JPH0731059B2 - 超高感度光ファイバ・ジャイロスコ−プ - Google Patents
超高感度光ファイバ・ジャイロスコ−プInfo
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- JPH0731059B2 JPH0731059B2 JP59050172A JP5017284A JPH0731059B2 JP H0731059 B2 JPH0731059 B2 JP H0731059B2 JP 59050172 A JP59050172 A JP 59050172A JP 5017284 A JP5017284 A JP 5017284A JP H0731059 B2 JPH0731059 B2 JP H0731059B2
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
- G01C19/64—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams
- G01C19/72—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams with counter-rotating light beams in a passive ring, e.g. fibre laser gyrometers
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Description
【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、回転角速度測定装置、飛行体航法装置、地震
予知検出システム等の構成上重要なジヤイロスコープの
うち、光フアイバ・ループ内を伝搬する光の波長のルー
プの回転による変化により回転角速度を検出する光フア
イバ・ジヤイロスコープ、特に、超高感度光フアイバ・
ジヤイロスコープに関し、レーザ光源および光フアイバ
・ループを主とする装置の小型化を図るとともに、レー
ザ光源のAM,FMノイズや光検出器の感度差あるいは光フ
アイバ光路長の温度ドリフトなどに影響されずに、光検
出のシヨツトノイズによつて決まる理論的限界まで超高
感度になし得るようにしたものである。
予知検出システム等の構成上重要なジヤイロスコープの
うち、光フアイバ・ループ内を伝搬する光の波長のルー
プの回転による変化により回転角速度を検出する光フア
イバ・ジヤイロスコープ、特に、超高感度光フアイバ・
ジヤイロスコープに関し、レーザ光源および光フアイバ
・ループを主とする装置の小型化を図るとともに、レー
ザ光源のAM,FMノイズや光検出器の感度差あるいは光フ
アイバ光路長の温度ドリフトなどに影響されずに、光検
出のシヨツトノイズによつて決まる理論的限界まで超高
感度になし得るようにしたものである。
（従来技術） 一般に、回転角速度検出手段たるジヤイロスコープとし
て、光フアイバ・ループ内を互いに逆方向に伝搬する光
ビームの相互間に光フアイバ・ループの回転によつて生
ずる非相反位相差、すなわち、いわゆるサグナツク効果
を利用した光学式ジヤイロスコープは、従来慣用の機械
式ジヤイロスコープに比して、長寿命、低エネルギー消
費、小型軽量などの利点を多く有している。特に、小型
軽量化のために低損失の石英光フアイバを用いて主要部
たる光フアイバ・ループを構成した光学式ジヤイロスコ
ープは極めて有望である。
て、光フアイバ・ループ内を互いに逆方向に伝搬する光
ビームの相互間に光フアイバ・ループの回転によつて生
ずる非相反位相差、すなわち、いわゆるサグナツク効果
を利用した光学式ジヤイロスコープは、従来慣用の機械
式ジヤイロスコープに比して、長寿命、低エネルギー消
費、小型軽量などの利点を多く有している。特に、小型
軽量化のために低損失の石英光フアイバを用いて主要部
たる光フアイバ・ループを構成した光学式ジヤイロスコ
ープは極めて有望である。
しかしながら、従来のこの種光フアイバ・ジヤイロスコ
ープは、光フアイバ・ループ内に光ビームを注入する光
源として気体レーザを用いたり、低コヒーレンスの半導
体レーザを用いたものが大部分であり、また、前述した
ように互いに逆方向に伝搬する光相互間の非相反位相差
を検出する光フアイバ干渉計の形式としては、以下に詳
述するように位相差検出感度の向上に対して技術的に多
くの難点を有するいわゆるマツハ・ツエンダー干渉計を
用いるものが大部分であり、ジヤイロスコープとして十
分な性能が得られない、という欠点があつた。
ープは、光フアイバ・ループ内に光ビームを注入する光
源として気体レーザを用いたり、低コヒーレンスの半導
体レーザを用いたものが大部分であり、また、前述した
ように互いに逆方向に伝搬する光相互間の非相反位相差
を検出する光フアイバ干渉計の形式としては、以下に詳
述するように位相差検出感度の向上に対して技術的に多
くの難点を有するいわゆるマツハ・ツエンダー干渉計を
用いるものが大部分であり、ジヤイロスコープとして十
分な性能が得られない、という欠点があつた。
ここで、本発明の効果を相対的に明確にするために、従
来の光フアイバ・ジヤイロスコープの要部をなすマツハ
・ツエンダー干渉計について詳述すると、この干渉計は
第１図に示すように構成されている。すなわち、電流源
CSにより駆動するレーザLSの光ビームをアイソレータＩ
およびチヨツパChを介し、ビームスプリツタBS1,BS2に
導いて、光フアイバ・ループFL内に互いに逆方向に伝搬
する光ビームを注入する。かかる２光ビームを、一方は
非相反移相器PSを介して、光検出器D1,D2に導いて光電
変換し、その変換出力電圧を差動増幅器DAおよび割算器
DIVに順次に導いて光フアイバ・ループFL内での２光ビ
ーム間の非相反位相差に対応した出力電圧をロツクイン
アンプLIAを介して取出す。
来の光フアイバ・ジヤイロスコープの要部をなすマツハ
・ツエンダー干渉計について詳述すると、この干渉計は
第１図に示すように構成されている。すなわち、電流源
