JPH0732175B2 - プローブカード自動交換機能付プローブ装置 - Google Patents
プローブカード自動交換機能付プローブ装置Info
- Publication number
- JPH0732175B2 JPH0732175B2 JP63030220A JP3022088A JPH0732175B2 JP H0732175 B2 JPH0732175 B2 JP H0732175B2 JP 63030220 A JP63030220 A JP 63030220A JP 3022088 A JP3022088 A JP 3022088A JP H0732175 B2 JPH0732175 B2 JP H0732175B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- probe
- card
- wafer
- exchange function
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、プローブカード自動交換機能付プローブ装
置に関する。
置に関する。
プローブ装置は、被測定体例えば半導体ウエハに多数形
成されたICチップの夫々の電気特性を測定し、不良と判
定されたチップをアセンブリ工程の前で排除することに
よって、コストダウンや生産性の向上に寄与させるため
の装置である。
成されたICチップの夫々の電気特性を測定し、不良と判
定されたチップをアセンブリ工程の前で排除することに
よって、コストダウンや生産性の向上に寄与させるため
の装置である。
近年ICチップの高集積化や多品種化により、少量多品種
生産工程が増加しており、このためオペレータの操作が
非常に増加しているのが現状である。特にプローブカー
ドは測定対称ICチップの品種毎、電極パッドの配列パタ
ーンが異なる毎に交換する必要がある。このようなプロ
ーブカードの交換手段は、オペレータがマニュアル操作
でプローブカードの取付部のビス等を緩めてプローブカ
ードを取外し、この後他のプローブカードを取付けてい
た。
生産工程が増加しており、このためオペレータの操作が
非常に増加しているのが現状である。特にプローブカー
ドは測定対称ICチップの品種毎、電極パッドの配列パタ
ーンが異なる毎に交換する必要がある。このようなプロ
ーブカードの交換手段は、オペレータがマニュアル操作
でプローブカードの取付部のビス等を緩めてプローブカ
ードを取外し、この後他のプローブカードを取付けてい
た。
しかしながら、上記のようなプローブ装置では、ウエハ
の品種交換毎にオペレータがプローブカードを人為的に
交換するため、半導体製造工程における自動化に相反す
るものであることは勿論のこと、位置決め精度の点など
で限界があり、生産性、歩留り並びに品質等の向上を図
ることは極めて困難である。
の品種交換毎にオペレータがプローブカードを人為的に
交換するため、半導体製造工程における自動化に相反す
るものであることは勿論のこと、位置決め精度の点など
で限界があり、生産性、歩留り並びに品質等の向上を図
ることは極めて困難である。
又、プローブカードの自動交換法として、特開昭58−19
6029号公報、特開昭60−47433号公報、特開昭61−15339
号公報、特開昭61−283138号公報などに示される方法が
提案されているが、完全な自動交換の実用化には至って
いない。
6029号公報、特開昭60−47433号公報、特開昭61−15339
号公報、特開昭61−283138号公報などに示される方法が
提案されているが、完全な自動交換の実用化には至って
いない。
特に、プローブカードを自動的に交換する場合、複数の
異品種のプローブカードをストッカ等の収納容器に収納
しておくが、この収納されている以外に対応する品種の
ウエハを検査する場合や、古いプローブカードを新しい
プローブカードに交換する際や、プローブカードの補守
点検を行なう場合などでは、収納容器からプローブカー
ドを取り出し、他のプローブカードをその位置に収納す
る必要がある。この時、オペレータがプローブカードを
収納位置に手をのばして搬出入動作を行なうと、プロー
ブカードを正確な位置に設置するのに時間がかかり操作
性が悪かった。さらに、プローブ操作の稼働中に、オペ
レータが上記プローブカードの搬出入動作を行なうと、
搬出入動作が煩わしい為プローブカードなどを破損する
などの問題があった。
異品種のプローブカードをストッカ等の収納容器に収納
しておくが、この収納されている以外に対応する品種の
ウエハを検査する場合や、古いプローブカードを新しい
プローブカードに交換する際や、プローブカードの補守
点検を行なう場合などでは、収納容器からプローブカー
ドを取り出し、他のプローブカードをその位置に収納す
る必要がある。この時、オペレータがプローブカードを
収納位置に手をのばして搬出入動作を行なうと、プロー
ブカードを正確な位置に設置するのに時間がかかり操作
性が悪かった。さらに、プローブ操作の稼働中に、オペ
レータが上記プローブカードの搬出入動作を行なうと、
搬出入動作が煩わしい為プローブカードなどを破損する
