JPH07303381A

JPH07303381A - 静電アクチュエータ

Info

Publication number: JPH07303381A
Application number: JP6093299A
Authority: JP
Inventors: Nobuyuki Kabei; 信之壁井; Kiichi Tsuchiya; 喜一土屋; Tomohiro Murayama; 知寛村山
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1994-05-02
Filing date: 1994-05-02
Publication date: 1995-11-14

Abstract

(57)【要約】【目的】高出力で、しかも任意の方向に出力を取り出す
ことができ、実用に耐え得る静電アクチュエータを提供
することにある。【構成】複数対の電極を有した固定子２と、この固定子
２の内部に挿入され軸方向に移動自在な棒状の可動子３
とからなり、固定子２および可動子３の軸方向の両端側
に、一端が可動子３に連結され他端が固定子２に連結さ
れるベローズ４，５を設けて密封構造とし、この内部に
液体６を封入したことにある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、精密測定器、精密加
工機、ロボット、自動車機器部品、家庭電化製品、オフ
ィスオートメーション機器、医療福祉機器等の機器の駆
動に用いる静電アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】静電力を利用して負荷の駆動を行うよう
にした静電アクチュエータは、例えば特開昭６４−７４
０７１号公報、特開平４−２８５４７８号公報等で知ら
れている。しかしながら、静電アクチュエータは、電極
間隔が大きくなると十分な出力が得られない。また電極
間隔を近づけると、より大きな出力が得られるが、電極
間で電流がリークしてアクチュエータが破壊されたり、
駆動部の摩擦抵抗により実効出力の大幅な低下を招来す
る。

【０００３】したがって、電極間隔を適切な距離に保た
なくてはならない。しかし、電極間隔の維持管理はミリ
メートルオーダ以上のストロークを持つ運動をさせる場
合は非常に困難な問題であり、実用に供することのでき
る程度の出力を持つものは、いまだ製作されていない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】そこで、アクチュエー
タの内部を絶縁性の高い液体や比誘電率の高い液体ある
いはゲルで満たし、アクチュエータの出力を高める試み
がなされているが、現在のところ、容器内に液体を満た
し、その中にアクチュエータを沈めて動作させているた
め、任意の方向に出力が取り出しにくく、特殊な用途を
除き実用性は高くないと言える。また、アクチュエータ
内へ塵埃が混入してしまうという問題がある。

【０００５】また、リニアアクチュエータでは可動子の
出入りによりアクチュエータ内部の容積が変化するた
め、アクチュエータ内部の圧力が変化しアクチュエータ
の出力を大幅に削減するか、気体が混入して出力低下や
動作不良を招きやすい。

【０００６】また、滑り対偶をするシール機構を用いる
構造にした場合は容積変化を防ぐことはできるが、他の
直線運動機構のシールの場合と同様に、可動子に付着し
て外部に運び出される液体を完全に除去することが困難
で、時間とともに液体の体積減少ももたらす。また、シ
ール構造を通過する際の摩擦力で出力が低下する。

【０００７】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、アクチュエータの内
部に封入した液体の体積を変化させることなく、高出力
で、しかも任意の方向に出力を取り出すことができ、実
用に耐え得る静電アクチュエータを提供することにあ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するために、請求項１は、複数対の電極を有した固
定子と、この固定子の内部に挿入され軸方向に移動自在
な可動子と、前記固定子および可動子の軸方向の両端側
に設けられ一端が可動子に連結され他端が固定子に連結
され、内部に充填剤を封入して密封する弾性シール部材
とから静電アクチュエータを構成したことにある。

【０００９】好ましくは、請求項１において、前記固定
子は、その軸方向に複数の電極が所定ピッチで配置さ
れ、前記可動子は、その軸方向に高誘電率部分と低誘電
率部分が交互に配置されていることを特徴とする。

【００１０】さらに好ましくは、請求項１において、前
記固定子は、平行状態に配設された複数個からなり、こ
れら固定子の内部にそれぞれ可動子が軸方向に移動自在
に挿入されていることを特徴とする。さらに、好ましく
は、請求項１において、弾性シール部材は、伸縮自在な
ベローズであることを特徴とする。

