
フラグをオフ状態とし（ステップ２７５）、一方、オフ
状態と判定されると、そのフラグをオン状態とする（ス
テップ２８０）。

【０１０９】ステップ２７５または２８０の実行後、払
出要求および下流インターロック信号を示す各フラグを
インターフェース信号として書込み、Ｉ／Ｏインターフ
ェースを介して下流側ユニットに送信する（ステップ２
８５）。その後、処理はステップ２００に戻り、下流側
ユニットに送信する第１のクロック信号を現在の値から
反転させる処理を行ない、以降の処理を繰り返し実行す
る。

【０１１０】図１４および図１５は、下流側ユニットの
電子制御装置において実行される受取時中間プログラム
処理ルーチンを示すフローチャートである。この受取時
中間プログラム処理ルーチンは、ＲＯＭに記憶される中
間プログラムとして電子制御装置に予め格納されてい
る。

【０１１１】図１４に示すように、下流側ユニットのＣ
ＰＵは、処理が開始されると、まず、予めＣＰＵ内部に
用意されたタイマを起動し（ステップ３００）、その
後、上流側ユニットから受信する第１のクロック信号を
読み取ってそのクロック信号と自ユニット（下流側ユニ
ット）で発生する第２のクロック信号との値が等しいか
否かを判定する（ステップ３０１）。ここで、両クロッ
ク信号が互いに等しいと判定されている間は、以下の処
理を実行する。

【０１１２】まず、ステップ３００で起動されたタイマ
で示される時刻が所定時間ｔａを経過したか否かを判定
する（ステップ３０２）。ここで、所定時間ｔａを経過
したと判定されると、中間プログラムから制御プログラ
ムに渡される停止指令のフラグをオン状態とし（ステッ
プ３０３）、その後、ステップ３０１に処理を戻す。一
方、ステップ３０２で所定時間ｔａを経過していないと
判定された場合には、ステップ３０３の処理を実行せ
ず、そのままステップ３０１に処理を戻す。その後、ス
テップ３０１で両クロック信号が互いに等しくないと判
定されると、次いで、ステップ３００で起動したタイマ
をリセットする（ステップ３０４）。

【０１１３】即ち、ステップ３００ないし３０４では、
第１のクロック信号と第２のクロック信号とが等しい状
態が所定時間ｔａ以上経過した場合に、制御プログラム
に渡される停止指令のフラグをオン状態としている。こ
うして停止指令のフラグがオン状態になると、制御プロ
グラムに従い、後述するステップ４５７により自ユニッ
トで実行されるｓｕｂ動作が強制的に中断される。

【０１１４】このように、第１のクロック信号と第２の
クロック信号とが互いに等しい状態が所定時間ｔａ以上
経過した場合に、自ユニットのｓｕｂ動作を強制的に中
断させるのは、上流側ユニットから入力される第１のク
ロック信号が所定時間ｔａ更新されない場合に、上流側
ユニットの電子制御装置が異常である（例えば、ＣＰＵ
が暴走している等）とみなし、自ユニットのｓｕｂ動作
を強制的に中断させることで、上流側ユニットの搬送機
構との干渉を防止するためである。

【０１１５】ステップ３０４の実行後、次いで、中間プ
ログラムから制御プログラムに渡される停止指令のフラ
グをオフ状態にクリアする（ステップ３０５）。その
後、上流側ユニットからインターフェース信号としての
払出要求および下流インターロックの各信号を一括して
読み取る（ステップ３１０）。

【０１１６】続いて、その読み取った下流インターロッ
クの信号がオン状態か否かを判定し（ステップ３１
５）、ここで、オン状態であると判定されると、中間プ
ログラムから制御プログラムに渡される停止指令のフラ
グをオン状態とする（ステップ３２０）。一方、ステッ
プ３１５で、下流インターロックの信号がオン状態でな
いと判定されると、制御プログラムに渡される停止指令
のフラグをオフ状態のままとする。

【０１１７】その後、ステップ３１０で読み取った払出
要求の信号は、オン状態であるか否かを判定する（ステ
ップ３２５）。ここで、オン状態であると判定される
と、以下の処理を実行する。即ち、制御プログラムから
中間プログラムに渡される受取可能のフラグがオン状態
か否かを判定し（ステップ３３０）、ここで、オン状態
であると判定されると、中間プログラムから制御プログ
ラムに渡す受取中のフラグをオン状態にセットする（ス
テップ３３５）。一方、ステップ３２５で払出要求の信
号がオン状態でないと判定された場合、ステップ３３０
で受取可能のフラグがオン状態でないと判定された場
合、あるいはステップ３３５の実行後、図１５に処理は
移る。

