JPH0730442B2 - 蒸着用フィラメント - Google Patents
蒸着用フィラメントInfo
- Publication number
- JPH0730442B2 JPH0730442B2 JP6201093A JP6201093A JPH0730442B2 JP H0730442 B2 JPH0730442 B2 JP H0730442B2 JP 6201093 A JP6201093 A JP 6201093A JP 6201093 A JP6201093 A JP 6201093A JP H0730442 B2 JPH0730442 B2 JP H0730442B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- filament
- vapor deposition
- sample
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000008021 deposition Effects 0.000 title 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 38
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 15
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 13
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 13
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蒸着時に蒸発源ヒ−タ
として用いられる蒸着用フィラメントに関するものであ
る。
として用いられる蒸着用フィラメントに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種の蒸着用フィラメント
は、例えば半導体素子製造の際等において、アルミニウ
ムを熱蒸着させ、被蒸着体にアルミニウム蒸着するのに
使用されている。この場合、蒸着用フィラメントは、タ
ングステン、モリブデン、タンタルなどの耐熱金属によ
って形成されている。又、蒸着用フィラメントのタイプ
も図３に示す直棒タイプ、図４に示す横型コイルタイ
プ、図５に示すバスケット型タイプ、図６，図７に示す
吊し型コイルタイプとがある。
は、例えば半導体素子製造の際等において、アルミニウ
ムを熱蒸着させ、被蒸着体にアルミニウム蒸着するのに
使用されている。この場合、蒸着用フィラメントは、タ
ングステン、モリブデン、タンタルなどの耐熱金属によ
って形成されている。又、蒸着用フィラメントのタイプ
も図３に示す直棒タイプ、図４に示す横型コイルタイ
プ、図５に示すバスケット型タイプ、図６，図７に示す
吊し型コイルタイプとがある。
【０００３】しかしながら、このいずれもがアルミニウ
ムの量が多くなると、アルミニウム溶湯との接触時間が
長くなる。通常、アルミニウム溶湯と蒸着用フィラメン
トとが接触した部分には腐食が発生するから、アルミニ
ウム溶湯とフィラメントとの接触時間が長くなるにした
がって腐食も多くなる。従って、従来の蒸着用フィラメ
ントでは、一回の蒸着量を０．５ｇ以上とする繰り返し
使用に耐えるものが少なく、３〜４回の繰り返し使用が
限度とされていた。
ムの量が多くなると、アルミニウム溶湯との接触時間が
長くなる。通常、アルミニウム溶湯と蒸着用フィラメン
トとが接触した部分には腐食が発生するから、アルミニ
ウム溶湯とフィラメントとの接触時間が長くなるにした
がって腐食も多くなる。従って、従来の蒸着用フィラメ
ントでは、一回の蒸着量を０．５ｇ以上とする繰り返し
使用に耐えるものが少なく、３〜４回の繰り返し使用が
限度とされていた。
【０００４】更に、コイルに通電してコイル内に装填さ
れた蒸着材料を長時間加熱し、蒸発させた場合、コイル
に垂れ下がりが生じ、この垂れ下がりはコイル冷却後も
元に戻らず、繰り返し使用によって、更に垂れ下がりが
大きくなってしまうという現象が観察された。
れた蒸着材料を長時間加熱し、蒸発させた場合、コイル
に垂れ下がりが生じ、この垂れ下がりはコイル冷却後も
元に戻らず、繰り返し使用によって、更に垂れ下がりが
大きくなってしまうという現象が観察された。
【０００５】上述したような垂れ下がりがあまり大きく
なると、アルミニウムの蒸発が不均一になり、その結果
被蒸着体への蒸着が不均一となるため使用不能となる。
又、コイルが変形すると、蒸発材料の装填作業がしにく
くなる。この点からもなるべく垂れ下がりの少ないコイ
ルが切望されている。
なると、アルミニウムの蒸発が不均一になり、その結果
被蒸着体への蒸着が不均一となるため使用不能となる。
又、コイルが変形すると、蒸発材料の装填作業がしにく
くなる。この点からもなるべく垂れ下がりの少ないコイ
ルが切望されている。
【０００６】以上の点から蒸着用コイルについてこれま
で様々の添加物を耐熱合金に添加してコイルの垂れ下が
りを低減化する試みもなされ、特公昭５４−１５２５７
に示されるように結晶粒を粗大化することで、繰り返し
使用は最低５回、最大１８回、平均１１回まで延長する
ことが認められている。
で様々の添加物を耐熱合金に添加してコイルの垂れ下が
りを低減化する試みもなされ、特公昭５４−１５２５７
に示されるように結晶粒を粗大化することで、繰り返し
使用は最低５回、最大１８回、平均１１回まで延長する
ことが認められている。
【０００７】又、図２に示すように、芯体（タングステ
ン撚り線）３に蒸発用金属線（Ｎｉ等）４と区画金属線
５（Ｍｏ等）を密巻きし、更にその上ににガード線（タ
ングステン等）６を巻回させたものもある。
ン撚り線）３に蒸発用金属線（Ｎｉ等）４と区画金属線
５（Ｍｏ等）を密巻きし、更にその上ににガード線（タ
ングステン等）６を巻回させたものもある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】図２に示す蒸着コイル
に蒸発金属を装着すると、毛細管現象により二本の撚り
線３の隙間に前記蒸発金属が満たされるために蒸発金属
をより多く保留することができる。従って、１ショット
当たりの蒸発金属の蒸着量を多くすることができる。こ
のような理由により、芯体３には二本以上の撚り線を使
用することが多い。
に蒸発金属を装着すると、毛細管現象により二本の撚り
線３の隙間に前記蒸発金属が満たされるために蒸発金属
をより多く保留することができる。従って、１ショット
当たりの蒸発金属の蒸着量を多くすることができる。こ
のような理由により、芯体３には二本以上の撚り線を使
用することが多い。
【０００９】しかし、撚り線タイプのフィラメントは、
撚り線加工にて発生する加工歪みにより、フィラメント
の通電中にねじれ変形や垂下現象が起こり、寿命を著し
く低下させるという問題があった。
撚り線加工にて発生する加工歪みにより、フィラメント
の通電中にねじれ変形や垂下現象が起こり、寿命を著し
く低下させるという問題があった。
【００１０】一方、加工歪み等をなくすために、図３の
ような単線タイプの蒸着コイル７を使用する試みがなさ
れたが、いくら大量の蒸発金属を吊しても、保留する隙
間がないため大部分が溶融により垂れ落ちてしまい蒸発
効率が落ちてしまうという問題があった。
ような単線タイプの蒸着コイル７を使用する試みがなさ
れたが、いくら大量の蒸発金属を吊しても、保留する隙
間がないため大部分が溶融により垂れ落ちてしまい蒸発
効率が落ちてしまうという問題があった。
【００１１】又、上述の特公昭５４−１５２５７には、
結晶を粗大化させて加工歪みを除去した材料は寿命に対
して効果がある旨記載されているが、この方法では、１
５００℃以上の高温処理を行うためにランニングコスト
が上昇し、歪みが解放されたときに変形が生じるという
問題があった。
結晶を粗大化させて加工歪みを除去した材料は寿命に対
して効果がある旨記載されているが、この方法では、１
５００℃以上の高温処理を行うためにランニングコスト
が上昇し、歪みが解放されたときに変形が生じるという
問題があった。
【００１２】更に、図４に示す横型コイルタイプ，図５
に示すバスケットタイプ，図６並びに図７に示す吊し型
コイルタイプの蒸着コイルに前述した公報に記載された
方法を適用した場合、高温処理を行う際、フィラメント
材料である難融性金属が再結晶してもろくなり、異形状
になってしまう。
に示すバスケットタイプ，図６並びに図７に示す吊し型
コイルタイプの蒸着コイルに前述した公報に記載された
方法を適用した場合、高温処理を行う際、フィラメント
材料である難融性金属が再結晶してもろくなり、異形状
になってしまう。
【００１３】本発明の課題は、蒸着によるアルミニウム
の自然落下量を減少させることによってアルミニウムの
装荷重を増加させ、蒸着用フィラメントの垂れ下がりを
なくすことによって蒸着用フィラメントの寿命を延ばす
ことである。
の自然落下量を減少させることによってアルミニウムの
装荷重を増加させ、蒸着用フィラメントの垂れ下がりを
なくすことによって蒸着用フィラメントの寿命を延ばす
ことである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、難融金
属性芯線を用いた蒸着用フィラメントにおいて、前記芯
線の外周面上に、難融金属性の補助コイル線がらせん状
に巻回されていることを特徴とする蒸着用フィラメント
が得られる。
属性芯線を用いた蒸着用フィラメントにおいて、前記芯
線の外周面上に、難融金属性の補助コイル線がらせん状
に巻回されていることを特徴とする蒸着用フィラメント
が得られる。
【００１５】さらに、本発明によれば、前記補助コイル
線の線径が０．１mm乃至１．５mmであり、該補助コイル
線のコイルピッチが５mm以下であることを特徴とする蒸
着用フィラメントが得られる。
線の線径が０．１mm乃至１．５mmであり、該補助コイル
線のコイルピッチが５mm以下であることを特徴とする蒸
着用フィラメントが得られる。
【００１６】
【実施例】図１を参照して本発明の一実施例に係わる蒸
着用フィラメントを説明する。図示された蒸着用フィラ
メントは、円柱状のタングステン単線１の外周面上に、
タングステンの補助コイル線２をらせん状に巻回するこ
とによって構成されている。
着用フィラメントを説明する。図示された蒸着用フィラ
メントは、円柱状のタングステン単線１の外周面上に、
タングステンの補助コイル線２をらせん状に巻回するこ
とによって構成されている。
【００１７】ここで、タングステン単線１の線形は２mm
以下であり、他方補助コイル線２の線径は０．１mm〜
１．５mmが望ましい。尚、補助コイル線２の線径の上限
を１．５mmとしたのは、それ以上にすると加工が難しい
からであり、下限を０．１mmとしたのは、それ以上小さ
くすると蒸発金属の保留量が著しく少なくなるためであ
る。又、補助コイル線２は５mm以下のコイルピッチでタ
ングステン単線１の外周面上に巻き付けられており、コ
イルピッチを５mm以下にすることにより、蒸発金属の保
留量を増加させることができる。
以下であり、他方補助コイル線２の線径は０．１mm〜
１．５mmが望ましい。尚、補助コイル線２の線径の上限
を１．５mmとしたのは、それ以上にすると加工が難しい
からであり、下限を０．１mmとしたのは、それ以上小さ
くすると蒸発金属の保留量が著しく少なくなるためであ
る。又、補助コイル線２は５mm以下のコイルピッチでタ
ングステン単線１の外周面上に巻き付けられており、コ
イルピッチを５mm以下にすることにより、蒸発金属の保
留量を増加させることができる。
【００１８】次に、本発明の蒸着用フィラメントを用い
たとき、フィラメントが溶断するまで繰り返し何回使用
できるのかその回数、及び１０回繰り返した後の垂れ下
がり量を測定した。以下測定の手順を具体的に説明す
る。
たとき、フィラメントが溶断するまで繰り返し何回使用
できるのかその回数、及び１０回繰り返した後の垂れ下
がり量を測定した。以下測定の手順を具体的に説明す
る。
【００１９】従来の蒸着用フィラメントの例として試料
１を用意し、本発明に係わる蒸着用フィラメントの例と
して試料２を用意した。この内、試料１は線径１．０mm
のタングステン線を三本撚り線にしたフィラメント（図
３参照）であり、他方試料２は、線径１．７３２mmのタ
ングステンの単線を芯線１として、線径０．５mmのタン
グステンの補助コイル線２をらせん状にピッチ２mmで巻
回したものである（図１参照）。ここで、試料２の線径
を１．７３２mmとしたのは、比較実験のため試料１の撚
り線の総断面積と同じ断面積になるように試料２の線径
を設定するためである。即ち、線径１．０mmの断面積の
３倍と等しくなる試料２の線径は１．７３２mmとなる。
１を用意し、本発明に係わる蒸着用フィラメントの例と
して試料２を用意した。この内、試料１は線径１．０mm
のタングステン線を三本撚り線にしたフィラメント（図
３参照）であり、他方試料２は、線径１．７３２mmのタ
ングステンの単線を芯線１として、線径０．５mmのタン
グステンの補助コイル線２をらせん状にピッチ２mmで巻
回したものである（図１参照）。ここで、試料２の線径
を１．７３２mmとしたのは、比較実験のため試料１の撚
り線の総断面積と同じ断面積になるように試料２の線径
を設定するためである。即ち、線径１．０mmの断面積の
３倍と等しくなる試料２の線径は１．７３２mmとなる。
【００２０】試料１、試料２のフィラメントの両端部を
それぞれ電極部（図示せず）にクランプし、１３００℃
で６０秒間保持するという動作を１回として数え、それ
を繰り返して行い、フィラメントが何回目で溶断するか
を測定した。尚、この測定は何回か行われそれぞれの溶
断までの回数を測定し、その回数の最小値、最大値、平
均値を求めた。
それぞれ電極部（図示せず）にクランプし、１３００℃
で６０秒間保持するという動作を１回として数え、それ
を繰り返して行い、フィラメントが何回目で溶断するか
を測定した。尚、この測定は何回か行われそれぞれの溶
断までの回数を測定し、その回数の最小値、最大値、平
均値を求めた。
【００２１】次に、試料１、試料２共に１０回上記動作
を繰り返した後、それぞれの垂れ下がり量を測定した。
尚、測定ではその垂れ下がり量の最小値、最大値、平均
値を求める。以上の測定を第一の測定とする。
を繰り返した後、それぞれの垂れ下がり量を測定した。
尚、測定ではその垂れ下がり量の最小値、最大値、平均
値を求める。以上の測定を第一の測定とする。
【００２２】更に、上記測定とは別の第二の測定を行
う。試料３として、上記単線型蒸着用フィラメントの代
わりに、図４に示す横型コイルタイプの蒸着用フィラメ
ントを使用した。この場合、蒸着用フィラメントは、コ
イルピッチ２mm、線径１．０mmのタングステン線を三本
撚り線にしたものを用いた。試料４としては第一の測定
の場合と同様に線径１．７３２mmのタングステン単線を
芯線として、線径０．５mmのタングステンの補助コイル
線をらせん状にピッチ２mmで巻回したもの（図示せず）
を用いた。これら試料３及び４について、上記第一の測
定と同様な方法で溶断までの回数及び垂れ下がり量を測
定した。以下、第一の測定の結果を表１に、第二の測定
の結果を表２に示す。
う。試料３として、上記単線型蒸着用フィラメントの代
わりに、図４に示す横型コイルタイプの蒸着用フィラメ
ントを使用した。この場合、蒸着用フィラメントは、コ
イルピッチ２mm、線径１．０mmのタングステン線を三本
撚り線にしたものを用いた。試料４としては第一の測定
の場合と同様に線径１．７３２mmのタングステン単線を
芯線として、線径０．５mmのタングステンの補助コイル
線をらせん状にピッチ２mmで巻回したもの（図示せず）
を用いた。これら試料３及び４について、上記第一の測
定と同様な方法で溶断までの回数及び垂れ下がり量を測
定した。以下、第一の測定の結果を表１に、第二の測定
の結果を表２に示す。
【００２３】
【表１】
【００２４】
【表２】
【００２５】表１，表２からわかるように、タングステ
ン単線に補助コイル線を巻回したもの（試料２，試料
４）は、従来の蒸着用フィラメント（試料１，試料３）
と比較して、溶断までの回数の最小値、最大値、平均値
共に約３〜４倍になり、垂れ下がり量も大幅に減少する
ことがわかる。従って、アルミニウムの装荷重を増やす
ことができる。
ン単線に補助コイル線を巻回したもの（試料２，試料
４）は、従来の蒸着用フィラメント（試料１，試料３）
と比較して、溶断までの回数の最小値、最大値、平均値
共に約３〜４倍になり、垂れ下がり量も大幅に減少する
ことがわかる。従って、アルミニウムの装荷重を増やす
ことができる。
【００２６】即ち、従来の場合、特に撚り線を用いた場
合（図３，図４参照）には、撚り線の加工歪によってア
ルミニウムがタングステンを腐食させるため、蒸着コイ
ルの寿命が短くなる。一方、単線の場合でもアルミニウ
ムを保留する隙間がないため、多量のアルミニウムが自
然落下し、蒸発量は少なくなる。
合（図３，図４参照）には、撚り線の加工歪によってア
ルミニウムがタングステンを腐食させるため、蒸着コイ
ルの寿命が短くなる。一方、単線の場合でもアルミニウ
ムを保留する隙間がないため、多量のアルミニウムが自
然落下し、蒸発量は少なくなる。
【００２７】本発明の場合、試料１及び試料３の撚り線
の総断面積と同じ断面積になるように試料２及び試料４
の線径を設定するが、この場合、当然に試料２及び試料
４のの線径は試料１及び試料３の一本当たりの線径より
も大きくなるので、試料２及び試料４のほうは試料１及
び試料３に比べて変形に対して強いことがわかる。又、
試料２及び試料４はタングステン単線に補助コイル線を
巻回するので、アルミニウムの保持性及び濡れ性は撚り
線のそれと変わりはない。
の総断面積と同じ断面積になるように試料２及び試料４
の線径を設定するが、この場合、当然に試料２及び試料
４のの線径は試料１及び試料３の一本当たりの線径より
も大きくなるので、試料２及び試料４のほうは試料１及
び試料３に比べて変形に対して強いことがわかる。又、
試料２及び試料４はタングステン単線に補助コイル線を
巻回するので、アルミニウムの保持性及び濡れ性は撚り
線のそれと変わりはない。
【００２８】尚、本発明において、補助コイル線は、単
に直棒タイプ（図１参照）又は横型コイルタイプ（図４
参照）だけでなく、図５〜図７のようなタイプの芯線に
巻回されてもよい。
に直棒タイプ（図１参照）又は横型コイルタイプ（図４
参照）だけでなく、図５〜図７のようなタイプの芯線に
巻回されてもよい。
【００２９】更に、本発明の実施例で使用する被巻回芯
線の材料として、タングステンのみを上げたが、タング
ステンに限らず、モリブデン、タンタル、ニオブ、チタ
ン等の難融金属性の材料にも同様の効果を得ることがで
きる。
線の材料として、タングステンのみを上げたが、タング
ステンに限らず、モリブデン、タンタル、ニオブ、チタ
ン等の難融金属性の材料にも同様の効果を得ることがで
きる。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、芯線に補助コイル線を
らせん状に巻回することによって、蒸着によるアルミニ
ウムの自然落下量を減少させることができる。このよう
に、自然落下量を減少させることによって蒸着金属の装
荷重を増加させ、蒸着用フィラメントの垂下がりをなく
し、蒸着用フィラメントの寿命を延ばすことができる。
らせん状に巻回することによって、蒸着によるアルミニ
ウムの自然落下量を減少させることができる。このよう
に、自然落下量を減少させることによって蒸着金属の装
荷重を増加させ、蒸着用フィラメントの垂下がりをなく
し、蒸着用フィラメントの寿命を延ばすことができる。
【図１】図１は本発明に使用される蒸着用フィラメント
の構造を示した図である。
の構造を示した図である。
【図２】従来の蒸着用フィラメントの構造を示した図で
ある。
ある。
【図３】従来の他の蒸着用フィラメントの構造を示した
図である。
図である。
【図４】従来の他の蒸着用フィラメントの構造を示した
図である。
図である。
【図５】従来の他の蒸着用フィラメントの構造を示した
図である。
図である。
【図６】従来の他の蒸着用フィラメントの構造を示した
図である。
図である。
【図７】従来の他の蒸着用フィラメントの構造を示した
図である。
図である。
１ 芯線 ２ 補助コイル線
Claims (2)
- 【請求項１】 難融金属性芯線を用いた蒸着用フィラメ
ントにおいて、前記芯線の外周面上に、難融金属性の補
助コイル線がらせん状に巻回されていることを特徴とす
る蒸着用フィラメント。 - 【請求項２】 請求項１記載の蒸着用フィラメントにお
いて、前記補助コイル線の線径が０．１mm乃至１．５mm
であり、該補助コイル線のコイルピッチが５mm以下であ
ることを特徴とする蒸着用フィラメント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6201093A JPH0730442B2 (ja) | 1993-03-22 | 1993-03-22 | 蒸着用フィラメント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6201093A JPH0730442B2 (ja) | 1993-03-22 | 1993-03-22 | 蒸着用フィラメント |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06272024A JPH06272024A (ja) | 1994-09-27 |