【００１１】また、請求項５は、シリンダと、このシリ
ンダの内部に設けられた固定子と、この固定子の内部に
挿入され軸方向に移動自在な可動子と、前記シリンダお
よび可動子の軸方向の両端側に設けられ一端が可動子に
連結され他端がシリンダに連結され、内部に充填剤を封
入して密封する弾性シール部材とから静電アクチュエー
タを構成したことにある。

【００１２】好ましくは、請求項６において、請求項５
の弾性シール部材は、ベロフラムであることを特徴とす
る。また、請求項７は、軸方向および径方向に伸縮自在
な静電アクチュエータ本体と、この静電アクチュエータ
本体の軸方向の両端部に接触してこの静電アクチュエー
タ本体を包容すると共に、内部に充填剤を封入して密封
する弾性シール部材とから静電アクチュエータを構成し
たことにある。

【００１３】請求項８は、請求項７の静電アクチュエー
タ本体は、少なくとも一対の対向配置された電極支持体
と、前記各電極支持体に設けられ互いに対面する対をな
す電極と、対向する電極支持体の各端部を連結する弾性
部材とを有する単位静電アクチュエータをその変位方向
に複数連結した結合体であることを特徴とする。

【００１４】

【作用】請求項１は、固定子および可動子の軸方向の両
端側に、内部に封入した充填剤を密封する弾性シール部
材を設けているため、可動子の動きに伴う容積変化がな
く、アクチュエータの内部の圧力が変化しないため、出
力の減衰がないと共に、塵埃の混入を抑えることができ
る。

【００１５】

【実施例】以下、この発明の各実施例を図面に基づいて
説明する。図１および図２は第１の実施例を示し、１は
静電アクチュエータである。この静電アクチュエータ１
には後述する複数の電極を有する絶縁体からなる円筒状
の固定子２が設けられ、この固定子２の内部には軸方向
に移動自在な後述する誘電体からなる直方体状の可動子
３が挿入されている。さらに、静電アクチュエータ１の
両端部には弾性シール部材としてのベローズ４，５が設
けられている。

【００１６】ベローズ４，５は一端が閉塞された円筒状
で、その外周面に軸方向に伸縮自在な波状部４ｘ，５ｘ
を有している。ベローズ４，５の閉塞端４ａ，５ａは可
動子３の両端に固定され、開放端４ｂ，５ｂは固定子２
の開放端に固定されている。したがって、静電アクチュ
エータ１は完全密封された構造で、内部には誘電率が高
く潤滑性の高い固体、ゲルあるいは液体等の充填剤６が
封入されている。

【００１７】前記固定子２および可動子３について説明
を加えると、図２に示すように、互いに対向する一対の
電極８，９が固定子２の軸方向に所定ピッチで複数組配
置されている。これら複数組の各電極８，９の電極面８
ａ，９ａは略平行に向き合っている。また、一方の電極
８の端子８ｂは切換えスイッチ１０を介して直流電源１
１のプラス側に、他方の電極９の端子９ｂは直流電源１
１のマイナス側に接続されている。

【００１８】前記可動子３は、誘電体からなり直方体状
で、その厚さを略一定に形成しており、その軸方向に高
誘電率部分３ａと低誘電率部分３ｂが交互に配置されて
いる。そして、本実施例では前記電極８，９の幅ａと配
置ピッチｂ、高誘電率部分３ａと低誘電率部分３ｂの幅
ｃおよび配置ピッチｄの関係を、電極幅ａ：電極配置ピ
ッチｂ：高誘電率部分幅ｃ（低誘電率部分配置ピッ
チ）：低誘電率部分幅ｄ（高誘電率部分配置ピッチ）＝
４：２：４：３に設定している。

【００１９】次に、第１の実施例の作用について説明す
る。図１（ａ）は可動子３が固定子２に対して中立位置
（ベローズ４，５は略同程度伸長した状態）にある状態
を示す。切換えスイッチ１０を順次切換え操作して直流
電源１１から電極８，９に電圧を印加すると、電極８，
９同士の間に働く吸引力と、電極８，９と可動子３とに
働く吸引力とが発生し、同図（ｂ）に示すように、可動
子３が固定子２に対して左方向に移動する。したがっ
て、右側のベローズ５は収縮し、左側のベローズ４は伸
長した状態になる。

