JPH07302829A - 試料移動台 - Google Patents
試料移動台Info
- Publication number
- JPH07302829A JPH07302829A JP9610994A JP9610994A JPH07302829A JP H07302829 A JPH07302829 A JP H07302829A JP 9610994 A JP9610994 A JP 9610994A JP 9610994 A JP9610994 A JP 9610994A JP H07302829 A JPH07302829 A JP H07302829A
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- JP
- Japan
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- weight
- preload
- sample
- intermediate table
- sample moving
- Prior art date
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】クロスドローラーガイドを用いた、半導体製造
装置及び検査装置等の試料移動台で、テーブル自重の影
響を無くし、試料移動台の高精度化，長寿命化、及び組
み立て調整作業の簡略化を計ること。 【構成】図５に示すように中間テーブルに４個の自重キ
ャンセラー１８を設け、ローラーに直接中間テーブルの
自重がかからないようにした。この自重キャンセラー１
８はベアリング，板ばね及び荷重調節板からなり、中間
テーブル９にねじ込まれた調節ねじ１９で荷重調節板を
押し下げると軸を中心に板ばねが曲げられ、ベアリング
がベーステーブル８を押す力Ｆが増大する構造になって
いる。
装置及び検査装置等の試料移動台で、テーブル自重の影
響を無くし、試料移動台の高精度化，長寿命化、及び組
み立て調整作業の簡略化を計ること。 【構成】図５に示すように中間テーブルに４個の自重キ
ャンセラー１８を設け、ローラーに直接中間テーブルの
自重がかからないようにした。この自重キャンセラー１
８はベアリング，板ばね及び荷重調節板からなり、中間
テーブル９にねじ込まれた調節ねじ１９で荷重調節板を
押し下げると軸を中心に板ばねが曲げられ、ベアリング
がベーステーブル８を押す力Ｆが増大する構造になって
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は試料移動台に係り、特に
精密な移動を必要とする半導体製造装置、及び検査装置
等の試料移動台に関する。
精密な移動を必要とする半導体製造装置、及び検査装置
等の試料移動台に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、精密試料移動台の案内機構と
して、比較的安価で、組立が容易と言う点で、クロスド
ローラーガイドが多く使用されている。通常、このクロ
スドローラーガイドを使用する場合は図３，図４に示す
ように移動側レール１３と固定側レール１２の間に、ケ
ージ１４に支えられたローラー１５を挾み込み、固定側
レール１２を予圧ねじ１６の締め付けによりローラー１
５と両方のレールを密着させる。そうすることによって
テーブルを滑らかに、かつ精度良く移動できる。予圧量
は経験等により決定するか、または文献等を参考に決定
し、予圧ねじの呼び径と締め付けトルクで管理してい
る。
して、比較的安価で、組立が容易と言う点で、クロスド
ローラーガイドが多く使用されている。通常、このクロ
スドローラーガイドを使用する場合は図３，図４に示す
ように移動側レール１３と固定側レール１２の間に、ケ
ージ１４に支えられたローラー１５を挾み込み、固定側
レール１２を予圧ねじ１６の締め付けによりローラー１
５と両方のレールを密着させる。そうすることによって
テーブルを滑らかに、かつ精度良く移動できる。予圧量
は経験等により決定するか、または文献等を参考に決定
し、予圧ねじの呼び径と締め付けトルクで管理してい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の方法によると、
予圧荷重で自重Ｍｇのテーブルを持ち上げ、かつローラ
ー１５への加圧を行っている。したがってローラー１５
には常にテーブルの自重がかかっていて、適正な予圧を
かける際の妨げになっている。予圧がレール全体に均等
にかけられない原因になっている。またテーブルを組み