CSにより駆動するレーザLSの光ビームをアイソレータＩ
およびチヨツパChを介し、ビームスプリツタBS1,BS2に
導いて、光フアイバ・ループFL内に互いに逆方向に伝搬
する光ビームを注入する。かかる２光ビームを、一方は
非相反移相器PSを介して、光検出器D1,D2に導いて光電
変換し、その変換出力電圧を差動増幅器DAおよび割算器
DIVに順次に導いて光フアイバ・ループFL内での２光ビ
ーム間の非相反位相差に対応した出力電圧をロツクイン
アンプLIAを介して取出す。
上述した光フアイバ・ループFL内の２光ビーム間のいわ
ゆるサグナツク効果による非相反位相差はつぎの
（１）式となる。
ゆるサグナツク効果による非相反位相差はつぎの
（１）式となる。
＝（８πnNA/λｃ）Ω （１） ここに、n,N,A,λ,cおよびΩは、それぞれ光フアイバ屈
折率、光フアイバ巻回数、光フアイバ・ループ面積、レ
ーザ光波長、光速度および光フアイバ・ループ回転角速
度である。
折率、光フアイバ巻回数、光フアイバ・ループ面積、レ
ーザ光波長、光速度および光フアイバ・ループ回転角速
度である。
しかして、非相反位相差の測定による回転角速度Ωの
検出感度は、光フアイバ・ループFLに注入する光ビーム
の光源を小型化するために、従来のように低コヒーレン
スの半導体レーザを用いると、つぎの各要因によつて限
界を生ずる。
検出感度は、光フアイバ・ループFLに注入する光ビーム
の光源を小型化するために、従来のように低コヒーレン
スの半導体レーザを用いると、つぎの各要因によつて限
界を生ずる。
（Ａ）レーザLSのFMノイズ （Ｂ）レーザLSのAMノイズ （Ｃ）２個の光検出器D1,D2の感度差および温度ドリフ
ト （Ｄ）半導体レーザの光軸調整誤差に起因する光フアイ
バ・ループFL外における２光ビーム間の光路長差 かかる回転角速度検出感度限界要因のうち、（Ａ）レー
ザFMノイズの影響は比較的小さいが、他の限界要因
（Ｂ）〜（Ｄ）の影響の低減には困難を伴い、特に
（Ｄ）光路長差Δｌについては、Δｌ＞λのとき、Δｌ
＞λに比例して感度限界が増大するが、光路長差Δｌ＝
０とすることは実際上極めて困難である。
ト （Ｄ）半導体レーザの光軸調整誤差に起因する光フアイ
バ・ループFL外における２光ビーム間の光路長差 かかる回転角速度検出感度限界要因のうち、（Ａ）レー
ザFMノイズの影響は比較的小さいが、他の限界要因
（Ｂ）〜（Ｄ）の影響の低減には困難を伴い、特に
（Ｄ）光路長差Δｌについては、Δｌ＞λのとき、Δｌ
＞λに比例して感度限界が増大するが、光路長差Δｌ＝
０とすることは実際上極めて困難である。
なお、これらの限界要因（Ａ）〜（Ｄ）がすべて除かれ
た場合には、光検出器D1,D2のシヨツトノイズにより究
極的な感度限界ΩＳがつぎの（２）式のように決まる。
た場合には、光検出器D1,D2のシヨツトノイズにより究
極的な感度限界ΩＳがつぎの（２）式のように決まる。
ここに、h,ν，α,PＣ，ηおよびτは、それぞれプラン
ク定数、レーザ周波数、フアイバ伝送損失によつて決ま
る光透過率、光フアイバのレーザ入射パワー、光検出器
量子効率およびレーザのFM,AMノイズの大きさを表わす
分散値測定のための積分時間である。
ク定数、レーザ周波数、フアイバ伝送損失によつて決ま
る光透過率、光フアイバのレーザ入射パワー、光検出器
量子効率およびレーザのFM,AMノイズの大きさを表わす
分散値測定のための積分時間である。
いま第１図示の構成によるマツハ・ツエンダー干渉計の
回転角速度検出感度をつぎの条件のもとに求めた結果を
第２図に示す。
回転角速度検出感度をつぎの条件のもとに求めた結果を
第２図に示す。
λ＝0.8μm,ν＝375THz,PＣ＝3mW,α＝−1dB,n＝1.5,N
＝335,A＝283cm2,Δｌ＝1mm,η＝１ なお、レーザLSとしてはAlGaAsレーザを用い、光フアイ
バ・ループFLとしては、全長Ｌ＝200mの光フアイバを直
径19cmのループにして335回巻回した。
＝335,A＝283cm2,Δｌ＝1mm,η＝１ なお、レーザLSとしてはAlGaAsレーザを用い、光フアイ
バ・ループFLとしては、全長Ｌ＝200mの光フアイバを直
径19cmのループにして335回巻回した。
図から判るように、光路長差Δｌ＝０とし、レーザパワ
ーを量子ノイズレベルまで安定化すれば、光検出器D1の
シヨツトノイズによつて決まる究極的限界感度ΩＳに近
づき得る。しかしながら、感度のわずかに異なる２個の
光検出器D1,D2を用いると、感度限界は却つて増大す
る、という重大な欠点が生じた。
ーを量子ノイズレベルまで安定化すれば、光検出器D1の
シヨツトノイズによつて決まる究極的限界感度ΩＳに近
づき得る。しかしながら、感度のわずかに異なる２個の
光検出器D1,D2を用いると、感度限界は却つて増大す
る、という重大な欠点が生じた。
以上から明らかなように、従来のマツハ・ツエンダー干
渉計型光フアイバ・ジヤイロスコープの回転角速度検出
感度向上には、前述した各限界要因の抑圧、すなわち、
光フアイバ・ループFL外における光路長差Δｌの消去、
レーザパワーの安定化および光検出器の感度差抑圧が必
要である。しかしながら、これらの各限界要因抑圧を同
時に満たすことは極めて困難であり、したがつて、従来
の光フアイバ・ジヤイロスコープによつて光検出器のシ
ヨツトノイズで決まる究極的回転角速度検出感度限界に
到達するのは、実際上技術的に極めて困難であり、その
究極的検出感度限界の100倍以上の検出感度しか得られ
ない、という致命的欠点があつた。
渉計型光フアイバ・ジヤイロスコープの回転角速度検出
感度向上には、前述した各限界要因の抑圧、すなわち、
光フアイバ・ループFL外における光路長差Δｌの消去、
レーザパワーの安定化および光検出器の感度差抑圧が必
要である。しかしながら、これらの各限界要因抑圧を同
時に満たすことは極めて困難であり、したがつて、従来
の光フアイバ・ジヤイロスコープによつて光検出器のシ
ヨツトノイズで決まる究極的回転角速度検出感度限界に
到達するのは、実際上技術的に極めて困難であり、その
究極的検出感度限界の100倍以上の検出感度しか得られ
