JPH07307372A - 半導体製造装置のカセット授受装置 - Google Patents
半導体製造装置のカセット授受装置Info
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- JPH07307372A JPH07307372A JP12304694A JP12304694A JPH07307372A JP H07307372 A JPH07307372 A JP H07307372A JP 12304694 A JP12304694 A JP 12304694A JP 12304694 A JP12304694 A JP 12304694A JP H07307372 A JPH07307372 A JP H07307372A
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体製造装置に於いて、カセット搬入搬出時
に外部のパーティクルの巻込みを防止する。 【構成】外部と半導体製造装置内部との境界にカセット
授受室２を設け、該カセット授受室の内部との境界にカ
セット出入口１８を設け、該出入口をカセットドアユニ
ット９で開閉可能とし、又カセット授受室の外部との境
界にカセット搬入搬出口３を設け、該カセット搬入搬出
口をシャッタユニット８により開閉可能とし、前記カセ
ット搬入搬出口とカセット出入口間でウェーハカセット
受渡しを行うカセット搬送ユニット５を設け、前記カセ
ット授受室にクリーンユニット６を設けると共に前記カ
セット搬入搬出口を挾んで前記クリーンユニットと反対
側に通風路７を連通し、該通風路に風量制限手段２０を
設け、カセット搬入搬出口が開放された状態では、風量
制限手段によりクリーンユニットから送風される風量に
対して通風路から流出する風量を制限してカセット授受
室内を陽圧にし、カセット搬入搬出口から外気が浸入す
ることを防止する。
に外部のパーティクルの巻込みを防止する。 【構成】外部と半導体製造装置内部との境界にカセット
授受室２を設け、該カセット授受室の内部との境界にカ
セット出入口１８を設け、該出入口をカセットドアユニ
ット９で開閉可能とし、又カセット授受室の外部との境
界にカセット搬入搬出口３を設け、該カセット搬入搬出
口をシャッタユニット８により開閉可能とし、前記カセ
ット搬入搬出口とカセット出入口間でウェーハカセット
受渡しを行うカセット搬送ユニット５を設け、前記カセ
ット授受室にクリーンユニット６を設けると共に前記カ
セット搬入搬出口を挾んで前記クリーンユニットと反対
側に通風路７を連通し、該通風路に風量制限手段２０を
設け、カセット搬入搬出口が開放された状態では、風量
制限手段によりクリーンユニットから送風される風量に
対して通風路から流出する風量を制限してカセット授受
室内を陽圧にし、カセット搬入搬出口から外気が浸入す
ることを防止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はシリコンウェーハより半
導体を製造する半導体製造装置、特に半導体製造装置内
部と外部との間でのウェーハ授受を行う為のカセット授
受装置に関するものである。
導体を製造する半導体製造装置、特に半導体製造装置内
部と外部との間でのウェーハ授受を行う為のカセット授
受装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置に対するウェーハの搬
送、授受はウェーハをカセットに装填し、カセットを搬
送、授受することで行われる。
送、授受はウェーハをカセットに装填し、カセットを搬
送、授受することで行われる。
【０００３】図３に於いて、半導体製造装置に設けられ
た従来のカセット授受装置について説明する。
た従来のカセット授受装置について説明する。
【０００４】図中、１は半導体製造装置の筐体１を示
し、該筐体１の前面側、外部と半導体製造装置内部との
境界にカセット授受室２が設けられている。該カセット
授受室２の前面にはカセット搬入搬出口３が設けられ、
又前記カセット授受室２の半導体製造装置内部側にはカ
セット収納室４が前記カセット搬入搬出口３と対峙する
位置に設けられている。
し、該筐体１の前面側、外部と半導体製造装置内部との
境界にカセット授受室２が設けられている。該カセット
授受室２の前面にはカセット搬入搬出口３が設けられ、
又前記カセット授受室２の半導体製造装置内部側にはカ
