JPH0730793B2 - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置Info
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- JPH0730793B2 JPH0730793B2 JP2050394A JP5039490A JPH0730793B2 JP H0730793 B2 JPH0730793 B2 JP H0730793B2 JP 2050394 A JP2050394 A JP 2050394A JP 5039490 A JP5039490 A JP 5039490A JP H0730793 B2 JPH0730793 B2 JP H0730793B2
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- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
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- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
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Classifications
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0474—Active magnetic bearings for rotary movement
- F16C32/0476—Active magnetic bearings for rotary movement with active support of one degree of freedom, e.g. axial magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/041—Passive magnetic bearings with permanent magnets on one part attracting the other part
- F16C32/0417—Passive magnetic bearings with permanent magnets on one part attracting the other part for axial load mainly
-
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
- F16C32/0425—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for radial load mainly
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、磁気軸受装置に関し、特に、ラジアル方向
に対しては永久磁石のような受動型の磁気軸受を用い、
スラスト方向に対しては制御式の能動型の磁気軸受を用
いて、１軸制御のみを行なうような磁気軸受装置に関す
る。
に対しては永久磁石のような受動型の磁気軸受を用い、
スラスト方向に対しては制御式の能動型の磁気軸受を用
いて、１軸制御のみを行なうような磁気軸受装置に関す
る。
［従来の技術］ 最近では、製造コストを低減するために、外乱の少ない
用途への磁気軸受装置は、５軸制御よりも制御軸数の少
ない３軸制御,1軸制御が用いられようとしている。１軸
制御の場合、ラジアル方向には受動的な軸受が用いら
れ、軸方向のみが制御される。このような１軸制御型の
磁気軸受装置は、制御回路が最も簡単となり、実用化の
ための種々のくふうがなされている。ところが、１軸制
御型の磁気軸受装置は、残りの非制御の４軸の回りの減
衰がほとんど期待できないため、何らかの減衰を与えな
ければ、回転上昇あるいは下降時の固有振動通過時に大
きな振動を生じる。
用途への磁気軸受装置は、５軸制御よりも制御軸数の少
ない３軸制御,1軸制御が用いられようとしている。１軸
制御の場合、ラジアル方向には受動的な軸受が用いら
れ、軸方向のみが制御される。このような１軸制御型の
磁気軸受装置は、制御回路が最も簡単となり、実用化の
ための種々のくふうがなされている。ところが、１軸制
御型の磁気軸受装置は、残りの非制御の４軸の回りの減
衰がほとんど期待できないため、何らかの減衰を与えな
ければ、回転上昇あるいは下降時の固有振動通過時に大
きな振動を生じる。
このような、対策として、特公昭59−7731号公報および
特公昭62−37246号公報には、電気的なダンピング方法
を用いて減衰を与える技術が開示されており、その他に
機械式ダンパを用いた方法もある。
特公昭62−37246号公報には、電気的なダンピング方法
を用いて減衰を与える技術が開示されており、その他に