ない、という致命的欠点があつた。
（発明の要点） 本発明の目的は、上述した従来の欠点を除去し、光フア
イバ・ループに注入する光ビームの光源に高コヒーレン
スの半導体レーザを用いて装置を小型化するとともに高
性能化し、さらに、光源のノイズ、光検出器の検出感度
差、光フアイバ・ループ光路長の温度ドリフト、光フア
イバ・ループ外の光路長差等の影響を受けずに、光検出
器のシヨツトノイズで決まる理論的限界感度にて回転角
速度を検出し得るようにした超高感度光フアイバ・ジヤ
イロスコープ、地震予知検出装置、慣性航法装置に実用
しうる十分な回転角速度検出感度を備えた小型軽量の超
高感度光フアイバ・ジヤイロスコープを提供することに
ある。
イバ・ループに注入する光ビームの光源に高コヒーレン
スの半導体レーザを用いて装置を小型化するとともに高
性能化し、さらに、光源のノイズ、光検出器の検出感度
差、光フアイバ・ループ光路長の温度ドリフト、光フア
イバ・ループ外の光路長差等の影響を受けずに、光検出
器のシヨツトノイズで決まる理論的限界感度にて回転角
速度を検出し得るようにした超高感度光フアイバ・ジヤ
イロスコープ、地震予知検出装置、慣性航法装置に実用
しうる十分な回転角速度検出感度を備えた小型軽量の超
高感度光フアイバ・ジヤイロスコープを提供することに
ある。
すなわち、本発明超高感度ファイバ・ジャイロスコープ
は、高コヒーレンスを有する単一縦モード発振半導体レ
ーザ素子と、その半導体レーザ素子の出力光ビームを２
分割する光ビームスプリッタと、その光ビームスプリッ
タの２出力光ビームを２入力とし、２入力光ビームをそ
れぞれ２分岐して２分岐出力光ビームを形成する光分岐
器を入力端および出力端にそれぞれ接続して互いに逆方
向に同一リング状に巻回した一対の石英ファイバよりな
るリング・フアブリ・ペロー干渉計とを備え、その干渉
計における前記出力端光分岐器の２分岐出力光ビームを
それぞれ光電変換した変換出力の少なくとも一方により
当該干渉計の入力光周波数を負帰還制御して当該干渉計
の共振周波数を安定化する光ファイバ・ジャイロスコー
プにおいて、２入力電圧を加算混合して変換した駆動電
流により前記半導体レーザ素子を駆動する半導体レーザ
駆動回路と、その半導体レーザ駆動回路の前記２入力電
圧の一方とした発振出力電圧により前記半導体レーザ素
子の発振周波数を変調する発振器と、前記出力端光分岐
器の前記２分岐出力光ビームをそれぞれ光電変換した後
に前記発振器の発振出力電圧により同期検波して増幅す
る一対の同期検波増幅手段と、それら一対の同期検波増
幅手段の一方の出力電圧を前記半導体レーザ駆動回路の
前記２入力電圧の他方として負帰還することにより前記
半導体レーザの発振周波数を制御して前記一方の同期検
波増幅手段の出力供振周波数に固定する周波数制御安定
化手段とを設け、他方の前記同期検波増幅手段の出力電
圧より前記リング・フアブリ・ペロー干渉計の回転角速
度を求めるように構成したことを特徴とするものであ
る。
は、高コヒーレンスを有する単一縦モード発振半導体レ
ーザ素子と、その半導体レーザ素子の出力光ビームを２
分割する光ビームスプリッタと、その光ビームスプリッ
タの２出力光ビームを２入力とし、２入力光ビームをそ
れぞれ２分岐して２分岐出力光ビームを形成する光分岐
器を入力端および出力端にそれぞれ接続して互いに逆方
向に同一リング状に巻回した一対の石英ファイバよりな
るリング・フアブリ・ペロー干渉計とを備え、その干渉
計における前記出力端光分岐器の２分岐出力光ビームを
それぞれ光電変換した変換出力の少なくとも一方により
当該干渉計の入力光周波数を負帰還制御して当該干渉計
の共振周波数を安定化する光ファイバ・ジャイロスコー
プにおいて、２入力電圧を加算混合して変換した駆動電
流により前記半導体レーザ素子を駆動する半導体レーザ
駆動回路と、その半導体レーザ駆動回路の前記２入力電
圧の一方とした発振出力電圧により前記半導体レーザ素
子の発振周波数を変調する発振器と、前記出力端光分岐
器の前記２分岐出力光ビームをそれぞれ光電変換した後
に前記発振器の発振出力電圧により同期検波して増幅す
る一対の同期検波増幅手段と、それら一対の同期検波増
幅手段の一方の出力電圧を前記半導体レーザ駆動回路の
前記２入力電圧の他方として負帰還することにより前記
半導体レーザの発振周波数を制御して前記一方の同期検
波増幅手段の出力供振周波数に固定する周波数制御安定
化手段とを設け、他方の前記同期検波増幅手段の出力電
圧より前記リング・フアブリ・ペロー干渉計の回転角速
度を求めるように構成したことを特徴とするものであ
る。
（実 施 例） 以下に図面を参照して実施例につきを本発明詳細に説明
する。
する。
まず、本発明光フアイバ・ジヤイロスコープの構成例を
第３図に示す。図示の構成による光フアイバ・ジヤイロ
スコープにおいては、高コヒーレンスを有してFMノイ
ズ、AMノイズの発生が少ない小型の単一縦モード発振半
導体レーザ素子１を光ビームの光源として用いる。かか
るレーザ素子１からの高コヒーレント光ビームをレンズ
２により平行ビームにコリメートしたうえで、光アイソ
レータ３に導き、後続のフアイバ入力端子などからの反
射光がレーザ素子１に逆行して発振状態を乱し、ノイズ
を発生させるのを防止する。光アイソレータ３を通過し
た平行光ビームを例えば半透明鏡などからなる光ビーム
スプリツタ４に導いて２平行光ビームに分割し、それら
の２平行光ビームをそれぞれレンズ5,6に導いてそれぞ
れ集束したうえで光フアイバ7,8に入射させる。なお、
この光フアイバ7,8は、単なる光伝送路として作用し、
いわゆる光フアイバ・ジヤイロスコープの要部たる後続
の光フアイバ・ループの作用には無関係であり、その性
能や光路長、相互間の光路長差等は任意である。かかる
光フアイバ7,8により導いた２光ビームは、光分岐器９
の２入力ポートにそれぞれ導く。この光分岐器９は、電
子工学において例えば２本のストリツプ線路を適切な区
間長に亘り互いに平行に近接配置して構成したハイブリ
ッド回路などと同様に、第3a図に示すように、２本の光
