JPH07321390A - 固体レーザロッド - Google Patents
固体レーザロッドInfo
- Publication number
- JPH07321390A JPH07321390A JP10653394A JP10653394A JPH07321390A JP H07321390 A JPH07321390 A JP H07321390A JP 10653394 A JP10653394 A JP 10653394A JP 10653394 A JP10653394 A JP 10653394A JP H07321390 A JPH07321390 A JP H07321390A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- solid
- laser rod
- state laser
- dielectric coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｏリングおよび光学端面を劣化させず長期間
の高出力の使用を可能とする。 【構成】 砂目仕上げ４された固体レーザロッド１の円
筒面の両端面２に近い部分は光学研磨３が施されてい
る。光学研磨面３の上にＯリング５が配置され、ホルダ
７がキャップ６によって固体レーザロッド１に取付けら
れている。光学研磨面３上に多層誘電体コーティング
（不図示）が施されている。Ｏリング５は冷却水のシー
ルの役を果す。発振したレーザ光８は光学研磨面３と多
層誘電体コーティングで全反射するので、Ｏリング５と
端面２はレーザ光８の散乱による劣化損傷を受けない。
の高出力の使用を可能とする。 【構成】 砂目仕上げ４された固体レーザロッド１の円
筒面の両端面２に近い部分は光学研磨３が施されてい
る。光学研磨面３の上にＯリング５が配置され、ホルダ
７がキャップ６によって固体レーザロッド１に取付けら
れている。光学研磨面３上に多層誘電体コーティング
（不図示）が施されている。Ｏリング５は冷却水のシー
ルの役を果す。発振したレーザ光８は光学研磨面３と多
層誘電体コーティングで全反射するので、Ｏリング５と
端面２はレーザ光８の散乱による劣化損傷を受けない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体レーザロッドに関
し、特に、円筒面に砂目仕上げが施され、外部を流れる
冷却水をシールするためのＯリングを前記円筒面に接し
て内蔵するホルダが両端に取り付けられてなる固体レー
ザロッドに関する。
し、特に、円筒面に砂目仕上げが施され、外部を流れる
冷却水をシールするためのＯリングを前記円筒面に接し
て内蔵するホルダが両端に取り付けられてなる固体レー
ザロッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、固体レーザ発振器では、固体レー
ザロッドたとえば、ＹＡＧロッドの光学端面を冷却水か
らシールするために、砂目、たとえば４００番の砂目に
仕上げされたロッド表面にＯリングが取付けられてい
る。
ザロッドたとえば、ＹＡＧロッドの光学端面を冷却水か
らシールするために、砂目、たとえば４００番の砂目に
仕上げされたロッド表面にＯリングが取付けられてい
る。
【０００３】この固体レーザロッドを高出力レーザ、た
とえば１ｋＷ以上のレーザ発振器に使用した場合、発振
したレーザ光が固体レーザロッド表面の砂目で散乱し、
Ｏリングに当ってＯリングの劣化をもたらす。
とえば１ｋＷ以上のレーザ発振器に使用した場合、発振
したレーザ光が固体レーザロッド表面の砂目で散乱し、
Ｏリングに当ってＯリングの劣化をもたらす。
【０００４】これを解決する方法として、特開平１−２
４５５８３では、密封のためのＯリングにフッ素系の樹
脂でカバーすることによって、レーザ光がＯリングに当
ってガスが発生して外へ出ることを防止している。
４５５８３では、密封のためのＯリングにフッ素系の樹
脂でカバーすることによって、レーザ光がＯリングに当
ってガスが発生して外へ出ることを防止している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の固体レ
ーザロッドでは、冷却水をシールするため、砂目仕上げ
した円筒面にＯリングを取付けているので、高出力レー
ザ発振器に使用したとき、発振したレーザ光が砂目で散
乱してＯリングに当ってＯリングの劣化をもたらし、し
たがって長期に使用すると、水もれやガス発生によるレ
ーザロッド光学端面の損傷等を生じる欠点がある。
ーザロッドでは、冷却水をシールするため、砂目仕上げ
した円筒面にＯリングを取付けているので、高出力レー
ザ発振器に使用したとき、発振したレーザ光が砂目で散
乱してＯリングに当ってＯリングの劣化をもたらし、し
たがって長期に使用すると、水もれやガス発生によるレ
ーザロッド光学端面の損傷等を生じる欠点がある。
【０００６】また、低出力レーザ用の固体レーザロッ
ド、特にＴＥＭｏｏでは、円筒面を光学研磨として使用
されているが、この光学研磨は、光励起されている部分
のみであり、励起光を中心に集めることを目的として施
されているので、Ｏリング劣化の防止には何等の効果を
及ぼすものではない。
ド、特にＴＥＭｏｏでは、円筒面を光学研磨として使用
されているが、この光学研磨は、光励起されている部分
のみであり、励起光を中心に集めることを目的として施
されているので、Ｏリング劣化の防止には何等の効果を
及ぼすものではない。
【０００７】さらに、上述したフッ素系樹脂をＯリング
にカバーする方法も、レーザ光の散乱は避けられないの
で、Ｏリングの劣化は防止されても、フッ素系樹脂の劣
化に伴なう水もれやガス発生によるロッド光学端面の損
傷等の解決にはならないという欠点がある。
にカバーする方法も、レーザ光の散乱は避けられないの
で、Ｏリングの劣化は防止されても、フッ素系樹脂の劣