【０１１８】図１５に処理が移ると、まず、ステップ３
１０で読み取った払出要求の信号がオン状態であるか否
かを判定する（ステップ３４０）。ここで、オン状態で
あると判定されると、以下の処理を実行する。即ち、制
御プログラムから中間プログラムに渡される受取完了の
フラグがオン状態か否かを判定し（ステップ３４５）、
ここで、オン状態であると判定されると、中間プログラ
ムから制御プログラムに渡される受取中のフラグをオフ
状態にクリアし（ステップ３５０）、制御プログラム自
身の受取可能のフラグをオフ状態にクリアする（ステッ
プ３５５）とともに、受取完了のフラグをオフ状態にク
リアする（ステップ３６０）。

【０１１９】一方、ステップ３４０で払出要求の信号が
オン状態でないと判定された場合、ステップ３４５で受
取完了のフラグがオン状態でないと判定された場合、あ
るいはステップ３６０の実行後、続いて、制御プログラ
ムから渡される停止要求のフラグがオン状態であるか否
かを判定する（ステップ３６５）。ここで、オン状態で
あると判定されると、上流側ユニットに送信する上流イ
ンターロック信号を示すフラグをオフ状態とし（ステッ
プ３７０）、一方、ステップ３６５で停止要求のフラグ
がオフ状態と判定されると、上流インターロック信号を
示すフラグをオン状態とする（ステップ３７５）。ステ
ップ３７０または３７５の実行後、受取可能，受取完了
および上流インターロック信号を示す各フラグをインタ
ーフェース信号として書込み、Ｉ／Ｏインターフェース
を介して上流側ユニットに送信する（ステップ３８
０）。

【０１２０】その後、処理はステップ３００に戻り、下
流側ユニットに送信する第１のクロック信号を現在の値
から反転させる処理を行ない、以降の処理を繰り返し実
行する。次に、下流側ユニットの電子制御装置において
実行される受取制御ルーチンを図１６および図１７のフ
ローチャートに沿って説明する。この受取制御ルーチン
は、ＲＯＭに記憶される制御プログラムとして下流側ユ
ニットの電子制御装置に予め格納されている。

【０１２１】図１６に示すように、下流側ユニットのＣ
ＰＵは、処理が開始されると、まず、基板を受取可能か
否かを判定する（ステップ４００）。ここで、基板を受
取可能でないと判定されると、ステップ４００を繰り返
し実行し、基板が受取可能と判定されるのを待って本ス
テップを抜ける。続いて、下流側ユニットの中間プログ
ラムから渡される受取可能のフラグがオフ状態か否かを
判定する（ステップ４０５）。ここで、オフ状態でない
と判定されると、ステップ４０５を繰り返し実行し、オ
フ状態と判定されるのを待って本ステップを抜ける。

【０１２２】次いで、中間プログラムに渡す受取可能の
フラグをオン状態にセットする（ステップ４１０）。な
お、この時点が図８におけるｔ７１に相当する。続い
て、中間プログラムから渡される受取中のフラグがオン
状態か否かを判定する（ステップ４１５）。ここでオン
状態でないと判定されると、ステップ４１５を繰り返し
実行し、オン状態と判定されるのを待って本ステップを
抜ける。

【０１２３】その後、自ユニット（下流側ユニット）で
搬送動作が起動中か否かを判定し（ステップ４２０）、
起動中でないと判定されると、自ユニットで発生する第
２のクロック信号を読み取ってそのクロック信号の値が
現在の値から反転したか否かを判定する（ステップ４２
５）。ここで、反転していないと判定されると、ステッ
プ４２５を繰り返し実行し、反転したと判定されるのを
待って本ステップを抜ける。この様に上流側ユニットに
出力される第２のクロック信号の反転を待つのは、これ
以降の処理において、上流側ユニットにインターフェー
ス信号を送信するためのタイミングを図るためである。

【０１２４】ステップ４２５で第２のクロック信号の値
の反転が確認された場合、またはステップ４２０で搬送
動作が起動中であると判定された場合、次いで、変数Ｓ
２に値１をセットする（ステップ４３０）。その後、処
理は図１７に進み、中間プログラムから渡される停止指
令の変数がオン状態か否かを判定する（ステップ４３
５）。ここで、オン状態であると判定されると、ステッ
プ４３５を繰り返し実行し、オン状態でない、即ち、オ
フ状態と判定されるのを待って本ステップを抜ける。