ファイバのクラッドの一部を適切な区間長に亘りそれぞ
れ除去してそれぞれのコアを互いに平行に近接配置した
ものであり、かかる構成の光分岐器においては、例え
ば、一方の入力ポート７からの入射光は、双方のクラッ
ドの境界面９を鏡面とした反射光の形で他方の入力ポー
ト８に導かれるとともに、コア間を漏洩した透過光の形
で一方の出力ポート11に導かれ、両者間の分岐比率は、
一般に、コアの間隔やクラッドの材質などによって決ま
る。
第３図に示す。図示の構成による光フアイバ・ジヤイロ
スコープにおいては、高コヒーレンスを有してFMノイ
ズ、AMノイズの発生が少ない小型の単一縦モード発振半
導体レーザ素子１を光ビームの光源として用いる。かか
るレーザ素子１からの高コヒーレント光ビームをレンズ
２により平行ビームにコリメートしたうえで、光アイソ
レータ３に導き、後続のフアイバ入力端子などからの反
射光がレーザ素子１に逆行して発振状態を乱し、ノイズ
を発生させるのを防止する。光アイソレータ３を通過し
た平行光ビームを例えば半透明鏡などからなる光ビーム
スプリツタ４に導いて２平行光ビームに分割し、それら
の２平行光ビームをそれぞれレンズ5,6に導いてそれぞ
れ集束したうえで光フアイバ7,8に入射させる。なお、
この光フアイバ7,8は、単なる光伝送路として作用し、
いわゆる光フアイバ・ジヤイロスコープの要部たる後続
の光フアイバ・ループの作用には無関係であり、その性
能や光路長、相互間の光路長差等は任意である。かかる
光フアイバ7,8により導いた２光ビームは、光分岐器９
の２入力ポートにそれぞれ導く。この光分岐器９は、電
子工学において例えば２本のストリツプ線路を適切な区
間長に亘り互いに平行に近接配置して構成したハイブリ
ッド回路などと同様に、第3a図に示すように、２本の光
ファイバのクラッドの一部を適切な区間長に亘りそれぞ
れ除去してそれぞれのコアを互いに平行に近接配置した
ものであり、かかる構成の光分岐器においては、例え
ば、一方の入力ポート７からの入射光は、双方のクラッ
ドの境界面９を鏡面とした反射光の形で他方の入力ポー
ト８に導かれるとともに、コア間を漏洩した透過光の形
で一方の出力ポート11に導かれ、両者間の分岐比率は、
一般に、コアの間隔やクラッドの材質などによって決ま
る。
しかしながら、かかる構成の光分岐器における入出力ポ
ートのいずれかに、後述するようにして、光共振ループ
が接続されている場合には、そのポートにおける光共振
ループの入力と出力とが同相になって強調されるので、
光共振ループを接続してある側のポートへの分岐比率が
極度に増大し、第３図に示すように光分岐器９の出力ポ
ート10,11に光共振ループが接続されている場合には、
例えば入力ポート７からの入射光はそのほとんどが出力
ポート11からの透過光となり、また、ループ入力ポート
としてのポート10からの入射光はそのほとんどが出力ポ
ート11からの反射光となる。また、同様に、入力ポート
８からの入射光およびループ入力ポートとしてのポート
11からの入射光は、それぞれ、出力ポート10からの透過
光および反射光となる。この光分岐器９の２出力光ビー
ムは例えば長さ数ｍの低損失石英光フアイバを２分して
互いに逆方向にリング状をなして巻回した光フアイバ1
0,11に入射させ、例えば第3b図に鎖線矢印で示す光分岐
器９から光ファイバ10、光分岐器12、光ファイバ11を順
次に介して光分岐器９に戻る右廻りの時計方向と破線矢
印で示す左廻りの反時計方向など互いに逆方向に、光フ
アイバ10,11がなす光フアイバ・ループ内を伝搬させ
る。したがつて、この光フアイバ・ループがいずれかの
方向に高速回転すれば、光フアイバ10,11内をそれぞれ
伝搬する光ビームの相互間には、前述したと同様に、サ
グナツク効果による非相反位相差、したがつて、実効的
な光路長差が生ずる。かかる光フアイバ10,11を通過し
た２光ビームは、光フアイバ・ループ入力端の光分岐器
９と全く同様の光分岐器12に導く。しかしてその入出力
両端の光分岐器9,12は、入射光の周波数が光フアイバ・
ループに共振するように制御されているので、その分岐
比を適切に選定するとともに、低挿入損失のものを用い
ると、前述したように、光ファイバ・ループ内の入力光
に対しては高い反射率を有する反射鏡としてそれぞれ作
用する。したがつて、かかる光分岐器9,12を入出力端に
備えた光フアイバ・ループ10,11内においては光ビーム
の繰返し反射が生じ、その繰返し反射によつて微細ピツ
チの干渉縞を生ずる高フイネスのリング・フアブリ・ペ
ロー干渉計として作用することになる。
ートのいずれかに、後述するようにして、光共振ループ
が接続されている場合には、そのポートにおける光共振
ループの入力と出力とが同相になって強調されるので、
光共振ループを接続してある側のポートへの分岐比率が
極度に増大し、第３図に示すように光分岐器９の出力ポ
ート10,11に光共振ループが接続されている場合には、
例えば入力ポート７からの入射光はそのほとんどが出力
ポート11からの透過光となり、また、ループ入力ポート
としてのポート10からの入射光はそのほとんどが出力ポ
ート11からの反射光となる。また、同様に、入力ポート
８からの入射光およびループ入力ポートとしてのポート
11からの入射光は、それぞれ、出力ポート10からの透過
光および反射光となる。この光分岐器９の２出力光ビー
ムは例えば長さ数ｍの低損失石英光フアイバを２分して
互いに逆方向にリング状をなして巻回した光フアイバ1
0,11に入射させ、例えば第3b図に鎖線矢印で示す光分岐
器９から光ファイバ10、光分岐器12、光ファイバ11を順
次に介して光分岐器９に戻る右廻りの時計方向と破線矢
印で示す左廻りの反時計方向など互いに逆方向に、光フ
アイバ10,11がなす光フアイバ・ループ内を伝搬させ
る。したがつて、この光フアイバ・ループがいずれかの
方向に高速回転すれば、光フアイバ10,11内をそれぞれ
伝搬する光ビームの相互間には、前述したと同様に、サ
グナツク効果による非相反位相差、したがつて、実効的
な光路長差が生ずる。かかる光フアイバ10,11を通過し