などの問題があった。
この発明は上記点に対処してなされたもので、収納され
ているプローブカードの出し入れ簡単に速くなおかつ正
確に行なうことを可能としたプローブカード自動交換機
能付プローブ装置を提供するものである。
ているプローブカードの出し入れ簡単に速くなおかつ正
確に行なうことを可能としたプローブカード自動交換機
能付プローブ装置を提供するものである。
〔課題点を解決するための手段〕 上記の課題を解決するために、この第１の発明は、複数
のプローブカードが収納され位置から所望のプローブカ
ードを選択してプローブカードホルダに装着し検査する
プローブ装置において、上記各プローブカードの収納装
置と前記検査する位置との間に水平方向にスライド可能
な前記プローブカードの移動手段を設けた。
のプローブカードが収納され位置から所望のプローブカ
ードを選択してプローブカードホルダに装着し検査する
プローブ装置において、上記各プローブカードの収納装
置と前記検査する位置との間に水平方向にスライド可能
な前記プローブカードの移動手段を設けた。
また、本発明は前記移動手段の収納位置に収納されたプ
ローブカード針に対応した位置に開口を設けた。
ローブカード針に対応した位置に開口を設けた。
さらに、本発明は前記移動手段にプローブカードを支持
するピンを設けた。
するピンを設けた。
第２の発明は複数のプローブカードが収納された位置か
ら所望のプローブカードを選択して装着し検査するプロ
ーブ装置において、予め前記プローブ装置の記憶機構に
プログラムされ認識対象のウエハのIDコードによるウエ
ハの品種情報に基づいて前記ウエハ品種に対応したプロ
ーブカードを選択して装着する。
ら所望のプローブカードを選択して装着し検査するプロ
ーブ装置において、予め前記プローブ装置の記憶機構に
プログラムされ認識対象のウエハのIDコードによるウエ
ハの品種情報に基づいて前記ウエハ品種に対応したプロ
ーブカードを選択して装着する。
プローブカードの収納位置にスライド可能な移動板を設
けたことにより、移動板を引き出して収納されているプ
ローブカードの出し入れを容易に速くなおかつ正確に行
なうことができる。
けたことにより、移動板を引き出して収納されているプ
ローブカードの出し入れを容易に速くなおかつ正確に行
なうことができる。
次に本発明プローブカード自動交換機能付プローブ装置
の一実施例を図面を参照して説明する。
の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明のプローブ装置の全体構成を示す概略正
面図であり、第２図はカード収納ストッカの平面図、第
３図は同前面図である。第４図は本発明プローブ装置の
斜視図であり、第５図はカード収納ストッカからプロー
ブカードを取り出す搬送機構の構成を示す図である。
面図であり、第２図はカード収納ストッカの平面図、第
３図は同前面図である。第４図は本発明プローブ装置の
斜視図であり、第５図はカード収納ストッカからプロー
ブカードを取り出す搬送機構の構成を示す図である。
このプローブ装置の構成は、主にプローバ部（１）とプ
ローブカード交換部（２）で構成されている。
ローブカード交換部（２）で構成されている。
第１図に示すようにプローバ部（１）は、ウエハカセッ
ト（３）に板厚方向に所定の間隔を設けて被検査体例え
ば半導体ウエハ（４）を例えば縦列状に25枚設置する。
このウエハ（４）を収納したウエハカセット（３）をウ
エハカセット収納部に搬入する。この収納部からウエハ
（４）を搬送機構によって一枚づつ取出し、予備位置決
めステージ（５）に搬送する。この予備位置決めステー
ジ（５）を回転させてウエハ（４）のオリエンテーショ
ンフラットを基準に精度±１°位まで予備位置決めした
後、ウエハ（４）を検査ステージ（６）に搬送する。こ
の検査ステージ（６）に搬送されたウエハ（４）を正確
に位置決めするために、CCDカメラを使ったパターン認
識機構又はレーザを用いた認識機構が設置されている。
この認識機構を用いてウエハ（４）のパターンを基準に
正確に位置決めした後、検査ステージ（６）上方に設け
られたインサートリング（７）に装着されているプロー
ブカード（８）により、ウエハ（４）の各電極パッド上
にプローブカード（８）の各プローブ針（９）を接触オ
ーバドライブをかけてタッチし、プローブカード（８）
上方に設けられたテストヘッド（10）により自動的にウ
エハ（４）の電気的特性を測定検査する。このような連
続自動測定機能をもつプローバ部（１）を用いて、半導
体ウエハ（４）の測定検査工程を実行する場合には、半
導体ウエハ（４）の品種毎に電極パッド模様が異なるの
で当該品種の電極パッド模様に対応したプローブカード
（８）に交換する必要がある。
ト（３）に板厚方向に所定の間隔を設けて被検査体例え
ば半導体ウエハ（４）を例えば縦列状に25枚設置する。
このウエハ（４）を収納したウエハカセット（３）をウ
エハカセット収納部に搬入する。この収納部からウエハ
（４）を搬送機構によって一枚づつ取出し、予備位置決
めステージ（５）に搬送する。この予備位置決めステー