機械式ダンパを用いた方法もある。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上述の電気的なダンピング方法は固有振
動数と回転速度が一致していないときにのみ有効な減衰
を示すが、これらが一致したとき、つまり、固有振動通
過時は減衰力を生じないため、実用的でない。また、機
械的ダンパによる方法の場合には、独立した反発型のラ
ジアル磁気軸受を２個用いて、一方の反発型のラジアル
磁気軸受を弾性支持して、減衰機を追加する必要があ
り、構造が複雑になってしまうという欠点があった。
動数と回転速度が一致していないときにのみ有効な減衰
を示すが、これらが一致したとき、つまり、固有振動通
過時は減衰力を生じないため、実用的でない。また、機
械的ダンパによる方法の場合には、独立した反発型のラ
ジアル磁気軸受を２個用いて、一方の反発型のラジアル
磁気軸受を弾性支持して、減衰機を追加する必要があ
り、構造が複雑になってしまうという欠点があった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、新たにダンパを
設けてラジアル方向の振動に対して減衰効果を高めた磁
気軸受装置を提供することである。
設けてラジアル方向の振動に対して減衰効果を高めた磁
気軸受装置を提供することである。
［課題を解決するための手段］ この発明は永久磁石の反発力を利用したラジアル磁気軸
受と、軸方向磁気力を制御する制御式磁気軸受によって
回転軸を軸支し、軸方向吸引力によって生じるラジアル
剛性を利用した１軸制御型磁気軸受装置であって、制御
式磁気軸受の固定部を軸方向に剛に支持するための支持
部材と、制御式磁気軸受の固定部のラジアル方向を軟に
支持して低周波域での振動を減衰するめたの粘弾性減衰
部材と、固定部とケースとの間に挿入され、高周波域で
の振動を減衰させるための弾性体からなる摩擦ダンパと
を備えて構成したものである。
受と、軸方向磁気力を制御する制御式磁気軸受によって
回転軸を軸支し、軸方向吸引力によって生じるラジアル
剛性を利用した１軸制御型磁気軸受装置であって、制御
式磁気軸受の固定部を軸方向に剛に支持するための支持
部材と、制御式磁気軸受の固定部のラジアル方向を軟に
支持して低周波域での振動を減衰するめたの粘弾性減衰
部材と、固定部とケースとの間に挿入され、高周波域で
の振動を減衰させるための弾性体からなる摩擦ダンパと
を備えて構成したものである。
［作用］ この発明に係る磁気軸受装置は、支持部材によって制御
式磁気軸受の固定部を軸方向に剛に支持するとともに、
粘弾性減衰部材によってラジアル方向を軟に支持して低
周波域での振動を減衰し、さらに固定部とケースとの間
に摩擦ダンパを挿入して高周波域での振動を減衰したこ
とによって、ラジアル方向の振動に対して減衰効果を高
めることができる。
式磁気軸受の固定部を軸方向に剛に支持するとともに、
粘弾性減衰部材によってラジアル方向を軟に支持して低
周波域での振動を減衰し、さらに固定部とケースとの間
に摩擦ダンパを挿入して高周波域での振動を減衰したこ
とによって、ラジアル方向の振動に対して減衰効果を高
めることができる。
［発明の実施例］ 第１図はこの第１図の一実施例の縦断面図であり、第２
図は第１図に示す線II−IIに添う横断面図であり、第３
図は第１図に示す線III−IIIに添う横断面図である。
図は第１図に示す線II−IIに添う横断面図であり、第３
図は第１図に示す線III−IIIに添う横断面図である。
第１図ないし第３図を参照して、回転軸１はケース２内
で回転するものであって、その回転軸１の一端にはロー
タ３が取り付けられている。ロータ３の内面には永久磁
石４が設けられ、この永久磁石４に対向するケース２の
外面には永久磁石５が設けられる。これらの永久磁石４
と５とによって反発型磁気軸受６が構成される。なお、
回転軸１の一端に対向するケース２の内面には上部非常
用ベアリング７が取り付けられている。ケース２のほぼ
中央部には、回転軸１を回転させるためのモータステー
タ８が設けられる。
で回転するものであって、その回転軸１の一端にはロー
タ３が取り付けられている。ロータ３の内面には永久磁
石４が設けられ、この永久磁石４に対向するケース２の
外面には永久磁石５が設けられる。これらの永久磁石４
と５とによって反発型磁気軸受６が構成される。なお、
回転軸１の一端に対向するケース２の内面には上部非常
用ベアリング７が取り付けられている。ケース２のほぼ
中央部には、回転軸１を回転させるためのモータステー
タ８が設けられる。
モータステータ８の下部にはスラスト方向吸引用永久磁
石９が取り付けられた永久磁石ホルダ10が設けられてい
る。永久磁石ホルダ10に対向するようにスラスト板11が
回転軸１に設けられ、このスラスト板11の上部には、ス
ラスト方向吸引用永久磁石９に対向するように永久磁石
12が設けられている。スラスト板11の下部には電磁石13
が設けられ、この電磁石13はスペーサ14を介して前述の
永久磁石ホルダ10に取り付けられている。電磁石13は永
久磁石９と12との間に生じる軸方向への吸引力につりあ
うように、図示しない制御回路によって制御される。
