JPH07309616A - チタニア−シリカ及び透明薄膜の製造方法 - Google Patents
チタニア−シリカ及び透明薄膜の製造方法Info
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Abstract
膜を製造する方法を提供すること。 【構成】 アモルファスチタニア微粒子1gに対して3
1%過酸化水素水20mlの割合で加え、これにTEO
SをTi/Si比が1/0〜1/9になるように添加
し、混合した後放置すると黄色のゲル体が得られる。こ
のゲル体に31%過酸化水素水を添加し、混合すると透
明黄色のチタニア−シリカ溶液が得られる。このチタニ
ア−シリカ溶液を基板に塗布又は含浸することにより、
基板表面に可視光透明性の高い薄膜が形成され、また前
記ゲル体に例えば1273Kにて熱処理を施すことによ
りチタニア−シリカフレークからなる可視光透明性の高
い薄膜を製造することができる。
Description
チタニア−シリカフレ−ク等のチタニア−シリカの製造
方法及び透明薄膜の製造方法に関するものである。
リカは、耐食性、耐熱性、耐摩耗性に優れた材料として
知られており、また高い熱安定性、低い熱膨張率、高い
屈折率等を有することから、宇宙往還機の外装や反射望
遠鏡ミラーの薄膜コーティング等に利用されている。こ
こでチタニア−シリカの薄膜の可視光透明性を高めるこ
とにより、光学レ−ザ−や色素材料への応用が期待でき
ることから、可視光透明性の高いチタニア−シリカ薄膜
(透明薄膜)が求められている。
ては、例えば図5のフローチャートに示すように、チタ
ンテトライソプロポキシド(Ti(OC3 H7 )4 :T
IP)、テトラエチルオルトシリケート((C2 H
5 O)4 Si:TEOS)、エタノール(C2 H5 O
H)を所定のモル比で混合した後、水(H2 O)とエタ
ノールの混合液を添加して、加水分解及び縮重合反応を
行い、この後混合液を303Kのインキュベーター内で
放置することによりゲル化させ、ゲル化したものを33
3Kで50時間、373Kで恒量になるまで通気乾燥を
行うことにより、チタニア−シリカ成型体を得る方法が
知られている。
の方法により調整されるチタニア−シリカ成型体は透明
性が低く、これはチタニア−シリカが相分離を起しやす
く、組成の均一性が低いためと考えられているが、この
ように透明性が低いと、上述のようにチタニア−シリカ
により例えば反射望遠鏡ミラーの薄膜コーティングを行
う場合には、ミラーの反射率が悪くなるなど基板の本来
の機能を低下させてしまうという問題があった。
ものであり、その目的は、可視光透明性の高い透明薄膜
を得るのに適したチタニア−シリカの製造方法及び当該
チタニア−シリカを用いた透明薄膜の製造方法を提供す
ることにある。
ルファスチタニアと酸性溶液と有機系シリケートとを混
合した後、放置してゲル体を生成する工程と、前記ゲル
体に酸性溶液を添加してチタニア−シリカ溶液を得る工
程と、を含むことを特徴とする。
おいて、アモルファスチタニアは、チタンテトラアルコ
キシドと前記アルコキシドに対応するアルコールとを混
合し、更に水を添加し、この後固液分離を行い、得られ
た固体成分を乾燥することにより得られたアモルファス
チタニア微粒子であることを特徴とする。
発明において、前記ゲル体に熱処理を施してチタニア−
シリカフレークを得ることを特徴とする。
載の発明において、酸性溶液は過酸化水素水からなるこ
とを特徴とする。
のチタニア−シリカ溶液を基板に塗布及び/又は含浸さ
せることを特徴とする。
ケートとを混合した後ゲル化し、得られたゲル体を再度
酸性溶液に溶解させると可視光透明性が高いチタニア−
シリカ溶液が製造される。このように可視光透明性が高
いチタニア−シリカ溶液が得られるのは、アモルファス
チタニアを酸性溶液に溶解させることによりチタニアの
凝集が分散され、組成が均一になり、粒界が形成されな
いためと考えられる。また前記ゲル体に熱処理を施した
り、前記チタニア−シリカ溶液を基板に塗布及び/又は
含浸することにより、薄膜が得られるが、この薄膜も可
視光透明性の高いものとなる。
−シリカの薄膜を得るに当たり、先ず薄膜を透明にする
には、光を吸収する不純物や光を散乱する粒界をなくす
ことが必要であることから、粒界が存在しない性質を有
するアモルファスに着目した。そこで後述する方法でア
モルファスチタニア微粒子を製造したところ、この微粒
子はアモルファスであるにもかかわらず白色を呈してい
たため、この白色の原因を微粒子の凝集によるものと考
え、微粒子を再分散させる方法について検討した。その
結果アモルファスチタニア微粒子を酸性溶液に溶解した
後、再度ゲル化させる方法を見出し、本発明を完成する
に至った。以下に本発明のチタニア−シリカ及び透明薄
膜の製造方法について説明する。
ファス酸化チタン例えばアモルファスチタニア微粒子を
原料として製造されるが、このアモルファスチタニア微
粒子は、例えば図1のフローチャートに示す方法により
製造される。即ちチタンテトラアルコキシド例えばチタ
ンテトライソプロポキシド(Ti(OC3 H7 )4 :T
