JPH07306212A - 走査形プローブ顕微鏡における試料傾斜装置 - Google Patents
走査形プローブ顕微鏡における試料傾斜装置Info
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- JPH07306212A JPH07306212A JP6097386A JP9738694A JPH07306212A JP H07306212 A JPH07306212 A JP H07306212A JP 6097386 A JP6097386 A JP 6097386A JP 9738694 A JP9738694 A JP 9738694A JP H07306212 A JPH07306212 A JP H07306212A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料の観察面が探針の水平方向走査面に対し
て平行になるように調整する機構を備えた走査形プロー
ブ顕微鏡の試料傾斜装置を提供すること。 【構成】 調整ネジ５ａがスライダ３から遠ざけられ、
調整ネジ５ａがスライダ３と非接触の状態になる。次
に、調整ネジ５ｂが調整ネジ５ａ方向に移動される。こ
の調整ネジ５ｂの移動に伴ない、スライダ３が内面Ｃ上
を調整ネジ５ａ方向に移動し、剛球７と試料固定板９が
接する位置が調整ネジ５ａ方向に移動する。剛球７と試
料固定板９が接する位置が調整ネジ５ａ方向に移動する
と、弾性体１０ａが縮み、逆に弾性体１０ｂが伸びて試
料固定板９が剛球７を支点として傾斜する。調整ネジ５
ｂを調整することにより、試料１１の観察面は前記基準
面Ｅに対して平行になる。この結果、試料の観察面は探
針（図示せず）の水平方向走査面に対して平行となる。
て平行になるように調整する機構を備えた走査形プロー
ブ顕微鏡の試料傾斜装置を提供すること。 【構成】 調整ネジ５ａがスライダ３から遠ざけられ、
調整ネジ５ａがスライダ３と非接触の状態になる。次
に、調整ネジ５ｂが調整ネジ５ａ方向に移動される。こ
の調整ネジ５ｂの移動に伴ない、スライダ３が内面Ｃ上
を調整ネジ５ａ方向に移動し、剛球７と試料固定板９が
接する位置が調整ネジ５ａ方向に移動する。剛球７と試
料固定板９が接する位置が調整ネジ５ａ方向に移動する
と、弾性体１０ａが縮み、逆に弾性体１０ｂが伸びて試
料固定板９が剛球７を支点として傾斜する。調整ネジ５
ｂを調整することにより、試料１１の観察面は前記基準
面Ｅに対して平行になる。この結果、試料の観察面は探
針（図示せず）の水平方向走査面に対して平行となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は、走査形トンネル顕微
鏡や原子間力顕微鏡などの走査形プローブ顕微鏡におけ
る試料傾斜装置に関する。
鏡や原子間力顕微鏡などの走査形プローブ顕微鏡におけ
る試料傾斜装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】 走査形トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）や原
子間力顕微鏡（ＡＦＭ）などの走査形プローブ顕微鏡に
おいて、探針は試料面上で二次元走査され、また、探針
は試料表面の凹凸に追随して垂直方向に移動する。ＳＴ
Ｍは、探針を水平方向に走査し、探針と試料間に流れる
トンネル電流が一定になるように探針をＺ方向に移動
し、探針の高さ軌跡により試料表面の凹凸形状を観察す
るものである。また、ＡＦＭは、カンチレバー先端に取
り付けた探針を水平方向に走査し、探針と試料間に作用
する原子間力によるカンチレバーの変位を光学的に検出
し、探針と試料間の距離が一定になるように試料をＺ方
向に移動し、試料の高さ軌跡により試料表面の凹凸形状
を観察するものである。
子間力顕微鏡（ＡＦＭ）などの走査形プローブ顕微鏡に
おいて、探針は試料面上で二次元走査され、また、探針
は試料表面の凹凸に追随して垂直方向に移動する。ＳＴ
Ｍは、探針を水平方向に走査し、探針と試料間に流れる
トンネル電流が一定になるように探針をＺ方向に移動
し、探針の高さ軌跡により試料表面の凹凸形状を観察す
るものである。また、ＡＦＭは、カンチレバー先端に取
り付けた探針を水平方向に走査し、探針と試料間に作用