立てる際にはなんらかの方法を用いて、テーブルを持ち
上げて、固定側レール１２と移動側レール１３の高さを
一致させてから予圧をかけなければ予圧の不均一性が一
層顕著に表れてしまう。特にテーブルの重量が重くなれ
ばなるほどその不均一性がひどくなり、組立も難しくな
る。
予圧荷重で自重Ｍｇのテーブルを持ち上げ、かつローラ
ー１５への加圧を行っている。したがってローラー１５
には常にテーブルの自重がかかっていて、適正な予圧を
かける際の妨げになっている。予圧がレール全体に均等
にかけられない原因になっている。またテーブルを組み
立てる際にはなんらかの方法を用いて、テーブルを持ち
上げて、固定側レール１２と移動側レール１３の高さを
一致させてから予圧をかけなければ予圧の不均一性が一
層顕著に表れてしまう。特にテーブルの重量が重くなれ
ばなるほどその不均一性がひどくなり、組立も難しくな
る。
【０００４】またＸＹテーブルのようにテーブルが三段
重ね（下からベーステーブル，中間テーブル及びトップ
テーブル）になっている場合、ベーステーブルに中間テ
ーブルを組み込む時はローラーにかかる重量は中間テー
ブルの自重だけがかかり、その上にトップテーブルを組
み込むと、先のローラーには中間テーブルの自重とトッ
プテーブルの自重の両方がかかるため、予圧の適正化を
図るためには調整を二度行う必要があった。
重ね（下からベーステーブル，中間テーブル及びトップ
テーブル）になっている場合、ベーステーブルに中間テ
ーブルを組み込む時はローラーにかかる重量は中間テー
ブルの自重だけがかかり、その上にトップテーブルを組
み込むと、先のローラーには中間テーブルの自重とトッ
プテーブルの自重の両方がかかるため、予圧の適正化を
図るためには調整を二度行う必要があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明ではテーブルに、
そのテーブル自身の重量を打ち消す働きをする機構（弾
性機構）を設け、またその機構に少なくとも二段階の重
量に対応できるような調整機構を付加することによっ
て、上記問題点を解決した。
そのテーブル自身の重量を打ち消す働きをする機構（弾
性機構）を設け、またその機構に少なくとも二段階の重
量に対応できるような調整機構を付加することによっ
て、上記問題点を解決した。
【０００６】
【作用】上記機構によってテーブルは常にある一定の弾
性力で上方に持ち上げられていて、テーブルの自重とそ
の弾性力が釣り合う位置で固定側レール１２の高さと移
動側レール１３の高さが丁度一致するよう調整されてい
る。したがってローラー１５には、テーブルの自重が全
くかからず、予圧荷重だけが作用し、予圧量の削減が計
れ、レール全体に均一な予圧を付加することができる。
またＸＹテーブルのようにテーブルが三段重ね（下から
ベーステーブル，中間テーブル及びトップテーブル）に
なっている場合、中間テーブルに、中間テーブルの自重
を支える第一の荷重点と、中間テーブルの自重にトップ
テーブルの自重を加えた重量を支える第二の荷重点との
二段階の重量に対応できる弾性機構を設けることによっ
て、ベーステーブルに中間テーブルを組み込む時は第一
の荷重点を使用して予圧の調整を行い、その上にトップ
テーブルを組み込んだ後は第二の荷重点を使用する。こ
うすることによって再調整する必要は無くなり、組み立
て，調整作業が容易になる。
性力で上方に持ち上げられていて、テーブルの自重とそ
の弾性力が釣り合う位置で固定側レール１２の高さと移
動側レール１３の高さが丁度一致するよう調整されてい
る。したがってローラー１５には、テーブルの自重が全
くかからず、予圧荷重だけが作用し、予圧量の削減が計
れ、レール全体に均一な予圧を付加することができる。
またＸＹテーブルのようにテーブルが三段重ね（下から
ベーステーブル，中間テーブル及びトップテーブル）に
なっている場合、中間テーブルに、中間テーブルの自重
を支える第一の荷重点と、中間テーブルの自重にトップ
テーブルの自重を加えた重量を支える第二の荷重点との
二段階の重量に対応できる弾性機構を設けることによっ
て、ベーステーブルに中間テーブルを組み込む時は第一
の荷重点を使用して予圧の調整を行い、その上にトップ
テーブルを組み込んだ後は第二の荷重点を使用する。こ
うすることによって再調整する必要は無くなり、組み立
て，調整作業が容易になる。
【０００７】
【実施例】本発明の一実施例を図１，図２，図３，図
４，図５及び図６を使って説明する。
４，図５及び図６を使って説明する。