【００２０】このとき、可動子３が移動する間、ベロー
ズ４の内容積とベローズ５の内容積の和は常に一定であ
る。同図（ｃ）は可動子３が固定子２に対して右方向に
移動した状態で、左側のベローズ４は収縮し、右側のベ
ローズ５は伸長した状態になる。

【００２１】このとき、可動子３が移動する間、ベロー
ズ４の内容積とベローズ５の内容積の和は常に一定であ
る。以上のように静電アクチュエータ１の内部の容積を
変えることなく、可動子３を直線運動させることがで
き、液体６を完全に密封した状態に保つことができる。

【００２２】したがって、可動子３の軸方向の往復運動
を、精密測定器、精密加工機、ロボット、自動車機器部
品、家庭電化製品、オフィスオートメーション機器、医
療福祉機器等の機器の駆動に用いることができる。

【００２３】図３は第２の実施例を示し、第１の実施例
と同一構成部分は同一番号を付して説明を省略する。図
中１７は、固定子２および可動子３を包容する円筒状の
シリンダであり、この長手方向の中間部には固定子２の
中間部を支持する固定子支持体１８が設けられている。

【００２４】可動子３の両端部にはキャップ状のピスト
ン１９，２０が設けられ、このピストン１９，２０には
弾性シール部材としてのベロフラム２１，２２の閉塞端
１９ａ，２０ａが固定され、この開放端１９ｂ，２０ｂ
はシリンダ１７の開放端に固定されている。したがっ
て、静電アクチュエータ２３は完全密封された構造で、
内部には充填剤としての液体６が封入されている。

【００２５】前記固定子２および可動子３には、図２に
示すように、互いに対向する一対の電極８，９が固定子
２の軸方向に所定ピッチで複数組配置されている。これ
ら複数組の各電極８，９の電極面８ａ，９ａは略平行に
向き合っている。また、一方の電極８の端子８ｂは切換
えスイッチ１０を介して直流電源１１のプラス側に、他
方の電極９の端子９ｂは直流電源１１のマイナス側に接
続されている。

【００２６】前記可動子３は、誘電体からなり直方体状
で、その厚さを略一定に形成しており、その軸方向に高
誘電率部分３ａと低誘電率部分３ｂが交互に配置されて
いる。そして、本実施例でも前述の第１の実施例と同様
に、前記電極８，９の幅ａと配置ピッチｂ、高誘電率部
分３ａと低誘電率部分３ｂの幅ｃおよび配置ピッチｄの
関係を、電極幅ａ：電極配置ピッチｂ：高誘電率部分幅
ｃ（低誘電率部分配置ピッチ）：低誘電率部分幅ｄ（高
誘電率部分配置ピッチ）＝４：２：４：３に設定してい
る。

【００２７】次に、第２の実施例の作用について説明す
る。図３（ａ）は可動子３が固定子２に対して中立位置
（ベローズ４，５は略同程度伸長した状態）にある状態
を示す。ベロフラム２１，２２は略同程度ローリングし
た状態にあり、同図（ｂ）は可動子３が固定子２に対し
て左方向に移動した状態で、ピストン１９，２０もこの
動きにつれて左方向に移動する。ベロフラム２１，２２
も左方向に移動するが、この間、シリンダ１７とピスト
ン１９，２０およびベロフラム２１，２２によって囲ま
れた内容積の和は常に一定である。同図（ｃ）は可動子
３が固定子２に対して右方向に移動した状態で、ピスト
ン１９，２０もこの動きにつれて右方向に移動する。ベ
ロフラム２１，２２も右方向に移動するが、この間、シ
リンダ１７とピストン１９，２０およびベロフラム２
１，２２によって囲まれた内容積の和は常に一定であ
る。以上のように静電アクチュエータ２３の内部の容積
を変えることなく、可動子３を直線運動させることがで
き、液体６を完全に密封した状態に保つことができる。

【００２８】前述した第１および第２の実施例では、電
極の幅と配置ピッチ、高誘電率部分と低誘電率部分の幅
および配置ピッチの関係を、電極幅：電極配置ピッチ：
高誘電率部分幅（低誘電率部分配置ピッチ）：低誘電率
部分幅（高誘電率部分配置ピッチ）＝４：２：４：３に
設定したものについて説明したが、この関係に限定され
るものではなく、固定しに対して可動子が軸方向に移動
可能であれば、同様の動作・作用・効果を得ることがで
きる。