化に伴なう水もれやガス発生によるロッド光学端面の損
傷等の解決にはならないという欠点がある。
【０００８】本発明の目的は、高出力発振器に使用して
もＯリングを劣化させず、したがって光学端面の損傷も
受けることのない固体レーザロッドを提供することであ
る。
もＯリングを劣化させず、したがって光学端面の損傷も
受けることのない固体レーザロッドを提供することであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の固体レーザロッ
ドは、Ｏリングに接触する部分を含む前記円筒面の両端
に近い部分に光学研磨が施されている。
ドは、Ｏリングに接触する部分を含む前記円筒面の両端
に近い部分に光学研磨が施されている。
【００１０】前記光学研磨された円筒面上に誘電体コー
ティングが施されたものを含む。
ティングが施されたものを含む。
【００１１】前記誘電体コーティングが、複数の屈折率
の異なる誘電体の層よりなる多層誘電体コーティングで
あるものを含む。
の異なる誘電体の層よりなる多層誘電体コーティングで
あるものを含む。
【００１２】前記多層誘電体コーティングは弗化マグネ
シウムおよび酸化ジルコニウムの層よりなるものを含
む。
シウムおよび酸化ジルコニウムの層よりなるものを含
む。
【００１３】
【作用】Ｏリングに接触する部分を含む円筒面の両端に
近い部分に光学研磨が施されているので、レーザ光が光
学研磨面で反射されて散乱せず、したがって高出力発振
器に使用されてもＯリングや端面を劣化して損傷させる
ことがない。
近い部分に光学研磨が施されているので、レーザ光が光
学研磨面で反射されて散乱せず、したがって高出力発振
器に使用されてもＯリングや端面を劣化して損傷させる
ことがない。
【００１４】光学研磨面の上に誘電体コーティングされ
たものはさらに反射率が高く、特に多層誘電体コーティ
ングが施されたものは、入射レーザ光が臨界角を超えた
場合でも全反射させるので、Ｏリング等の劣化損傷の防
止作用が大きい。
たものはさらに反射率が高く、特に多層誘電体コーティ
ングが施されたものは、入射レーザ光が臨界角を超えた
場合でも全反射させるので、Ｏリング等の劣化損傷の防
止作用が大きい。
【００１５】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１６】図１（ａ）は本発明の固体レーザロッドの
一実施例の側面図、同図（ｂ）は同図（ａ）の正面図、
同図（ｃ）は同図（ａ）の固体レーザロッドにホルダが
取付けられた状態を示す縦断面図である。
一実施例の側面図、同図（ｂ）は同図（ａ）の正面図、
同図（ｃ）は同図（ａ）の固体レーザロッドにホルダが
取付けられた状態を示す縦断面図である。
【００１７】固体レーザロッド１はＹＡＧロッドであっ
て、固体レーザ発振器に使用されている。固体レーザロ
ッド１の円筒面には、両端面２を除いて両端面２から軸
中心方向にそれぞれ１０ｍｍの間に光学研磨３が施され
ている。この光学研磨３は面精度１０Åまたは１ｎｍ程
度に研磨されていて、その上に弗化マグネシウム（Ｍｇ
Ｆ2 ）の層と酸化ジルコニウム（ＺｒＯ）の層からなる
多層誘電体コーティングが施されている。ここで弗化マ
グネシウムの層と酸化ジルコニウムの層とは屈折率が異
なる。
て、固体レーザ発振器に使用されている。固体レーザロ
ッド１の円筒面には、両端面２を除いて両端面２から軸
中心方向にそれぞれ１０ｍｍの間に光学研磨３が施され
ている。この光学研磨３は面精度１０Åまたは１ｎｍ程
度に研磨されていて、その上に弗化マグネシウム（Ｍｇ
Ｆ2 ）の層と酸化ジルコニウム（ＺｒＯ）の層からなる
多層誘電体コーティングが施されている。ここで弗化マ
グネシウムの層と酸化ジルコニウムの層とは屈折率が異
なる。
【００１８】固体レーザロッド１の円筒面の残りの部分
には砂目仕上げ４が施されている。この砂目仕上面４は
例えば粗さ４００番に仕上げられている。
には砂目仕上げ４が施されている。この砂目仕上面４は
例えば粗さ４００番に仕上げられている。
【００１９】誘電体コーティングされた光学研磨面３の
上に冷却水のシーリングのためのＯリング５が配置さ
れ、キャップ６によってホルダ７を固体レーザロッド１
に固定している。
上に冷却水のシーリングのためのＯリング５が配置さ
れ、キャップ６によってホルダ７を固体レーザロッド１
に固定している。
【００２０】固体レーザ発振器が発振状態になると、固
体レーザロッド１の軸方向にレーザ光８が発振され、レ
ーザ光８は光学研磨面３と誘電体コーティング層で全反
射されるので、Ｏリング５に当らない。したがって、長
期間使用してもＯリング５を劣化させることがなく、し
たがってＯリング５の劣化による水もれやガス発生がな
いので、光学研磨面３に近い端面２を損傷することもな
い。光学研磨面３は臨界角を超えた角度で入射するレー
ザ光８を全反射することができないが、この入射光を光
学研磨面３上の多層誘電体コーティングが全反射させる
ので、レーザ光の散乱は生じない。
体レーザロッド１の軸方向にレーザ光８が発振され、レ
ーザ光８は光学研磨面３と誘電体コーティング層で全反
射されるので、Ｏリング５に当らない。したがって、長
期間使用してもＯリング５を劣化させることがなく、し
たがってＯリング５の劣化による水もれやガス発生がな
いので、光学研磨面３に近い端面２を損傷することもな
い。光学研磨面３は臨界角を超えた角度で入射するレー
ザ光８を全反射することができないが、この入射光を光
学研磨面３上の多層誘電体コーティングが全反射させる
ので、レーザ光の散乱は生じない。
【００２１】本実施例の固体レーザロッドでは円筒面の
Ｏリングに接触する部分を含む両端に近い部分に光学研
磨と誘電体コーティングが施されているので、レーザ光
が全反射されて散乱せず、したがってＯリングや端面を
劣化損傷しないので、高出力発振器に長期間使用できる
効果がある。
Ｏリングに接触する部分を含む両端に近い部分に光学研
磨と誘電体コーティングが施されているので、レーザ光
が全反射されて散乱せず、したがってＯリングや端面を
劣化損傷しないので、高出力発振器に長期間使用できる
効果がある。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、円筒面の
両端に近い部分に光学研磨を施すことにより、レーザ光
が光学研磨面で反射されて散乱しないのでＯリングや光
学端面を劣化損傷させず、高出力発振器に用いて長期間
の使用に耐えるという効果がある。
両端に近い部分に光学研磨を施すことにより、レーザ光
が光学研磨面で反射されて散乱しないのでＯリングや光
学端面を劣化損傷させず、高出力発振器に用いて長期間
の使用に耐えるという効果がある。
【００２３】また、光学研磨面上に誘電体コーティング
を施すことによりレーザ光の反射率を高め、特に複数の
屈折率の異なる多層誘電体コーティングを施すことによ
り、臨界角を超えた入射レーザ光も全反射するので、さ
らにＯリング等の劣化の防止作用が向上する効果があ
る。
を施すことによりレーザ光の反射率を高め、特に複数の
屈折率の異なる多層誘電体コーティングを施すことによ
り、臨界角を超えた入射レーザ光も全反射するので、さ
らにＯリング等の劣化の防止作用が向上する効果があ
る。
【図１】本発明の固体レーザロッドの一実施例を示す図
であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は
ホルダが取付けられた状態を示す縦断面図である。
であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は
ホルダが取付けられた状態を示す縦断面図である。
１ 固体レーザロッド ２ 端面 ３ 光学研磨面 ４ 砂目仕上面 ５ Ｏリング ６ キャップ ７ ホルダ ８ レーザ光
Claims (4)
- 【請求項１】 円筒面に砂目仕上げが施され、外部を流
れる冷却水をシールするためのＯリングを前記円筒面に
接して内蔵するホルダが両端に取り付けられてなる固体
レーザロッドにおいて、 前記Ｏリングに接触する部分を含む前記円筒面の両端に
近い部分に光学研磨が施されていることを特徴とする固
体レーザロッド。 - 【請求項２】 前記光学研磨された円筒面上に誘電体コ
ーティングが施された請求項１記載の固体レーザロッ
ド。 - 【請求項３】 前記誘電体コーティングが、複数の屈折
率の異なる誘電体の層よりなる多層誘電体コーティング
である請求項２記載の固体レーザロッド。 - 【請求項４】 前記多層誘電体コーティングは弗化マグ
ネシウムおよび酸化ジルコニウムの層よりなる請求項３
記載の固体レーザロッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10653394A JPH07321390A (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 固体レーザロッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10653394A JPH07321390A (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 固体レーザロッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07321390A true JPH07321390A (ja) | 1995-12-08 |
Family
ID=14436037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10653394A Pending JPH07321390A (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 固体レーザロッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07321390A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009244385A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Fujinon Corp | レンズ組立体および撮像装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6112259B2 (ja) * | 1976-12-27 | 1986-04-07 | Kip Kk | |
| JPH06268294A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザー発振装置 |
-
1994
- 1994-05-20 JP JP10653394A patent/JPH07321390A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6112259B2 (ja) * | 1976-12-27 | 1986-04-07 | Kip Kk | |
| JPH06268294A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザー発振装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009244385A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Fujinon Corp | レンズ組立体および撮像装置 |
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