JPH07299729A - ワイヤソーのガイドローラ摩耗検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 機械を停止させることなく自動的にガイドロ
ーラの案内溝の摩耗を検知することができるワイヤソー
のガイドローラ摩耗検知装置を提供する。 【構成】 ガイドローラ１４の案内溝１４ａが摩耗する
と、ガイドローラ１４近傍のワイヤ１３ａがガイドロー
ラ１４の内側に移動するので、これを検知バー３３を介
してセンサ３７で検知する。この場合、検知バー３３の
ワイヤ１３ａに接触する部分には回転自在なローラ３４
を設ける。また、ガイドローラ１４の案内溝１４ａの正
常状態時には、ローラ３４がワイヤ１３ａに接触しない
とともにセンサ３７がＯＮ状態となるように設定し、案
内溝１４ａが所定量以上摩耗すると、ローラ３４がワイ
ヤ１３ａに押されて検知バー３３がセンサ３７から離
れ、センサ３７がＯＦＦ状態となるように設定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、砥粒を含むワイヤを走
行させるとともに前記ワイヤに被加工物を押し当てて被
加工物を薄板状に切断するワイヤソーにおける、前記ワ
イヤを案内するガイドローラの案内溝の摩耗を検知する
ワイヤソーのガイドローラ摩耗検知装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体インゴットやセラミックス等の被
加工物（以下「ワーク」という）を薄板状に切断する切
断装置の一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは砥
粒が付着したワイヤを多数平行に並べて高速走行させ、
そのワイヤにワークを押し当てることによってワークを
多数の薄板状に切断する。

【０００３】図８に一般的なワイヤソーの主要構成を示
す。図８において、ワイヤリール１１及び１２は連動し
てワイヤ１３の供給及び回収を行う。図８の例ではワイ
ヤリール１１が供給側、ワイヤリール１２が回収側とし
て表している。ワイヤリール１１から送り出されたワイ
ヤ１３は多数のガイドローラ１４を経由して３個の溝付
きローラ１５に巻き掛けられる。溝付きローラ１５には
円周上に多数の溝が設けられており、ワイヤ１３は各溝
に順次巻き掛けられた後、再び多数のガイドローラ１４
を経由してワイヤリール１２に回収される。溝付きロー
ラ１５の各溝にワイヤ１３が順次巻き掛けられることに
よってワイヤ列１６が形成されるが、ワイヤ列１６の３
辺のうちの１辺の加工ワイヤ列１６ａの上方には砥粒液
供給装置１７から供給される砥粒液を吐出する砥粒液供
給ノズル１８が設けられていて、加工ワイヤ列１６ａに
砥粒液が吐出されワイヤに砥粒が付着する。ワイヤ１３
は高速で走行しており、これによって、砥粒が付着し高
速で走行する加工ワイヤ列１６ａが構成される。このよ
うな状態の加工ワイヤ列１６ａに下側からワークブロッ
ク２１に固定されたワーク２０を押しつけると、ワーク
２０は砥粒が付着したワイヤ１３によって加工ワイヤ列
１６ａのワイヤ間隔分ごとに薄板状に切断される。

【０００４】なお、砥粒が付着したワイヤ１３はワイヤ
リール１２に回収される前にワイヤ洗浄装置１９を通過
して砥粒が除去される。また、図８では砥粒液供給ノズ
ル１８及びワイヤ洗浄装置１９は２箇所にあるが、これ
は前述した方向と反対側にワイヤ１３を走行する場合、
すなわち、ワイヤリール１２をワイヤ供給側、ワイヤリ
ール１１を回収側として用いる場合にも対応するためで
あり、通常は、所定の時間ごとにワイヤ１３の走行方向
を切換えワイヤ１３を往復走行させることによって連続
運転を行う。

【０００５】ワイヤソーはこのように構成されており、
前述したように、ワイヤ１３はワイヤリール１１及びワ
イヤリール１２の間を多数のガイドローラ１４によって
所定の位置に案内される。この場合、溝付きローラ１５
を通過したワイヤ１３には砥粒が付着しており、ワイヤ
洗浄装置１９を通過した後でも十分に砥粒が除去されな
かったりワイヤ１３そのものが硬いこと等から、機械を
稼働していくとガイドローラ１４の案内溝が摩耗する。