【０１２５】続いて、中間プログラムに渡す停止要求の
フラグをオン状態にセットする（ステップ４４０）。な
お、この時点が図８におけるｔ８０に相当する。その
後、上流側ユニットに送信する第２のクロック信号を読
み取ってそのクロック信号の値が現在の値から反転した
か否かを判定する（ステップ４４５）。ここで、第２の
クロック信号が反転したと判定されるまで、本ステップ
を繰り返し実行し、その後に、第２のクロック信号が反
転したと判定されると、本ステップを抜ける。なお、ス
テップ４４５で第２のクロック信号の反転を確認するま
で待機するのは、ステップ４４０でオン状態にセットさ
れた停止要求のフラグが、インターフェース信号（上流
インターロック信号）として上流側ユニットに確実に伝
わったことを確認するためである。

【０１２６】続いて、ステップ４３０でセットされた変
数Ｓ２の値から定まるＳ２番目のｓｕｂ動作を実行する
（ステップ４５０）。次いで、そのｓｕｂ動作が終了し
たか否かを判定し（ステップ４５５）、ここで、未だ終
了していないと判定されると、以下の処理を実行する。

【０１２７】まず、中間プログラムから渡される停止指
令の変数がオン状態か否かを判定する（ステップ４５
６）。ここで、停止指令の判定を行なうのは、Ｓ２番目
のｓｕｂ動作の実行中にそのｓｕｂ動作を停止する指令
が外部から発せられていないかを判定するためで、停止
指令の変数がオン状態であると判定されると、次いで、
Ｓ２番目のｓｕｂ動作を強制的に中断させ（ステップ４
５７）、ステップ４５６に処理を戻す。一方、ステップ
４５６で停止指令の変数がオン状態でない、即ちオフ状
態であると判定された場合には、ステップ４５０に処理
は戻り、Ｓ２番目のｓｕｂ動作の実行を継続する。一
方、ステップ４５５で、そのｓｕｂ動作が終了したと判
定されると、中間プログラムに渡される停止要求のフラ
グをオフ状態にクリアする（ステップ４６０）。なお、
この時点が図８におけるｔ８１に相当する。

【０１２８】その後、上流側ユニットに送信する第２の
クロック信号を読み取ってそのクロック信号の値が現在
の値から反転したか否かを判定する（ステップ４６
５）。ここで、第２のクロック信号が反転したと判定さ
れるまで、本ステップを繰り返し実行し、その後に、第
２のクロック信号が反転したと判定されると、本ステッ
プを抜ける。なお、ステップ４６５で第２のクロック信
号の反転を確認するまで待機するのは、ステップ４６０
でオフ状態にセットされた停止要求のフラグが、インタ
ーフェース信号として上流側ユニットに確実に伝わった
ことを確認するためである。

【０１２９】次いで、変数Ｓ２の値が、下流側ユニット
で実行しようとするｓｕｂ動作の数ｎと等しいか否かを
判定し（ステップ４７０）、ここで、変数Ｓ２の値がｎ
と等しくない、即ちｎより小さいと判定されると、変数
Ｓ２を値１だけインクリメントし（ステップ４７５）、
その後、処理はステップ４３５に進み、ステップ４３５
以降の処理を繰り返し実行する。一方、ステップ４７０
で変数Ｓ２の値がｎと等しいと判定された場合には、中
間プログラムに渡される払出完了のフラグをオン状態に
セットし（ステップ４８０）、その後、本処理ルーチン
の実行を終了する。

【０１３０】以上、本実施例のユニット間基板搬送装置
の構成を詳述してきたが、次にその作用効果を説明す
る。このユニット間基板搬送装置では、各ユニット１，
２（ここでは、入口待機ユニット１とスピンナーユニッ
ト２との間の搬送について着目する）の電子制御装置５
１，５２間のインターフェースを司る処理を記した中間
プログラムＰＲ１ａ，ＰＲ２ａが、各電子制御装置５
１，５２に備えられた制御プログラムＰＲ１，ＰＲ２内
にそれぞれ組み込まれていることから、制御プログラム
ＰＲ１，ＰＲ２に従う各電子制御装置間のデータ通信
は、中間プログラムＰＲ１ａ，ＰＲ２ａにより仲介され
ることになる。このため、各ユニット１，２の制御プロ
グラムＰＲ１，ＰＲ２からみれば各電子制御装置５１，
５２のＩ／Ｏインターフェース５１ｅ，５２ｅ間でやり
取りされる信号の数、あるいはそのやりとりのタイミン
グ等を意識する必要がない。