【０００８】図１に本発明を採用した電子線描画装置の
全体構成図を示す。電子線描画装置は、電子源１より放
出された電子線を電子光学系２によって試料１７上に収
束させ、試料１７に所望の位置に回路パターンを形成す
る装置である。試料１７は、試料交換装置５によって、
試料移動台４へ搬送され、試料移動台４に固定されてＸ
Ｙ平面内の任意の位置へ高速にかつ精度良く位置決めさ
れる。試料移動台４を納める試料室３及び、電子源１を
納めるチャンバーは真空ポンプ７によって高真空に保た
れる。
全体構成図を示す。電子線描画装置は、電子源１より放
出された電子線を電子光学系２によって試料１７上に収
束させ、試料１７に所望の位置に回路パターンを形成す
る装置である。試料１７は、試料交換装置５によって、
試料移動台４へ搬送され、試料移動台４に固定されてＸ
Ｙ平面内の任意の位置へ高速にかつ精度良く位置決めさ
れる。試料移動台４を納める試料室３及び、電子源１を
納めるチャンバーは真空ポンプ７によって高真空に保た
れる。
【０００９】図２に試料移動台４の詳細図を示す。高真
空に保たれた試料室３にベーステーブル８が固定されて
いる。そのベーステーブル８に固定側レール１２を取り
付け、その上に移動側レール１３を取り付けた中間テー
ブル９が、ローラー１５を介して搭載されている。中間
テーブル９の上には、前記ベーステーブル８に取り付け
た固定側レール１２に直交するように、固定側レール１
２ａが取り付けられ、中間テーブル９と同様な構造で、
トップテーブル１０が搭載されている。中間テーブル９
とトップテーブル１０はそれぞれ、駆動系１１ａ，１１
ｂに接続され、２つのテーブルが互いに直交する方向へ
移動する。
空に保たれた試料室３にベーステーブル８が固定されて
いる。そのベーステーブル８に固定側レール１２を取り
付け、その上に移動側レール１３を取り付けた中間テー
ブル９が、ローラー１５を介して搭載されている。中間
テーブル９の上には、前記ベーステーブル８に取り付け
た固定側レール１２に直交するように、固定側レール１
２ａが取り付けられ、中間テーブル９と同様な構造で、
トップテーブル１０が搭載されている。中間テーブル９
とトップテーブル１０はそれぞれ、駆動系１１ａ，１１
ｂに接続され、２つのテーブルが互いに直交する方向へ
移動する。
【００１０】図３に図２のＰ視図、図４に図３のＡ部詳
細図を示す。ベーステーブル８と中間テーブル９との間
の案内機構と、中間テーブル９とトップテーブル１０と
の間の案内機構とは構造が同じなので、前者のみ説明す
る。前述の構成において、移動側レール１３とローラー
１５，固定側レール１２とローラー１５とを密着させ、
案内精度を高めるため予圧ねじ１６で予圧力ｆを加え
る。通常ローラー１５は複数個からなり、間隔を一定に
保つため、ケージ１４で保持されている。ローラー１５
は、図４に示すように、ケージ１４の端からＮ番目とＮ
＋１番目では、ローラー１５の軸は傾きが９０°ずれて
いる。つまりローラー１５の軸は交互に反対向きに傾い
ている。ここで、予圧力ｆを加えると、Ｎ番目のローラ
ーはｆ1 の力で移動側レール１３を押し、中間テーブル
９を持ち上げるように作用する。反対にＮ＋１番目のロ
ーラーはｆ2 の力で、移動側レール１３を押し、中間テ
ーブル９を押し下げるように作用する。つまりｆ1 とｆ
2 の釣合いを考慮して予圧を与えなければ、テーブルに
無理な力が作用し、テーブルの安定走行に悪影響を及ぼ
したりローラーあるいはレールの寿命を短くする原因に
なる。
細図を示す。ベーステーブル８と中間テーブル９との間
の案内機構と、中間テーブル９とトップテーブル１０と
の間の案内機構とは構造が同じなので、前者のみ説明す
る。前述の構成において、移動側レール１３とローラー
１５，固定側レール１２とローラー１５とを密着させ、
案内精度を高めるため予圧ねじ１６で予圧力ｆを加え
る。通常ローラー１５は複数個からなり、間隔を一定に
保つため、ケージ１４で保持されている。ローラー１５
は、図４に示すように、ケージ１４の端からＮ番目とＮ
＋１番目では、ローラー１５の軸は傾きが９０°ずれて
いる。つまりローラー１５の軸は交互に反対向きに傾い
ている。ここで、予圧力ｆを加えると、Ｎ番目のローラ
ーはｆ1 の力で移動側レール１３を押し、中間テーブル
９を持ち上げるように作用する。反対にＮ＋１番目のロ
ーラーはｆ2 の力で、移動側レール１３を押し、中間テ
ーブル９を押し下げるように作用する。つまりｆ1 とｆ
2 の釣合いを考慮して予圧を与えなければ、テーブルに
無理な力が作用し、テーブルの安定走行に悪影響を及ぼ