石９が取り付けられた永久磁石ホルダ10が設けられてい
る。永久磁石ホルダ10に対向するようにスラスト板11が
回転軸１に設けられ、このスラスト板11の上部には、ス
ラスト方向吸引用永久磁石９に対向するように永久磁石
12が設けられている。スラスト板11の下部には電磁石13
が設けられ、この電磁石13はスペーサ14を介して前述の
永久磁石ホルダ10に取り付けられている。電磁石13は永
久磁石９と12との間に生じる軸方向への吸引力につりあ
うように、図示しない制御回路によって制御される。
電磁石13の回転軸１に向く内面には下部非常用ベアリン
グ15が設けられ、回転軸１の他端にはアキシャルセンサ
ターゲット16が設けられる。アキシャルセンサターゲッ
ト16に対向するように、軸方向の位置を検出するための
アキシャル方向位置センサ17がセンサ取付部材18によっ
て電磁石13の下面に固定される。永久磁石ホルダ10と電
磁石13とスペーサ14とアキシャル方向位置センサ17とか
らなるステータユニットは数本の鋼線19によってケース
２に取付けられる。その結果、ステータユニットは鋼線
19によって軸方向に剛く、ラジアル方向に柔らかく支持
されることになる。
グ15が設けられ、回転軸１の他端にはアキシャルセンサ
ターゲット16が設けられる。アキシャルセンサターゲッ
ト16に対向するように、軸方向の位置を検出するための
アキシャル方向位置センサ17がセンサ取付部材18によっ
て電磁石13の下面に固定される。永久磁石ホルダ10と電
磁石13とスペーサ14とアキシャル方向位置センサ17とか
らなるステータユニットは数本の鋼線19によってケース
２に取付けられる。その結果、ステータユニットは鋼線
19によって軸方向に剛く、ラジアル方向に柔らかく支持
されることになる。
ステータユニットとケース２との間の数箇所には第３図
に示すように軸方向にそって溝が形成されていて、そこ
にゴムなどの粘弾性減衰部材20が挿入されていて、ラジ
アル方向の振動に対して減衰がが与えられるとともに、
ステータユニットの回り止めの役割を果たしている。
に示すように軸方向にそって溝が形成されていて、そこ
にゴムなどの粘弾性減衰部材20が挿入されていて、ラジ
アル方向の振動に対して減衰がが与えられるとともに、
ステータユニットの回り止めの役割を果たしている。
ところで、ターボ分子ポンプのような大きな慣性モーメ
ントを持つロータ３を高速回転させる場合、このジャイ
ロモーメントによって固有振動数が回転速度とともに変
化し、前回りと後回りの固有振動数が生じる。後回りの
固有振動数に対しては、前記ゴムなどの粘弾性体からな
る減衰部材20による減衰が可能である。しかし、この減
衰部材20では前回り固有振動数のような高い周波数に対
しての減衰性能が小さい。
ントを持つロータ３を高速回転させる場合、このジャイ
ロモーメントによって固有振動数が回転速度とともに変
化し、前回りと後回りの固有振動数が生じる。後回りの
固有振動数に対しては、前記ゴムなどの粘弾性体からな
る減衰部材20による減衰が可能である。しかし、この減
衰部材20では前回り固有振動数のような高い周波数に対
しての減衰性能が小さい。
そこで、この発明の一実施例では、第２図に示すような
摩擦ダンパ21がステータユニット８とケース２との間に
挿入される。第２図に示した摩擦ダンパ21は薄いばね用
板材を数枚重ねてステータユニットとケース２との間に
挿入されている。これにより、ステータユニットはラジ
アル方向に押し付けられている。このように摩擦ダンパ
21を設けることによって、ステータユニットの振動によ
りステータユニットおよび板ばね間あるいは板ばね間に
摩擦力が生じ、この摩擦力により振動エネルギーが吸収
され、ステータユニットの振動を押えることができる。
摩擦ダンパ21がステータユニット８とケース２との間に
挿入される。第２図に示した摩擦ダンパ21は薄いばね用
板材を数枚重ねてステータユニットとケース２との間に
挿入されている。これにより、ステータユニットはラジ
アル方向に押し付けられている。このように摩擦ダンパ
21を設けることによって、ステータユニットの振動によ
りステータユニットおよび板ばね間あるいは板ばね間に
摩擦力が生じ、この摩擦力により振動エネルギーが吸収
され、ステータユニットの振動を押えることができる。
第４図はこの発明の他の実施例を示す要部断面図であ
る。この第４図に示した例は、ケース２の底面に板ばね
22を配置し、この板ばね22とステータユニットの間に摩
擦材23を挿入したものであり、摩擦材23と板ばね22は軸
方向に押し付けられている。ステータユニットのラジア
ル方向の振動はステータユニットと摩擦材23の摩擦力に
より減衰される。
る。この第４図に示した例は、ケース２の底面に板ばね
22を配置し、この板ばね22とステータユニットの間に摩
擦材23を挿入したものであり、摩擦材23と板ばね22は軸
方向に押し付けられている。ステータユニットのラジア
ル方向の振動はステータユニットと摩擦材23の摩擦力に
より減衰される。