【００２９】図４〜図６は第３の実施例を示し、図中２
４ｂは単位静電アクチュエータで、剛性を有する電極支
持体２５，２６が互いに対向して設けられている。電極
支持体２５，２６は、両端部がそれぞれ等しいばね定数
を有する半円弧状の板ばね製のスペーサ２７，２８を介
して連結され、互いに所定間隔を存して平行するように
配置されている。さらに、電極支持体２５，２６には対
をなす電極２９，３０が互いに対面する状態に固定され
ている。

【００３０】前述のように構成された単位静電アクチュ
エータ２４ｂにおいて、図５（ｂ）に示すように、電極
２９，３０間に直流電源３１の電圧をスイッチ３２を介
して印加し、これら電極２９，３０で構成されるコンデ
ンサを充電すると、電極２９，３０間に吸引力が発生し
て電極支持体２５，２６を互いに近付けようとする力が
作用する。このとき、両電極２９，３０が設けられた各
電極支持体２５，２６は、比較的剛性が高いと共に、こ
れらの両端がそれぞれ等しいばね定数の板ばねからなる
スペーサ２７，２８を介して連結されているから、前記
各電極支持体２５，２６は、スペーサ２７，２８の屈曲
変形に伴い電極２９，３０と共に互いに近接方向へ平行
に変位する。

【００３１】そして、電極支持体２５，２６等を変位さ
せる力は、電極２９，３０間の吸引力（静電力）とスペ
ーサ２７，２８の屈曲変形に伴う弾性反発力が均衡する
まで作用する。

【００３２】この場合、両電極２９，３０間の距離は、
前記コンデンサに蓄えられる静電エネルギの大きさ、ひ
いては電極２９，３０間に対する電圧印加時間に応じた
量だけ変化するものであり、したがって、電極２９，３
０間の距離を、その電極２９，３０間に対する電圧印加
時間によって制御することができる。

【００３３】また、同図（ａ）に示すように、スイッチ
３２によって電極２９，３０間を短絡したときには電極
２９，３０で構成するコンデンサに蓄えられた静電エネ
ルギが放出されて電極２９，３０間の吸引力が消失する
ため、各電極支持体２５，２６はスペーサ２７，２８の
弾性反発力によって原位置に戻るようになる。

【００３４】図４中２４は、前述した単位静電アクチュ
エータ２４ｂの変位方向に多数配列させて構成した静電
アクチュエータ本体である（図６参照）。同図（ａ）は
この静電アクチュエータ本体２４が軸方向に伸長してい
る状態（図６（ａ）参照）で、弾性膜２４ａは長手方向
に伸長している。また、同図（ｂ）は静電アクチュエー
タ本体２４が軸方向に収縮した場合（図６（ｂ）参照）
で、弾性膜２４ａは長い方向には収縮するが、円周方向
には膨張することで、液体の体積変化をせずに済むよう
になっている。

【００３５】図７は第４の実施例を示し、第３の実施例
における静電アクチュエータ本体２４がケーシング３５
に組み込まれている。ケーシング３５には横軸筒体３６
とこれと直交する縦軸筒体３７を有している。ケーシン
グ３５の横軸筒体３６には前記静電アクチュエータ本体
２４が挿入されている。この静電アクチュエータ２４は
軸方向に伸縮自在であり、両端には弾性シール部材とし
てのベローズ３８，３９の閉塞端３８ａ，３９ａが固定
され、この開放端３８ｂ，３９ｂは横軸筒体３６の開放
端に固定されている。

【００３６】前記ケーシング３５の縦軸筒体３７の開放
端にはベローズ４０，４１の開放端４０ｂ，４１ｂが固
定され、静電アクチュエータ本体２４は完全密封された
構造で、内部には充填剤としての液体６が封入されてい
る。