したりローラーあるいはレールの寿命を短くする原因に
なる。
【００１１】しかし予圧ねじ１６はレールの長さに応じ
て複数個（本実施例では５０mmピッチで８本）配置され
ているため、レールを組み込む際には、この数本のねじ
を均一に締め込む必要がある。加えて中間テーブル９に
は当然、自重Ｍｇがあるため、予圧を与える際の妨げに
なったり、テーブルが移動する際には前述の力の不釣合
いをひきおこしテーブルの安定走行に悪影響を及ぼす。
て複数個（本実施例では５０mmピッチで８本）配置され
ているため、レールを組み込む際には、この数本のねじ
を均一に締め込む必要がある。加えて中間テーブル９に
は当然、自重Ｍｇがあるため、予圧を与える際の妨げに
なったり、テーブルが移動する際には前述の力の不釣合
いをひきおこしテーブルの安定走行に悪影響を及ぼす。
【００１２】そこで本発明では図５及び図６に示すよう
に中間テーブルに４個の自重キャンセラー１８を設け、
ローラー１５に直接中間テーブルの自重がかからないよ
うにした。この自重キャンセラー１８はベアリング１８
ａ，板ばね１８ｂ及び荷重調節板１８ｃからなり、中間
テーブル９にねじ込まれた調節ねじ１９で荷重調節板１
８ｃを押し下げると軸１８ｄを中心に板ばね１８ｂが曲
げられ、ベアリング１８ａがベーステーブル８を押す力
Ｆが増大する構造になっている。つまり調節ねじ１９の
ねじ込み量によって、ある範囲内のテーブル重量に対し
て対応できるようになっている。トップテーブル１０に
も同様の自重キャンセラー１８が取り付けられている。
に中間テーブルに４個の自重キャンセラー１８を設け、
ローラー１５に直接中間テーブルの自重がかからないよ
うにした。この自重キャンセラー１８はベアリング１８
ａ，板ばね１８ｂ及び荷重調節板１８ｃからなり、中間
テーブル９にねじ込まれた調節ねじ１９で荷重調節板１
８ｃを押し下げると軸１８ｄを中心に板ばね１８ｂが曲
げられ、ベアリング１８ａがベーステーブル８を押す力
Ｆが増大する構造になっている。つまり調節ねじ１９の
ねじ込み量によって、ある範囲内のテーブル重量に対し
て対応できるようになっている。トップテーブル１０に
も同様の自重キャンセラー１８が取り付けられている。
【００１３】本実施例によれば、中間テーブルに取り付
けた自重キャンセラー１８を調節して、Ｆの値を（トッ
プテーブルの自重Ｍｇ′＋中間テーブルの自重Ｍｇ）／
４に設定すれば、予圧量は全てテーブルの姿勢を安定さ
せるために使うことになり、予圧量は大幅に削減でき、
レール及びローラーの長寿命化が計れる。またテーブル
移動時のテーブル自重によるローラーへの負荷変動も低
減でき、精度の向上が計れる。さらに中間テーブルを組
み立てる際は、自重キャンセラー１８を調節してＦの値
を（中間テーブルの自重Ｍｇ）／４に設定することによ
り、テーブルの重量が組み立て作業の妨げになることは
なく、組み立て及び予圧の調整が容易になる。次にトッ
プテーブルを組み込んだ後、Ｆの値を（トップテーブル
の自重Ｍｇ′＋中間テーブルの自重Ｍｇ）／４に設定す
れば前述の効果がある試料移動台が組み立てられる。
けた自重キャンセラー１８を調節して、Ｆの値を（トッ
プテーブルの自重Ｍｇ′＋中間テーブルの自重Ｍｇ）／
４に設定すれば、予圧量は全てテーブルの姿勢を安定さ
せるために使うことになり、予圧量は大幅に削減でき、
レール及びローラーの長寿命化が計れる。またテーブル
移動時のテーブル自重によるローラーへの負荷変動も低
減でき、精度の向上が計れる。さらに中間テーブルを組
み立てる際は、自重キャンセラー１８を調節してＦの値
を（中間テーブルの自重Ｍｇ）／４に設定することによ
り、テーブルの重量が組み立て作業の妨げになることは
なく、組み立て及び予圧の調整が容易になる。次にトッ
プテーブルを組み込んだ後、Ｆの値を（トップテーブル
の自重Ｍｇ′＋中間テーブルの自重Ｍｇ）／４に設定す
れば前述の効果がある試料移動台が組み立てられる。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、テーブル自身の重量を
打ち消すことで、クロスドローラーガイドに適正予圧が
与えられ、試料移動台の精度の向上，長寿命化，組み立
て調整作業の簡略化が可能になる。
打ち消すことで、クロスドローラーガイドに適正予圧が
与えられ、試料移動台の精度の向上，長寿命化，組み立
て調整作業の簡略化が可能になる。
【図１】電子線描画装置の全体構成図である。
【図２】試料移動台の詳細図である。
【図３】図２のＰ視図である。
