JPH07301623A - 超音波画像形成装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、試料の欠陥位置を計算機上で管理す
ることができ、欠陥位置情報を後工程に正確に伝えられ
る装置の提供を目的とする。 【構成】試料に超音波を送信し、当該試料の表面及び内
部で反射した超音波を検出して電気信号に変換して画像
を形成し、その画像から欠陥検査を行う超音波画像形成
装置であって、試料の寸法，形状及び個数から試料形状
に応じた欠陥検査範囲及び当該欠陥検査範囲内において
欠陥判断単位となる単位領域を設定する検査範囲設定手
段１４ｂと、各単位領域に対して番号付けする番号付け
手段と、画素データから欠陥の有無を検査する欠陥検査
手段１４ｃと、番号づけされた各単位領域と検査結果と
を対応づけて前記検査結果を前記単位領域の番号で管理
する良否番号管理手段１４ｅとを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波を使って試料の
Ｂモード又はＣモード画像を形成する超音波画像形成装
置に係り、さらに詳しくは試料のＢモード又はＣモード
画像から欠陥を検出する機能を備えた超音波画像形成装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】試料の内部に超音波を送信すると共に、
該試料からの反射超音波を電気信号に変換し、その電気
信号から試料の内部構造等をＢモード（試料断面像），
Ｃモード（試料平面像）で画像化する超音波画像形成装
置がある。

【０００３】この超音波画像形成装置は、大型の試料
や，複数の試料を一度に画像化することができ、音響レ
ンズ等の焦点型の超音波探触子を使用することにより高
分解能な画像を形成することができる。このような高分
解能画像によれば試料内部に存在する小さなクラック，
気泡，剥離等の欠陥を併せて画像化することができる。

【０００４】最近は、試料の画像から欠陥を検出して欠
陥部分を疑似カラー等で色分け表示する超音波画像形成
装置が開発されている。また、形成画像上の欠陥部分の
範囲を指示してやることにより、欠陥部分の画素数を数
え、画像形成時の走査幅より求められる画素幅と前記画
素数とから欠陥部分の面積を計算するようにしたものが
考えられている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、多数のチッ
プで構成される半導体ウエハのような試料を欠陥検査の
対象とした場合、超音波画像形成装置を利用して半導体
ウエハを一度に画像化し、その画像内に存在する欠陥部
分を疑似カラー表示する。作業者は、検査結果が表され
た表示画像を見ながら疑似カラーで色分けされたチップ
（不良品）の位置を確認し、半導体ウエハ内から該当す
るチップを見つけ出して取り除いていた。その場で取り
除き作業を実施できない場合は、当該表示画像を写真等
で記録し、その後に記録画像を基にして不良チップを取
り除く作業を行っていた。

【０００６】しかしながら、作業者が表示画面又は記録
画像上の疑似カラー部分から半導体ウエハ上の該当チッ
プ位置を確認しなければならず、作業者に掛かる負担が
大きいと共に欠陥チップの位置認識の信頼性にも問題が
ある。

【０００７】また、従来の欠陥検査では、欠陥部分の面
積を計算するために作業者が欠陥部分の範囲を指定して
いたが、大量の試料を検査する場合には作業者の負担が
増大することになる。また、欠陥部分の範囲指定は画像
に合わせて行うため、本来の試料のある位置から外れた
り、指定した範囲の大きさ形状が、実際の欠陥部分から
ずれた場合には正確な面積が計算されないという問題が
ある。

【０００８】また、大型の試料は、一部分に欠陥があれ
ばその部分を取り除いた残りの部分を利用する場合があ
る。このような場合に、画像上では欠陥部分が疑似カラ
ー等により色分けされているために容易に認識できる
が、実際の試料上でどの位置に欠陥があるのか判らない
という不都合があった。