セット収納室４が前記カセット搬入搬出口３と対峙する
位置に設けられている。
【０００５】前記カセット収納室４と前記カセット搬入
搬出口３との間にはカセット搬送ユニット５が設けら
れ、前記カセット授受室２の上方にはクリーンユニット
６が設けられ、更に前記カセット授受室２の下端部には
通風路７が連通されている。
搬出口３との間にはカセット搬送ユニット５が設けら
れ、前記カセット授受室２の上方にはクリーンユニット
６が設けられ、更に前記カセット授受室２の下端部には
通風路７が連通されている。
【０００６】前記カセット搬入搬出口３はシャッタユニ
ット８により開閉され、又前記カセット収納室４の出入
口１８はカセットドアユニット９により開閉される様に
なっている。
ット８により開閉され、又前記カセット収納室４の出入
口１８はカセットドアユニット９により開閉される様に
なっている。
【０００７】前記シャッタユニット８は、垂直方向に延
びるガイド１０と該ガイド１０に摺動自在に設けられた
シャッタ１１及び該シャッタ１１を昇降させる図示しな
いエアシリンダ等から構成され、又前記カセットドアユ
ニット９は、垂直方向に延びるガイド１２と該ガイド１
２に摺動自在に設けられたドア１３及び該ドア１３を昇
降させる図示しないエアシリンダ等から構成されてい
る。
びるガイド１０と該ガイド１０に摺動自在に設けられた
シャッタ１１及び該シャッタ１１を昇降させる図示しな
いエアシリンダ等から構成され、又前記カセットドアユ
ニット９は、垂直方向に延びるガイド１２と該ガイド１
２に摺動自在に設けられたドア１３及び該ドア１３を昇
降させる図示しないエアシリンダ等から構成されてい
る。
【０００８】前記カセット搬送ユニット５は、水平軸心
を中心に９０°回転するＬ字状のカセット受台１４及び
該カセット受台１４を回転させる為のモータ（図示せ
ず）等から構成される。
を中心に９０°回転するＬ字状のカセット受台１４及び
該カセット受台１４を回転させる為のモータ（図示せ
ず）等から構成される。
【０００９】前記シャッタユニット８のエアシリンダ、
前記カセットドアユニット９のエアシリンダ、前記クリ
ーンユニット６はコントローラ１５により駆動制御さ
れ、又前記シャッタユニット８、カセットドアユニット
９の開閉状態を検知するシャッタセンサ１６、ドアセン
サ１７が設けられ、該シャッタセンサ１６、ドアセンサ
１７からの信号は前記コントローラ１５に入力される様
になっている。
前記カセットドアユニット９のエアシリンダ、前記クリ
ーンユニット６はコントローラ１５により駆動制御さ
れ、又前記シャッタユニット８、カセットドアユニット
９の開閉状態を検知するシャッタセンサ１６、ドアセン
サ１７が設けられ、該シャッタセンサ１６、ドアセンサ
１７からの信号は前記コントローラ１５に入力される様
になっている。
【００１０】以下、上記した従来のカセット授受装置に
於ける、カセット授受作動について説明する。
於ける、カセット授受作動について説明する。
【００１１】前記クリーンユニット６はクリーンエアを
下方に吹き出し、下方に吹出されたクリーンエアはカセ
ット授受室２内を下方に向かい、更に前記通風路７より
流出する。
下方に吹き出し、下方に吹出されたクリーンエアはカセ
ット授受室２内を下方に向かい、更に前記通風路７より
流出する。
【００１２】作動が開始される前は、前記シャッタユニ
ット８、カセットドアユニット９はそれぞれ前記カセッ
ト搬入搬出口３、前記出入口１８を閉じており、作業者
スイッチにより前記コントローラ１５にシャッタユニッ
ト８開の信号を入力すると、前記コントローラ１５は前
記ドアセンサ１７からの信号で出入口１８が閉じられて
いることを確認した上で、エアシリンダ（図示せず）を
駆動して前記シャッタ１１を下降させ、前記カセット搬
入搬出口３を開放する。
ット８、カセットドアユニット９はそれぞれ前記カセッ
ト搬入搬出口３、前記出入口１８を閉じており、作業者
スイッチにより前記コントローラ１５にシャッタユニッ
ト８開の信号を入力すると、前記コントローラ１５は前
記ドアセンサ１７からの信号で出入口１８が閉じられて
いることを確認した上で、エアシリンダ（図示せず）を
駆動して前記シャッタ１１を下降させ、前記カセット搬
入搬出口３を開放する。
【００１３】ウェーハが装填されているカセット１９を
作業者又はロボットが前記カセット搬入搬出口３より搬
入し、前記カセット搬送ユニット５のカセット受台１４