【０１３１】即ち、各ユニット１，２の制御プログラム
ＰＲ１，ＰＲ２では、各ユニット固有の搬送機構（例え
ば、入口待機ユニット１では入口プッシャ１１の動作機
構、スピンナーユニット２では第１搬送ロボット２３の
動作機構）をシーケンシャルな連続した動きとして単位
動作毎に制御し、それぞれの単位動作の実行時に停止要
求を示すデータを中間プログラムＰＲ１ａ，ＰＲ２ａ側
に転送するだけで、相手側ユニットにて実行される搬送
動作との同期を図ることができる。

【０１３２】したがって、各ユニットで実行される搬送
の単位動作の数が予め予想した数より増えようと、制御
プログラムＰＲ１，ＰＲ２を手直しする必要もなしに、
Ｉ／Ｏインターフェース５１ｅ，５２ｅ間では中間プロ
グラムからのインターロック信号といった決まったイン
ターフェース信号のやりとりで両ユニット１，２間の搬
送の同期を図ることができる。その結果、制御プログラ
ムＰＲ１，ＰＲ２の開発効率に優れている。

【０１３３】また、各ユニット１，２で実行される搬送
の単位動作の数が予め予想した数より少ない場合におい
ては、余分なダミー信号の交信を行なう必要もなく、用
意された信号を効率よく使用することができる。さら
に、各ユニット１，２で実行される搬送の単位動作の数
が増加すると、従来、払出要求ｓｕｂ，受取可能ｓｕｂ
といった、相手側ユニットに対して単位動作の実行を促
すインターフェース信号の数が増加したが、本実施例で
は、前述したように、決まったインターフェース信号の
やり取りでよく、信号線の数が増加するといったことも
ない。

【０１３４】また、本実施例のユニット間基板搬送装置
では、スピンナーユニット２と出口待機ユニット３との
間の基板搬送のように、両ユニット２，３間の第２搬送
ロボット２４を上流側のユニットの電子制御装置５２で
制御する構成においても、前述した入口待機ユニット１
とスピンナーユニット２との間の基板搬送の場合（下流
側のユニットの電子制御装置で搬送ロボットを制御する
場合）と同様、制御プログラムの手直しなしに搬送の単
位動作の数の増加に対応できる等の効果を奏する。

【０１３５】さらに、本実施例のユニット間基板搬送装
置では、上流側ユニットの電子制御装置と下流側ユニッ
トの電子制御装置とでやり取りする第１のクロック信号
および第２のクロック信号を用いることで、両電子制御
装置間でやり取りされるインターフェース信号が確実に
相手方に転送されたことを確認することができることか
ら、例え両電子制御装置がその負荷等に起因して処理速
度が異なろうと、インターフェース信号の送受信を確実
に行なうことができる。

【０１３６】以上、本発明の一実施例を詳述してきた
が、本発明は、こうした実施例に何等限定されるもので
はなく、例えば、搬送機構としてのアーム型の搬送ロボ
ット２３，２４に替えて、コンベア，スライダ等を用い
た構成等、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々
なる態様にて実施することができるのは勿論のことであ
る。

【０１３７】さらに、本実施例においては、下流側のユ
ニット内の制御装置によって基板搬送機構を制御するよ
うに構成されていたが、本発明はこれに限定されるもの
ではなく、上流側のユニット内の制御装置によって基板
搬送機構を制御するように構成してもよい。この場合
は、下流側のユニット内における処理が完了するまで、
上流側ユニット内の制御装置によって制御される基板搬
送動作を停止させるとともに、基板搬送動作時には下流
側ユニットにおける処理動作を停止させることができ
る。

【０１３８】また、本発明において、処理動作とは基板
に洗浄，乾燥などの表面処理を施すものに限定されるも
のではなく、例えば、基板を搬送のために予め定められ
た所定位置に位置させる動作、及び予め定められた所定
位置に搬送された基板をさらに別の位置に搬送する動作
も含まれる。