【０００６】この場合、初期状態ではワイヤ１３はガイ
ドローラ１４の案内溝の底面に接触しているが、案内溝
は次第にワイヤ１３の直径分の幅で削られていくので、
摩耗が進行するとワイヤ１３は案内溝の両側にも接触す
るようになる。この状態を放置しておくとワイヤ１３は
ガイドローラ１４と擦れ合って摩耗し断線する危険性が
ある。加工途中でワイヤ１３が断線すると、そのワーク
は使用不能となるとともに、機械にも損傷を与え大きな
損害となる。したがって、ガイドローラ１４の摩耗は早
期に検知する必要がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤソーでは、一定時間機械を稼働させたら機械を停
止して作業員が多数のガイドローラ１４を一個ずつ目視
で検知するため、検知に時間がかかり機械の稼働率が低
下するとともに、作業者に大きな負担となるという問題
がある。また、砥粒等が飛散した機械内にあるガイドロ
ーラ１４を点検するのは非常に困難で、検知もれが発生
しやすいという問題もある。

【０００８】本発明はこのような事情を鑑みてなされた
もので、機械を停止させることなく自動的にガイドロー
ラの案内溝の摩耗を検知することができるワイヤソーの
ガイドローラ摩耗検知装置を提供することを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、砥粒を含むワイヤ１３を走行させるとと
もにワイヤ１３にワーク２０を押し当ててワーク２０を
薄板状に切断するワイヤソーにおける、ワイヤ１３を案
内するガイドローラ１４の案内溝１４ａの摩耗を検知す
るガイドローラ摩耗検知装置を、ガイドローラ１４の案
内溝１４ａが摩耗すると、ガイドローラ１４近傍のワイ
ヤ１３ａがガイドローラ１４の内側に移動するので、こ
れを検知するようにした。

【００１０】すなわち、請求項１に記載の装置は、 （イ）ガイドローラ１４の近傍にベース３１を設ける。 （ロ）ベース３１に揺動自在に検知バー３３を設ける。 （ハ）検知バー３３のワイヤ１３ａ側に回転自在にロー
ラ３４を設ける。 （ニ）ガイドローラ１４の案内溝１４ａの正常状態時に
ローラ３４がワイヤ１３ａに接触せず、ガイドローラ１
４の案内溝１４ａが所定量以上摩耗した場合にワイヤ１
３ａに接触するように、検知バー３３の位置を設定する
ストッパ３５をベース３１に設ける。 （ホ）検知バー３３をストッパ３５に押しつける押圧手
段３６をベース３１に設ける。 （ヘ）ベース３１に、検知バー３３の揺動を検知するセ
ンサ３７を設け、センサ３７は、ガイドローラ１４の案
内溝１４ａの正常状態時にＯＮ状態になるように設定す
る。以上のように構成した。

【００１１】また、請求項２に記載の装置は、 （イ）ガイドローラ１４の近傍に軸受け台４１を設け
る。 （ロ）軸受け台４１に回転自在にローラ４４を設ける。 （ハ）ローラ４４の位置は、ガイドローラ１４の案内溝
１４ａの正常状態時にワイヤ１３ａに接触せず、ガイド
ローラ１４の案内溝１４ａが所定量以上摩耗した場合に
ワイヤ１３ａに接触するように設定する。 （ニ）軸受け台４１にローラ４４の回転を検知する磁気
センサ４５や光電センサ４７を設ける。 以上のように構成した。

【００１２】また、請求項３に記載の装置は、 （イ）ガイドローラ１４の近傍に光電センサ５１を設け
る。 （ロ）光電センサ５１は、ガイドローラ１４の案内溝１
４ａの正常状態時にワイヤ１３ａを検知せず、ガイドロ
ーラ１４の案内溝１４ａが所定量以上摩耗した場合にワ
イヤ１３ａを検知するように設定する。 以上のように構成した。

【００１３】

【作用】本発明に係るワイヤソーのガイドローラ摩耗検
出装置の請求項１に記載の装置によれば、ガイドローラ
１４の案内溝１４ａの正常状態時には、ローラ３４はワ
イヤ１３ａに接触しないとともにセンサ３７はＯＮ状態
となり、案内溝１４ａが所定量以上摩耗すると、ローラ
３４がワイヤ１３ａに押されて検知バー３３が揺動して
センサ３７から離れ、センサ３７はＯＦＦ状態となる。
この場合、センサ３７のＯＦＦ状態を異常とするのでセ
ンサ３７のみが故障した場合も異常と検知する。また、
案内溝１４ａの摩耗が所定量に近づきワイヤ１３ａとロ
ーラ３４が接触した場合、ワイヤ１３ａがローラ３４を
押す力が押圧手段３６の押圧力を超えるまでは、センサ
３７がＯＮ状態を保ち異常とはされずワイヤ１３ａは走
行を継続するが、ローラ３４はワイヤ１３ａが接触する
とワイヤ１３ａによって回転するので、ローラ３４とワ
イヤ１３ａとが擦り合う力は非常に小さく、ローラ３４
やワイヤ１３ａが摩耗する恐れは極めて少ない。