に載置する。カセット受台１４の図示しないセンサがカ
セット１９有りの信号を前記コントローラ１５に入力
し、該コントローラ１５がカセット１９の乗置を確認す
ると、或は作業者がシャッタ１１閉の信号を前記コント
ローラ１５に入力すると、該コントローラ１５が前記シ
ャッタユニット８を制御して前記カセット搬入搬出口３
を閉塞する。
作業者又はロボットが前記カセット搬入搬出口３より搬
入し、前記カセット搬送ユニット５のカセット受台１４
に載置する。カセット受台１４の図示しないセンサがカ
セット１９有りの信号を前記コントローラ１５に入力
し、該コントローラ１５がカセット１９の乗置を確認す
ると、或は作業者がシャッタ１１閉の信号を前記コント
ローラ１５に入力すると、該コントローラ１５が前記シ
ャッタユニット８を制御して前記カセット搬入搬出口３
を閉塞する。
【００１４】前記シャッタセンサ１６がシャッタ１１の
閉塞を検知すると、前記コントローラ１５が前記カセッ
トドアユニット９を制御し、前記ドア１３を下降させ、
前記出入口１８を開口する。前記コントローラ１５は更
に前記カセット搬送ユニット５を制御し、前記カセット
受台１４を回転させ、カセット１９を前記カセット収納
室４内に搬入する。前記カセット収納室４内に設けられ
た図示しない移載機が前記カセット１９を受けとると、
前記カセット受台１４を逆方向に回転させ、カセット授
受室２内に復帰させる。前記カセット受台１４の復帰を
確認して前記カセットドアユニット９が前記出入口１８
を閉塞し、一連のカセット搬入作動を完了する。
閉塞を検知すると、前記コントローラ１５が前記カセッ
トドアユニット９を制御し、前記ドア１３を下降させ、
前記出入口１８を開口する。前記コントローラ１５は更
に前記カセット搬送ユニット５を制御し、前記カセット
受台１４を回転させ、カセット１９を前記カセット収納
室４内に搬入する。前記カセット収納室４内に設けられ
た図示しない移載機が前記カセット１９を受けとると、
前記カセット受台１４を逆方向に回転させ、カセット授
受室２内に復帰させる。前記カセット受台１４の復帰を
確認して前記カセットドアユニット９が前記出入口１８
を閉塞し、一連のカセット搬入作動を完了する。
【００１５】尚、カセットの搬出作動は前記搬入作動の
逆となる。
逆となる。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のカセッ
ト授受装置に於いて、前記クリーンユニット６からのク
リーンエアは定常的に流れており、上記したカセット搬
入搬出作動で、人の手、或はロボットによりカセット受
台１４にカセット１９を載置し、或は取出す時に、前記
クリーンエアの流れが乱され、外部からのパーティクル
が半導体製造装置内に巻込まれる。この為、半導体製造
装置内の清浄度が低下し、その為ウェーハにパーテイク
ルが付着し、ウェーハの処理品質に悪影響を及ぼし、歩
留まり低下等の一因となっている。
ト授受装置に於いて、前記クリーンユニット６からのク
リーンエアは定常的に流れており、上記したカセット搬
入搬出作動で、人の手、或はロボットによりカセット受
台１４にカセット１９を載置し、或は取出す時に、前記
クリーンエアの流れが乱され、外部からのパーティクル
が半導体製造装置内に巻込まれる。この為、半導体製造
装置内の清浄度が低下し、その為ウェーハにパーテイク
ルが付着し、ウェーハの処理品質に悪影響を及ぼし、歩
留まり低下等の一因となっている。
【００１７】本発明は斯かる実情に鑑み、カセット搬入
搬出時に外部のパーティクルを巻込むことのない様にし
ようとするものである。
搬出時に外部のパーティクルを巻込むことのない様にし
ようとするものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明は、外部と半導体
製造装置内部との境界にカセット授受室を設け、該カセ
ット授受室の内部との境界にカセット出入口を設け、該
出入り口をカセットドアユニットで開閉可能とし、又カ
セット授受室の外部との境界にカセット搬入搬出口を設
け、該カセット搬入搬出口をシャッタユニットにより開
閉可能とし、前記カセット搬入搬出口とカセット出入口
間でウェーハカセット受渡しを行うカセット搬送ユニッ
トを設け、前記カセット授受室にクリーンユニットを設
けると共に前記カセット搬入搬出口を挾んで前記クリー
ンユニットと反対側に通風路を連通し、該通風路に風量