た２光ビームは、光フアイバ・ループ入力端の光分岐器
９と全く同様の光分岐器12に導く。しかしてその入出力
両端の光分岐器9,12は、入射光の周波数が光フアイバ・
ループに共振するように制御されているので、その分岐
比を適切に選定するとともに、低挿入損失のものを用い
ると、前述したように、光ファイバ・ループ内の入力光
に対しては高い反射率を有する反射鏡としてそれぞれ作
用する。したがつて、かかる光分岐器9,12を入出力端に
備えた光フアイバ・ループ10,11内においては光ビーム
の繰返し反射が生じ、その繰返し反射によつて微細ピツ
チの干渉縞を生ずる高フイネスのリング・フアブリ・ペ
ロー干渉計として作用することになる。
すなわち、光フアイバ7,8から光分岐器９を介して光フ
アイバ・ループ10,11内に進入した２光ビームは、上述
のようなリング・フアブリ・ペロー干渉計内を互いに逆
の方向、例えば第3b図に示したように、時計方向と反時
計方向とに繰返して往復しながら、光分岐器12の光ルー
プ共振時の分岐比率に応じた透過率に比例した量の２光
ビームが光フアイバ13,14に射出されることになる。か
かる２出力光ビームを、それぞれ一対のレンズ15,16お
よび光検出器17,18に順次に導き、例えば、右廻り時計
方向および左廻り反時計方向の出力光ビームがそれぞれ
有する共振周波数νｒおよびνｌをそれぞれ有する。出
力光ビームは光電変換して２電圧信号に変換する。
アイバ・ループ10,11内に進入した２光ビームは、上述
のようなリング・フアブリ・ペロー干渉計内を互いに逆
の方向、例えば第3b図に示したように、時計方向と反時
計方向とに繰返して往復しながら、光分岐器12の光ルー
プ共振時の分岐比率に応じた透過率に比例した量の２光
ビームが光フアイバ13,14に射出されることになる。か
かる２出力光ビームを、それぞれ一対のレンズ15,16お
よび光検出器17,18に順次に導き、例えば、右廻り時計
方向および左廻り反時計方向の出力光ビームがそれぞれ
有する共振周波数νｒおよびνｌをそれぞれ有する。出
力光ビームは光電変換して２電圧信号に変換する。
しかして、上述のリング・フアブリ・ペロー干渉計が静
止している場合には、例えば時計方向廻りおよび反時計
方向廻りの２光ビームに対するフアブリ・ペロー干渉計
の共振周波数νｒおよびνｌは等しくなる。しかしなが
ら、このリング・フアブリ・ペロー干渉計が例えば第３
図に実線矢印で示すように角速度Ωにて回転している場
合には、双方の共振周波数νｒとνｌとの間には、前述
したサグナツク効果により回転角度速度Ωに比例した差
が生ずる。したがつて、その周波数差を測定すれば回転
角速度Ωの値を求めることができる。
止している場合には、例えば時計方向廻りおよび反時計
方向廻りの２光ビームに対するフアブリ・ペロー干渉計
の共振周波数νｒおよびνｌは等しくなる。しかしなが
ら、このリング・フアブリ・ペロー干渉計が例えば第３
図に実線矢印で示すように角速度Ωにて回転している場
合には、双方の共振周波数νｒとνｌとの間には、前述
したサグナツク効果により回転角度速度Ωに比例した差
が生ずる。したがつて、その周波数差を測定すれば回転
角速度Ωの値を求めることができる。
第３図示の構成における光ビーム光源としての半導体レ
ーザ素子１の発振周波数νを発振器21の発振出力により
変調するとともに、光検波器17および18の変換出力電圧
信号を、発振器21の発振出力を印加してそれぞれ駆動す
る一対の同期検波器、すなわち、いわゆるロツクイン・
アンプ19および20に導いて検波増幅すると、リング・フ
アブリ・ペロー干渉計を通過した後の反時計廻りおよび
時計廻りの２光ビームの光量の周波数依存特性は、微分
信号の形態によつて表わすと、第４図（ａ）および
（ｂ）にそれぞれ示すようになる。したがつて、時計廻
りおよび反時計廻りの２光ビームに対する共振周波数ν
ｒおよびνｌの相互間の差を測定するために、半導体レ
ーザ素子１の発振周波数νが、それら２共振周波数
νｒ，νｌのうちのいずれか一方、例えば反時計廻り光
ビームの共振周波数νｌに固定されるようにするため
に、同期検波増幅器19の出力電圧V1を周波数制御回路22
に供給して基準零を共振周波数νｌに対応させたときの
出力電圧V1の偏差を周波数制御電圧として出力し、ミキ
サの形態に図示した半導体レーザ駆動回路23にその周波
数制御電圧を供給して発振器21の発振出力電圧に混合加
算したうえで変換した駆動電流を半導体レーザ素子１に
負帰還し、その発振周波数νを制御して、第４図
（ａ），（ｂ）に示すように、レーザ周波数νがリング
・フアブリ・ペロー干渉計の反時計廻り光ビームの共振
周波数特性曲線の中心周波数νｌに追随するように周波
数安定化制御を行なう。かかる負荷還制御による周波数
安定化のもとに、他方の同期検波増幅器20の出力電圧V2
を記録器24に導いて、リング・フアブリ・ペロー干渉計
の時計廻りおよび反時計廻りの各共振周波数特性曲線の
中心周波数νｒおよびνｌの相互間の差に比例した信号
を検出する。すなわち、第４図（ｂ）に示すように、同
期検波増幅器20の出力電圧V2の周波数依存性を表わす信
号波形はＳ字形をなしており、中心共振周波数νｒの近
傍においては直線状の特性曲線となつているので、鋭敏
な周波数弁別を行なうことができる。
ーザ素子１の発振周波数νを発振器21の発振出力により
変調するとともに、光検波器17および18の変換出力電圧
信号を、発振器21の発振出力を印加してそれぞれ駆動す
る一対の同期検波器、すなわち、いわゆるロツクイン・
アンプ19および20に導いて検波増幅すると、リング・フ
アブリ・ペロー干渉計を通過した後の反時計廻りおよび
時計廻りの２光ビームの光量の周波数依存特性は、微分
信号の形態によつて表わすと、第４図（ａ）および
（ｂ）にそれぞれ示すようになる。したがつて、時計廻
りおよび反時計廻りの２光ビームに対する共振周波数ν
ｒおよびνｌの相互間の差を測定するために、半導体レ
ーザ素子１の発振周波数νが、それら２共振周波数
νｒ，νｌのうちのいずれか一方、例えば反時計廻り光