【０００９】本発明は、以上のような実情に鑑みてなさ
れたもので、検査範囲を簡単に設定することができ、試
料内の欠陥位置を計算機上で管理することができ、欠陥
位置情報を後工程に正確に伝えることのできる超音波画
像形成装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために以下のような手段を講じた。請求項１に対
応する本発明は、試料内部に超音波を送信し、当該試料
の表面及び内部で反射した超音波を検出して電気信号に
変換し、その電気信号から前記試料のＢモード又はＣモ
ード画像を形成し、その形成された画像から欠陥検査を
行う超音波画像形成装置において、試料の寸法，形状及
び個数から試料形状に応じた欠陥検査範囲及び当該欠陥
検査範囲内において欠陥判断単位となる単位領域をそれ
ぞれ設定する検査範囲設定手段と、前記検査範囲設定手
段で設定された前記各単位領域に対して番号付けする番
号付け手段と、前記欠陥検査範囲の画素データから欠陥
の有無を検査する欠陥検査手段と、前記番号付け手段に
より番号づけられた各単位領域と、前記欠陥検査手段で
検査された検査結果とを対応づけて前記検査結果を前記
単位領域の番号で管理する良否番号管理手段とを具備す
る。

【００１１】請求項２に対応する本発明は、前記良否番
号管理手段が、欠陥のある若しくは欠陥の無い又は全て
の単位領域の番号を検査結果に対応させて一覧表示す
る。請求項３に対応する本発明は、試料内部に超音波を
送信し、当該試料の表面及び内部で反射した超音波を検
出して電気信号に変換し、その電気信号から前記試料の
Ｂモード又はＣモード画像を形成し、その形成された画
像から欠陥検査を行う超音波画像形成装置において、試
料の寸法，形状及び個数から試料形状に応じた欠陥検査
範囲及び当該欠陥検査範囲内において欠陥判断単位とな
る単位領域をそれぞれ設定する検査範囲設定手段と、前
記Ｂモード又はＣモード画像が表示されたディスプレイ
上において前記検査範囲設定手段で設定された欠陥検査
範囲及び単位領域の各輪郭を前記画像に重ね合わせて表
示する重ね合わせ手段と、前記重ね合わせ手段により画
像上に重ねられた前記欠陥検査範囲を外部からの指定に
応じて補正する検査範囲補正手段と、前記検査範囲補正
手段で補正された検査範囲内の各単位領域に対して番号
付けする番号付け手段と、前記欠陥検査範囲の画素デー
タから欠陥の有無を検査する欠陥検査手段と、前記番号
付け手段により番号づけされた各単位領域の欠陥の有無
に応じて、単位領域の番号を一覧表示する良否番号一覧
表示手段とを具備する。

【００１２】

【作用】本発明は、以上のような手段を講じたことによ
り次のような作用を奏する。請求項１に対応する本発明
によれば、検査範囲設定手段に試料の寸法，形状及び個
数が入力されると、試料形状に応じた欠陥検査範囲及び
当該欠陥検査範囲内において欠陥判断単位となる単位領
域が設定される。その設定された各単位領域に対して番
号付け手段により番号付けがされる。そして、欠陥検査
手段により欠陥検査範囲の画素データから欠陥の有無が
検査されると、良否番号管理手段によって各単位領域と
検査結果とが対応づけられて検査結果が単位領域の番号
で管理されるものとなる。

【００１３】請求項２に対応する本発明によれば、良否
結果を番号で管理する良否番号管理の一形態として、欠
陥のある若しくは欠陥の無い又は全ての単位領域の検査
結果をそれぞれの番号に対応させたデータが一覧表示さ
れる。

【００１４】請求項３に対応する本発明によれば、検査
範囲設定手段に試料の寸法，形状及び個数が入力される
と、試料形状に応じた欠陥検査範囲及び当該欠陥検査範
囲内において欠陥判断単位となる単位領域が設定され
る。画像が表示されたディスプレイ上において欠陥検査
範囲及び単位領域の各輪郭が画像に重ね合わせられる。
画像上に重ねられた欠陥検査範囲がずれていれば、当該
欠陥検査範囲が外部からの指定に応じて補正される。そ
の補正された検査範囲内の各単位領域に対して番号付け
手段により番号付けがされる。そして、欠陥検査手段に
り欠陥検査範囲の画素データから欠陥の有無が検査され
ると、各単位領域の欠陥の有無に応じて、単位領域の番
号が一覧表示される。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１には本発明の一実施例に係る超音波画像形成装置の構
成が示されている。実施例の超音波画像形成装置は、電
気的なパルス信号をパルス波送信部１で発生しサーキュ
レータ２を介して音響レンズ３の一端面に取り付けてあ
るトランスデューサ４へ印加する。トランスデューサ４
による電気／音響変換によって発生した超音波を音響レ
ンズ３に入射し、音響レンズ３内を伝播した超音波を音
響レンズ３の他端面に形成したレンズ面より収束させて
試料５に入射させる。試料５が配置された水槽６には音
響レンズ３のレンズ面と試料５との間に超音波を伝播さ
せるためのカプラ液体７を満たしている。