する原子間力によるカンチレバーの変位を光学的に検出
し、探針と試料間の距離が一定になるように試料をＺ方
向に移動し、試料の高さ軌跡により試料表面の凹凸形状
を観察するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】 前記したように、Ｓ
ＴＭにおいては探針はＺ方向に移動し、また、ＡＦＭに
おいては試料はＺ方向に移動するが、これらの移動手段
としてピエゾ素子が用いられる。このピエゾ素子の伸縮
には限度があり、その伸縮の幅は数μｍ程度である。こ
のため、試料の観察面が探針の水平方向走査面に対して
傾斜しているのに探針を水平方向に走査させると、探針
が試料に接触して探針が破損したり、逆に探針が試料面
から必要以上に離れてしまい試料の凹凸情報が得られな
くなる。なお、試料の観察面が探針の水平方向走査面に
対して傾斜する理由として、試料を試料ホルダに固定す
る接着剤の塗り方が悪い、試料の表面と裏面の平行度が
悪い等がある。
ＴＭにおいては探針はＺ方向に移動し、また、ＡＦＭに
おいては試料はＺ方向に移動するが、これらの移動手段
としてピエゾ素子が用いられる。このピエゾ素子の伸縮
には限度があり、その伸縮の幅は数μｍ程度である。こ
のため、試料の観察面が探針の水平方向走査面に対して
傾斜しているのに探針を水平方向に走査させると、探針
が試料に接触して探針が破損したり、逆に探針が試料面
から必要以上に離れてしまい試料の凹凸情報が得られな
くなる。なお、試料の観察面が探針の水平方向走査面に
対して傾斜する理由として、試料を試料ホルダに固定す
る接着剤の塗り方が悪い、試料の表面と裏面の平行度が
悪い等がある。
【０００４】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、試料の観察面が探針の水平方向走査
面に対して平行になるように調整する機構を備えた走査
形プローブ顕微鏡における試料傾斜装置を提供すること
にある。
ので、その目的は、試料の観察面が探針の水平方向走査
面に対して平行になるように調整する機構を備えた走査
形プローブ顕微鏡における試料傾斜装置を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する第
１の本発明は、上面にプローブを通過させるための孔を
有したケースと、該ケースの中に載置されたスライダ
と、該スライダの上面に突起して設けられた支持部材
と、該支持部材の上に置かれた試料固定板と、前記試料
の両側に設けられ前記試料固定板を前記支持部材に向け
て押圧させるための弾性部材と、前記スライダを前記ケ
ースの底面上で移動させるための手段とを備え、前記ス
ライダの移動により、前記支持部材が試料固定板を支持
する位置が移動して前記試料固定板が傾斜することを特
徴とする。第２の本発明は、上面にプローブを通過させ
るための孔を有したケースと、該ケースの中に載置され
た複数のスライダと、該スライダに取り付けられた第１
の剛球と、下面に前記第１の剛球と当接する第２の剛球
が設けられた試料固定板と、前記試料の両側に設けられ
前記第１の剛球を前記第２の剛球に向けて押圧させるた
めの弾性部材と、前記スライダを前記ケースの底面上で
移動させるための手段とを備え、前記スライダの移動に
より、前記第１の剛球と前記第２の剛球が当接する位置
が移動して前記試料固定板が傾斜することを特徴とす
る。第３の本発明は、上面にプローブを通過させるため
の孔を有したケースと、該ケースの中に載置されたスラ
イダと、該スライダに取り付けられた斜面を有する部材
と、下面に前記斜面を有する部材と当接する剛球が設け
られた試料固定板と、前記剛球を前記斜面を有する部材
に向けて押圧させるための弾性部材と、前記スライダを
前記ケースの底面上で移動させるための手段とを備え、
前記スライダの移動により、前記斜面を有する部材と前
記剛球が当接する位置が移動して前記試料固定板が他の
支持点の周りで傾斜することを特徴とする。
１の本発明は、上面にプローブを通過させるための孔を
有したケースと、該ケースの中に載置されたスライダ
と、該スライダの上面に突起して設けられた支持部材
と、該支持部材の上に置かれた試料固定板と、前記試料
の両側に設けられ前記試料固定板を前記支持部材に向け
て押圧させるための弾性部材と、前記スライダを前記ケ
ースの底面上で移動させるための手段とを備え、前記ス