ジ（５）を回転させてウエハ（４）のオリエンテーショ
ンフラットを基準に精度±１°位まで予備位置決めした
後、ウエハ（４）を検査ステージ（６）に搬送する。こ
の検査ステージ（６）に搬送されたウエハ（４）を正確
に位置決めするために、CCDカメラを使ったパターン認
識機構又はレーザを用いた認識機構が設置されている。
この認識機構を用いてウエハ（４）のパターンを基準に
正確に位置決めした後、検査ステージ（６）上方に設け
られたインサートリング（７）に装着されているプロー
ブカード（８）により、ウエハ（４）の各電極パッド上
にプローブカード（８）の各プローブ針（９）を接触オ
ーバドライブをかけてタッチし、プローブカード（８）
上方に設けられたテストヘッド（10）により自動的にウ
エハ（４）の電気的特性を測定検査する。このような連
続自動測定機能をもつプローバ部（１）を用いて、半導
体ウエハ（４）の測定検査工程を実行する場合には、半
導体ウエハ（４）の品種毎に電極パッド模様が異なるの
で当該品種の電極パッド模様に対応したプローブカード
（８）に交換する必要がある。
次にプローブカード自動交換部（２）について説明す
る。
る。
このプローブカード自動交換部（２）は、高周波特性の
検査に用いられるテストヘッド（10）の回転基台内に設
けられている。プローブカード（８）は、予め位置調整
されてプローブカードホルダ（11）に例えばネジ止めさ
れて装着されている。このプローブカードホルダ（11）
に装着されたプローブカード（８）は、板厚方向に夫々
適当な間隔を設けて縦列状に例えば６機種収納可能な収
納容器であるカード収納ストッカ（12）に収納されてい
る。このカード収納ストッカ（12）は、収納されている
各プローブカード（８）を夫々独立して水平方向即ち横
方向にスライドして引き出すことが可能なように構成さ
れている。即ち、第２図および第３図に示すように各プ
ローブカード（８）に対応して、ストッカ（12）の対向
する側面に、夫々取付用ブラケット（13）を介して、上
下のガイドローラ（14）（15）を一定の間隔をおいて配
設すると共に、この上下のガイドローラ（14）（15）の
間に側面ガイドローラ（16）を配設して、この側面ガイ
ドローラ（16）による案内規制作用を受けて、上記上下
のガイドローラ（14）（15）間に、移動板（17）が水平
方向即ち横方向にスライドして引き出し可能に設けられ
ている。又、この移動板（17）の引き出し側をストッカ
（12）の後側とすると、ストッカ（12）の前側は開放さ
れていて、移動板（17）のストッカ（12）に対して前側
の少なくとも一側には、上記移動板（17）を所定量だけ
水平方向にスライドして引き出した時に、ブラケット
（13）に当接する如くストッパ（18）が固設されてい
る。このストッパ（18）により移動板（17）の引き出し
を規制している。又、同様にして、移動板（17）の後側
にも、移動板（17）を水平方向に押し入れた時、移動板
（17）の入れすぎを規制するために、ブラケット（13）
に当接する如くストッパ（19）が固設されている。
検査に用いられるテストヘッド（10）の回転基台内に設
けられている。プローブカード（８）は、予め位置調整
されてプローブカードホルダ（11）に例えばネジ止めさ
れて装着されている。このプローブカードホルダ（11）
に装着されたプローブカード（８）は、板厚方向に夫々
適当な間隔を設けて縦列状に例えば６機種収納可能な収
納容器であるカード収納ストッカ（12）に収納されてい
る。このカード収納ストッカ（12）は、収納されている
各プローブカード（８）を夫々独立して水平方向即ち横
方向にスライドして引き出すことが可能なように構成さ
れている。即ち、第２図および第３図に示すように各プ
ローブカード（８）に対応して、ストッカ（12）の対向
する側面に、夫々取付用ブラケット（13）を介して、上
下のガイドローラ（14）（15）を一定の間隔をおいて配
設すると共に、この上下のガイドローラ（14）（15）の
間に側面ガイドローラ（16）を配設して、この側面ガイ
ドローラ（16）による案内規制作用を受けて、上記上下
のガイドローラ（14）（15）間に、移動板（17）が水平
方向即ち横方向にスライドして引き出し可能に設けられ
ている。又、この移動板（17）の引き出し側をストッカ
（12）の後側とすると、ストッカ（12）の前側は開放さ
れていて、移動板（17）のストッカ（12）に対して前側
の少なくとも一側には、上記移動板（17）を所定量だけ
水平方向にスライドして引き出した時に、ブラケット
（13）に当接する如くストッパ（18）が固設されてい
る。このストッパ（18）により移動板（17）の引き出し
を規制している。又、同様にして、移動板（17）の後側
にも、移動板（17）を水平方向に押し入れた時、移動板
（17）の入れすぎを規制するために、ブラケット（13）
に当接する如くストッパ（19）が固設されている。
さらに、上記移動板（17）の上面には、予め定められた
位置に複数の支持ピン（20）が立設されていて、上記プ
ローブカード（８）もしくはプローブカードホルダ（1