【００１４】また、請求項２に記載の装置によれば、ガ
イドローラ１４の案内溝１４ａの正常状態時には、ロー
ラ４４はワイヤ１３ａに接触せずローラ４４は回転しな
いのでセンサ４５または４７の信号は変化せず、案内溝
１４ａが所定量以上摩耗すると、ローラ４４はワイヤ１
３ａによって回転されセンサ４５または４７からの信号
が所定量変化する。この場合、案内溝１４ａの摩耗が所
定量に近づきワイヤ１３ａとローラ３４が接触した場
合、ワイヤ１３ａがローラ４４を押す力が小さい状態で
は回転抵抗等によって回転軸４３が回転せず、磁気セン
サ４５や光電センサ４７の信号がすぐに変化しないが、
ワイヤ１３ａがローラ４４を押す力が小さければローラ
４４とワイヤ１３ａとが擦り合う力も非常に小さい。

【００１５】また、請求項３に記載の装置によれば、光
電センサ５１は非接触式であるので、ガイドローラ１４
の案内溝１４ａの正常状態時にも、案内溝１４ａが所定
量以上摩耗した場合にも、ワイヤ１３ａには接触しな
い。

【００１６】

【実施例】

実施例１ 本発明に係るワイヤソーのガイドローラ摩耗検知装置の
実施例１の要部を図１及び図２に示す。実施例１は請求
項１に記載の装置に該当するものである。図１は平面図
で、左側がガイドローラ１４の案内溝の正常状態時、図
１の右側がガイドローラ１４の案内溝が摩耗して検知さ
れた状態である。図２は正常状態時の正面図である。

【００１７】図１及び図２において、摩耗検知対象のガ
イドローラ１４の近傍にベース３１が設けられ、ベース
３１に軸３２が固着されている。軸３２には揺動自在に
検知バー３３が設けられ、検知バー３３のワイヤ１３ａ
側に回転自在にローラ３４が設けられている。ローラ３
４はポリウレタン等の耐摩耗性のすぐれたプラスチック
でできている。また、ベース３１には、ガイドローラ１
４の案内溝１４ａの正常状態時に、ローラ３４がワイヤ
１３ａに接触しないように、検知バー３３の位置を設定
するストッパ３５が設けられるとともに、検知バー３３
をストッパ３５に押しつける押圧手段（バネ等）３６が
設けられている。軸３２に対してワイヤ１３ａの反対側
のベース３１にマイクロスイッチ等のセンサ３７が設け
られており、センサ３７はガイドローラ１４の案内溝１
４ａの正常状態時にＯＮ状態になるように取り付けられ
ている。

【００１８】これによって、ガイドローラ１４の案内溝
１４ａの正常状態時には、ローラ３４がワイヤ１３ａに
接触しないとともにセンサ３７はＯＮ状態となり、案内
溝１４ａが所定量以上摩耗すると、ローラ３４がワイヤ
１３ａに押されて検知バー３３が揺動しセンサ３７はＯ
ＦＦ状態となる。この場合、ガイドローラ１４の案内溝
１４ａの正常状態時にはワイヤ１３ａにローラ３４から
の力が加わらないとともに、センサ３７のＯＦＦ状態を
異常とするのでセンサ３７のみが故障した場合にも異常
となり安全側に作用する。また、案内溝１４ａの摩耗が
所定量に近づきワイヤ１３ａとローラ３４が接触した場
合、ワイヤ１３ａがローラ３４を押す力が押圧手段３６
の押圧力を超えるまでは、センサ３７がＯＮ状態を保ち
異常とはされずワイヤ１３ａは走行を継続するが、ロー
ラ３４はワイヤ１３ａが接触するとワイヤ１３ａによっ
て回転するので、ローラ３４とワイヤ１３ａとが擦り合
う力は非常に小さく、ローラ３４やワイヤ１３ａが摩耗
するおそれは極めて少ない。