ライダの移動により、前記支持部材が試料固定板を支持
する位置が移動して前記試料固定板が傾斜することを特
徴とする。第２の本発明は、上面にプローブを通過させ
るための孔を有したケースと、該ケースの中に載置され
た複数のスライダと、該スライダに取り付けられた第１
の剛球と、下面に前記第１の剛球と当接する第２の剛球
が設けられた試料固定板と、前記試料の両側に設けられ
前記第１の剛球を前記第２の剛球に向けて押圧させるた
めの弾性部材と、前記スライダを前記ケースの底面上で
移動させるための手段とを備え、前記スライダの移動に
より、前記第１の剛球と前記第２の剛球が当接する位置
が移動して前記試料固定板が傾斜することを特徴とす
る。第３の本発明は、上面にプローブを通過させるため
の孔を有したケースと、該ケースの中に載置されたスラ
イダと、該スライダに取り付けられた斜面を有する部材
と、下面に前記斜面を有する部材と当接する剛球が設け
られた試料固定板と、前記剛球を前記斜面を有する部材
に向けて押圧させるための弾性部材と、前記スライダを
前記ケースの底面上で移動させるための手段とを備え、
前記スライダの移動により、前記斜面を有する部材と前
記剛球が当接する位置が移動して前記試料固定板が他の
支持点の周りで傾斜することを特徴とする。
【０００６】
【実施例】 以下、本発明の実施例を図面を用いて説明
する。図１は本発明の実施例として示した走査トンネル
顕微鏡の試料ホルダの概略図であり、図１（ａ）は試料
ホルダの上面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ｂ断面
図である。図１において、１は筒状のケースで、ケース
１の上部にはつば部２８が設けられている。２はケース
１に螺合された底板で、底板２の内面Ｃは鏡面に加工さ
れて滑面となっている。３は円柱状のスライダで、スラ
イダ３は表面が鏡面に加工されており、前記底板２の上
に置かれている。４ａ，４ｂは弾性体で、弾性体はケー
ス１の内壁に固定されている。５ａ〜５ｄは調整ネジ
で、各々の調整ネジはケース１の側面に開けられたネジ
穴６ａ，６ｂに螺合されている。７は剛球で、剛球７は
スライダ３の中心に形成された溝８上に置かれている。
９は試料固定板で、試料固定板９は剛球７上に置かれて
いる。１０ａ，１０ｂは弾性体で、弾性体１０ａ，１０
ｂは試料固定板９の上面Ｄとケース１のつば部２８の基
準面Ｅに固定されている。１１は試料で、試料１１は試
料固定板９に接着剤により固定されている。なお、図１
（ａ）のＣ−Ｄ断面図は省略したが、それはＡ−Ｂ断面
図と略同一である。
する。図１は本発明の実施例として示した走査トンネル
顕微鏡の試料ホルダの概略図であり、図１（ａ）は試料
ホルダの上面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ｂ断面
図である。図１において、１は筒状のケースで、ケース
１の上部にはつば部２８が設けられている。２はケース
１に螺合された底板で、底板２の内面Ｃは鏡面に加工さ
れて滑面となっている。３は円柱状のスライダで、スラ
イダ３は表面が鏡面に加工されており、前記底板２の上
に置かれている。４ａ，４ｂは弾性体で、弾性体はケー
ス１の内壁に固定されている。５ａ〜５ｄは調整ネジ
で、各々の調整ネジはケース１の側面に開けられたネジ
穴６ａ，６ｂに螺合されている。７は剛球で、剛球７は
スライダ３の中心に形成された溝８上に置かれている。
９は試料固定板で、試料固定板９は剛球７上に置かれて
いる。１０ａ，１０ｂは弾性体で、弾性体１０ａ，１０
ｂは試料固定板９の上面Ｄとケース１のつば部２８の基
準面Ｅに固定されている。１１は試料で、試料１１は試
料固定板９に接着剤により固定されている。なお、図１
（ａ）のＣ−Ｄ断面図は省略したが、それはＡ−Ｂ断面
図と略同一である。
【０００７】図１（ｂ）に示すように、試料１１の観察
面がケース１の基準面Ｅに対して傾斜している場合、以
下のようにして試料の傾斜が補正される。
面がケース１の基準面Ｅに対して傾斜している場合、以
下のようにして試料の傾斜が補正される。
【０００８】まず、調整ネジ５ａがスライダ３から遠ざ
けられ、調整ネジ５ａがスライダ３と非接触の状態にな
る。次に、調整ネジ５ｂが調整ネジ５ａ方向に移動され
る。この調整ネジ５ｂの移動に伴ない、スライダ３が内