制限手段を設けたことを特徴とするものである。
製造装置内部との境界にカセット授受室を設け、該カセ
ット授受室の内部との境界にカセット出入口を設け、該
出入り口をカセットドアユニットで開閉可能とし、又カ
セット授受室の外部との境界にカセット搬入搬出口を設
け、該カセット搬入搬出口をシャッタユニットにより開
閉可能とし、前記カセット搬入搬出口とカセット出入口
間でウェーハカセット受渡しを行うカセット搬送ユニッ
トを設け、前記カセット授受室にクリーンユニットを設
けると共に前記カセット搬入搬出口を挾んで前記クリー
ンユニットと反対側に通風路を連通し、該通風路に風量
制限手段を設けたことを特徴とするものである。
【００１９】
【作用】カセット搬入搬出口が開放された状態では、風
量制限手段によりクリーンユニットから送風される風量
に対して通風路から流出する風量を制限してカセット授
受室内を陽圧にし、カセット搬入搬出口から外気が浸入
することを防止する。
量制限手段によりクリーンユニットから送風される風量
に対して通風路から流出する風量を制限してカセット授
受室内を陽圧にし、カセット搬入搬出口から外気が浸入
することを防止する。
【００２０】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００２１】図１中、図３中で示したものと同一のもの
には同符号を付してある。
には同符号を付してある。
【００２２】筐体１の前面側にはカセット授受室２が設
けられ、該カセット授受室２の前面にはカセット搬入搬
出口３が設けられ、前記カセット授受室２の半導体製造
装置内部側にはカセット収納室４が前記カセット搬入搬
出口３と対峙する位置に設けられている。
けられ、該カセット授受室２の前面にはカセット搬入搬
出口３が設けられ、前記カセット授受室２の半導体製造
装置内部側にはカセット収納室４が前記カセット搬入搬
出口３と対峙する位置に設けられている。
【００２３】前記カセット収納室４と前記カセット搬入
搬出口３との間にはカセット搬送ユニット５が設けら
れ、前記カセット授受室２の上方にはクリーンユニット
６が設けられている。前記カセット授受室２の下端部に
は通風路７が連通され、該通風路７にクリーンユニット
２０が設けられている。
搬出口３との間にはカセット搬送ユニット５が設けら
れ、前記カセット授受室２の上方にはクリーンユニット
６が設けられている。前記カセット授受室２の下端部に
は通風路７が連通され、該通風路７にクリーンユニット
２０が設けられている。
【００２４】前記カセット搬入搬出口３はシャッタユニ
ット８により開閉され、又前記カセット収納室４の出入
口１８はカセットドアユニット９により開閉される様に
なっている。
ット８により開閉され、又前記カセット収納室４の出入
口１８はカセットドアユニット９により開閉される様に
なっている。
【００２５】前記シャッタユニット８は、垂直方向に延
びるガイド１０と該ガイド１０に摺動自在に設けられた
シャッタ１１及び該シャッタ１１を昇降させる図示しな
いエアシリンダ等から構成され、又前記カセットドアユ
ニット９は、垂直方向に延びるガイド１２と該ガイド１
２に摺動自在に設けられたドア１３及び該ドア１３を昇
降させる図示しないエアシリンダ等から構成されてい
る。
びるガイド１０と該ガイド１０に摺動自在に設けられた
シャッタ１１及び該シャッタ１１を昇降させる図示しな
いエアシリンダ等から構成され、又前記カセットドアユ
ニット９は、垂直方向に延びるガイド１２と該ガイド１
２に摺動自在に設けられたドア１３及び該ドア１３を昇
降させる図示しないエアシリンダ等から構成されてい
る。
【００２６】前記カセット搬送ユニット５は、水平軸心
を中心に９０°回転するＬ字状のカセット受台１４及び
該カセット受台１４を回転させる為のモータ（図示せ
ず）等から構成される。
を中心に９０°回転するＬ字状のカセット受台１４及び
該カセット受台１４を回転させる為のモータ（図示せ
ず）等から構成される。
【００２７】前記シャッタユニット８のエアシリンダ、
前記カセットドアユニット９のエアシリンダ、前記クリ
ーンユニット６、クリーンユニット２０はコントローラ
１５により駆動制御され、又前記シャッタユニット８、
カセットドアユニット９の開閉状態を検知するシャッタ
センサ１６、ドアセンサ１７が設けられ、該シャッタセ
ンサ１６、ドアセンサ１７からの信号は前記コントロー
ラ１５に入力される様になっている。前記クリーンユニ