【００１６】試料５に入射した超音波は試料５の試料表
面及び試料内部における弾性的性質により反射し、再び
音響レンズ３のレンズ面に入射する。音響レンズ３に入
射した試料５からの反射超音波をトランスデューサ４で
電気信号に変換し、サーキュレータ２を介して反射波受
信部８へ入力する。

【００１７】反射波受信部８は、試料５の所定深さ位置
の情報を電気信号から取り出すように動作する。この試
料５の所定深さ位置の情報をＡ／Ｄ変換部９でデジタル
信号に変換し画像の輝度情報として画像メモリ１０に記
憶する。

【００１８】１回の超音波送受信動作によって得られる
輝度情報は試料５の所定深さ位置の一点の情報である。
したがって、試料５の所定界面の２次元画像データを得
るためには、ステージ制御部１１により水槽６または音
響レンズ３を２次元走査し、所定のピッチ毎に上記超音
波送受信による輝度情報の収集動作を繰り返し、得られ
た輝度情報を画像メモリ１０に記憶する。このようにし
て画像メモリ１０に記憶された輝度情報を表示装置１２
に出力することにより試料５の所定界面の２次元画像が
表示される。また、試料の深さ位置の異なる複数の２次
元画像データを画像メモリ１０に格納し、所定の断層面
を構成する画像データのみを読出して表示することによ
り断層像を表示することができる。

【００１９】超音波による試料５の２次元走査から２次
元画像の表示までの動作はコンピュータ１３の内部メモ
リ１４に格納された画像形成プログラムにより制御され
る。コンピュータ１３の内部メモリ１４には、さらに検
査範囲設定プログラム１４ｂ，欠陥検査プログラム１４
ｃ，良否判定プログラム１４ｄ，良否番号管理プログラ
ム１４ｅが格納されている。

【００２０】コンピュータ１３は通信インターフェース
１５を介して外部装置１６に接続可能になっている。ま
た、コンピュータ１３にはデータを記憶するための外部
記憶装置１７，各種指示を入力するための外部入力装置
１８が接続されている。

【００２１】図４（ａ）は、シリコン等のウエハにチッ
プが構成されている試料Ｓの平面図を示している。以
下、この試料Ｓの欠陥検査を行う場合について説明す
る。先ず、画像形成プログラム１４ａを起動する。画像
形成プログラム１４ａは、表示部１２に試料の２次元画
像を表示するまでの公知の一連の処理ステップから構成
されいる。したがって、画像形成プログラム１４ａを起
動することにより試料Ｓが超音波により２次元走査さ
れ、それと同時に試料Ｓの所定深さの２次元画像データ
が画像メモリ１０に記憶され、さらに画像メモリ１０か
ら読み出された画像データにより表示部１２上に試料Ｓ
の所定深さの２次元画像が表示される。

【００２２】以上のようにして画像メモリ１０に試料Ｓ
の２次元画像データが記憶されたならば、外部入力装置
１８から入力された指示に基づいて検査範囲設定プログ
ラム１４ｂが起動される。図２は検査範囲設定プログラ
ム１４ｂの処理ステップを示すフローチャートである。

【００２３】ここで、シリコンウエハ等の試料Ｓはチッ
プサイズ，個数，位置が設計段階で予め決められてい
る。この試料Ｓの設計値を外部入力装置１８から入力す
る。試料Ｓの設計値より試料Ｓの欠陥検出範囲及び欠陥
有無の判断を行うべき最小範囲である単位領域の輪郭線
を求め、欠陥検出範囲及び単位領域の輪郭線をコンピュ
ータカラーグラフィック機能で色付けして表示部１２に
表示する。また、ウエハ全体を欠陥検出範囲とし、欠陥
検出範囲内の各画素が単位領域として設定することも可
能である。