面Ｃ上を調整ネジ５ａに向かって移動し、剛球７と試料
固定板９が接する位置が調整ネジ５ａの向きに移動す
る。図２は、スライダ３が調整ネジ５ａの向きに移動し
た状態を示した図である。剛球７と試料固定板９が接す
る位置が調整ネジ５ａの向きに移動すると、弾性体１０
ａが縮み、逆に弾性体１０ｂが伸びて試料固定板９が剛
球７を支点として傾斜する。調整ネジ５ｂを調整するこ
とにより、試料１１の観察面は前記基準面Ｅに対して平
行になる。この結果、試料の観察面は探針（図示せず）
の水平方向走査面に対して平行となる。
けられ、調整ネジ５ａがスライダ３と非接触の状態にな
る。次に、調整ネジ５ｂが調整ネジ５ａ方向に移動され
る。この調整ネジ５ｂの移動に伴ない、スライダ３が内
面Ｃ上を調整ネジ５ａに向かって移動し、剛球７と試料
固定板９が接する位置が調整ネジ５ａの向きに移動す
る。図２は、スライダ３が調整ネジ５ａの向きに移動し
た状態を示した図である。剛球７と試料固定板９が接す
る位置が調整ネジ５ａの向きに移動すると、弾性体１０
ａが縮み、逆に弾性体１０ｂが伸びて試料固定板９が剛
球７を支点として傾斜する。調整ネジ５ｂを調整するこ
とにより、試料１１の観察面は前記基準面Ｅに対して平
行になる。この結果、試料の観察面は探針（図示せず）
の水平方向走査面に対して平行となる。
【０００９】なお、上記実施例において、弾性体４ａ，
４ｂのかわりに、ケース１とスライダ３の間に弾性のＯ
リングを配置してもよい。また、弾性体１０ａ，１０ｂ
のかわりに、試料固定板９とつば部２８との間に弾性の
Ｏリングを配置してもよい。図３、４、５は本発明の他
の実施例として示した走査トンネル顕微鏡の試料ホルダ
の概略図であり、図３は試料ホルダの上面図、図４は図
３のＡ−Ｂ断面図、図５は図４のＥ−Ｆ断面図である。
図３、４、５において、１２は筒状のケースで、ケース
１２の上部にはつば部２９が設けられている。１３はケ
ース１２に螺合された底板で、底板１３の内面Ｃは鏡面
に加工され滑面になっている。１４ａ〜１４ｄはスライ
ダで、スライダ１４ａ〜１４ｄは、表面が鏡面に加工さ
れた前記底板１３の上に置かれている。１５はネジで、
ネジ１５は底板１３に螺合されている。１６は円筒状の
弾性体である。１７ａ〜１７ｄは剛球で、夫々の剛球は
スライダ１４ａ〜１４ｄの中に嵌め込められている。１
８ａ〜１８ｄは調整ネジで、各々の調整ネジはケース１
２の側面に開けられたネジ穴１９ａ〜１９ｄに螺合され
ている。２０は試料固定板である。２１ａ，２１ｂは剛
球で、剛球２１ａ，２１ｂは試料固定板２０に固定さ
れ、また、剛球１７ａ，１７ｂに接している。この剛球
１７は前記剛球２１よりも大きいものが望ましい。な
お、図示していないが、剛球１７ｃ，１７ｄは、同様に
試料固定板２０に固定された剛球に接している。２２
ａ，２２ｂは弾性体で、弾性体２２ａ，２２ｂは試料固
定板２０の上面Ｄとケース１２の面Ｅに固定されてい
る。２３は試料で、試料２３は試料固定板２０に接着剤
により固定されている。２４はネジ１５の先端に固定さ
れた剛球である。
４ｂのかわりに、ケース１とスライダ３の間に弾性のＯ
リングを配置してもよい。また、弾性体１０ａ，１０ｂ
のかわりに、試料固定板９とつば部２８との間に弾性の
Ｏリングを配置してもよい。図３、４、５は本発明の他
の実施例として示した走査トンネル顕微鏡の試料ホルダ
の概略図であり、図３は試料ホルダの上面図、図４は図
３のＡ−Ｂ断面図、図５は図４のＥ−Ｆ断面図である。
図３、４、５において、１２は筒状のケースで、ケース
１２の上部にはつば部２９が設けられている。１３はケ
ース１２に螺合された底板で、底板１３の内面Ｃは鏡面
に加工され滑面になっている。１４ａ〜１４ｄはスライ
ダで、スライダ１４ａ〜１４ｄは、表面が鏡面に加工さ
れた前記底板１３の上に置かれている。１５はネジで、
ネジ１５は底板１３に螺合されている。１６は円筒状の
弾性体である。１７ａ〜１７ｄは剛球で、夫々の剛球は
スライダ１４ａ〜１４ｄの中に嵌め込められている。１
８ａ〜１８ｄは調整ネジで、各々の調整ネジはケース１
２の側面に開けられたネジ穴１９ａ〜１９ｄに螺合され
ている。２０は試料固定板である。２１ａ，２１ｂは剛
球で、剛球２１ａ，２１ｂは試料固定板２０に固定さ
れ、また、剛球１７ａ，１７ｂに接している。この剛球