【００１９】実施例２ 本発明に係るワイヤソーのガイドローラ摩耗検知装置の
実施例２の要部を図３に示す。実施例２は請求項１に記
載の装置に該当するものである。図３は平面図で、ガイ
ドローラ１４の案内溝１４ａの正常状態時を表してい
る。正面図は図２に近似であるので省略する。実施例２
は実施例１に対して、奥行きを小さくするために検知バ
ー３３の形状をＬ形にしたところが異なっているだけで
あり、その他の部分は同一であるので、同一機能部品に
同一符号を付して説明は省略する。

【００２０】実施例３ 本発明に係るワイヤソーのガイドローラ摩耗検知装置の
実施例３の要部を図４及び図５に示す。実施例３は請求
項２に記載の装置に該当するものである。図４は正面図
で、ガイドローラ１４の案内溝１４ａの正常状態時を表
しており、図５が側面図である。図４及び図５におい
て、摩耗検知対象のガイドローラ１４の近傍に軸受け台
４１が設けられ、軸受け台４１にはベアリング４２が取
り付けられて、ベアリング４２には回転軸４３が回転自
在に支持されている。回転軸４３のベアリング４２に支
持されていない部分には円盤部４３ａが設けられ、円盤
部４３ａは磁性体で外周には切り欠き部４３ｂが形成さ
れている。また、回転軸４３のワイヤ１３ａ側にポリウ
レタン等の耐摩耗性のすぐれたプラスチックでできたロ
ーラ４４が固着されている。さらに、円盤部４３ａの上
方には磁気センサ４５が軸受け台４１に固着されてい
る。

【００２１】これによって、ガイドローラ１４の案内溝
１４ａの正常状態時には、ローラ４４はワイヤ１３ａに
接触しないが、案内溝１４ａが所定量以上摩耗すると、
ローラ４４にワイヤ１３ａが接触しワイヤ１３ａの移動
によって回転軸４３が回転する。回転軸４３が回転する
と円盤部４３ａの外周の切り欠き部４３ｂによって、磁
気センサ４５と円盤部４３ａの外周面の距離が変化し磁
気センサ４５の信号が変化するので、案内溝１４ａが所
定量以上摩耗したことが判別される。この場合、ガイド
ローラ１４の案内溝１４ａの正常状態時にはワイヤ１３
ａにローラ４４からの力が加わらない。また、案内溝１
４ａの摩耗が所定量に近づきワイヤ１３ａとローラ３４
が接触した場合、ワイヤ１３ａがローラ４４を押す力が
小さい状態では回転抵抗等によって回転軸４３が回転せ
ず、磁気センサ４５の信号が変化しないため異常とはさ
れないのでワイヤ１３ａは走行を継続するが、ワイヤ１
３ａがローラ４４を押す力が小さければローラ４４とワ
イヤ１３ａとが擦り合う力も非常に小さいので、ローラ
４４やワイヤ１３ａが摩耗するおそれは極めて少ない。

【００２２】実施例４ 本発明に係るワイヤソーのガイドローラ摩耗検知装置の
実施例４の要部を図６に示す。実施例４は請求項２に記
載の装置に該当するものである。図６は側面図で、正面
図は図４に近似であるので省略する。実施例４は実施例
３に対して、回転軸４３の回転を検知するセンサを光電
センサ４７としたところが異なっているだけである。す
なわち、回転軸４３には円盤部４３ａの代わりに外周付
近に穴やスリット（詳細図示せず）が形成された円盤４
６が取り付けられ、回転軸４３が回転すると光電センサ
４７の信号が変化する。これによって、案内溝１４ａが
所定量以上摩耗したことが判別される。この場合、回転
軸４３は磁性体でなくてもよい。その他の部分は同一で
あるので、同一機能部品に同一符号を付して説明は省略
する。

【００２３】実施例５ 本発明に係るワイヤソーのガイドローラ摩耗検知装置の
実施例５の要部を図７に示す。実施例５は請求項３に記
載の装置に該当するものである。図７は図１や図３と同
様の方向から見た平面図で、ガイドローラ１４の案内溝
１４ａが所定量以上摩耗した状態を表している。また、
正面図は省略している。図７において、摩耗検知対象の
ガイドローラ１４の近傍にベース５１が設けられ、ベー
ス５１には光電センサ５２が取り付けられる。光電セン
サ５２は、ガイドローラ１４の案内溝１４ａの正常状態
時にワイヤ１３ａを検知せず、ガイドローラ１４の案内
溝１４ａが所定量以上摩耗した場合にワイヤ１３ａを検
知する位置に設けられている。この場合、光電センサ５
２は非接触式であり、ガイドローラ１４の案内溝１４ａ
の正常状態時にも、案内溝１４ａが所定量以上摩耗して
も、ワイヤ１３ａには接触しない。したがって、ワイヤ
１３ａが摩耗するおそれはない。

【００２４】なお、実施例１及び２ではセンサ３７にマ
イクロスイッチを用いたが、これの代わりに磁気センサ
や光電センサ等によって検知バー３３の揺動を検知して
もよい。また、センサ３７の代わりに接点を設け、その
接点と検知バー３３との間に電気回路を構成して、ガイ
ドローラ１４の案内溝１４ａの正常状態時には電圧や電
流が検出され、案内溝１４ａが所定量以上摩耗した場合
には検知バー３３が接点から離れ回路が遮断されて電圧
や電流が検出されなくなる方法にしてもよい。さらに、
実施例３では円盤部４３ａの上方には磁気センサ４５を
設けて円盤部４３ａの外周面を検出対象にしたが、円盤
部４３ａの側面に磁気センサ４５を設けて円盤部４３ａ
の側面を検出対象にしてもよいし、実施例３のように円
盤部４３ａの上方に磁気センサ４５を設ける場合でも、
切り欠き部４３ｂの代わりに円盤部４３ａの外周面に穴
を明けてもよい。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るワイ
ヤソーのガイドローラ摩耗検出装置によれば、ガイドロ
ーラ１４の案内溝１４ａが摩耗すると、ガイドローラ１
４近傍のワイヤ１３ａがガイドローラ１４の内側に移動
することを検知してガイドローラ１４の案内溝１４ａの
摩耗を自動的に検知する。したがって、機械を停止させ
ることなく自動的にガイドローラの摩耗を検知すること
ができるワイヤソーのガイドローラ摩耗検知装置を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る実施例１の要部を示す平面図で、
左側がガイドローラ１４の案内溝が正常な状態、右側が
ガイドローラ１４の案内溝が摩耗して検知された状態

【図２】本発明に係る実施例１の要部を示す正面図（正
常状態）

【図３】本発明に係る実施例２の要部を示す平面図（正
常状態）

【図４】本発明に係る実施例３の要部を示す正面図（正
常状態）

【図５】本発明に係る実施例３の要部を示す側面図

【図６】本発明に係る実施例４の要部を示す側面図

【図７】本発明に係る実施例５の要部を示す平面図（案
内溝が摩耗して検知された状態）

【図８】一般的なワイヤソーの主要構成図

【符号の説明】

１３ａ……ワイヤ １４………ガイドローラ １４ａ……ガイドローラの案内溝 ３１………ベース ３２………軸 ３３………検知バー ３４………ローラ ３５………ストッパ ３６………押圧手段 ３７………センサ

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成６年６月２７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１０】すなわち、請求項１に記載の装置は、 （イ）ガイドローラ１４の近傍にベース３１を設ける。 （ロ）ベース３１に揺動自在に検知バー３３を設ける。 （ハ）検知バー３３のワイヤ１３ａ側に回転自在にロー
ラ３４を設ける。 （ニ）ガイドローラ１４の案内溝１４ａの正常状態時に
ローラ３４がワイヤ１３ａに接触せず、ガイドローラ１
４の案内溝１４ａが所定量以上摩耗した場合にワイヤ１
３ａに接触するように、検知バー３３の位置を設定する
ストッパ３５をベース３１に設ける。 （ホ）検知バー３３をストッパ３５に押しつける押圧手
段３６をベース３１に設ける。 （ヘ）ベース３１に、検知バー３３の揺動を検知するセ
ンサ３７を設ける。 以上のように構成した。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１３】