【００２４】図４（ａ）に示す試料Ｓの設計値が入力さ
れた場合は、コンピュータ１３で計算される輪郭線は同
図（ｂ）に示すパターンとなる。欠陥検出範囲に不要部
分があれば、外部入力装置１８からチップ単位で指示す
ることにより指定された単位領域を図４（ｃ）に示すよ
うに削除して輪郭線の形状を変形する。図４（ｃ）の符
号２０はキャンセル部分を示している。

【００２５】次に、表示部１２上において外部入力装置
１８から欠陥検出範囲に対して始点が指定されると、そ
の始点を基準として欠陥検出範囲内の各単位領域（チッ
プ）に対して番号がつけられる。図４（ａ）に示す試料
Ｓの場合は、単位領域（チップ）が格子状に並んでいる
ため、図４（ｄ）に示すように各単位領域の番号を座標
番号で表すようにしている。

【００２６】そして、表示部１２上において試料Ｓの２
次元画像に欠陥検査範囲及び単位領域の輪郭を重ねる。
ここで、表示部１２上において試料Ｓの２次元画像と欠
陥検査範囲とがずれている場合は、外部入力装置１８か
ら入力される指示に基づいて両者が一致するように欠陥
検査範囲の位置が補正される。

【００２７】次に、欠陥検査プログラム１４ｃが起動さ
れる。欠陥検査プログラム１４ｃが起動されると、図３
に示すように既に番号付けされた単位領域の画素データ
を画像メモリ１０より読み込み所定の画像処理機能によ
り画素単位で欠陥検査する。また、欠陥検査プログラム
１４ｃと共に良否判定プログラム１４ｄが起動され、各
単位領域に対する欠陥検査プログラム１４ｃの検査結果
から各単位領域（チップ）の良否（欠陥の有無）を判定
する。

【００２８】さらに、欠陥検査プログラム１４ｃの動作
に伴い良否番号管理プログラム１４ｅが起動される。例
えば、図５に示すように画像内に欠陥部分２１，２２が
あれば、その欠陥部分に該当する全ての単位領域が不良
判定される。良否番号管理プログラム１４ｅは、良否判
定プログラム１４ｄによる良否判定の結果、欠陥のある
単位領域（チップ）が検出されると、図５に示す表示部
１２のＮＧ表示領域２３に不良判定された単位領域の番
号を一覧表示する。また、画像上における欠陥部分を疑
似カラー表示する。そして、各単位領域の良否結果と番
号とを対応させてコンピュータ１３の内部メモリ１４に
一時的に格納する。

【００２９】また、外部入力装置１８から指示があれ
ば、各単位領域の良否結果と番号とを対応させた良否番
号管理データを外部記憶装置１７に格納する。または、
通信インターフェース１５を介して外部装置１６へ転送
する。

【００３０】ところで、画素データから欠陥を検出する
手順は次のようになる。ここでは、図６を用いて反射波
に基づいて欠陥を検出する反射強度法による欠陥検査を
説明する。図６（ｂ）は同図（ａ）におけるＸ方向のラ
イン３２における画素の輝度レベルを示している。

【００３１】試料３０に欠陥３１ａ，３１ｂが形成され
ているとすれば、一般に欠陥部分３１ａ，３１ｂの輝度
レベルは試料内部構造（非欠陥部分）の輝度レベルに比
べて非常に高くなる。反射強度法では、試料内部構造の
輝度レベルよりも高く、且つ欠陥部分の輝度レベルより
も低い閾値３４を設定し、各画素の輝度レベルを１画素
単位で比較する。Ｘライン方向における各画素の比較検
査が終了したら、検査対象ラインをＹ方向に１ラインシ
フトさせて、再び同様の検査を実行する。この比較結果
が各単位領域内で検査され良否結果となる。

【００３２】このように本実施例によれば、試料の設計
値を入力するだけで欠陥検査範囲及び良否判定を行う単
位領域が自動的に設定されると共に各単位領域に対して
番号が付され、各単位領域の良否判定結果が単位領域の
番号で管理されるようにしたので、欠陥のある単位領域
（チップ）を簡単に抽出することができ、欠陥チップの
取り除き作業を正確かつ簡単に行うことができる。