1）に設けられているガイド孔（21）を上記支持ピン（2
0）に挿入することにより、上記プローブカード（８）
を移動板（17）に確実に位置決めして、着脱自在に支持
できる構成となっている。
位置に複数の支持ピン（20）が立設されていて、上記プ
ローブカード（８）もしくはプローブカードホルダ（1
1）に設けられているガイド孔（21）を上記支持ピン（2
0）に挿入することにより、上記プローブカード（８）
を移動板（17）に確実に位置決めして、着脱自在に支持
できる構成となっている。
又、この設置により、プローブカード（８）に設けられ
ているプローブ針（９）に悪影響がおこらないように、
移動板（17）の予め定められた位置、即ち、プローブ針
（９）配列に対向する位置には例えば円形の開口（22）
からなる逃げが設けられている。上記のようなプローブ
カード（８）を設置した移動板（17）のような引き出し
機構が、ストッカ（12）に収納されている各プローブカ
ード（８）に対応して設けられている。このようなスト
ッカ（12）に収納されたプローブカード（８）をプロー
ブカードホルダ（11）ごとプローバ部（１）のプローブ
カード設置位置であるインサートリング（７）まで選択
的に搬送する搬送機構（23）が設けられている。
ているプローブ針（９）に悪影響がおこらないように、
移動板（17）の予め定められた位置、即ち、プローブ針
（９）配列に対向する位置には例えば円形の開口（22）
からなる逃げが設けられている。上記のようなプローブ
カード（８）を設置した移動板（17）のような引き出し
機構が、ストッカ（12）に収納されている各プローブカ
ード（８）に対応して設けられている。このようなスト
ッカ（12）に収納されたプローブカード（８）をプロー
ブカードホルダ（11）ごとプローバ部（１）のプローブ
カード設置位置であるインサートリング（７）まで選択
的に搬送する搬送機構（23）が設けられている。
この搬送機構（23）は、第４図および第５図に示すよう
に例えば多数のリンクをＸ状に枢着ピンで連結した伸縮
自在のアーム（24）であり、先端には、円盤状のプロー
ブカード載置板（25）が取付けられている。上記アーム
（24）は、夫々図示しない伸縮駆動モータおよび垂直駆
動モータおよび回転駆動モータに係合されていて、アー
ム（24）の伸縮および垂直移動およびθ回転移動が可能
とされている。
に例えば多数のリンクをＸ状に枢着ピンで連結した伸縮
自在のアーム（24）であり、先端には、円盤状のプロー
ブカード載置板（25）が取付けられている。上記アーム
（24）は、夫々図示しない伸縮駆動モータおよび垂直駆
動モータおよび回転駆動モータに係合されていて、アー
ム（24）の伸縮および垂直移動およびθ回転移動が可能
とされている。
上記のように、プローブカード（８）を収納したストッ
カ（12）と、このストッカ（12）からプローブカード
（８）を搬送する搬送機構（23）からプローブカード自
動交換部（２）が構成されている。
カ（12）と、このストッカ（12）からプローブカード
（８）を搬送する搬送機構（23）からプローブカード自
動交換部（２）が構成されている。
次にプローブ装置の動作作用を説明する。
プローバ部（１）において、カセット（３）に収納され
ている半導体ウエハ（４）のIDコードを認識したのち予
備位置決めステージ５に移送され、ここでオリエンテー
ションフラットを利用して予備アライメントし、検査ス
テージ（６）に搬送する。ここで、正確にアライメント
して、所定の動作により、プローブカード（８）の対向
位置にウエハ（４）を設置する。次に検査ステージ
（６）を上昇してウエハ（４）に形成されたICチップの
電極パッドとプローブカード（８）のプローブ針（９）
を接続し、この接続状態で図示しないテスタで各ICチッ
プの電気特性の検査を行なう。ウエハ内の全てのチップ
の検査を終了すると、次のウエハについて同様の工程で
検査を実行する。当該品種のウエハについて上記のよう
な検査を繰返し、当該品種のウエハ（４）の全ての検査
を終了した後に、次の品種に対応したプローブカード
（８）に交換する。
ている半導体ウエハ（４）のIDコードを認識したのち予
備位置決めステージ５に移送され、ここでオリエンテー
ションフラットを利用して予備アライメントし、検査ス
テージ（６）に搬送する。ここで、正確にアライメント
して、所定の動作により、プローブカード（８）の対向
位置にウエハ（４）を設置する。次に検査ステージ
（６）を上昇してウエハ（４）に形成されたICチップの
電極パッドとプローブカード（８）のプローブ針（９）
を接続し、この接続状態で図示しないテスタで各ICチッ
プの電気特性の検査を行なう。ウエハ内の全てのチップ
の検査を終了すると、次のウエハについて同様の工程で
検査を実行する。当該品種のウエハについて上記のよう
な検査を繰返し、当該品種のウエハ（４）の全ての検査
を終了した後に、次の品種に対応したプローブカード
（８）に交換する。
次に、このようなプローブカード自動交換動作について
説明する。
説明する。
まず、検査の対象となる半導体ウエハに付されたIDコー