IP)と、このアルコキシドに対応するアルコール例え
ばイソプロパノール(iso−C3 H7 OH:IPA)
とを所定のモル比例えばTIP/IPA/H2O=1/
10/4で混合し、さらに対応するアルコール例えばイ
ソプロパノールと水との混合液を加えて反応させ、この
反応により得られた白色懸濁液を固液分離し、乾燥する
ことにより得ることができる。
例えば図2のフローチャートに示す方法により製造され
る。即ちアモルファスチタニア微粒子と酸性溶液例えば
過酸化水素水とを、アモルファスチタニア微粒子1gに
対して例えば31%過酸化水素水20mlの割合で混合
し、さらに有機系シリケート例えばテトラエチルオルト
シリケート((C2 H5 O)4 Si:TEOS)を所定
のモル比例えばTi/Si=1/0〜1/9となるよう
に混合して、この混合溶液を例えば温度293Kの下で
2時間攪拌すると赤橙色透明溶液が得られる。そして例
えばTi/Si=1/1の場合は、この溶液を室温例え
ば温度300Kの下で例えば1週間〜10日間放置して
ゲル化させると黄色のゲル体が生成する。このゲル体に
さらに酸性溶液例えば31%過酸化水素水を所定量添加
して、例えば温度293Kの下で1時間攪拌すると、黄
色透明のチタニア−シリカ溶液が得られる。
素水以外に酸化剤としてオゾンや酸素、次亜塩素酸ナト
リウム、次亜塩素酸、塩素酸ナトリウム、二酸化塩素等
を用いた溶液であってよいが、処理後に酸成分が残留し
たり、不純物が混入したりすると純度に問題を生じるた
め、過酸化水素水やオゾン、酸素等を用いることが好ま
しい。また有機系シリケートはシリコン成分供給源であ
り、金属を含まない有機系シリケートであればテトラエ
チルオルトシリケート以外のもの、例えばSi4 C8 H
24O4 やSi4 C4 H16O4 も用いることができる。
に例えば大気雰囲気下においた電気炉で焼成するという
方法にて熱処理を施すと、板状の無色透明のチタニア−
シリカフレークが得られ、また前記黄色透明のチタニア
−シリカ溶液を例えば金属やセラミック、ガラス等から
なる基板表面にコーティングし、この後例えば大気雰囲
気下においた電気炉で焼成するという方法にて例えば3
0分間熱処理を施すと、前記基板表面には可視光透明性
の高いチタニア−シリカ薄膜が形成される。なお基板へ
のチタニア−シリカ溶液のコーティングは、例えばチタ
ニア−シリカ溶液を基板に塗布するかまたは例えばチタ
ニア−シリカ溶液に基板を浸漬させて基板に前記溶液を
含浸させることにより行なわれ、チタニア−シリカ溶液
の塗布または含浸は繰り返し行ってもよい。
−シリカフレーク及びチタニア−シリカ薄膜は、チタニ
ア−シリカの一般的な性質である高熱安定性、高屈折
率、低熱膨張性、耐食性、耐熱性、耐摩耗性を有し、か
つ可視光透明性の高いものとなるが、かかる性質を有す
るチタニア−シリカフレーク及びチタニア−シリカ薄膜
は、例えば高屈折率と反射特性を利用した光学分野、耐
食性を利用する腐食防止膜、低熱膨張率に着目する耐
火、耐熱材料、光透過性と表面活性を利用する光触媒設
計等の多くの分野への利用が考えられる。なおチタニア
−シリカフレ−クは塗膜用溶液中に懸濁させて使用する
方法等が考えられる。
った実験例及び本発明方法により製造されたチタニア−
シリカフレークの性質を検討するために行った実験例に
ついて説明する。酸性溶液として31%過酸化水素水、
アルキルシリケートとしてTEOSを用い、TEOSの
混合量をTi/Si比が1/0.5、1/1および1/
9となるように調整してチタニア−シリカ溶液を製造
し、これに温度1273Kで1時間熱処理チタニア−シ
リカフレークを得た。このフレークの可視光透過性を紫
外可視拡散反射分光法(UV−Vis DRS)により
測定したところ、チタニア−シリカ組成比が異なるどの
フレークにおいても、可視光透過性が高いことが認めら
れた。従ってアモルファスチタニア微粒子を酸性溶液に
溶解することにより凝集していた微粒子が再分散し、こ
の後にゲル化することにより、透明化を妨げる粒界を失
くして可視光透明性を高めることができることが確認さ
れた。
射分析法(FT−IR DRS)による分析を行ったと
ころ、図3に示す吸収スペクトルの測定結果が得られ、
このスペクトルには、960〜970cm-1と770m
c-1付近に、シリカおよびチタニア単独のスペクトルに
は存在しない吸収ピークが認められた。アモルファスチ
タニアにおいても960〜990cm-1付近にTi=0
結合に帰属すると考えられる吸収ピークが現われるため
これと区別がつきにくいが、図3のスペクトルではTi
の比率が高くなるにつれてピークの高さが減じており、
このピークがチタニアによるものとは考えにくい。この
ためチタニア−シリカフレークのFT−IR DRSに
現われる960〜970cm-1及び770cm-1付近の
吸収ピークはTi−O−Si結合の伸縮に帰属するもの
であると判断した。
分はチタニア−シリカ結合を形成するのではなく、チタ
ニアとして存在することが示唆された。そこでチタニア
−シリカフレークに対してUV−Vis DRSにより
分析を行なうこととした。なおTi/Si比は1/0.