１７は前記剛球２１よりも大きいものが望ましい。な
お、図示していないが、剛球１７ｃ，１７ｄは、同様に
試料固定板２０に固定された剛球に接している。２２
ａ，２２ｂは弾性体で、弾性体２２ａ，２２ｂは試料固
定板２０の上面Ｄとケース１２の面Ｅに固定されてい
る。２３は試料で、試料２３は試料固定板２０に接着剤
により固定されている。２４はネジ１５の先端に固定さ
れた剛球である。
【００１０】図４に示すように、試料２３の観察面がケ
ース１２の基準面Ｅに対して傾斜している場合、以下の
ようにして試料の傾斜が補正される。
ース１２の基準面Ｅに対して傾斜している場合、以下の
ようにして試料の傾斜が補正される。
【００１１】まず、調整ネジ１８ｂがケース１２の中心
方向に移動される。この調整ネジ１８ｂの移動に伴な
い、スライダ１４ｂが内面Ｃ上をケース１２の中心方向
に移動し、剛球２１ｂが剛球１７ｂと接する位置が変化
する。図６は、スライダ１４ｂがケース１２の中心方向
に移動した状態を示した図である。剛球２１ｂが剛球１
７ｂと接する位置が変化すると、この場合、剛球２１ｂ
の高さが低くなる。このため、試料固定板２０は傾斜
し、試料２３も同様に傾斜する。この時、弾性体２２ａ
は縮み、弾性体２２ｂは伸びる。調整ネジ１８ｂを調整
することにより、試料２３の観察面は前記基準面Ｅに対
して平行になる。この結果、試料の観察面は探針（図示
せず）の水平方向走査面に対して平行となる。
方向に移動される。この調整ネジ１８ｂの移動に伴な
い、スライダ１４ｂが内面Ｃ上をケース１２の中心方向
に移動し、剛球２１ｂが剛球１７ｂと接する位置が変化
する。図６は、スライダ１４ｂがケース１２の中心方向
に移動した状態を示した図である。剛球２１ｂが剛球１
７ｂと接する位置が変化すると、この場合、剛球２１ｂ
の高さが低くなる。このため、試料固定板２０は傾斜
し、試料２３も同様に傾斜する。この時、弾性体２２ａ
は縮み、弾性体２２ｂは伸びる。調整ネジ１８ｂを調整
することにより、試料２３の観察面は前記基準面Ｅに対
して平行になる。この結果、試料の観察面は探針（図示
せず）の水平方向走査面に対して平行となる。
【００１２】なお、ネジ１５の先端に固定された剛球２
４が試料固定板２０の重心に接するようにすれば、その
接点を傾斜中心とすることができる。そうすれば、その
接点と、剛球１７と剛球２１が接する点までの距離が短
くなるため、スライダ１４の移動量対傾斜量の比を大き
くすることができる。
４が試料固定板２０の重心に接するようにすれば、その
接点を傾斜中心とすることができる。そうすれば、その
接点と、剛球１７と剛球２１が接する点までの距離が短
くなるため、スライダ１４の移動量対傾斜量の比を大き
くすることができる。
【００１３】図７は本発明の他の実施例として示した走
査トンネル顕微鏡の試料ホルダの概略図である。図７に
おいて、２５は筒状のケースで、ケース２５の上部には
つば部２６が設けられている。２７はケース２５に螺合
された底板で、底板２７の内面は鏡面に加工されてい
る。３０はスライダで、スライダ３０は、表面が鏡面に
加工された前記底板２７の上に置かれている。３１はネ
ジで、ネジ３１は底板２７に螺合されている。３２は円
筒状の弾性体である。３３は斜面を有する部材で、部材
３３はスライダ３０の中に嵌め込められている。３４は
調整ネジで、調整ネジ３４はケース２５の側面に開けら
れたネジ穴３５に螺合されている。３６は突起部３７を
有するネジで、ネジ３６は底板２７に螺合されている。
３８は試料固定板である。３９は剛球で、剛球３９は試
料固定板３８に固定され、また、部材３３に接してい
る。４０は試料固定板３８に設けられた穴で、前記突起
部３７は穴４０に当接している。４１ａ，４１ｂは弾性
体で、弾性体４１ａ，４１ｂは試料固定板３８の上面と
ケース２５に固定されている。４２は試料で、試料４２
は試料固定板３８に接着剤により固定されている。な
お、図示しなかったが、スライダ３０、斜面を有する部
材３３、剛球３９、調整ネジ３４、ネジ穴３５、弾性体
４１は他にも設けられている。
査トンネル顕微鏡の試料ホルダの概略図である。図７に
おいて、２５は筒状のケースで、ケース２５の上部には
つば部２６が設けられている。２７はケース２５に螺合
された底板で、底板２７の内面は鏡面に加工されてい
る。３０はスライダで、スライダ３０は、表面が鏡面に