ドを読み取り、予めプローブ装置の中央処理装置（CP
U）の記憶機構にプログラムされたIDコードに対応した
ウエハ（４）の品種情報に基づいて該ウエハ品種に対応
する種類のプローブカード（８）を自動的に選択する。
次いで、このプローブカードを収納した移動板を前記記
憶機構に記憶された情報に基づいて決定し、プローブカ
ード載置板（25）がカード収納ストッカ（12）に収納さ
れた選択されたプローブカード（８）に下面に挿入する
ようにアーム（24）を伸ばした後、垂直駆動モータ（図
示せず）を駆動して上昇させ、プローブカード載置板
（25）上にプローブカード（８）を載置する。そして図
示を省略したプローブカード位置合せ機構にプローブカ
ード（８）を一時載置して位置合せをおこなう。
ドを読み取り、予めプローブ装置の中央処理装置（CP
U）の記憶機構にプログラムされたIDコードに対応した
ウエハ（４）の品種情報に基づいて該ウエハ品種に対応
する種類のプローブカード（８）を自動的に選択する。
次いで、このプローブカードを収納した移動板を前記記
憶機構に記憶された情報に基づいて決定し、プローブカ
ード載置板（25）がカード収納ストッカ（12）に収納さ
れた選択されたプローブカード（８）に下面に挿入する
ようにアーム（24）を伸ばした後、垂直駆動モータ（図
示せず）を駆動して上昇させ、プローブカード載置板
（25）上にプローブカード（８）を載置する。そして図
示を省略したプローブカード位置合せ機構にプローブカ
ード（８）を一時載置して位置合せをおこなう。
位置合わせ終了後、再びプローブカード（８）を載置
し、回転モータ（図示せず）を駆動して90度回転させた
後、アーム（24）を伸ばしてプローブ装置のテストヘッ
ド（10）下面に設けられたインサートリング（７）下面
までのプローブカード（８）を搬送し、次に垂直モータ
（図示せず）を駆動して上昇させてプローブカード
（８）とインサートリング（７）とを当接する。この
後、図示を省略したプローブカード固定機構によりプロ
ーブカード（８）とインサートリング（７）とを固定す
る。この固定に基づいてプローブカードとテストヘッド
は電気的に接続される。
し、回転モータ（図示せず）を駆動して90度回転させた
後、アーム（24）を伸ばしてプローブ装置のテストヘッ
ド（10）下面に設けられたインサートリング（７）下面
までのプローブカード（８）を搬送し、次に垂直モータ
（図示せず）を駆動して上昇させてプローブカード
（８）とインサートリング（７）とを当接する。この
後、図示を省略したプローブカード固定機構によりプロ
ーブカード（８）とインサートリング（７）とを固定す
る。この固定に基づいてプローブカードとテストヘッド
は電気的に接続される。
上記のように本発明は、カード収納ストッカ（12）に収
納されている各種プローブカード（８）を自動的に交換
することが可能となるものであるが、上記カード収納ス
トッカ（12）に収納されていない品種のプローブカード
（８）に対応した品種のウエハ（４）を検査したい場合
は、予めカード収納ストッカ（12）に収納されているプ
ローブカード（８）を該当する他の品種のプローブカー
ド（８）に入れ換えておく必要がある。この入れ換え
は、カード収納ストッカ（12）に例えば６種類収納され
ているプローブカード（８）のうちから所定のプローブ
カード（８）を対象とし、そのプローブカード（８）を
設置した移動板（17）をストッカ（12）の後側に引き出
す。この時移動板（17）はストッパ（18）により引き出
し限界が規制されているので引き出しすぎによるプロー
ブカード（８）への悪影響を防止できる。次に、この引
き出し移動板（17）に設置されているプローブカード
（８）を取りはずし、他の該当する品種のプローブカー
ド（８）をこの移動板（17）に設置する。この時、プロ
ーブカード（８）もしくはホルダ（11）に設けられてい
るガイド孔（21）を、移動板（17）に設けられている支
持ピン（20）に挿入し、プローブカード（８）の正確な
位置決めを行なう。このように新たなプローブカード
（８）に交換設置後、移動板（17）をカード収納ストッ
カ（12）内に押し入れる。この時、移動板（17）は、ス
トッパ（19）により規制されているので、カード収納ス
トッカ（12）内の所定の位置に正確に設置される。
納されている各種プローブカード（８）を自動的に交換
することが可能となるものであるが、上記カード収納ス
トッカ（12）に収納されていない品種のプローブカード
（８）に対応した品種のウエハ（４）を検査したい場合
は、予めカード収納ストッカ（12）に収納されているプ
ローブカード（８）を該当する他の品種のプローブカー
ド（８）に入れ換えておく必要がある。この入れ換え
は、カード収納ストッカ（12）に例えば６種類収納され
ているプローブカード（８）のうちから所定のプローブ
カード（８）を対象とし、そのプローブカード（８）を
設置した移動板（17）をストッカ（12）の後側に引き出
す。この時移動板（17）はストッパ（18）により引き出
し限界が規制されているので引き出しすぎによるプロー
ブカード（８）への悪影響を防止できる。次に、この引