【作用】本発明に係るワイヤソーのガイドローラ摩耗検
出装置の請求項１に記載の装置によれば、ガイドローラ
１４の案内溝１４ａの正常状態時には、ローラ３４はワ
イヤ１３ａに接触せず、案内溝１４ａが所定量以上摩耗
すると、ローラ３４がワイヤ１３ａに押されて検知バー
３３が揺動してセンサ３７から離れ、センサ３７からの
信号が切り替わる。この場合、案内溝１４ａの摩耗が所
定量に近づきワイヤ１３ａとローラ３４が接触した場
合、ワイヤ１３ａがローラ３４を押す力が押圧手段３６
の押圧力を超えるまでは、センサ３７からの信号が切り
替わらないため異常とはされずワイヤ１３ａは走行を継
続するが、ローラ３４はワイヤ１３ａが接触するとワイ
ヤ１３ａによって回転するので、ローラ３４とワイヤ１
３ａとが擦り合う力は非常に小さい。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２４】なお、実施例１及び２ではセンサ３７にマ
イクロスイッチを用いたが、これの代わりに磁気センサ
や光電センサ等によって検知バー３３の揺動を検知して
もよい。また、センサ３７の代わりに接点を設け、その
接点と検知バー３３との間に電気回路を構成して、ガイ
ドローラ１４の案内溝１４ａの正常状態時には電圧や電
流が検出され、案内溝１４ａが所定量以上摩耗した場合
には検知バー３３が接点から離れ回路が遮断されて電圧
や電流が検出されなくなる方法にしてもよい。さらに、
実施例３では円盤部４３ａの上方には磁気センサ４５を
設けて円盤部４３ａの外周面を検出対象にしたが、円盤
部４３ａの側面に磁気センサ４５を設けて円盤部４３ａ
の側面を検出対象にしてもよいし、実施例３のように円
盤部４３ａの上方に磁気センサ４５を設ける場合でも、
切り欠き部４３ｂの代わりに円盤部４３ａの外周面に穴
を明けてもよい。また、実施例１及び２ではガイドロー
ラ１４の案内溝１４ａの正常状態時にセンサ３７がＯＮ
状態になるようにしたが、これと反対にガイドローラ１
４の案内溝１４ａの正常状態時にセンサ３７がＯＦＦ状
態になるようにしてもよい。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】砥粒を含むワイヤを走行させるとともに前
   記ワイヤに被加工物を押し当てて被加工物を薄板状に切
   断するワイヤソーにおける、前記ワイヤを案内するガイ
   ドローラの案内溝の摩耗を検知するガイドローラ摩耗検
   知装置であって、 前記ガイドローラの近傍に設けられたベースと、 前記ベースに揺動自在に設けられた検知バーと、 前記検知バーの前記ガイドローラ側に回転自在に設けら
   れたローラと、 前記ガイドローラの案内溝の正常状態時の前記検知バー
   の位置を設定するストッパと、 前記検知バーを前記ストッパに押しつける押圧手段と、 前記ベースに設けられ、前記検知バーの揺動を検知する
   センサと、 から構成され、 前記ガイドローラの案内溝の正常状態時に前記ローラが
   前記ガイドローラ近傍のワイヤに接触せず、ガイドロー
   ラの案内溝が所定量以上摩耗した場合に前記ガイドロー
   ラ近傍のワイヤに接触するように設定するとともに、前
   記ガイドローラの案内溝の正常状態時に前記センサがＯ
   Ｎ状態になるように設定したことを特徴とするワイヤソ
   ーのガイドローラ摩耗検知装置。
2. 【請求項２】砥粒を含むワイヤを走行させるとともに前
   記ワイヤに被加工物を押し当てて被加工物を薄板状に切
   断するワイヤソーにおける、前記ワイヤを案内するガイ
   ドローラの案内溝の摩耗を検知するガイドローラ摩耗検
   知装置であって、 前記ガイドローラの近傍に設けられた軸受け台と、 前記軸受け台に回転自在に設けられたローラと、 前記軸受け台に固着され、前記ローラの回転を検知する
   センサと、 から構成され、 前記ガイドローラの案内溝の正常状態時に、前記ローラ
   が前記ガイドローラ近傍のワイヤに接触せず、ガイドロ
   ーラの案内溝が所定量以上摩耗した場合に前記ガイドロ
   ーラ近傍のワイヤに接触するように設定したことを特徴
   とするワイヤソーのガイドローラ摩耗検知装置。
3. 【請求項３】砥粒を含むワイヤを走行させるとともに前
   記ワイヤに被加工物を押し当てて被加工物を薄板状に切
   断するワイヤソーにおける、前記ワイヤを案内するガイ
   ドローラの案内溝の摩耗を検知するガイドローラ摩耗検
   知装置であって、 前記ガイドローラ近傍に光電センサを設け、前記ガイド
   ローラの案内溝の正常状態時に前記ガイドローラ近傍の
   ワイヤを検知せず、前記ガイドローラの案内溝が所定量
   以上摩耗した場合に、前記光電センサで前記ガイドロー
   ラ近傍のワイヤを検知するように設定したことを特徴と
   するワイヤソーのガイドローラ摩耗検知装置。