ビームの共振周波数νｌに固定されるようにするため
に、同期検波増幅器19の出力電圧V1を周波数制御回路22
に供給して基準零を共振周波数νｌに対応させたときの
出力電圧V1の偏差を周波数制御電圧として出力し、ミキ
サの形態に図示した半導体レーザ駆動回路23にその周波
数制御電圧を供給して発振器21の発振出力電圧に混合加
算したうえで変換した駆動電流を半導体レーザ素子１に
負帰還し、その発振周波数νを制御して、第４図
（ａ），（ｂ）に示すように、レーザ周波数νがリング
・フアブリ・ペロー干渉計の反時計廻り光ビームの共振
周波数特性曲線の中心周波数νｌに追随するように周波
数安定化制御を行なう。かかる負荷還制御による周波数
安定化のもとに、他方の同期検波増幅器20の出力電圧V2
を記録器24に導いて、リング・フアブリ・ペロー干渉計
の時計廻りおよび反時計廻りの各共振周波数特性曲線の
中心周波数νｒおよびνｌの相互間の差に比例した信号
を検出する。すなわち、第４図（ｂ）に示すように、同
期検波増幅器20の出力電圧V2の周波数依存性を表わす信
号波形はＳ字形をなしており、中心共振周波数νｒの近
傍においては直線状の特性曲線となつているので、鋭敏
な周波数弁別を行なうことができる。
すなわち、同期検波増幅器20の出力電圧V2はつぎの
（３）式によつて表わされる。
（３）式によつて表わされる。
V2＝Ｋ（νｒ−νｌ） （３） ここに、Ｋは光検波器18の検波感度および同期検波増幅
器20の増幅率に比例した定数である。また、共振周波数
差（νｒ−νｌ）はサグナツク効果により回転角速度Ω
との間につぎの（４）式による関係を有している。
器20の増幅率に比例した定数である。また、共振周波数
差（νｒ−νｌ）はサグナツク効果により回転角速度Ω
との間につぎの（４）式による関係を有している。
したがつて、（３）式による出力電圧V2はつぎの（５）
式によつて表わされることになる。
式によつて表わされることになる。
すなわち、出力電圧V2は回転角速度Ωに比例する項のみ
からなつている。したがつて、リング・フアブリ・ペロ
ー干渉計においては、従来の光フアイバ・ジヤイロスコ
ープを構成していたマツハ・ツエンダー干渉計における
ように回転角速度Ωとは独立のオフセツト量を含まず、
従来使用のマツハ・ツエンダー干渉計につき前述した回
転角速度検出感度に対する各種の限界要因、特に従来問
題であつた限界要因（Ｃ），（Ｄ）の影響を全く受けな
くなる。その結果、一対の光検波器17,18の検出感度を
揃える必要がなくなり、温度ドリフトにも無関係とな
り、したがつて、光フアイバ・ループ外に光路長差が存
在したとしても、その影響は全く受けないことになる。
からなつている。したがつて、リング・フアブリ・ペロ
ー干渉計においては、従来の光フアイバ・ジヤイロスコ
ープを構成していたマツハ・ツエンダー干渉計における
ように回転角速度Ωとは独立のオフセツト量を含まず、
従来使用のマツハ・ツエンダー干渉計につき前述した回
転角速度検出感度に対する各種の限界要因、特に従来問
題であつた限界要因（Ｃ），（Ｄ）の影響を全く受けな
くなる。その結果、一対の光検波器17,18の検出感度を
揃える必要がなくなり、温度ドリフトにも無関係とな
り、したがつて、光フアイバ・ループ外に光路長差が存
在したとしても、その影響は全く受けないことになる。
さらに、第４図からも判るように、干渉計の共振周波数
特性曲線の微分波形によつて回転角周波数Ωの弁別を行
なつているので、Ω＝０においても高い弁別感度が得ら
れ、従来使用のマツハ・ツエンダー干渉計につき第１図
示の構成に用いたような非相反移相器PSによるπ/2非相
反移相を行なう必要がなくなる。また、時計廻りおよび
反時計廻り等、相対的逆廻りを行なう２光ビーム相互間
の位相差は、光フアイバ・ループ内のみによつて決まる
ので、従来使用のマツハ・ツエンダー干渉計におけるよ
うな光フアイバ・ループ外の光路長差Δｌにも無関係で
あり、回転角速度検波感度は光検出器のシヨツトノイズ
のみによつて限界を生じる理想型となる。
特性曲線の微分波形によつて回転角周波数Ωの弁別を行
なつているので、Ω＝０においても高い弁別感度が得ら
れ、従来使用のマツハ・ツエンダー干渉計につき第１図
示の構成に用いたような非相反移相器PSによるπ/2非相
反移相を行なう必要がなくなる。また、時計廻りおよび
反時計廻り等、相対的逆廻りを行なう２光ビーム相互間
の位相差は、光フアイバ・ループ内のみによつて決まる
ので、従来使用のマツハ・ツエンダー干渉計におけるよ
うな光フアイバ・ループ外の光路長差Δｌにも無関係で
あり、回転角速度検波感度は光検出器のシヨツトノイズ
のみによつて限界を生じる理想型となる。
しかして、かかる光検波器のシヨットノイズのみによる
回転角速度検出感度の限界について検討した結果によれ
ば、低損失の石英光フアイバを、従来のマツハ・ツエン
ダー干渉計における数百ｍに比して格段に短い数ｍのみ
巻回した光フアイバ・ループよりなるリング・フアブリ
・ペロー干渉計の使用により、光検出器のシヨツトノイ
ズによつて決まる回転角速度検出感度の限界自体が低減
されることが明らかとなつた。
回転角速度検出感度の限界について検討した結果によれ
ば、低損失の石英光フアイバを、従来のマツハ・ツエン
ダー干渉計における数百ｍに比して格段に短い数ｍのみ
巻回した光フアイバ・ループよりなるリング・フアブリ
・ペロー干渉計の使用により、光検出器のシヨツトノイ
ズによつて決まる回転角速度検出感度の限界自体が低減
されることが明らかとなつた。
上述のように優れた性能を有するリング・フアブリ・ペ
ロー干渉計を用いた本発明光フアイバ・ジヤイロスコー
プの回転角速度Ωの、前述したノイズ分散値測定用積分
時間τに対する変化を求めた特性例を、光分岐器の挿入
損失をも含めた光フアイバ・ループの全損失によつて決
まる単行透過率αｔの種々の値について第５図に示す。
図から明らかなように、本発明光フアイバ・ジヤイロス
コープにおいては、光検出器のシヨツトノイズによつて
決まる限界感度ΩＳ自体が従来装置における同種限界感
度より格段に低減されている。なお本発明ジヤイロスコ
ープにおける同期検波増幅器20の出力電圧V2は、回転角
速度Ωに比例するのみであつて、他のオフセツト量は付
加されていないのであるから、レーザ素子からのノイズ
の影響も極めて小さい。また、４入出力ポート光分岐器
9,12の挿入損失は極めて小さい。
ロー干渉計を用いた本発明光フアイバ・ジヤイロスコー
プの回転角速度Ωの、前述したノイズ分散値測定用積分
時間τに対する変化を求めた特性例を、光分岐器の挿入
損失をも含めた光フアイバ・ループの全損失によつて決
まる単行透過率αｔの種々の値について第５図に示す。
図から明らかなように、本発明光フアイバ・ジヤイロス
コープにおいては、光検出器のシヨツトノイズによつて
決まる限界感度ΩＳ自体が従来装置における同種限界感
度より格段に低減されている。なお本発明ジヤイロスコ
ープにおける同期検波増幅器20の出力電圧V2は、回転角
速度Ωに比例するのみであつて、他のオフセツト量は付
加されていないのであるから、レーザ素子からのノイズ
の影響も極めて小さい。また、４入出力ポート光分岐器
9,12の挿入損失は極めて小さい。
（効果） 以上の説明から明らかなように、本発明超高感度光フア
イバ・ジヤイロスコープにおいては、従来のこの種光フ
アイバ・ジヤイロスコープが有していた各種の問題点が
つぎのような理由によりすべて解決されている。
イバ・ジヤイロスコープにおいては、従来のこの種光フ
アイバ・ジヤイロスコープが有していた各種の問題点が
つぎのような理由によりすべて解決されている。
（１）光ビーム注入用光源として、大型となる気体レー
ザは用いず、半導体レーザを用いるので装置が小型とな
る。
ザは用いず、半導体レーザを用いるので装置が小型とな
る。
（２）従来使用の低コヒーレンスの半導体レーザは用い
ず、高コヒーレンスの単一縦モード発振半導体レーザを
用い、また、従来使用のマツハ・ツエンダー干渉計は用
いず、格段に低損失、高感度のリング・フアブリ・ペロ
ー干渉計を用いるので、超高感度が得られる。
ず、高コヒーレンスの単一縦モード発振半導体レーザを
用い、また、従来使用のマツハ・ツエンダー干渉計は用
いず、格段に低損失、高感度のリング・フアブリ・ペロ
ー干渉計を用いるので、超高感度が得られる。
（３）レーザ発振周波数を、リング・フアブリ・ペロー
干渉計における共振周波数の一方に固定しているので、
レーザ素子のAMノイズ、FMノイズあるいは光フアイバ光
路長の温度ドリフト等の影響は抹消し得る。
干渉計における共振周波数の一方に固定しているので、
レーザ素子のAMノイズ、FMノイズあるいは光フアイバ光
路長の温度ドリフト等の影響は抹消し得る。
（４）一対の光検波器17,18の出力電圧差を測定する必
要はないので、両者間の検出感度差は無関係である。
要はないので、両者間の検出感度差は無関係である。
（５）光フアイバ・ループ内の光伝搬方向による実質的
な光路長差は、リング・フアブリ・ペロー干渉計内のみ
にて決まり、干渉計外には、本来、光路長差は存在せ
ず、、存在したとしてもその影響は全く受けない。
な光路長差は、リング・フアブリ・ペロー干渉計内のみ
にて決まり、干渉計外には、本来、光路長差は存在せ
ず、、存在したとしてもその影響は全く受けない。
以上のように、本発明光フアイバ・ジヤイロスコープに
おいては、その超高感度化のために、光学系としては弁
別性の優れたリング・フアブリ・ペロー干渉計を用い、
電子回路系としては高感度の同期検波増幅器を用い、し
かも、半導体レーザに周波数安定化の負帰還制御を加え
ており、従来装置における問題点がすべて解決されてい
る。したがつて、回転角速度検出感度は光検波器のシヨ
ツトノイズによつて決まる理論的限界値にまで到達して
おり、低損失の石英光フアイバおよび４入出力ポート光
分岐器の使用により、光検波器のシヨツトノイズによる
理論的限界値自体も低減させ、従来装置に比し100倍乃
至10,000倍の超高感度が得られ、さらに、10-4度／時間
程度の高速角速度測定も十分に可能の格段に優れた性能
が得られる。
おいては、その超高感度化のために、光学系としては弁
別性の優れたリング・フアブリ・ペロー干渉計を用い、
電子回路系としては高感度の同期検波増幅器を用い、し
かも、半導体レーザに周波数安定化の負帰還制御を加え
ており、従来装置における問題点がすべて解決されてい
る。したがつて、回転角速度検出感度は光検波器のシヨ
ツトノイズによつて決まる理論的限界値にまで到達して
おり、低損失の石英光フアイバおよび４入出力ポート光
分岐器の使用により、光検波器のシヨツトノイズによる
理論的限界値自体も低減させ、従来装置に比し100倍乃
至10,000倍の超高感度が得られ、さらに、10-4度／時間
程度の高速角速度測定も十分に可能の格段に優れた性能
が得られる。
第１図は従来の光フアイバ・ジヤイロスコープの構成を
示すブロツク線図、 第２図は同じくその回転角速度検出感度特性の例を示す
特性曲線図、 第３図は本発明超高感度光フアイバ・ジヤイロスコープ
の構成例を示すブロック線図、 第3a図は光分岐器の構成を模式的に示す断面図、 第3b図は本発明光ファイバ・ジャイロスコープの動作を
模式的に示すブロック線図、 第４図（ａ），（ｂ）は同じくその動作特性をそれぞれ
示す動作波形図、 第５図は同じくその回転角速度検出感度特性の例を示す
特性曲線図である。 CS……電流源、LS……レーザ Ｉ……アイソレータ、Ch……チヨツパ BS1,BS2……ビームスプリツタ FL……光フアイバ・ループ PS……非相反移相器 D1,D2……光分波器 DA……差動増幅器 DIV……割算器、LIA……ロツクインアンプ １……レーザ素子、2,5,6,15,16……レンズ ３……アイソレータ、４……ビームスプリツタ 7,8,13,14……光フアイバ 9,12……光分岐器 10,11……光フアイバ（光フアイバ・ループ） 17,18……光検出器 19,20……同期検波増幅器（ロツクインアンプ） 21……発振器、22……周波数制御回路 23……半導体レーザ駆動回路 24……記録器
示すブロツク線図、 第２図は同じくその回転角速度検出感度特性の例を示す