【００３３】本実施例によれば、検査結果を蓄積できる
ので、不良品の傾向や発生場所を管理することにより、
前工程の不具合を発見することができる。また、検査結
果データを外部装置へ伝送することができるので、後工
程に正確にデータを伝えることができる。

【００３４】本実施例によれば、大型の試料の欠陥検査
を行う場合であっても、検出した欠陥部分の位置情報
（単位領域や各画素番号）を自動的に記憶するようにし
ているので、後からでも試料上の欠陥部位を簡単に特定
することができる。

【００３５】なお、上記実施例では良否番号の一覧表示
は、不良品の番号のみを表示しているが、良品の番号又
は双方の番号を区分けしてを表示するようにしても良
い。また、良否判定結果と共に欠陥検査範囲データを保
存するようにしても良い。

【００３６】また、図７（ａ）に示すように隣接する単
位領域間に間隔を設けるようにしたり、或いは同図
（ｂ）に示すように単位領域の形状を任意の形状にする
こともできる。

【００３７】また、上記実施例では単位領域に対する番
号付けを座標形式で行っていたが、例えば、図８（ａ）
に示すように単位領域の配列順に連続番号をつけるよう
にしたり、または同図（ｂ）に示すように各単位領域に
試料名称がある場合には、試料名称を付けるようにして
も良い。また、番号は数字以外にもアルファベット，記
号等を使用することができる。

【００３８】また、コンピュータ１３に装備しているフ
ロッピーディスク機構を使用して良否判定結果データを
直接ＲＡＭカード等に書き込むようにしても良い。とこ
ろで、上記した実施例では欠陥検査に反射強度法を使用
しているが、位相反転法を使用して欠陥検査を行うよう
に構成することもできる。

【００３９】図９は、位相反転法を採用した実施例の構
成を示している。なお、前述した図１に示す実施例と同
一部分には同一符号を付している。この実施例は、反射
波受信部８から出力される電気信号を波形位相検出部６
０に入力して試料反射波の波形位相を検出し、その検出
した波形位相データをオーバレイメモリ６１に書き込む
ように構成している。オーバレイメモリ６１に書き込む
オーバーレイデータ（波形位相データ）は画像メモリ１
０に書き込まれる画素データに対応している。そして、
コンピュータ１３が画像メモリ１０の画像データとオー
バレイメモリ６１の波形位相データとを表示部１２上に
重ねて表示する。

【００４０】ここで、位相反転法について図１０を参照
して説明する。図１０（ａ）に示す試料７０に照射され
た超音波の入射波７１は、試料表面で反射し表面反射波
７２となり、また試料内部の界面で反射して内部反射波
７３となる。試料内部に欠陥となる空気層７６がある
と、その部分に入射した入射波７４は表面反射波７５と
空気層７６との境界で反射する内部反射波７７となる。

【００４１】図１０（ｂ）は、表面反射波７２と内部反
射波７３の部分を切り出した電気信号の波形を示してい
る。また、図１０（ｃ）は内部に欠陥がある試料の反射
波形を示しており、８０は表面反射波７５の波形を示し
ており、８１は内部欠陥からの反射波７７の波形を示し
ている。波形７９と波形８１との比較から明らかなよう
に、内部欠陥の反射波８１は正常な部分の内部反射波７
９に対して波形の位相が１８０度反転している。これ
は、音響インピーダンスの関係から理解できることで、
音響インピーダンスの異なる物質の界面で反射される超
音波は、その超音波が音響インピーダンスの大きい物質
の層から入射された場合、界面で反射された超音波の位
相が１８０度反転することが知られている。また、この
逆の場合は、位相は反転しないことも知られている。こ
の位相反転を検出することにより欠陥部分を検出するこ
とができる。

【００４２】したがって、波形位相検出部６０では、こ
の位相反転を検出し欠陥データとしてオーバーレイメモ
リ６１の対応する画素位置に記録していく。そして、コ
ンピュータ２３により欠陥データを疑似カラーで色分け
して画像上に重ねて表示させる。

【００４３】なお、欠陥検査範囲を単位領域に区分して
番号を付し、オーバーレイメモリ６１のデータと単位領
域の番号とを対応させて良否判定結果（オーバーレイデ
ータ）を良否番号で管理するのは上記した実施例と同様
である。

【００４４】また、上述した反射強度法，位相反転法に
よる自動欠陥検出と人間系による欠陥検出とを組み合わ
せ、その欠陥検出結果を良否番号で管理するようにして
も良い。人間系による欠陥検出では、外部入力装置１８
から単位領域の指定を行いその番号をコンピュータ１３
が認識する。本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変形実施
可能である。

【００４５】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、検
査範囲を簡単に設定することができ、試料の欠陥位置を
計算機上で管理することができ、欠陥位置情報を後工程
に正確に伝えることのできる超音波画像形成装置を提供
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る超音波画像形成装置の
構成図である。

【図２】一実施例の超音波画像形成装置の動作の一部を
示すフローチャートである。

【図３】一実施例の超音波画像形成装置の動作の一部を
示すフローチャートである。

【図４】一実施例における欠陥検査範囲及び単位領域の
設定動作を示す図である。

【図５】良否判定結果を一覧表示した表示部の画面構成
の一例を示す図である。

【図６】反射強度法を説明するための図である。

【図７】単位領域の設定例を示す図である。

【図８】単位領域に対する番号付けの例を示す図であ
る。

【図９】本発明の他の実施例に係る超音波画像形成装置
の要部の構成図である

【図１０】位相反転法を説明するための図である。

【符号の説明】

１…パルス波送信部、２…サーキュレータ、３…音響レ
ンズ、４…トランスデューサ、５…試料、８…反射波受
信部、１０…画像メモリ、１１…ステージ制御部、１２
…表示部、１３…コンピュータ、１４…内部メモリ、１
５…通信インターフェース、１６…外部装置、１７…外
部記憶装置、１８…外部入力装置、６０…波形位相検出
部、６１…オーバーレイメモリ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料内部に超音波を送信し、当該試料の
   表面及び内部で反射した超音波を検出して電気信号に変
   換し、その電気信号から前記試料のＢモード又はＣモー
   ド画像を形成し、その形成された画像から欠陥検査を行
   う超音波画像形成装置において、 試料の寸法，形状及び個数から試料形状に応じた欠陥検
   査範囲及び当該欠陥検査範囲内において欠陥判断単位と
   なる単位領域をそれぞれ設定する検査範囲設定手段と、 前記検査範囲設定手段で設定された前記各単位領域に対
   して番号付けする番号付け手段と、 前記欠陥検査範囲の画素データの基となった反射波から
   欠陥の有無を検査する欠陥検査手段と、 前記番号付
   け手段により番号づけられた各単位領域と、前記欠陥検
   査手段で検査された検査結果とを対応づけて前記検査結
   果を前記単位領域の番号で管理する良否番号管理手段と
   を具備したことを特徴とする超音波画像形成装置。
2. 【請求項２】 前記良否番号管理手段は、欠陥のある若
   しくは欠陥の無い又は全ての単位領域の番号を検査結果
   に対応させて一覧表示することを特徴とする請求項１記
   載の超音波画像形成装置。
3. 【請求項３】 試料内部に超音波を送信し、当該試料の
   表面及び内部で反射した超音波を検出して電気信号に変
   換し、その電気信号から前記試料のＢモード又はＣモー
   ド画像を形成し、その形成された画像から欠陥検査を行
   う超音波画像形成装置において、 試料の寸法，形状及び個数から試料形状に応じた欠陥検
   査範囲及び当該欠陥検査範囲内において欠陥判断単位と
   なる単位領域をそれぞれ設定する検査範囲設定手段と、 前記Ｂモード又はＣモード画像が表示されたディスプレ
   イ上において前記検査範囲設定手段で設定された欠陥検
   査範囲及び単位領域の各輪郭を前記画像に重ね合わせて
   表示する重ね合わせ手段と、 前記重ね合わせ手段により画像上に重ねられた前記欠陥
   検査範囲を外部からの指定に応じて補正する検査範囲補
   正手段と、 前記検査範囲補正手段で補正された検査範囲内の各単位
   領域に対して番号付けする番号付け手段と、 前記欠陥検査範囲の画素データから欠陥の有無を検査す
   る欠陥検査手段と、 前記番号付け手段により番号づけされた各単位領域の欠
   陥の有無に応じて、単位領域の番号を一覧表示する良否
   番号一覧表示手段とを具備したことを特徴とする超音波
   画像形成装置。