5、1/0.7、1/1および1/9としてチタニア−
シリカ溶液を調整し、熱処理は773Kと1273Kで
行った。この結果を図4に示すが、図中TiOxはアモ
ルファスチタニア微粒子を意味する。
率が増すにつれて、高エネルギー側にシフトする。しか
しシフトの度合はそれほど大きくないため基礎吸収端が
チタニアの吸収に支配されていると考えられ、これによ
り大部分のチタニアがTi−O−Si結合を形成せずに
存在していると推定される。
広範囲のチタニア−シリカ組成比で可視光透光性の高い
薄膜が得られることが確認された。またチタニア−シリ
カフレークに対するFT−IR DRSとUV−Vis
DRSによる分析結果より、本発明方法で製造された
チタニア−シリカは、チタニアの一部分はTi−O−S
i結合を形成し、残りの部分は透明なチタニア膜がシリ
カのネットワークをうずめるような形で存在しているた
め、相分離が起らず、このため粒界も形成されないので
可視光透明性が高くなるものと推定される。
ば、アモルファスチタニアを酸性溶液に溶解させて分散
させた後、ゲル化させ、このゲル体を再度酸性溶液に溶
解させているので、可視光透明性の高いチタニア−シリ
カ溶液を製造することができる。また請求項3、5に記
載の発明によれば、前記ゲル体に熱処理を施したり、前
記チタニア−シリカ溶液を基板に塗布及び/又は含浸す
ることにより薄膜を形成しているので可視光透明性の高
いチタニア−シリカフレ−クや薄膜を製造することがで
きる。
フローチャートである。
チャートである。
S測定結果を示す図である。
RS測定結果を示す図である。
すフローチャートである。
Claims (5)
- 【請求項1】 アモルファスチタニアと酸性溶液と有機
系シリケ−トとを混合した後、放置してゲル体を生成す
る工程と、 前記ゲル体に酸性溶液を添加してチタニア−シリカ溶液
を得る工程と、 を含むことを特徴とするチタニア−シリカの製造方法。 - 【請求項2】 アモルファスチタニアは、チタンテトラ
アルコキシドと前記アルコキシドに対応するアルコール
とを混合し、更に水を添加し、この後固液分離を行い、
得られた固体成分を乾燥することにより得られたアモル
ファスチタニア微粒子であることを特徴とする請求項1
記載のチタニア−シリカの製造方法。 - 【請求項3】 前記ゲル体に熱処理を施してチタニア−
シリカフレークを得ることを特徴とする請求項1又は2
記載のチタニア−シリカの製造方法。 - 【請求項4】 酸性溶液は過酸化水素水からなることを
特徴とする請求項1、2又は3記載のチタニア−シリカ
の製造方法。 - 【請求項5】 請求項1又は2に記載のチタニア−シリ
カ溶液を基板に塗布及び/又は含浸させることを特徴と
する透明薄膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12191294A JP2913257B2 (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | チタニア−シリカ及び透明薄膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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| JP2913257B2 JP2913257B2 (ja) | 1999-06-28 |
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| JP (1) | JP2913257B2 (ja) |
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-
1994
- 1994-05-10 JP JP12191294A patent/JP2913257B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| CN113939477B (zh) * | 2019-06-12 | 2023-09-01 | 株式会社德山 | 非晶质二氧化硅二氧化钛复合氧化物粉末、树脂组合物、分散液以及二氧化硅包覆的二氧化硅二氧化钛复合氧化物粉末的制造方法 |
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