加工された前記底板２７の上に置かれている。３１はネ
ジで、ネジ３１は底板２７に螺合されている。３２は円
筒状の弾性体である。３３は斜面を有する部材で、部材
３３はスライダ３０の中に嵌め込められている。３４は
調整ネジで、調整ネジ３４はケース２５の側面に開けら
れたネジ穴３５に螺合されている。３６は突起部３７を
有するネジで、ネジ３６は底板２７に螺合されている。
３８は試料固定板である。３９は剛球で、剛球３９は試
料固定板３８に固定され、また、部材３３に接してい
る。４０は試料固定板３８に設けられた穴で、前記突起
部３７は穴４０に当接している。４１ａ，４１ｂは弾性
体で、弾性体４１ａ，４１ｂは試料固定板３８の上面と
ケース２５に固定されている。４２は試料で、試料４２
は試料固定板３８に接着剤により固定されている。な
お、図示しなかったが、スライダ３０、斜面を有する部
材３３、剛球３９、調整ネジ３４、ネジ穴３５、弾性体
４１は他にも設けられている。
【００１４】試料４２の観察面が図７に示すようにケー
ス２５の基準面に対して傾斜している場合、まず、調整
ネジ３４がケース２５の中心方向に移動される。この調
整ネジ３４の移動に伴ない、スライダ３０が底板の内面
上をケース２５の中心方向に移動し、剛球３９が部材３
３と接する位置が変化する。この場合、ネジ３４の移動
に伴い、剛球３９は突起部３７の位置を支持点として下
がり、試料の観察面は探針（図示せず）の水平方向走査
面に対して平行となる。
ス２５の基準面に対して傾斜している場合、まず、調整
ネジ３４がケース２５の中心方向に移動される。この調
整ネジ３４の移動に伴ない、スライダ３０が底板の内面
上をケース２５の中心方向に移動し、剛球３９が部材３
３と接する位置が変化する。この場合、ネジ３４の移動
に伴い、剛球３９は突起部３７の位置を支持点として下
がり、試料の観察面は探針（図示せず）の水平方向走査
面に対して平行となる。
【００１５】また、円柱状の試料の曲面を観察する場合
や板状試料の側面を観察する場合、また、試料の劈開面
を観察する場合は、図８に示すような試料固定板を使用
した方がよい。図８において、４３は試料固定板で、試
料４４はネジ４５により試料固定板４３に固定される。
や板状試料の側面を観察する場合、また、試料の劈開面
を観察する場合は、図８に示すような試料固定板を使用
した方がよい。図８において、４３は試料固定板で、試
料４４はネジ４５により試料固定板４３に固定される。
【００１６】また、上記本発明の実施例においては、弾
性体を試料固定板とケースの上面内壁との間に配置した
が、図９に示すように、弾性体４６を試料固定板とケー
スに固定された支持体４７に固定し、試料固定板を剛球
７に押さえつけるようにしてもよい。また、弾性体４６
を直接ケース側面内壁に固定してもよい。
性体を試料固定板とケースの上面内壁との間に配置した
が、図９に示すように、弾性体４６を試料固定板とケー
スに固定された支持体４７に固定し、試料固定板を剛球
７に押さえつけるようにしてもよい。また、弾性体４６
を直接ケース側面内壁に固定してもよい。
【００１７】また、試料固定板の形状は正方形などの形
状でよい。
状でよい。
【００１８】また、剛球１７を半球などの形状にすれ
ば、スライダ１４をより小さくすることができ、試料ホ
ルダ自体が小形になる。また、剛球１７のかわりに斜面
を有する部材３３を配置してもよい。
ば、スライダ１４をより小さくすることができ、試料ホ
ルダ自体が小形になる。また、剛球１７のかわりに斜面
を有する部材３３を配置してもよい。
【００１９】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明によれ
ば、試料の観察面が探針の水平方向走査面に対して平行
になるように調整することができるので、探針が試料に
接触して探針が破損したり、探針が試料面から離れ過ぎ
て試料の凹凸像が得られなくなる事はない。
ば、試料の観察面が探針の水平方向走査面に対して平行
になるように調整することができるので、探針が試料に
接触して探針が破損したり、探針が試料面から離れ過ぎ
て試料の凹凸像が得られなくなる事はない。
【図１】本発明の実施例として示した走査トンネル顕微
鏡の試料ホルダの概略図である。
鏡の試料ホルダの概略図である。
【図２】スライダ３が調整ネジ５ａ方向に移動した状態
を示した図である。