【００３７】図７（ａ）は静電アクチュエータ本体２４
が伸長した状態で、ベローズ３８，３９は略同程度伸長
した状態であり、ベローズ３８と３９の内容積は増加し
ている。これに対し、縦軸筒体３７に設けられたベロー
ズ４０，４１は収縮して容積を減少させることで、静電
アクチュエータ本体２４内に充填されている液体６の体
積を変えることなく静電アクチュエータ本体２４を駆動
することができる。以上のように静電アクチュエータ本
体２４の内部の容積を変えることなく、静電アクチュエ
ータ本体２４を直線運動させることができ、液体６を完
全に密封した状態に保つことができる。

【００３８】図８は第５の実施例を示し、第１の実施例
の変形例であり、第１の実施例と同一構成部分は同一番
号を付して説明を省略する。４２は静電アクチュエータ
１のケーシングであり、このケーシング４２の内部には
円筒状の複数個の固定子２…が平行状態に配設されてい
る。これら固定子２…の内部には軸方向に移動自在な可
動子３…が挿入されている。さらに、ケーシング４２の
両端部には弾性シール部材としてのベローズ４，５が設
けられている。

【００３９】ベローズ４，５は閉塞端４ａ，５ａは可動
子３…の両端に固定され、開放端４ｂ，５ｂはケーシン
グ４２の開放端に固定されている。したがって、静電ア
クチュエータ１は完全密封された構造で、内部には充填
剤としての液体６が封入されている。

【００４０】図８（ａ）は可動子３…が固定子２…に対
して中立位置にある場合で、ベローズ４，５は略同程度
伸長した状態にあり、第１の実施例と同様の作用により
同図（ｂ）に示すように可動子３…が固定子２…に対し
て左方向に移動した状態で、右側のベローズ５は収縮
し、左側のベローズ４は伸長した状態になる。このと
き、可動子３…が移動する間、ベローズ４の内容積とベ
ローズ５の内容積の和は常に一定である。同図（ｃ）は
可動子３…が固定子２…に対して右方向に移動した状態
で、左側のベローズ４は収縮し、右側のベローズ５は伸
長した状態になる。このとき、可動子３が移動する間、
ベローズ４の内容積とベローズ５の内容積の和は常に一
定である。以上のように静電アクチュエータ１の内部の
容積を変えることなく、可動子３…を直線運動させるこ
とができ、液体６を完全に密封した状態に保つことがで
きる。

【００４１】この実施例のように、ケーシング４２の内
部には複数個の固定子２…を平行状態に配設し、これら
固定子２…の内部に軸方向に移動自在な可動子３…を挿
入することにより、大きな駆動力を得ることができると
共に、ベローズ４，５を単独に設ける必要がなく、構成
の簡素化を図ることができる。

【００４２】図９は第６の実施例を示し、第２の実施例
の変形例であり、第２の実施例と同一構成部分は同一番
号を付して説明を省略する。４３は静電アクチュエータ
２３のシリンダあり、円筒状に構成されている。このシ
リンダ４３の内部には円筒状の複数個の固定子２…が平
行状態に配設されている。これら固定子２…の内部には
軸方向に移動自在な可動子３…が挿入されている。シリ
ンダ４３の長手方向の中間部には固定子２…の中間部を
支持する固定子支持体１８が設けられている。

【００４３】可動子３の両端部にはキャップ状のピスト
ン１９，２０が設けられ、このピストン１９，２０には
弾性シール部材としてのベロフラム２１，２２の一端２
１ａ，２２ａが固定され、この他端２１ｂ，２２ｂはシ
リンダ４３の開放端に固定されている。したがって、静
電アクチュエータ２３は完全密封された構造で、内部に
は充填剤としての液体６が封入されている。

【００４４】図９（ａ）は可動子３…が固定子２…に対
して中立位置にある場合で、ベロフラム２１，２２は略
同程度ローリングした状態にあり、同図（ｂ）は可動子
３が固定子２に対して左方向に移動した状態で、ピスト
ン１９，２０もこの動きにつれて左方向に移動する。ベ
ロフラム２１，２２も左方向に移動するが、この間、シ
リンダ４３とピストン１９，２０およびベロフラム２
１，２２によって囲まれた内容積の和は常に一定であ
る。同図（ｃ）は可動子３が固定子２に対して右方向に
移動した状態で、ピストン１９，２０もこの動きにつれ
て右方向に移動する。ベロフラム２１，２２も右方向に
移動するが、この間、シリンダ４３とピストン１９，２
０およびベロフラム２１，２２によって囲まれた内容積
の和は常に一定である。以上のように静電アクチュエー
タ２３の内部の容積を変えることなく、可動子３を直線
運動させることができ、液体６を完全に密封した状態に
保つことができる。