特性曲線図、 第３図は本発明超高感度光フアイバ・ジヤイロスコープ
の構成例を示すブロック線図、 第3a図は光分岐器の構成を模式的に示す断面図、 第3b図は本発明光ファイバ・ジャイロスコープの動作を
模式的に示すブロック線図、 第４図（ａ），（ｂ）は同じくその動作特性をそれぞれ
示す動作波形図、 第５図は同じくその回転角速度検出感度特性の例を示す
特性曲線図である。 CS……電流源、LS……レーザ Ｉ……アイソレータ、Ch……チヨツパ BS1,BS2……ビームスプリツタ FL……光フアイバ・ループ PS……非相反移相器 D1,D2……光分波器 DA……差動増幅器 DIV……割算器、LIA……ロツクインアンプ １……レーザ素子、2,5,6,15,16……レンズ ３……アイソレータ、４……ビームスプリツタ 7,8,13,14……光フアイバ 9,12……光分岐器 10,11……光フアイバ（光フアイバ・ループ） 17,18……光検出器 19,20……同期検波増幅器（ロツクインアンプ） 21……発振器、22……周波数制御回路 23……半導体レーザ駆動回路 24……記録器
Claims (1)
- 【請求項１】高コヒーレンスを有する単一縦モード発振
半導体レーザ素子と、その半導体レーザ素子の出力光ビ
ームを２分割する光ビームスプリッタと、その光ビーム
スプリッタの２出力光ビームを２入力とし、２入力光ビ
ームをそれぞれ２分岐して２分岐出力光ビームを形成す
る光分岐器を入力端および出力端にそれぞれ接続して互
いに逆方向に同一リング状に巻回した一対の石英ファイ
バよりなるリング・フアブリ・ペロー干渉計とを備え、
その干渉計における前記出力端光分岐器の２分岐出力光
ビームをそれぞれ光電変換した変換出力の少なくとも一
方により当該干渉計の入力光周波数を負帰還制御して当
該干渉計の共振周波数を安定化する光ファイバ・ジャイ
ロスコープにおいて、２入力電圧を加算混合して変換し
た駆動電流により前記半導体レーザ素子を駆動する半導
体レーザ駆動回路と、 その半導体レーザ駆動回路の前記２入力電圧の一方とし
た発振出力電圧により前記半導体レーザ素子の発振周波
数を変調する発振器と、 前記出力端光分岐器の前記２分岐出力光ビームをそれぞ
れ光電変換した後に前記発振器の発振出力電圧により同
期検波して増幅する一対の同期検波増幅手段と、 それら一対の同期検波増幅手段の一方の出力電圧を前記
半導体レーザ駆動回路の前記２入力電圧の他方として負
帰還することにより前記半導体レーザの発振周波数を制
御して前記一方の同期検波増幅手段の出力共振周波数に
固定する周波数制御安定化手段とを設け、他方の前記同
期検波増幅手段の出力電圧より前記リング・フアブリ・
ペロー干渉計の回転角速度を求めるように構成したこと
を特徴とする超高感度光ファイバ・ジャイロスコープ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59050172A JPH0731059B2 (ja) | 1984-03-17 | 1984-03-17 | 超高感度光ファイバ・ジャイロスコ−プ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59050172A JPH0731059B2 (ja) | 1984-03-17 | 1984-03-17 | 超高感度光ファイバ・ジャイロスコ−プ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60195415A JPS60195415A (ja) | 1985-10-03 |
| JPH0731059B2 true JPH0731059B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=12851779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59050172A Expired - Lifetime JPH0731059B2 (ja) | 1984-03-17 | 1984-03-17 | 超高感度光ファイバ・ジャイロスコ−プ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0731059B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2580652B2 (ja) * | 1987-12-22 | 1997-02-12 | スズキ株式会社 | 光ファイバジャイロ制御装置 |
| JPH06235641A (ja) * | 1991-11-13 | 1994-08-23 | Tokyo Koku Keiki Kk | 光ファイバジャイロスコープ |
| US7327460B2 (en) * | 2005-11-02 | 2008-02-05 | Honeywell International, Inc. | Transmission mode RFOG and method for detecting rotation with RFOG |
| CN119992766B (zh) * | 2025-04-16 | 2025-07-04 | 福建美舫时代科技有限公司 | 一种基于数字孪生的水库防洪监测系统及方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4326803A (en) * | 1979-09-20 | 1982-04-27 | Northrop Corporation | Thin film laser gyro |
-
1984
- 1984-03-17 JP JP59050172A patent/JPH0731059B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60195415A (ja) | 1985-10-03 |
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