を示した図である。
【図３】本発明の実施例として示した走査トンネル顕微
鏡の試料ホルダの上面図である。
鏡の試料ホルダの上面図である。
【図４】図３のＡ−Ｂ断面図である。
【図５】図４のＥ−Ｆ断面図である。
【図６】スライダ１４ｂがケース１２の中心方向に移動
した状態を示した図である。
した状態を示した図である。
【図７】本発明の実施例として示した走査トンネル顕微
鏡の試料ホルダの概略図である。
鏡の試料ホルダの概略図である。
【図８】試料の劈開面を観察する場合に使用される試料
固定板を示したものである。
固定板を示したものである。
【図９】本発明の実施例として示した走査トンネル顕微
鏡の試料ホルダの概略図である。
鏡の試料ホルダの概略図である。
１ ケース ２ 底板 ３ スライダ ４ａ，４ｂ 弾性体 ５ａ〜５ｄ 調整ネジ ６ａ，６ｂ ネジ穴 ７ 剛球 ８ 溝 ９ 試料固定板 １０ａ，１０ｂ 弾性体 １１ 試料 １２ ケース １３ 底板 １４ａ〜１４ｄ スライダ １５ ネジ １６ 弾性体 １７ａ〜１７ｄ 剛球 １８ａ〜１８ｄ 調整ネジ １９ａ〜１９ｄ ネジ穴 ２０ 試料固定板 ２１ａ，２１ｂ 剛球 ２２ａ，２２ｂ 弾性体 ２３ 試料 ２４ 剛球 ２５ ケース ２６ つば部 ２７ 底板 ２８ つば部 ２９ つば部 ３０ スライダ ３１ ネジ ３２ 弾性体 ３３ 斜面を有する部材 ３４ 調整ネジ ３５ ネジ穴 ３６ ネジ ３７ 突起部 ３８ 試料固定板 ３９ 剛球 ４０ 穴 ４１ａ，４１ｂ 弾性体 ４２ 試料 ４３ 試料固定板 ４４ 試料 ４５ ネジ ４６ 弾性体 ４７ 支持体
Claims (3)
- 【請求項１】 上面にプローブを通過させるための孔を
有したケースと、該ケースの中に載置されたスライダ
と、該スライダの上面に突起して設けられた支持部材
と、該支持部材の上に置かれた試料固定板と、前記試料
の両側に設けられ前記試料固定板を前記支持部材に向け
て押圧させるための弾性部材と、前記スライダを前記ケ
ースの底面上で移動させるための手段とを備え、前記ス
ライダの移動により、前記支持部材が試料固定板を支持
する位置が移動して前記試料固定板が傾斜することを特
徴とする走査形プローブ顕微鏡における試料傾斜装置。 - 【請求項２】 上面にプローブを通過させるための孔を
有したケースと、該ケースの中に載置された複数のスラ
イダと、該スライダに取り付けられた第１の剛球と、下
面に前記第１の剛球と当接する第２の剛球が設けられた
試料固定板と、前記試料の両側に設けられ前記第１の剛
球を前記第２の剛球に向けて押圧させるための弾性部材
と、前記スライダを前記ケースの底面上で移動させるた
めの手段とを備え、前記スライダの移動により、前記第
１の剛球と前記第２の剛球が当接する位置が移動して前
記試料固定板が傾斜することを特徴とする走査形プロー
ブ顕微鏡における試料傾斜装置。 - 【請求項３】 上面にプローブを通過させるための孔を
有したケースと、該ケースの中に載置されたスライダ
と、該スライダに取り付けられた斜面を有する部材と、
下面に前記斜面を有する部材と当接する剛球が設けられ
た試料固定板と、前記剛球を前記斜面を有する部材に向
けて押圧させるための弾性部材と、前記スライダを前記
ケースの底面上で移動させるための手段とを備え、前記
スライダの移動により、前記斜面を有する部材と前記剛
球が当接する位置が移動して前記試料固定板が他の支持
点の周りで傾斜することを特徴とする走査形プローブ顕
微鏡における試料傾斜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6097386A JPH07306212A (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 走査形プローブ顕微鏡における試料傾斜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6097386A JPH07306212A (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 走査形プローブ顕微鏡における試料傾斜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07306212A true JPH07306212A (ja) | 1995-11-21 |
Family
ID=14191082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6097386A Withdrawn JPH07306212A (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 走査形プローブ顕微鏡における試料傾斜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07306212A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1916511A1 (en) * | 2006-10-23 | 2008-04-30 | Universiteit Twente | Scanning probe microscope |
| CN100442428C (zh) * | 2003-12-30 | 2008-12-10 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 带有防滑脱样片取放装置的扫描式电子显微镜 |
| US20120080410A1 (en) * | 2010-09-30 | 2012-04-05 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Laser marking machine |
| CN109579730A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-04-05 | 筑梦高科建筑有限公司 | 一种基于三维激光扫描的高精度钢结构质量检测装置 |
-
1994
- 1994-05-11 JP JP6097386A patent/JPH07306212A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100442428C (zh) * | 2003-12-30 | 2008-12-10 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 带有防滑脱样片取放装置的扫描式电子显微镜 |
| EP1916511A1 (en) * | 2006-10-23 | 2008-04-30 | Universiteit Twente | Scanning probe microscope |
| WO2008049570A1 (en) * | 2006-10-23 | 2008-05-02 | Universiteit Twente | Scanning probe microscope |
| US20100242142A1 (en) * | 2006-10-23 | 2010-09-23 | Universiteit Twente | Scanning probe microscope |
| US8438661B2 (en) | 2006-10-23 | 2013-05-07 | Universiteit Twente | Scanning probe microscope |
| US20120080410A1 (en) * | 2010-09-30 | 2012-04-05 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Laser marking machine |
| US8299395B2 (en) * | 2010-09-30 | 2012-10-30 | Fu Tai Hua Industry (Shenzhen) Co., Ltd. | Laser marking machine |
| CN109579730A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-04-05 | 筑梦高科建筑有限公司 | 一种基于三维激光扫描的高精度钢结构质量检测装置 |
| CN109579730B (zh) * | 2018-11-22 | 2020-10-09 | 广东博智林机器人有限公司 | 一种基于三维激光扫描的高精度钢结构质量检测装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010731 |