【０１３９】

【発明の効果】以上詳述したように本発明のユニット間
基板搬送装置によれば、各ユニットの制御プログラムで
は、各ユニット固有の搬送機構または基板渡し機構をシ
ーケンシャルな連続した動きとして制御し、それぞれの
単位動作の実行時に停止要求を示すデータを中間プログ
ラム側に転送するだけで、相手側ユニットにて実行され
る搬送動作との同期を図ることができる。したがって、
各ユニットで実行される搬送の単位動作の数が予め予想
した数より増えようと、制御プログラムを手直しする必
要もなしに、同一のインターフェースで両ユニット間の
搬送の同期を図ることができ、制御プログラムの開発効
率に優れている。

【０１４０】また、各ユニットで実行される搬送の単位
動作の数が予め予想した数より少ない場合においては、
余分なダミー信号の交信を行なう必要もなく、用意され
た信号を効率よく使用することができる。各ユニットで
実行される搬送の単位動作の数が増加すると、従来、払
出要求ｓｕｂ，受取可能ｓｕｂといった、相手側ユニッ
トに対して単位動作の実行を促すインターフェース信号
の数が増加したが、本発明のユニット間基板搬送装置で
は、決まったインターフェース信号のやり取りでよく、
信号線の数が増加するといったこともない。

【０１４１】さらに、本発明のユニット間基板搬送装置
は、相手方のユニットの制御装置にＣＰＵの暴走等の異
常が発生したときに、各ユニットの搬送の動作を強制的
に停止させることができ、その結果、相手方ユニットと
の干渉を防止することができる。特に、その搬送動作停
止のために特別な信号のやり取りを行なうことなしに、
前述した両ユニット間の搬送の同期を図るために用いら
れる停止指令のデータ転送を行なうだけでよく、簡単な
構成で前記異常時における相手方ユニットとの干渉を防
止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例としてのユニット間基板搬
送装置を示す概略構成図である。

【図２】そのユニット間基板搬送装置の制御系を示すブ
ロック図である。

【図３】電子制御装置５１，５２のＲＯＭ内に組み込ま
れたプログラムを示すブロック図である。

【図４】上流側ユニットと下流側ユニットとでやり取り
される信号を示すブロック図である。

【図５】下流側ユニットで搬送ロボットを制御して基板
を上流側ユニットから下流側ユニットに搬送する場合の
各信号の出力タイミングを示すタイミングチャートであ
る。

【図６】電子制御装置５２，５３のＲＯＭ内に組み込ま
れたプログラムを示すブロック図である。

【図７】上流側ユニットで搬送ロボットを制御して基板
を上流側ユニットから下流側ユニットに搬送する場合の
各信号の出力タイミングを示すタイミングチャートであ
る。

【図８】搬送の単位動作の数が任意の数である場合の基
板搬送に関する各信号の出力タイミングを示すタイミン
グチャートである。

【図９】上流側ユニットの電子制御装置において制御プ
ログラムに従って実行される払出制御ルーチンの前半部
分を示すフローチャートである。

【図１０】その払出制御ルーチンの後半部分を示すフロ
ーチャートである。

【図１１】電子制御装置間でやり取りするクロック信号
の出力タイミングを示すタイミングチャートである。

【図１２】上流側ユニットの電子制御装置において中間
プログラムに従って実行される払出時中間プログラム処
理ルーチンの前半部分を示すフローチャートである。

【図１３】その払出時中間プログラム処理ルーチンの後
半部分を示すフローチャートである。

【図１４】下流側ユニットの電子制御装置において中間
プログラムに従って実行される受取時中間プログラム処
理ルーチンの前半部分を示すフローチャートである。

【図１５】その受取時中間プログラム処理ルーチンの後
半部分を示すフローチャートである。

【図１６】下流側ユニットの電子制御装置において制御
プログラムに従って実行される受取制御ルーチンの前半
部分を示すフローチャートである。

【図１７】その受取制御ルーチンの後半部分を示すフロ
ーチャートである。

【図１８】従来の基板搬送に関する各信号の出力タイミ
ングの第１の例を示すタイミングチャートである。

【図１９】従来の基板搬送に関する各信号の出力タイミ
ングの第２の例を示すタイミングチャートである。

【図２０】従来の基板搬送に関する各信号の出力タイミ
ングの第３の例を示すタイミングチャートである。

【符号の説明】

１ 入口待機ユニット ２ スピンナーユニット ３ 出口待機ユニット １１ 入口プッシャ ２１ 処理カップ ２３ 第１の搬送ロボット ２４ 第２の搬送ロボット ３１ 出口プッシャ ５１ 電子制御装置 ５２ 電子制御装置 ５３ 電子制御装置 ５１ａ ＣＰＵ ５１ｂ ＲＯＭ ５１ｅ Ｉ／Ｏインターフェース ５２ａ ＣＰＵ ５２ｂ ＲＯＭ ５２ｅ Ｉ／Ｏインターフェース ５３ａ ＣＰＵ ５３ｂ ＲＯＭ ５３ｅ Ｉ／Ｏインターフェース ＰＲ１ 制御プログラム ＰＲ２ 制御プログラム ＰＲ３ 制御プログラム ＰＲ１ａ 中間プログラム ＰＲ２ａ 中間プログラム ＰＲ３ａ 中間プログラム

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 制御装置を内部にそれぞれ備えた２つの
   ユニット間に、基板の搬送機構を設け、両ユニットに備
   えられたいずれかの制御装置を用いて前記搬送機構の動
   作を制御するとともに、少なくとも前記搬送機構の動作
   を制御しない制御装置側のユニットに、前記搬送機構に
   基板を渡す基板渡し機構を設け、当該ユニットの制御装
   置を用いて前記基板渡し機構の動作を制御することによ
   り、前記基板を一方のユニットから他方のユニットに搬
   送するユニット間基板搬送装置であって、 前記両制御装置間に、両制御装置間で信号のやり取りを
   行なうインターフェース手段を設け、 前記両制御装置にそれぞれ備えられた前記搬送機構また
   は基板渡し機構の動作の制御手順を示した各制御プログ
   ラムに、前記インターフェース手段へのデータの受け渡
   しの手順を示した中間プログラムをそれぞれ組み込むと
   ともに、 前記各制御装置は、 前記制御プログラムに従い、前記搬送機構または基板渡
   し機構の動作を、その機構により定まる単位動作毎に実
   行するとともに、その単位動作の実行時に、相手方のユ
   ニットに前記搬送機構または基板渡し機構の動作の停止
   を要求する停止要求を示すデータを前記中間プログラム
   内の変数として中間プログラム側に転送する停止要求転
   送手段と、 前記中間プログラムに従い、前記停止要求転送手段から
   出力された停止要求を示すデータを受け取り、停止要求
   を示す信号をインターロック信号として前記インターフ
   ェース手段を介して相手方のユニットの制御装置に送信
   するインターロック信号送信手段と、 前記中間プログラムに従い、前記相手方のユニットのイ
   ンターロック信号送信手段から送信されたインターロッ
   ク信号を受け取り、停止指令を示すデータを前記制御プ
   ログラム内の変数として制御プログラム側に転送する停
   止指令転送手段と、 前記制御プログラムに従い、前記停止指令転送手段から
   転送された停止指令を示すデータを受け取り、該データ
   に基づき前記搬送機構または基板渡し機構の動作を停止
   させるとともに、その停止指令の終了を待って前記搬送
   機構または基板渡し機構の動作の次の単位動作を実行す
   る次動作実行制限手段とを備え、 さらに、 ユニット間基板搬送装置内に、前記両ユニットの各制御
   装置の異常状態を検知する異常検知手段を設けるととも
   に、 前記各ユニットの制御装置は、 前記異常検知手段により相手方のユニットの制御装置に
   異常状態が検知されたとき、前記停止指令を示すデータ
   を自ユニット内の前記制御プログラム側に転送する強制
   停止指令転送手段を備えたことを特徴とするユニット間
   基板搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のユニット間基板搬送装置
   であって、 各ユニットの制御装置は、 相手方のユニットの制御装置にクロック信号を送信する
   クロック信号送信手段と、 インターフェース手段を介した信号を相手方のユニット
   から受信したとき、クロック信号送信手段から送信する
   クロック信号のレベルを反転させる信号レベル反転手段
   とを備え、 異常検知手段は、 各ユニットの制御装置内にそれぞれ設けられた、 インターフェース手段を介してインターフェース信号を
   相手方のユニットの制御装置に送信したとき、相手方ユ
   ニットに送る前記クロック信号の信号レベルと相手方ユ
   ニットから受ける前記クロック信号の信号レベルとを比
   較することで前記相手方ユニットの制御装置における前
   記クロック信号のレベルの反転を確認する信号レベル反
   転確認手段と、 インターフェース手段を介してインターフェース信号を
   相手方のユニットの制御装置に送信した後、前記信号レ
   ベル反転確認手段で前記クロック信号の反転が所定時間
   以上確認されないとき、前記相手方のユニットの制御装
   置に異常状態が検知されたと判定する判定手段とを備え
   たユニット間基板搬送装置。