【図４】図３のＡ部詳細図である。
【図５】本発明の詳細図である。
【図６】自重キャンセラーを示す図である。
１…電子源、２…電子光学系、３…試料室、４…試料移
動台、５…試料交換装置、６…除振台、７…真空ポン
プ、８…ベーステーブル、９…中間テーブル、１０…ト
ップテーブル、１１ａ，１１ｂ…駆動系、１２…固定側
レール、１３…移動側レール、１４…ケージ、１５…ロ
ーラー、１６…予圧ねじ、１７…試料、１８…自重キャ
ンセラー、１８ａ…ベアリング、１８ｂ…板ばね、１８
ｃ…荷重調節板、１８ｄ…軸、１９…調節ねじ。
動台、５…試料交換装置、６…除振台、７…真空ポン
プ、８…ベーステーブル、９…中間テーブル、１０…ト
ップテーブル、１１ａ，１１ｂ…駆動系、１２…固定側
レール、１３…移動側レール、１４…ケージ、１５…ロ
ーラー、１６…予圧ねじ、１７…試料、１８…自重キャ
ンセラー、１８ａ…ベアリング、１８ｂ…板ばね、１８
ｃ…荷重調節板、１８ｄ…軸、１９…調節ねじ。
Claims (2)
- 【請求項１】固定用ベーステーブルと、前記ベーステー
ブル上を一方向に移動可能な中間テーブルと、前記中間
テーブルを一方向に移動可能で試料を保持する手段を有
したトップテーブルと、前記ベーステーブルと中間テー
ブルとの摺動機構としてのクロスドローラーガイドと、
前記中間テーブルとトップテーブルとの摺動機構として
のクロスドローラーガイドと、前記各テーブルを駆動す
る駆動機構と、各駆動機構を制御する制御系からなる試
料移動台において、前記中間テーブルとトップテーブル
とに各々の自重を打ち消す為の機構を設け、前記クロス
ドローラーガイドへ適正予圧を与えられる構造としたこ
とを特徴とする試料移動台。 - 【請求項２】前記中間テーブルの自重を打ち消す為の機
構には、少なくとも二段階の荷重設定が可能であること
を特徴とする請求項１記載の試料移動台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9610994A JPH07302829A (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 試料移動台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9610994A JPH07302829A (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 試料移動台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07302829A true JPH07302829A (ja) | 1995-11-14 |
Family
ID=14156228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9610994A Pending JPH07302829A (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 試料移動台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07302829A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6452091B1 (en) | 1999-07-14 | 2002-09-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing thin-film single-crystal device, solar cell module and method of producing the same |
-
1994
- 1994-05-10 JP JP9610994A patent/JPH07302829A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6452091B1 (en) | 1999-07-14 | 2002-09-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing thin-film single-crystal device, solar cell module and method of producing the same |
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