| JPH0730442B2 true JPH0730442B2 (ja) | 1995-04-05 |
Family
ID=13187763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6201093A Expired - Lifetime JPH0730442B2 (ja) | 1993-03-22 | 1993-03-22 | 蒸着用フィラメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730442B2 (ja) |
-
1993
- 1993-03-22 JP JP6201093A patent/JPH0730442B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06272024A (ja) | 1994-09-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4445106A (en) | Spiral wound fuse bodies | |
| JPH0817373A (ja) | 熱電界放射電子銃 | |
| US4409729A (en) | Method of making spiral wound fuse bodies | |
| EP1594158A2 (de) | Glühlampe mit carbidhaltigem Leuchtkörper | |
| CN101687247B (zh) | 线圈部件的制造方法及线圈部件 | |
| JPH0730442B2 (ja) | 蒸着用フィラメント | |
| US2371205A (en) | Coiled | |
| US3812393A (en) | Reduced impurity filament for electric lamps | |
| JP2001152275A (ja) | Ｘ線管用途のための陰極用ワイヤ・フィラメント | |
| US2225239A (en) | Filament | |
| US3268305A (en) | Composite wire | |
| US3612822A (en) | Evaporation filament assembly | |
| US3461921A (en) | Manufacture of coiled lamp filaments | |
| US2308700A (en) | Method of treating fabricated tungsten wires or rods | |
| JP7764048B2 (ja) | ルテニウム合金発熱材を使用したヒータ | |
| US3346761A (en) | Incandescent lamp with a tungsten filament with tantalum imbedded in the surface to act as a gettering agent | |
| US3992201A (en) | Filaments for fluorescent lamps | |
| JP2001131734A (ja) | 蒸着用タングステンフィラメントとその製造方法 | |
| CN85109317A (zh) | 间热式阴极用的热丝 | |
| US3323882A (en) | Composite grid wire for electron tubes | |
| JP2599442B2 (ja) | Ｐｔ／Ｍｏクラッドワイヤーの製造方法 | |
| JPH0730441B2 (ja) | 蒸着用コイル | |
| JPS63171861A (ja) | 蒸着用タングステン材料およびその製造方法 | |
| US3514392A (en) | Ion plating anode source | |
| JPH06272025A (ja) | 蒸発源ヒータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19950919 |