【００４５】この実施例のように、シリンダ４３の内部
には複数個の固定子２…を平行状態に配設し、これら固
定子２…の内部に軸方向に移動自在な可動子３…を挿入
することにより、大きな駆動力を得ることができると共
に、ベロフラム２１，２２を単独に設ける必要がなく、
構成の簡素化を図ることができる。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、アクチュエータの内部に封入した液体の体積を変化
させることなく、高出力で、しかも任意の方向に出力を
取り出すことができ、可動子の軸方向の往復運動を、精
密測定器、精密加工機、ロボット、自動車機器部品、家
庭電化製品、オフィスオートメーション機器、医療福祉
機器等の機器の駆動に用いることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施例を示す静電アクチュエ
ータの動作状態を示す縦断側面図。

【図２】同実施例の作用説明図。

【図３】この発明の第２の実施例を示す静電アクチュエ
ータの動作状態を示す縦断側面図。

【図４】この発明の第３の実施例を示す静電アクチュエ
ータの作用説明図。

【図５】同実施例の静電アクチュエータを構成する単位
静電アクチュエータの動作状態を示す縦断側面図。

【図６】同実施例の静電アクチュエータの動作説明図。

【図７】この発明の第４の実施例で、第３の実施例の変
形例を示す静電アクチュエータの動作状態の縦断側面
図。

【図８】この発明の第５の実施例で、第１の実施例の変
形例を示す静電アクチュエータの動作状態の縦断側面
図。

【図９】この発明の第６の実施例で、第２の実施例の変
形例を示す静電アクチュエータの動作状態の縦断側面
図。

【符号の説明】

１…静電アクチュエータ２…固定子３…可動子３ａ…高誘電率部分３ｂ…低誘電率部分４，５…ベローズ６…液体

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【手続補正書】

【提出日】平成６年５月９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図７

【補正方法】変更

【補正内容】

【図７】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数対の電極を有した固定子と、この固
定子の内部に挿入され軸方向に移動自在な誘電体からな
る可動子と、前記固定子および可動子の軸方向の両端側
に設けられ一端が可動子に連結され他端が固定子に連結
され、内部に充填剤を封入して密封する弾性シール部材
とを具備したことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】固定子は、その軸方向に複数の電極が所
定ピッチで配置され、前記可動子は、その軸方向に高誘
電率部分と低誘電率部分が交互に配置されていることを
特徴とする請求項１記載の静電アクチュエータ。
【請求項３】前記固定子は、平行状態に配設された複
数個からなり、これら固定子の内部にそれぞれ可動子が
軸方向に移動自在に挿入されていることを特徴とする請
求項１記載の静電アクチュエータ。
【請求項４】弾性シール部材は、伸縮自在なベローズ
であることを特徴とする請求項１記載の静電アクチュエ
ータ。
【請求項５】シリンダと、このシリンダの内部に設け
られ複数対の電極を有した固定子と、この固定子の内部
に挿入され軸方向に移動自在な可動子と、前記シリンダ
および可動子の軸方向の両端側に設けられ一端が可動子
に連結され他端がシリンダに連結され、内部に充填剤を
封入して密封する弾性シール部材とを具備したことを特
徴とする静電アクチュエータ。
【請求項６】弾性シール部材は、ベロフラムであるこ
とを特徴とする請求項５記載の静電アクチュエータ。
【請求項７】軸方向および径方向に伸縮自在な静電ア
クチュエータ本体と、この静電アクチュエータ本体の軸
方向の両端部に接触してこの静電アクチュエータ本体を
包容すると共に、内部に充填剤を封入して密封する弾性
シール部材とを具備したことを特徴とする静電アクチュ
エータ。
【請求項８】前記静電アクチュエータ本体は、少なく
とも一対の対向配置された電極支持体と、前記各電極支
持体に設けられ互いに対面する対をなす電極と、対向す
る電極支持体の各端部を連結する弾性部材とを有する単
位静電アクチュエータをその変位方向に複数連結した結
合体であることを特徴とする請求項７記載の静電アクチ
ュエータ。