ット２０は前記クリーンユニット６と同程度の送風能力
を有し、又送風量は前記コントローラ１５により制御さ
れる。
前記カセットドアユニット９のエアシリンダ、前記クリ
ーンユニット６、クリーンユニット２０はコントローラ
１５により駆動制御され、又前記シャッタユニット８、
カセットドアユニット９の開閉状態を検知するシャッタ
センサ１６、ドアセンサ１７が設けられ、該シャッタセ
ンサ１６、ドアセンサ１７からの信号は前記コントロー
ラ１５に入力される様になっている。前記クリーンユニ
ット２０は前記クリーンユニット６と同程度の送風能力
を有し、又送風量は前記コントローラ１５により制御さ
れる。
【００２８】以下、上記した従来のカセット授受装置に
於けるカセット授受作動について説明する。
於けるカセット授受作動について説明する。
【００２９】前記クリーンユニット６はクリーンエアを
下方に吹き出し、下方に吹出されたクリーンエアはカセ
ット授受室２内を下方に向かい、又前記クリーンユニッ
ト２０は前記クリーンユニット６から送出される風量と
同風量で更に前記通風路７より流出する。
下方に吹き出し、下方に吹出されたクリーンエアはカセ
ット授受室２内を下方に向かい、又前記クリーンユニッ
ト２０は前記クリーンユニット６から送出される風量と
同風量で更に前記通風路７より流出する。
【００３０】作動が開始される前は、前記シャッタユニ
ット８、カセットドアユニット９はそれぞれ前記カセッ
ト搬入搬出口３、前記出入口１８を閉じており、作業者
がスイッチにより前記コントローラ１５にシャッタユニ
ット８開の信号を入力すると、前記コントローラ１５は
前記ドアセンサ１７からの信号で出入口１８が閉じられ
ていることを確認した上で、前記クリーンユニット２０
の風量を減じ、前記カセット授受室２内を筐体１外部の
圧力より若干陽圧とし、エアシリンダ（図示せず）を駆
動して前記シャッタ１１を下降させ、前記カセット搬入
搬出口３を開放する。
ット８、カセットドアユニット９はそれぞれ前記カセッ
ト搬入搬出口３、前記出入口１８を閉じており、作業者
がスイッチにより前記コントローラ１５にシャッタユニ
ット８開の信号を入力すると、前記コントローラ１５は
前記ドアセンサ１７からの信号で出入口１８が閉じられ
ていることを確認した上で、前記クリーンユニット２０
の風量を減じ、前記カセット授受室２内を筐体１外部の
圧力より若干陽圧とし、エアシリンダ（図示せず）を駆
動して前記シャッタ１１を下降させ、前記カセット搬入
搬出口３を開放する。
【００３１】ウェーハが装填されているカセット１９を
作業者又はロボットが前記カセット搬入搬出口３より搬
入し、前記カセット搬送ユニット５のカセット受台１４
に載置する。前記した様に、カセット授受室２は陽圧と
なっているので、前記カセット搬入搬出口３から外気の
浸入はない。従って、カセット１９の搬入時にクリーン
エア定常流れが乱され、乱流となっても衣服等に付着し
ているパーティクルの浸入はない。
作業者又はロボットが前記カセット搬入搬出口３より搬
入し、前記カセット搬送ユニット５のカセット受台１４
に載置する。前記した様に、カセット授受室２は陽圧と
なっているので、前記カセット搬入搬出口３から外気の
浸入はない。従って、カセット１９の搬入時にクリーン
エア定常流れが乱され、乱流となっても衣服等に付着し
ているパーティクルの浸入はない。
【００３２】カセット受台１４の図示しないセンサがカ
セット１９有りの信号を前記コントローラ１５に入力
し、該コントローラ１５がカセット１９の載置を確認す
ると、或は作業者がシャッタ１１閉の信号を前記コント
ローラ１５に入力すると、該コントローラ１５が前記シ
ャッタユニット８を制御して前記カセット搬入搬出口３
を閉塞する。
セット１９有りの信号を前記コントローラ１５に入力
し、該コントローラ１５がカセット１９の載置を確認す
ると、或は作業者がシャッタ１１閉の信号を前記コント
ローラ１５に入力すると、該コントローラ１５が前記シ
ャッタユニット８を制御して前記カセット搬入搬出口３
を閉塞する。
【００３３】前記シャッタセンサ１６がシャッタ１１の
閉塞を検知すると、前記コントローラ１５が前記クリー
ンユニット２０を制御して風量を増大させ、更に前記カ
セットドアユニット９を制御し、前記ドア１３を下降さ
せ、前記出入口１８を開口する。前記コントローラ１５
は更に前記カセット搬送ユニット５を制御し、前記カセ
ット受台１４を回転させ、カセット１９を前記カセット
収納室４内に搬入する。
閉塞を検知すると、前記コントローラ１５が前記クリー
ンユニット２０を制御して風量を増大させ、更に前記カ
セットドアユニット９を制御し、前記ドア１３を下降さ
せ、前記出入口１８を開口する。前記コントローラ１５
は更に前記カセット搬送ユニット５を制御し、前記カセ
ット受台１４を回転させ、カセット１９を前記カセット
収納室４内に搬入する。
【００３４】前記カセット収納室４内に設けられた図示
しない移載機が前記カセット１９を受けとると、前記カ
セット受台１４を逆方向に回転させ、カセット授受室２
内に復帰させる。前記カセット受台１４の復帰を確認し
て前記カセットドアユニット９が前記出入口１８を閉塞
し、一連のカセット搬入作動を完了する。
しない移載機が前記カセット１９を受けとると、前記カ
セット受台１４を逆方向に回転させ、カセット授受室２
内に復帰させる。前記カセット受台１４の復帰を確認し
て前記カセットドアユニット９が前記出入口１８を閉塞
し、一連のカセット搬入作動を完了する。
【００３５】尚、カセットの搬出作動は前記搬入作動の
逆となる。
逆となる。
【００３６】上記実施例では、カセット搬入搬出口３開
放状態で前記クリーンユニット２０の風量を減じたが、
該クリーンユニット２０を停止させてもよい。又、クリ
ーンユニット２０の代わりにシャッタを設け、前記カセ
ット搬入搬出口３の開放時に該シャッタを閉じる様にし
てもよく、要は前記カセット搬入搬出口３の開放時にカ
セット授受室２を筐体１外部の圧力より陽圧とする風量
制限手段であればよく、更に前記クリーンユニット２０
の送風量を一定とした場合は、前記クリーンユニット６
の風量をカセット搬入搬出口３の開放時に増大させる様
にすればよい。又、クリーンユニット６の取付け位置は
必ずしもカセット授受室２の上部でなくともよく、前記
カセット搬入搬出口３を挾んで前記通風路７の反対側に
あればよい。
放状態で前記クリーンユニット２０の風量を減じたが、
該クリーンユニット２０を停止させてもよい。又、クリ
ーンユニット２０の代わりにシャッタを設け、前記カセ
ット搬入搬出口３の開放時に該シャッタを閉じる様にし
てもよく、要は前記カセット搬入搬出口３の開放時にカ
セット授受室２を筐体１外部の圧力より陽圧とする風量
制限手段であればよく、更に前記クリーンユニット２０
の送風量を一定とした場合は、前記クリーンユニット６
の風量をカセット搬入搬出口３の開放時に増大させる様
にすればよい。又、クリーンユニット６の取付け位置は
必ずしもカセット授受室２の上部でなくともよく、前記
カセット搬入搬出口３を挾んで前記通風路７の反対側に
あればよい。
【００３７】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、カセッ
ト搬入搬出時にカセット授受室を陽圧にするので、パー
ティクルの浸入を防止でき、半導体製造装置内の清浄度
を高められ、製品品質の向上、歩留まりの向上を図るこ
とができる。
ト搬入搬出時にカセット授受室を陽圧にするので、パー
ティクルの浸入を防止でき、半導体製造装置内の清浄度
を高められ、製品品質の向上、歩留まりの向上を図るこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例を示す概略構成図である。
【図２】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は該実施例に於ける作動説
明図である。
明図である。
【図３】従来例を示す概略構成図である。
【図４】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は該従来例に於ける作動説
明図である。
明図である。
１ 筐体 ２ カセット授受室 ３ カセット搬入搬出口 ４ カセット収納室 ５ カセット搬送ユニット ６ クリーンユニット ７ 通風路 ８ シャッタユニット ９ カセットドアユニット １９ カセット ２０ クリーンユニット
Claims (2)
- 【請求項１】 外部と半導体製造装置内部との境界にカ
セット授受室を設け、該カセット授受室の内部との境界
にカセット出入口を設け、該出入口をカセットドアユニ
ットで開閉可能とし、又カセット授受室の外部との境界
にカセット搬入搬出口を設け、該カセット搬入搬出口を
シャッタユニットにより開閉可能とし、前記カセット搬
入搬出口とカセット出入口間でウェーハカセット受渡し
を行うカセット搬送ユニットを設け、前記カセット授受
室にクリーンユニットを設けると共に前記カセット搬入
搬出口を挾んで前記クリーンユニットと反対側に通風路
を連通し、該通風路に風量制限手段を設けたことを特徴
とする半導体製造装置のカセット授受装置。 - 【請求項２】 風量制限手段がクリーンユニットである
請求項１の半導体製造装置のカセット授受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12304694A JPH07307372A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | 半導体製造装置のカセット授受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12304694A JPH07307372A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | 半導体製造装置のカセット授受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07307372A true JPH07307372A (ja) | 1995-11-21 |
Family
ID=14850875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12304694A Pending JPH07307372A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | 半導体製造装置のカセット授受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07307372A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1182694A3 (en) * | 2000-08-23 | 2006-01-25 | Tokyo Electron Limited | Processing system for substrate |
| US7438514B2 (en) | 2004-06-29 | 2008-10-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Wafer transfer system |
| JP2011100883A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| JP2013067493A (ja) * | 2011-09-22 | 2013-04-18 | Murata Machinery Ltd | クリーンルーム用の自動倉庫 |
-
1994
- 1994-05-12 JP JP12304694A patent/JPH07307372A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1182694A3 (en) * | 2000-08-23 | 2006-01-25 | Tokyo Electron Limited | Processing system for substrate |
| US7438514B2 (en) | 2004-06-29 | 2008-10-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Wafer transfer system |
| US8469650B2 (en) | 2004-06-29 | 2013-06-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of controlling pressure in a wafer transfer system |
| JP2011100883A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| JP2013067493A (ja) * | 2011-09-22 | 2013-04-18 | Murata Machinery Ltd | クリーンルーム用の自動倉庫 |
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