き出し移動板（17）に設置されているプローブカード
（８）を取りはずし、他の該当する品種のプローブカー
ド（８）をこの移動板（17）に設置する。この時、プロ
ーブカード（８）もしくはホルダ（11）に設けられてい
るガイド孔（21）を、移動板（17）に設けられている支
持ピン（20）に挿入し、プローブカード（８）の正確な
位置決めを行なう。このように新たなプローブカード
（８）に交換設置後、移動板（17）をカード収納ストッ
カ（12）内に押し入れる。この時、移動板（17）は、ス
トッパ（19）により規制されているので、カード収納ス
トッカ（12）内の所定の位置に正確に設置される。
このような操作はオペレータがプローバによるテスト動
作中も適宜補充操作として実行できる。
作中も適宜補充操作として実行できる。
この発明は上記実施例に限定されるものではない。例え
ば各種プローブカードを複数収納しているカード収納ス
トッカを、カード収納ストッカごと上方向にスライドし
て所定の設置位置から取りはずし、この取りはずした状
態で収納されている各プローブカードを所望に応じて入
れ換えて、再び上方向から所定の位置にカード収納スト
ッカを設置するようにしても良い。このことにより、プ
ローブカードの自動交換が可能となる。又、プローブカ
ードを設置した移動板を横方向にスライドしても良く、
ストッカに設ける移動板は１つでも良く全品種に対応し
て設ける必要はない。
ば各種プローブカードを複数収納しているカード収納ス
トッカを、カード収納ストッカごと上方向にスライドし
て所定の設置位置から取りはずし、この取りはずした状
態で収納されている各プローブカードを所望に応じて入
れ換えて、再び上方向から所定の位置にカード収納スト
ッカを設置するようにしても良い。このことにより、プ
ローブカードの自動交換が可能となる。又、プローブカ
ードを設置した移動板を横方向にスライドしても良く、
ストッカに設ける移動板は１つでも良く全品種に対応し
て設ける必要はない。
又、第６図に示す如く、移動板（17）を引き出した際
に、相互に係合手段（26a），（26b）を、移動板（17）
の後端部と空所を画成する底部に夫々設ければ、移動板
（17）を引き出し位置に確実にロックすることが可能と
なる。本実施例では、バネ（27）により下方向から移動
板に圧接されたロール（26a）と移動板（17）の後端部
に設けた係合溝（26b）とで係合手段の構成している
が、かかる係合手段は任意に変更可能である。
に、相互に係合手段（26a），（26b）を、移動板（17）
の後端部と空所を画成する底部に夫々設ければ、移動板
（17）を引き出し位置に確実にロックすることが可能と
なる。本実施例では、バネ（27）により下方向から移動
板に圧接されたロール（26a）と移動板（17）の後端部
に設けた係合溝（26b）とで係合手段の構成している
が、かかる係合手段は任意に変更可能である。
上記実施例ストッカ内に収納されるプローブカードの交
換の際、水平方向に引き出して交換する例について説明
したがプローブカードを自動交換する際、交換する選択
されたプローブカードの収納棚を引き出し、プローブカ
ードの取り出しを容易な構成にしてもよい。
換の際、水平方向に引き出して交換する例について説明
したがプローブカードを自動交換する際、交換する選択
されたプローブカードの収納棚を引き出し、プローブカ
ードの取り出しを容易な構成にしてもよい。
本発明のプローブ装置によれば、プローブカードが収納
されているカード収納ストッカにおいて、プローブカー
ドを設置した移動手段をストッカから引き出し可能と
し、この引き出し状態でプローブカードを入れ換えるの
で、容易に速くなおかつ正確にプローブカードの入れ換
えが行なえ、さらに、入れ換え動作が煩わしくないの
で、プローブ装置に振動等の悪影響を与えることなく、
ウエハの検査中でもプローブカードの自動交換中でも入
れ換え動作が簡単に行なえる。
されているカード収納ストッカにおいて、プローブカー
ドを設置した移動手段をストッカから引き出し可能と
し、この引き出し状態でプローブカードを入れ換えるの
で、容易に速くなおかつ正確にプローブカードの入れ換
えが行なえ、さらに、入れ換え動作が煩わしくないの
で、プローブ装置に振動等の悪影響を与えることなく、
ウエハの検査中でもプローブカードの自動交換中でも入
れ換え動作が簡単に行なえる。
さらに、前記移動手段の収納されたプローブカードのプ
ローブ針に対応した位置に開口を設けることにより、こ
の開口に対応したプローブ針を前記移動板と密着して収
納しても移動板に接触することによってプローブ針を傷
つけることが無く、小さな収納ストッカに複数のプロー
ブカードを収納できるスペース効率のよいプローブ装置
を供給できる。
ローブ針に対応した位置に開口を設けることにより、こ
の開口に対応したプローブ針を前記移動板と密着して収
納しても移動板に接触することによってプローブ針を傷
つけることが無く、小さな収納ストッカに複数のプロー
ブカードを収納できるスペース効率のよいプローブ装置
を供給できる。
さらに、移動手段に設けた支持ピンとプローブカードに