［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、ステータユニットか
らなる固定部を軸方向に剛に支持するとともに、ラジア
ル方向を軟に支持して低周波域での振動を減衰し、固定
部とケースとの間に粘弾性体からなる摩擦ダンパを挿入
して高周波域での振動を減衰させるようにしたので、ラ
ジアル方向の振動に対して減衰効果を高めることができ
る。
らなる固定部を軸方向に剛に支持するとともに、ラジア
ル方向を軟に支持して低周波域での振動を減衰し、固定
部とケースとの間に粘弾性体からなる摩擦ダンパを挿入
して高周波域での振動を減衰させるようにしたので、ラ
ジアル方向の振動に対して減衰効果を高めることができ
る。
第１図はこの発明の一実施例の縦断面図である。第２図
は第１図に示す線II−IIに沿う横断面図である。第３図
は第１図に示す線III−IIIに沿う横断面図である。第４
図はこの発明の他の実施例の要部を示す縦断面図であ
る。 図において、１は回転軸、２はケース、３はロータ、4,
5,9,12は永久磁石、６は反発型磁気軸受、７は上部非常
用ベアリング、８はモータステータ、10は永久磁石ホル
ダ、11はスラスト板、13は電磁石、14はスペーサ、15は
下部非常用ベアリング、16はアキシャルセンサターゲッ
ト、17はアキシャル方向位置センサ、18はセンサ取付部
材、19は鋼線、20は粘弾性減衰部材、21,23は摩擦ダン
パ、22は板ばねを示す。
は第１図に示す線II−IIに沿う横断面図である。第３図
は第１図に示す線III−IIIに沿う横断面図である。第４
図はこの発明の他の実施例の要部を示す縦断面図であ
る。 図において、１は回転軸、２はケース、３はロータ、4,
5,9,12は永久磁石、６は反発型磁気軸受、７は上部非常
用ベアリング、８はモータステータ、10は永久磁石ホル
ダ、11はスラスト板、13は電磁石、14はスペーサ、15は
下部非常用ベアリング、16はアキシャルセンサターゲッ
ト、17はアキシャル方向位置センサ、18はセンサ取付部
材、19は鋼線、20は粘弾性減衰部材、21,23は摩擦ダン
パ、22は板ばねを示す。
Claims (3)
- 【請求項１】永久磁石の反発力を利用したラジアル磁気
軸受と、軸方向磁気力を制御する制御式磁気軸受によっ
て回転軸を軸支し、軸方向吸引力によって生じるラジア
ル剛性を利用した１軸制御型磁気軸受装置において、 前記制御式磁気軸受の固定部を軸方向に剛に支持するた
めの支持部材と、 前記制御式磁気軸受の固定部のラジアル方向を軟に支持
して低周波域での振動を減衰するための粘弾性減衰部材
と、 前記固定部とケースとの間に挿入され、高周波域での振
動を減衰させるための弾性体からなる摩擦ダンパとを備
え、 ラジアル方向の振動に対して減衰効果を高めたことを特
徴とする、磁気軸受装置。 - 【請求項２】前記摩擦ダンパは、前記固定部とケースと
の間の複数の箇所に軸方向に挿入される、請求項第１項
記載の磁気軸受装置。 - 【請求項３】前記摩擦ダンパは、前記固定部の端面と前
記ケースの底面との間に挿入される、請求項第１項記載
の磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2050394A JPH0730793B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2050394A JPH0730793B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 磁気軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03255219A JPH03255219A (ja) | 1991-11-14 |
| JPH0730793B2 true JPH0730793B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=12857658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2050394A Expired - Fee Related JPH0730793B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730793B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5226577B2 (ja) * | 1974-01-24 | 1977-07-14 |
-
1990
- 1990-02-28 JP JP2050394A patent/JPH0730793B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03255219A (ja) | 1991-11-14 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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