設けたガイド孔を案内に用いてプローブカードの移動手
段への収納の位置決めを行なっているので、プローブカ
ードを収納位置に収納する時に正確に位置決めができ、
これが為、装着位置への搬送時の測定位置においてプロ
ーブカードの正確な位置決めが容易にでき、正確な装着
が容易に行なえるプローブカードの自動交換機能付プロ
ーブ装置を提供できる。
設けたガイド孔を案内に用いてプローブカードの移動手
段への収納の位置決めを行なっているので、プローブカ
ードを収納位置に収納する時に正確に位置決めができ、
これが為、装着位置への搬送時の測定位置においてプロ
ーブカードの正確な位置決めが容易にでき、正確な装着
が容易に行なえるプローブカードの自動交換機能付プロ
ーブ装置を提供できる。
さらに、装着すべきプローブカードの選択をウエハのID
コードによるウエハの品質情報に基づいて行うので、検
査対象のウエハとこれに接触するプローブカードが正確
に一致させられ、誤って対象外のウエハにプローブ針を
接触させることや、測定結果の判定ミスを引き起こすト
ラブルを回避することができるプローブカードの自動交
換機能付プローブ装置を供給できる。
コードによるウエハの品質情報に基づいて行うので、検
査対象のウエハとこれに接触するプローブカードが正確
に一致させられ、誤って対象外のウエハにプローブ針を
接触させることや、測定結果の判定ミスを引き起こすト
ラブルを回避することができるプローブカードの自動交
換機能付プローブ装置を供給できる。
第１図は本発明の一実施例を説明するためのプローブ装
置の図、第２図および第３図は第１図のストッカの構成
説明図、第４図および第５図は第１図のプローブカード
自動交換を説明するための図、第６図は第１図の他の例
を示す図である。 符号の説明 １……プローバ部 ２……プローブカード自動交換部 ８……プローブカード、９……プローブ針 12……ストッカ、13……取付用ブラケット 17……移動板、20……支持ピン
置の図、第２図および第３図は第１図のストッカの構成
説明図、第４図および第５図は第１図のプローブカード
自動交換を説明するための図、第６図は第１図の他の例
を示す図である。 符号の説明 １……プローバ部 ２……プローブカード自動交換部 ８……プローブカード、９……プローブ針 12……ストッカ、13……取付用ブラケット 17……移動板、20……支持ピン
Claims (5)
- 【請求項１】複数のプローブカードが収納された位置か
ら所望のプローブカードを選択して装着し検査するプロ
ーブ装置において、 上記各プローブカードの収納位置と前記検査する位置と
の間に水平方向にスライド可能な前記プローブカードの
移動手段を設けたことを特徴とするプローブカード自動
交換機能付プローブ装置。 - 【請求項２】移動手段は、収納位置に収納されたプロー
ブカードのプローブ針に対応した位置に開口を有する移
動板をスライドさせるものである特許請求の範囲第１項
記載のプローブカード自動交換機能付プローブ装置。 - 【請求項３】移動板にプローブカードを支持するピンを
有している特許請求の範囲第２項に記載のプローブカー
ド自動交換機能付プローブ装置。 - 【請求項４】複数のプローブカードが収納された位置か
ら所望のプローブカードを選択して装着し検査するプロ
ーブ装置において、 予め前記プローブ装置の記憶機構にプログラムされた認
識対象のウエハのIDコードによるウエハの品種情報に基
づいて前記ウエハ品種に対応したプローブカードを前記
収納位置から選択して装着することを特徴とするプロー
ブカード自動交換機能付プローブ装置。 - 【請求項５】各プローブカードの収納位置に水平方向に
スライド可能とした前記プローブカードの移動手段を備
えた特許請求の範囲第４項記載のプローブロード自動交
換機能付プローブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63030220A JPH0732175B2 (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 | プローブカード自動交換機能付プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63030220A JPH0732175B2 (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 | プローブカード自動交換機能付プローブ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01206270A JPH01206270A (ja) | 1989-08-18 |
| JPH0732175B2 true JPH0732175B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=12297637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63030220A Expired - Fee Related JPH0732175B2 (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 | プローブカード自動交換機能付プローブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0732175B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2606554Y2 (ja) * | 1992-01-17 | 2000-11-27 | 株式会社東京精密 | プロービング装置 |
| US6756800B2 (en) * | 2002-04-16 | 2004-06-29 | Teradyne, Inc. | Semiconductor test system with easily changed interface unit |
| JP5967510B1 (ja) * | 2015-03-24 | 2016-08-10 | 株式会社東京精密 | プローバ |
| JP6447553B2 (ja) | 2016-03-18 | 2019-01-09 | 株式会社東京精密 | プローバ |
| CN115951099A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-04-11 | 苏州华兴源创科技股份有限公司 | 探针卡压接方法、装置和计算机设备 |
-
1988
- 1988-02-12 JP JP63030220A patent/JPH0732175B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01206270A (ja) | 1989-08-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100291109B1 (ko) | 반도체 웨이퍼의 버언 인 검사기능을 구비한 프로우브 검사 및 리페어장치, 및 반도체 웨이퍼의 버언 인 검사장치 | |
| US5444386A (en) | Probing apparatus having an automatic probe card install mechanism and a semiconductor wafer testing system including the same | |
| JPH11297791A (ja) | トレイ移送アーム及びこれを用いたトレイの移載装置、ｉｃ試験装置並びにトレイの取り廻し方法 | |
| KR100248561B1 (ko) | 프로우브 시스템 | |
| US5399983A (en) | Probe apparatus | |
| US6404212B1 (en) | Testing of BGA and other CSP packages using probing techniques | |
| JP3215475B2 (ja) | プローブ装置 | |
| US6522125B2 (en) | Tray transfer arm, electronic component testing apparatus and tray transfer method | |
| US5086270A (en) | Probe apparatus | |
| JPH0567060B2 (ja) | ||
| KR19990065960A (ko) | 모듈아이씨(ic) 핸들러에서 소켓으로의 모듈아이씨 로딩 및언로딩장치 | |
| JPH01206270A (ja) | プローブカード自動交換機能付プローブ装置 | |
| JPH06342837A (ja) | 半導体ウエハの検査・リペア装置及びバーンイン検査装置 | |
| US6366102B1 (en) | Wafer probing machine | |
| US5453702A (en) | Automatic probe fixture loading apparatus with gimballing compensation | |
| JPH0685409B2 (ja) | ウェハ搬送装置 | |
| JPH0715931B2 (ja) | ウェハ処理装置 | |
| KR100283433B1 (ko) | 모듈 아이씨 핸들러의 캐리어 핸들링 장치 및 그 방법 | |
| JP2575013B2 (ja) | 液晶表示体検査装置 | |
| JPH01145586A (ja) | プローブカード自動交換機能付プローブ装置 | |
| JP2018022813A (ja) | プローバ | |
| JP2000049200A (ja) | プローバ | |
| JPS63217636A (ja) | ウエハプロ−バ | |
| JPH01145587A (ja) | プローブ装置 | |
| CN222762237U (zh) | 一种pcb电气性能测试装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |